TWI352067B - Process for producing acidic aqueous alumina sol - Google Patents

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TWI352067B
TWI352067B TW093106716A TW93106716A TWI352067B TW I352067 B TWI352067 B TW I352067B TW 093106716 A TW093106716 A TW 093106716A TW 93106716 A TW93106716 A TW 93106716A TW I352067 B TWI352067 B TW I352067B
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Description

(2) (2)1352067 量%以上之乾燥α -鋁-水合物的製造方法之揭示。 依特開昭57- 1 1 1 237號公報說明之氧化鋁水合物的製造 條件,使用鹼金屬之鋁酸鹽做爲可溶性鋁鹽時,可依照 通常之製造方法將氣體狀的二氧化碳注入,至反應系之 pH達7左右爲止,接著爲去除對製得之氧化鋁水合物而言 的雜質,進行洗淨;而且,剩餘雜質的量在氧化鋁溶膠 之製造上或用途上,愈少愈好。 依特開平02-24 3 5 1 2號公報之說明,該發明之α -鋁-水合物爲,具有做爲顏料塡充材料之大小(平均粒徑0.4 μπι、或在粒度分佈中,有90%以上爲0.2~〇.8 μΐΏ者)的板 狀結晶者;而且,由鋁酸鈉溶液之勃姆石析出最大速度 ,在Na20/Al 2 03之莫耳比爲1.3時發生。 依美國專利第4 6 6 6 6 1 4號說明書之說明,以鋁化合物 與酸或鹼反應,?11調爲7.5~10後,在60~1〇〇°(:下加熱, 其後,中和以去除副產物,可得氧化鋁水合物濃度爲 1 0〜35 重量%之溶膠。 在特開昭5 7 · 1 1 1 2 3 7號公報及特開平〇 2 - 2 4 3 5 1 2號公報 上記載之製造方法中,使用鹼與酸中和後,必須進入洗 淨步驟前已述及;其洗淨係以純水進行,至洗淨完成需 要很長的時間;洗淨•過濾後之中間體的放置’容易導 致氫氧化鋁之生成;此氫氧化鋁係藉由原來之目標生成 物(無定形氧化鋁溶膠)的老化而生成’因而’在常溫 下不能形成具有原來目標之勃姆石結構的氧化@ #合物1 ; 爲防止此老化之進行,通常都使用碳酸鹽或氣體狀二氧化碳 -6 - (3) (3)1352067 施行添加反應;不過,二氧化碳爲弱酸之故,中和之需要 量必甚多,pH調整至中性附近在經濟上極其不利。 又,特開平02-2435 1 2公報上所得之氧化鋁,做爲顏料 塡充用之塡充劑時,依其用途而言粒子之大小過大,不能發 揮充分之性能;因而要求具有更小之粒徑者。 進而,在特開昭57- 1 1 1 237號公報及美國專利第4666614 號說明書上記載之製造方法中,中和步驟之pH領域必須使 用大量的酸或鹼,以致成本上升,同時,副產物之洗淨,必 需大量的純水或藥液、與時間,存在著效率不佳等問題。 又,因應各種用途,水性氧化鋁溶膠之黏度及特有之觸 變性的要求物性,亦隨之而異;期望提供更能適合使用於 各用途之水性氧化鋁溶膠。 【發明內容】 [發明之揭示] 本發明係提供,簡便、價廉、且有效的製造,具有先 前之水性氧化鋁溶膠所沒有的黏度及觸變性之小粒徑水 性氧化鋁溶膠的方法者;具體的說,係提供低黏度、於 鹽類中甚安定之酸性水性氧化鋁溶膠者;因而,由其溶 膠而得之乾燥凝膠爲多孔性,同時凝膠結構極爲堅牢, 是其特徵。 本發明之第I觀點,係包含下述之 (A) 、 (B)及 (C)步驟。 使用電子顯微鏡觀察,係含有藉由具邊長]0~40nm及厚 (4) (4)1352067 2.5~10nm之矩形扳狀一次粒子,在面與面間凝結所形成之具 有5 0〜4〇〇nm長度的柱狀二次粒子之安定的酸性水性氧化鋁 溶膠之製造方法者。 (A) :於5~35 °C之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧化 碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有10.5〜1 1.2之pH的反應混 合物之步驟; (B) :將(A)步驟所得之該反應混合物,在110~250 °(:之溫度下施行水熱處理,生成含有具勃姆石結構之氧化鋁 水合物的水性懸浮液之步驟;及 (C) :將(B)步驟所得之該水性懸浮液,藉由超濾法 ,添加水與酸,施行脫鹽處理,形成具有3~7之pH的酸性水 性氧化鋁溶膠之步驟。 本發明之第2觀點爲,在第1觀點之製造方法的(B)步 驟中,於水熱處理前將(A)步驟所得之反應混合物,經 2~24小時攪拌的前處理之安定的酸性水性氧化鋁溶膠之製 造方法者。 本發明之第3觀點,係包含下述之(a) 、 (b)及(c) 步驟。 使用電子顯微鏡觀察,係含有藉由具邊長1〇〜40nm及厚 2.5~10nm之矩形板狀一次粒子,在面與面間凝結所形成之具 有50〜400nm長度的柱狀二次粒子之安定的酸性水性氧化鋁 溶膠之製造方法者。 (a):於5-35 °C之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧化 碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有1〇·5〜Π.2之pH的反應混 -8- (5) (5)1352067 合物之步驟; (b) 將(a)步驟所得1之·該反應'混合物’在11〇~250 C 之溫度下施行水熱處理’生成含有具勃姆石結構之氧化銘化 合物的水性懸浮液之步驟;及 (c) :將(b)步驟所得之該水性懸浮液’藉由濾餅過濾 法,添加水與酸,施行脫鹽處理’形成具有3〜7之pH的酸性 水性氧化鋁溶膠之步驟。 本發明之第4觀點爲’在第3觀點之製造方法的(b)步 驟中,於水熱處理前將(a)步驟所得之反應混合物’經 2〜24小時攪拌的前處理之安定的酸性水性氧化鋁溶膠之製 造方法者。 本發明之第5觀點,包含下述之(A') ' (B')及(C') 步驟。 使用電子顯微鏡觀察,係含有藉由具邊長l〇~40nm及厚 2.5〜1 0 n m之矩形板狀一次粒子,在面與面間凝結所形成之具 有5 0〜400nm長度的粒狀二次粒子之安定的酸性水性氧化鋁 溶膠之製造方法者。 (A |):於5〜3 5 t之液溫下’將液狀或氣體狀之二氧 化碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有〗〇·5〜Π.2之pH的反 應混合物之步驟; (以):將 (A,)步驟所得之該反應混合物’在 1]0〜250 °C之溫度下施行水熱處理,生成含有具勃姆石結 構之氧化鋁水合物的水性懸浮液之步驟;及
(c 1):將(B,)步驟所得之該水性懸浮液,藉由與H (6) (6)1352067 型酸性陽離子交換樹脂、及OH型強鹼性陰離子交換樹脂 接觸,形成具有3〜7之pH的酸性水性氧化鋁溶膠之步驟。 本發明之第6觀點爲,在第5觀點之製造方法的(B') 步驟中,於水熱處理前將(A ()步驟所得之反應混合物, 經2〜24小時攪拌的前處理之安定的酸性水性氧化鋁溶膠 之製造方法者。 本發明之第7觀點,其特徵爲將第1觀點、第3觀點或第 5觀點的製造方法所得之安定的酸性水性氧化鋁溶膠,經 機械分散處理 '濃縮,而得高濃度且安定的酸性水性氧化 鋁溶膠之製造方法者。 本發明之第8觀點,係包含下述之 (A)及 (B)步驟; 爲含有具勃姆石結構之氧化鋁水合物的水性懸濁液之製造 方法者。 (A) :在5~35 °C之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧化 碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有10.5〜11.2之pH的反應混 合物之步驟;及 (B) :將(A)步驟所得之該反應混合物,在110~250 °C之溫度下施行水熱處理,生成含有具勃姆石結構之氧化鋁 水合物的水性懸浮液之步驟。 依本發明所得安定的酸性水性氧化鋁溶膠,及高濃度 且安定的酸性水性氧化鋁溶膠,與先前之水性氧化鋁溶膠 相比較,例如,爲獲得在市售之含有具勃姆石結構的氧 化鋁水合物之分散性高的六角板狀粒子及/或矩形板狀粒子 之水性氧化鋁溶膠、與市售具勃姆石結構之氧化鋁水合物 -10- (7) (7)1352067 的觸變性高之纖維狀粒子的水性氧化鋁溶膠之間的性能, 能帶來在各種用途上先前所得不到的改善;爲製作組成 物。添加於先前之氧化鋁溶膠的成份,亦可添加在本發明 之氧化鋁溶膠中;該成份有,矽氧溶膠、烷基矽酸酯之 水解液,其他之金屬氧化物溶膠、水溶性樹脂、樹脂乳膠 、增黏劑、消泡劑、界面活性劑、耐火物質粉末、金屬 粉末、顏料、偶合劑等等。 藉由傳統使用之各種塗料成份與本發明之氧化鋁溶膠 的配合,可簡易的調製無機塗料、耐熱塗料、防蝕塗料 、無機-有機複合塗料等之塗料:含有本發明之氧化鋁溶膠 的塗料所形成之乾燥塗膜,極少針孔、幾乎完全沒有龜 裂現象;其理由料必爲,在形成塗膜時,氧化鋁溶膠中 所含5〇〜4 00nm之柱狀二次粒子,不會發生一般膠體粒子 所常見之在塗膜中的離析現象,塗膜中以二次粒子形成 堅牢的交聯結構。 [用以實施發明之最佳形態] 本發明之第1觀點的(A)步驟、第3觀點的(a)步驟 、第5觀點的 (AJ步驟及第8觀點的 (A)步驟,爲於 5〜35 °C之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧化碳加入鋁酸 鹼水溶液中,以生成具有1 0.5〜1 I .2之pH的反應生成物之 步驟。 所使用原料之鋁酸鹼鹽或其濃縮液中,鹼之種類有Na 、K、Mg、Zn、Fe、Ca、Ba' Be等等,此等之鋁酸鹼鹽 -11 - (8) (8)1352067 或其濃縮液以眾所周知的方法很容易獲得,或做爲市售之 工業藥品取得;尤其是價格低廉之鋁酸鈉或其濃縮液,最 爲適合;一般而言,市售之鋁酸鈉有高濃度之粉末與
Al2〇3濃度10〜25重量%之濃縮液,從下一步驟之添加二 氧化碳時的均句反應而言,以容易處理之濃縮液較爲適合 〇 在本發明中,添加液狀或氣體狀之二氧化碳時,鋁酸 鹼水溶液之A 12 Ο 3濃度,沒有特別的限制;考量添加二氧 化碳時之均勻反應及生產效率等時,其濃度以1〜10重量 %爲宜,以2〜6重量%之濃度更爲適合;使用以純水等稀 釋之鋁酸鹼水溶液。 此稀釋之鋁酸鹼水溶液容易水解之故,稀釋後必要儘 速使用於本發明之步驟;尤其是,使用二氧化碳添加前保 持於5 0 °C以上高溫的鋁酸鹼之稀釋水溶液,可獲得目標 之一次粒子。 爲使稀釋之鋁酸鹼水溶液均勻化,該業者使用眾所周 知的機械方法攪拌;爲進行鋁酸鹼鹽或其濃縮液之稀釋而 加入純水時,施行局部攪拌而不施行機械的強烈攪拌,會 造成鋁酸鹼水溶液之稀釋液的不均勻,以致與二氧化碳之 反應不均勻,極不適合。 然後,成爲此原料之鋁酸鹼鹽或其濃縮液,亦包含對 鋁酸鹼之Ah〇3量100重量份,爲5〜200重量份之鹼性鋁鹽 及/或鋁正鹽溶解之鋁酸鹼;此混合液亦能達成本發明之目 的;於此所用之鹼性鋁鹽及/或鋁正鹽,可以眾所周知的製 -12- 1352067 ⑼ 造方法而獲得’或由市售之工業藥品取得;鹼性鋁鹽中之 水溶性鹼性鋁鹽有’鹼性氯化鋁、鹼性硝酸鋁、鹼性醋酸鋁 及鹼性乳酸鋁等等;又,所用之鋁正鹽有,氯化鋁、硝酸 鋁、及醋酸鋁等等。 使用提高鹼性鋁鹽及/或鋁正鹽之混合量比的水性氧化 鋁溶膠,可以增加水熱處理所得具有勃姆石結構之氧化鋁 水合物的一次粒子;同樣的,只要能達成本發明之目的, 亦可含有任意成份,例如維持鋁酸鹼之安定性的陽離子等等 〇 本發明之鋁酸鹼水溶液中,使用之二氧化碳,從裝置之 腐蝕、臭味等操作環境、價格等考量,以使用氣體狀之二氧 化碳較爲適合;添加液狀或氣體狀之二氧化碳於鋁酸鹼水 溶液時,以不生成大結塊之濃度添加爲宜;添加之酸的濃 度及添加速度,以添加時之攪拌強度決定。 添加二氧化碳於鋁酸鹼水溶液進行反應時,由於中和熱 而呈發熱現象;此發熱,會使生成之鋁反應生成物老化, 容易成爲結晶性之氫氧化鋁;因此發熱而生成之結晶性氫 氧化鋁,在其後之步驟的水熱處理後亦留存之故,不能獲得 只有本發明之主目標的具勃姆石結構之氧化鋁水合物的水 性懸浮液;又,本發明之具勃姆石結構的氧化鋁水合物之 粒子型態,爲正方形之一次粒子在面與面間凝結而成之二次 粒子;此際,反應之溫度高時一次粒子在面與面間之凝結 變少之故,柱狀粒子之二次粒子變短;因而,在所得之酸 性水性氧化鋁溶膠中,一次粒子增多;所以,添加二氧化 •13- (10) (10)1352067 碳於鋁酸鹼水溶液時,保持在較低之溫度,可以抑制結晶性 氫氧化鋁的生成,能獲得目標之粒子形狀與具晶體結構之氧 化鋁水合物(膠體狀粒子);此結晶性之氫氧化鋁,係指以 X射線衍射分析,明顯有尖峰存在者而言。 使添加二氧化碳時之溫度降低的方法有,將鋁酸鹼水溶 液之溫度預先冷卻後添加酸的方法,其至預先將添加二氧化 碳的溫度降低再添加的方法,在添加進行中使用外部冷卻裝 置將反應混合液冷卻之方法等等。 最適合的方法爲,全部採用上述之溫度控制方法的方法 ;但是,全部採用此等方法時,設備投資費用龐大;因此 ,可以選擇此等方法之一個或兩個。 本發明中,鋁酸鹼水溶液之反應溫度爲5~35 °C,以 10〜25 °C更佳;在5 °C以下時,反應所用之二氧化碳的量 增多,反應混合物(漿狀物)之黏度增高,極不適合;又 ,超過35 °C時,氧化鋁水合物之一次粒子大於所期望之大 小,甚爲不適。 鋁酸鹼水溶液與二氧化碳反應所需之時間,爲防止生成 之氫氧化鋁的結晶化,以3小時之內爲宜,以1 ·5小時以內更 佳。 反應混合物(漿狀物)之pH以10.5-11.2之間爲佳;具 有10.5以下之pH的反應混合物,既使施行下—步驟之水熱處 理,亦不能獲得目標之含有具勃姆石結構的氧化鋁水合物 之水性氧化鋁溶膠;又,使用碳酸鹽或二氧化碳中和’ PH 在10_ 5以下時,於下步驟水熱合成後,生成多量之針狀的片 -14 - (11) (11)1352067 鈉鋁石,具勃姆石結構之氧化鋁水合物的生成效率惡化, 甚不適合;又,pH在1 1.2以上時,施行下步驟的水熱處理之 際’會生成三水鋁石等結晶性氫氧化鋁,極爲不適;以水 熱合成最有效的獲得具勃姆石結構之氧化鋁水合物的情況 ,爲反應剛完成後之反應混合液的pH在10.6〜10.8時。 將反應後所得之反應混合液,以50 °C下之減壓乾燥法 乾燥;將所得乾燥物以X射線衍射分析,可觀測到係沒有顯 示特定之尖峰的無定形者;此時,若觀測到氫氧化鋁之尖 峰’則下步驟進行水熱處理後亦有氫氧化鋁留存。 反應後之反應混合物中混雜有,因添加二氧化碳時之攪 拌方式及攪拌強度所產生的粗粒子;粗粒子存在時,在下 步驟的水熱處理之際會造成不均勻的反應之故,較均勻的細 粒子爲必要之條件;所謂較細粒子,係指以目視不能觀察 到粒狀之粒子的程度者’沒有對其數値之特定限制;爲獲 得此細粒子’而施行攪拌及分散;爲獲得更均勻的細粒子 ’所施行的攪拌及分散方式,沒有特別的限制;例如,可 以使用介質硏磨機處理、膠體硏磨機處理、高速剪切攪拌處 理、及高壓衝擊分散處理等等;攪拌及分散依所用裝置之 能力’所需時間不同’以施行至大結塊消失爲佳;長時間 施行攪拌及分散雖能使反應混合物中之固形物微細化、均勻 化’但從生產效率之觀點而言,以2〜24小時以內較爲適合; 攪拌時之溫度沒有特別的限制,通常爲5〜40 »c,在常溫下 即可。 本發明第1觀點之(B)步驟、第3觀點之(b)步驟、 -15- (12) '1352067 第5步驟之(B')步驟及第8觀點之(B)步驟,爲將前步驟 所得之該反應混合物,在110〜250 °C之溫度下施行水熱處 理,生成含有具勃姆石結構之氧化鋁水合物的水性懸浮液 之步驟。 均勻化後反應混合物之施行水熱處理,可以獲得,使用 透射型電子顯微鏡觀察,由具邊長10〜40nm與厚2.5〜10nm之 矩形板狀一次粒子在面與面間凝結所形成之柱狀結構或傾斜 柱狀結構,與具有勃姆石結構之氧化鋁水合物(二次粒子) 的水性懸浮液。 此二次粒子之型態,類似血液中之紅血球凝結所形成之 柱狀結構》 水熱處理之溫度,可在Π〇~250 °C下施行;反應混合 物在低於1 1 0 °C之溫度下施行水熱處理時,於水性懸浮液 中,由無定形氧化鋁水合物生成具有勃姆石結構之氧化鋁 水合物的矩形板狀一次粒子之晶體結構,需要很長的時間, 極不適合;另一方面,超過250 °C時,必須要有急冷設備 及超高壓容器等,甚爲不適;考量裝置之耐蝕、耐壓結構 的裝置費用,以在120~160 °C下施行爲佳;於水熱處理中 ,選擇較高溫度,可以增加水熱處理所得膠體之原生粒徑及 粒子的厚度。 水熱處理裝置,可以使用眾所周知的裝置之附設有攪拌 機的壓熱器、流動式管狀反應器等高壓設備;水熱合成之 時間,隨溫度而異,爲5~24小時,以8〜20小時更佳。 將水熱處理所得之該水性懸浮液,以超濾過濾法、濾餅 -16- (15) (15)1352067 之鹼金屬氫氧化物、鹼土金屬氫氧化物、酸鹼金屬鹽、鋁酸 鹼土金屬鹽、氫氧化銨 '氫氧化季銨、氫氧化脈、胺類等等 ;鹼金屬氫氧化物,以氫氧化鈉、氫氧化鉀、及氫氧化鉋 等較爲適合,尤其以氫氧化鈉最爲_理想;還有,脫鹽處理 反應混合物中之副產物的生成不溶性之鹼,當然去除。 採用濾餅過濾法之脫鹽步驟中,交差流動過濾法之操作 方式,可以採用分批式及連續式;適合之工業裝置,有捷 克斯洛伐克國之有機合成硏究所所開發之連續式旋轉壓濾機 等等(詳細資料,請參閱 K. Michel and V. Gruber,Chemie-Ingenieur-Technik,43 ,3 80, 1971 及 F. M. Tiller >
Filtration & Separation,15,204,1 978等之記載。)濾餅 過濾中,可以使用眾所周知的濾布;濾布以精密過濾膜較 爲適合,此精密過濾膜,可以使用做爲市售之工業製品而得 的通稱孔徑0.05 μπι-ΙΟ μιη之精密過濾膜。 第5觀點之((Τ)步驟爲,將(BD步驟所得之該水性 懸浮液,藉由與Η型酸性陽離子交換樹脂、及〇Η型強鹼性 陰離子交換樹脂接觸,以形成具有3~7之pH的酸性水性氧 化鋁溶膠之步驟。 離子交換樹脂之接觸法,係將水熱處理步驟所得之該 水性懸浮液’以Η型酸性陽離子交換樹脂及〇H型強鹼性陰 離子交換樹脂進行接觸處理者;此步驟中’以Η型酸性陽 離子交換樹脂之接觸處理去除原料鋁酸鹸中之鹼;而以 ΟΗ型強鹼性陰離子交換樹脂之接觸處理去除中和時所用 之酸,同時調整酸性水性氧化鋁溶膠之安定劑的酸含量° -19- (17) (17)1352067 況,及認定爲具有50~400nm之流體力學平均粒徑的粒子群 與具有600〜1400nm之流體力學平均粒徑的粒子群之情況; 但是,此酸性水性氧化鋁溶膠中,具有600〜1400nm之流體力 學平均粒徑的粒子群之二次粒子高級次結構凝聚物的存在比 率極小。 因此,料必爲藉由添加酸及脫鹽處理,使二次粒子之高 級次結構凝聚物解膠成二次粒子(膠體粒子)者;又,此 二次粒子爲,其一次粒子之面與面間凝結形成50~300nm之 柱狀結構或傾斜柱狀結構者;爲使粒子之比表面積成爲最 小的二次粒子之型態,膠體分散系(氧化鋁溶膠)成爲較 安定之系;添加電解質(鹽類等)亦能提高安定性。 本發明之第7觀點,爲高濃度而且安定的酸性水性氧化 鋁溶膠之製造方法者;其特徵爲,將上述之第1觀點、第3 觀點或第5觀點之製造方法所得安定的酸性水性氧化鋁溶 膠,經機械分散處理後,再濃縮者。 此方法中,藉由將所得之安定的酸性水性氧化鋁溶膠 經機械分散處理,使微量存在於酸性水性氧化鋁溶膠中的 二次粒子之高級次結構凝聚物碎裂,同時,以二次粒子之面 與面間的凝結,所形成具有柱狀結構之粒子的鍵截斷之二次 粒子,在拉伸方向(柱狀方向)的長度變短,溶膠的分散 性提高之故,可獲得高濃度而且安定的酸性水性氧化鋁溶 膠。 機械分散處理有,介質磨碎(機)處理、膠體磨碎( 機)處理、高速剪切攪拌處理及高壓衝擊分散處理等等; -21 - (19) (19)1352067 解質,成爲安定的水性氧化鋁溶膠;因而,該溶膠中添加 安定劑之酸,調整pH爲3〜7,以3.5〜6.5更佳,能提升溶膠之 安定性;因此能獲得至Al2〇3之最大濃度20重量%爲止的任 意A]2〇3濃度之安定的酸性水性氧化鋁溶膠;此溶膠,於密 閉狀態50 °C下保存一個月亦無膠化現象,極爲安定》 以本發明之第7觀點所得之高濃度且安定的酸性水性氧 化鋁溶膠,經濃縮步驟,可獲得具有至Ah〇3之最大濃度35 重量%爲止的Al2〇3濃度之高濃度且安定的酸性水性氧化鋁 溶膠;此溶膠於密閉狀態50 °C下,保存一個月亦無膠化現 象’極爲安定;以本發明所得之氧化鋁水合物的膠體粒子 ’於110 °C下乾燥後,藉由1100 t爲止之示差熱灼分析, 確認爲具有〗·0~1 .2之Η2〇/Α12〇3的莫耳比;藉由粉末X射線衍 射法之結果,確認爲具有勃姆石結構之氧化銘水合物的膠 體粒子。 以本發明所得之安定的酸性水性氧化鋁溶膠、及高濃 度且安定的酸性水性氧化鋁溶膠、使用透射型電子顯微鏡 觀察時’係具有10〜40nm之邊長及2.5~10nm之厚度的矩形板 狀一次粒子,在面與面間凝結所形成之具有5〇〜400nm的長 度之柱狀二次粒子者。 還有’本發明中採用之分析方法如下所述。 (1)組成分析 (ΠΑ1·,〇3濃度:重量法(8〇〇 °C燒成剩餘量) (i】)Na2〇濃度:原子吸收分光光度法(前處理爲鹽酸溶 -23- (20) (20)1352067 解處理) (iii)醋酸濃度:中和滴定法 (2) pH測定 使用pH計D-22(堀場製作所股份有限公司製)測定。 (3) 導電度 使用導電度計ES-1 2 (堀場製作所股份有限公司製)測 定。 (4) 動態光散射法粒徑 使用動態光散射法粒徑測定裝置DLS-6000 (商標登記) (大塚電子股份有限公司製)測定;測定解析法採用秋姆蘭 得法’測定液中之流體力學平均粒徑;(測定條件)溶媒 :2 5 °C純水。 (5) 動態光散射法粒徑分佈 使用動態光散射法粒徑測定裝置DLS-6000 (商標登記) (大塚電子股份有限公司製)測定;測定解析法採用修正馬 跨特法(直立圖解析程序)’測定液中之流體力學粒徑分 佈;獲得在各個粒子群(狀態)中之流體力學平均徑;( 測定條件)溶媒:25 °C純水。 (6)比表面積(BET法) -24- (21) (21)1352067 以預先所定之條件’將乾燥後的試料使用氮吸附法比表 面積計默諾梭布MS-16型(匡達克羅美公司製)測定。 (7) 透射型電子顯微鏡觀察 將試料以純水稀釋後’塗佈於銅網眼上經親水處理之碳 被覆膠棉膜上,即準備好乾燥之觀察試料;在透射型電子 顯微鏡]ΕΜ-1010 (日本電子股份有限公司製)上,攝取觀察 試料之電子顯微鏡照相,並觀察之。 (8) 示差熱灼分析 使用不差熱灼分析裝置TG-DTA320U (精工電子工業股 份有限公司製)測定》 (測定條件)試料16mg,參考基準品α .氧化鋁16mg。 測定溫度範圍:25〜1100 °C升溫速度:10 C /分鐘。 (9) 粉末X射線衍射 使用X射線衍射裝置X r D - 6 1 0 0 (島津製作所股份有限 公司製)測定。 【實施方式】 [實施例] [實施例]] 在裝配有攪泮裝置及氣體注入管之不銹鋼製容器中, -25- (30) (30)1352067 且安定的酸性水性氧化鋁溶膠,與先前之水性氧化鋁溶膠 相比較,例如爲獲得在市售之含有具勃姆石結構的氧化 鋁水合物之分散性高的六角板狀粒子及/或矩形板狀粒子 之水性氧化鋁溶膠、與市售具勃姆石結構之氧化鋁水合 物的觸變性高之纖維狀粒子的水性氧化鋁之間的性能,能帶 來在各種用途上先前所得不到的改善;爲製作組成物,添 加於先前之氧化鋁溶膠的成份,亦可添加在本發明之氧化鋁 溶膠中;該成份有,矽氧溶膠'烷基矽酸酯之水解液、其 他金屬氧化物溶膠、水溶性樹脂、樹脂乳膠' 增黏劑、消泡 劑、界面活性劑、耐火物質粉末、金屬粉末、顏料、偶合劑 等等。 進而’藉由傳統使用之各種塗料成份與本發明之氧化鋁 溶膠的配合,可簡易的調製無機塗料 '耐熱塗料、.防蝕塗料 、無機-有機複合塗料等等;含有本發明之氧化鋁溶膠的塗 料所形成之乾燥塗膜’極少針孔,幾乎完有沒有龜裂現象; 其理由料必爲,在形成塗膜時,氧化鋁溶膠中所含 50〜400nm之柱狀二次粒子,不會發生—般膠體粒子所常見 之在塗膜中的離析現象,塗膜中以二次粒子形成堅牢的交聯 結構。 含有本發明之氧化鋁溶膠的此等塗料、黏著劑等,適合 使用於各種基材’例如玻璃、陶瓷、金屬、塑料、木材、纖 維、紙等之表面;本發明之氧化鋁溶膠,可浸漬於通常之 玻璃纖維'陶瓷纖維'其他之無機纖維等的毛氈狀物。 本發明之氧化鋁溶膠,爲二次粒子具有50~400nm的柱 • 34 - (31) 1352067 狀結構之故,在多層配線半導體裝置中,適合使用於層間絕 緣膜,及鋁、銅、鎢或其合金之金屬配線的表面硏磨,以及 基材,例如在磁力記錄媒體用磁碟上設置之Ni-P等的電鍍層 表面硏磨劑。
本發明之氧化鋁溶膠,顯示高度之安定性,具有將其溶 媒去除後,最終成爲凝膠之性質;此溶膠中所含二次粒子 爲具有50~400nm的柱狀結構之故,此溶膠在膠化之際,或 硬化後,顯示來自此溶膠的獨特性質;除上述用途以外, 亦適合使用於各種用途,是可理解的。
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Claims (1)

1352067 ⑴。年4月/2i|修正本j 第093106716號專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國100年4月12日修正 拾、申請專利範圍 1. 一種安定的酸性水性氧化鋁溶膠之製造方法,其特 徵爲包含下述之(A) 、 (B)及(C)步驟; 以電子顯微鏡觀察時,其係含有藉由具一邊長10~40nm 與厚度2.5〜10nm之矩形板狀一次粒子,在面與面間凝結所 形成之具有50〜400nm長度的柱狀二次粒子者, (A) :於5~35 °C之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧化 碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有10.5~11.2之pH的反應 混合物之步驟; (B) :將(A)步驟所得之該反應混合物,在11〇〜250 t之溫度下施行水熱處理,生成含有具勃姆石結構之氧化 鋁水合物的水性懸浮液之步驟,及 (C) :將(B)步驟所得之該水性懸浮液,藉由超濾法 ,添加水與酸施行脫鹽處理,形成具有3~7之pH的酸性水 性氧化鋁溶膠之步驟。 2. 如申請專利範圍第1項之安定的酸性水性氧化鋁溶 膠之製造方法,其中在(B)步驟的水熱處理之前,將(A) 步驟所得之反應混合物,經2~24小時之攪拌的前處理。 3. —種安定的酸性水性氧化鋁溶膠之製造方法’其特 徵爲包含下述之(a) 、 (b)及(c)步驟: 以電子顯微鏡觀察,其係含有藉由具—邊長10〜40nm 與厚度2.5〜10nm之矩形板狀一次粒子’在面與面間凝結所 1352067 形成之具有50〜400nm長度的柱狀二次粒子者, (a):於5~35 X:之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧化 碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有1〇·5〜11.2之pH的反應 混合物之步驟; (b) :將(a)步驟所得之該反應混合物’在110~250 。(:之溫度下施行水熱處理’生成含有具勃姆石結構之氧化 鋁水合物的水性懸浮液之步驟;及
(c) :將(b)步驟所得之該水性懸浮液’藉由濾餅過濾 法,添加水與酸施行脫鹽處理’形成具有3-7之pH的酸性 水性氧化鋁溶膠之步驟。 4. 如申請專利範圍第3項之安定的酸性水性氧化鋁溶 膠之製造方法,其中在(b)步驟的水熱處理之前’將 U) 步驟所得之反應混合物,經2~24小時之攪拌的前處理。 5. —種安定的酸性水性氧化鋁溶膠之製造方法’其特 徵爲包含下述之(A')、 (BJ及(C')步驟: 以電子顯微鏡觀察,其係含有藉由具—邊長1〇〜40nm 與厚度2.5〜10nm之矩形板狀一次粒子’在面與面間凝結所 形成之具有50〜400nm長度的柱狀二次粒子者, (A1):於5〜3 5 t之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧 化碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有1〇· 5〜1 1.2之pH的 反應混合物之步驟; (B'):將 (A')步驟所得之該反應混合物’在 1 10~2 5 0 t之溫度下施行水熱處理,生成含有具勃姆石 結構之氧化鋁水合物的水性懸浮液之步驟;及 -2 - 1352067 (C'):將(B^步驟所得之該水性懸浮液’藉由與Η 型酸性陽離子交換樹脂與OH型強鹼性陰離子交換樹脂接 觸,形成具有3 ~7之pH的酸性水性氧化鋁溶膠之步驟。 6.如申請專利範圍第5項之安定的酸性水性氧化鋁溶 膠之製造方法,其中在 (B')步驟的水熱處理之前,將 (A')步驟所得之反應混合物,經2~24小時之攪拌的前處 理。 7 . —種高濃度且安定的酸性水性氧化鋁溶膠之製造方 法,其特徵爲,將申請專利範圍第1、3或5項之製造方法 所得的安定之酸性水性氧化鋁溶膠,經機械分散處理後, 施行濃縮者。 8. —種含有具勃姆石結構之氧化鋁水合物的水性懸浮 液之製造方法,其特徵爲包含下述之(A)及(B)步驟; (A) :於5~35 °C之液溫下,將液狀或氣體狀之二氧化 碳加入鋁酸鹼水溶液中,生成具有1〇·5〜11.2之pH的反應 混合物之步驟;及 (B) :將(A)步驟所得之該反應混合物,在110~250 它之溫度下施行水熱處理,生成含有具勃姆石結構之氧化 鋁水合物的水性懸浮液之步驟。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4553112B2 (ja) * 2003-06-27 2010-09-29 日産化学工業株式会社 酸性水性ギブサイトゾルの製造方法
JP4632022B2 (ja) * 2004-09-08 2011-02-16 日産化学工業株式会社 アルミナ粉末及びアルミナゾルの製造方法γ
JP5035545B2 (ja) * 2005-06-29 2012-09-26 日産化学工業株式会社 アルカリ性ジルコニアゾルの製造方法
ITMO20060401A1 (it) * 2006-12-07 2008-06-08 Italtecno S R L Impianto per il recupero di soda caustica da soluzioni caustiche e relativo procedimento.
KR101521442B1 (ko) * 2014-03-07 2015-05-21 한국과학기술연구원 무기 입자가 함침된 탄소펠트 및 이의 제조방법
JPWO2016017638A1 (ja) * 2014-08-01 2017-05-18 戸田工業株式会社 針状ドーソナイト粒子粉末およびその製造方法ならびに樹脂組成物
US10399859B2 (en) 2015-10-26 2019-09-03 Ecolab Usa Inc. Highly homogenous zeolite precursors
KR102588816B1 (ko) * 2016-02-02 2023-10-13 엠. 테크닉 가부시키가이샤 미립자 분산액의 정밀 개질 방법
JP6151469B1 (ja) * 2016-02-02 2017-06-21 エム・テクニック株式会社 微粒子分散液の精密改質方法
JP7125937B2 (ja) * 2016-12-02 2022-08-25 エコラブ ユーエスエイ インク ポリアルミニウム塩ならびに高純度コロイド状アルミナ-シリカ複合粒子およびゼオライトの調製におけるそれらの使用

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5842130B2 (ja) 1980-12-26 1983-09-17 多木化学株式会社 アルミナゾルの製法
FR2520722A1 (fr) * 1982-01-29 1983-08-05 Rhone Poulenc Spec Chim Boehmites et pseudo-
US4666614A (en) * 1982-06-23 1987-05-19 W. R. Grace & Co. Dispersible alpha alumina monohydrate
CA1207630A (en) * 1983-12-22 1986-07-15 Alan Pearson Continuous process for neutralization of aluminate solution to form gels and apparatus therefor
EP0366825A1 (de) 1988-11-04 1990-05-09 Vereinigte Aluminium-Werke Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung von feinem Tabular-Böhmit
US5989515A (en) * 1996-07-24 1999-11-23 Nissan Chemical Industries, Ltd. Process for producing an acidic aqueous alumina sol
JP4051726B2 (ja) * 1996-07-24 2008-02-27 日産化学工業株式会社 酸性水性アルミナゾルの製造法

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