JP7371663B2 - 検査システム - Google Patents

Description

本発明は、容器が載置される載置台、及び当該載置台に載置された容器に対して気体の供給を行う気体供給装置を備えた容器収容設備にて、気体の流れの検査を行う検査システムに関する。

このような検査システムの一例が、下記の特許文献１に開示されている。以下、「背景技術」及び「発明が解決しようとする課題」の説明では、特許文献１における符号を括弧内に引用する。

特許文献１には、載置台（３）に載置された容器（Ｆ）の容器流入部（２４）に接続されるように載置台（３）に配置された給気部（３０）と、当該給気部に接続された給気配管（３４）と、当該給気配管を通って給気部（３０）に供給される気体の流量を制御する給気流量制御部（３２）と、載置台（３）に載置された容器（Ｆ）の容器流出部（２６）に接続されるように載置台（３）に配置された排気部（３１）と、当該排気部に接続された排気配管（３５）と、を備えた容器収容設備（１）が開示されている。そして、この容器収容設備（１）で用いられる検査システムは、排気配管（３５）を流動する気体の流量を検出するセンサ（３３）を備えている（特許文献１の図１及び図２参照）。

特開２０１６－１２７２２８号公報

特許文献１の容器（Ｆ）は、一部が開口した本体部（２１）と、当該本体部の開口を塞ぐように配置された蓋部（２２）と、を備えている。このような容器（Ｆ）の内部に気体が供給される場合、容器（Ｆ）の内部で気体が飽和状態となった後も気体の供給が維持されると、本体部（２１）と蓋部（２２）との隙間から気体が漏れ出す。このとき、容器（Ｆ）が破損している場合等には、気体の漏れ量が多くなる。これを利用して、特許文献１の検査システムは、センサ（３３）にて検出された流量が、規定の閾値以上である場合には気体の流れが正常であると判定し、上記の閾値未満である場合には気体の流れが異常であると判定する。

ところで、特許文献１の検査システムは、容器流入部（２４）に給気部（３０）が適切に接続されていると共に、容器流出部（２６）に排気部（３１）が適切に接続されていることを前提として、気体の流れの検査を行うものである。そのため、載置台（３）の異常や載置台（３）における容器（Ｆ）の位置ずれに起因して、容器流入部（２４）に給気部（３０）が適切に接続されていない場合、又は、容器流出部（２６）に排気部（３１）が適切に接続されていない場合には、気体の流れの検査を適切に行うことができない。

そこで、容器が載置される載置台の異常又は載置台における容器の位置ずれの有無を適切に検査できる検査システムの実現が望まれる。

上記に鑑みた、検査システムの特徴構成は、
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器に対して気体の供給を行う気体供給装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流入口が形成された容器流入部を備え、
前記気体供給装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流入部に接続されるように前記載置台に配置された給気部と、前記給気部に接続された給気配管と、前記給気配管を通って前記給気部に供給される前記気体の流量が規定の給気流量となるように、前記気体の流量を制御する給気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記給気部に接続される検査流入部と、前記検査流入部から流入した前記気体の流量である流入流量を測定する流入流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記給気流量と前記流入流量との差に基づいて、前記給気部と前記検査流入部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定し、
前記検査ユニットは、前記検査流入部に接続された流入配管を更に備え、
前記流入流量測定部は、前記流入配管を流動する前記気体の前記流入流量を測定し、
前記流入配管は、前記流入流量測定部による前記流入流量の測定箇所に対して下流側で大気開放されている点にある。

この特徴構成によれば、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置することで、給気配管、給気部、検査流入部の順に気体が流動する。このとき、給気部と検査流入部とが適切に接続されていない場合には、給気部と検査流入部とが適切に接続されている場合と比べて、給気流量が同一とすると、給気部と検査流入部との接続部分における気体の漏れ量が多くなるのに起因して流入流量が減少する。これにより、本特徴構成によれば、給気流量と流入流量との差に基づいて、給気部と検査流入部とが適切に接続されているか否かを判定することができる。ここで、検査ユニットは、容器流入部の代わりに給気部に接続される検査流入部を備えている。そのため、上記のように、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置して、給気部と検査流入部とが適切に接続されているか否かを判定することにより、載置台の異常又は載置台における容器の位置ずれの有無を適切に検査できる。

また、検査システムの特徴構成は、
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器から気体の排出を行う気体排出装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定し、
前記検査ユニットは、前記検査流出部に接続された流出配管を更に備え、
前記流出流量測定部は、前記流出配管を流動する前記気体の前記流出流量を測定し、
前記流出配管は、前記流出流量測定部による前記流出流量の測定箇所に対して上流側で大気開放されている点にある。

この特徴構成によれば、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置することで、検査流出部、排気部、排気配管の順に気体が流動する。このとき、排気部と検査流出部とが適切に接続されていない場合には、排気部と検査流出部とが適切に接続されている場合と比べて、排気流量が同一とすると、排気部と検査流出部との接続部分における気体の漏れ量が多くなるのに起因して流出流量が減少する。これにより、本特徴構成によれば、排気流量と流出流量との差に基づいて、排気部と検査流出部とが適切に接続されているか否かを判定することができる。ここで、検査ユニットは、容器流出部の代わりに排気部に接続される検査流出部を備えている。そのため、上記のように、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置して、排気部と検査流出部とが適切に接続されているか否かを判定することにより、載置台の異常又は載置台における容器の位置ずれの有無を適切に検査できる。

実施形態に係る容器収容設備の概略構成を示す模式図 実施形態に係る検査システムの概略構成を示す模式図 実施形態に係る検査システムのブロック図 実施形態に係る判定部による判定処理の一例を示すフローチャート 実施形態に係る判定部による判定処理の一例を示すフローチャート

以下では、実施形態に係る検査システム１００について、図面を参照して説明する。検査システム１００は、容器収容設備１０にて気体の流れの検査を行うシステムである。

まず、容器収容設備１０について説明する。図１に示すように、本実施形態では、容器収容設備１０は、容器１が載置される載置台２と、当該載置台２に載置された容器１に対して気体の供給を行う気体供給装置３と、載置台２に載置された容器１から気体の排出を行う気体排出装置４と、を備えている。

容器１は、内部に規定の気体（例えば、窒素ガス、清浄空気等）を供給可能に構成された密閉容器である。本実施形態では、容器１は、当該容器１が載置台２に載置された場合に当該載置台２に対向する底部１ａを備えている。本例では、容器１は、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称される正面開口式の密閉容器である。

本実施形態では、容器１は、気体の流入口が形成された容器流入部１１と、気体の流出口が形成された容器流出部１２と、を備えている。本実施形態では、容器流入部１１及び容器流出部１２は、容器１の底部１ａを鉛直方向（図１における上下方向）に貫通した状態で、底部１ａに固定されている。つまり、容器流入部１１及び容器流出部１２は、容器１の内部と外部とを連通するように配置されている。また、図示は省略するが、本実施形態では、複数の容器流入部１１と、複数の容器流出部１２とが設けられている。

載置台２は、容器１を下方から支持するように構成されている。本実施形態では、載置台２は、水平方向（図１における左右方向）に延在する板状に形成されている。また、本実施形態では、図示は省略するが、複数の載置台２が鉛直方向及び水平方向に並んで配置されている。

本実施形態では、載置台２は、容器１を載置台２における規定の位置に案内する案内部２１を備えている。本実施形態では、案内部２１は、載置台２の上面から上方に突出するように形成された複数のピン２１１を含む。

本実施形態では、容器１は、載置台２の案内部２１に案内される容器被案内部１３を備えている。本実施形態では、容器被案内部１３は、複数のピン２１１にそれぞれ係合する複数の容器凹部１３１を含む。複数の容器凹部１３１は、容器１の底部１ａの下面が上方に窪むように形成されている。

気体供給装置３は、給気部３１と、給気配管３２と、給気流量制御部３３と、を備えている。本実施形態では、複数の載置台２のそれぞれに対して、複数の給気部３１、給気配管３２、及び給気流量制御部３３が設けられている。つまり、本実施形態では、給気部３１が載置台２の数の倍数設けられ、給気配管３２及び給気流量制御部３３のそれぞれが載置台２と同数設けられている。

給気部３１は、載置台２に載置された容器１の容器流入部１１に接続可能に構成されている。上述したように、本実施形態では、複数の容器流入部１１が設けられているため、複数の容器流入部１１のそれぞれに対応するように、容器流入部１１と同数の給気部３１が設けられている。給気部３１は、載置台２に配置されている。本実施形態では、給気部３１は、載置台２から上方に突出した状態で、載置台２に固定されている。容器１が載置台２に載置されると、当該容器１の容器流入部１１と当該載置台２に配置された給気部３１とが互いに連通した状態となる。

給気配管３２は、給気部３１に接続されている。本実施形態では、給気配管３２は、複数の給気部３１に接続されるように分岐している。給気配管３２は、供給源（図示を省略）から放出された気体が給気部３１に向かって流動するように構成されている。そのため、給気部３１に容器流入部１１が接続された場合、供給源から放出された気体が、給気配管３２、給気部３１、容器流入部１１の順に流動して、容器１の内部に供給される。なお、本実施形態では、容器流入部１１は、ばね等の付勢体によって閉鎖状態となるように付勢された流入用開閉弁（図示を省略）を備えている。そして、給気部３１に容器流入部１１が接続された状態で、当該容器流入部１１から気体が噴出されると、当該気体の圧力により流入用開閉弁が開放状態となり、気体が容器１の内部に供給される。

給気流量制御部３３は、給気配管３２を通って給気部３１に供給される気体の流量が規定の給気流量Ｑｍ１となるように、気体の流量を制御する。本例では、給気流量制御部３３は、給気配管３２を流動する気体の質量流量を測定して、当該質量流量を制御するマスフローコントローラ（Mass Flow Controller）である。

気体排出装置４は、排気部４１と、排気配管４２と、排気流量制御部４３と、を備えている。本実施形態では、複数の載置台２のそれぞれに対して、複数の排気部４１、排気配管４２、及び排気流量制御部４３が設けられている。つまり、本実施形態では、排気部４１が載置台２の数の倍数設けられ、排気配管４２及び排気流量制御部４３のそれぞれが載置台２と同数設けられている。

排気部４１は、載置台２に載置された容器１の容器流出部１２に接続可能に構成されている。上述したように、本実施形態では、複数の容器流出部１２が設けられているため、複数の容器流出部１２のそれぞれに対応するように、容器流出部１２と同数の排気部４１が設けられている。排気部４１は、載置台２に配置されている。本実施形態では、排気部４１は、載置台２から上方に突出した状態で、載置台２に固定されている。容器１が載置台２に載置されると、当該容器１の容器流出部１２と当該載置台２に配置された排気部４１とが互いに連通した状態となる。

排気配管４２は、排気部４１に接続されている。本実施形態では、排気配管４２は、複数の排気部４１に接続されるよう分岐している。排気配管４２は、排気部４１から排気された気体が流動するように構成されている。排気配管４２には、排気部４１から排気配管４２に向けた気流を生成する気流生成部４５が設けられている。本例では、気流生成部４５は、流体を高速で噴射することで負圧を生成させるエジェクタである。

排気部４１に容器流出部１２が接続された状態で、気流生成部４５により気流が生成された場合、容器１の内部の気体が、容器流出部１２、排気部４１、排気配管４２の順に流動して、容器１の内部から排出される。なお、本実施形態では、容器流出部１２は、ばね等の付勢体によって閉鎖状態となるように付勢された流出用開閉弁（図示を省略）を備えている。そして、排気部４１に容器流出部１２が接続された状態で、気流生成部４５により気流が生成されると、容器１の内部の気体の圧力により流出用開閉弁が開放状態となり、容器１の内部の気体が容器流出部１２を通って排気配管４２へ流動する。

排気流量制御部４３は、排気部４１から排気配管４２に流動する気体の流量が規定の排気流量Ｑｍ３となるように、気体の流量を制御する。本実施形態では、排気流量制御部４３は、排気配管４２における気流生成部４５よりも上流側に配置されている。本例では、排気流量制御部４３は、排気配管４２を流動する気体の流量を測定する流量計と、排気配管４２を流動する気体の流量を調整するニードルバルブと、を備えている。

次に、検査システム１００について説明する。図２に示すように、検査システム１００は、載置台２に載置可能に構成された検査ユニット５を備えている。

本実施形態では、検査ユニット５は、検査流入部５１と、流入配管５２と、流入流量測定部５３と、検査流出部５４と、流出配管５５と、流出流量測定部５６と、を備えている。

検査流入部５１は、検査ユニット５が載置台２に載置された状態で給気部３１に接続される。検査流出部５４は、検査ユニット５が載置台２に載置された状態で排気部４１に接続される。検査ユニット５が載置台２に載置されると、当該載置台２に配置された給気部３１と検査流入部５１とが互いに連通した状態となると共に、当該載置台２に配置された排気部４１と検査流出部５４とが互いに連通した状態となる。

本実施形態では、検査流入部５１は、容器流入部１１と同じ形状及び構造を有している。具体的には、本実施形態では、検査流入部５１も上記の流入用開閉弁を備えている。また、本実施形態では、容器流入部１１と同数の検査流入部５１が設けられている。そして、これらの複数の検査流入部５１の互いの位置関係が、複数の容器流入部１１の互いの位置関係と同一となるように、複数の検査流入部５１が配置されている。

また、本実施形態では、検査流出部５４は、容器流出部１２と同じ形状及び構造を有している。具体的には、本実施形態では、検査流出部５４も上記の流出用開閉弁を備えている。また、本実施形態では、容器流出部１２と同数の検査流出部５４が設けられている。そして、これらの複数の検査流出部５４の互いの位置関係が、複数の容器流出部１２の互いの位置関係と同一となるように、複数の検査流出部５４が配置されている。

流入配管５２は、検査流入部５１に接続されている。本実施形態では、流入配管５２は、複数の検査流入部５１に接続されるように分岐している。流出配管５５は、検査流出部５４に接続されている。本実施形態では、流出配管５５は、複数の検査流出部５４に接続されるように分岐している。

流入流量測定部５３は、検査流入部５１から流入した気体の流量である流入流量Ｑｍ２を測定可能に構成されている。本実施形態では、流入流量測定部５３は、流入配管５２を流動する気体の流入流量Ｑｍ２を測定する。本例では、流入流量測定部５３は、流入配管５２を流動する気体の質量流量を測定するマスフローメータ（Mass Flow Meter）である。

流出流量測定部５６は、検査流出部５４へ流動する気体の流量である流出流量Ｑｍ４を測定可能に構成されている。本実施形態では、流出流量測定部５６は、流出配管５５を流動する気体の流出流量Ｑｍ４を測定する。本例では、流出流量測定部５６は、流出配管５５を流動する気体の流量を測定する流量計と、流出配管５５を流動する気体の流量を調整するニードルバルブと、を備えている。

本実施形態では、流入配管５２は、流入流量測定部５３による流入流量Ｑｍ２の測定箇所に対して下流側で大気開放されている。そのため、本実施形態では、給気部３１に検査流入部５１が接続された場合、供給源から放出された気体が、給気配管３２、給気部３１、検査流入部５１、流入配管５２の順に流動した後、大気に放出される。

また、本実施形態では、流出配管５５は、流出流量測定部５６による流出流量Ｑｍ４の測定箇所に対して上流側で大気開放されている。そのため、本実施形態では、排気部４１に検査流出部５４が接続された状態で、気流生成部４５により気流が生成された場合、流出配管５５における大気開放された部分の周囲の気体が流出配管５５に吸引された後、検査流出部５４、排気部４１、排気配管４２の順に流動する。

本実施形態では、検査ユニット５は、載置台２に載置される基部５ａを備えている。図示の例では、基部５ａは、水平方向（図２における左右方向）に延在する板状に形成されている。本実施形態では、検査流入部５１及び検査流出部５４は、基部５ａを鉛直方向（図２における上下方向）に貫通した状態で、基部５ａに固定されている。また、流入流量測定部５３及び流出流量測定部５６は、基部５ａに載置された状態で、基部５ａに固定されている。

また、本実施形態では、検査ユニット５は、載置台２の案内部２１に案内される検査被案内部５９を備えている。検査被案内部５９は、容器被案内部１３と同じ形状及び構造を有している。本実施形態では、検査被案内部５９は、載置台２における複数のピン２１１にそれぞれ係合する複数の検査凹部５９１を含む。複数の検査凹部５９１は、検査ユニット５の基部５ａの下面が上方に窪むように形成されている。

図３に示すように、検査システム１００は、判定部６を備えている。本実施形態では、判定部６は、給気流量制御部３３、流入流量測定部５３、排気流量制御部４３、及び流出流量測定部５６と通信可能に構成されている。判定部６は、例えば、容器収容設備１０の制御ユニット（図示を省略）に備えられると好適である。或いは、判定部６は、検査ユニット５に備えられていても良い。

判定部６は、給気流量制御部３３から給気流量Ｑｍ１を取得すると共に、流入流量測定部５３から流入流量Ｑｍ２を取得する。そして、判定部６は、給気流量Ｑｍ１と流入流量Ｑｍ２との差に基づいて、給気部３１と検査流入部５１との接続部分における気体の漏れ状態を判定する。

検査ユニット５が載置台２に載置された状態において、給気部３１と検査流入部５１とが適切に接続されていない場合には、給気部３１と検査流入部５１とが適切に接続されている場合と比べて、給気流量Ｑｍ１が同一とすると、給気部３１と検査流入部５１との接続部分における気体の漏れ量が多くなるのに起因して流入流量Ｑｍ２が減少する。これにより、給気流量Ｑｍ１と流入流量Ｑｍ２との差に基づいて、給気部３１と検査流入部５１とが適切に接続されているか否かを判定することができる。ここで、検査ユニット５は、容器流入部１１の代わりに給気部３１に接続される検査流入部５１を備えている。そのため、上記のように、容器１の代わりに検査ユニット５を載置台２に載置して、給気部３１と検査流入部５１とが適切に接続されているか否かを判定することにより、載置台２の異常又は載置台２における容器１の位置ずれの有無を適切に検査できる。

本実施形態では、判定部６は、排気流量制御部４３から排気流量Ｑｍ３を取得すると共に、流出流量測定部５６から流出流量Ｑｍ４を取得する。そして、判定部６は、排気流量Ｑｍ３と流出流量Ｑｍ４との差に基づいて、排気部４１と検査流出部５４との接続部分における気体の漏れ状態を判定する。

検査ユニット５が載置台２に載置された状態において、排気部４１と検査流出部５４とが適切に接続されていない場合には、排気部４１と検査流出部５４とが適切に接続されている場合と比べて、排気流量Ｑｍ３が同一とすると、排気部４１と検査流出部５４との接続部分における気体の漏れ量が多くなるのに起因して流出流量Ｑｍ４が減少する。これにより、排気流量Ｑｍ３と流出流量Ｑｍ４との差に基づいて、排気部４１と検査流出部５４とが適切に接続されているか否かを判定することができる。ここで、検査ユニット５は、容器流出部１２の代わりに排気部４１に接続される検査流出部５４を備えている。そのため、上記のように、容器１の代わりに検査ユニット５を載置台２に載置して、排気部４１と検査流出部５４とが適切に接続されているか否かを判定することにより、載置台２の異常又は載置台２における容器１の位置ずれの有無を適切に検査できる。

以下では、判定部６による判定処理について、図４及び図５を参照して説明する。図４及び図５のそれぞれは、判定部６による判定処理の一例を示すフローチャートである。具体的には、図４は、判定部６が給気部３１と検査流入部５１との接続部分における気体の漏れ状態を判定する処理の一例を示すフローチャートである。そして、図５は、判定部６が排気部４１と検査流出部５４との接続部分における気体の漏れ状態を判定する処理の一例を示すフローチャートである。

図４に示すように、給気の判定において、まず、判定部６は、給気流量制御部３３から給気流量Ｑｍ１を取得する（ステップ＃１）。次に、判定部６は、流入流量測定部５３から流入流量Ｑｍ２を取得する（ステップ＃２）。

続いて、判定部６は、給気流量Ｑｍ１と流入流量Ｑｍ２との差が規定の第１閾値ＴＨ１未満（｜Ｑｍ１－Ｑｍ２｜＜ＴＨ１）であるか否かを判断する（ステップ＃３）。

判定部６は、給気流量Ｑｍ１と流入流量Ｑｍ２との差が第１閾値ＴＨ１未満（｜Ｑｍ１－Ｑｍ２｜＜ＴＨ１）であると判断した場合（ステップ＃３：Ｙｅｓ）、給気部３１と検査流入部５１とが適切に接続されて、給気が正常に行われていると判定する（ステップ＃４）。

一方、判定部６は、給気流量Ｑｍ１と流入流量Ｑｍ２との差が第１閾値ＴＨ１以上（｜Ｑｍ１－Ｑｍ２｜≧ＴＨ１）であると判断した場合（ステップ＃３：Ｎｏ）、給気部３１と検査流入部５１とが適切に接続されておらず、給気に異常が生じていると判定する（ステップ＃５）。

図５に示すように、排気の判定において、まず、判定部６は、排気流量制御部４３から排気流量Ｑｍ３を取得する（ステップ＃１１）。次に、判定部６は、流出流量測定部５６から流出流量Ｑｍ４を取得する（ステップ＃１２）。

続いて、判定部６は、排気流量Ｑｍ３と流出流量Ｑｍ４との差が規定の第２閾値ＴＨ２未満（｜Ｑｍ３－Ｑｍ４｜＜ＴＨ２）であるか否かを判断する（ステップ＃１３）。

判定部６は、排気流量Ｑｍ３と流出流量Ｑｍ４との差が第２閾値ＴＨ２未満（｜Ｑｍ３－Ｑｍ４｜＜ＴＨ２）であると判断した場合（ステップ＃１３：Ｙｅｓ）、排気部４１と検査流出部５４とが適切に接続されて、排気が正常に行われていると判定する（ステップ＃１４）。

一方、判定部６は、排気流量Ｑｍ３と流出流量Ｑｍ４との差が第２閾値ＴＨ２以上（｜Ｑｍ３－Ｑｍ４｜≧ＴＨ２）であると判断した場合（ステップ＃１３：Ｎｏ）、排気部４１と検査流出部５４とが適切に接続されておらず、排気に異常が生じていると判定する（ステップ＃１５）。

〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、判定部６が、給気部３１と検査流入部５１との接続部分における気体の漏れ状態と、排気部４１と検査流出部５４との接続部分における気体の漏れ状態との双方を判定する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、判定部６が、給気部３１と検査流入部５１との接続部分における気体の漏れ状態と、排気部４１と検査流出部５４との接続部分における気体の漏れ状態とのいずれか一方のみを判定する構成としても良い。

（２）上記の実施形態では、気体供給装置３が複数の給気部３１を備えた構成を例として説明したが、給気部３１の数は限定されない。例えば、気体供給装置３が給気部３１を１つのみ備えた構成であっても良い。この構成では、容器１が容器流入部１１を１つのみ備えていると共に、検査ユニット５が検査流入部５１を１つのみ備えていると好適である。また、上記の実施形態では、気体排出装置４が複数の排気部４１を備えた構成を例として説明したが、排気部４１の数は限定されない。例えば、気体排出装置４が排気部４１を１つのみ備えた構成であっても良い。この構成では、容器１が容器流出部１２を１つのみ備えていると共に、検査ユニット５が検査流出部５４を１つのみ備えていると好適である。

（３）上記の実施形態では、載置台２が案内部２１としての複数のピン２１１を備え、容器１が容器被案内部１３としての複数の容器凹部１３１を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、載置台２が案内部２１として、容器１に側方から当接して当該容器１の水平方向の移動を規制する規制部材を備えた構成としても良い。この構成では、規制部材が、検査ユニット５の一部（例えば、基部５ａ）に側方から当接し、検査ユニット５の水平方向の移動を規制すると好適である。また、載置台２が案内部２１を備えず、容器１が容器被案内部１３を備えていない構成としても良い。

（４）上記の実施形態では、検査流入部５１が容器流入部１１と同じ形状及び構造を有する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、検査流入部５１と容器流入部１１との形状及び構造の少なくとも一部が異なっていても良い。また、上記の実施形態では、検査流出部５４が容器流出部１２と同じ形状及び構造を有する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、検査流出部５４と容器流出部１２との形状及び構造の少なくとも一部が異なっていても良い。

（５）上記の実施形態では、流入配管５２が流入流量測定部５３による流入流量Ｑｍ２の測定箇所に対して下流側で大気開放され、流出配管５５が流出流量測定部５６による流出流量Ｑｍ４の測定箇所に対して上流側で大気開放されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、流入配管５２における流入流量測定部５３による流入流量Ｑｍ２の測定箇所に対して下流側の部分と、流出配管５５における流出流量測定部５６による流出流量Ｑｍ４の測定箇所に対して上流側の部分とが、それらの配管とは異なる接続配管に接続され、当該接続配管が大気開放されている構成としても良い。或いは、流入配管５２と流出配管５５とが接続配管によって互いに接続されていても良い。この場合において、接続配管が、分岐して当該分岐部分が待機開放されていても良い。

（６）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。したがって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

〔上記実施形態の概要〕
以下では、上記において説明した検査システムの概要について説明する。

検査システムは、
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器に対して気体の供給を行う気体供給装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流入口が形成された容器流入部を備え、
前記気体供給装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流入部に接続されるように前記載置台に配置された給気部と、前記給気部に接続された給気配管と、前記給気配管を通って前記給気部に供給される前記気体の流量が規定の給気流量となるように、前記気体の流量を制御する給気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記給気部に接続される検査流入部と、前記検査流入部から流入した前記気体の流量である流入流量を測定する流入流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記給気流量と前記流入流量との差に基づいて、前記給気部と前記検査流入部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する。

この構成によれば、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置することで、給気配管、給気部、検査流入部の順に気体が流動する。このとき、給気部と検査流入部とが適切に接続されていない場合には、給気部と検査流入部とが適切に接続されている場合と比べて、給気流量が同一とすると、給気部と検査流入部との接続部分における気体の漏れ量が多くなるのに起因して流入流量が減少する。これにより、本構成によれば、給気流量と流入流量との差に基づいて、給気部と検査流入部とが適切に接続されているか否かを判定することができる。ここで、検査ユニットは、容器流入部の代わりに給気部に接続される検査流入部を備えている。そのため、上記のように、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置して、給気部と検査流入部とが適切に接続されているか否かを判定することにより、載置台の異常又は載置台における容器の位置ずれの有無を適切に検査できる。

ここで、前記載置台は、前記容器を前記載置台における規定の位置に案内する案内部を備え、
前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
前記検査流入部は、前記容器流入部と同じ形状及び構造を有していると好適である。

この構成によれば、検査ユニットを載置台に載置した場合に、載置台に載置された容器の容器被案内部が載置台の案内部により案内されるのと同様に、検査ユニットの検査被案内部が載置台の案内部により案内される。
また、本構成によれば、検査ユニットを載置台に載置した場合に、載置台に載置された容器の容器流入部に給気部が接続されるのと同様に、検査ユニットの検査流入部に給気部が接続される。
このように、本構成によれば、載置台に容器を載置している状況を精度良く再現した状態で、気体の流れの検査を行うことができる。

また、前記検査ユニットは、前記検査流入部に接続された流入配管を更に備え、
前記流入流量測定部は、前記流入配管を流動する前記気体の前記流入流量を測定し、
前記流入配管は、前記流入流量測定部による前記流入流量の測定箇所に対して下流側で大気開放されていると好適である。

一般的に、容器収容設備の容器は、当該容器の内部で気体が飽和状態となった後も気体の供給が維持されると、隙間から気体が漏れ出すように構成されている。つまり、気体の流動経路における容器流入部の下流側において大気開放されている。本構成によれば、流入配管が、流入流量測定部による流入流量の測定箇所に対して下流側で大気開放されている。これにより、載置台に容器を載置している状況を精度良く再現した状態で、気体の流れの検査を行うことができる。

また、前記容器収容設備は、前記載置台に載置された前記容器から前記気体の排出を行う気体排出装置を更に備え、
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を更に備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように、前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を更に備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定すると好適である。

この構成によれば、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置することで、検査流出部、排気部、排気配管の順に気体が流動する。このとき、排気部と検査流出部とが適切に接続されていない場合には、排気部と検査流出部とが適切に接続されている場合と比べて、排気流量が同一とすると、排気部と検査流出部との接続部分における気体の漏れ量が多くなるのに起因して流出流量が減少する。これにより、本構成によれば、排気流量と流出流量との差に基づいて、排気部と検査流出部とが適切に接続されているか否かを判定することができる。ここで、検査ユニットは、容器流出部の代わりに排気部に接続される検査流出部を備えている。そのため、上記のように、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置して、給気部と検査流入部とが適切に接続されているか否かを判定することに加えて、排気部と検査流出部とが適切に接続されているか否かも判定することにより、載置台の異常又は載置台における容器の位置ずれの有無をより詳細に検査できる。

検査システムは、
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器から気体の排出を行う気体排出装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する。

この構成によれば、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置することで、検査流出部、排気部、排気配管の順に気体が流動する。このとき、排気部と検査流出部とが適切に接続されていない場合には、排気部と検査流出部とが適切に接続されている場合と比べて、排気流量が同一とすると、排気部と検査流出部との接続部分における気体の漏れ量が多くなるのに起因して流出流量が減少する。これにより、本構成によれば、排気流量と流出流量との差に基づいて、排気部と検査流出部とが適切に接続されているか否かを判定することができる。ここで、検査ユニットは、容器流出部の代わりに排気部に接続される検査流出部を備えている。そのため、上記のように、容器の代わりに検査ユニットを載置台に載置して、排気部と検査流出部とが適切に接続されているか否かを判定することにより、載置台の異常又は載置台における容器の位置ずれの有無を適切に検査できる。

ここで、前記載置台は、前記容器を前記載置台における規定の位置に案内する案内部を備え、
前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
前記検査流出部は、前記容器流出部と同じ形状及び構造を有していると好適である。

この構成によれば、検査ユニットを載置台に載置した場合に、載置台に載置された容器の容器被案内部が載置台の案内部により案内されるのと同様に、検査ユニットの検査被案内部が載置台の案内部により案内される。
また、本構成によれば、検査ユニットを載置台に載置した場合に、載置台に載置された容器の容器流出部に排気部が接続されるのと同様に、検査ユニットの検査流出部に排気部が接続される。
このように、本構成によれば、載置台に容器を載置している状況を精度良く再現した状態で、気体の流れの検査を行うことができる。

また、前記検査ユニットは、前記検査流出部に接続された流出配管を更に備え、
前記流出流量測定部は、前記流出配管を流動する前記気体の前記流出流量を測定し、
前記流出配管は、前記流出流量測定部による前記流出流量の測定箇所に対して上流側で大気開放されていると好適である。

一般的に、容器収容設備の容器は、当該容器の内部で気体が飽和状態となった後も気体の供給が維持されると、隙間から気体が漏れ出すように構成されている。つまり、気体の流動経路における容器流出部の上流側において大気開放されている。本構成によれば、流出配管が、流出流量測定部による流出流量の測定箇所に対して上流側で大気開放されている。これにより、載置台に容器を載置している状況を精度良く再現した状態で、気体の流れの検査を行うことができる。

本開示に係る技術は、容器が載置される載置台、及び当該載置台に載置された容器に対して気体の供給を行う気体供給装置を備えた容器収容設備にて、気体の流れの検査を行う検査システムに利用することができる。

１００ ：検査システム
１０ ：容器収容設備
１ ：容器
１１ ：容器流入部
１２ ：容器流出部
２ ：載置台
３ ：気体供給装置
３１ ：給気部
３２ ：給気配管
３３ ：給気流量制御部
４ ：気体排出装置
４１ ：排気部
４２ ：排気配管
４３ ：排気流量制御部
５ ：検査ユニット
５１ ：検査流入部
５３ ：流入流量測定部
５４ ：検査流出部
５６ ：流出流量測定部
６ ：判定部

Claims (7)

1. 容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器に対して気体の供給を行う気体供給装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
   前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
   前記容器は、前記気体の流入口が形成された容器流入部を備え、
   前記気体供給装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流入部に接続されるように前記載置台に配置された給気部と、前記給気部に接続された給気配管と、前記給気配管を通って前記給気部に供給される前記気体の流量が規定の給気流量となるように、前記気体の流量を制御する給気流量制御部と、を備え、
   前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記給気部に接続される検査流入部と、前記検査流入部から流入した前記気体の流量である流入流量を測定する流入流量測定部と、を備え、
   前記判定部は、前記給気流量と前記流入流量との差に基づいて、前記給気部と前記検査流入部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定し、
   前記検査ユニットは、前記検査流入部に接続された流入配管を更に備え、
   前記流入流量測定部は、前記流入配管を流動する前記気体の前記流入流量を測定し、
   前記流入配管は、前記流入流量測定部による前記流入流量の測定箇所に対して下流側で大気開放されている、検査システム。
2. 前記載置台は、前記容器を前記載置台における規定の位置に案内する案内部を備え、
   前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
   前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
   前記検査流入部は、前記容器流入部と同じ形状及び構造を有している、請求項１に記載の検査システム。
3. 前記容器収容設備は、前記載置台に載置された前記容器から前記気体の排出を行う気体排出装置を更に備え、
   前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を更に備え、
   前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように、前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
   前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を更に備え、
   前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する、請求項１又は２に記載の検査システム。
4. 前記排気配管には、前記排気部から前記排気配管に向けた気流を生成する気流生成部が設けられている、請求項３に記載の検査システム。
5. 容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器から気体の排出を行う気体排出装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
   前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
   前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を備え、
   前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
   前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を備え、
   前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定し、
   前記検査ユニットは、前記検査流出部に接続された流出配管を更に備え、
   前記流出流量測定部は、前記流出配管を流動する前記気体の前記流出流量を測定し、
   前記流出配管は、前記流出流量測定部による前記流出流量の測定箇所に対して上流側で大気開放されている、検査システム。
6. 前記載置台は、前記容器を前記載置台における規定の位置に案内する案内部を備え、
   前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
   前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
   前記検査流出部は、前記容器流出部と同じ形状及び構造を有している、請求項５に記載の検査システム。
7. 前記排気配管には、前記排気部から前記排気配管に向けた気流を生成する気流生成部が設けられている、請求項５又は６に記載の検査システム。

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