TWI345434B - Substrate with plane patterns and display device using the same - Google Patents

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TWI345434B
TWI345434B TW094131504A TW94131504A TWI345434B TW I345434 B TWI345434 B TW I345434B TW 094131504 A TW094131504 A TW 094131504A TW 94131504 A TW94131504 A TW 94131504A TW I345434 B TWI345434 B TW I345434B
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Hiroki Kaneko
Takuya Takahashi
Etsuko Nishimura
Yoshitaka Tsutsui
Takaaki Suzuki
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Seiko Epson Corp
Sharp Kk
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Description

1345434 - 九、發明說明： ' 【發明所屬之技術領域】 " 本發明係關於形成構成平面面板型顯示裝置之平面圖案 之基板以及使用該基板之顯示裝置，其係適合使用喷墨法 專之液體製程’以形成構成液晶顯示裝置及有機發光二極 體（OLED)顯示裝置等平面面板型顯示裝置之顯示面板的 掃描線、影像線、源極電極、半導體層 '像素電極、其他 平面圖案的基板，以及使用該基板之顯示裝置。 Φ 【先前技術】 在例如液晶顯示裝置及有機發光二極體（0LED)顯示裝 置等平面面板型顯示裝置中，構成該顯示裝置的顯示面 板’在其基板上具有將許多像素進行矩陣排列的顯示區 域。排列在顯示區域的像素各自設有薄膜電晶體（Tft Thin Film Transistor)元件作為開關元件之主動矩陣型的顯 示面板運用普遍。以下將以液晶顯示裝置為例，說明平面 面板型顯示裝置之典型範例。 ® 構成主動矩陣型的液晶顯示裝置的顯示面板（display panel (以下稱為液晶（liquid crystal)面板））的結構為，宜為 玻璃之具絕緣性的成對基板之一方或雙方的對向面上有著 平面圖案，兩基板之間炎有液晶層。其中一方的基板（TFT 基板）端上具有TFT元件、顯示之用的像素電極、將掃描訊 號及影像訊號施加於TFT元件上之用的電極、傳達掃描訊 號之用的掃描訊號配線、傳達影像訊號之用的影像訊號配 線，以及上述各條訊號配線連接外部驅動回路之用的端子 104614.doc 另一方的基板（CF基板（color filter substrate))端上，則 具有彩色濾光片、黑色矩陣，以及對向電極。目前所採用 的顯像方式，有對兩基板的平面圖案間所夾的液晶，施加 各乎與其垂直的電界（也稱為垂直電場（verticai eiectric field))、令其顯示的扭轉向列型（twisted nematic)顯示方式 (TN方式），或是施加和平面圖案幾乎平行的水平電場 (lateral electric field)、令其顯示的橫向電場驅動方式
上述主動矩陣型的液晶顯示裝置所使用的掃描訊號配線 (anning signal lines)、掃描訊號電極（scanning electrodes)、掃描訊號配線上與外部驅動回路連接之端子 邛、衫像訊號配線（vldeo Signai lines)、影像訊號電極以 及影像訊號配線與外部驅動回路連接之端子部等，使用金 屬等的導電性薄膜材料形成圖案、製作平面圖案為一般採 用的方法。以往所採用的這種平面圖案製作方式，為以錢 鍍法或蒸鍍法等成膜方法，在整體基板面形成金屬等的薄
104614.doc 1345434 獲得所需的配線圖案。 藉由採用此種液體製程’便不需要光微影工程以及蝕刻 (etching)工粒，可達到精簡製程的目的。液體製程可僅在 需要的部分形成圖案，因此還可抑制材料費、降低成本。 此外，可不降低產量而達到厚膜化的效果，輕易地實現配 線時的低電阻化。除此之外，也不需要蝕刻工程所使用的 酸及鹼等蝕刻液，能夠降低對環境造成的負擔。 使用液體製程代表性技術喷墨法來製作配線等的圖案之 相關既有技術，如特開2000-3 53 594號公報（jp 2000- 353594 A)所揭示之内容，其中揭示了在基板面以擋牆形 成溝狀，以喷墨法將薄膜材料液充填在此溝中，形成薄膜 之成膜技術》 在喷墨法中，將含有顏料等之溶液（以下稱墨水）由喷嘴 噴出，滴在基板上形成圖案，再將其乾燥或鍛燒令其硬 化，得到希望的圖案。墨水剛 '落著到基板後，由於含有溶 媒，所以墨水會呈現液體的樣態。將液體滴下到基板時， 該液體為了維持内部壓力—致，且為了以液體表面積小的 狀態下流動，故平面圖案會產生變化。因此，根據圖案形 狀的不同’有時會形成不同於希望圖案的形狀。所謂和希 望圖案不同，係、指例如液體在圖案終端部分溢出、液體在 直線圖案的部分溢出、液體在彎曲部分溢出 '膜厚因圖 案形狀而不同等，出現上述異常圖案的情形。 【發明内容】 本發月之目的在於降低或避免於喷墨法等液體製程所形 104614.doc 1345434 成之圖案發生異常的現象，提供具有高精度的平面圖案之 基板以及使用該基板之顯示裝置。 本發明之特徵為’由喷出在基板上的溶液之任意2點所 產生之該液體的内部壓力差小且液體表面積亦小之平面形 狀的組合所形成之平面圖案。
以下將針對滴在基板上的液滴之狀態、起因於所滴下之 液滴的内部壓力差的液體流動導致的異常圖案產生，以及 起因於表面能的安定性之液體流動所導致的異常圖案產 生’加以說明。首先將參照圖24來說明液體的内部壓力問 題0 圖24為說明液體的内部壓力之圖。在圖24所示之液體 5〇〇的點Z上之該液體内部壓力pz，可以用液體的表面張力 h、包含了抽X和點Z之在平面上的液體曲率半徑Rx，以及 在和上述平面垂直相交的平面上的液體曲率半徑々，以下 式（1)表示。
Pz=7L(l/Rx+l/Ry)=YL . c ----⑴ 另，C代表曲率 當液體流動、變化其形妝日本 A . 办狀時會令液體表面任意一點之 上式（1)所示的液體内部壓力雊姓 刀維持相同。由於表面張力YL為 液體固有數值，因此為了镲 Γ緩和液體的内部壓力，曲率C會 發生變化。具體而言，内部龎+ 一 & j °丨壓力向的部分曲率C會變小。 反之，壓力低的部分曲率 千L會變大。其結果導致發生與所 希望圖案不同的異常圖案。 系接下來將以上述說明為基礎， 參照圖25A-25C，以顯示面板 取的掃描線圖案之形成為例， 104614.doc 1345434 比較液體的内部壓力。 圖25A-25C係一說明以濺鍍法形成金屬膜、再經由光微 影工程、蝕刻工程所形成之顯示面板的掃描線平面圖案範 例圖。圖25A為掃描線的平面圖案、圖25B以及25(：為掃描 線的平面圖案特徵點上之液體内部壓力比較表。圖25A上 之a〜m，係比較掃描線ιοί之液體内部壓力之用的特徵點。 掃描線101可分為端子部103、掃描訊號配線1〇2、終端 部106。其中’掃描訊號配線1〇2内附帶有掃描訊號電極 104及父叉部105。端子部1〇3係為了與外部驅動回路連接 之用、形成於一條掃描線1〇1之至少一端上者。一般而 言’端子部103的圖案寬度會比掃描訊號配線1〇2的寬度 寬。知描訊说配線102係將由端子部1〇3所施加的訊號傳遞 至掃描訊號電極104之用的配線。大部分的掃描線均為掃 描訊號配線102。 掃描訊號電極104之上部設有薄膜電晶體（TFT)，可對其 施加控制TFT之ΟΝ/OFF的電壓。掃描訊號電極104之配 置’係與横向（掃描訊號配線102之延伸方向）存在之TFT為 相同個數、相等間距。掃描訊號電極104的寬度及長度， 係根據製作的TFT之大小而定。 交又部1 0 5之配置，係為了減少掃描訊號電極上層所形 成的影像訊號配線之容量。交又部105之配置亦為與橫向 存在之TFT相同個數、相等間距。交又部105的寬度，由於 其目的為減少容量，故一般皆儘可能地令其細窄。長度則 根據影像訊號配線之配線寬度以及光微影的校準精度而 104614.doc 1345434 定。終端部106顧名思義，位於掃描訊號配線1〇2之終端部 为。終端部106的寬度通常與掃描訊號配線102相同。 圖25 A所示之各特徵點，係為了評估液體内部壓力所定 義的點。各點的特徵如下。點a:端子部103的中央、點 b ·端子部1〇3之圖案邊界、點^ :端子部1〇3的角、點d : 端子部103與掃描訊號配線102之連接部分的角、點e :掃 描訊號配線102中央、點f:連接著掃描訊號電極ι〇4部分 之對面、點g :掃描訊號配線1〇2與掃描訊號電極1〇4之連 接部分的角、點h :掃描訊號電極1 〇4的中央、點丨：掃描 訊號電極104的角、點j :掃描訊號配線ι〇2和交叉部1〇5的 連接部分之突出的角、點k :掃描訊號配線1〇2和交叉部 105的連接部分之凹入的角、點1:交叉部1〇5的圖案邊 界、點m :掃描訊號配線1〇2之終端部1〇6的圖案邊界。根 據這些點來評估液體之内部壓力。 圖25 A-25C所示之圖案為由液體所形成時，將各特徵點 上之液體内部壓力與特徵點e進行比較，即如圖25(b)、（c) 所示： 液體内部壓力較特徵點e高者：c、h、i、j、l、m 液體内部壓力與特徵點e相同者：f 液體内部壓力較特徵點e低者：a、b、d、g、k 因此，為了輕緩此液體之内部壓力差，液體會產生流 動。 圖26係說明液體剛喷出後的掃描線平面圖案303，以及 液體因液體内部壓力差而產生流動、變形的掃描線平面圖 104614.doc 11 1345434 案3料之圖。⑯體因液體内部壓力差而產生流動、變形的 線平面圖案304，在不同範圍會分別產生以下變化。 子IU 03 . ®冑寬度變狹冑、角的部分向外側擴張； 掃描訊號電極104 :圖案寬度變寬、角的部分向外側擴 張； 交又邛105.圖案寬度變寬、變得和掃描訊號配線丨^之的 寬度相同； 終端部106 .圖案寬度變寬、角的部分向外側擴張。 由上述可知，以喷墨法等液體製程形成平面圖案時，如 直接沿用為以濺鍍法等形成配線時使用之平面圖案，將可 月b發生異常圖案、導致無法確保製作時的安定性。為了確 保製作時的安定性，必須使用減少各特徵點上之液體内部 壓力差、或令其壓力相同之平面圖案。 接下來，將參照圖27說明液體因液體之表面能的而產生 異常圖案的現象。圖27係說明液體剛噴出後的直線圖案 3 0 5 ’以及液體因表面能之安定性而流動、變形後的直線 圖案306之圖。將液體剛喷出後的直線圖案3〇5與變形後的 直線圖案306之表面能相比較’變形後的直線圖案306之波 長λ滿足下式（2)時， λ>πϋ · · · · (2) 變形後的直線圖案306之表面能變小，此即為一般所知 的Plateau Rayleigh之不安定性，液體為了達到安定形狀， 由直線圖案305變形為直線圖案306。一般皆知變形後的直 線圖案306之波長λ易成為： 104614.doc •12- · · · · (3 ) 1345434 由上述可知，以喷墨法等液體製程形成平面圖案時，如 直接沿用為以淹鍍法等形成配線時使用之平面圖案，將可 能發生異常圖案、導致無法確保製作時的安定性。為了確 保製作時的安定1生’必M使用液滴的表面能達到極小之平 面圖案。 亦即，根據本發明使用液體製程形成平面圖案之基板的 特徵在於，該基板係由平面形狀的組合所形成，該平面形 狀係為了形成該平面圖案而喷在基板上之液體（形成圖案 之材料的；谷液）的任意2點間所生的該液體内部壓力差小 者。此平面形狀係基於上述液體之表面積達到極小時平面 形狀而形成》 根據本發明，在使用喷墨法等液體製程形成之配線圖案 中，其平面圖案為液體内部壓力維持一定、且液體表面積 達到極小之平面圖案的組合，藉此可得到減少或避免製造 時發生異常圖案的基板。此外，使用將此平面圖案作為配 線圖案的基板之顯示裝置（顯示面板）的結構，可達到低成 本且高畫質的顯示裝置。 【實施方式】 以下將參照實施例說明將上述液滴的樣態納入考慮而形 成平面圖案之基板，以及使用該基板的顯示裝置。另外， 以下的實施例中，將以具有使用喷墨法由配線材料墨水 (亦稱液體或溶液）滴下而形成之配線圖案的基板、以及使 用該基板之顯示裝置為例進行說明。此外，在以下的實施 104614.doc -13-
1345434 例中，將就基板與配線材料墨水的接觸角度為90度的情況 進行說明。 圖1A-1C係本發明的實施例1之說明圖、圖1A為表示以喷 墨法所形成之端子部103的平面圖案之平面圖、圖1B為設 計範例、圖1C為在特徵點上的液體内部壓力比較表《端子 部103之特徵點a、b和掃描訊號配線102之特徵點e所產生 之液體内部壓力差，係由於端子部103之寬度比掃描訊號 配線102寬。 在實施例1中，在端子部103上配置棒狀挖空圖案203， 令端子部103為梳齒狀圖案201，令各個梳齒狀圖案201的 寬度DTH與掃描訊號配線1〇2的寬度DG為相同値。另外，各 個梳齒狀圖案201由縱向形成的梳齒狀連接圖案2〇2連接。 梳齒狀連接圖案202的寬度DTV和梳齒狀圖案201相同，為 與掃描訊號配線102之寬度DG相同的値。 在既有的平面圖案中，特徵點a、b的壓力為特徵點e的 0.1倍’而應用了實施例1的平面圖案，圖1A上的特徵點 牡、b之壓力則為特徵點6的1〇倍，呈現大幅度的改善。 根據實施例1，可令特徵點a、b和特徵點e的液體内部壓 力相同’故可減少端子部103上產生因液體内部壓力差所 導致的製造時之異常圖案β 然而，特徵點〇的液體内部壓力在既有的平面圖案中為 特徵點e的5.1倍，而相對之下本實施例之平面圖案則增加 為5.8倍，特徵點d的液體内部壓力相較於既有平面圖案、 水平面圖案，皆為為_43倍，無法充分輕緩特徵點c、d的 104614.doc -14· 1345434 液體内部壓力h關於輕緩特徵^的液體内部磨力差的 方法容後在實施例3中敘述。此外，關於輕緩特徵點d之液 體内部壓力差之方法，則將在實施例4到8中說明。 另外，在實施例1的平面圖案上，端子部1〇3上有新的特 徵點j，，特徵點Γ的液體内部麼力會比特徵點e更低。因 此，特徵點j·有可能成為導致異常圖案的原因◎關於輕緩 此特徵點Γ上的液體内部壓力差之平面圖案，將在後述的 實施例3中說明。 圖2A-2C係本發明的實施例2之說明圖，圖2八為表示以 喷墨法形成之端子部103的平面圖案之平面圖、圖2B為設 計例、圖2C為在特徵點上的液體内部壓力比較表。破折線 +點線所示者，為既有之端子部。即為平面圖案3〇1 ^ 在實把例2中，端子部1〇3内配置圓形挖空圖案2〇4於正 方格子上。圓形挖空圖案204的範圍上不形成圖案，端子 部103的配線圖案，會呈現在配線圖案中開了圓孔般的配 線圖案。此平面圖案之端子部圓形挖空圖案204的半徑Γτ 以及端子部圓形挖空圖案204的間隔2S，相對於掃描訊號 配線102的寬度Dg，各自為i.5Dg、〇.8Dg。 在既有的平面圖案中，特徵點&的液體内部壓力為特徵 點e的0.1倍，而根據實施例2的平面圖案，特徵點&的液體 内。卩壓力則為特徵點e的〇. 8倍，呈現大幅度的改善。同樣 也原本在特微·點b為0.1倍者變為〇. 9倍、原本在特徵點〇 上為5.1倍者變為〇·：[倍、原本在特徵點4為_43倍者變為〇 9 倍’各自有了大幅度的改善。 104614.doc -15· 1345434 根據實施例2 ’可減少特徵點a、b、c、d和特徵點e的液 體内部壓力差’故可減少端子部1〇3上產生因液體内部壓 力差所導致的製造時之異常圖案。 圖3A-3C係本發明的實施例3之說明圖，圖3A為表示以 喷墨法所形成之彎曲部m的平面圖案之平面圖、圖⑼為 設計範例、圖3C為在特徵點上的液體内部壓力比較表β破 折線+點線所示者，為實施例丨中端子部丨〇3之特徵點e以 及j·周邊的平面圖案3 02。 特徵點c以及j’和掃描訊號配線102内的特徵點e所產生的 液體内部壓力差，係因彎曲部121角上的圖案呈現不連 續、或是雖然連續但彎曲部12ι的曲率大所產生。其中， 所謂連續定義為「以函數f(x)表示平面圖案時，f(x)中的所 有疋義範圍上x=a，而X a時Hmf(x)存在，且與f(a) 一 致」。 在實施例3中，沿著以原點〇為圓心之半徑Γα的圓a般， 在彎曲部内側取倒角205、沿著以原點〇為圓心之半徑Γβ的 圓B般，在彎曲部外側取倒角2〇6。此平面圖案中，圓a的 半徑rA相對於掃描訊號配線1〇2之寬度D〇為2D〇，圓B的半 徑rB為圓A的半徑rA和掃描訊號配線1〇2寬度Dg之和，故為 3DG。 在實施例1中特徵點c的液體内部壓力相對於特徵點^為 5.8倍，而應用本實施例的平面圖案則降為12倍，呈現大 幅度的改善。同樣地，特徵點j，亦從_43倍改善為〇·8倍。 根據實施例3，可輕緩特徵點c、j，及特徵點e的液體内部 104614.doc 1345434 塵力差’故可減少彎曲部121上產生因液體内部壓力差所 導致的製造時之異常圖案。 圖4A-4C係本發明的實施例4之說明圖，圖4A為表示以 喷墨法所形成之掃描訊號配線1〇2和掃描訊號電極1〇4之連 接部分（以下稱T字部122)的第一個平面圖案之平面圖、圖 4B為設計範例、圖4C為在特徵點上的液體内部壓力比較 表。破折線+點線所示者，為既有之T字部的平面圖案3〇7。 特徵點g和掃描訊號配線102内的特徵點e所產生的液體 内部壓力差，係因在T字部角上的圖案呈現不連續、或是 雖然連續但曲率大所產生。另外，特徵點h和掃描訊號電 極104之特徵點e所產生的液體内部壓力差，係因掃描訊號 電極104的寬度de與掃描訊號配線102的寬度〇(}不同所產 生。 在本實施例中，沿著以原點〇A為圓心半徑Γα的圓A般在 T字部的角取倒角207，使其圓弧化。此時，此平面圖案 中，圓A的半徑Γα相對於掃描訊號配線丄〇2之寬度％為 2DG。另外，掃描訊號電極1〇4的寬度％為與掃描訊號配線 102的寬度DG相同之値。 應用實施例4的平面圖案，不僅可令特徵點f的液體内部 壓力發生變化，同時關於特徵點g的液體内部壓力，在既 有平面圖案中相對於特徵點6為_43倍，則改善為〇〇倍。 同樣地，在特徵點h上則由2.〇倍改善為！^倍。 根據實施例4，可輕緩特徵點g、h和特徵點6的液體内部 壓力差，故可減少T字部122上產生因液體内部壓力差所導 104614.doc •17- 1345434 致的製造時之異常圖案。 圖5A-5C係本發明的實施例5之說明圖、圖5A為表示以 喷墨法所形成之掃描訊號配線102與掃描訊號電極ι〇4的連 接部分（T字部122)之第一個平面圖案之平面圖、圖5B為設 計範例、圖5C為在特徵點上的液體内部壓力比較表。破折 線+點線所示者，為既有之T字部的平面圖案307。 實施例5中，除了如實施例3所說明在T字部的角取倒角 207、以及令掃描訊號電極104的寬度％與掃描訊號配線 102的寬度dg為相同値之方法以外’再加上沿著以原點〇c 為圓心半徑rc的圓C般、在T字部對面取倒角208，形成設 有凹部的平面圖案。另外’形成凹部的掃描訊號配線102 之邊緣係以和緩的曲面所形成’令其為非不連續的平面圖 案。此時，此平面圖案中，圓A的半徑rA相對於掃描訊號 配線102的寬度dg為2DG。同樣地，此平面圖案中 rc = 2.0DG、DG’=〇.8DG、DE=DG。 應用實施例5的平面圖案，不僅可令特徵點f的液體内部 壓力發生變化’同時關於特徵點g的液體内部壓力，在既 有平面圖案中相對於特徵點6為_4 3倍，則大幅改善為1〇 倍。同樣地，在特徵點h上則由2.〇倍改善為1〇倍。 根據實施例5，可輕緩特徵點g、h和特徵點e的液體内部 壓力差，故可減少T字部122上產生因液體内部壓力差所導 致的製造時之異常圖案。 圖6A-6C係本發明的實施例6之說明圖、圖6八為表示以 噴墨法所形成之掃描訊號配線1〇2與掃描訊號電極1〇4之連 104614.doc -18-
1345434 第094131504號專利申請案 中文說明書替換頁(98年1〇月） 接部分（T字部122)的平面圖案之平面圖、圖犯為設計範 例、圖6C為在特徵點上的液體内部壓力比較表。破折線+ 點線所示者’為既有之T字部的平面圖案307。 實施例6中，除了如實施例3所說明在T字部的角取倒角 207、以及令掃描訊號電極ι〇4的寬度％與掃描訊號配線 102的寬度dg為相同值之方法以外，再加上於τ字部附近的 知訊號配線1 〇2内部配置半徑rD的挖空τ字部圖案209。 # 挖空T字部圖案209的部分不形成配線，掃描訊號配線1〇2 為配線中開了圓孔般的配線圖案。此時，此平面圖案中， 半徑Γ A相對於掃描訊號配線ι〇2之寬度％為〇 8Dg。同樣 地，此平面圖案中 rD=0,8Dcj、DG'=〇.6Dc}、DcjihDcj，、 De=Dg。 應用實施例6的平面圖案，不僅可令特徵點f的液體内部 壓力發生變化，同時關於特徵點g的液體内部壓力，在既 有平面圖案令相對於特徵點e為_4.3倍，則大幅改善〇 癱 倍。同樣地，在特徵點h上則由2.0倍改善為！^倍。 此外，應用本實施例，可輕緩特徵點g、h和特徵點6的 液體内部壓力差，故可減少T字部122上產生因液體内部壓 力差所導致的製造時之異常圖案。 圖7A-7C係本發明的實施例7之說明圖，圖7a為表示以 噴墨法所形成之掃描訊號配線1 〇 2與掃描訊號電極1 〇 4之連 接部分（T字部122)的平面圖案之平面圖、圖巧為設計範 例、圖7C為在特徵點上的液體内部壓力比較表。破折線+ 點線所示者’為既有之T字部的平面圖案 I046l4-981009.doc 1345434 _ 實施例7中，除了如實施例3所說明在τ字部的角取倒角 207、以及令掃描訊號電極1〇4的寬度匕與掃描訊號配線 102的寬度DG為相同値之方法以外，再加上於實施例6中所 說明的配置挖空T字部圖案209之方法。除此之外，再沿著 以原點0D為圓心半徑rc的圓C般、在τ字部對面取倒角 208，形成設有凸部的平面圖案。另外，形成凸部的掃描 訊號配線102之邊緣係以和缓的曲面所形成，令其為非不 連續的平面圖案。此時，此平面圖案中，圓A的半徑以相 • 對於掃描訊號配線的寬度dg&〇.8Dg。同樣地，此平面 圖案中 rD=〇.8Dcj、DcjbOjDcj、DG"=1.2D(}、De=Dg。 - 應用實施例7的平面圖案，不僅可令特徵點f的液體内部 壓力發生變化，同時關於特徵點g的液體内部壓力，在既 ' 有平面圖案中相對於特徵點e為-4.3倍，則大幅改善為hl ' 倍。同樣地，在特徵點h上則由2.0倍改善為^倍。 此外，應用實施例7，可輕緩特徵點g、h和特徵點e的液 • 内部壓力4，故可減少7字部122上產生因液體内部壓力 差所導致的製造時之異常圖案。 圖8A-8C係本發明的實施例8之說明圖，圖8八為表示以 噴墨法所形成之掃描訊號配線102與掃描訊號電極1〇4之連 接部分（T字部122)的平面圖案之平面圖、圖沾為設計範 例、圖8C為在特徵點上的液體内部壓力比較表。破折線+ 點線所示者，為既有之τ字部的平面圖案3〇7。 實施例8中，在τ字部的角取實施例3中所說明的倒角 2〇7。並在令掃描訊號電極1〇4的寬度％與掃描訊號配線 104614.doc -20- 1345434 102的寬度DG為相同値之方法，以及於實施例6中所說明的 配置挖空T字部圖案209的方法之外，再加上於τ字部對面 設置一寬度DP的直線圖案21〇，以形成平面圖案。另外τ字 部對面的直線圖案210和掃描訊號配線1〇2的連接部分之 角’和T字部角的倒角207—樣，取倒角207 »此時，此平 面圖案中’圓A的半徑Γα相對於掃描訊號配線1〇2的寬度dg 為0.8Dg。同樣地，此平面圖案中Γ〇==〇 、Dg，=〇 6Dg、 DG"=0.6DG、DE=DG、Dp=Dg。
應用實施例8的平面圖案，不僅可令特徵點f的液體内部 壓力發生變化，同時關於特徵點g的液體内部壓力，在既 有平面圖案中相對於特徵點e為·4.3倍，則大幅改善為1.〇 倍。同樣地’在特徵點h上則由2 · 0倍改善為1. 〇倍。 根據實施例8，可輕緩特徵點g、h和特徵點6的液體内部 壓力差，故可減少T字部122上產生因液體内部壓力差所導 致的製造時之異常圖案。
另外，在實施例8的平面圖案中，於τ字部對面的直線圖 案210之終端部上出現了新的特徵點m、特徵點m，的液體 内部壓力比特徵點e高，故特徵點m，可能成為導致異常圖 案產生的原因。關於輕緩此特徵點m，上液體内部壓力差的 平面圖案，將在後述實施例1 〇中說明。 圖9A-9C係本發明的實施例9之說明圖，圖9八為表示以 噴墨法所形成之掃描訊號配線102與掃描訊號電極1〇4之交 又部105的平面圖案之平面圖、圖9B為設計範例、圖％為 在特徵點上的液體内部壓力比較表。破折線+點線所示 104614.doc 1345434 者，為既有之交又部的平面圖案31〇。 特徵點j、k、1和掃描訊號配線1〇2内的特徵點e所產生的 液體内部壓力差，係因連接部的角上之圖案不連續、以及 交叉部105的寬度DG’比掃描訊號配線1〇2的寬度Dg窄所產 生。 在實施例9中為沿著以原點〇A為圓心半徑Γα的圓A般在交 叉部的角取倒角211形成之圖案。另外，取倒角之交又部 105之邊緣係以和緩的曲面所形成，令其為非不連續的平 面圖案。此時’此平面圖案中，圓A的半徑Γα相對於掃描 訊號配線102的寬度DG為1.5DG。交叉部1〇5的寬Dg,假定為 0.5 .Dg。 在既有的平面圖案中，特徵點j的液體内部壓力為特徵 點e的5.8倍，而應用了實施例9的平面圖案，特徵點】的液 體内部壓力則為特徵點e的1.0倍’呈現大幅度的改善。同 樣地’在特徵點k的液體内部壓力由_3.7倍改善為j 7倍、 在特徵點1的液體内部壓力由2.〇倍改善為17倍。 此外，應用實施例9，可輕緩特徵點j、k、1和特徵點6之 液體内部壓力差，故可減少因液體内部壓力差所導致的製 造時之異常圖案。 圖10A-10C係本發明的實施例1〇之說明圖，圖i〇A為表示 以喷墨法所形成之掃描訊號配線1〇2之終端部1〇6的平面圖 案之平面圖、圖丨0B為設計範例、圖1〇c為在特徵點上的液 體内部壓力比較表。破折線+點線所示者，為既有之終端 部的平面圖案3〇8。 104614.doc •22- 1345434 在圖10A中，特徵點m和掃描訊號配線i〇2内之特徵點6所 產生的液體内部壓力差，係因特徵點e僅有一軸之曲率， 而終端部106則有二轴的曲率所產生。 實施例10_，弦長為Dc之半圓圖案212連接終.端部。另 外，掃描訊號配線102和終端部半圓圖案212係以和緩的曲 面連接、為非不連續的平面圖案。此時，此平面圖案中， 弦長Dc相對於掃描訊號配線102的寬度〇(}為21)(}。 在既有的平面圖案中，特徵點111的液體内部壓力為特徵 點e的2.0倍，而應用了實施例1〇的平面圖案，特徵點爪的 液體内部壓力則改善為I .〇倍。 另外，應用實施例10的平面圖案，可輕緩特徵點爪和特 徵點e的液體内部壓力差，故可減少因液體内部壓力差所 導致的製造時之異常圖案。 圖11係本發明的實施例11之說明圖，其係表示以喷墨法 所形成之掃描訊號配線1〇2之第一個平面圖案。破折線+ 點線所示者，為既有之掃描訊號配線的平面圖案3〇9。 在實施例11中，令平面圖案為相對於掃描訊號配線1〇2 之延長方向平行的軸呈現對稱之波浪形狀。此時，此平面 圖案為，該波浪形狀的波之周期λ相對於掃描訊號配線102 的平均線寬D，滿足λ< 7Γ D者。 應用實施例U之平面圖案’和既有的掃描訊號配線之平 面圖案309相車交’可降低表面能’故可抑制因表面能所導 致的圖案之流動。 此外應.用只把例11，可抑制因表面能所導致的製造時 104614.doc •23- 1345434 之異常圖案的產生。 圖12係本發明的實施例12之說明圖，其係表示以喷墨法 所形成之掃描訊號配線102之第二個平面圖案。在實施例 12中，為在掃描訊號配線1〇2的一部分設有突起部us的平 面圖案。另外，此突起部213的配置，係與掃描訊號配線 102的延伸方向平行之軸呈對稱。此時，此平面圖案為， 突起部的周期λ相對於掃描訊號配線！ 〇2的平均線寬D，滿 足λ< 7Γ D者β 應用實施例12的平面圖案，和既有的掃描訊號配線之平 面圖案309相較’可降低表面能’故可抑制因表面能所導 致的圖案之流動。 應用實施例12，可抑制因表面能所導致的製造時之異常 圖案的產生。 圖13係本發明的實施例13之說明圖，其係表示以喷墨法 所形成之圖案的剖面形狀。在實施例丨3中的構造，係於圖 案503不存在的部分’在絕緣基板501上形成落差部分 502。落差部分502係以旋轉式塗膜法塗布有機膜等後形成 圖案、獲以印刷法等形成者。形成段差502後，再以喷墨 法等液體製程形成圖案503。 應用實施例13的剖面構造，除了實施例卜12所示的效果 以外’藉由落差部分的障壁可擋住液體，各可減少製造時 之異常圖案的產生。 此外’在實施例13中，令對落差部分5 02上的液體之接 觸角為較對絕緣基板5〇1上的液體之接觸角高的狀態’將 104614.doc •24· 1345434 可增加阻擋液體的效果，更能抑制異常圖案的產生。 圖14係本發明的實施例14之說明圖，其係表示以喷墨法 等形成之掃描線101之平面圖案。在實施例14中，於端子 邛103上配置圓形挖空圖案204。掃描訊號配線1〇2上設有 對稱於與掃描訊號配線102之延伸方向平行的軸之突起部 213。在掃描訊號電極1〇4和掃描訊號配線1〇2的連接部分 之角取倒角207、於掃描訊號電極1 的終端部分配置終端 部半圓圖案212。對交又部105的角取倒角211、於終端部 106配置圖案212。此外，各個圖案以和緩的曲面相連接、 為非不連續的圖案》 應用實施例14，可輕緩掃描線1〇1之任意二點上的液體 内=卩壓力差，且能降低表面能，故可抑制製造時之異常圖 案的產生。 圖15到圖17係本發明之實施例15的說明圖。圖15係使用 以喷墨法所形成之配線的液晶顯示裝置6〇1之概觀圖。液 晶顯示裝置601之顯示部602上，使用了應用上述實施例 1〜14中所示的平面圖案之掃描線、影像線、半導體層，以 及像素電極。 圖16係圖15所示之液晶顯示裝置6〇1的顯示部6〇2之模式 回路圖。呈等間距分佈的數條掃描線1〇1形成於圖15所示 之顯示裝置601的水平方向上。呈等間距分佈的數條影像 線107形成於與掃描線101的垂直方向上。掃描線ι〇ι以及 影像線107之至少一端設有連接外部驅動回路之用的端子 部103。掃描線1〇丨和影像線1〇7之交叉部1〇5附近配置有 104614.doc -25- 1345434 薄膜電晶體（TFT)llO作為開關元件、藉由掃描訊號電極 104和掃描訊號配線101連接、藉由影像訊號電極1〇9和影 像線107連接。薄膜電晶體110的一端藉由源極電極117和 像素電極111連接。像素電極111和共通電極112之間夹有 液晶113、由施加於像素電極111和共通電極η:之間的電 壓，驅動液晶113。 圖17係圖16所示領域A的TFT基板端之平面圖。圖17中 知描訊號配線102、掃描訊號電極1〇4、交又部1〇5、影像 鲁 訊號配線108、影像訊號電極1〇9、半導體層116，以及像 素電極111，係應用實施例1〜14所示之平面圖案。 根據實施例15 ’可構成抑制掃描線丨〇 1、影像線丨〇7、半 導體層116、像素電極1U之異常圖案產生的液晶顯示裝置 * 601。 除了以上各實施例外，還可為例如以下之構成。首先， 上述實施例1中’為一挖空圖案配置於與掃描訊號配線平 • 行方向的平面圖案，但配置於與掃描訊號配線垂直之位置 時’亦可獲致相同效果。 另外，在實施例1中，其挖空圖案係棒狀挖空圖案，但 使用例如圖18所示的略呈楕圓之挖空圖案214、或圖19所 示之略呈六角形之挖空圖案215時，亦可獲致相同效果。 在實把例2中，為一將端子部圓形挖空圖案配置於正 方格子上之平面圖案，但如圖2〇所示，將挖空圖案配 置於六方格子上時，亦可獲致相同效果。 實轭例2 6、7、8中’挖空圖案為略呈圓形，但如圖21 104614.doc
-26 - 1345434 :示，形成略呈八角形之τ字部挖空圖 =果;另外同樣地，配置略楕圓、或略心為獲大 於3的整數)之挖空圖案時，亦可抑制異常圖案之產生。 二施例3〜8中’在Τ字部的角沿著以原點〇Α為圓心的 角時Λ:倒角Μ7 ’但如圖21所示’沿著八角形ΑΑ般取倒 角時，亦可獲致相同效果。同樣地，g己置略楕圓、或略η 角形（η為大於4的聽）的倒角時，亦可抑制異常圖案之產 生0
在實施例3中，沿著以原點〇為圓心的圓Α般在弯曲部内 側取倒角2 0 5、沿著以原點〇為圓心的圓b般在^部外側 取倒角206’但圓A及圓B的圓心不為同一者，以一定的曲 率在彎曲部取倒角時，亦可獲致相同效果。 另外在實施例3中，沿著以原點〇為圓心的圓a般在弯 曲。P内側取倒角205、沿著以原點〇為圓心的圓B般在彎曲 部外側取倒角206，但不限於此，以原點〇為圓心的略楕 圓或略11角形（η為大於4的整數）取倒角時，亦可獲致相同 效果。 實施例5及7中，在τ字部的角沿著以原點〇α為圓心的圓 C般取倒角207，但不限於此，以原點〇Α為圓心的略楕 圓、或略η角形（η為大於4的整數）取倒角時，亦可獲致相同 效果。 在實施例10中，為—於終端部106配置終端部半圓圖案 212之平面圖案，但應用將楕圓、或略η角形（η為大於3的 整數）二分之形狀，亦可獲致相同效果。 104614.doc •27·
1345434 在實施例1到10中，記載了具體數値以敘述發明效果， 但該數值係假定基板對液體之接觸角為90。所計算出者。 基板對液體的接觸角如有變化，設計値將隨之不同。 圖22Α、圖22Β、圖22C係設定實施例1到1 〇中基板與液 體的接觸角為50°時之平面圖案的設計値、以及此時之内 部壓力値的說明圖。另外，圖23Α、圖23Β、圖23C係設定 實施例1到10中基板與液體的接觸角為20。時之平面圖案的 設計値、以及此時之内部壓力値的說明圖。從圖22Α、圖 22Β、圖22C、23A、圖23Β，以及圖23C可知，即使基板對 液體的接觸角發生變化，由於採取最恰當的設計，故可輕 緩液體内部壓力差，並可抑制異常圖案之產生。 此外’在實施例1及2中記載了關於端子部103的形狀， 但不限於端子部103’在絕緣基板上形成略直線圖案以及 見度比上述略直線圖案更寬的略四角圖案、略直線圖案的 短邊和略四角圖案的一邊的部分相連接之平面圖案，亦可 應用。 另外’在實施例3中，具有彎曲部121的地方，記載為端 子部103的一部分之形狀，但不限於端子部1〇3的一部分， 在絕緣基板上形成略直線圖案1與略直線圖案2、略直線圖 案1的短邊與略直線圖案2的長邊的端部相連接之L字型彎 曲部的平面圖案，亦可應用。 再者，在實施例4、5、6、7、8中，記載了關於掃描訊 號配線102和掃描訊號電極1〇4的連接部分，但不限於掃描 訊號配線102和掃描訊號電極1〇4的連接部分，在絕緣基板 104614.doc • 28· 上形成略直線圖案1和略直線圖案2、略直線圖案i的短邊 和略直線圖案2的長邊的一部分相連接、具有τ字型形狀之 平面圖案，亦可應用。 在實把例9中記載了關於交叉部1 〇 5的形狀，但 ;交又邛1〇5，在絕緣基板上形成略直線圖案1、與略 、-圖案1具有略同等長度之短邊的略直線圖案2，以及短 邊長度較略直線圖案!及2都短的略直線圖案3,略直線圖
案1的短邊之一部分和略直線圖案3的短邊丨相連接、且略 直線圖案3另-短邊2和略直線圖案2的短邊之—部分相連 接之平面圖案’亦可應用。 a而在實施例1G中，記載了關於掃描訊號配線1G2的終端 °P1〇6，但不限於掃描訊號配線102的終端部106，略直線 圖案1的長邊方向之終端部，亦為可應用之平面圖案。 而另外’在實施例11及12中，記載了關於掃描訊號配線
1〇2的形狀，但不限於掃描訊號配線1〇2，略直線圖案亦為 可應用之平面圖案。 另外’在實施例14中，記載了於掃描訊號配線102上應 用實施例2、4、1〇、12所記載之平面圖案的情況，但至少 應用一項應用實施例卜12中任何一例所記載之平面圖案 時，亦可獲致相同效果。 再者，在實施例16中，記載關於將實施例1〜15的圖案應 用於液晶顯示裝置時的情況’但不限於液晶顯示裝置，使 用液體製程形成有機LED、PDp等顯示裝置、或印刷基板 等之圖案時，亦為可應用之平面圖案。 104614.doc -29· 1345434 【圖式簡單說明】 圖1A-1C係本發明的實施例1之說明圖。 圖2 A-2C係本發明的實施例2之說明圖。 圖3 A-3 C係本發明的實施例3之說明圖。 圖4A-4C係本發明的實施例4之說明圖。 圖5 A-5C係本發明的實施例5之說明圖。 圖6A-6C係本發明的實施例6之說明圖。 圖7A-7C係本發明的實施例7之說明圖。 圖8A-8C係本發明的實施例8之說明圖。 圖9A-9C係本發明的實施例9之說明圖。 圖10A-10C係本發明的實施例1 〇之說明圖。 圖11係本發明的實施例11之說明圖。 圖12係本發明的實施例12之說明圖》 圖13係本發明的實施例13之說明圖。 圖14係本發明的實施例14之說明圖。 圖15係使用由喷墨法所形成之配線的液晶顯示裝置之概 觀圖* 圖16係圖15所示之液晶顯不裝置的顯示部之模式回路 圖。 圖17係圖16所示之領域A的TFT基板端之平面圖。 圖18係由喷墨法所形成之掃描線的端子部之其他平面圖 案說明圖》 圖19係由喷墨法所形成之掃描線的端子部之其他平面圖 案說明圖。 1046I4.doc •30· 1345434 圖20係由喷墨法所形成之掃描線的端子部之其他平面圖 案說明圖。 圖21係由喷墨法所形成之T字部之其他平面圖案說明 圖。 圖22A係實施例1到4中基板和液體的接觸角為50°時之平 面圖案的設計値、以及此時之内部壓力値的說明圖。 圖22B係實施例5到8中基板和液體的接觸角為50°時之平 面圖案的設計値、以及此時之内部壓力値的說明圖》 圖22C係實施例9及10中基板和液體的接觸角為50。時之 平面圖案的設計値、以及此時之内部壓力値的說明圖。 圖23A係實施例1到4中基板和液體的接觸角為20。時之平 面圖案的設計値、以及此時之内部壓力値的說明圖。 圖23B係實施例5到8中基板和液體的接觸角為20。時之平 面圖案的設計値、以及此時之内部壓力値的說明圖。 圖23C係實施例9及10中基板和液體的接觸角為2〇。時之 平面圖案的設計値、以及此時之内部壓力値的說明圖。 圖24係說明液體内部壓力之圖。 圖25A-25C係一說明以濺鑛法形成金屬膜、再經由光微 景夕工程、钱刻工程所形成之顯示面板的掃描線平面圖案範 例圖。 圖26係說明液體剛喷出後的掃描線平面圖案3〇3，以及 液體因液體内部壓力差而產生流動、變形的掃描線平面圖 案304之圖。 圖2 7係說明液體剛喷出後的直線圖案3 〇 5，以及液體因 104614.doc -31 · 1345434 表面能之安定性而流動、變形後的直線圖案306之圖。 【主要元件符號說明】
A 圓A AA 八角形AA B 圓B 101 掃描線 102 掃描訊號配線 103 端子部 104 掃描訊號電極 105 交叉部 106 終端部 107 影像線 108 影像訊號配線 109 影像訊號電極 110 薄膜電晶體 111 像素電極 112 共通電極 113 液晶 117 源極電極 121 彎曲部 122 T字部 201 梳齒狀圖案 202 梳齒狀連接圖案 203 棒狀挖空圖案 104614.doc -32- 1345434 204 圓形挖空圖案 205 彎曲部内側倒角 206 彎曲部外側倒角 207 T字部角之倒角 208 T字部對面之倒角 209 挖空T字部圖案 210 直線圖案 211 交又部角之倒角
212 半圓圖案 213 突起部 214 略呈楕圓挖空圖案 215 略呈六角形挖空圖案 301 平面圖案 302 平面圖案 303 液體剛喷出後的掃描線平面圖案 304 液體流動、變形的掃描線平面圖案
305 液體剛喷出後的直線圖案 306 液體流動、變形的直線圖案 307 既有之T字部的平面圖案 308 既有之終端部的平面圖案 309 既有之訊號配線的平面圖案 310 既有之交叉部的平面圖案 500 液體 5 01 絕緣基板 104614.doc -33- ⑧ 1345434 502 落差部分 503 圖案 601 液晶顯示裝置 602 液晶顯示裝置顯示部 104614.doc • 34-

Claims (1)

1345434 « r *.· 第094131504號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(98年12月） 十、申請專利範圍： 一種具有以液體製程形成之 ~ ~ ' . 十面圖案的基板，其特徵 為：上述平面圖案係基於藉由 稽田為了 U上述液體製程形成 該平面圖案而噴在上述基板 极的岭液上之任意2點間所產 生的該溶液之内部壓力差戽 產马小之平面形狀之組合所形 成；
上述平面圖案係基於藉由為了以上 平面圖案而噴在上述基板的溶液之表 形狀所形成； 述液體製程形成該 面積為極小之平面 上述平面圖案包含於上述基板上所形成之略直線圖案 的短邊與宽度較該略直線圖案寬的略四角圖案之一邊的 一部分相連接之平面圖案；及 上述略四角圖案内配置有數個挖空圖案。 2. 一種具有以液體製程形成之平面圖案的基板，其特徵 為：上述平面圖案係基於藉由為了以上述液體製程形成
該平面圖案而噴在上述基板的溶液上之任意2點間所產 生的該溶液之内部壓力差為小之平面形狀之組合所形 成； 、，上述平面圖案係基於藉由為了以上述液體製程形成該 平面圖案而喷在上述基板的溶液之表面積為極小之平面 形狀所形成； 上述平面圖案包含於上述基板上形成有第i略直線圖案 與第2略直線0案之平面㈣，包含上述第i略直線圖案 之短邊與上述第2略直線圖案之長邊的端部相連接形成[ 104614-981225.doc 1345434 字型彎曲部；及 於上述彎曲部的角取倒角，令該彎曲部之曲率變小。 .—種具有以液體製程形成之平面圖案的基板，其特徵 為·上述平面圖案係基於藉由為了以上述液體製程形成 該平面圖案而喷在上述基板的溶液上之任意2點間所產 生的該溶液之内部壓力差為小之平面形狀之組合所形 成； 上述平面圖案係基於藉由為了以上述液體製程形成該 平面圖案而噴在上述基板的溶液之表面積為極小之平面鲁 形狀所形成； 上述平面圖案包含於上述基板上形成有第丨略直線圖 案與第2略直線圖案之平面圖案，包含上述第丨略直線圖 案之短邊與上述第2略直線圖案之長邊的一部分相連接 形成T字型連接部；及 於上述連接部的角取倒角，令該連接部的曲率變小。 4. 如請求項3之具有平面圖案的基板，其中 與上述連接部相對面的上述第2略直線圖案之長邊的_ 一部分設有凹部者。 5. 如請求項3之具有平面圖案的基板，其中 上述連接部附近的上述第2略直線圖案之内部，配置 有略圓形之挖空圖案。 6. 如請求項3之具有平面圖案的基板，其中 與上述連接部相對面的上述第2略直線圖案之長邊的 一部分設有凸部者。 i S1 104614-981225.doc 如：未項3之具有平面圖案的基板，其中與上述連接部 Z面之上述第2略直線圖案的另-長邊的一部分上， ^有和上述第1略直線圖案的短邊長度大致相同的第3 略直線圖案， 於上述第2略直線圖案和上述第3略直線圖案之間的連 8. P的各角取倒角’令該連接部的曲率變小。 種具有以液體製程形成之平面圖案的基板，其特徵 :工上述平面圖案係基於藉由為了以上述液體製程形成 :千面圖案而噴在上述基板的溶液上之任意以間所產 :的該溶液之内部壓力差為小之平面形狀之組合所形 成； 上述平面圖案係基於藉由 平面圖案而噴在上述基板的 形狀所形成； 為了以上述液體製程形成該 溶液之表面積為極小之平面 地基板上形成有第1略直線圖案、與第！略直線圖案 八有略同等長度之短邊的第2略直線圖案、以及短邊長 又&上述第1略直線圖案及上述第2略直線圖案都短的 3略直線圖案， 上逑第1略直線圖案的短邊之一部分與上述第3略直線 圖案的短邊相連接’且該第3略直線圖案的另—短邊盘上 述第2略直線圖案之短邊的-部分相連接， ;上述第1略直線圖案與上述第3略直線®案間之連接 部的各凸部㈣和各凹部㈣，以及上述第2略直線圖案 及上述第3略直線圖案間的連接部之各凸部的角和各 1046l4-981225.doc 1345434 的角上取倒角，令該連接部的曲率變小。 9· 一種具有以液體製程形成 風之干面圖案的基板，其特徵 馬.上述平面圖案係基於藉 、错由為了以上述液體製程形成 該平面圖案而喷在上述其虹& 土板的，谷液上之任意2點間所產 生的該溶液之内部壓力#故 ^ 坚力差為小之平面形狀之組合所形 成； 上述平面圖案係基於藉由為了以上述液體製程形成該 平面圖案而喷在上述基板的溶液之表面積為極小之平面 形狀所形成； :述平面圖案係藉由使用採噴墨法之液體製程，在絕 緣基板上形成略直線圖案之平面圖案， 且於上述略直線圖案的長邊方向的終端部上，與且有 比該略直線圖案的短邊長的弦之略半圓圖案相連接，且 於上地略直線圖案和上述略半圓圖案間的連接部之各角 上取倒角，令該連接部的曲率變小。 1()mr9之具有平面圖案的基板’其中上述略半圓圖 案的弦長為略直線圖案的短邊長度之15〜5〇倍者。 U·如請求項 1、2、3、8、Orb/ 中任一項之具有平面圖案的基 案，、、i述基板上形成平均寬度〇之上述略直線圖 述略直線圖案為相對於與該略直線圖案之+邊一 : = 波浪型圖案，且該波浪型圖一二 12.如請求項j、2、3、 、中任一項之具有平面圖案的基 J04614-981225.doc 1345434 板〃中上述基板上形成平均寬度β之上述略直線圖 案， ' 士於與上述略直線圖案的長邊平行的軸呈對稱之 方式，將略半圓形的突起部連接於上述略直線圖案， 上述突起部的間隔為πϋ以下者。 •-種顯示裝置，其係具有—對基板、被該—對基板所央 之液晶層、於上述—對基板的一方所形成之具有透明性 的共通訊號電極、於另一方基板所形成之多條掃描線、 與該掃描線大致垂直相交的多條影像線、形成於上述掃 描線和上述影像線間之交點附近之薄膜電晶體，以及連 接該薄膜電晶體之像素電極者，其特徵為： 上述另一方基板為請求項丨到12之任一項所記載之具有 平面圖案的基板， 上述平面圖案為上述掃描線、上述影像線、源極電 極、半導體層、上述像素電極之至少一部分者。 14.如請求項it具有平面圖案的基板，其中上述挖空圖案為 略直線之挖空圖案，上述挖空圖案彼此大致呈平行地配 置於上述略四角圖案内，且具有梳齒狀。 15·如請求項！之具有平面圖案的基板，其中上述挖空圖案為 略圓形的挖空圖案，沿行列方向等間距地配置於上述略 四角圖案内。 104614-981225.doc
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