CN115248097A - 检查系统 - Google Patents

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CN115248097A CN202210452143.0A CN202210452143A CN115248097A CN 115248097 A CN115248097 A CN 115248097A CN 202210452143 A CN202210452143 A CN 202210452143A CN 115248097 A CN115248097 A CN 115248097A
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大森和哉
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大河原直人
宫前恭平
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Daifuku Co Ltd
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Abstract

本发明提供一种检查系统。在具备载置容器的载置台（2）和将气体供给到容器的气体供给装置（3）的容器收容设备（10）中进行气体的流动的检查的检查系统（100），具备能够载置在载置台的检查单元（5）和判定部；气体供给装置（3）具备：供气部（31），被配置在载置台以与容器的容器流入部连接；供气配管（32）；以及供气流量控制部（33），将经由供气配管供给到供气部的气体的流量设为规定的供气流量；检查单元（5）具备：检查流入部（51），与供气部连接；以及流入流量测量部（53），测量从检查流入部流入的气体的流量即流入流量；判定部基于供气流量与流入流量的差，判定供气部（31）与检查流入部（51）的连接部分处的气体的泄漏状态。

Description

检查系统
技术领域
本发明涉及在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台以及对载置在该载置台的容器进行气体的供给的气体供给装置。
背景技术
在日本特开2016－127228号公报（以下记作“专利文献1”）中公开了这样的检查系统的一例。以下，在背景技术的说明中，将专利文献1中的附图标记在括号内引用。
在专利文献1中公开了一种容器收容设备（1），具备：供气部（30），配置在载置台（3）以与载置在载置台（3）的容器（F）的容器流入部（24）连接；供气配管（34），与该供气部连接；供气流量控制部（32），对经由该供气配管供给到供气部（30）的气体的流量进行控制；排气部（31），配置在载置台（3），以与载置在载置台（3）的容器（F）的容器流出部（26）连接；以及排气配管（35），与该排气部连接。而且，在该容器收容设备（1）中使用的检查系统具备检测在排气配管（35）中流动的气体的流量的传感器（33）（参照专利文献1的图1及图2）。
发明内容
发明要解决的课题
专利文献1的容器（F）具备一部分开口的主体部（21）和以将该主体部的开口堵塞的方式配置的盖部（22）。在向这样的容器（F）的内部供给气体的情况下，如果在容器（F）的内部气体成为饱和状态后还维持气体的供给，则气体从主体部（21）与盖部（22）的间隙泄漏出。此时，在容器（F）损坏的情况下等，气体的泄漏量变多。利用这一点，专利文献1的检查系统在由传感器（33）检测到的流量为规定的阈值以上的情况下判定为气体的流动是正常的，在小于上述的阈值的情况下判定为气体的流动是异常的。
顺便说一下，专利文献1的检查系统是以在容器流入部（24）适当地连接着供气部（30）并且在容器流出部（26）适当地连接着排气部（31）为前提来进行气体的流动的检查的。因此，在因为载置台（3）的异常、载置台（3）上的容器（F）的位置偏差而在容器流入部（24）没有适当地连接供气部（30）的情况或在容器流出部（26）没有适当地连接排气部（31）的情况下，不能适当地进行气体的流动的检查。
所以，希望实现能够适当地检查载置容器的载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无的检查系统。
用来解决课题的手段
鉴于上述的检查系统的特征结构在于以下方面，是在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和对载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的供给的气体供给装置；所述检查系统具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；前述容器具备形成有前述气体的流入口的容器流入部；前述气体供给装置具备：供气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流入部连接；供气配管，与前述供气部连接；以及供气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使经由前述供气配管供给到前述供气部的前述气体的流量成为规定的供气流量；前述检查单元具备：检查流入部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述供气部连接；以及流入流量测量部，测量从前述检查流入部流入的前述气体的流量即流入流量；前述判定部基于前述供气流量与前述流入流量的差，判定前述供气部与前述检查流入部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
根据该特征结构，通过代替容器而将检查单元载置在载置台，气体依次流动于供气配管、供气部、检查流入部。此时，在供气部和检查流入部没有被适当地连接的情况下，与供气部和检查流入部被适当地连接的情况相比，如果供气流量设为相同，则因为供气部与检查流入部的连接部分处的气体的泄漏量变多而流入流量减少。由此，根据本特征结构，能够基于供气流量与流入流量的差，判定供气部与检查流入部是否被适当地连接。这里，检查单元代替容器流入部而具备与供气部连接的检查流入部。因此，通过如上述那样代替容器而将检查单元载置在载置台并判定供气部和检查流入部是否被适当地连接，能够适当地检查载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无。
此外，检查系统的特征结构在于以下方面，是在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和从载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的排出的气体排出装置；所述检查系统具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；前述容器具备形成有前述气体的流出口的容器流出部；前述气体排出装置具备：排气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流出部连接；排气配管，与前述排气部连接；以及排气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使从前述排气部流动到前述排气配管的前述气体的流量成为规定的排气流量；前述检查单元具备：检查流出部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述排气部连接；以及流出流量测量部，测量向前述检查流出部流动的前述气体的流量即流出流量；前述判定部基于前述排气流量与前述流出流量的差，判定前述排气部与前述检查流出部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
根据该特征结构，通过代替容器而将检查单元载置在载置台，气体依次流动于检查流出部、排气部、排气配管。此时，在排气部和检查流出部没有被适当地连接的情况下，与排气部和检查流出部被适当地连接的情况相比，如果排气流量设为相同，则因为排气部和检查流出部的连接部分处的气体的泄漏量变多而流出流量减少。由此，根据本特征结构，基于排气流量与流出流量的差，能够判定排气部和检查流出部是否被适当地连接。这里，检查单元代替容器流出部而具备与排气部连接的检查流出部。因此，通过如上述那样代替容器而将检查单元载置在载置台并判定排气部和检查流出部是否被适当地连接，能够适当地检查载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无。
附图说明
图1是表示有关实施方式的容器收容设备的概略结构的示意图。
图2是表示有关实施方式的检查系统的概略结构的示意图。
图3是有关实施方式的检查系统的框图。
图4是表示由有关实施方式的判定部进行的判定处理的一例的流程图。
图5是表示由有关实施方式的判定部进行的判定处理的一例的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对有关实施方式的检查系统100进行说明。检查系统100是在容器收容设备10进行气体的流动的检查的系统。
首先，对容器收容设备10进行说明。如图1所示，在本实施方式中，容器收容设备10具备载置容器1的载置台2、对载置在该载置台2的容器1进行气体的供给的气体供给装置3、以及从载置在载置台2的容器1进行气体的排出的气体排出装置4。
容器1是构成为能够向内部供给规定的气体（例如，氮气、清洁空气等）的密闭容器。在本实施方式中，容器1具备在该容器1被载置在载置台2的情况下与该载置台2对置的底部1a。在本例中，容器1是被称作FOUP（Front Opening Unified Pod；前开式标准盒）的正面开口式的密闭容器。
在本实施方式中，容器1具备形成有气体的流入口的容器流入部11和形成有气体的流出口的容器流出部12。在本实施方式中，容器流入部11及容器流出部12在将容器1的底部1a在铅直方向（图1中的上下方向）上贯通的状态下被固定在底部1a。即，容器流入部11及容器流出部12配置为，将容器1的内部与外部连通。此外，虽然图示省略，但在本实施方式中设置有多个容器流入部11和多个容器流出部12。
载置台2构成为，将容器1从下方支承。在本实施方式中，载置台2被形成为在水平方向（图1中的左右方向）上延伸的板状。此外，在本实施方式中，虽然图示省略，但在铅直方向及水平方向上排列配置有多个载置台2。
在本实施方式中，载置台2具备导引部21，所述导引部21将容器1导引到载置台2的规定的位置。在本实施方式中，导引部21包括以从载置台2的上表面向上方突出的方式形成的多个销211。
在本实施方式中，容器1具备被载置台2的导引部21导引的容器被导引部13。在本实施方式中，容器被导引部13包括与多个销211分别卡合的多个容器凹部131。多个容器凹部131以容器1的底部1a的下表面向上方凹陷的方式形成。
气体供给装置3具备供气部31、供气配管32、以及供气流量控制部33。在本实施方式中，对于多个载置台2，分别设置有多个供气部31、供气配管32及供气流量控制部33。即，在本实施方式中，供气部31设置有载置台2的数量的倍数，供气配管32及供气流量控制部33分别设置有与载置台2相同数量。
供气部31构成为，能够与载置在载置台2的容器1的容器流入部11连接。如上述那样，在本实施方式中，由于设置有多个容器流入部11，所以以与多个容器流入部11分别对应的方式设置有与容器流入部11相同数量的供气部31。供气部31配置在载置台2。在本实施方式中，供气部31以从载置台2向上方突出的状态被固定在载置台2。如果容器1被载置在载置台2，则该容器1的容器流入部11和配置在该载置台2的供气部31成为相互连通的状态。
供气配管32与供气部31连接。在本实施方式中，供气配管32分支以与多个供气部31连接。供气配管32构成为，使得从供给源（省略图示）放出的气体朝向供气部31流动。因此，在供气部31连接着容器流入部11的情况下，从供给源放出的气体依次流到供气配管32、供气部31、容器流入部11，被供给到容器1的内部。另外，在本实施方式中，容器流入部11具备流入用开闭阀（省略图示），所述流入用开闭阀被弹簧等施力体施力以成为封闭状态。而且，在供气部31连接着容器流入部11的状态下，如果从该容器流入部11喷出气体，则借助该气体的压力，流入用开闭阀成为开放状态，气体被供给到容器1的内部。
供气流量控制部33对气体的流量进行控制，以使经由供气配管32被供给到供气部31的气体的流量成为规定的供气流量Qm1。在本例中，供气流量控制部33是测量在供气配管32中流动的气体的质量流量并对该质量流量进行控制的质量流量控制器（Mass FlowController）。
气体排出装置4具备排气部41、排气配管42、以及排气流量控制部43。在本实施方式中，对于多个载置台2分别设置有多个排气部41、排气配管42及排气流量控制部43。即，在本实施方式中，排气部41设置有载置台2的数量的倍数，排气配管42及排气流量控制部43分别设置有与载置台2相同数量。
排气部41构成为，能够与载置在载置台2的容器1的容器流出部12连接。如上述那样，在本实施方式中，由于设置有多个容器流出部12，所以以与多个容器流出部12分别对应的方式设置有与容器流出部12相同数量的排气部41。排气部41配置在载置台2。在本实施方式中，排气部41以从载置台2向上方突出的状态被固定在载置台2。如果容器1被载置在载置台2，则该容器1的容器流出部12和配置在该载置台2的排气部41成为相互连通的状态。
排气配管42与排气部41连接。在本实施方式中，排气配管42分支以与多个排气部41连接。排气配管42构成为，从排气部41排气的气体流动。在排气配管42，设置有生成从排气部41朝向排气配管42的气流的气流生成部45。在本例中，气流生成部45是通过将流体以高速喷射来生成负压的喷射器（ejector）。
在排气部41连接着容器流出部12的状态下，在由气流生成部45生成了气流的情况下，容器1的内部的气体依次流动于容器流出部12、排气部41、排气配管42，被从容器1的内部排出。另外，在本实施方式中，容器流出部12具备流出用开闭阀（省略图示），所述流出用开闭阀被弹簧等施力体施力以成为封闭状态。而且，在排气部41连接着容器流出部12的状态下，如果由气流生成部45生成气流，则借助容器1的内部的气体的压力，流出用开闭阀成为开放状态，容器1的内部的气体经过容器流出部12向排气配管42流动。
排气流量控制部43对气体的流量进行控制，以使从排气部41流动到排气配管42的气体的流量成为规定的排气流量Qm3。在本实施方式中，排气流量控制部43配置在排气配管42的比气流生成部45靠上游侧。在本例中，排气流量控制部43具备测量在排气配管42中流动的气体的流量的流量计和调整在排气配管42中流动的气体的流量的针阀。
接着，对检查系统100进行说明。如图2所示，检查系统100具备构成为能够载置在载置台2的检查单元5。
在本实施方式中，检查单元5具备检查流入部51、流入配管52、流入流量测量部53、检查流出部54、流出配管55、以及流出流量测量部56。
检查流入部51在检查单元5被载置于载置台2的状态下与供气部31连接。检查流出部54在检查单元5被载置于载置台2的状态下与排气部41连接。如果检查单元5被载置在载置台2，则配置在该载置台2的供气部31和检查流入部51成为相互连通的状态，并且配置在该载置台2的排气部41和检查流出部54成为相互连通的状态。
在本实施方式中，检查流入部51具有与容器流入部11相同的形状及构造。具体而言，在本实施方式中，检查流入部51也具备上述的流入用开闭阀。此外，在本实施方式中，设置有与容器流入部11相同数量的检查流入部51。而且，多个检查流入部51配置为，这些多个检查流入部51的相互的位置关系成为与多个容器流入部11的相互的位置关系相同。
此外，在本实施方式中，检查流出部54具有与容器流出部12相同的形状及构造。具体而言，在本实施方式中，检查流出部54也具备上述的流出用开闭阀。此外，在本实施方式中，设置有与容器流出部12相同数量的检查流出部54。而且，多个检查流出部54配置为，这些多个检查流出部54的相互的位置关系成为与多个容器流出部12的相互的位置关系相同。
流入配管52与检查流入部51连接。在本实施方式中，流入配管52分支，以与多个检查流入部51连接。流出配管55与检查流出部54连接。在本实施方式中，流出配管55分支，以与多个检查流出部54连接。
流入流量测量部53构成为，能够测量从检查流入部51流入的气体的流量即流入流量Qm2。在本实施方式中，流入流量测量部53测量在流入配管52中流动的气体的流入流量Qm2。在本例中，流入流量测量部53是测量在流入配管52中流动的气体的质量流量的质量流量计（Mass Flow Meter）。
流出流量测量部56构成为，能够测量向检查流出部54流动的气体的流量即流出流量Qm4。在本实施方式中，流出流量测量部56测量在流出配管55中流动的气体的流出流量Qm4。在本例中，流出流量测量部56具备测量在流出配管55中流动的气体的流量的流量计和调整在流出配管55中流动的气体的流量的针阀。
在本实施方式中，流入配管52在相对于由流入流量测量部53对流入流量Qm2进行测量的测量部位靠下游侧向大气开放。因此，在本实施方式中，在供气部31连接着检查流入部51的情况下，从供给源放出的气体在依次流动于供气配管32、供气部31、检查流入部51、流入配管52之后，被向大气放出。
此外，在本实施方式中，流出配管55在相对于由流出流量测量部56对流出流量Qm4进行测量的测量部位靠上游侧向大气开放。因此，在本实施方式中，在排气部41连接着检查流出部54的状态下，在由气流生成部45生成了气流的情况下，流出配管55的被大气开放的部分的周围的气体在被流出配管55吸引后，依次流动于检查流出部54、排气部41、排气配管42。
在本实施方式中，检查单元5具备载置在载置台2的基部5a。在图示的例子中，基部5a形成为在水平方向（图2中的左右方向）上延伸的板状。在本实施方式中，检查流入部51及检查流出部54在将基部5a在铅直方向（图2中的上下方向）上贯通的状态下被固定在基部5a。此外，流入流量测量部53及流出流量测量部56在载置在基部5a的状态下被固定在基部5a。
此外，在本实施方式中，检查单元5具备被载置台2的导引部21导引的检查被导引部59。检查被导引部59具有与容器被导引部13相同的形状及构造。在本实施方式中，检查被导引部59包括与载置台2上的多个销211分别卡合的多个检查凹部591。多个检查凹部591以检查单元5的基部5a的下表面向上方凹陷的方式形成。
如图3所示，检查系统100具备判定部6。在本实施方式中，判定部6构成为，能够与供气流量控制部33、流入流量测量部53、排气流量控制部43及流出流量测量部56通信。判定部6例如优选的是装备于容器收容设备10的控制单元（省略图示）。或者，判定部6也可以装备于检查单元5。
判定部6从供气流量控制部33取得供气流量Qm1并且从流入流量测量部53取得流入流量Qm2。而且，判定部6基于供气流量Qm1与流入流量Qm2的差，判定供气部31与检查流入部51的连接部分处的气体的泄漏状态。
在检查单元5载置于载置台2的状态下，在供气部31和检查流入部51没有被适当地连接的情况下，与供气部31和检查流入部51被适当地连接的情况相比，如果供气流量Qm1设为相同，则因为供气部31与检查流入部51的连接部分处的气体的泄漏量变多而流入流量Qm2减少。由此，能够基于供气流量Qm1与流入流量Qm2的差，判定供气部31和检查流入部51是否被适当地连接。这里，检查单元5代替容器流入部11而具备与供气部31连接的检查流入部51。因此，如上述那样，通过代替容器1而将检查单元5载置在载置台2并判定供气部31和检查流入部51是否被适当地连接，能够适当地检查载置台2的异常或载置台2上的容器1的位置偏差的有无。
在本实施方式中，判定部6从排气流量控制部43取得排气流量Qm3，并且从流出流量测量部56取得流出流量Qm4。而且，判定部6基于排气流量Qm3与流出流量Qm4的差，判定排气部41和检查流出部54的连接部分处的气体的泄漏状态。
在检查单元5被载置在载置台2的状态下，在排气部41和检查流出部54没有被适当地连接的情况下，与排气部41和检查流出部54被适当地连接的情况相比，如果排气流量Qm3设为相同，则因为排气部41和检查流出部54的连接部分处的气体的泄漏量变多而流出流量Qm4减少。由此，能够基于排气流量Qm3与流出流量Qm4的差，判定排气部41和检查流出部54是否被适当地连接。这里，检查单元5代替容器流出部12而具备与排气部41连接的检查流出部54。因此，如上述那样，通过代替容器1而将检查单元5载置在载置台2并判定排气部41和检查流出部54是否被适当地连接，能够适当地检查载置台2的异常或载置台2上的容器1的位置偏差的有无。
以下，参照图4及图5对由判定部6进行的判定处理进行说明。图4及图5分别是表示由判定部6进行的判定处理的一例的流程图。具体而言，图4是表示判定部6判定供气部31和检查流入部51的连接部分处的气体的泄漏状态的处理的一例的流程图。而且，图5是表示判定部6判定排气部41和检查流出部54的连接部分处的气体的泄漏状态的处理的一例的流程图。
如图4所示，在供气的判定中，首先，判定部6从供气流量控制部33取得供气流量Qm1（步骤#1）。接着，判定部6从流入流量测量部53取得流入流量Qm2（步骤#2）。
接着，判定部6判断供气流量Qm1与流入流量Qm2的差是否小于规定的第1阈值TH1（|Qm1－Qm2|＜TH1）（步骤#3）。
判定部6在判断为供气流量Qm1与流入流量Qm2的差小于第1阈值TH1（|Qm1－Qm2|＜TH1）的情况下（步骤#3：是），判定为供气部31和检查流入部51被适当地连接，供气被正常地进行（步骤#4）。
另一方面，判定部6在判断为供气流量Qm1与流入流量Qm2的差为第1阈值TH1以上（|Qm1－Qm2|≥TH1）的情况下（步骤#3：否），判定为供气部31和检查流入部51没有被适当地连接，在供气中发生了异常（步骤#5）。
如图5所示，在排气的判定中，首先，判定部6从排气流量控制部43取得排气流量Qm3（步骤#11）。接着，判定部6从流出流量测量部56取得流出流量Qm4（步骤#12）。
接着，判定部6判断排气流量Qm3与流出流量Qm4的差是否小于规定的第2阈值TH2（|Qm3－Qm4|＜TH2）（步骤#13）。
判定部6在判断为排气流量Qm3与流出流量Qm4的差小于第2阈值TH2（|Qm3－Qm4|＜TH2）的情况下（步骤#13：是），判定为排气部41和检查流出部54被适当地连接，排气被正常地进行（步骤#14）。
另一方面，判定部6在判断为排气流量Qm3与流出流量Qm4的差为第2阈值TH2以上（|Qm3－Qm4|≥TH2）的情况下（步骤#13：否），判定为排气部41和检查流出部54没有被适当地连接，在排气中发生了异常（步骤#15）。
〔其他实施方式〕
（1）在上述的实施方式中，以判定部6判定供气部31与检查流入部51的连接部分处的气体的泄漏状态和排气部41与检查流出部54的连接部分处的气体的泄漏状态的两者的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构，也可以为判定部6仅判定供气部31与检查流入部51的连接部分处的气体的泄漏状态和排气部41与检查流出部54的连接部分处的气体的泄漏状态的某一方的结构。
（2）在上述的实施方式中，以气体供给装置3具备多个供气部31的结构为例进行了说明，但供气部31的数量没有被限定。例如，也可以是气体供给装置3仅具备1个供气部31的结构。在该结构中，优选的是容器1仅具备1个容器流入部11，并且检查单元5仅具备1个检查流入部51。此外，在上述的实施方式中，以气体排出装置4具备多个排气部41的结构为例进行了说明，但排气部41的数量没有被限定。例如，也可以是气体排出装置4仅具备1个排气部41的结构。在该结构中，优选的是容器1仅具备1个容器流出部12，并且检查单元5仅具备1个检查流出部54。
（3）在上述的实施方式中，以载置台2具备作为导引部21的多个销211、容器1具备作为容器被导引部13的多个容器凹部131的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构，例如，也可以为载置台2作为导引部21而具备从侧方与容器1抵接来限制该容器1的水平方向的移动的限制部件的结构。在该结构中，优选的是限制部件从侧方与检查单元5的一部分（例如基部5a）抵接来限制检查单元5的水平方向的移动。此外，也可以是载置台2不具备导引部21、容器1不具备容器被导引部13的结构。
（4）在上述的实施方式中，以检查流入部51具有与容器流入部11相同的形状及构造的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构，也可以检查流入部51与容器流入部11的形状及构造的至少一部分不同。此外，在上述的实施方式中，以检查流出部54具有与容器流出部12相同的形状及构造的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构，也可以检查流出部54与容器流出部12的形状及构造的至少一部分不同。
（5）在上述的实施方式中，以流入配管52在相对于由流入流量测量部53对流入流量Qm2进行测量的测量部位靠下游侧被向大气开放、流出配管55在相对于由流出流量测量部56对流出流量Qm4进行测量的测量部位靠上游侧被向大气开放的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构，例如也可以为将流入配管52的相对于由流入流量测量部53对流入流量Qm2进行测量的测量部位靠下游侧的部分、以及流出配管55的相对于由流出流量测量部56对流出流量Qm4进行测量的测量部位靠上游侧的部分连接到与这些配管不同的连接配管，将该连接配管向大气开放的结构。或者，也可以将流入配管52和流出配管55用连接配管相互连接。在此情况下，也可以是连接配管分支而该分支部分被向大气开放。
（6）另外，在上述的各实施方式中公开的结构只要不发生矛盾，就能够与在其他实施方式中公开的结构组合而应用。关于其他的结构，在本说明书中公开的实施方式也在全部的方面只不过是单单的例示。因而，在不脱离本公开的主旨的范围内能够适当进行各种改变。
〔上述实施方式的概要〕
以下，对在上述中说明的检查系统的概要进行说明。
检查系统是在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和对载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的供给的气体供给装置；所述检查系统具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；前述容器具备形成有前述气体的流入口的容器流入部；前述气体供给装置具备：供气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流入部连接；供气配管，与前述供气部连接；以及供气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使经由前述供气配管供给到前述供气部的前述气体的流量成为规定的供气流量；前述检查单元具备：检查流入部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述供气部连接；以及流入流量测量部，测量从前述检查流入部流入的前述气体的流量即流入流量；前述判定部基于前述供气流量与前述流入流量的差，判定前述供气部与前述检查流入部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
根据该结构，通过代替容器而将检查单元载置在载置台，气体依次流动于供气配管、供气部、检查流入部。此时，在供气部和检查流入部没有被适当地连接的情况下，与供气部和检查流入部被适当地连接的情况相比，如果供气流量设为相同，则因为供气部与检查流入部的连接部分处的气体的泄漏量变多而流入流量减少。由此，根据本结构，能够基于供气流量与流入流量的差，判定供气部与检查流入部是否被适当地连接。这里，检查单元代替容器流入部而具备与供气部连接的检查流入部。因此，通过如上述那样代替容器而将检查单元载置在载置台并判定供气部和检查流入部是否被适当地连接，能够适当地检查载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无。
这里，优选的是，前述载置台具备导引部，所述导引部将前述容器导引到前述载置台的规定的位置；前述容器具备被前述导引部导引的容器被导引部；前述检查单元具备检查被导引部，所述检查被导引部具有与前述容器被导引部相同的形状及构造，且被前述导引部导引；前述检查流入部具有与前述容器流入部相同的形状及构造。
根据该结构，在将检查单元载置在载置台的情况下，与载置在载置台的容器的容器被导引部受载置台的导引部导引同样，检查单元的检查被导引部受载置台的导引部导引。
此外，根据本结构，在将检查单元载置在载置台的情况下，与对载置在载置台的容器的容器流入部连接供气部同样，对检查单元的检查流入部连接供气部。
这样，根据本结构，能够在将在载置台载置有容器的状况精度良好地再现的状态下进行气体的流动的检查。
此外，优选的是，前述检查单元还具备与前述检查流入部连接的流入配管；前述流入流量测量部测量在前述流入配管中流动的前述气体的前述流入流量；前述流入配管在相对于由前述流入流量测量部对前述流入流量进行测量的测量部位靠下游侧被向大气开放。
一般，容器收容设备的容器构成为，如果在该容器的内部气体成为饱和状态后还维持气体的供给，则气体从间隙泄漏出。即，在气体的流动路径中的容器流入部的下游侧被向大气开放。根据本结构，流入配管在相对于由流入流量测量部对流入流量进行测量的测量部位靠下游侧被向大气开放。由此，能够在将在载置台载置有容器的状况精度良好地再现的状态下进行气体的流动的检查。
此外，优选的是，前述容器收容设备还具备从载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的排出的气体排出装置；前述容器还具备形成有前述气体的流出口的容器流出部；前述气体排出装置具备：排气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流出部连接；排气配管，与前述排气部连接；以及排气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使从前述排气部流动到前述排气配管的前述气体的流量成为规定的排气流量；前述检查单元还具备：检查流出部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述排气部连接；以及流出流量测量部，测量向前述检查流出部流动的前述气体的流量即流出流量；前述判定部基于前述排气流量与前述流出流量的差，判定前述排气部与前述检查流出部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
根据该结构，通过代替容器而将检查单元载置在载置台，气体依次流动于检查流出部、排气部、排气配管。此时，在排气部和检查流出部没有被适当地连接的情况下，与排气部和检查流出部被适当地连接的情况相比，如果排气流量设为相同，则因为排气部和检查流出部的连接部分处的气体的泄漏量变多而流出流量减少。由此，根据本结构，基于排气流量与流出流量的差，能够判定排气部和检查流出部是否被适当地连接。这里，检查单元代替容器流出部而具备与排气部连接的检查流出部。因此，通过如上述那样代替容器而将检查单元载置在载置台并且除了判定供气部和检查流入部是否被适当地连接以外还判定排气部和检查流出部是否被适当地连接，能够更详细地检查载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无。
检查系统是在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和从载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的排出的气体排出装置；所述检查系统具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；前述容器具备形成有前述气体的流出口的容器流出部；前述气体排出装置具备：排气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流出部连接；排气配管，与前述排气部连接；以及排气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使从前述排气部流动到前述排气配管的前述气体的流量成为规定的排气流量；前述检查单元具备：检查流出部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述排气部连接；以及流出流量测量部，测量向前述检查流出部流动的前述气体的流量即流出流量；前述判定部基于前述排气流量与前述流出流量的差，判定前述排气部与前述检查流出部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
根据该结构，通过代替容器而将检查单元载置在载置台，气体依次流动于检查流出部、排气部、排气配管。此时，在排气部和检查流出部没有被适当地连接的情况下，与排气部和检查流出部被适当地连接的情况相比，如果排气流量设为相同，则因为排气部和检查流出部的连接部分处的气体的泄漏量变多而流出流量减少。由此，根据本结构，基于排气流量与流出流量的差，能够判定排气部和检查流出部是否被适当地连接。这里，检查单元代替容器流出部而具备与排气部连接的检查流出部。因此，通过如上述那样代替容器而将检查单元载置在载置台并判定排气部和检查流出部是否被适当地连接，能够适当地检查载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无。
这里，优选的是，前述载置台具备导引部，所述导引部将前述容器导引到前述载置台的规定的位置；前述容器具备被前述导引部导引的容器被导引部；前述检查单元具备检查被导引部，所述检查被导引部具有与前述容器被导引部相同的形状及构造，且被前述导引部导引；前述检查流出部具有与前述容器流出部相同的形状及构造。
根据该结构，在将检查单元载置在载置台的情况下，与载置在载置台的容器的容器被导引部受载置台的导引部导引同样，检查单元的检查被导引部受载置台的导引部导引。
此外，根据本结构，在将检查单元载置在载置台的情况下，与对载置在载置台的容器的容器流出部连接排气部同样，对检查单元的检查流出部连接排气部。
这样，根据本结构，能够在将在载置台载置有容器的状况精度良好地再现的状态下进行气体的流动的检查。
此外，优选的是，前述检查单元还具备与前述检查流出部连接的流出配管；前述流出流量测量部测量在前述流出配管中流动的前述气体的前述流出流量；前述流出配管在相对于由前述流出流量测量部对前述流出流量进行测量的测量部位靠上游侧被向大气开放。
一般，容器收容设备的容器构成为，如果在该容器的内部气体成为饱和状态后还维持气体的供给，则气体从间隙泄漏出。即，在气体的流动路径中的容器流出部的上游侧被向大气开放。根据本结构，流出配管在相对于由流出流量测量部对流出流量进行测量的测量部位靠上游侧被向大气开放。由此，能够在将在载置台载置有容器的状况精度良好地再现的状态下进行气体的流动的检查。
产业上的可利用性
有关本公开的技术能够利用于在具备载置容器的载置台以及对载置在该载置台的容器进行气体的供给的气体供给装置的容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统。
附图标记说明
100 ：检查系统
10 ：容器收容设备
1 ：容器
11 ：容器流入部
12 ：容器流出部
2 ：载置台
3 ：气体供给装置
31 ：供气部
32 ：供气配管
33 ：供气流量控制部
4 ：气体排出装置
41 ：排气部
42 ：排气配管
43 ：排气流量控制部
5 ：检查单元
51 ：检查流入部
53 ：流入流量测量部
54 ：检查流出部
56 ：流出流量测量部
6 ：判定部。

Claims (7)

1.一种检查系统，在容器收容设备中进行气体的流动的检查，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和对载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的供给的气体供给装置，所述检查系统的特征在于，
具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；
前述容器具备形成有前述气体的流入口的容器流入部；
前述气体供给装置具备：供气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流入部连接；供气配管，与前述供气部连接；以及供气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使经由前述供气配管供给到前述供气部的前述气体的流量成为规定的供气流量；
前述检查单元具备：检查流入部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述供气部连接；以及流入流量测量部，测量从前述检查流入部流入的前述气体的流量即流入流量；
前述判定部基于前述供气流量与前述流入流量的差，判定前述供气部与前述检查流入部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
2.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，
前述载置台具备导引部，所述导引部将前述容器导引到前述载置台的规定的位置；
前述容器具备被前述导引部导引的容器被导引部；
前述检查单元具备检查被导引部，所述检查被导引部具有与前述容器被导引部相同的形状及构造，且被前述导引部导引；
前述检查流入部具有与前述容器流入部相同的形状及构造。
3.如权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，
前述检查单元还具备与前述检查流入部连接的流入配管；
前述流入流量测量部测量在前述流入配管中流动的前述气体的前述流入流量；
前述流入配管在相对于由前述流入流量测量部对前述流入流量进行测量的测量部位靠下游侧被向大气开放。
4.如权利要求1～3中任一项所述的检查系统，其特征在于，
前述容器收容设备还具备从载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的排出的气体排出装置；
前述容器还具备形成有前述气体的流出口的容器流出部；
前述气体排出装置具备：排气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流出部连接；排气配管，与前述排气部连接；以及排气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使从前述排气部流动到前述排气配管的前述气体的流量成为规定的排气流量；
前述检查单元还具备：检查流出部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述排气部连接；以及流出流量测量部，测量向前述检查流出部流动的前述气体的流量即流出流量；
前述判定部基于前述排气流量与前述流出流量的差，判定前述排气部与前述检查流出部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
5.一种检查系统，在容器收容设备中进行气体的流动的检查，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和从载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的排出的气体排出装置，所述检查系统的特征在于，
具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；
前述容器具备形成有前述气体的流出口的容器流出部；
前述气体排出装置具备：排气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流出部连接；排气配管，与前述排气部连接；以及排气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使从前述排气部流动到前述排气配管的前述气体的流量成为规定的排气流量；
前述检查单元具备：检查流出部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述排气部连接；以及流出流量测量部，测量向前述检查流出部流动的前述气体的流量即流出流量；
前述判定部基于前述排气流量与前述流出流量的差，判定前述排气部与前述检查流出部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
6.如权利要求5所述的检查系统，其特征在于，
前述载置台具备导引部，所述导引部将前述容器导引到前述载置台的规定的位置；
前述容器具备被前述导引部导引的容器被导引部；
前述检查单元具备检查被导引部，所述检查被导引部具有与前述容器被导引部相同的形状及构造，且被前述导引部导引；
前述检查流出部具有与前述容器流出部相同的形状及构造。
7.如权利要求5或6所述的检查系统，其特征在于，
前述检查单元还具备与前述检查流出部连接的流出配管；
前述流出流量测量部测量在前述流出配管中流动的前述气体的前述流出流量；
前述流出配管在相对于由前述流出流量测量部对前述流出流量进行测量的测量部位靠上游侧被向大气开放。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0612936U (ja) * 1992-07-20 1994-02-18 株式会社神戸製鋼所 送油用配管の油漏れ検知装置
JP5888288B2 (ja) * 2013-06-26 2016-03-16 株式会社ダイフク 物品保管設備の検査装置
JP6171867B2 (ja) * 2013-11-08 2017-08-02 日産自動車株式会社 燃料電池システム
JP6409579B2 (ja) 2015-01-08 2018-10-24 村田機械株式会社 パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法

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