CN101016188A - 热处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于：防止气体从搬送路径中的第1均热区域流入至其它区域，而在跨越搬送路径整体内使清净度维持在很高的状态。在第1升温区域51及第1均热区域52中，具备排气箱6及第1导入管7。排气箱6将在第1均热区域因加热而由被处理物所产生的气体排出至外部。第1导入管7将清净空气导入至第1升温区域51。在搬送路径5之中，在第1升温区域51及第1均热区域52以外的第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56等，于搬送滚柱2的上方处，沿搬送路径5配置若干个第2导入管4，使其长度方向与搬送路径5方向正交。第2导入管4将清净空气导入至第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域。

Description

热处理装置
技术领域
本发明涉及一种热处理装置，尤其涉及在对电浆显示用玻璃基板等被处理物的烧制工艺中，在中空的搬送路径内进行加热处理、徐冷处理及冷却处理等热处理的热处理装置。
背景技术
在电浆显示用玻璃基板等被处理物的烧制工艺中，在中空的搬送路径内被进行加热处理、徐冷处理及冷却处理等热处理。该热处理中所使用的热处理装置将绝热材料外壁构件覆盖于上面、下面及左右两侧面的4面而构成中空搬送路径。于搬送路径的至少上面的一部份，配置有用以将搬送路径加热至设定温度的加热器。
电浆显示用玻璃基板等被处理物，其表面涂布有机材料等各种涂布剂。对于涂布剂中所包含的黏合剂(binder)等，有因加热或燃烧等而气化的情况。该气体使搬送路径污损，冷却时固化成升华物而附着于搬送路径壁面等。此升华物再附着于被处理物表面，因而产生被处理物缺陷。因此，在第1均热处理中使气体充分产生。
现有的热处理装置中，一般于在搬送路径中进行第1升温处理的第1升温区域与进行第1均热处理的第1均热区域中，配置有排气箱及清净气体的导入管。于第1升温区域与第1均热区域中，清净气体从导入管流入，另一方面，气体从排气箱排出至外部。其可将第1升温区域与第1均热区域的清净度维持在很高的状态，而可防止升华物在该区域中附着至被处理物上。(例如，参照专利文献1)
(专利文献1)日本专利第3655729号公报
通过配置排气箱及清净气体的导入管，其可使第1升温区域与第1均热区域的清净度维持在很高的状态，但却出现不能提高进行搬送路径内第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理、及冷却处理等其它区域的清净度的问题。其原因被认为在于，通过由自导入管所导入的清净气体流，而将被处理物所产生的升华气体完全吸引至排气箱之前，其会从第1升温区域及第1均热区域流至其它区域。
因此，在搬送路径中第1升温区域及第1均热区域以外的区域中，升华物会附着于被处理物上，而产生被处理物缺陷。
发明内容
(发明所要解决的课题)
本发明的目的在于提供一种热处理装置，在跨越搬送路径的整体上，能使清净度维持于很高的状态。
(解决问题的技术方案)
本发明所涉及的热处理装置，其是对在搬送路径中搬送的被处理物，依次进行包含有第1升温处理、第1均热处理、第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理及冷却处理的热处理装置，并具备有：第1导入管，其将清净空气导入于搬送路径中，进行第1升温处理及第1均热处理的第1升温区域及第1均热区域；以及排气箱，其将第1升温区域及上述第1均热区域的空气排出至外部；该热处理装置，其特征在于，其配备有第2导入管。该第2导入管可将清净空气导入至搬送路径中，第1升温区域及第1均热区域以外的区域。
根据这样的结构，清净空气被从第2导入管导入至搬送路径中第1升温区域及第1均热区域以外的区域。
第2导入管可沿搬送路径配置若干支。在第1升温区域及第1均热区域以外的区域的行程很长的情况下，其也能将充足的清净空气导入至该区域。
第2导入管可设定为将清净空气朝向被处理物上面向下导入。透过清净空气其可使被处理物的上面保持清净状态。
第2导入管，亦可设定为在被处理物上面的上侧，沿搬送路径将清净空气往水平方向导入。透过清净空气其可使被处理物上面保持清净状态。
第2导入管亦可设定为在上述被处理物上面的上侧，且于与上述搬送路径正交的方向上，上述被处理物的上面两端部的外侧处，以其长度方向沿上述搬送路径方向而配置，并将清净空气朝向与搬送路径正交水平方向与向下方向而导入。透过清净空气其可使被处理物上面的空气保持为清净状态的同时，可以遮蔽与搬送路径正交方向的被处理物的两端部与搬送路径的侧面之间。其可以防止从侧面开口部分等侵入的尘埃所造成的被处理物污损，及被处理物温度下降。
(发明效果)
根据本发明所涉及的热处理装置，其可将清净空气从第2导入管导入至搬送路径中第1升温区域及第1均热区域以外的区域，而抑制在第1升温区域及第1均热区域因加热而产生的气体往其以外区域流入的情况，同时抑制尘埃从搬送路径侧面开口部侵入的情形，因此在整个搬送路径中，能将清净度维持在很高的状态。
附图说明
图1是本发明实施形态所涉及的热处理装置10中的热处理的说明图。
图2是热处理装置10结构的侧面剖视图。
图3(A)、(B)、(C)为正面剖视图，表示本发明第1～3实施形态所涉及的热处理装置10、10’、10”的搬送路径5中，第1均热区域以外的区域构成。
主要组件符号说明
2        搬送滚柱
4        第2导入管
5        搬送路径
6        排气箱
7        第1导入管
10       热处理装置
11～14   外壁构件
13A、14A 贯通孔
20       被处理物
31～34   耐热玻璃
33A、34A 贯通孔
41       第2导入管
42    第2导入管
51    第1升温区域
52    第1均热区域
53    第2升温区域
54    第2均热区域
55    徐冷区域
56    冷却区域
具体实施方式
图1表示本发明实施形态所涉及的热处理装置10中的热处理内容。热处理装置10将被处理物从炉内搬送路径的一端搬送至另一端。其间，依序对被处理物实施第1升温处理、第1均热处理、第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理及冷却处理。
第1均热处理，将被处理物例如加热至350℃～400℃，使该状态维持20分钟。第2均热处理，将被处理物例如加热至600℃，使该状态维持30分钟。徐冷处理将被处理物例如花费40分钟冷却至400℃。冷却处理将被处理物例如花费50分钟冷却至常温。
在第1升温处理及第1均热处理中，因加热而使被处理物上所涂布的涂布剂产生气体。当此气体冷却至既定温度时，固化为升华物。此升华物附着于搬送路径内壁面等，于后热处理时再附着于所搬送的被处理物上，使被处理物产生缺陷。
图2表示热处理装置10结构的侧视剖视图。热处理装置10中，沿搬送路径5形成有第1升温区域51、第1均热区域52、第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56。于搬送路径5中，其配置有若干支搬送滚柱(roller)2呈可自由旋转状态。于第1升温区域51、第1均热区域52、第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56中，其分别进行第1升温处理、第1均热处理、第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理及冷却处理。
第1升温区域51及第1均热区域52中，于其搬送滚柱2配置位置的上方处，沿搬送路径上配置有若干个排气箱6以及若干支第1导入管7。排气箱6将在第1均热区域中因加热而由被处理物所产生的气体排出外部。排气箱6贯通搬送路径5侧面壁面，并在热处理装置10右侧面侧与未图示的顶出销(ejector)连接。
第1导入管7将清净空气导入第1升温区域51及第1均热区域52。第1导入管7贯通搬送路径5右侧面壁面，并在热处理装置10右侧面侧与未图示的高压清净空气(clean air)、干燥清净空气CDA(clean dry air)或送风机(blower)连接。送风机具备有过滤器(filter)，将外界空气清净化后将其导入至第1导入管7。另外，亦可从清净单元(clean unit)将清净空气供给至第1导入管7。
于搬送路径5中，在第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56等，第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，于其搬送滚柱2上方处，配置有若干支第2导入管4。第2导入管4将清净空气导入至第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域。例如，若干支第2导入管4以与搬送路径5正交之方向为其长度方向，而沿搬送路径5配置成若干支。
图3(A)是正面剖视图，表示本发明第1实施形态所涉及的热处理装置10的搬送路径5中，第1升温区域51及第1均热区域52以外区域的结构。热处理装置10具备有外壁构件11～14、搬送滚柱2、耐热玻璃31～34、及第2导入管4。
外壁构件11～14由绝热材料所构成，分别覆盖于搬送被处理物20搬送路径的上面、下面及左右两侧面。至少在第1升温区域51、第1均热区域52、第2升温区域53及第2均热区域54的外壁构件11的内侧面，具备有未图示的加热器。
耐热玻璃31～34为防尘构件，分别配置在外壁构件11～14内侧。耐热玻璃31～34防止从外壁构件1脱离的尘埃被附着至被处理物20上。
搬送滚柱2的两端部贯通外壁构件13及外壁构件14的贯通孔13A及14A、以及耐热玻璃33及耐热玻璃34的贯通孔33A及34A，而在左右两侧面侧的炉外由轴承21、22支撑成可自由旋转。搬送滚柱2被未图示的搬送马达的旋转传动，在其上面搬送被处理物20。
第2导入管4在搬送路径5内的第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，于耐热玻璃31与搬送滚柱2之间，以与被处理物搬送方向正交方向为其长度方向而配置。第2导入管4例如呈圆筒形，其宽度比被处理物20长。
各个第2导入管4分别贯通搬送路径5右侧面壁面，并在热处理装置10右侧面侧跟未图示的高压清净空气、干燥清净空气或送风机连接。送风机具各有过滤器，将外界空气清净化后将其导入至第2导入管4。另外，亦可从清净单元将清净空气供给至第2导入管4。
清净空器从第2导入管4朝搬送路径5内的被处理物20上面向下导入。
在搬送路径5的第1升温区域51及第1均热区域52以外区域中，对在搬送滚柱2上搬送之被处理物20上面供给清净空气。在第1升温区域51及第1均热区域52中自被处理物20所产生的气体，其不会流入第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，因而被处理物20表面不会因气体升华物而受到污损。
通过增减第2导入管4的配置数量，其可对应搬送路径5的长度变化。
其亦可自第2导入管4在水平方向上导入清净空气。而清净空气不会直接接触至被处理物20表面，而可高精确度均衡地维持被处理物20温度分布。
其亦可使若干支第2导入管4，分别自热处理装置10背面(出口)侧沿搬送路径5插入炉内的1支导入管使其分路而出。
图3(B)为正面剖视图，表示本发明第2实施形态所涉及的热处理装置10’的结构。在本实施形态所涉及的热处理装置10’中，对于搬送路径5内的第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，例如于耐热玻璃31与搬送滚柱2之间配置4支第2导入管41。各第2导入管41例如可呈圆筒形。
图中虽未表示，但第2导入管41例如从热处理装置10的背面(出口)侧沿搬送路径5插入炉内。从第2导入管41，沿与搬送路径5正交的水平方向被导入清净空气。各支第2导入管41分别从配备有过滤器得送风机、清净单元、高压清净空气或CDA被供给清净空气。
在搬送路径5的第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，于搬送滚柱2上被搬送的被处理物20的上面上方其充填有清净空气。在第1升温区域51及第1均热区域52中被处理物20所产生的气体，则不会流入第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，因而被处理物20表面不会因气体升华物而受到污损。
其亦可由第2导入管41在水平方向上导入清净空气。清净空气不会直接接触至被处理物20之表面，而可以高精确度均衡地维持被处理物20温度分布。
图3(C)为正面剖视图，表示本发明第3实施形态所涉及的热处理装置10”的结构。在本实施形态所涉及的热处理装置10”中，对于搬送路径5内的第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，于耐热玻璃31与搬送滚柱2之间配置2支第2导入管42。各第2导入管42例如可呈圆筒形。
第2导入管42在与搬送路径5正交方向上，被处理物20两端部外侧处，以沿搬送路径5方向为其长度方向而配置。第2导入管42将清净空气朝与搬送路径正交水平方向与下方向导入。
图中虽未表示，第2导入管42例如从热处理装置10的背面(出口)侧沿搬送路径5插入炉内。第2导入管42分别从配备有过滤器的送风机、清净单元、高压清净空气或CDA供给清净空气。
透过从第2导入管42导入的清净空气，可使被处理物上面空气保持为清净状态。
由第2导入管42往水平方向导入的清净空气其不会直接接触至被处理物20上面。其可以高精确度均衡地维持被处理物20温度分布。
由第2导入管42往下方向导入的清净空气，遮蔽与搬送路径5呈正交方向的被处理物20的两端部与耐热玻璃33、34之间。其可防止由外壁构件13及外壁构件14的贯通孔13A及14A、以及耐热玻璃33及耐热玻璃34的贯通孔33A及34A而侵入的尘埃，造成被处理物污损及被处理物温度降低。
在热处理装置10中，搬送路径可由若干段所构成，而在搬入口及搬出口配置升降机(lifter)的情形。在若干段搬送路径5中，各个第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，亦可透过配置第2导入管4、41或42，在热处理中及其后，在热处理装置内搬送中的全部期间内防止被处理物20污损。

Claims (5)

1.一种热处理装置，其是对在搬送路径中搬送的被处理物，依次进行包含有第1升温处理、第1均热处理、第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理及冷却处理的热处理装置，并具备有：第1导入管，其将清净空气导入于上述搬送路径中进行有第1升温处理及第1均热处理的第1升温区域及第1均热区域；以及排气箱，其将上述第1升温区域及上述第1均热区域的空气排出至外部；该热处理装置，其特征在于，
于上述搬送路径中上述第1升温区域及上述第1均热区域以外的区域，配置有用以将清净空气导入的第2导入管。
2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，
上述第2导入管，沿上述搬送路径上配置有若干支。
3.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其中，
上述第2导入管，将清净空气朝上述被处理物的上面而向下导入。
4.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其中，
上述第2导入管，在上述被处理物的上面的上侧，沿上述搬送路径将清净空气往水平方向导入。
5.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其中，
上述第2导入管，在上述被处理物的上面的上侧，于与上述搬送路径正交方向上，上述被处理物的上面两端部的外侧处，以其长度方向沿上述搬送路径方向而配置，并将清净空气朝向与搬送路径正交水平方向与向下的方向而导入。
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