KR20220147534A - 검사 시스템 - Google Patents

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KR20220147534A
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가즈야 오모리
료 야마시타
나오토 오카와라
교헤이 미야마에
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

용기가 탑재되는 탑재대(2)와, 용기에 기체를 공급하는 기체 공급 장치(3)를 구비한 용기 수용 설비(10)에 있어서, 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템(100)은, 탑재대(2)에 탑재 가능한 검사 유닛(5)과, 판정부를 구비하고, 기체 공급 장치(3)는, 용기의 용기 유입부에 접속되도록 탑재대(2)에 배치된 급기부(31)와, 급기 배관(32)과, 급기 배관(32)을 통하여 급기부(31)에 공급되는 기체의 유량을 규정의 급기 유량으로 하는 급기 유량 제어부(33)를 구비하고, 검사 유닛(5)은, 급기부(31)에 접속되는 검사 유입부(51)와, 검사 유입부(51)로부터 유입된 기체의 유량인 유입 유량을 측정하는 유입 유량 측정부(53)를 구비하고, 판정부는, 급기 유량과 유입 유량의 차이에 기초하여, 급기부(31)와 검사 유입부(51)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태를 판정한다.

Description

검사 시스템{INSPECTION SYSTEM}
본 발명은, 용기가 탑재되는 탑재대, 및 상기 탑재대에 탑재된 용기에 대하여 기체의 공급을 행하는 기체 공급 장치를 구비한 용기 수용 설비에 있어서, 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템에 관한 것이다.
이와 같은 검사 시스템의 일례가, 일본공개특허 제2016-127228호 공보(이하, 「특허문헌 1」이라고 함)에 개시되어 있다. 이하, 배경기술의 설명에서는, 특허문헌 1에서의 부호를 괄호 내에 인용한다.
특허문헌 1에는, 탑재대(3)에 탑재된 용기(F)의 용기 유입부(24)에 접속되도록 탑재대(3)에 배치된 급기부(30)와, 상기 급기부에 접속된 급기 배관(34)과, 상기 급기 배관을 통하여 급기부(30)에 공급되는 기체의 유량을 제어하는 급기 유량 제어부(32)와, 탑재대(3)에 탑재된 용기(F)의 용기 유출부(26)에 접속되도록 탑재대(3)에 배치된 배기부(31)와, 상기 배기부에 접속된 배기 배관(35)을 구비한 용기 수용 설비(1)가 개시되어 있다. 그리고, 이 용기 수용 설비(1)에서 사용되는 검사 시스템은, 배기 배관(35)을 유동하는 기체의 유량을 검출하는 센서(33)를 구비하고 있다(특허문헌 1의 도 1 및 도 2 참조).
일본공개특허 제2016-127228호 공보
특허문헌 1의 용기(F)는, 일부가 개구한 본체부(21)와, 상기 본체부의 개구를 막도록 배치된 커버부(22)를 구비하고 있다. 이와 같은 용기(F)의 내부에 기체가 공급되는 경우, 용기(F)의 내부에서 기체가 포화 상태로 된 후에도 기체의 공급이 유지되면, 본체부(21)와 커버부(22)의 간극으로부터 기체가 누출된다. 이 때, 용기(F)가 파손되어 있는 경우 등에는, 기체의 누출량이 많아진다. 이것을 이용하여, 특허문헌 1의 검사 시스템은, 센서(33)에서 검출된 유량이, 규정의 임계값 이상인 경우에는 기체의 흐름이 정상인 것으로 판정하고, 상기한 임계값 미만인 경우에는 기체의 흐름이 이상인 것으로 판정한다.
그런데, 특허문헌 1의 검사 시스템은, 용기 유입부(24)에 급기부(30)가 적절하게 접속되어 있는고 또한, 용기 유출부(26)에 배기부(31)가 적절하게 접속되어 있는 것을 전제로 하여, 기체의 흐름의 검사를 행한 것이다. 이 때문에, 탑재대(3)의 이상이나 탑재대(3)에서의 용기(F)의 위치 어긋남에 기인하여, 용기 유입부(24)에 급기부(30)가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우, 또는, 용기 유출부(26)에 배기부(31)가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 기체의 흐름의 검사를 적절하게 행할 수 없다.
이에, 용기가 탑재되는 탑재대의 이상 또는 탑재대에서의 용기의 위치 어긋남의 유무를 적절하게 검사할 수 있는 검사 시스템의 실현이 기대된다.
상기를 감안한, 검사 시스템의 특징적 구성은,
용기가 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기에 대하여 기체의 공급을 행하는 기체 공급 장치를 구비한 용기 수용 설비에 있어서, 상기 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템으로서,
상기 탑재대에 탑재 가능하게 구성된 검사 유닛과, 판정부를 구비하고,
상기 용기는, 상기 기체의 유입구가 형성된 용기 유입부를 구비하고,
상기 기체 공급 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유입부에 접속되도록 상기 탑재대에 배치된 급기부와, 상기 급기부에 접속된 급기 배관과, 상기 급기 배관을 통하여 상기 급기부에 공급되는 상기 기체의 유량이 규정의 급기 유량이 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 급기 유량 제어부를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 급기부에 접속되는 검사 유입부와, 상기 검사 유입부로부터 유입된 상기 기체의 유량인 유입 유량을 측정하는 유입 유량 측정부를 구비하고,
상기 판정부는, 상기 급기 유량과 상기 유입 유량의 차이에 기초하여, 상기 급기부와 상기 검사 유입부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정하는 점에 있다.
이 특징적 구성에 의하면, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재함으로써, 급기 배관, 급기부, 검사 유입부의 순서로 기체가 유동한다. 이 때, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있는 경우와 비교하여, 급기 유량이 동일하다고 하면, 급기부와 검사 유입부의 접속 부분에서의 기체의 누출량이 많아지는 것에도 기인하여 유입 유량이 감소한다. 이로써, 본 특징적 구성에 의하면, 급기 유량과 유입 유량의 차이에 기초하여, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다. 여기서, 검사 유닛은, 용기 유입부 대신 급기부에 접속되는 검사 유입부를 구비하고 있다. 이 때문에, 상기한 바와 같이, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재하여, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정함으로써, 탑재대의 이상 또는 탑재대에서의 용기의 위치 어긋남의 유무를 적절하게 검사할 수 있다.
또한, 검사 시스템의 특징적 구성은,
용기가 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기로부터 기체의 배출을 행하는 기체 배출 장치를 구비한 용기 수용 설비에 있어서, 상기 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템으로서,
상기 탑재대에 탑재 가능하게 구성된 검사 유닛과, 판정부를 구비하고,
상기 용기는, 상기 기체의 유출구가 형성된 용기 유출부를 구비하고,
상기 기체 배출 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유출부에 접속되도록 상기 탑재대에 배치된 배기부와, 상기 배기부에 접속된 배기 배관과, 상기 배기부로부터 상기 배기 배관으로 유동하는 상기 기체의 유량이 규정의 배기 유량이 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 배기 유량 제어부를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 배기부에 접속되는 검사 유출부와, 상기 검사 유출부에 유동하는 상기 기체의 유량인 유출 유량을 측정하는 유출 유량 측정부를 구비하고,
상기 판정부는, 상기 배기 유량과 상기 유출 유량의 차이에 기초하여, 상기 배기부와 상기 검사 유출부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정하는 점에 있다.
이 특징적 구성에 의하면, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재함으로써, 검사 유출부, 배기부, 배기 배관의 순서로 기체가 유동한다. 이 때, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는 경우와 비교하여, 배기 유량이 동일하다고 하면, 배기부와 검사 유출부의 접속 부분에서의 기체의 누출량이 많아지는 것에도 기인하여 유출 유량이 감소한다. 이로써, 본 특징적 구성에 의하면, 배기 유량과 유출 유량의 차이에 기초하여, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다. 여기서, 검사 유닛은, 용기 유출부 대신 배기부에 접속되는 검사 유출부를 구비하고 있다. 이 때문에, 상기한 바와 같이, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재하여, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정함으로써, 탑재대의 이상 또는 탑재대에서의 용기의 위치 어긋남의 유무를 적절하게 검사할 수 있다.
도 1은 실시형태에 따른 용기 수용 설비의 개략 구성을 나타낸 모식도이다.
도 2는 실시형태에 따른 검사 시스템의 개략 구성을 나타낸 모식도이다.
도 3은 실시형태에 따른 검사 시스템의 블록도이다.
도 4는 실시형태에 따른 판정부에 의한 판정 처리의 일례를 나타낸 흐름도이다.
도 5는 실시형태에 따른 판정부에 의한 판정 처리의 일례를 나타낸 흐름도이다.
이하에서는, 실시형태에 따른 검사 시스템(100)에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 검사 시스템(100)은, 용기 수용 설비(10)에서 기체의 흐름의 검사를 행하는 시스템이다.
먼저, 용기 수용 설비(10)에 대하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 용기 수용 설비(10)는, 용기(1)가 탑재되는 탑재대(2)와, 상기 탑재대(2)에 탑재된 용기(1)에 대하여 기체의 공급을 행하는 기체 공급 장치(3)와, 탑재대(2)에 탑재된 용기(1)로부터 기체의 배출을 행하는 기체 배출 장치(4)를 구비하고 있다.
용기(1)는, 내부에 규정의 기체(예를 들면, 질소 가스, 청정 공기 등)를 공급 가능하게 구성된 밀폐 용기다. 본 실시형태에서는, 용기(1)는, 상기 용기(1)가 탑재대(2)에 탑재된 경우에 상기 탑재대(2)에 대향하는 바닥부(1a)를 구비하고 있다. 본 예에서는, 용기(1)는, FOUP(Front Opening Unified Pod)로 칭해지는 정면개구식의 밀폐 용기이다.
본 실시형태에서는, 용기(1)는, 기체의 유입구가 형성된 용기 유입부(11)와,기체의 유출구가 형성된 용기 유출부(12)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 용기 유입부(11) 및 용기 유출부(12)는, 용기(1)의 바닥부(1a)를 수직 방향(도 1에서의 상하 방향)으로 관통한 상태로, 바닥부(1a)에 고정되어 있다. 즉, 용기 유입부(11) 및 용기 유출부(12)는, 용기(1)의 내부와 외부를 연통하도록 배치되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 본 실시형태에서는, 복수의 용기 유입부(11)와, 복수의 용기 유출부(12)가 설치되어 있다.
탑재대(2)는, 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 탑재대(2)는, 수평 방향(도 1에서의 좌우 방향)으로 연장되는 판형으로 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 도시는 생략하지만, 복수의 탑재대(2)가 수직 방향 및 수평 방향으로 나란히 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 탑재대(2)는, 용기(1)를 탑재대(2)에서의 규정의 위치로 안내하는 안내부(21)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 안내부(21)는, 탑재대(2)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출되도록 형성된 복수의 핀(211)을 포함한다.
본 실시형태에서는, 용기(1)는, 탑재대(2)의 안내부(21)에 안내되는 용기 피안내부(13)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 용기 피안내부(13)는, 복수의 핀(211)에 각각 걸어맞추어지는 복수의 용기 오목부(131)를 포함한다. 복수의 용기 오목부(131)는, 용기(1)의 바닥부(1a)의 하면이 위쪽으로 오목하도록 형성되어 있다.
기체 공급 장치(3)는, 급기부(31)와, 급기 배관(32)과, 급기 유량 제어부(33)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 탑재대(2)의 각각에 대하여, 복수의 급기부(31), 급기 배관(32), 및 급기 유량 제어부(33)가 설치되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 급기부(31)가 탑재대(2)의 개수의 배수가 설치되고, 급기 배관(32) 및 급기 유량 제어부(33)의 각각이 탑재대(2)와 동일한 개수 설치되어 있다.
급기부(31)는, 탑재대(2)에 탑재된 용기(1)의 용기 유입부(11)에 접속 가능하게 구성되어 있다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수의 용기 유입부(11)가 설치되어서 있으므로, 복수의 용기 유입부(11)의 각각에 대응하도록, 용기 유입부(11)와 동일한 개수의 급기부(31)가 설치되어 있다. 급기부(31)는, 탑재대(2)에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 급기부(31)는, 탑재대(2)로부터 위쪽으로 돌출한 상태로, 탑재대(2)에 고정되어 있다. 용기(1)가 탑재대(2)에 탑재되면, 상기 용기(1)의 용기 유입부(11)와 상기 탑재대(2)에 배치된 급기부(31)가 서로 연통된 상태가 된다.
급기 배관(32)은, 급기부(31)에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 급기 배관(32)은, 복수의 급기부(31)에 접속되도록 분기되어 있다. 급기 배관(32)은, 공급원(도시 생략)으로부터 방출된 기체가 급기부(31)를 향하여 유동하도록 구성되어 있다. 이 때문에, 급기부(31)에 용기 유입부(11)가 접속된 경우, 공급원으로부터 방출된 기체가, 급기 배관(32), 급기부(31), 용기 유입부(11)의 순서로 유동하여, 용기(1)의 내부에 공급된다. 그리고, 본 실시형태에서는, 용기 유입부(11)는, 스프링 등의 가압체에 의해 폐쇄 상태가 되도록 가압된 유입용 개폐 밸브(도시 생략)를 구비하고 있다. 그리고, 급기부(31)에 용기 유입부(11)가 접속된 상태에서, 상기 용기 유입부(11)로부터 기체가 분출되면, 상기 기체의 압력에 의해 유입용 개폐 밸브가 열린 상태가 되어, 기체가 용기(1)의 내부에 공급된다.
급기 유량 제어부(33)는, 급기 배관(32)을 통하여 급기부(31)에 공급되는 기체의 유량이 규정의 급기 유량 Qm1가 되도록, 기체의 유량을 제어한다. 본 예에서는, 급기 유량 제어부(33)는, 급기 배관(32)을 유동하는 기체의 질량 유량을 측정하여, 상기 질량 유량을 제어하는 매스플로우콘트롤러(Mass Flow Controller)이다.
기체 배출 장치(4)는, 배기부(41)와, 배기 배관(42)과, 배기 유량 제어부(43)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 탑재대(2)의 각각에 대하여, 복수의 배기부(41), 배기 배관(42), 및 배기 유량 제어부(43)가 설치되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 배기부(41)가 탑재대(2)의 개수의 배수로 설치되고, 배기 배관(42) 및 배기 유량 제어부(43)의 각각이 탑재대(2)와 동일한 개수 설치되어 있다.
배기부(41)는, 탑재대(2)에 탑재된 용기(1)의 용기 유출부(12)에 접속 가능하게 구성되어 있다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수의 용기 유출부(12)가 설치되어서 있으므로, 복수의 용기 유출부(12)의 각각에 대응하도록, 용기 유출부(12)와 동일한 개수의 배기부(41)가 설치되어 있다. 배기부(41)는, 탑재대(2)에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 배기부(41)는, 탑재대(2)로부터 위쪽으로 돌출한 상태에서, 탑재대(2)에 고정되어 있다. 용기(1)가 탑재대(2)에 탑재되면, 상기 용기(1)의 용기 유출부(12)와 상기 탑재대(2)에 배치된 배기부(41)가 서로 연통된 상태가 된다.
배기 배관(42)은, 배기부(41)에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 배기 배관(42)은, 복수의 배기부(41)에 접속되도록 분기되어 있다. 배기 배관(42)은, 배기부(41)로부터 배기된 기체가 유동하도록 구성되어 있다. 배기 배관(42)에는, 배기부(41)로부터 배기 배관(42)을 향한 기류를 생성하는 기류 생성부(45)가 설치되어 있다. 본 예에서는, 기류 생성부(45)는, 유체를 고속으로 분사함으로써 부압(負壓)을 생성시키는 이젝터이다.
배기부(41)에 용기 유출부(12)가 접속된 상태에서, 기류 생성부(45)에 의해 기류가 생성된 경우, 용기(1)의 내부의 기체가, 용기 유출부(12), 배기부(41), 배기 배관(42)의 순서로 유동하여, 용기(1)의 내부로부터 배출된다. 그리고, 본 실시형태에서는, 용기 유출부(12)는, 스프링 등의 가압체에 의해 폐쇄 상태가 되도록 가압된 유출용 개폐 밸브(도시 생략)를 구비하고 있다. 그리고, 배기부(41)에 용기 유출부(12)가 접속된 상태에서, 기류 생성부(45)에 의해 기류가 생성되면, 용기(1)의 내부의 기체의 압력에 의해 유출용 개폐 밸브가 열린 상태가 되어, 용기(1)의 내부의 기체가 용기 유출부(12)를 통하여 배기 배관(42)으로 유동한다.
배기 유량 제어부(43)는, 배기부(41)로부터 배기 배관(42)으로 유동하는 기체의 유량이 규정의 배기 유량 Qm3가 되도록, 기체의 유량을 제어한다. 본 실시형태에서는, 배기 유량 제어부(43)는, 배기 배관(42)에서의 기류 생성부(45)보다 상류 측에 배치되어 있다. 본 예에서는, 배기 유량 제어부(43)는, 배기 배관(42)을 유동하는 기체의 유량을 측정하는 유량계와, 배기 배관(42)을 유동하는 기체의 유량을 조정하는 니들 밸브를 구비하고 있다.
다음으로, 검사 시스템(100)에 대하여 설명한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 검사 시스템(100)은, 탑재대(2)에 탑재 가능하게 구성된 검사 유닛(5)을 구비하고 있다.
본 실시형태에서는, 검사 유닛(5)은, 검사 유입부(51)와, 유입 배관(52)과, 유입 유량 측정부(53)와, 검사 유출부(54)와, 유출 배관(55)과, 유출 유량 측정부(56)를 구비하고 있다.
검사 유입부(51)는, 검사 유닛(5)이 탑재대(2)에 탑재된 상태에서 급기부(31)에 접속된다. 검사 유출부(54)는, 검사 유닛(5)이 탑재대(2)에 탑재된 상태에서 배기부(41)에 접속된다. 검사 유닛(5)이 탑재대(2)에 탑재되면, 상기 탑재대(2)에 배치된 급기부(31)와 검사 유입부(51)가 서로 연통된 상태가 되고 또한, 상기 탑재대(2)에 배치된 배기부(41)와 검사 유출부(54)가 서로 연통된 상태가 된다.
본 실시형태에서는, 검사 유입부(51)는, 용기 유입부(11)와 동일한 형상 및 구조를 가지고 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서는, 검사 유입부(51)도 상기 한 유입용 개폐 밸브를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 용기 유입부(11)와 동일한 개수의 검사 유입부(51)가 설치되어 있다. 그리고, 이 복수의 검사 유입부(51)의 서로의 위치 관계가, 복수의 용기 유입부(11)의 서로의 위치 관계와 동일하게 되도록, 복수의 검사 유입부(51)가 배치되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 검사 유출부(54)는, 용기 유출부(12)와 동잃한 형상 및 구조를 가지고 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서는, 검사 유출부(54)도 상기한 유출용 개폐 밸브를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 용기 유출부(12)와 동일한 개수의 검사 유출부(54)가 설치되어 있다. 그리고, 이 복수의 검사 유출부(54)의 서로의 위치 관계가, 복수의 용기 유출부(12)의 서로의 위치 관계와 동일하게 되도록, 복수의 검사 유출부(54)가 배치되어 있다.
유입 배관(52)은, 검사 유입부(51)에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 유입 배관(52)은, 복수의 검사 유입부(51)에 접속되도록 분기되어 있다. 유출 배관(55)은, 검사 유출부(54)에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 유출 배관(55)은, 복수의 검사 유출부(54)에 접속되도록 분기되어 있다.
유입 유량 측정부(53)는, 검사 유입부(51)로부터 유입된 기체의 유량인 유입 유량 Qm2를 측정 가능하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 유입 유량 측정부(53)는, 유입 배관(52)을 유동하는 기체의 유입 유량 Qm2를 측정한다. 본 예에서는, 유입 유량 측정부(53)는, 유입 배관(52)을 유동하는 기체의 질량 유량을 측정하는 매스플로우미터(Mass Flow Meter)이다.
유출 유량 측정부(56)는, 검사 유출부(54)에 유동하는 기체의 유량인 유출 유량 Qm4를 측정 가능하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 유출 유량 측정부(56)는, 유출 배관(55)을 유동하는 기체의 유출 유량 Qm4를 측정한다. 본 예에서는, 유출 유량 측정부(56)는, 유출 배관(55)을 유동하는 기체의 유량을 측정하는 유량계와, 유출 배관(55)을 유동하는 기체의 유량을 조정하는 니들 밸브를 구비하고 있다.
본 실시형태에서는, 유입 배관(52)은, 유입 유량 측정부(53)에 의한 유입 유량 Qm2의 측정 개소에 대하여 하류 측에서 대기 개방되어 있다. 이 때문에, 본 실시형태에서는, 급기부(31)에 검사 유입부(51)가 접속된 경우, 공급원으로부터 방출된 기체가, 급기 배관(32), 급기부(31), 검사 유입부(51), 유입 배관(52)의 순서로유동한 후, 대기로 방출된다.
또한, 본 실시형태에서는, 유출 배관(55)은, 유출 유량 측정부(56)에 의한 유출 유량 Qm4의 측정 개소에 대하여 상류 측에서 대기 개방되어 있다. 이 때문에, 본 실시형태에서는, 배기부(41)에 검사 유출부(54)가 접속된 상태에서, 기류 생성부(45)에 의해 기류가 생성된 경우, 유출 배관(55)에서의 대기 개방된 부분의 주위의 기체가 유출 배관(55)에 흡인된 후, 검사 유출부(54), 배기부(41), 배기 배관(42)의 순서로 유동한다.
본 실시형태에서는, 검사 유닛(5)은, 탑재대(2)에 탑재되는 기부(基部)(5a)를 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 기부(5a)는, 수평 방향(도 2에서의 좌우 방향)으로 연장되는 판형으로 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 검사 유입부(51) 및 검사 유출부(54)는, 기부(5a)를 수직 방향(도 2에서의 상하 방향)으로 관통한 상태에서, 기부(5a)에 고정되어 있다. 또한, 유입 유량 측정부(53) 및 유출 유량 측정부(56)는, 기부(5a)에 탑재된 상태에서, 기부(5a)에 고정되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 검사 유닛(5)은, 탑재대(2)의 안내부(21)에 안내되는 검사 피안내부(59)를 구비하고 있다. 검사 피안내부(59)는, 용기 피안내부(13)와 동잃한 형상 및 구조를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 검사 피안내부(59)는, 탑재대(2)에서의 복수의 핀(211)에 각각 걸어맞추어지는 복수의 검사 오목부(591)를 포함한다. 복수의 검사 오목부(591)는, 검사 유닛(5)의 기부(5a)의 하면이 위쪽으로 오목하도록 형성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 검사 시스템(100)은, 판정부(6)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 판정부(6)는, 급기 유량 제어부(33), 유입 유량 측정부(53), 배기 유량 제어부(43), 및 유출 유량 측정부(56)와 통신 가능하도록 구성되어 있다. 판정부(6)는, 예를 들면, 용기 수용 설비(10)의 제어 유닛(도시 생략)에 구비되면 바람직하다. 혹은, 판정부(6)는, 검사 유닛(5)에 구비되어 있어도 된다.
판정부(6)는, 급기 유량 제어부(33)로부터 급기 유량 Qm1을 취득하고 또한, 유입 유량 측정부(53)로부터 유입 유량 Qm2를 취득한다. 그리고, 판정부(6)는, 급기 유량 Qm1과 유입 유량 Qm2의 차이에 기초하여, 급기부(31)와 검사 유입부(51)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태를 판정한다.
검사 유닛(5)이 탑재대(2)에 탑재된 상태에 있어서, 급기부(31)와 검사 유입부(51)가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 급기부(31)와 검사 유입부(51)가 적절하게 접속되어 있는 경우와 비교하여, 급기 유량 Qm1이 동일하다고 하면, 급기부(31)와 검사 유입부(51)의 접속 부분에서의 기체의 누출량이 많아지는 것에도 기인하여 유입 유량 Qm2가 감소한다. 이로써, 급기 유량 Qm1과 유입 유량 Qm2의 차이에 기초하여, 급기부(31)와 검사 유입부(51)가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다. 여기서, 검사 유닛(5)은, 용기 유입부(11) 대신 급기부(31)에 접속되는 검사 유입부(51)를 구비하고 있다. 이 때문에, 상기한 바와 같이, 용기(1) 대신 검사 유닛(5)을 탑재대(2)에 탑재하여, 급기부(31)와 검사 유입부(51)가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정함으로써, 탑재대(2)의 이상 또는 탑재대(2)에서의 용기(1)의 위치 어긋남의 유무를 적절하게 검사할 수 있다.
본 실시형태에서는, 판정부(6)는, 배기 유량 제어부(43)로부터 배기 유량 Qm3를 취득하고 또한, 유출 유량 측정부(56)로부터 유출 유량 Qm4를 취득한다. 그리고, 판정부(6)는,배기 유량 Qm3와 유출 유량 Qm4의 차이에 기초하여, 배기부(41)와 검사 유출부(54)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태를 판정한다.
검사 유닛(5)이 탑재대(2)에 탑재된 상태에 있어서, 배기부(41)와 검사 유출부(54)가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 배기부(41)와 검사 유출부(54)가 적절하게 접속되어 있는 경우와 비교하여, 배기 유량 Qm3가 동일하다고 하면, 배기부(41)와 검사 유출부(54)의 접속 부분에서의 기체의 누출량이 많아지는 것에도 기인하여 유출 유량 Qm4가 감소한다. 이로써, 배기 유량 Qm3와 유출 유량 Qm4의 차이에 기초하여, 배기부(41)와 검사 유출부(54)가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다. 여기서, 검사 유닛(5)은, 용기 유출부(12) 대신 배기부(41)에 접속되는 검사 유출부(54)를 구비하고 있다. 이 때문에, 상기한 바와 같이, 용기(1) 대신 검사 유닛(5)을 탑재대(2)에 탑재하여, 배기부(41)와 검사 유출부(54)가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정함으로써, 탑재대(2)의 이상 또는 탑재대(2)에서의 용기(1)의 위치 어긋남의 유무를 적절하게 검사할 수 있다.
이하에서는, 판정부(6)에 의한 판정 처리에 대하여, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. 도 4 및 도 5의 각각은, 판정부(6)에 의한 판정 처리의 일례를 나타낸 흐름도이다. 구체적으로는, 도 4는, 판정부(6)가 급기부(31)와 검사 유입부(51)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태를 판정하는 처리의 일례를 나타낸 흐름도이다. 그리고, 도 5는, 판정부(6)가 배기부(41)와 검사 유출부(54)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태를 판정하는 처리의 일례를 나타낸 흐름도이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 급기의 판정에 있어서, 먼저, 판정부(6)는, 급기 유량 제어부(33)로부터 급기 유량 Qm1을 취득한다(단계 #1). 다음으로, 판정부(6)는, 유입 유량 측정부(53)로부터 유입 유량 Qm2를 취득한다(단계 #2).
계속하여, 판정부(6)는, 급기 유량 Qm1과 유입 유량 Qm2의 차이가 규정의 제1 임계값 TH1 미만(|Qm1-Qm2|<TH1)인지의 여부를 판단한다(단계 #3).
판정부(6)는, 급기 유량 Qm1과 유입 유량 Qm2의 차이가 제1 임계값 TH1 미만(|Qm1-Qm2|<TH1)인 것으로 판단한 경우(단계 #3: Yes), 급기부(31)와 검사 유입부(51)가 적절하게 접속되어, 급기가 정상적으로 행해지고 있는 것으로 판정한다(단계 #4).
한편, 판정부(6)는, 급기 유량 Qm1과 유입 유량 Qm2의 차이가 제1 임계값 TH1 이상(|Qm1-Qm2|≥TH1)인 것으로 판단한 경우(단계 #3: No), 급기부(31)와 검사 유입부(51)가 적절하게 접속되고 있지 않고, 급기에 이상이 생기고 있는 것으로 판정한다(단계 #5).
도 5에 나타낸 바와 같이, 배기의 판정에 있어서, 먼저, 판정부(6)는, 배기 유량 제어부(43)로부터 배기 유량 Qm3를 취득한다(단계 #11). 다음으로, 판정부(6)는, 유출 유량 측정부(56)로부터 유출 유량 Qm4를 취득한다(단계 #12).
계속해서, 판정부(6)는, 배기 유량 Qm3와 유출 유량 Qm4의 차이가 규정의 제2 임계값 TH2 미만(|Qm3-Qm4|<TH2)인지의 여부를 판단한다(단계 #13).
판정부(6)는,배기 유량 Qm3와 유출 유량 Qm4과 차이가 제2 임계값 TH2 미만(|Qm3-Qm4|<TH2)인 것으로 판단한 경우(단계 #13: Yes), 배기부(41)와 검사 유출부(54)가 적절하게 접속되어, 배기가 정상적으로 행해지고 있는 것으로 판정한다(단계 #14).
한편, 판정부(6)는, 배기 유량 Qm3와 유출 유량 Qm4의 차이가 제2 임계값 TH2 이상(|Qm3-Qm4|≥TH2)인 것으로 판단한 경우(단계 #13: No), 배기부(41)와 검사 유출부(54)가 적절하게 접속되고 있지 않고, 배기에 이상이 생기고 있는 것으로 판정한다(단계 #15).
[그 외의 실시형태]
(1) 상기한 실시형태에서는, 판정부(6)가, 급기부(31)와 검사 유입부(51)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태와, 배기부(41)와 검사 유출부(54)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태의 양쪽을 판정하는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 그러한 구성으로 한정되지 않고, 판정부(6)가, 급기부(31)와 검사 유입부(51)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태와, 배기부(41)와 검사 유출부(54)의 접속 부분에서의 기체의 누설 상태 중 어느 한쪽만을 판정하는 구성으로 해도 된다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 기체 공급 장치(3)가 복수의 급기부(31)를 구비한 구성을 예로서 설명하였으나, 급기부(31)의 개수는 한정되지 않는다. 예를 들면, 기체 공급 장치(3)가 급기부(31)를 1개만 구비한 구성이라도 된다. 이 구성에서는, 용기(1)가 용기 유입부(11)를 1개만 구비하고 있고 또한, 검사 유닛(5)이 검사 유입부(51)를 1개만 구비하고 있으면 바람직하다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 기체 배출 장치(4)가 복수의 배기부(41)를 구비한 구성을 예로서 설명하였으나, 배기부(41)의 개수는 한정되지 않는다. 예를 들면, 기체 배출 장치(4)가 배기부(41)를 1개만 구비한 구성이라도 된다. 이 구성에서는, 용기(1)가 용기 유출부(12)를 1개만 구비하고 있고 또한, 검사 유닛(5)이 검사 유출부(54)를 1개만 구비하고 있으면 바람직하다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 탑재대(2)가 안내부(21)로서의 복수의 핀(211)을 구비하고, 용기(1)가 용기 피안내부(13)로서의 복수의 용기 오목부(131)를 구비한 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 그러한 구성으로 한정되지 않고, 예를 들면, 탑재대(2)가 안내부(21)로서, 용기(1)에 측방으로부터 맞닿아 상기 용기(1)의 수평 방향의 이동을 규제하는 규제 부재를 구비한 구성으로 해도 된다. 이 구성에서는, 규제 부재가, 검사 유닛(5)의 일부(예를 들면, 기부(5a))에 측방으로부터 맞닿아, 검사 유닛(5)의 수평 방향의 이동을 규제하면 바람직하다. 또한, 탑재대(2)가 안내부(21)를 구비하지 않고, 용기(1)가 용기 피안내부(13)를 구비하지 않고 있는 구성으로 해도 된다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 검사 유입부(51)가 용기 유입부(11)와 동일한 형상 및 구조를 가지는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 그러한 구성으로 한정되지 않고, 검사 유입부(51)와 용기 유입부(11)의 형상 및 구조 중 적어도 일부가 상이해도 된다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 검사 유출부(54)가 용기 유출부(12)와 동일한 형상 및 구조를 가지는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 그러한 구성으로 한정되지 않고, 검사 유출부(54)와 용기 유출부(12)의 형상 및 구조 중 적어도 일부가 상이해도 된다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 유입 배관(52)이 유입 유량 측정부(53)에 의한 유입 유량 Qm2의 측정 개소에 대하여 하류 측에서 대기 개방되고, 유출 배관(55)이 유출 유량 측정부(56)에 의한 유출 유량 Qm4의 측정 개소에 대하여 상류 측에서 대기 개방되어 있는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 그러한 구성으로 한정되지 않고, 예를 들면, 유입 배관(52)에서의 유입 유량 측정부(53)에 의한 유입 유량 Qm2의 측정 개소에 대하여 하류 측의 부분과, 유출 배관(55)에서의 유출 유량 측정부(56)에 의한 유출 유량 Qm4의 측정 개소에 대하여 상류 측의 부분이, 이들 배관과는 상이한 접속 배관에 접속되고, 상기 접속 배관이 대기 개방되어 있는 구성으로 해도 된다. 혹은, 유입 배관(52)과 유출 배관(55)이 접속 배관에 의해 서로 접속되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서, 접속 배관이, 분기하여 상기 분기 부분이 대기 개방되어 있어도 된다.
(6) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 대해서도, 본명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절하게, 다양한 개변을 행할 수 있다.
[상기 실시형태의 개요]
이하에서는, 상기에 있어서 설명한 검사 시스템의 개요에 대하여 설명한다.
검사 시스템은,
용기가 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기에 대하여 기체의 공급을 행하는 기체 공급 장치를 구비한 용기 수용 설비에 있어서, 상기 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템으로서,
상기 탑재대에 탑재 가능하게 구성된 검사 유닛과, 판정부를 구비하고,
상기 용기는, 상기 기체의 유입구가 형성된 용기 유입부를 구비하고,
상기 기체 공급 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유입부에 접속되도록 상기 탑재대에 배치된 급기부와, 상기 급기부에 접속된 급기 배관과, 상기 급기 배관을 통하여 상기 급기부에 공급되는 상기 기체의 유량이 규정의 급기 유량이 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 급기 유량 제어부를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 급기부에 접속되는 검사 유입부와, 상기 검사 유입부로부터 유입된 상기 기체의 유량인 유입 유량을 측정하는 유입 유량 측정부를 구비하고,
상기 판정부는, 상기 급기 유량과 상기 유입 유량의 차이에 기초하여, 상기 급기부와 상기 검사 유입부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정한다.
이 구성에 의하면, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재함으로써, 급기 배관, 급기부, 검사 유입부의 순서로 기체가 유동한다. 이 때, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있는 경우와 비교하여, 급기 유량이 동일하다고 하면, 급기부와 검사 유입부의 접속 부분에서의 기체의 누출량이 많아지는 것에도 기인하여 유입 유량이 감소한다. 이로써, 본 구성에 의하면, 급기 유량과 유입 유량의 차이에 기초하여, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다. 여기서, 검사 유닛은, 용기 유입부 대신 급기부에 접속되는 검사 유입부를 구비하고 있다. 이 때문에, 상기한 바와 같이, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재하여, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정함으로써, 탑재대의 이상 또는 탑재대에서의 용기의 위치 어긋남의 유무를 적절하게 검사할 수 있다.
여기서, 상기 탑재대는, 상기 용기를 상기 탑재대에서의 규정의 위치에 안내하는 안내부를 구비하고,
상기 용기는, 상기 안내부에 안내되는 용기 피안내부를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 용기 피안내부와 동일한 형상 및 구조를 가지고, 상기 안내부에 안내되는 검사 피안내부를 구비하고,
상기 검사 유입부는, 상기 용기 유입부와 동일한 형상 및 구조를 가지고 있으면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 검사 유닛을 탑재대에 탑재한 경우에, 탑재대에 탑재된 용기의 용기 피안내부가 탑재대의 안내부에 의해 안내되는 것과 동일하게, 검사 유닛의 검사 피안내부가 탑재대의 안내부에 의해 안내된다.
또한, 본 구성에 의하면, 검사 유닛을 탑재대에 탑재한 경우에, 탑재대에 탑재된 용기의 용기 유입부에 급기부가 접속되는 것과 동일하게, 검사 유닛의 검사 유입부에 급기부가 접속된다.
이와 같이, 본 구성에 의하면, 탑재대에 용기를 탑재하고 있는 상황을 양호한 정밀도로 재현한 상태에서, 기체의 흐름의 검사를 행할 수 있다.
또한, 상기 검사 유닛은, 상기 검사 유입부에 접속된 유입 배관을 더 구비하고,
상기 유입 유량 측정부는, 상기 유입 배관을 유동하는 상기 기체의 상기 유입 유량을 측정하고,
상기 유입 배관은, 상기 유입 유량 측정부에 의한 상기 유입 유량의 측정 개소에 대하여 하류 측에서 대기 개방되어 있으면 바람직하다.
일반적으로, 용기 수용 설비의 용기는, 상기 용기의 내부에서 기체가 포화 상태가 된 후애도 기체의 공급이 유지되면, 간극으로부터 기체가 누출되도록 구성되어 있다. 즉, 기체의 유동 경로에서의 용기 유입부의 하류 측에 있어서 대기 개방되어 있다. 본 구성에 의하면, 유입 배관이, 유입 유량 측정부에 의한 유입 유량의 측정 개소에 대하여 하류 측에서 대기 개방되어 있다. 이로써, 탑재대에 용기를 탑재하고 있는 상황을 양호한 정밀도로 재현한 상태에서, 기체의 흐름의 검사를 행할 수 있다.
또한, 상기 용기 수용 설비는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기로부터 상기 기체의 배출을 행하는 기체 배출 장치를 더 구비하고,
상기 용기는, 상기 기체의 유출구가 형성된 용기 유출부를 더 구비하고,
상기 기체 배출 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유출부에 접속되도록, 상기 탑재대에 배치된 배기부와, 상기 배기부에 접속된 배기 배관과, 상기 배기부로부터 상기 배기 배관으로 유동하는 상기 기체의 유량이 규정의 배기 유량으로 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 배기 유량 제어부를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 배기부에 접속되는 검사 유출부와, 상기 검사 유출부로 유동하는 상기 기체의 유량인 유출 유량을 측정하는 유출 유량 측정부를 더 구비하고,
상기 판정부는, 상기 배기 유량과 상기 유출 유량의 차이에 기초하여, 상기 배기부와 상기 검사 유출부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재함으로써, 검사 유출부, 배기부, 배기 배관의 순서로 기체가 유동한다. 이 때, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는 경우와 비교하여, 배기 유량이 동일하다고 하면, 배기부와 검사 유출부의 접속 부분에서의 기체의 누출량이 많아지는 것에도 기인하여 유출 유량이 감소한다. 이로써, 본 구성에 의하면, 배기 유량과 유출 유량의 차이에 기초하여, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다. 여기서, 검사 유닛은, 용기 유출부 대신 배기부에 접속되는 검사 유출부를 구비하고 있다. 이 때문에, 상기한 바와 같이, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재하여, 급기부와 검사 유입부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정하는 것에 더하여, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부도 판정함으로써, 탑재대의 이상 또는 탑재대에서의 용기의 위치 어긋남의 유무를 더욱 상세하게 검사할 수 있다.
검사 시스템은,
용기가 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기로부터 기체의 배출을 행하는 기체 배출 장치를 구비한 용기 수용 설비에 있어서, 상기 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템으로서,
상기 탑재대에 탑재 가능하게 구성된 검사 유닛과, 판정부를 구비하고,
상기 용기는, 상기 기체의 유출구가 형성된 용기 유출부를 구비하고,
상기 기체 배출 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유출부에 접속되도록 상기 탑재대에 배치된 배기부와, 상기 배기부에 접속된 배기 배관과, 상기 배기부로부터 상기 배기 배관으로 유동하는 상기 기체의 유량이 규정의 배기 유량으로 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 배기 유량 제어부를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 배기부에 접속되는 검사 유출부와, 상기 검사 유출부에 유동하는 상기 기체의 유량인 유출 유량을 측정하는 유출 유량 측정부를 구비하고,
상기 판정부는, 상기 배기 유량과 상기 유출 유량의 차이에 기초하여, 상기 배기부와 상기 검사 유출부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정한다.
이 구성에 의하면, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재함으로써, 검사 유출부, 배기부, 배기 배관의 순서로 기체가 유동한다. 이 때, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있지 않은 경우에는, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는 경우와 비교하여, 배기 유량이 동일하다고 하면, 배기부와 검사 유출부의 접속 부분에서의 기체의 누출량이 많아지는 것에도 기인하여 유출 유량이 감소한다. 이로써, 본 구성에 의하면, 배기 유량과 유출 유량의 차이에 기초하여, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다. 여기서, 검사 유닛은, 용기 유출부 대신 배기부에 접속되는 검사 유출부를 구비하고 있다. 이 때문에, 상기한 바와 같이, 용기 대신 검사 유닛을 탑재대에 탑재하여, 배기부와 검사 유출부가 적절하게 접속되어 있는지의 여부를 판정함으로써, 탑재대의 이상 또는 탑재대에서의 용기의 위치 어긋남의 유무를 적절하게 검사할 수 있다.
여기서, 상기 탑재대는, 상기 용기를 상기 탑재대에서의 규정의 위치에 안내하는 안내부를 구비하고,
상기 용기는, 상기 안내부에 안내되는 용기 피안내부를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 용기 피안내부와 동일한 형상 및 구조를 가지고, 상기 안내부에 안내되는 검사 피안내부를 구비하고,
상기 검사 유출부는, 상기 용기 유출부와 동일한 형상 및 구조를 가지고 있으면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 검사 유닛을 탑재대에 탑재한 경우에, 탑재대에 탑재된 용기의 용기 피안내부가 탑재대의 안내부에 의해 안내되는 것과 동일하게, 검사 유닛의 검사 피안내부가 탑재대의 안내부에 의해 안내된다.
또한, 본 구성에 의하면, 검사 유닛을 탑재대에 탑재한 경우에, 탑재대에 탑재된 용기의 용기 유출부에 배기부가 접속되는 것과 동일하게, 검사 유닛의 검사 유출부에 배기부가 접속된다.
이와 같이, 본 구성에 의하면, 탑재대에 용기를 탑재하고 있는 상황을 양호한 정밀도로 재현한 상태에서, 기체의 흐름의 검사를 행할 수 있다.
또한, 상기 검사 유닛은, 상기 검사 유출부에 접속된 유출 배관을 더 구비하고,
상기 유출 유량 측정부는, 상기 유출 배관을 유동하는 상기 기체의 상기 유출 유량을 측정하고,
상기 유출 배관은, 상기 유출 유량 측정부에 의한 상기 유출 유량의 측정 개소에 대하여 상류 측에서 대기 개방되어 있으면 바람직하다.
일반적으로, 용기 수용 설비의 용기는, 상기 용기의 내부에서 기체가 포화 상태가 된 후에도 기체의 공급이 유지되면, 간극으로부터 기체가 누출하도록 구성되어 있다. 즉, 기체의 유동 경로에서의 용기 유출부의 상류 측에 있어서 대기 개방되어 있다. 본 구성에 의하면, 유출 배관이, 유출 유량 측정부에 의한 유출 유량의 측정 개소에 대하여 상류 측에서 대기 개방되어 있다. 이로써, 탑재대에 용기를 탑재하고 있는 상황을 양호한 정밀도로 재현한 상태에서, 기체의 흐름의 검사를 행할 수 있다.
본 개시에 따른 기술은, 용기가 탑재되는 탑재대, 및 상기 탑재대에 탑재된용기에 대하여 기체의 공급을 행하는 기체 공급 장치를 구비한 용기 수용 설비에서, 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템에 이용할 수 있다.
100: 검사 시스템
10: 용기 수용 설비
1: 용기
11: 용기 유입부
12: 용기 유출부
2: 탑재대
3: 기체 공급 장치
31: 급기부
32: 급기 배관
33: 급기 유량 제어부
4: 기체 배출 장치
41: 배기부
42: 배기 배관
43: 배기 유량 제어부
5: 검사 유닛
51: 검사 유입부
53: 유입 유량 측정부
54: 검사 유출부
56: 유출 유량 측정부
6: 판정부

Claims (7)

  1. 용기가 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기에 대하여 기체의 공급을 행하는 기체 공급 장치를 구비한 용기 수용 설비에 있어서, 상기 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템으로서,
    상기 탑재대에 탑재 가능하게 구성된 검사 유닛과, 판정부를 구비하고,
    상기 용기는, 상기 기체의 유입구가 형성된 용기 유입부를 구비하고,
    상기 기체 공급 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유입부에 접속되도록 상기 탑재대에 배치된 급기부(給氣部)와, 상기 급기부에 접속된 급기 배관과, 상기 급기 배관을 통하여 상기 급기부에 공급되는 상기 기체의 유량(流量)이 규정의 급기 유량이 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 급기 유량 제어부를 구비하고,
    상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 급기부에 접속되는 검사 유입부와, 상기 검사 유입부로부터 유입된 상기 기체의 유량인 유입 유량을 측정하는 유입 유량 측정부를 구비하고,
    상기 판정부는, 상기 급기 유량과 상기 유입 유량의 차이에 기초하여, 상기 급기부와 상기 검사 유입부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정하는,
    검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 탑재대는, 상기 용기를 상기 탑재대에서의 규정의 위치로 안내하는 안내부를 구비하고,
    상기 용기는, 상기 안내부로 안내되는 용기 피(被)안내부를 구비하고,
    상기 검사 유닛은, 상기 용기 피안내부와 동일한 형상 및 구조를 가지고, 상기 안내부로 안내되는 검사 피안내부를 구비하고,
    상기 검사 유입부는, 상기 용기 유입부와 동일한 형상 및 구조를 가지고 있는, 검사 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 검사 유닛은, 상기 검사 유입부에 접속된 유입 배관을 더 구비하고,
    상기 유입 유량 측정부는, 상기 유입 배관을 유동(流動)하는 상기 기체의 상기 유입 유량을 측정하고,
    상기 유입 배관은, 상기 유입 유량 측정부에 의한 상기 유입 유량의 측정 개소(箇所)에 대하여 하류 측에서 대기 개방되어 있는, 검사 시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 용기 수용 설비는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기로부터 상기 기체의 배출을 행하는 기체 배출 장치를 더 구비하고,
    상기 용기는, 상기 기체의 유출구가 형성된 용기 유출부를 더 구비하고,
    상기 기체 배출 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유출부에 접속되도록, 상기 탑재대에 배치된 배기부와, 상기 배기부에 접속된 배기 배관과, 상기 배기부로부터 상기 배기 배관으로 유동하는 상기 기체의 유량이 규정의 배기 유량이 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 배기 유량 제어부를 구비하고,
    상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 배기부에 접속되는 검사 유출부와, 상기 검사 유출부로 유동하는 상기 기체의 유량인 유출 유량을 측정하는 유출 유량 측정부를 더 구비하고,
    상기 판정부는, 상기 배기 유량과 상기 유출 유량의 차이에 기초하여, 상기 배기부와 상기 검사 유출부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정하는,
    검사 시스템.
  5. 용기가 탑재되는 탑재대와, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기로부터 기체의 배출을 행하는 기체 배출 장치를 구비한 용기 수용 설비에 있어서, 상기 기체의 흐름의 검사를 행하는 검사 시스템으로서,
    상기 탑재대에 탑재 가능하게 구성된 검사 유닛과, 판정부를 구비하고,
    상기 용기는, 상기 기체의 유출구가 형성된 용기 유출부를 구비하고,
    상기 기체 배출 장치는, 상기 탑재대에 탑재된 상기 용기의 상기 용기 유출부에 접속되도록 상기 탑재대에 배치된 배기부와, 상기 배기부에 접속된 배기 배관과, 상기 배기부로부터 상기 배기 배관으로 유동하는 상기 기체의 유량이 규정의 배기 유량이 되도록, 상기 기체의 유량을 제어하는 배기 유량 제어부를 구비하고,
    상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 탑재대에 탑재된 상태에서 상기 배기부에 접속되는 검사 유출부와, 상기 검사 유출부로 유동하는 상기 기체의 유량인 유출 유량을 측정하는 유출 유량 측정부를 구비하고,
    상기 판정부는, 상기 배기 유량과 상기 유출 유량의 차이에 기초하여, 상기 배기부와 상기 검사 유출부의 접속 부분에서의 상기 기체의 누설 상태를 판정하는,
    검사 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 탑재대는, 상기 용기를 상기 탑재대에서의 규정의 위치로 안내하는 안내부를 구비하고,
    상기 용기는, 상기 안내부로 안내되는 용기 피안내부를 구비하고,
    상기 검사 유닛은, 상기 용기 피안내부와 동일한 형상 및 구조를 가지고, 상기 안내부로 안내되는 검사 피안내부를 구비하고,
    상기 검사 유출부는, 상기 용기 유출부와 동일한 형상 및 구조를 가지고 있는, 검사 시스템.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 검사 유닛은, 상기 검사 유출부에 접속된 유출 배관을 더 구비하고,
    상기 유출 유량 측정부는, 상기 유출 배관을 유동하는 상기 기체의 상기 유출 유량을 측정하고,
    상기 유출 배관은, 상기 유출 유량 측정부에 의한 상기 유출 유량의 측정 개소에 대하여 상류 측에서 대기 개방되어 있는, 검사 시스템.
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