JP2007169085A - 異方形状アルミナ水和物ゾルおよびその製造方法 - Google Patents
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- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
【解決手段】 pH2.2〜4.7の範囲にあり、平均粒子径が5〜20nmの範囲にあるアルミナ水和物ゾルを脱陰イオン処理してpH8〜10の範囲に調整し、次いで40〜150℃で熟成してpH9.5〜11.5とした後、60〜200℃の温度条件下pH9以上を維持しながら、該アルミナ水和物ゾルのアルミナ固形分100重量部に対して、シリカ固形分で1〜20重量部に相当する珪酸液を断続的にまたは連続的に添加することにより製造する。
【選択図】 なし
Description
また、前記熟成後、アルカリ性水溶液を添加してpH9.5〜11.5に調整することが好ましい。
前記アルミナ水和物ゾルが無定形アルミナ水和物のゾルまたは結晶性アルミナ水和物のゾルであることが好ましい。
前記アルミナ水和物ゾルが擬ベーマイト、ベーマイト、γ−アルミナ、δ−アルミナまたはα−アルミナから選ばれる1種以上のアルミナ水和物のゾルであることが好ましい。
前記熟成を10分〜72時間行うことが好ましい。
本発明に係る異方形状アルミナ水和物ゾルは、研磨剤として優れた研磨特性を有する。特に実用上問題となるレベルのスクラッチを抑制できるものである。即ち、当該異方形状アルミナ水和物ゾルは研磨時において研磨面で粒子配列が起こり、スクラッチの少ない各種の基板研磨面を提供することができる。
原料アルミナ水和物ゾル
本発明に係る異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法では、平均粒子径が5〜20nmの範囲にあるアルミナ水和物微粒子が分散した、pHが2.2〜4.7の範囲にあるアルミナ水和物ゾルが原料として必要である。
アルミナ水和物ゾルの平均粒子径が5nm未満の場合、安定性が悪い。他方、20nmを越える場合は、粒子反発力が強いことと、粒子同志の反応性が低く、粒子連結がしにくいため、好ましくない。好適には、平均粒子径6〜18nmの範囲にあるアルミナ水和物の微粒子が分散したアルミナ水和物ゾルが推奨される。
アルミナ水和物ゾルのpHについては、好適にはpH2.3〜4.5の範囲が推奨される。また、原料のアルミナ水和物ゾルの比表面積については、通常は80〜300m2/gの範囲にあるものが使用される。
この原料アルミナ水和物ゾルについては、その製造方法は限定されるものではなく、公知のアルミナ水和物ゾルの製造方法で調製されたアルミナ水和物ゾルを適用することができる。代表的なアルミナ水和物ゾルの製造方法としては、次の製法を挙げることができる。
2)アルミニウムアルコキシドを、希酸水溶液中で加水分解して得られたアルミナ1水和物(ベーマイト)を、新たに酸を加えてから水熱処理して解膠してなるアルミナ水和物ゾルの製造方法
3)金属アルミニウムと有機酸水溶液との初期段階の反応を所定の条件下にて行った後,有機酸を添加してそのモル比を所定の値以下にして反応させてなるアルミナ水和物ゾルの製造方法
前記原料アルミナ水和物ゾルに対して、脱陰イオン処理を行なう。脱陰イオン処理は、通常、アルミナ水和物ゾルを陰イオン交換体、望ましくは強塩基性陰イオン交換体に接触させることにより行なう。具体的には、陰イオン交換体が充填されたカラムに、アルミナ水和物ゾルを通液することにより行なわれる。
脱陰イオン処理はアルミナ水和物ゾルのpHが8〜10の範囲に入るまで行なう必要がある。このpH範囲にある場合は、負電位が発生するため安定である。陰イオン交換を経ずに、アルカリ性溶液でpH調整を行なった場合、塩が多量に発生し、凝集物が発生するが、陰イオン交換を行なった場合は、凝集物の発生が抑止され、負電位が発生するため好ましい。
前記強塩基性陰イオン交換体としては公知のものが使用でき、水酸基型強塩基性陰イオン交換樹脂、Cl型陰イオン交換樹脂などが挙げられる。
脱陰イオン処理が完了したアルミナ水和物ゾルについては、40〜150℃で、好ましくは45〜98℃で、10分〜72時間静置することにより熟成させる。
脱陰イオン処理が完了した段階においては、アルミナ水和物微粒子の凝集物(ゲル状)が存在するため、熟成により、このような凝集物を熱で溶解(解膠)させることにより、アルミナ水和物微粒子を均一化させる必要がある。
前記の通り、陰イオン交換完了時には、アルミナ水和物ゾルのpHは8〜10の範囲に調整されるが、続いて行なわれる熟成が適切に行なわれた場合、アルミナ水和物微粒子の凝集物の一部は溶解するため、通常、そのpHは低下する。しかしながら、後に行なわれる珪酸液添加による粒子成長において、pH低下によるアルミナ水和物微粒子の凝集を防ぎ、均一な粒子成長が行なわれるように、熟成終了後のアルミナ水和物ゾルにアルカリ性溶液を添加して、pHを9.5〜11.5に調整する。
pHが9.5未満の場合は、珪酸液添加によるpH低下により凝集物が発生する。他方、pHが11.5を越える場合は、珪酸液が溶解し易くなり、粒子成長が充分に行われず、好ましくない。pHは好適には9.7〜11.2の範囲が推奨される。
前記アルカリ性水溶液としては、珪酸液のpHを調整できるものであって、本発明の異方形状シリカゾルの生成に悪影響を与えないものであれば、制限なく使用できる。具体例としては、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、アンモニア水溶液、有機アミン系塩類や水溶性珪酸塩の水溶液などが挙げられる。
pH調整が完了したアルミナ水和物ゾルに珪酸液を断続的にまたは連続的に添加することにより異方形状アルミナ水和物ゾルを調製する。
本発明製造方法において使用される珪酸液とは、水溶性珪酸塩を脱アルカリすることにより調製されるものであり、通常は珪酸塩の水溶液を陽イオン交換樹脂で処理するなどの方法で脱アルカリして得られる珪酸の低重合物の水溶液である。この種の珪酸液は、通常、pHは2〜4、SiO2/Na2Oが100〜3,000、SiO2濃度約10重量%以下、好ましくは1〜7重量%のものが、常温でのゲル化が生じ難く、比較的安定であり、実用的に原料として使用される。
アルカリ金属珪酸塩としては、珪酸ナトリウム(水硝子)、珪酸カリウム、珪酸リチウムなどがあり、第3級アンモニウム珪酸塩としては珪酸トリエタノールアミン、第4級アンモニウム珪酸塩としては、珪酸テトラメタノールアンモニウム、珪酸テトラエタノールアンモニウムなどが挙げられる。
1重量部未満では、アルカリ性領域で不安定である。他方、20重量部を越える場合は、アルミナゾルの異方性が損なわれることがあり、望ましくない。珪酸液に含まれるシリカ固形分の配合量については、好適には2〜15重量部が推奨される。
粒子成長後のpHを9.0以上に維持するように珪酸液を添加することについては、通常はアルミナ水和物ゾル中のSiO2/M2O[Mはアルカリ金属、第3級アンモニウム、第4級アンモニウムまたはグアニジンから選ばれる](モル比)が30〜100の範囲となるように珪酸液の量を調整することにより行なうことができる。SiO2/M2Oの範囲としては、好適には40〜70の範囲が推奨される。
主として混合液を安定させることを目的として、珪酸液の添加前に60〜98℃にて30分から3時間程度、熟成してから、珪酸液の添加を開始しても良い。
珪酸液の添加終了後は、直ちに後述する濃縮または溶媒置換等の工程を行なっても良いが、1〜3時間保持し、徐冷してから次の工程に進んでもよい。また、数時間かけて放冷することにより、常温にしてから次の工程に進んでも良い。
本発明の異方形状アルミナ水和物ゾルは、前記した製造方法によって得られる非球状のアルミナ水和物微粒子が分散したゾルであり、アルミナ水和物微粒子の平均粒子径が5〜30nmであり、短径/長径比が0.005〜0.85、比表面積が80〜400m2/gの範囲にある。
前記平均粒子径については、BET法により測定された比表面積から算定する。平均粒子径が5nm未満の場合は、不安定である。他方、30nmを越える場合については、異方性が損なわれるばかりでなく、液粘度が高くなるため好ましくない。平均粒子径については、好適には8〜25nmの範囲のものが望ましく、更に望ましくは、9〜18nmの範囲が推奨される。
短径/長径比が0.005未満の場合は、粘度が高くなり、高濃度のものが得られない。他方、0.85を越える場合は、異方性の特性が発現できない。短径/長径比については、好適には、0.01〜0.82の範囲にあるものが望ましく、更に好適には、0.05〜0.5の範囲が推奨される。
本発明の異方形状アルミナ水和物ゾルにおけるシリカ固形分濃度については、通常、0.1〜7重量%の範囲となる。
添加終了後、放冷して常温に戻し、pHを測定したところ10.2だった。このアルミナ水和物ゾルをエバポレーターにて固形分濃度20重量%まで濃縮して異方形状アルミナ水和物ゾルを調製した。
以上の調製条件、アルミナ水和物ゾルの平均粒子径および短径/長径比について、表1に示した。また、これ以降の実施例と比較例についても同様に表1に記載した。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は12nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.3となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は11nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.3となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は12nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.3となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は11nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.8となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は15nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.4となった。
この異方形状アルミナ水和物ゾルについてのBET法により測定された平均粒子径は35.0nmとなった。また、この異方形状アルミナ水和物ゾルの短径/長径比は、0.01となった。
Claims (7)
- pH2.2〜4.7の範囲にあり、平均粒子径が5〜20nmの範囲にあるアルミナ水和物ゾルを脱陰イオン処理してpH8〜10の範囲に調整し、次いで40〜150℃で熟成してpH9.5〜11.5とした後、60〜200℃の温度条件下pH9以上を維持しながら、該アルミナ水和物ゾルのアルミナ固形分100重量部に対して、シリカ固形分で1〜20重量部に相当する珪酸液を断続的にまたは連続的に添加することを特徴とする異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記熟成後、アルカリ性水溶液を添加してpH9.5〜11.5に調整することを特徴とする請求項1記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記アルミナ水和物ゾルに対する前記珪酸液の添加量が、該アルミナ水和物ゾル中のアルカリ金属、第3級アンモニウム、第4級アンモニウムまたはグアニジンをMで表したときのSiO2/M2O(モル比)で30〜100の範囲となる量であることを特徴とする請求項1または請求項2の異方形状シリカゾルの製造方法。
- 前記アルミナ水和物ゾルが無定形アルミナ水和物のゾルまたは結晶性アルミナ水和物のゾルである請求項1、請求項2または請求項3記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記アルミナ水和物ゾルが擬ベーマイト、ベーマイト、γ−アルミナ、δ−アルミナまたはα−アルミナから選ばれる1種以上のアルミナ水和物のゾルである請求項1〜4のいずれか記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 前記熟成を10分〜72時間行う請求項1〜5のいずれか記載の異方形状アルミナ水和物ゾルの製造方法。
- 平均粒子径が5〜30nm、比表面積が80〜400m2/g、短径/長径比が0.005〜0.85の範囲にある、請求項1〜6のいずれか記載の方法によって得られる異方形状アルミナ水和物ゾル。
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