JP5012641B2 - 液体塗布方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態1における液体塗布装置の構成図であって、以下の実施の形態の説明では有機ELの発光層塗布工程を例にして説明する。
図4(a)は本発明の参考例である液体塗布装置の正面断面図であって、ノズルと基板の相対的な移動方向Aに対して垂直な方向から見た図、図4(b)は参考例におけるノズル部分の斜視図である。
図5は本発明の実施の形態2である液体塗布装置の外観斜視図である。
図6(a)は本発明の実施の形態3である液体塗布装置の正面断面図であって、ノズルと基板の相対的な移動方向Aに対して垂直な方向から見た図である。
参考例を使用した実施例により、より詳細に説明する。
2 基板
3 基板ステージ
4 ノズル孔
5 インク
6 メニスカス
7 電源
8 テーラー・コーン
10,11a 突起
12 吐出孔
13 溶媒
Claims (2)
- 液体を塗布対象物に塗布する液体塗布方法であって、液体を吐出するノズルと、前記液体と前記塗布対象物間に所定電圧を印加する電源とを備え、前記ノズルの先端面のノズル孔から前記ノズル孔の半径方向にずれた位置に、対向する前記塗布対象物に向けて突出する先端が配設される突起を用い、前記ノズルから前記突起に沿わせて液体を吐出させる際、前記ノズルを前記突起が形成された方向に運動させながら前記突起の先端に液溜まりを作り塗布することを特徴とする液体塗布方法。
- 前記塗布対象物への液体塗布終了後に、前記液体において使用される溶媒を前記突起に隣接して配置される吐出孔から吐出することを特徴とする請求項1記載の液体塗布方法。
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