JP2022169329A - 検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器に対して気体の供給を行う気体供給装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流入口が形成された容器流入部を備え、
前記気体供給装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流入部に接続されるように前記載置台に配置された給気部と、前記給気部に接続された給気配管と、前記給気配管を通って前記給気部に供給される前記気体の流量が規定の給気流量となるように、前記気体の流量を制御する給気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記給気部に接続される検査流入部と、前記検査流入部から流入した前記気体の流量である流入流量を測定する流入流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記給気流量と前記流入流量との差に基づいて、前記給気部と前記検査流入部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する点にある。
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器から気体の排出を行う気体排出装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する点にある。
(1)上記の実施形態では、判定部6が、給気部31と検査流入部51との接続部分における気体の漏れ状態と、排気部41と検査流出部54との接続部分における気体の漏れ状態との双方を判定する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、判定部6が、給気部31と検査流入部51との接続部分における気体の漏れ状態と、排気部41と検査流出部54との接続部分における気体の漏れ状態とのいずれか一方のみを判定する構成としても良い。
以下では、上記において説明した検査システムの概要について説明する。
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器に対して気体の供給を行う気体供給装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流入口が形成された容器流入部を備え、
前記気体供給装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流入部に接続されるように前記載置台に配置された給気部と、前記給気部に接続された給気配管と、前記給気配管を通って前記給気部に供給される前記気体の流量が規定の給気流量となるように、前記気体の流量を制御する給気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記給気部に接続される検査流入部と、前記検査流入部から流入した前記気体の流量である流入流量を測定する流入流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記給気流量と前記流入流量との差に基づいて、前記給気部と前記検査流入部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する。
前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
前記検査流入部は、前記容器流入部と同じ形状及び構造を有していると好適である。
また、本構成によれば、検査ユニットを載置台に載置した場合に、載置台に載置された容器の容器流入部に給気部が接続されるのと同様に、検査ユニットの検査流入部に給気部が接続される。
このように、本構成によれば、載置台に容器を載置している状況を精度良く再現した状態で、気体の流れの検査を行うことができる。
前記流入流量測定部は、前記流入配管を流動する前記気体の前記流入流量を測定し、
前記流入配管は、前記流入流量測定部による前記流入流量の測定箇所に対して下流側で大気開放されていると好適である。
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を更に備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように、前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を更に備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定すると好適である。
容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器から気体の排出を行う気体排出装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する。
前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
前記検査流出部は、前記容器流出部と同じ形状及び構造を有していると好適である。
また、本構成によれば、検査ユニットを載置台に載置した場合に、載置台に載置された容器の容器流出部に排気部が接続されるのと同様に、検査ユニットの検査流出部に排気部が接続される。
このように、本構成によれば、載置台に容器を載置している状況を精度良く再現した状態で、気体の流れの検査を行うことができる。
前記流出流量測定部は、前記流出配管を流動する前記気体の前記流出流量を測定し、
前記流出配管は、前記流出流量測定部による前記流出流量の測定箇所に対して上流側で大気開放されていると好適である。
10 :容器収容設備
1 :容器
11 :容器流入部
12 :容器流出部
2 :載置台
3 :気体供給装置
31 :給気部
32 :給気配管
33 :給気流量制御部
4 :気体排出装置
41 :排気部
42 :排気配管
43 :排気流量制御部
5 :検査ユニット
51 :検査流入部
53 :流入流量測定部
54 :検査流出部
56 :流出流量測定部
6 :判定部
Claims (7)
- 容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器に対して気体の供給を行う気体供給装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流入口が形成された容器流入部を備え、
前記気体供給装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流入部に接続されるように前記載置台に配置された給気部と、前記給気部に接続された給気配管と、前記給気配管を通って前記給気部に供給される前記気体の流量が規定の給気流量となるように、前記気体の流量を制御する給気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記給気部に接続される検査流入部と、前記検査流入部から流入した前記気体の流量である流入流量を測定する流入流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記給気流量と前記流入流量との差に基づいて、前記給気部と前記検査流入部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する、検査システム。 - 前記載置台は、前記容器を前記載置台における規定の位置に案内する案内部を備え、
前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
前記検査流入部は、前記容器流入部と同じ形状及び構造を有している、請求項1に記載の検査システム。 - 前記検査ユニットは、前記検査流入部に接続された流入配管を更に備え、
前記流入流量測定部は、前記流入配管を流動する前記気体の前記流入流量を測定し、
前記流入配管は、前記流入流量測定部による前記流入流量の測定箇所に対して下流側で大気開放されている、請求項1又は2に記載の検査システム。 - 前記容器収容設備は、前記載置台に載置された前記容器から前記気体の排出を行う気体排出装置を更に備え、
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を更に備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように、前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を更に備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する、請求項1から3のいずれか一項に記載の検査システム。 - 容器が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記容器から気体の排出を行う気体排出装置と、を備えた容器収容設備にて、前記気体の流れの検査を行う検査システムであって、
前記載置台に載置可能に構成された検査ユニットと、判定部と、を備え、
前記容器は、前記気体の流出口が形成された容器流出部を備え、
前記気体排出装置は、前記載置台に載置された前記容器の前記容器流出部に接続されるように前記載置台に配置された排気部と、前記排気部に接続された排気配管と、前記排気部から前記排気配管に流動する前記気体の流量が規定の排気流量となるように、前記気体の流量を制御する排気流量制御部と、を備え、
前記検査ユニットは、当該検査ユニットが前記載置台に載置された状態で前記排気部に接続される検査流出部と、前記検査流出部へ流動する前記気体の流量である流出流量を測定する流出流量測定部と、を備え、
前記判定部は、前記排気流量と前記流出流量との差に基づいて、前記排気部と前記検査流出部との接続部分における前記気体の漏れ状態を判定する、検査システム。 - 前記載置台は、前記容器を前記載置台における規定の位置に案内する案内部を備え、
前記容器は、前記案内部に案内される容器被案内部を備え、
前記検査ユニットは、前記容器被案内部と同じ形状及び構造を有し、前記案内部に案内される検査被案内部を備え、
前記検査流出部は、前記容器流出部と同じ形状及び構造を有している、請求項5に記載の検査システム。 - 前記検査ユニットは、前記検査流出部に接続された流出配管を更に備え、
前記流出流量測定部は、前記流出配管を流動する前記気体の前記流出流量を測定し、
前記流出配管は、前記流出流量測定部による前記流出流量の測定箇所に対して上流側で大気開放されている、請求項5又は6に記載の検査システム。
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