TWI333103B - Reflector in liquid crystal display device and method of fabricating the same - Google Patents

Reflector in liquid crystal display device and method of fabricating the same Download PDF

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TWI333103B
TWI333103B TW095102792A TW95102792A TWI333103B TW I333103 B TWI333103 B TW I333103B TW 095102792 A TW095102792 A TW 095102792A TW 95102792 A TW95102792 A TW 95102792A TW I333103 B TWI333103 B TW I333103B
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Kudou Yasuki
Sakamoto Michiaki
Naka Kenichirou
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Nec Lcd Technologies Ltd
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Description

1333103 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於用於液晶顯示裝置之反射板及其製造 方法’以及包括上述反射板之液晶顯示裝置。 【先前技術】 液晶顯示裝置根據其光源係分類為光透射型液晶顯示
裝置、光反射型液晶顯示裝置、以及半透射型液晶顯示裝 置。 光透射型液晶顯示裝置係設計為具有在裝置後面的光 源,並藉由允許光源發射的光(稱作,,背光”)通過裝置或 不允許光通過裝置以顯示影像。 光反射型液晶顯示裝置係設計為具有外部光在其上反 射的光反射板’並藉由允許反射光通過裝置或不允許反射 光通過裝置以顯示影像。 、’㈣液晶顯示裝置係設計為具有其中裝置動作為 :汾射里液曰曰顯不裝置的一區域、以及其中裝置動作為光 反射型液晶顯示裝置的一區域。 上述三液晶顯示裝置中― ^ 活動裝置如仃動電話以及各 相機,兩者皆視為用於戶外,Α 射型液晶顯示裝置常肖# 個人雷腦沾丄 用作顯不早疋。這是因為用於筆記型 電腦的光透射型液晶顯 強烈的戶外由於h 一炫κ罝伴隨有問題,即陽光 由於在顯不螢幕的表面 以看到顯千於肋_ 座生九反射’使用者難 〗顯不於顯不單元的影像。 2134-77〇7-PF;Ahddub 5 相對地,由於半透射型液晶顯示裝置在室内具有背光 :’而在戶外使用外部光如陽光作為光源,使用者可以在 至内及戶外隨時看到顯示的顯像。因A,半透射型液晶顯 示裝置係最佳用以作為活動褒置及相機的顯示單元。 由於不需要光源,光反射型液晶顯示裝置常用於如活 動遊戲機,因此具有低功率消耗的優點。 如日本專利申清第58_125〇84和4 號公報,用 於半透射型或光反射型液晶顯示裝置的反射板通常設計為 包括具有波狀表面的有機膜。這是因為這樣的反射板高度 類似裝造m型液晶顯示裝置的過程(特別是,其中使用光 =的微影成像過程),可以以低成本製造這樣的反射板,且 廷樣的反射板具有高光反射特性,優於以其它過程製造的 反射板。 當強烈的光線如陽光進入具有波狀表面的液晶顯示裝 置產纟種現象,其中由於光干擾,液晶顯示裝置的表 面發亮同發出彩虹光。在常用於戶外的活動裝置中, 這樣的現象是重大的失敗。因此,提供了很多對此現象的 解決方案。 光干擾係由第1圖所示的波狀圖案周期以及第2圖所 不的波狀圖案的傾斜角度周期所產生的。由於光干擾係依 據光的波長’產生了上述現象。 藉由例如形成任意的波狀圖案,可以降低波狀圖案的 周期。不’如果形成任意波狀圖帛,晝素的光反射率不 會一致’導致顯示影像中的亮度不均。 2134-7707^PF;Ahddub 6 1333103 • 目前,各畫素内通常重複形成共同的波狀圖案,產生 波狀圖案周期。共同的波狀圖案在各畫素内形成,係為了 降低微影成像過程中所使用的光罩的資料量。因此,如果 波狀圖案係任意形成以避免光干擾,資料量會很大,導致 難以製造光罩。 關於波狀圖案傾斜角度的周期,只要以熱回火有機膜 开> 成平坦的波狀圖案,依組成有機膜的物質的溫度,傾斜 角度取決於有機膜的流動性與表面應力。因此,難以明顯 改變傾斜角度的外形。 例如’日本專利申請公報第2002-243923、 2002-1421 1、200卜201743、10-1 23508、及 1 1-337964 號 提出使用非周期性波狀圖案以減少上述波狀圖案周期。 曰本專利申請公報第6-27481號提出差異化波狀圖案 内凸起及凹下部的高度以減少波狀圖案傾斜角度的周期。 曰本專利申請公報第2002-258272號提出一方法,係 •控制波狀圖案傾斜角度的外形以及波狀圖案内凸起及凹下 部之間的距離,用以減少波狀圖案傾斜角度的周期。 • 例如’曰本專利申請公報第2004-61 767號提出—藉由 • 塗佈小光反射微粒至膜上以製造小波狀圖案的方法。日本 專利申請公報第2003-1 14429及2002-357844號提出—藉 由控制光反射膜形成的溫度而在光反射膜表面上形成小波 狀圖案的方法。 / 不過,由於上述降低反射板内光干擾的習知方法包括 在有機膜表面上形成波狀圖案的步驟,無法消除波狀圖案 2134-7707-PF;Ahddub 7 1333103 ’傾斜角度的周期以及避免顯示螢幕因光干擾而變色。 因此’為了降低光干擾,塗佈光擴散黏著劑至半透射 或光反射型液晶顯示裝置内的光反射板上,藉以避免顯示 螢幕因光干擾而變色。不過,由於光擴散黏著劑所引起的 光擴散’光擴散黏著劑降低了光反射率以及反射對比。特 別是’在半透射型液晶顯示裝置中,由於不能塗佈光擴散 • 黏著劑至液晶顯示裝置動作為光反射型液晶顯示裝置的區 I 域上’引起光透射對比降低至大約一半的問題。 藉由塗佈小光反射微粒至一膜上以形成小波狀圖案的 習知方法’係由日本專利申請公報第2〇〇4_61767號所提 出,伴隨有以下問題。 在半透射型液晶顯示裝置中,必須只塗佈光反射微粒 至液晶顯示裝置動作為光反射型液晶顯示裝置的區域上, 於是必須圖案化光反射微粒。不過,不像一般的金屬膜, 很難圖案化光反射微粒。此外,微粒在製造過程中常引起 污染’導致製造產量降低。 藉由控制光反射膜形成的溫度在光反射膜的表面形成 . 小波狀圖案的習知方法,係由日本專利申請公報第 2003-1 14429和2002-357844號所提出,伴隨有以下問題。 這些方法中,藉由控制光反射膜(例如,鋁膜)形成的 溫度,在光反射膜表面以光反射膜的長晶形成小波狀圖 案。加熱用以形成光反射膜的溫度受限於下方有機膜可抵 抗的最大溫度(約250。(:)。因此,不見得可以選擇想要的 溫度來加熱光反射膜。 2134-7707-PF;Ahddub 8 叫103 如果形成光反射膜的溫度較高,具有短波長(〇4微米 或更小)的藍光會被長晶形成的波狀圖案散射,導致光反射 膜變百。因此,上述習知方法不能提供形成小波狀圖案所 必需的條件。 此外,由於上述習知方法中應用共同條件於基板,不 能只在部分的光反射板中形成小波狀圖案。 【發明内容】 鑑於先前技術的上述問題,本發明的目的係提供一反 射板,用於液晶顯示裝置中,可防止波狀圖案的周期所引 起的光干擾,藉此避免反射板變色。 本發明的又一目的係提供製造上述反射板的方法。 本發明的又一目的係提供包括上述反射板的液晶顯示 裝置。 在本發明的一形態中,提供一反射板,用於液晶顯示 裝置包括.一第1基板;一第2基板’與第1基板面對 放置;以及一液晶層,夹在第1和2基板間;其中,一外 部光在形成於第1和第2基板其中之-上的反射板上反 射,以藉其顯示影像’而反射板包括一有機膜,且反射膜 的形成係覆蓋有機膜,其特徵為上述有機膜具有在其表面 上的第1凸起及凹下部、以及形成於第1凸起及凹下部的 表面上的帛2凸起及凹下部,上述第1凸起及凹下部包括 的凸起部及凹下部中至少其—是i形❹第2凸起及凹 P的尺寸小於第1凸起及凹下部,並且反射膜的形成係 2134-77〇7-PF;Ahddub 9 1333103 反映上述第1和第2凸起及凹下形狀。 根據本發明的反射板係應用於光反射或半透射型液晶 顯示裝置。 供包括上述反射板的液晶顯示震置。 根據本發明的液晶顯示裝置可安裝在例如活動通訊終 端及行動電話的電子裝置上。 本發明的另一形態中,提供製造用於液晶顯示裝置的 反射板的-方法,上述液晶顯示裝置包括:一第丄基板; -第2基板,與第!基板面對放置;以及一液晶層,央在 第1和第2基板間;其中,一外部光在形成於第^和第2 基板其中之-上的反射板上反射,以藉其顯示影像;上述 方法包括:在一基板上形成一光敏有機臈;圖案化光敏有 機膜;熱回火光敏有機膜以在其表面上形成第】凸起及凹 下部,而第1凸起及凹下部包括的凸起部及凹下部令至少 其一是弧形剖面;在第丨几 起及凹下部的表面上形成第2 凸起及凹下部,而第?Ώ 及凹下邱. 起及凹下部的尺寸小於第1凸起 …以及在上述光敏有機臈上形成一反射臈。 上述本發明所得到的優點將說明如下。 本㈣巾’帛1凸㈣町Μ錢料表 成’第2凸起及凹下部的尺寸小於第u起及凹下部並: 成於第1凸起及凹下部的* 1成於上述有機犋上的 反射膜反映成形的第1和第2凸起及凹下部。 的 第1和第2凸起及凹下部,在相鄰的凸起。戈凹下)部 刀間的間距以及凸起及凹下Α 下。Ρ的傾斜角度外形方面,彼此 2l34-77〇7-PF;Ahddub 10 1333103 不同。因itf*,—r 可以消除波狀圖案的周期。因此,可以避免 皮狀圖案的周期所引起的光干擾,並防止反射板變色。 命由於可防止反射板因光干擾而變色,光反射板内不再 而要使用光擴散黏著劑。結果,可以降低製造成本,並更 加強光反射率及制_ 4* B -r- _ 午及對比β特別是,可以增加半透射型液晶顯 示裝置内的光透射對比。
例如,第1凸起及凹下部藉由曝露光敏有機媒於光線 中、產生膜、以及將膜加熱而形成。帛2凸起及凹下部可 經由粗糙化第1凸起及凹下部的表面而形成。例如,第2 ύ起及凹下部可藉由施加乾蝕刻(例如,使用惰性氣體的反 應離子㈣(RIE))形成第丨凸起及凹下部的有機膜的表面 而形成。#由塗佈反射膜至已形成第^ 2凸起及凹下部 的有機膜表面上,反射媒會反映成形的有機膜表面。 【實施方式】 [第一實施例] 第3圖係包括根據本發明第—實施例的反射板的液晶 顯示裝置100的剖面圖。第4至10圖各顯示包括根據本發 明第-實施例的反射板的主動距陣基板的製造方法的一步 驟。第11圖係第9圖中所指示的剖面A的放大剖面圖,而 第12圖係第1〇圖中所指示的剖面久的放大剖面圖。 根據第-實施例的液晶顯示裳i 1〇〇係一半透射型液 晶顯示裝置’包括:-光透射區3〇,其中液晶顯示裝置⑽ 動作為光透射型液晶顯示裝置;以及一光反射區4〇,其中 2134-7707-PF;Ahddub 11 1333103 液晶顯示裝置100動作為半反射型液晶顯示裝置。 液晶顯示裝置100係由主動距陣基板11〇、置於面對 主動距陣基板110的相對練120、以及夾在主動距陣基 板110與相對基板120間的液晶層13〇所組成。 主動距陣基板110的組成係玻璃構成的第1透明基板 • n、在液晶層130對側形成於第1透明基板11上的減速板 31、形成於減速板31上的偏光板32、在液晶層130的同 籲側形成於第!透明基U上的閉極電極12、形成於第i 透月基板11上用以覆蓋閘極電極丨2的閘極絕緣膜丨3、在 閘極電極12上方形成於閘極絕緣膜13上的半導體膜丨4、 圍繞半導體膜14形成於閘極絕緣膜13上的源極/汲極電極 15、形成於閘極絕緣膜13上用以覆蓋半導體膜14與源極/ 及極電極15的保s蔓膜16、形成於保護膜Η上且由ιτο(氣 化銦錫)構成的光透射電極17、形成於保護膜16上部分覆 蓋光透射極17的有機膜18、以及覆蓋有機膜18的光反射 • 膜 19。 背光源33係置於偏光板32的下方。 . 如之後所詳述,根據第一實施例的反射板係由有機膜 : 丨8與覆蓋有機膜18的光反射膜19所構成。 相對基板12 0的組成係玻璃構成的第2透明基板41、 ’ 形成於第2透明基板41上的減速板42、以及形成於減速 板42上的偏光板43。 在光透射區30中’背光源33射出的光50通過液晶顯 示裝置100。於是,通過光50的光透射電極I?在光透射 12 2134-77〇7-PF;Ahddub 1333103 區30内形成。
在光反射區40中,反射外部光51。於是,有機膜18 與光反射膜19組成的反射板在光反射區40内形成Q 在主動距陣基板110的第1透明基板11上,形成彼此 平行延伸的複數的掃描線(未圖示)、彼此平行延伸且垂直 於掃描線的複數的信號線(未圖示)、位於掃描線與信號線 交點的薄膜電晶體(TFT)、以及晝素電極。 各薄膜電晶體由閘極電極12、閘極絕緣膜1 3、半導體 膜14、以及源極/汲極電極15所組成。 畫素電極由彼此電氣連接的光反射膜19以及光透射 電極17所組成,並且電氣連接至薄膜電晶體。 光透射電極17和光反射膜19藉由覆蓋TFT的有機膜 18而彼此分開。 如第9圖所示’第1凸起及凹下部1在有機膜18的表 面上形成。第1凸起及凹下部1係緩和的波狀。如第丨丨圖 所示,第2凸起及凹下部2在第丨凸起及凹下冑i的表面 上形成。第2凸起及凹下部2比第i凸起及凹下部i的尺 寸小且波狀較陡。 形成光反射膜19以覆蓋有機膜18。如第1〇和12圖 所示,光反射膜19具有反射有機膜18表面的形狀。即, 反射膜19的表面上也形成凸起及凹下部相似於在有機膜 18的表面上形成的凸起及凹下部1和2。 以下參考第4至10圖,說明製造主動距陣基板ιι〇的 方法。 2134-7707-PF;Ahddub 13 丄川i〇3 於第2 ’:第4圖所示,閘極電極12和掃描線(未出現 於第4圖’因為它們從閘極電極12延伸而垂直於第 平面)在第1透明基板"上形成。 其··人’如第5圖所示’閘極絕緣膜丨3形成於第工透明 基板11上,用以覆蓋閘極電極12及掃描線。例如,閑極 絕緣膜13由氮化矽膜構成。 其-人,定義一歐姆接觸層的非晶矽膜和摻雜磷的非晶 籲石夕膜形成於閉極絕緣膜13上。其次,上述膜以微影成像矛: 蝕刻形成島狀圖案。因此,如第5圖所示,半導體膜"形 成於閘極絕緣13上。 其次’源極/汲極電極15和信號線(未顯示)形成於閘 極絕緣13上。 之後’移除留在源極和汲極電極15間的一部分摻雜磷 的非晶矽膜。其次,如第6圖所示,氮化矽膜所構成的保 濩膜16完全地形成在此成品上。 • 其次’源極電極15以及光透射電極17通過穿孔1 6 A 彼此電氣連接,而穿孔16A穿過氮化矽膜而形成。其次, • 如第6圖所示’形成氣化銦錫(ITO)膜所構成的光透射電極 17覆蓋穿孔16A的内表面。 其次,如第7圖所示,光敏丙烯酸樹脂18A完全塗佈 • 於保護膜16和光透射電極17上。 其次,如第8圖所示,光敏丙烯酸樹脂18A曝露於穿 過光罩34的光線中。因此,光反射區40和光透射區30曝 露於最佳數量的光線中,然後成形。其次,熱回火光敏丙 2134-7707-PF;Ahddub 14 1333103 烯酸樹脂18A。 結果’如第9圖所示,光敏丙稀酸樹脂18A被圖案化 為有機膜18,位於光反射區40内的有機膜18在其表面上 具有緩和波狀的第1波狀圖案1或是具有第1凸起或凹下 部1 〇 如第9圖所示’形成於光透射區30内的光敏丙烯酸樹 脂18 A全曝露於光線中,結果完全被移除。 其次’使用惰性氣體如氬或氦氣體的乾蝕刻施加於有 機膜18的表面,藉此在第i波狀圖案j的表面上形成第2 凸起及凹下部2或第2波狀圖案2(見第11圖關於凸起 及凹下部,第2波狀圖案2比第1波狀圖帛i的尺寸小或 更陡。 / 例如,第2波狀圖案2可藉由其中主要執行惰性氣體 的離子轟擊的乾蝕刻而形成。 習知反應離子蝕刻(RIE)裝置可用於執行此乾蝕刻。例 如’弓丨進惰性氣體至裝置空間内,可以以相當小的壓力例 如l〇Pa或更小來執行乾蝕刻。 ,第2波狀圖案2只能藉由提供高離子轟擊的物理蝕刻 而形成。不能藉由提供小離子轟擊的電漿蝕刻形 狀圖案2。 珉第2波 惰性乳體適合作為執行姓刻時使用的大氣氣體。如果 不會化學㈣有機膜18,可以使用其它的氣 不細刻’因為會還原下面的IT。膜17。…體 氧氣或包含氧的氣體化學㈣有機膜18。不過,如果 2134«7707-PF;Ahddub 15 1333103 氣丨或匕3氧的氣體稍微加入惰性氣體, 和提高產量。 ^增加蝕刻率 可以藉由選擇理想的氣體、氣體的 的壓力、、 σ比、執行蝕刻 以及執行蝕刻所施加的功率來控制 2的形狀。 ,皮狀圖案 如果當蝕刻有機膜18時下面的ΙΤ〇 胰1 7或保護膜1 6 又損除了將形成第2波狀圖案2的區域之冰
Ra薄甚 场•之外的區域以光 ,其次,執行乾蝕刻。之後,移除光阻。 ^波狀圖案2内相鄰&起(或凹下)部之間的間距最 好〜第1波狀圖案i内的相鄰凸起(或凹下)部之間的間 距。 如果第2波狀圖案2内相鄰凸起(或凹下)部分間的間 距大於〇.4微米,具有幾乎等於間距的波長的藍光散射於 第2波狀圖案2’導致有機膜8看起來是變黃。因此,第2 波狀圖案2内的間距最好等於或小於〇 4微米。因此,第 2波狀圖案2内的相鄰凸起(或凹下)部分間的間距設計為 等於或小於〇. 4微米。 第2波狀圖帛2内的相冑凸起(或凹下)部之間的間距 以及凸起或凹下部的深纟為不規則或不均勾。#此的不規 則或不均勻的間距或深度係防止光干擾。 由於第1波狀圖案1内的凸起及凹下部的形成係對光 敏有機樹脂18A執行微影成像,第1波狀圖案1的尺寸的 下限係依曝光的準確度而定。 在製造液晶顯示裝置的過程中,用於大尺寸玻璃的曝 2134-7707-PF;Ahddub 16 1333103 光裝置具有約3微米的最小加工尺寸。例如,當圓形凸起 部具有3微米的直徑,第1波狀圖案1内的相鄰凸起(或凹 下)部之間的最小間距為6微米或更大。間距的上限係依其 中放置凸起及凹下部的畫素尺寸而定。畫素的尺寸係依螢 幕的尺寸及/或解析度而定。在一般用於行動電話的對角線 2.2型(5.6公分川%八(24〇><32〇畫素)中,畫素的尺寸約5〇 • 平方微米,且光反射區40具有約等於1/2或1/3畫素尺寸 φ 的區域。由於必須放置反射板在反射區40内,且反射區 40必須包括凸起及凹下部的丨個或更多的間距,間距的上 限約3 0微米。 其次,如第10圖所示,鉬膜和鋁膜形成於有機膜18 和ITO膜17上。鉬膜和鋁膜會形成光反射膜19。鉬膜係 作為壓制鋁膜和ITO膜17間單元反應的阻障膜。光反射膜 19可由鋁膜及除了鋁膜的金屬膜組成。 如果光反射膜19的形成是厚的,第2波狀圖案2可以 φ 埋入光反射膜M。因此,光反射膜19最好具有等於或小 於0. 4微米的厚度。 • 其次’翻和紹膜以微影成像及姓刻為光反射膜19而形 成圖案。 如第10圖所示,動作為光反射電極的光反射膜19及 光透射電極17經由光反射膜19的一部分的電極連接器20 而互相電氣電氣連接。 第一實施例中的光反射膜19係設計為具有多層結 構,由铭膜及除了銘膜的金屬膜組成。或者,光反射膜19 2134-7707-PF;Ahddub 17 1333103 可、十為具有多層結構,由鋁合金膜及除了鋁合金膜的 金屬膜組成。又,光反射膜19可以只由鋁膜或鋁合金膜構 成。 如第10及12圖所示’光反射膜19的表面反映在下方 且緩和波狀的帛1波狀圖案1以及比第1波狀圖案1陡的 第2波狀圖案2的形狀。 、迷板31和偏光板32’在如接著製造第1〇圖所示的 成的步驟所執行的步驟或製造第4圖所示的成品的步驟 之引所執行的步驟的任一步驟中,附著於第1透明基板1卜 其次,對準膜塗佈於主動距陣基板110和相對基板12〇 上。 其次,間隙壁係夾在基板i丨〇和j 2〇之間以定義其間 的間隙。其次,弓丨進液晶進入間隙,接著密封住間隙。因 此元成了液晶顯示裝置。 必須定義光反射區40中的間隙和光透射區3〇中的間 隙之間的差異,使在光透射區30中的遲延等於1/4波長, 且在光反射區40中的遲延等於1/2波長。可以藉由控制光 透射區30中的光敏丙烯酸樹脂18A相對於1:1〇膜u的平 均高度來確定差異。 根據上述第一實施例,作為緩和波狀圖案的第1波狀 圖案1在有機膜18的表面上形成,而凸起及凹下部比第1 波狀圖案1陡的第2波狀圖案2形成於η波狀圖案… 表面上。形成於有機帛18丨的光反射帛19 &映成形的第 1和第2波狀圖案1及2。 2l34-77〇7,PF;Ahddub 18 起(或凹下)部之間的間距以及凸起及凹 部的傾斜角的外开;t A 略Λ _ 卜形方面,第1及第2波狀圖案1及2彼此 不同因此’可以消除波狀圖案的周期。因此,可以避免 波狀圖案的周期所引起的干擾,並防止反射板變色。 由於防止反射板因光干擾而變色,光反射板内不再需 要使用光擴散黏著劑。結果,可以降低製造成本,還增加 了反射率和對比。特別《,可增加半透射型液晶顯示農置 内的光透射對比。 例如,第1波狀圖案1可藉由曝露光敏有機膜於光線 中產生膜、並將膜加熱而形成。第2波狀圖案2可藉由 粗糙化第1波狀圖案i的表面而形成。例如,帛2波^圖 案2可以藉由施加乾蝕刻(例如,使用惰性氣體的反應離子 ㈣(RIE))至形成第i波狀圖的有機们8的表面。藉 由塗佈光反射膜19至已形成第i和第2波狀圖案卜^ 有機膜18的表面’光反射膜19會反映成形的有機膜以的 表面。 第2波狀圖案2的凸起及凹下部的尺寸,如間距和深 度,可以由選擇蝕刻氣體及/和控制壓力或蝕刻動力來控 制。 又,藉由微影成像,可以只在應形成第2波狀圖案2 的區域執行蝕刻。因此,可以只在部分的有機膜18上形成 第2波狀圖案2。 [第二實施例] 第13圖係包括根據本發明第二實施例的反射板的液 2134-7707-PF;Ahddub 19 1333103 在間極絕緣膜13上形成保護膜16之前執行的步驟與 第-施實例的步驟相同,顯示第4至6圖。 、 第實《•例中,氮化石夕膜所構成的保護膜工6在間極絕 緣膜13上形成之後,塗佈光敏㈣樹脂18A至保護膜16 上,而未形成穿過保護膜16的穿子L 16A,如帛Η圖所禾。 其次,相似於第—實施例,曝露光敏酚醛樹脂18A於 光線中’因而在有機膜的表面上形成帛1波狀圖案卜如
第15圖所示。在第二實施例中’不同於第一實施例,同時 形成穿過光敏酚醛樹脂18A的穿孔21。 其次,在有機膜18的表面執行乾蝕刻以在有機膜Η 的表面上形成第2波狀圖案2。 其次,穿孔21延伸通過保護膜丨6而到達源極/汲極電 極1 5 〇 其次,如第16圖所示,形成光反射膜19以覆蓋有機 膜18的表面以及穿孔21的内牆。光反射膜19由例如銀構 φ 成。光反射膜19和源極電極15經由穿孔21互相電氣連接。 其次’相似於第一實施例’主動距陣基板2丨〇和相對 基板120互相依附。因此,完成了根據第二實施例的液晶 示裝置200。 • 在第一及第二實施例中,光敏有機膜18A由丙稀酸或 ••酚醛樹脂所構成。光敏有機膜18A可由其它的光敏樹脂所 構成。 在第一實施例中,光反射膜19由鋁膜構成。或者是, 光反射膜19可由包括如鋁和鈥或鋁和矽的鋁合金所構成 2134-77〇7-PF;Ahddub 21 的膜所構成。在第二實施例中,光反射膜19自銀膜所組 成。或者是,光反射膜19可由銀合金膜所構成。 可以使用例如鈦膜或鉻膜代替鉬膜作為阻障金屬膜。 根據第—實鉍例的液晶顯示裝置2 〇 〇提供與根據第— 實把例的液晶顯示裝置1 〇〇相同的優點。 又,由於光反射膜19和源極電極15經由穿孔21直接 互相電氣連接’不再需要形成第—實施例中的主動距陣基 板110的一部分的透明電極17。 在上述第一及二實施例中,第】波狀圖案丄係設計為 緩和波狀。第1波狀圖t U不受限於第一和第二實施例 令所示的圖案。例>,如果凸起部及凹下部的至少其一有 狐形或波狀剖面’包括如凸起及/或凹下部的波狀剖面提供 第-和第二實施例所示的第i波狀圖案"目同的功能。 [第三實施例] 根據第-或第二實施例的液晶顯示裝置i00或可 應用於各種電子亓杜。仓丨 牛例如’第三實施例中液晶顯示裝置 100應用於行動電話,說明如下。 第17圖係包括液晶顯示裝置⑽的行動電話奶的方 塊圖。 行動電話2 7 5的紐忐仫,_ 的.,且成係.顯示單元276 ;控制器277, 控制行動電話275的椹λ φ μ , 的構成零件的操作;記憶體278,儲存 由控制器2 7 7所執行的兹★ 订的程式、以及各種資料;信號接收器 279’經由信號接收写27q垃! 益接收電波信號;信號傳送器281, 從行動電話2 7 5經由>{士妹·屈、、, 、由^遗傳运器281傳送電波信號;輸入 2134-7707-PF;Ahddub 22 1333103 界面282,由鍵盤或指標構成;以及電源283,提供電源給 行動電話275的構成零件。 顯示單元276由液晶面板265、背光源266、以及處理 影像信號的信號處理器267所構成。 液晶面板265由根據第一實施例的液晶顯示裝置ι〇〇 所構成。利用液晶顯示裝置1 〇〇,可以避免反射板變色, 增加液晶面板265的可見度。 包括液晶顯示裝置100的液晶面板265可應用於手提 個人電腦、筆記型個人電腦、或桌上型個人電腦的螢幕。 此外’包括液晶顯示裝置丨〇〇的液晶面板265可應用於在 各種電子裝置如活動通訊裝置以及行動電話中的顯示單 元。 【圖式簡單說明】 [第1圖]係顯示引起光干擾的波狀圖案的周期; [第2圖]係顯示引起光干擾的波狀圖案的傾斜角的周 期; [第3圖]係包括根據本發明的第一實施例的反射板的 一液晶顯示裝置的剖面圖; [第4圖]係顯示根據本發明的第一實施例的製造反射 板方法的^步驟· [第5圖]係顯示根據本發明的第一實施例的製造反射 板方法的一步顿.
[第6圖]係顯示根據本發明的第一實施例的製造反射 2134-7707-pF;Ahddub 23 板方法的一步騍; [第7 圖]係顯 is方、、i* aa ''、示根據本發明的笛 扳方法的一步驟; 的第一實施例的製造反射 [第8圓]传 糸顯示根據本發 明的第一實施例的製造反射 板方法的一步驟; [第9圖]係— 糸顯示根據本發明的楚 板方法的一步驟; 贫月的第一實 [第1 〇圖1位月R 射板方、土 係顯示根據本發明的笛魯> 射板方法的—步驟. 的第一實施例的製造反 [第11圖1传贫Λ 、第θ圖中所如一 μ [第12圖]係笸 曰不的剖面Α的放大剖面圖; '、乐1Q圖中所扣一 [第13圖1伤— 曰不的剖面A的放大剖面圖; 」係包括根據本發明的坌_杏> 的一液晶顯示裝署 的第一實施例的反射板 ι的剖面圖; [第14圖1你 顯不根據本發 射板方法的—步驟. 發月的第二實施例的製造反 [第15圖]传鹿_ Λ 顯不根據本發明的第_营谕彻 射板方法的一步驟; J弟一實細例 施例的製造反射 的製造反 [第16圖]係 射板方法的一步驟;以及 [第17圖]係包括根據本發 顯示根據本發明的第二實施例的製造反 電話的方塊圖 明的液晶顯示裝置的行動 主要元件符號說明】 11〜第1透明基板; 12〜閘極電極 2134-77〇7-PF;Ahddub 24 13〜 閘極絕緣膜; 14〜 半導體膜; 15〜 源極/汲極電極; 16〜 保護膜; 16A〜穿孔; 17〜 光透射電極; 18〜 有機膜; 18A〜光敏丙烯酸樹脂 19〜 光反射膜; 20〜 電極連接器; 21〜 穿孔; 30〜 光透射區; 31〜 減速板; 32〜 偏光板, 33〜 背光源; 40〜 光反射區, 41〜 第2透明基板; 42〜 減速板; 43〜 偏光板; 50〜 光; 51〜 外部光; 100, -液晶顯示裝置; 110- -主動距陣基板; 120- …相對基板; 130- 〜液晶層; 130, ^液晶層; 200〜液晶顯示裝置; 210, -主動距陣基板; A〜剖面; 1333103 1〜第1波狀圖案(第1凸起及凹下部); 2〜第2波狀圖案(第2凸起及凹下部)。 2134-7707-PF;Ahddub 25

Claims (1)

133.3103 修正日期:99.0.23 第095102792號中文申請專利範圍修正本 十、申請專利範圍: ?f^月少修正替换I. 1.一種反射板,用於-液晶顯示裝置中,上述液晶顯 示裝置包括:一第i基板;一第2基板,位於面對上述第 1基板;以及-液晶層,夾在上述第!和第2基板之間; 其中,外部光線在形成於上述第〗和第2基板其中之一上 的上述反射板上反射以顯示影像,上述反射板包括·· 一有機膜;以及 一反射膜,形成以覆蓋上述有機膜; 其特徵在於: 上述有機膜在表面上具有第丨凸起及凹下部,以及形 成於上述第1凸起及凹下部的表面上的第2凸起及凹下部; 上述第1凸起及凹下部包括的&起部和凹下部至少其 中之一係弧形剖面; 上述第2凸起及凹下部的尺寸小於上述第i凸起及凹 下部;以及 上述反射膜的形成反映上述第1和第2凸起及凹下部, 其中上述第2凸起及凹下部之形狀及大小為不規則。 2·如申請專利範圍第1項所述的反射板,《中上述第 1和第2凸起及凹下部係波狀。 3·如申請專利範圍第1項所述的反射板,#中上述有 機膜和上述反射膜係位於重疊上述液晶顯示裝置的一薄膜 4.如申請專利範圍第 凸起及凹下部中的相鄰 1項所述的反射板,其中上述第 凸起及凹下部之間的間距等於或 2134'7707-PFl 26 133.3103 竹年乙月^日修正替換頁 小於0. 4微米 5.如申請專利範圍第1項所述的反射板,其中上述第 1和第2凸起及凹下部只有在上述有機膜的一部分的表面 上形成。 6.如申請專利範圍第1項所述的反射板,其中上述反 射膜由鋁或鋁合金構成。 7·如申請專利範圍第1項所述的反射板,其中上述反 射膜具有鋁或鋁合金層的一多層結構,並且至少一層由除 了鋁之外的金屬構成。 8.如申請專利範圍第1項所述的反射板,其中上述反 射膜具有等於或小於〇·4微米的厚度。 9·如申請專利範圍第1項所述的反射板,其中上述有 機膜係由一光敏有機膜構成。 10.—種液晶顯示裝置,包括: 一第1基板; 一第2基板,位於面對上述第丨基板;以及 一液晶層,夾在上述第1和第2基板間; 一其中,-外部光在形成於上述第i和第2基板其中之 一上的一反射板上反射以顯示影像;以及 一上述反射板係包括申請專利範圍第1 i 9項中任一頂 所定義的反射板。 、 項 11· 一種電子裝置,包括—汸曰 -u + &晶顯示裝置作為一靖干星 兀,上述液晶顯示裝置為申請直糾Μ 斓不早 勹〒-月專利範圍第1〇項 晶顯示裝置。 巧所疋義的液 2134-7707-PF1 27 ff年‘月少修正 12. —種製造液晶顯示穸罟 丁裒置之反射板的製造方法,上述 液晶顯示裝置包括:一第!基板 土双,弟/基扳,位於面對 上述第1基板;以及一液荖鹿 , 成日日層,夹在上述第1和第2基板 之間,其中’外部光線在形 取於上述第1和第2基板其中 之一上的上述反射板上反射 '、 久耵以顯不影像,上述方法包括 列步驟: 尸 在一基板上形成一光敏有機膜; 以在其表面上形成第 下部包括的凸起部和 1凸起及 凹下部至 圖案化上述光敏有機膜 熱回火上述光敏有機膜 凹下部’上述第1凸起及凹 少其中之一係弧形剖面; 凸起及凹下 1凸起及凹 為不規則。 其中上述第 其'中上述乾 其中上述乾 其中上述乾 體的混合氣 在上述第1凸起及凹下部的表面形成第2 部’上述第2凸起及凹下部的尺寸小於上述第 下部;以及 在上述光敏有機膜上形成一反射膜, 其中上述第2凸起及凹下部之形狀及大小 13. 如申請專利範圍第12項所述的方法, 2凸起及凹下部係以乾蝕刻形成。 14. 如申請專利範圍第13項所述的方法, 姓刻由離子轟擊構成。 15·如申請專利範圍第以項所述的方法, 姓刻中使用惰性氣體。 16_如申請專利範圍第13項所述的方法, 蝕刻中使用包括惰性氣體及包含氧原子的氡 2134-7707-PF1 28 1333103
2134-7707-PF1 29 修正替換頁
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JP5131505B2 (ja) * 2001-04-27 2013-01-30 Nltテクノロジー株式会社 液晶表示装置
JP2007304383A (ja) * 2006-05-12 2007-11-22 Epson Imaging Devices Corp 液晶装置、液晶装置の製造方法、および電子機器
JP4814776B2 (ja) * 2006-12-14 2011-11-16 株式会社 日立ディスプレイズ 半透過型液晶表示装置
JP4513027B2 (ja) * 2006-12-20 2010-07-28 ソニー株式会社 表示装置の製造方法
JP4488001B2 (ja) 2006-12-20 2010-06-23 ソニー株式会社 液晶表示装置およびその製造方法
JP4407732B2 (ja) * 2007-09-05 2010-02-03 ソニー株式会社 液晶表示装置
JP4867881B2 (ja) * 2007-09-26 2012-02-01 ソニー株式会社 電気光学装置およびその製造方法、ならびに電子機器
CN101571654A (zh) * 2008-04-28 2009-11-04 上海天马微电子有限公司 液晶显示装置
JP2009205171A (ja) * 2009-06-15 2009-09-10 Sony Corp 液晶表示装置
CN102087435B (zh) * 2009-12-02 2012-05-30 上海天马微电子有限公司 反射装置和应用该反射装置的液晶显示装置
US8605240B2 (en) * 2010-05-20 2013-12-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
KR20130114996A (ko) 2012-04-10 2013-10-21 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 제조방법
US9684116B2 (en) * 2014-08-18 2017-06-20 New Optics, Ltd Light guide plate, and backlight unit and display device including the same
KR101947382B1 (ko) * 2015-10-29 2019-02-13 엘지디스플레이 주식회사 유기전자장치의 제조 방법
JP7249779B2 (ja) * 2016-04-05 2023-03-31 ソニーグループ株式会社 表示装置および電子機器
CN107505781A (zh) * 2017-09-28 2017-12-22 京东方科技集团股份有限公司 柔性基板以及具有该柔性基板的液晶面板
US10775658B2 (en) 2018-03-29 2020-09-15 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device and method for manufacturing liquid crystal display device
CN108828845A (zh) * 2018-06-26 2018-11-16 上海天马微电子有限公司 反射式显示面板和显示装置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58125084A (ja) 1982-01-21 1983-07-25 株式会社東芝 液晶表示装置およびその製造方法
JP2698218B2 (ja) 1991-01-18 1998-01-19 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置及びその製造方法
JP3066192B2 (ja) 1992-07-10 2000-07-17 シャープ株式会社 反射型アクティブマトリクス基板の製造方法
JP3213242B2 (ja) 1996-10-23 2001-10-02 シャープ株式会社 反射板、反射型液晶表示装置およびその製造方法
JP3204642B2 (ja) 1998-05-29 2001-09-04 松下電器産業株式会社 凹凸散乱反射電極の凹部または凸部の配置位置決定方法
KR20000031459A (ko) * 1998-11-06 2000-06-05 윤종용 반사형 액정표시장치 및 그의 제조방법
JP2001004984A (ja) * 1999-06-18 2001-01-12 Seiko Epson Corp 液晶装置用基板、ならびにこれを用いた液晶装置、電子機器
JP2002014211A (ja) 2000-04-24 2002-01-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 反射板、反射型液晶表示装置及びその製造方法、光学部材、表示装置、照明装置、表示板、並びに波動部材
JP3226521B2 (ja) 2000-11-16 2001-11-05 松下電器産業株式会社 反射型液晶表示装置
JP2002243923A (ja) 2001-02-14 2002-08-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 反射板、及び反射型液晶表示パネル
JP2002258272A (ja) 2001-02-28 2002-09-11 Nec Corp 反射板並びに反射型液晶表示装置
JP3908552B2 (ja) 2001-03-29 2007-04-25 Nec液晶テクノロジー株式会社 液晶表示装置及びその製造方法
JP5181317B2 (ja) * 2001-08-31 2013-04-10 Nltテクノロジー株式会社 反射型液晶表示装置およびその製造方法
US7342622B2 (en) * 2001-10-22 2008-03-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Liquid crystal display for enhancing reflection and method of manufacturing the same
JP3733923B2 (ja) * 2002-04-10 2006-01-11 セイコーエプソン株式会社 マスク及び表示装置の製造方法
JP3695415B2 (ja) * 2002-04-10 2005-09-14 セイコーエプソン株式会社 電気光学パネル用基板、その製造方法、及び電気光学パネル、並びにその製造方法
JP2004037520A (ja) * 2002-06-28 2004-02-05 Hitachi Chem Co Ltd 表面凹凸形成方法、それにより得られる光学フィルム及び拡散反射板並びに拡散反射板の製造方法
JP2004035593A (ja) * 2002-06-28 2004-02-05 Hitachi Chem Co Ltd 表面凹凸形成方法、それにより得られる光学フィルム及び拡散反射板並びに拡散反射板の製造方法
JP2004061767A (ja) 2002-07-26 2004-02-26 Alps Electric Co Ltd 反射体及びその製造方法と反射型液晶表示装置
JP2003114429A (ja) 2002-09-09 2003-04-18 Seiko Epson Corp 液晶表示体用拡散反射板およびその製造方法
JP4117169B2 (ja) * 2002-09-09 2008-07-16 Nec液晶テクノロジー株式会社 液晶表示装置及びその製造方法
JP4489346B2 (ja) * 2002-12-17 2010-06-23 シャープ株式会社 液晶表示装置
JP3964324B2 (ja) * 2002-12-27 2007-08-22 三菱電機株式会社 半透過型表示装置の製造方法および半透過型表示装置
KR100907422B1 (ko) * 2002-12-31 2009-07-10 엘지디스플레이 주식회사 액정 표시 장치에 사용되는 반사판 및 그 제조방법

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