TWI356034B - - Google Patents

Description

1356034 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於-種輸送裝置，尤指—種驗輸送基板之裝置。 【先前技術】 由於平面顯不器之基板與半導體晶圓屬於薄板狀，儲藏上述基板及晶 圓之儲藏#細水平分隔，使雌板及該晶圓疊放於雜麵巾，而將該 基板及該晶®取出或置放係_一具端效器之輸送裝置，而下述為習知之 輸送基板裝置 習知輸送基板之裝置具有水平對稱之二機械手臂，並設置於一機身上， 每-機械手臂之另-端連接_端效器，以達到輸送基板之功效。但因輸送 基板時’基板之撓度增加，導致細置㈣基韻之間隔必須增加， 而且為了提高輸送基板之效率，增加該儲藏髮放基板之數量。因此輸送 基板裝置賴可作上下軸，_裝置更於機身12，巾設有—升降機構， 使一機械手臂可上τ移動，但升降機構設於機身中，其上升最大高度及下 降最大高度受職身之_，如此欲增加上升最大高度，裝置之體積越大， 導致置放裝置之空間亦增大。 為了解決上述之_，本發明係提供—種輸送基板裝置，解決二機械 機械臂上下移動之高度問題，節省置放該輸送裝置之空間問題。 【發明内容】 本發明之目的之-，在於提供一種輸送基板裝置，減少設置輪送基板 裝置之空間’儲存基板之儲藏櫃亦不必隨輸送基板裝置而改變。 、’在於提供—雌送基板裝置，具有1好的平雛， 減少輸送基域置之重心軸偏斜，準確取得及置放基板。 本發明之目的之―，在於提供—雜送基板裝置，二機械手臂呈水平 對稱&置’可作高速轉而不娜基板，有效提高輸絲板裝置之工作效 5

Claims (1)

1356034 /00年7月/i曰修(更)正丰 十、申請專利範圍： 1. 一種輸送基板裝置，係包含： 一第一平台； 一第二平台，設於該第一平台並旋轉於該第一平台； 一升降柱，設於該第二平台之一側； —支撐平台，設於該第二平台上，其一側嵌設於該升降柱； 二機械手臂’呈左右對稱，且水平設於該支撐平台，每一機械手臂包 含一第一機械臂及一 第二機械臂，該第二機械臂之一端設於該第一機械臂上；以及 二端效器’分別設於該些機械手臂之該些第二機械臂之另一端。 2. 如申請專利範圍第1項所述之輸送基板裝置，更包含： 一滑執，設於該第一平台下，該第一平台滑動於該滑轨上。 3. 如申請專利範圍第2項所述之輸送基板裝置，其中該第一平台包含一 馬達，驅動該第一平台滑動於該滑軌。 4_如申請專利範圍第3項所述之輸送基板裝置，其中該馬達更包含一齒 輪’該滑轨之内側包含一齒條座，該齒輪與該齒條座之齒條嚙和。 5. 如申請專利範圍第3項所述之輸送基板裝置，其中該馬達更設有一減 速器。 6. 如申請專利範圍第3項所述之輸送基板裝置，其中該馬達係伺服馬達。 7. 如申請專利範圍第1項所述之輸送基板裝置，其中該第一平台上設有 一旋轉模組，該旋轉模組與該第二平台連接並旋轉該第二平台。 8·如申請專利範圍第7項所述之輸送基板裝置，其中該旋轉模組包含一 馬達’驅動該第二平台旋轉。 9. 如申清專利範圍第8項所述之輸送基板裝置，其中該馬達更設有一減 速器。 10. 如申請專利範圍第8項所述之輸送基板裝置 ，其中該馬達係伺服馬達。 U.如申請專利細第1項所述之輸送基板裝置 ，其中該升降柱設於該二 13 機械手孑之運動方向之相反方向。 申月專利範圍第1項所述之輸送基板裝置，其中該第二平台相對於 該升降杈之一端設有一配重塊。 13. 如申請專利範圍第1項所述之輸送基板裝置，其中該升降柱包含二滑 槽，該支撐平台嵌設於該些滑槽，以滑動該支撐平台。 14. 如申„月專利範圍第13項所述之輸送基板裝置其中該些滑槽係分別設 有一防塵帶’該防塵帶之一端設於該支樓平台，該防塵帶之另一端依 序繞過滑槽頂端及其底端’並設於該支撐平台。 15. 如申請專利範圍第14項所述之輸送基板裝置’其中該些滑槽頂端及其 底端分別設有一轉動輪，該防塵帶套設於該些轉動輪上。 16_如申請專利範圍第13項所述之輸送基板裝置’其中該升降柱中間設有 一螺桿’並穿設該支撐平台，且於該升降柱底端設有一馬達，該馬達 驅動該螺桿帶動該支撐平台。 17. 如申請專利範圍第16項所述之輸送基板裝置，其中該螺桿係滾珠螺桿。 18. 如申請專利範圍第16項所述之輸送基板裝置，其中該馬達係伺服馬達。 19. 如申請專利範圍第1項所述之輸送基板裝置，其中該第一機械臂之長 度與第二機械臂之長度相同。 20. 如申請專利範圍第1項所述之輸送基板裝置，其中該支撐平台包含二 馬達，該些第一機械臂之一端分別設有一第一轉動輪及一第一轉動 軸，該第一轉動輪套設該第一轉動軸，該第一轉動軸之一端固設於第 一機械臂，其另一端設於對應之該馬達，該些第一機械臂之另一端分 別設有第二轉動輪，該第一轉動輪與該第二轉動輪間設有一傳動 帶，該馬達驅動該第一轉動軸，該第一轉動轴與該第一傳動輪產生相 對運動，該傳動帶帶動第一傳動輪及該第二轉動輪。 21. 如申請專利範圍第20項所述之輸送基板裝置，其中該些馬達更分別設 有一減速器。 22. 如申請專利範圍第20項所述之輸送基板裝置，其中該些馬達係伺服馬 1356034 ^ * 達。 23. 24. 25. 26. 27. 28. 29. 30. 31. 32. 如申請專·_ 2〇項崎讀送基板裝置， 徑為第二傳動輪之半徑的兩倍。 …第- 如申請專利$i_ 2G _述之輸送基板裝置， 二傳動輪為齒輪。 、成第― 如申請專利_第24項所述之輸送基板裝置， 數為第二傳動輪之齒數的兩倍。 4~ 利範圍第2。項所述之輸送基板裝置， ^刀别第二轉動輪及—第二轉動轴，該第二 没该第二轉動輪麵設於料—纖臂，鄉 ，三轉動輪’該些第二機械臂之另一端分別設有二= =轉f輪與該第四轉動輪間設有—傳動帶，該第—機械臂驅動該第 -機械臂’該第四轉動輪與第二機械臂產生相 該第三轉動輪及鱗_動輪。 城動’該傳動帶帶動 如申請專利範圍第27項所述之輸送基板裝置，其中該第四傳動輪 徑為第三傳動輪之半徑的兩倍。 * 如申請專利範圍第27項所述之輸送基板裝置 四傳動輪為齒輪。 如申請專利範圍第29項所述之輸送基板裝置 數為第三傳動輪之齒數的兩倍。 傳動輪之半 傳動輪及第 ‘傳動輪之齒 ’其中該第三傳動輪及第 ’其中該第四傳動輪之齒 如申請專利第27項所述之輸送基板裝置，其中該傳動帶為皮帶。 如申請專利範圍第27項所述之輸送基板裝置，其中該 些知效器係》別包含-第三轉動軸，該第三轉動軸穿設對應之該第二機 械臂之該第四轉動輪，以帶動該端效器移動。 15