JP4936720B2 - 異方形状アルミナ水和物ゾルおよびその製造方法 - Google Patents
異方形状アルミナ水和物ゾルおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4936720B2 JP4936720B2 JP2005365654A JP2005365654A JP4936720B2 JP 4936720 B2 JP4936720 B2 JP 4936720B2 JP 2005365654 A JP2005365654 A JP 2005365654A JP 2005365654 A JP2005365654 A JP 2005365654A JP 4936720 B2 JP4936720 B2 JP 4936720B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alumina hydrate
- sol
- hydrate sol
- alumina
- sio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 204
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 title description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 67
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 58
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 48
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 43
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 41
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 31
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims description 22
- VXAUWWUXCIMFIM-UHFFFAOYSA-M aluminum;oxygen(2-);hydroxide Chemical compound [OH-].[O-2].[Al+3] VXAUWWUXCIMFIM-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 16
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 14
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N Guanidine Chemical group NC(N)=N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 claims description 10
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O ammonium group Chemical group [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims description 8
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 claims description 7
- CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N N-methyl-guanidine Chemical group CNC(N)=N CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoamidine Chemical group CN(C)C(N)=N SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 6
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 5
- MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N O.O.O.[Al] Chemical compound O.O.O.[Al] MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 38
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 33
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 18
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 16
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 16
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 13
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 13
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 13
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 12
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 12
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 12
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 10
- -1 aluminum alkoxide Chemical class 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 4
- 238000010335 hydrothermal treatment Methods 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 3
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005349 anion exchange Methods 0.000 description 3
- XPFVYQJUAUNWIW-UHFFFAOYSA-N furfuryl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CO1 XPFVYQJUAUNWIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052910 alkali metal silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N methyl acetate Chemical compound COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 238000010979 pH adjustment Methods 0.000 description 2
- 238000001935 peptisation Methods 0.000 description 2
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 2
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Natural products CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004111 Potassium silicate Substances 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001089 [(2R)-oxolan-2-yl]methanol Substances 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M acetoacetate Chemical compound CC(=O)CC([O-])=O WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000004645 aluminates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- 229910001680 bayerite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- PASHVRUKOFIRIK-UHFFFAOYSA-L calcium sulfate dihydrate Chemical compound O.O.[Ca+2].[O-]S([O-])(=O)=O PASHVRUKOFIRIK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- WMWXXXSCZVGQAR-UHFFFAOYSA-N dialuminum;oxygen(2-);hydrate Chemical compound O.[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] WMWXXXSCZVGQAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001648 diaspore Inorganic materials 0.000 description 1
- MPRVXUYAJZZBHG-UHFFFAOYSA-K dicarbonoperoxoyloxyalumanyl hydroxy carbonate Chemical compound [Al+3].OOC([O-])=O.OOC([O-])=O.OOC([O-])=O MPRVXUYAJZZBHG-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- BSVSPZGXUSFFEG-UHFFFAOYSA-N dihydroxy(oxo)silane;tetrakis(2-hydroxyethyl)azanium Chemical compound O[Si](O)=O.OCC[N+](CCO)(CCO)CCO BSVSPZGXUSFFEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000002431 foraging effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 150000004677 hydrates Chemical class 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- PAZHGORSDKKUPI-UHFFFAOYSA-N lithium metasilicate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-][Si]([O-])=O PAZHGORSDKKUPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052912 lithium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004682 monohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052913 potassium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N potassium silicate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Si]([O-])=O NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000005070 ripening Effects 0.000 description 1
- 150000004760 silicates Chemical class 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- BSYVTEYKTMYBMK-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofurfuryl alcohol Chemical compound OCC1CCCO1 BSYVTEYKTMYBMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Description
また、前記熟成後、アルカリ性水溶液を添加してpH9.5〜11.5に調整することが好ましい。
前記アルミナ水和物ゾルが無定形アルミナ水和物のゾルまたは結晶性アルミナ水和物のゾルであることが好ましい。
前記アルミナ水和物ゾルが擬ベーマイト、ベーマイト、γ−アルミナ、δ−アルミナまたはα−アルミナから選ばれる1種以上のアルミナ水和物のゾルであることが好ましい。
前記熟成を10分〜72時間行うことが好ましい。
本発明に係る異方形状アルミナ水和物ゾルは、研磨剤として優れた研磨特性を有する。特に実用上問題となるレベルのスクラッチを抑制できるものである。即ち、当該異方形状アルミナ水和物ゾルは研磨時において研磨面で粒子配列が起こり、スクラッチの少ない各種の基板研磨面を提供することができる。
原料アルミナ水和物ゾル
本発明に係る異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法では、平均粒子径が5〜20nmの範囲にあるアルミナ水和物微粒子が分散した、pHが2.2〜4.7の範囲にあるアルミナ水和物ゾルが原料として必要である。
アルミナ水和物ゾルの平均粒子径が5nm未満の場合、安定性が悪い。他方、20nmを越える場合は、粒子反発力が強いことと、粒子同志の反応性が低く、粒子連結がしにくいため、好ましくない。好適には、平均粒子径6〜18nmの範囲にあるアルミナ水和物の微粒子が分散したアルミナ水和物ゾルが推奨される。
アルミナ水和物ゾルのpHについては、好適にはpH2.3〜4.5の範囲が推奨される。また、原料のアルミナ水和物ゾルの比表面積については、通常は80〜300m2/gの範囲にあるものが使用される。
この原料アルミナ水和物ゾルについては、その製造方法は限定されるものではなく、公知のアルミナ水和物ゾルの製造方法で調製されたアルミナ水和物ゾルを適用することができる。代表的なアルミナ水和物ゾルの製造方法としては、次の製法を挙げることができる。
2)アルミニウムアルコキシドを、希酸水溶液中で加水分解して得られたアルミナ1水和物(ベーマイト)を、新たに酸を加えてから水熱処理して解膠してなるアルミナ水和物ゾルの製造方法
3)金属アルミニウムと有機酸水溶液との初期段階の反応を所定の条件下にて行った後,有機酸を添加してそのモル比を所定の値以下にして反応させてなるアルミナ水和物ゾルの製造方法
前記原料アルミナ水和物ゾルに対して、脱陰イオン処理を行なう。脱陰イオン処理は、通常、アルミナ水和物ゾルを陰イオン交換体、望ましくは強塩基性陰イオン交換体に接触させることにより行なう。具体的には、陰イオン交換体が充填されたカラムに、アルミナ水和物ゾルを通液することにより行なわれる。
脱陰イオン処理はアルミナ水和物ゾルのpHが8〜10の範囲に入るまで行なう必要がある。このpH範囲にある場合は、負電位が発生するため安定である。陰イオン交換を経ずに、アルカリ性溶液でpH調整を行なった場合、塩が多量に発生し、凝集物が発生するが、陰イオン交換を行なった場合は、凝集物の発生が抑止され、負電位が発生するため好ましい。
前記強塩基性陰イオン交換体としては公知のものが使用でき、水酸基型強塩基性陰イオン交換樹脂、Cl型陰イオン交換樹脂などが挙げられる。
脱陰イオン処理が完了したアルミナ水和物ゾルについては、40〜150℃で、好ましくは45〜98℃で、10分〜72時間静置することにより熟成させる。
脱陰イオン処理が完了した段階においては、アルミナ水和物微粒子の凝集物(ゲル状)が存在するため、熟成により、このような凝集物を熱で溶解(解膠)させることにより、アルミナ水和物微粒子を均一化させる必要がある。
前記の通り、陰イオン交換完了時には、アルミナ水和物ゾルのpHは8〜10の範囲に調整されるが、続いて行なわれる熟成が適切に行なわれた場合、アルミナ水和物微粒子の凝集物の一部は溶解するため、通常、そのpHは低下する。しかしながら、後に行なわれる珪酸液添加による粒子成長において、pH低下によるアルミナ水和物微粒子の凝集を防ぎ、均一な粒子成長が行なわれるように、熟成終了後のアルミナ水和物ゾルにアルカリ性溶液を添加して、pHを9.5〜11.5に調整する。
pHが9.5未満の場合は、珪酸液添加によるpH低下により凝集物が発生する。他方、pHが11.5を越える場合は、珪酸液が溶解し易くなり、粒子成長が充分に行われず、好ましくない。pHは好適には9.7〜11.2の範囲が推奨される。
前記アルカリ性水溶液としては、珪酸液のpHを調整できるものであって、本発明の異方形状シリカゾルの生成に悪影響を与えないものであれば、制限なく使用できる。具体例としては、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、アンモニア水溶液、有機アミン系塩類や水溶性珪酸塩の水溶液などが挙げられる。
pH調整が完了したアルミナ水和物ゾルに珪酸液を断続的にまたは連続的に添加することにより異方形状アルミナ水和物ゾルを調製する。
本発明製造方法において使用される珪酸液とは、水溶性珪酸塩を脱アルカリすることにより調製されるものであり、通常は珪酸塩の水溶液を陽イオン交換樹脂で処理するなどの方法で脱アルカリして得られる珪酸の低重合物の水溶液である。この種の珪酸液は、通常、pHは2〜4、SiO2/Na2Oが100〜3,000、SiO2濃度約10重量%以下、好ましくは1〜7重量%のものが、常温でのゲル化が生じ難く、比較的安定であり、実用的に原料として使用される。
アルカリ金属珪酸塩としては、珪酸ナトリウム(水硝子)、珪酸カリウム、珪酸リチウムなどがあり、第3級アンモニウム珪酸塩としては珪酸トリエタノールアミン、第4級アンモニウム珪酸塩としては、珪酸テトラメタノールアンモニウム、珪酸テトラエタノールアンモニウムなどが挙げられる。
1重量部未満では、アルカリ性領域で不安定である。他方、20重量部を越える場合は、アルミナゾルの異方性が損なわれることがあり、望ましくない。珪酸液に含まれるシリカ固形分の配合量については、好適には2〜15重量部が推奨される。
粒子成長後のpHを9.0以上に維持するように珪酸液を添加することについては、通常はアルミナ水和物ゾル中のSiO2/M2O[Mはアルカリ金属、第3級アンモニウム、第4級アンモニウムまたはグアニジンから選ばれる](モル比)が30〜100の範囲となるように珪酸液の量を調整することにより行なうことができる。SiO2/M2Oの範囲としては、好適には40〜70の範囲が推奨される。
主として混合液を安定させることを目的として、珪酸液の添加前に60〜98℃にて30分から3時間程度、熟成してから、珪酸液の添加を開始しても良い。
珪酸液の添加終了後は、直ちに後述する濃縮または溶媒置換等の工程を行なっても良いが、1〜3時間保持し、徐冷してから次の工程に進んでもよい。また、数時間かけて放冷することにより、常温にしてから次の工程に進んでも良い。
本発明の異方形状アルミナ水和物ゾルは、前記した製造方法によって得られる非球状のアルミナ水和物微粒子が分散したゾルであり、アルミナ水和物微粒子の平均粒子径が5〜30nmであり、短径/長径比が0.005〜0.85、比表面積が80〜400m2/gの範囲にある。
前記平均粒子径については、BET法により測定された比表面積から算定する。平均粒子径が5nm未満の場合は、不安定である。他方、30nmを越える場合については、異方性が損なわれるばかりでなく、液粘度が高くなるため好ましくない。平均粒子径については、好適には8〜25nmの範囲のものが望ましく、更に望ましくは、9〜18nmの範囲が推奨される。
短径/長径比が0.005未満の場合は、粘度が高くなり、高濃度のものが得られない。他方、0.85を越える場合は、異方性の特性が発現できない。短径/長径比については、好適には、0.01〜0.82の範囲にあるものが望ましく、更に好適には、0.05〜0.5の範囲が推奨される。
本発明の異方形状アルミナ水和物ゾルにおけるシリカ固形分濃度については、通常、0.1〜7重量%の範囲となる。
添加終了後、放冷して常温に戻し、pHを測定したところ10.2だった。このアルミナ水和物ゾルをエバポレーターにて固形分濃度20重量%まで濃縮して異方形状アルミナ水和物ゾルを調製した。
以上の調製条件、アルミナ水和物ゾルの平均粒子径および短径/長径比について、表1に示した。また、これ以降の実施例と比較例についても同様に表1に記載した。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は12nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.3となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は11nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.3となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は12nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.3となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は11nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.8となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は15nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.4となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は35.0nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.01となった。
Claims (7)
- pH2.2〜4.7の範囲にあり、平均粒子径が5〜20nmの範囲にあるアルミナ水和物ゾルを脱陰イオン処理してpH8〜10の範囲に調整し、次いで40〜150℃で熟成してpH9.5〜11.5とした後、60〜200℃の温度条件下pH9以上を維持しながら、該アルミナ水和物ゾルのアルミナ固形分100重量部に対して、シリカ固形分で1〜20重量部に相当する珪酸液を断続的にまたは連続的に添加することを特徴とする異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記熟成後、アルカリ性水溶液を添加してpH9.5〜11.5に調整することを特徴とする請求項1記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記アルミナ水和物ゾルに対する前記珪酸液の添加量が、該アルミナ水和物ゾル中のアルカリ金属、第3級アンモニウム、第4級アンモニウムまたはグアニジンをMで表したときのSiO2/M2O(モル比)で30〜100の範囲となる量であることを特徴とする請求項1または請求項2の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記アルミナ水和物ゾルが無定形アルミナ水和物のゾルまたは結晶性アルミナ水和物のゾルである請求項1、請求項2または請求項3記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記アルミナ水和物ゾルが擬ベーマイト、ベーマイト、γ−アルミナ、δ−アルミナまたはα−アルミナから選ばれる1種以上のアルミナ水和物のゾルである請求項1〜4のいずれか記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記熟成を10分〜72時間行う請求項1〜5のいずれか記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 平均粒子径が5〜30nm、比表面積が80〜400m2/g、短径/長径比が0.005〜0.85の範囲にある、請求項1〜6のいずれか記載の方法によって得られる異方形状アルミナ水和物ゾル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005365654A JP4936720B2 (ja) | 2005-12-20 | 2005-12-20 | 異方形状アルミナ水和物ゾルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005365654A JP4936720B2 (ja) | 2005-12-20 | 2005-12-20 | 異方形状アルミナ水和物ゾルおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007169085A JP2007169085A (ja) | 2007-07-05 |
JP4936720B2 true JP4936720B2 (ja) | 2012-05-23 |
Family
ID=38296150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005365654A Active JP4936720B2 (ja) | 2005-12-20 | 2005-12-20 | 異方形状アルミナ水和物ゾルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4936720B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008045175A1 (en) * | 2006-10-06 | 2008-04-17 | W.R. Grace & Co. - Conn. | Sulfur tolerant alumina catalyst support |
WO2008042084A1 (en) * | 2006-10-06 | 2008-04-10 | W.R. Grace & Co. - Conn. | Sulfur tolerant alumina catalyst support |
KR101208896B1 (ko) * | 2012-05-24 | 2012-12-06 | 주식회사 대한세라믹스 | 알루미나계 연마재 지립의 제조방법 및 이에 의해 제조된 알루미나계 연마재 지립 |
FR3016360B1 (fr) | 2014-01-14 | 2018-08-24 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de preparation d'une poudre d'oxyde metallique, procede de fabrication d'une pastille d'oxyde metallique et utilisations des poudre et pastille telles qu'obtenues selon ces procedes |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3119271B2 (ja) * | 1991-07-24 | 2000-12-18 | 日産化学工業株式会社 | アルミナゾル及びその製造方法 |
JP3119270B2 (ja) * | 1991-07-23 | 2000-12-18 | 日産化学工業株式会社 | アルミナゾル及びその製造法 |
JP3708985B2 (ja) * | 1995-03-24 | 2005-10-19 | 触媒化成工業株式会社 | アルカリ性アルミナゾルおよびその製造方法 |
-
2005
- 2005-12-20 JP JP2005365654A patent/JP4936720B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007169085A (ja) | 2007-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5334385B2 (ja) | ポリシリケート粒子状材料の製造および使用 | |
JP5019076B2 (ja) | 細長い形状を有するシリカゾルの製造方法 | |
WO2007018069A1 (ja) | 異形シリカゾルおよびその製造方法 | |
JP4911960B2 (ja) | 異方形状シリカゾルの製造方法 | |
Lazareva et al. | Synthesis of high-purity silica nanoparticles by sol-gel method | |
JP4936720B2 (ja) | 異方形状アルミナ水和物ゾルおよびその製造方法 | |
JPH06199515A (ja) | 酸性シリカゾルの製造方法 | |
WO2003055800A1 (fr) | Oxyde inorganique | |
JP5431120B2 (ja) | コロイダルシリカの製造方法 | |
JP3758391B2 (ja) | 高純度シリカ水性ゾル及びその製造方法 | |
JP3993993B2 (ja) | シリカゾルおよびシリカ系複合酸化物ゾルの製造方法 | |
JP4039833B2 (ja) | シリカゲル | |
JP3362793B2 (ja) | シリカゾルの製造方法 | |
JP4979930B2 (ja) | 異方形状シリカゾルの製造方法 | |
JP5505900B2 (ja) | 高濃度シリカゾル | |
JP5377135B2 (ja) | コロイダルシリカの製造方法 | |
JP2009184856A (ja) | エチレンジアミンが固定化されたシリカ粒子よりなるコロイダルシリカ | |
JP3923159B2 (ja) | アルミナゾル及びアルミナ水和物粉末の製造方法及び記録媒体 | |
JP5346167B2 (ja) | 粒子連結型アルミナ−シリカ複合ゾルおよびその製造方法 | |
JP3568234B2 (ja) | シリカ修飾アルミナゾルおよびその製造方法 | |
JP2011042522A (ja) | コロイダルシリカおよびその製造方法 | |
JP2009184858A (ja) | ヒドラジンが固定化されたシリカ粒子よりなるコロイダルシリカ | |
JP7470079B2 (ja) | 金平糖状アルミナ-シリカ複合微粒子分散液の製造方法 | |
JP2729521B2 (ja) | シリカゲルの製造方法 | |
JPH0457604B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081024 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120221 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4936720 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |