KR100558928B1 - 평판표시소자 제조를 위한 기판 상에 포토레지스트를도포하는 장치 및 이에 사용되는 노즐 - Google Patents

평판표시소자 제조를 위한 기판 상에 포토레지스트를도포하는 장치 및 이에 사용되는 노즐 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 표시 소자 제조에 사용되는 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 도포 장치에 과한 것으로, 상기 장치는 기판 상에 포토레지스트를 분사하는 노즐을 가진다. 노즐로 공급된 포토레지스트는 전기력에 의해 미세 크기의 대전된 액적으로 분해한 후 기판으로 분사된다.
평판 표시 소자, 노즐, 액적, 모세관, 포토레지스트, 도포

Description

평판표시소자 제조를 위한 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 장치 및 이에 사용되는 노즐{APPARATUS FOR COATING PHOTORESIST ON A SUBSTRATE FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY DEVICES AND NOZZLE USED IN THE APPARATUS}
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 도포 장치를 개략적으로 보여주는 사시도;
도 2는 도 1의 장치에서 노즐의 이동경로를 보여주는 도면;
도 3은 도 1의 장치에서 복수의 노즐이 설치되는 겨우 노즐의 이동경로를 보여주는 도면;
도 4는 도 1의 노즐의 제 1실시예를 보여주는 단면도;
도 5는 도 1의 노즐 사용시 기판 지지부가 접지된 도포 장치의 단면도;
도 6은 도 1의 노즐의 제 2실시예를 보여주는 단면도;
도 7은 도 2의 노즐 사용시 기판 지지부가 접지된 도포 장치의 단면도; 그리고
도 8과 도 9는 각각 안내부의 위치변경에 따른 액적들의 흐름을 보여주는 도면들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 기판 지지부 200 : 노즐 지지부
220 : 제 1고정지지대 240 : 제 2고정지지대
260 : 이동지지대 300 : 노즐
320 : 몸체 330 : 안내부
340 : 유체공급부 360 : 모세관
380 : 전원공급부
본 발명은 평판 표시 소자를 제조하는 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 평판 표시 소자 제조에 사용되는 기판 상에 포토레지스트와 같은 감광액을 도포하는 장치 및 이에 사용되는 노즐에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정 표시 소자(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
평판 표시 소자를 제조하기 위해 수행되는 공정들 중 도포공정은 노광 광원 에 반응하는 포토레지스트와 같은 감광액을 기판 상에 도포하는 공정이다. 도포공정을 수행하는 방법들 중의 하나는 기판이 회전하는 지지부 상에 놓여지고 지지부 중심 상부에 배치된 노즐로부터 포토레지스트가 기판 상으로 공급되는 방식이 있다. 포토레지스트는 지지부의 회전에 의해 중심부로부터 가장자리로 퍼져 나간다. 그러나 이는 기판이 대형화됨에 따라 기판을 회전시키기 어렵고, 고가의 약액이 다량 소모되는 문제가 있다. 또한, 분사구가 기판의 폭과 유사한 길이의 슬릿을 가지는 슬릿노즐을 사용하여 기판 상에 포토레지스트를 분사하는 방식이 있으나, 이는 기판이 대형화됨에 따라 노즐의 설계 및 정밀가공이 어려운 문제가 있다. 또한, 기구적 수단을 이용하여 포토레지스트를 액적으로 분해하여 기판 상에 분사하는 방식이 있으나, 액적의 크기가 상이하여, 도포두께가 불균일해지는 문제점이 있다.
본 발명은 대형화되는 평판 표시 제조에 사용되는 기판에 포토레지스트를 균일한 두께로 도포할 수 있는 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 포토레지스트를 균일한 크기의 액적으로 분해하여 기판 상에 공급할 수 있는 노즐을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 도포 장치는 기판이 놓여지는 기판 지지부와 상기 지지지지부에 놓여진 기판 상에 감광액을 분사하는 노즐을 포함한다. 상기 노즐은 내부에 일정공간을 가지며 하단부에 개구가 형성된 몸체와 상기 몸체 내에 배치되는 모세관을 가진다. 감광액은 상기 모세관으로 공급되며, 상기 모세관에는 그 내부를 흐르는 감광액을 대전된 상태의 작은 액적으로 분해하기 위해 고전압이 인가된다.
상기 몸체에는 상기 액적의 분사 방향을 상기 기판 지지부에 놓여진 기판 상으로 유도하기 위해 상기 몸체 내로 소정의 유체를 공급하는 유체공급부가 형성되며, 상기 유체는 비활성기체 또는 질소가스가 사용될 수 있다.
또한, 상기 몸체는 상기 모세관의 선단보다 높은 위치의 측벽에 유출홀이 형성되고, 상기 노즐은 상기 몸체의 측벽 일정영역으로부터 상기 몸체의 하단부까지 감싸도록 상기 몸체에 결합되며 상기 몸체의 하단부에 형성된 개구와 대향되는 위치에 형성된 개구를 가지는 안내부를 더 포함할 수 있다. 상기 유체의 일부는 상기 유출홀과 상기 안내부에 형성된 개구를 통해 상기 노즐로부터 분사되고, 상기 유체의 다른 일부는 상기 몸체의 하단부에 형성된 개구와 상기 안내부에 형성된 개구를 통해 상기 노즐로부터 분사된다.
바람직하게는 상기 기판으로 분사되는 상기 액적의 분사거리를 조절하기 위해 상기 안내부를 상기 몸체의 측벽을 따라 이동시키는 구동부가 더 제공될 수 있다. 또한, 상기 액적을 상기 기판 상으로 유도하기 위해 상기 안내부 또는 상기 기판지지대는 접지될 수 있다.
또한, 상기 장치는 상기 노즐을 지지하는 노즐 지지부를 더 포함하며, 상기 노즐 지지부는 상기 기판 지지부의 양측에 위치되는 제 1고정지지대 및 제 2고정지지대와 상기 기판지지대를 가로지르도록 위치되며 상기 1고정지지대와 상기 제 2고정지지대에 결합되는 이동지지대를 가진다. 상기 노즐은 상기 이동지지대에 결합된 다. 또한, 상기 이동지지대를 상기 제 1고정지지대 및 상기 제 2고정지지대를 따라 이동시키는 제 1구동부와 상기 노즐을 상기 이동지지대를 따라 이동시키는 제 2구동부가 제공된다. 상기 이동지지대는 상기 노즐을 복수개 가지며, 상기 노즐들은 상기 고정지지대의 길이방향과 평행한 방향으로 일렬로 설치될 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 9를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 실시예에서 기판은 평판 표시(flat panel display) 소자를 제조하기 위한 것으로 직사각형의 평판이며, 평판 표시 소자는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), 또는 ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 예에 따른 도포 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 도포 장치(10)는 기판 지지부(100), 노즐 지지부(200), 그리고 노즐(300)을 가진다. 기판 지지부(100)는 도포공정이 수행되는 기판(S)이 놓여지는 부분으로 직사각의 평판 형상을 가진다. 노즐(300)은 기판 지지부(100)에 놓여진 기판(S) 상에 포토레지스트와 같은 감광액을 분사하는 부분으로 노즐 지지부(200)에 의해 지지된다. 본 발명에서 노즐(300)은 전기력에 의해 포토레지스트를 미세크기의 대전된 액적으로 분해하고, 이를 기판 상에 분사한다. 노즐(300)의 구조는 후에 상세히 설명한다.
노즐 지지부(200)는 제 1고정지지대(220)와 제 2고정지지대(240), 그리고 이동지지대(260)를 가진다. 제 1고정지지대(220)와 제 2고정지지대(240)는 긴 로드 형상을 가지며, 제 1고정지지대(220)는 기판 지지부(100)의 일측에 위치되고, 제 2고정지지대(240)는 제 1고정지지대(220)와 대향되도록 기판 지지부(100)의 타측에 위치된다. 이동지지대(260)는 제 1고정지지대(220)와 제 2고정지지대(240)를 가로지르도록 위치된다. 즉, 제 1고정지지대(220)와 제 2고정지지대(240)는 서로 평행하게 위치되며, 이동지지대(260)는 제 1고정지지대(220) 및 제 2고정지지대(240)와 수직하게 위치된다. 이동지지대(260)의 일단은 제 1고정지지대(220)에 결합된 브라켓(222)에 고정되고, 타단은 제 2고정지지대(240)에 결합된 브라켓(224)에 고정된다. 제 2고정지지대(240)의 일단에는 브라켓들(222, 224)을 구동하기 위한 제 1구동부(280)가 고정 설치되며, 브라켓들(222, 224)은 제 1구동부(280)에 의해 제 1고정지지대(220)와 제 2고정지지대(240)를 따라 직선 이동된다. 이동지지대(260)에는 노즐(300)이 고정되는 브라켓(262)이 결합되며, 노즐(300)은 제 2구동부(290)에 의해 이동지지대(260)를 따라 이동된다. 도 2는 본 실시예에서 기판(S) 상에 포토레지스트를 도포시, 노즐(300)의 이동경로를 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 처음에 이동지지대(260)는 기판(S)의 일단 상에 위치되고, 노즐(300)은 이동지지대(260)의 일단에 위치된다. 노즐(300)은 포토레지스트 액적을 분사하면서 이동지지대(260)의 일단으로부터 타단까지 이동된다. 이후에 이동지지대(260)는 제 1, 2고정지지대(220, 240)를 따라 일정거리 이동된다. 노즐(300)은 포토레지스트 액적을 분사하면서 다시 이동지지대(260)의 타단부터 일단까지 이동된다. 상술한 과정이 반복되며, 노즐(300)은 지그재그 방향으로 이동되면서 기판(S) 상에 포토레지스트 액적을 분사한다.
노즐(300)은 이동지지대(260)에 복수개가 설치될 수 있다. 이 경우 노즐(300)은 제 1, 2고정지지대(220, 240)의 길이방향으로 일렬로 설치되는 것이 바람직하다. 도 3은 2개의 노즐(300)이 이동지지대(260)에 설치되는 경우 노즐(300)의 이동경로를 보여주는 도면이다. 도 3을 참조하면, 이동지지대(260)가 한번에 이동되는 폭이 증가하며, 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
도 4는 도 1의 노즐(300)의 일실시예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 노즐(300)은 몸체(320), 모세관(capillary tube)(360), 유체공급부(340), 그리고 전원공급부(380)를 가진다. 몸체(320)는 내부에 소정의 공간을 가지고, 하단부가 개구된 원통 형상을 가진다. 구체적으로 몸체(320)는 중공원통의 형상으로 형성되는 측벽(322)과 측벽(322)의 개방된 상단부를 막아주는 덮개(324)를 가진다. 덮개(324)는 측벽(322)의 외경과 동일 직경을 가지는 상부(324a)와 상부(324a)로부터 아래로 연장되어 몸체(320) 내의 공간으로 일정거리 삽입되며 측벽(322)의 내경과 동일 직경을 가지는 하부(324b)로 이루어진다.
모세관(360)은 그 내부로 포토레지스트가 흐르는 관으로, 그 선단부가 몸체 내의 공간(314)에 위치되도록 덮개(324)에 형성된 홀을 통해 몸체(320)에 삽입된다. 모세관(360)은 금속 재질로 이루어지며, 바람직하게는 스테인리스 스틸(stainless steel)로 이루어진다. 모세관(360)에는 전원공급부(380)로부터 수 kV의 양 고전압이 인가된다. 이로 인해 모세관(360) 내를 흐르는 포토레지스트는 대전된 상태의 미세 크기의 액적으로 분해된다. 이들 액적들은 모두 수미크론(micron) 또는 이보다 작은 서브미크론(submicron)의 균일한 크기를 가진다. 즉, 노즐(300)로 공급된 포토레지스트는 노즐(300) 내에서 대전된 액적으로 분해된 후 아래로 분사되어 기판(S)에 부착된다. 액적들은 모두 양으로 대전되므로 분사 도중 서로간에 응집되지 않는다.
몸체(320)에는 유체공급부(340)가 설치된다. 유체공급부(340)는 몸체(320) 내의 액적들을 기판(S) 상으로 유도하는 유체를 몸체 내로 공급한다. 유체는 질소가스나 불활성 기체(inert gas)가 사용된다. 몸체의 덮개(324a) 상에는 원통형의 유체도입부(342)가 제공된다. 유체도입부(342)는 하부가 개방된 원통형의 형상을 가지고 덮개의 상부(324a)에 결합된다. 유체도입부(342)의 상부면에는 질소가스가 흐르는 도관(도시되지 않음)과 연결되는 포트(344)가 형성되고, 유체도입부(342) 내에는 포트(344)와 유체공급부 내의 공간(312)을 연결하는 홀(346)이 형성된다. 또한, 덮개(324)에는 유체도입부 내의 공간(312)과 몸체 내의 공간(314)을 연결하는 복수의 홀들(348)이 형성된다. 상술한 구조로 인해 외부로부터 공급된 질소가스는 유체도입부(342)에 형성된 홀(346)을 통해 공간(312) 내로 유입되며, 이후 덮개(324)에 형성된 홀들(348)을 통해 몸체 내의 공간(314)으로 공급된다. 몸체(320) 내 액적들은 질소가스에 의해 기판(S) 상으로 유도되어 기판(S)에 부착된다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이 기판 지지부(100)는 도체로 이루어지고, 접지될 수 있다. 이는 몸체(320) 내 액적들을 전기력에 의해 기판(S) 상으로 유도하기 위한 것이다. 이와 달리 도 4에 도시된 바와 같이 몸체의 측벽(322)이 도체로 이루어지고 접지될 수 있다.
도 6은 도 4의 노즐(300)의 변형된 예를 보여주는 도면이다. 노즐(300)은 상술한 실시예에 도시된 몸체(320), 모세관(360), 유체분사구(340), 그리고 전원공급부(380) 이외에 안내부(330)와 이를 구동하는 구동부(도시되지 않음)를 더 포함한다. 몸체(320), 모세관(360), 유체분사구(340), 그리고 전원공급부(380)는 상술한 실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다. 안내부(330)는 원통 형상으로 형성되며, 내부에는 중공이 형성된다. 안내부(330)는 몸체의 측벽(322) 소정영역으로부터 몸체(322)의 저면을 감싸도록 배치되며, 안내부(330)에 형성된 중공의 직경은 몸체(320)의 외경보다 길게 형성되어 안내부(330)의 내벽과 몸체(320) 사이에는 일정공간(316)이 제공된다. 안내부의 측벽(332) 상단에는 내측으로 돌출되어 몸체의 측벽(322)에 결합되는 결합부(334)가 형성된다.
몸체의 측벽(322)에는 유출홀(343)이 형성된다. 몸체(320) 내로 분사된 질소가스는 유출홀(343)을 통해 안내부(330)와 몸체(320) 사이에 형성된 공간(316)으로 흐를 수 있다. 유출홀(343)을 통해 액적을 제외한 질소가스만 흐르도록 유체홀(343)은 모세관(360)의 선단보다 높은 위치에 형성된다.
몸체(320)의 하단부에는 개구 내측으로 돌출된 돌출부(323)가 형성되고, 안내부의 측벽(332) 하단에는 몸체의 돌출부(323)가 돌출된 위치까지 이와 대향되도 록 내측으로 돌출된 돌출부(336)가 형성된다. 이는 노즐(330)로부터 질소가스가 분사되는 개구의 크기를 줄여 액적들이 일정영역으로 집중되어 분사될 수 있도록 한다. 상술한 구조로 인해 몸체(320) 내로 공급된 질소가스의 일부는 몸체(320) 내의 액적들과 함께 몸체에 형성된 개구(323a) 및 안내부에 형성된 개구(336a)를 통해 아래로 분사되고, 다른 일부는 유출홀(343) 및 안내부와 몸체 사이의 공간(316), 그리고 안내부의 개구(336a)를 통해 아래로 분사된다. 몸체의 개구(323a)보다 아래 위치에서 몸체의 개구(323a)로부터 분사된 액적들은 유출홀(343)을 통해 흐르는 질소가스에 의해 일정영역으로 다시 집중된다.
또한, 도 7과 도 8에 도시된 바와 같이 액적들이 기판(S) 상으로 분사되는 영역을 조절하기 위해 안내부(330)는 구동부(도시되지 않음)에 의해 몸체의 측벽(322)을 따라 상하로 직선이동될 수 있다. 구동부는 모터 또는 유공압 실린더를 사용한 기계적 방법에 의해 안내부(330)의 위치를 조절하거나 전자석 또는 영구자석을 사용한 자력에 의해 안내부(330)의 위치를 조절할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 전기력에 의해 액적들을 아래 방향으로 유도하기 위해 안내부(330)는 도체로 이루어지고 접지된다. 이와 달리 전기력에 의해 몸체(320) 내의 액적들을 기판(S) 상으로 유도하기 위해 도 9에 도시된 바와 같이 기판 지지부(100)는 도체로 이루어지고, 접지될 수 있다.
본 발명에 의하면, 전기력을 사용하여 포토레지스트를 액적으로 분해하므로 기계적 방법에 의해 포토레지스트를 액적으로 분해하는 일반적인 경우에 비해, 액 적들의 크기가 미세하고 균일하며, 액적들이 양으로 대전되므로 분사도중 응집되지 않아 기판 상에 균일한 도포가 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 안내부가 몸체의 측벽을 따라 이동 가능하므로 노즐로부터 기판까지 액적들의 분사거리를 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 도포장치는 일렬로 설치된 복수개의 노즐을 구비하므로, 대형 기판의 도포 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 포토레지스트는 액적으로 분해되어 기판 상에 직접 분사되므로 도포에 사용되는 고가의 포토레지스트를 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 평판 표시 소자 제조를 위한 기판에 감광액을 도포하는 공정을 수행하는 장치에 있어서,
    기판이 놓여지는 기판 지지부와;
    상기 지지지지부에 놓여진 기판 상에 감광액을 분사하는 노즐과;
    상기 노즐을 지지하는 노즐 지지부를 포함하되,
    상기 노즐은,
    내부에 일정공간을 가지며, 하단부에 개구가 형성된 몸체와;
    상기 몸체 내에 삽입되며, 감광액이 공급되는 모세관과;
    상기 모세관 내를 흐르는 감광액을 대전된 상태의 작은 액적으로 분해하기 위해 상기 모세관에 고전압을 인가하는 전원공급부를 포함하고,
    상기 노즐 지지부는,
    상기 기판 지지부의 양측에 위치되는 제 1고정지지대 및 제 2고정지지대와;
    상기 기판지지대를 가로지르도록 위치되며 상기 1고정지지대와 상기 제 2고정지지대에 결합되는, 그리고 상기 노즐이 설치되는 이동지지대와;
    상기 이동지지대를 상기 제 1고정지지대 및 상기 제 2고정지지대를 따라 이동시키는 제 1구동부와; 그리고
    상기 노즐을 상기 이동지지대를 따라 이동시키는 제 2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 이동지지대는 상기 노즐을 복수개 가지며,
    상기 노즐들은 상기 고정지지대의 길이방향과 평행한 방향으로 일렬로 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  4. 평판 표시 소자 제조를 위한 기판에 감광액을 도포하는 공정을 수행하는 장치에 있어서,
    기판이 놓여지는 기판 지지부와;
    상기 지지지지부에 놓여진 기판 상에 감광액을 분사하는 노즐을 포함하되,
    상기 노즐은,
    내부에 일정공간을 가지며, 하단부에 개구가 형성된 몸체와;
    상기 몸체 내에 삽입되며, 감광액이 공급되는 모세관과;
    상기 모세관 내를 흐르는 감광액을 대전된 상태의 작은 액적으로 분해하기 위해 상기 모세관에 고전압을 인가하는 전원공급부를 포함하고,
    상기 몸체에는 상기 액적의 분사 방향을 상기 기판 지지부에 놓여진 기판 상으로 유도하기 위해 상기 몸체 내로 소정의 유체를 공급하는 유체공급부가 형성되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 유체는 비활성기체 또는 질소가스인 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 몸체는 상기 모세관의 선단보다 높은 위치의 측벽에 유출홀이 형성되고,
    상기 노즐은 상기 몸체의 측벽 일정영역으로부터 상기 몸체의 하단부까지 감싸도록 상기 몸체에 결합되며, 상기 몸체의 하단부에 형성된 개구와 대향되는 위치에 형성된 개구를 가지는 안내부를 더 포함하되,
    상기 유체의 일부는 상기 유출홀과 상기 안내부에 형성된 개구를 통해 상기 노즐로부터 분사되고, 상기 유체의 다른 일부는 상기 몸체의 하단부에 형성된 개구와 상기 안내부에 형성된 개구를 통해 상기 노즐로부터 분사되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 기판으로 분사되는 상기 액적의 분사거리를 조절하기 위해 상기 안내부를 상기 몸체의 측벽을 따라 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 액적을 상기 기판 상으로 유도하기 위해 상기 안내부는 접지되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  9. 제 4항에 있어서,
    상기 액적을 상기 기판 상으로 유도하기 위해 상기 기판지지대는 접지되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  10. 삭제
  11. 평판 표시 소자 제조를 위한 기판에 감광액을 분사하기 위해 사용되는 노즐에 있어서,
    하부가 개방되며 내부에 일정공간이 형성된 몸체와;
    내부로 감광액이 공급되며, 상기 감광액을 대전된 상태의 작은 액적으로 분해하기 위해 고전압이 인가되는 모세관과;
    상기 액적의 분사방향을 유도하기 위해 상기 몸체의 공간 내로 질소가스 또는 비활성 기체를 분사하는 유체분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 몸체는 측벽에 상기 질소가스 또는 비활성 기체의 이동로인 유출홀이 형성되고,
    상기 노즐은 상기 몸체의 측벽의 일정영역으로부터 상기 몸체의 하단부에 형성된 개구까지 감싸도록 상기 몸체에 결합되며, 상기 몸체의 하단부에 형성된 개구와 대향되는 위치에 개구가 형성된 안내부를 더 포함하되,
    상기 유체의 일부는 상기 유출홀과 상기 안내부에 형성된 개구를 통해 상기 노즐로부터 분사되고, 상기 유체의 다른 일부는 상기 몸체의 하단부에 형성된 개구와 상기 안내부에 형성된 개구를 통해 상기 노즐로부터 분사되는 것을 특징으로 하는 노즐.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 노즐로부터 상기 기판으로 분사되는 분사거리를 조절하기 위해 상기 안내부를 상기 몸체의 측벽을 따라 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 액적을 상기 기판 상으로 유도하기 위해 상기 안내부는 접지되는 것을 특징으로 하는 노즐.
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