1353438 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 等處理裝置’在對_示用玻璃基板 處燒製步驟中’在中空之搬送路徑内進行加敎 处里你冷處理及冷卻處理等熱處理。 ”，' 【先前技術】 在電聚顯示用玻璃基板等被處理物之燒擊 空之搬送路徑内被進行加熱處理、徐冷户 在中 熱處理。該熱處理中所使用的熱處理裝；：：：理等 壁構件覆蓋於上面、下面及/ 將、、，邑熱材料之外 I、、，及左右兩側面之4面而構成中* 搬运路徑。於搬送路徑之至少上面的 =中工 以將搬送路徑加熱至設定溫度的加熱器。刀处有用 電梁顯示用玻璃基板等被虚 r:r:，塗佈:=含 。有=或燃燒等而氣化之情況。此氣體使搬送_ C華:Γ固，成昇華物而附著於搬送路徑之壁面等： 什華物再附者於被處理物之表面，因 缺^因此，在第！均熱處理中使氣體充分產t處理物之 ^知之熱處理裝置中，—般於在搬送路徑中進行 >皿處理之第丨升溫區域與進行第丨均熱處理之第 =
域中，配置有排氣箱及清淨氣體之導弁:，，、A 域與第1均熱區域中，清淨氣體從導入管流入^:區 面=體從排氣箱排出至外部。其可將第W溫區域 域之清淨度維持在很高的狀態，而可防止昇華= 312XP/發明說明書(補件V95·95113350 6 1353438 (專:或文中至破處理物上。(例如，參照專利文獻υ (專利文獻丨）日本專利第3655729號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 藉配置排氣箱及清淨氧# 區Μ盥笛涂官，其可使第1升溫 二:：句…、區域之清淨度維持在很高的狀態，但卻出 ==進行搬送路徑内之第2升溫處理、《2均熱處 丨你7處理、及冷卻處理等之其他區域的清淨度之問 m 皮認為在於，藉由自導入管所導入之清淨氣體 !：’而將被處理物所產生之昇華氣體完全吸引至排氣箱之 刖’其會從第1升溫區域及第J均熱區域流至其他區域。 因此，在搬送路徑中之第丨升溫區域及第丨均熱區域以 外的區域巾’昇華物會附著於被處理物_L ’而產生被處理 物之缺陷。 本發明之目的在於提供一種熱處理裝置，在跨越搬送路 鲁徑之整體上，能使清淨度維持於很高的狀態。 (解決問題之手段） 本發明之熱處理裝置，係對在搬送路徑中搬送的被處理 物，依次進行包含有第1升溫處理、第1均熱處理、第2 升溫處理、第2均熱處理、徐冷處理及冷卻處理之處理的 熱處理裝置，並具備穹：第丨導入管，其將清淨空氣導入 於搬送路控中，進行第1升溫處理及第1均熱處理之第J 升溫區域及第1均熱區域；以及排氣箱，其將第丨升溫區 域及上述第1均熱區域之空氣排出至外部；如此之熱處理 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95113350 7 1353438 裝置，其特徵在於，其配備有第2導入管。第2導入管可 將清淨空氣導入至搬送路徑中，第1升溫區域及第1均熱 區域以外之區域。 根據此構成，清淨空氣被從第2導入管導入至搬送路 徑中’第1升溫區域及第1均熱區域以外之區域。 第2導入管可沿搬送路徑配置複數支。在第1升溫區域 及第1均熱區域以外之區域的行程很長之下，其亦能將充 I分的清淨空氣導入至該區域。 第2導入官可設定為將清淨空氣朝向被處理物上面向 下導入。透過清淨空氣其可使被處理物之上面保持為清淨 狀態。 第2導入管’亦可設定為在被處理物上面之上側處，沿 搬送路徑將清淨空氣往水平方向導入。透過清淨空氣其可 使被處理物之上面保持為清淨狀態。 第2導入管亦可設定為在上述被處理物上面之上側 鲁處，且於與上述搬送路徑正交之方向上，上述被處理物的 上面之兩端部的外侧處，以其長度方向沿上述搬送路徑之 方向而配置，並將清淨空氣朝向與搬送路徑正交之水平方 向與向下之方向而導入。透過清淨空氣其可使被處理物之 上，的空氣保持為清淨狀態之同時，可遮蔽與搬送路徑呈 正交方向之被處理物的兩端部與搬送路控的側面之間。呈 可防止從側面開口部分等侵入之塵埃所造成的被處理物、 之污損，及被處理物溫度之下降。 (發明效果） 3 J 2XP/發明說明書(補件)/95·07/95〗13350 8 根據本發明之敎虛 Λ其道λ s 又…處理裒且，其可將清淨空氣從第2導 外：區域，搬送路徑中之第1升溫區域及第1均熱區域以 而產而抑制在第1升溫區域及第1均熱區域因加埶 而產生之氣體往1 … 從撕接议一 v 外之£域流入之情況，同時抑制塵埃 攸搬运路徨側面 之開口邛佼入之情形，因此在整個搬送路 仕:此將凊淨度維持在很高的狀態。 【貫施方式】 l 不本發明實施形態之熱處理裝置ig中的熱處理 ^❶…处理裝置1〇將被處理物從爐内搬送路徑之一端 另^ °其間’依序對被處理物實施第1升溫處 ,句…、處理、第2升溫處理、第2均熱處理、徐冷 處理及冷卻處理。 弟1均熱處理’將被處理物例如加熱至35(TC〜40(TC， 使八狀悲維持20分鐘。第2均熱處理，將被處理物例如 加熱至60(TC ’使其狀態維持3〇分鐘。徐冷處理將被處 匕物例1花費4〇分鐘冷卻至4〇〇。。。冷卻處理將被處理 勿例如才匕費5 0分鐘冷卻至常溫。 在第、1升溫處理及第i均熱處理中，因加熱而使被處理 勿上所塗佈之塗佈劑產生氣體。當此氣體冷卻至既定溫度 夺口化為幵華物。此昇華物附著於搬送路徑之内壁面 等，於後熱處理時再附著於所搬送之被處理物上，使被處 理物產生缺陷。 圖2係表示熱處理裝£ 1〇《構成的側視剖視圖。熱處 里衮置10中，沿搬送路徑5形成有第丨升溫區域Η、第 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95113350 9 1353438 1均熱區域52、第2升溫區域53、第2均熱區域54、徐 冷區域55及冷卻區域56。於搬送路徑5中，其配置有、> 數支搬送滚柱（rol ler)2呈可自由旋轉狀態。於第丨升^ 區域51、第1均熱區域52、第2升溫區域53、第2均熱 區域5 4、徐冷區域5 5及冷卻區域5 6中，其分別進;^第1 升溫處理、第1均熱處理、第2升溫處理、第2均熱處理、 徐冷處理及冷卻處理。 第1升溫區域51及第1均熱區域52中，於其搬送.旁柱 *2配置位置之上方處，沿搬送路徑上配置有複數個排氣箱 6以及複數支第1導入管7。排氣箱6將在第丨均熱區域 中因加熱而由被處理物所產生之氣體排出外部。排氣箱6 貫通搬送路徑5之側面壁面，並在熱處理裝置1 〇之右側 面側與未圖示之頂出銷（e jector )連接。 第1導入管7將清淨空氣導入第i升溫區域51及第i 均熱區域52。第1導入管7貫通搬送路徑5之右側面壁 #面，並在熱處理裝置10之右側面側與未圖示之高壓清； 空氣（clean air)、乾燥清淨空氣CDA(clean dry air)或 送風機（blower)連接。送風機具備有過濾器（fUter)，將 外界空氣清淨化後將其導入至第i導入管7。另外，亦可 伙> /月淨单元（c 1 ean un i t)將清淨空氣供給至第j導入管 7。 於搬送路徑5中，在第2升溫區域53、第2均熱區域 54、徐冷區域55及冷卻區域56等，第1升溫區域51及 第1均熱區域52以外之區域，於其搬送滾柱2之上方處， 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95113350 1353438 配置有複數支第2導入管4。第2導入管4將清淨空氣導 入至第1升溫區域51及第1均熱區域52以外之區域。例 如’複數支第2導入管4以與搬送路徑5正交之方向為其 長度方向’而沿搬送路徑5配置成複數支。 圖3(A)係正面剖視圖，表示本發明第1實施形態的熱 處理裝置10之搬送路徑5中，第丨升溫區域51及第2均 熱區域52以外之區域的構成。熱處理裝置具備有外壁 構件11〜14、搬送滚柱2、耐熱玻璃31〜34、及第2導入 •管4。 外壁構件11〜14由絕熱材料所構成，分別覆蓋於搬送被 處理物20之搬送路徑的上面、下面及左右兩側面。至少 在第1升溫區域51、第1均熱區域52、第2升溫區域53 及第2均熱區域54之外壁構件丨丨的内側面，具備有未圖 示之加熱器。 耐熱玻璃31〜34為防塵構件，分別配置在外壁構件 籲11〜14之内側。耐熱玻璃31〜34防止從外壁構件}脫離之 塵埃被附著至被處理物20上。 搬送滾柱2之兩端部貫通外壁構件13及外壁構件丨斗之 貫通孔13A及14A、暨耐熱玻璃33及耐熱玻璃34之貫通 孔33A及34A，而在左右兩側面側之爐外由軸承21、22 支撐成可自由旋轉。搬送滾柱2被未圖示的搬送馬達之旋 轉傳動，在其上面搬送被處理物2 〇。 第2導入管4在搬送路徑5内的第丨升溫區域5丨及第 1均熱區域52以外之區域，於耐熱破璃3丨與搬送吏柱2 312XP/發明說明書(補件)/95-07/951丨3350 n 1353438 以與被處理物之搬送方向正交之方向為 而配置。帛2導入管4例如呈圓筒 ::：方向 2 〇長。 〜具見度比被處理物 並導入管4分別貫通搬送路徑5之右側面壁面， ，在…處理裝置1G之右側面側跟未圖示之高壓清淨空 乳、乾燥清淨空线送風機連接。送風機具備有過淚哭， 將外界空氣清淨化後將其導入至第2導入管4。另外，亦 .可從清淨單元將清淨空氣供給至第2導入管4。 清淨空器從第2導入管4朝搬送路徑^之被處理物 20上面向下導入。 在搬送路徑5之第1升溫區域51及第丨均熱區域52以 外之區域中，對在搬送滾柱2上搬送之被處理物2〇上面 供給清淨空氣。在第1升溫區域51及第1均熱區域52中 自被處理物20所產生的氣體，其不會流入第〗升溫區域 51及弟1均熱區域52以外之區域，因而被處理物2〇之 鲁表面不會因氣體之昇華物而受到污損。 藉增減第2導入管4之配置數量，其可對應搬送路徑5 之長度變化。 其亦可自第2導入管4在水平方向上導入清淨空氣。而 清淨空氣不會直接接觸至被處理物2 0之表面，而可高精 確度均衡地維持被處理物20之溫度分佈。 其亦可使複數支第2導入管4，分別自熱處理裝置1〇 之背面（出口）側沿搬送路徑5插入爐内之1支導入管使其 分歧而出。 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95113350 1353438 圖3(B)為正面剖視圖’表示本發明第2實施形態的熱 處理政置10之構成。在本實施形態之熱處理裝置10， 中’對於搬送路徑5内之第1升溫區域51及第1均熱區 域5 2以外之區域，例如於耐熱玻璃3丨與搬送滾柱2之間 配置4支第2導入管41。各第2導入管41例如可呈圓筒 形。 ° 圖中雖未表示，但第2導入管41例如從熱處理袭置1 〇 鲁之背面（出口）側沿搬送路徑5插入爐内。從第2導入管 41 ’沿與搬送路徑5正交之水平方向被導入清淨空氣。各 支第2導入管41分別從配備有過濾器之送風機 '清淨單 元、高壓清淨空氣或CDA被供給清淨空氣。 在搬送路徑5之第1升溫區域51及第1均熱區域52以 外之區域’於搬送滾柱2上被搬送之被處理物2〇的上面 之上方其充填有清淨空氣。在第1升溫區域51及第1均 熱區域52中被處理物20所產生的氣體，則不會流入第i 鲁升溫區域51及第1均熱區域52以外之區域，因而被處理 物20之表面不會因氣體之昇華物而受到污損。 其亦可由第2導入管41在水平方向上導入清淨空氣。 清淨空氣不會直接接觸至被處理物2〇之表面，而可以高 精確度均衡地維持被處理物2〇之溫度分佈。 圖3(C)為正面剖視圖’表示本發明第3實施形態的熱 處理裝置10”之構成。在本實施形態之熱處理裝置1〇” 中’對於搬送路徑5内之第1升溫區域51及第1均熱區 域52以外之區域，於耐熱玻璃31與搬送滾柱2之間配置 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95113350 13 1353438 2支第2導入管42。各第2導入管们列如可 弟2導入管42在與搬送路徑&交之方向上，被處理 物20兩端部之外側處，以沿搬送路徑5之方向為並 方向而配置。第2導入管42將清淨空氣朝與搬送路^ 交之水平方向與下方向導入。 圖令雖未表示，第2導入管42例如從熱處理裝置1〇之 背面（出口）侧沿搬送路徑5插入爐内。第2導入管“分 從配備有過濾器之送風機、清淨單元、高壓清淨空氣或 供給清淨空氣。 一2 透過從第2導入官42導入的清淨空氣，可使被處理物 上面空氣保持為清淨狀態。 由第2導入管42往水平方向導入的清淨空氣其不會直 接接觸至被處理物2 0之上面。其可以高精確度均衡地維 持被處理物20之溫度分佈。 由第2導入管42往下方向導入的清淨空氣，遮蔽與搬 鲁送路徑5呈正交方向之被處理物20的兩端部與耐熱玻璃 33、34之間。其可防止由外壁構件13及外壁構件14之 貫通孔13A及14A、暨耐熱玻璃33及耐熱玻璃34之貫通 孔33A及34A而侵入之塵埃，造成被處理物之污損及被處 理物溫度之降低。 在熱處理裝置1 0中，搬送路徑可由複數段所構成，而 在搬入口及搬出口配置升降機（1 i f ter )之情形。在複數段 搬送路徑5中，各個之第1升溫區域51及第1均熱區域 52以外之區域，亦可透過配置第2導入管4、41或42， 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95113350 14 1353438 •第 在熱處理中及其後，在熱處理裝置内搬送中之全部期 防止被處理物20之污損^ ' 【圖式簡單說明】 圖1表不本發明實施形態之熱處理裝置丨〇中 之内容。 义 圖2係表示熱處理裝置10之構成的側面剖視圖。 圖3(A)、（B)、（C)為正面剖視圖，表示本發明第卫 實施形態的熱處理裝置10、10， 、10”之搬送路 1 ^ 1 认也 π u ^ ^ α ,、 ^ b 中， 間内 理 均熱區域以外之區域構成 【主要元件符號說明】 2 搬送滾柱 4 第2導入管 5 搬送路徑 6 排氣箱 7 第1導入管 ^10 熱處理裝置 11 〜14 外壁構件 13A ' 14A 貫通孔 20 被處理物 31 〜34 耐熱玻璃 33A 、 34A 貫通孔 41 第2導入管 42 第2導入管 51 第1升溫區 312XP/發明說明書(補件)/95_07/95113350 15 1353438 52 第 1 均 孰 區 域 53 第 2 升 溫 區 域 54 第 2 均 熱 區 域 55 徐冷 區 域 56 冷卻 區 域 312XP/發明說明書(補件)/95-07/951] 3350 16