1330258 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明乃有關欲檢查構成或搭載積體電路裝置等的電 子零件的電路基板，且有關於欲檢查其電性特性的電路基 板檢查裝置及檢查方法，以及能適用於該電路基板檢查裝 置的連接用配線板。 【先前技術】
有關欲構成或欲搭載BGA、CSP等之封裝LSI、MCM 、其它積體電路裝置等的電子零件的電路基板，在組裝電 子零件等以前’或是搭載電子零件以前，爲了確認該電路 基板的配線圖案具有所期望的性能，必須檢測其電性特性 〇 以往用於檢查電路基板之電性特性的檢查裝置，乃知 具有：配置著電性連接於測試器的多數檢查電極所形成的 檢查電極裝置、和在該檢查電極裝置的檢查電極電性連接 屬於檢查對象的電路基板的被檢查電極的配接器。此種檢 查裝置的配接器，乃知具有：以印刷配線板所形成的連接 用配線板、和配置於該連接用配線板之表面上的向異性導 電性彈性片。 該配接器的連接用配線板，據知爲於表面具有依照對 應於屬於檢查對象的電路基板的被檢查電極之圖案的圖案 所配置的複數連接電極，且於背面具有依照對應於檢查電 極裝置的檢查電極之圖案的圖案所配置的複數端子電極（ -5- 1330258 例如參照日本專利文獻1等。），於表面具有依照對應於 屬於檢查對象的電路基板的被檢查電極的圖案所配置之由 電流供給用連接電極及電壓測定用連接電極所形成的連接 電極對，且於背面具有對應於檢査電極裝置的檢查電極之 圖案的圖案所配置的複數端子電極（例如參照日本專利文 獻2等。）等。具有前者的連接用配線板的配接器，乃應 用於例如電路基板的各電路的斷路、短路試驗等，具有後 者的連接用配線板的配接器，乃應用於電路基板的各電路 的電氣電阻測定試驗。 而向異性導電性彈性片乃爲僅在厚度方向出現導電性 者，或是當加壓時僅在厚度方向出現導電性者，以往眾知 即有各種構造。例如於日本專利文獻3等乃揭示一種將金 屬粒子均勻地分散於彈性體中所得到的向異性導電性片（ 以下亦將此稱爲「分散型向異性導電性片」。），而於曰 本專利文獻4等乃揭示藉由使得導電性磁性體粒子不均勻 地分佈於彈性體中，於厚度方向延伸的多數導電路形成部 、和將該等相互絕緣的絕緣部所形成的向異性導電性彈性 片（以下亦將此稱爲「偏向型向異性導電性片」》)，更 於日本專利文獻5等乃揭示在導電路形成部的表面和絕緣 部之間形成段差的偏向型向異性導電性片。 該等向異性導電性彈性片乃藉由例如將在被硬化並形 成彈性高分子物質的高分子物質用材料中含有出現磁性的 導電性粒子所形成的成型材料注入模具內，形成具有所要 之厚度的成型材料層，且對該成型材料層而言，使磁場作 -6- 1330258 用於厚度方向的同時，將該成型材料層進行硬化處理藉由 所得到的。於有關的向異性導電性彈性片中，乃以在由彈 性高分子物質形成基材中以導電性粒子在厚度方向並排的 方式所配向的狀態而含有，藉由多數導電性粒子的連鎖而 形成導電路》 在此種向異性導電性彈性片中，分散型向異性導電性 片與偏向型向異性導電性片做比較，在以下之各點上很有 利。 (1 )對於偏向型向異性導電性片必須以特殊且高價 的模具所製造，且分散型向異性導電性片並不用此種模具 ，能以較少的成本可加以製造。 (2 )偏向塑向異性導電性片必須依照對應於例如被 檢查電極之圖案的圖案而形成導電路形成部，對對應於屬 的檢查對象的電路基板而個別製作者，分散型向異性導電 性片乃不管被檢查電極的圖案就可使用，具有通用性。 (3)偏向型向異性導電性片乃於導電路形成部中， 在厚度方向出現導電性，於絕緣部中，出現導電性的緣故 ，對於使用該偏向型向異性導電性片之際對被檢查電極而 言必須使導電路形成部定位，分散型向異性導電性片乃在 其全面於厚度方向出現導電性的緣故，對被檢查電極而言 不必使導電路形成部定位，電性連接作業成爲很容易。 另一方面，偏向型向異性導電性片乃於所鄰接的導電 路形成部間形成將該等相互絕緣的絕緣部的緣故，就連有 關被檢查電極以較小的間距所配置的電路基板，亦具有可 1330258 在所鄰接的被檢查電極間確保必要之絕緣性的狀態對該被 檢查電極的各個的電性連接以高可靠性達成的性能，亦即 在具有較高的分解能的這點上，與分散型向異性導電性片 相比較爲有利。 而有關分散型向異性導電性片則是厚度愈小的話就愈 小，形成厚度方向的導電路縮短的緣故，可得到較高的分 解能。因而在進行被檢查電極之間距較小的電路基板之檢 查的情形，配接器的分散型向異性導電性片可採用厚度較 小的。 有關具有此種配接器的電路基板檢查裝置，乃例如藉 由檢查電極裝置而按壓配接器，藉此該配接器的向異性導 電性彈性片就會被壓接在屬於檢查對象的電路基板，藉此 在向異性導電性彈性片乃於該厚度方向形成導電路的結果 ，可達成電路基板的被檢查電極和連接用配線板的連接電 極的電性連接而成爲可檢查狀態。而在該可檢查狀態中進 行有關電路基板之所需要的電性檢查。 可是有關BGA、CSP等之表面實裝用的封裝LSI等的 電子零件，在構成該電子零件的電路基板實裝半導體晶片 的方法，據知有打線接合法、TAB法、覆晶實裝法等。該 等實裝法中，在可達成封裝之小型化及訊號傳送之高速化 的這點上，半導體晶片和電路基板的配線長度極短的覆晶 實裝法就很有利》 有關覆晶實裝法眾知有採用作爲半導體晶片而形成利 用焊接所製成的突起狀電極，將形成在半導體晶片的突起 1330258 狀電極融解、固化而接合於電路基板的電極，藉此達成兩 者的電性連接的方法、採用作爲電路基板而具有利用焊接 所製成的突起狀電極，將形成在電路基扳的突起狀電極融 解、固化而接合於半導體晶片的電極，藉此達成兩者的電 性連接的方法。 而有關應用於後者的覆晶實裝法的電路基板則以形成 突起狀電極的狀態，提供該電路基板的電性特性的檢查。 但將具有此種突起狀的被檢查電極的電路基板的電性 檢查，利用具有上記配接器的檢查裝置而進行的情形會有 如下的問題。 有關具有突起狀被檢查電極的電路基板的電性檢查， 由於該被檢查電極的突出高度有誤差，在可檢查狀態中， 於配接器的向異性導電性彈性片的一部分之處，經由突出 高度的較高被檢查電極而產生過大按壓力的結果，該向異 性導電性彈性片易產生故障。特別是使用厚度較小的向異 性導電性彈性片的情形，由於其強度爲較小的，故於該向 異性導電性彈性片易在早期產生故障，因而向異性導電性 彈性片的使用壽命縮短。 而厚度較小的向異性導電性彈性片乃爲分解能較高的 ，但由於厚度方向的彈性變形量小且凹凸吸收能低的，故 對於在突出高度具有誤差的被檢查電極的電路基板，很難 達成穩定的電性連接。 〔日本專利文獻1〕日本特開平6 - 249924號公報 〔日本專利文獻2〕日本特開2001— 235492號公報 1330258 〔曰本專利文獻3〕日本特願昭5 1 - 93 3 93號公報 〔日本專利文獻4〕日本特願昭53 - 1 47772號公報 〔日本專利文獻5〕日本特願昭61 — 250906號公報 【發明內容】 本發明乃爲基於如上情形的發明，其第1目的乃在於 提供一針對具有向異性導電性彈性片的電路基板檢查裝置 ，具有屬於檢查對象的電路基板以較小的間距而配置的突 起狀的被檢查電極，且即使該被檢查電極的突出高度具有 誤差，向異性導電性彈性片不會於早期產生故障而能得到 較長的使用壽命，且對全部被檢查電極而言，可達成穩定 的電性連接，就能實行可靠性高的檢查的電路基板檢查裝 置。 本發明的第2目的乃在於提供一針對使用向異性導電 性彈性片的電路基板檢查方法，具有屬於檢查對象的電路 基板以較小的間距而配置的突起狀的被檢查電極，且即使 該被檢查電極的突出高度具有誤差，向異性導電性彈性片 不會於早期產生故障而能得到較長的使用壽命，且對全部 被檢查電極而言，可達成穩定的電性連接，就能實行可靠 性高的檢查的電路基板檢查方法。 本發明的第3目的乃在於提供一能適用於上記電路基 板檢查裝置的連接用配線板。 本發明的電路基板檢查裝置，乃屬於檢查具有格子狀 配置的複數被檢查電極的電路基板的電性特性的電路基板 -10- 1330258 檢查裝置，具有： 設有於表面依照對應於複數連接電極屬於檢查對象的 電路基板的被檢查電極圖案的圖案所形成的連接用配線板 以及配置在該連接用配線板的表面上的向異性導電性彈性 片的配接器、和配置於該配接器的連接用配線板的背面側 ，具有按壓該配接器的多數按壓針腳的按壓針腳機構所形 成； 前記按壓針腳機構的多數按壓針腳乃於其厚度方向透 視該按壓針腳機構及前記配接器時，在經由連結該連接用 配線板所鄰接的四個連接電極的中心點所畫分的矩形區域 內，至少爲一個按壓針腳位置的方式被配列爲其特徵。 於該電路基板檢查裝置中，在配接器的連接用配線板 的背面乃於利用從按壓針腳機構的全部按壓針腳或全部按 壓針腳中選出的一個以上的特定按壓針腳的按壓位置，配 置著電性連接於連接電極的端子電極，於按壓配配著控該 端子電極的按壓位置的按壓針腳的前端部，乃形成檢查電 極爲佳。 而本發明的電路基板檢查裝置乃屬於檢查具有格子狀 配置的複數被檢查電極的電路基板的電性特性的電路基板 檢查裝置，具備： 在表面設有依照對應於分別由電流供給用連接電極與 電壓測定用連接電極所形成的複數連接電極組屬於檢查對 象的電路基板的被檢查電極之圖案的圖案所形成的連接用 配線板以及配置在該連接用配線板的表面上的向異性導電 -11 - 1330258 性彈性片的配接器、和配置於該配接器的連接用配線板的 背面側，具有按壓該配接器的多數按壓針腳的按壓針腳機 構所形成； 前記按壓針腳機構的多數按壓針腳乃於其厚度方向透 視該按壓針腳機構及前記配接器時，在經由連結該連接用 配線板所鄰接的四個連接電極組的中心點所畫分的矩形區 域內，至少爲一個按壓針腳位置被配列於該區域爲其特徵 〇 於該電路基板檢查裝置中，在配接器的連接用配線板 的背面，乃於從按壓針腳機構的全部按壓針腳或全部按壓 針腳中選出之經由一個以上的特定按壓針腳的按壓位置， 配置著電性連接於電流供給用連接電極以及電壓測定用連 接電極的任一方的端子電極，且在按壓配置著該端子電極 的按壓位置的按壓針腳的前端部，乃形成檢查電極爲佳。 於本發明的電路基板檢查裝置中，屬於檢查對象的電 路基板爲具有突起狀的被檢查電極時，特別能發揮優良的 效果。 於此種電路基板檢查裝置中，配接器的連接用配線板 是當該配接器經由各個按壓針腳機構的按壓針腳和屬於檢 查對象的各個電路基板的被檢查電極被夾壓時，利用該按 壓針腳及該被檢查電極的各個的按壓力產生作用的部分是 以在按壓方向移位的方式產生彎曲爲佳。 而於本發明的電路基板檢查裝置中，配置於連接用配 線板之表面的向異性導電性彈性片，乃於彈性高分子物質 -12- °)、 1330258 中含有呈現磁性的多數導電性粒子所形成，該導電性粒子 是經由在厚度方向並列的方式所配向而形成利用複數導電 性粒子的連鎖爲佳。 而配置於連接用配線板之表面的向異性導電性彈性片 ，利用導電性粒子的連鎖以分散於面向的狀態所形成亦可 ，此種向異性導電性彈性片，其厚度以3 0〜3 0 0 m爲佳 〇 而於本發明的電路基板檢查裝置中，配接器乃具有配 置於連接用配線板之背面的向異性導電性彈性片爲佳。 本發明的電路基板檢查方法，乃屬於檢測具有格子狀 配置的複數突起狀被檢查電極的電路基板的電性特性的電 路基板檢查方法， 使用具有連接用配線板及配置在該連接用配線板之表 面上的向異性導電性彈性片的配接器、和配列按壓該配接 器的多數按壓針腳所形成的按壓針腳機構； 在屬於檢查對象的電路基板上，前記配接器是以其向 異性導電性彈性片接觸到該電路基板的方式被配置，達成 在該配接器上，當在其厚度方向透視該配接器及前記電路 基板時，在經由連結該電路基板所鄰接的四個被檢查電極 的中心點所畫分的矩形區域內，以至少爲一個按壓針腳位 置的方式配置著前記按壓針腳機構的狀態； 具有經由前記按壓針腳機構的按壓針腳的各個來按壓 前記配接器，使前記電路基板的被檢查電極壓接於該配接 器的向異性導電性彈性片，藉此達成該電路基板的被檢查 -13- 1330258 電極的各個電性連接於測試器的可檢查狀態的工程； 於前記可檢查狀態中，前記配接器的連接用配線板乃 . 經由前記按壓針腳及該被檢查電極的各個的按壓力產生作 用的部分以在按壓方向移位的方式產生彎曲爲其特徵。 本發明的連接用配線板，乃屬於介設在具有格子狀配 置的複數被檢查電極的電路基板與測試器之間，欲檢測該 電路基板的電性特性的連接用配線板， φ 在表面具有依照對應於屬於檢查對象的電路基板的被 檢查電極之圖案的圖案所形成的複數連接電極的同時，在 背面具有電性連接於前記連接電極的複數端子電極所形成 f 前記複數端子電極是當在其厚度方向透視該連接用配 線板時，在經由連結所鄰接的四個連接電極的中心點所畫 分的矩形區域內，至少爲一個端子電極被配置於該區域爲 其特徵。 # 而本發明的連接用配線板，乃屬於介設在具有格子狀 配置的複數被檢查電極的電路基板與測試器之間，欲檢測 該電路基板的電性特性的連接用配線板， 在表面具有依照對應於屬於檢查對象的電路基板的被 檢查電極之圖案的圖案所形成之分別由電流供給用連接電 極及電壓測定用連接電極所形成的複數連接電極組的同時 ，在背面具有電性連接於前記電流供給用連接電極及前記 電壓測定用連接電極的任一方的複數端子電極： 前記複數端子電極是當在其厚度方向透視該連接用配 -14- 1330258 線板時，在經由連結所鄰接的四個連接電極組的中心點所 畫分的矩形區域內，至少爲一個端子電極被配置於該區域 爲其特徵。 於本發明中，所謂「…按壓針腳位於矩形區域內」是 指在該矩形區域內，按壓針腳的前端面（按壓面）以未跨 越另一矩形區域內的狀態而形成位置的意思。 而所謂「按壓配接器」是指按壓針腳移動至接近配接 器的方向，藉此利用該按壓針腳按壓配接器的情形，以及 配接器移動至接近按壓針腳的方向，藉此按壓針腳的前端 面壓接於配接器的結果，經由該按壓針腳按壓配接器的情 形之兩者的意思。 於本發明中，經由按壓針腳機構的按壓針腳的各個而 按壓配接器，使得屬於檢查對象的電路基板的被檢查電極 壓接於該配接器的向異性導電性彈性片，藉此該電路基板 的被檢查電極的各個處於電性連接於測試器的可檢查狀態 ，當在其厚度方向透視前記配接器及前記電路基板時，在 經由連結該電路基板所鄰接的四個被檢查電極的中心點所 畫分的矩形區域內，至少爲一個按壓針腳位置。因此，配 接器的連接用配線板是以利用按壓針腳及被檢查電極的各 個的按壓力產生作用的部分在按壓方向移位的方式產生彎 曲。亦即，連接用配線板會強制性地形成波狀變形，且稱 得上爲形成板簧機能的結果，於被檢查電極的突出高度有 誤差，藉此即使在向異性導電性彈性片的一部分之處作用 過大的按壓力，仍可經由利用連接用配線板的彈簧彈性， -15- 1330258 而作用於該向異性導電性彈性片的按壓力被緩和。 因而，若根據本發明，屬於檢查對象的電路基板於被 . 檢查電極的突出高度有誤差的情形，當作爲向異性導電性 彈性片而使用厚度較小者時，在該向異性導電性彈性片亦 不會於早期產生故障，該向異性導電性彈性片可得到原來 已有的較長使用壽命。 而於本發明中，屬於檢查對象的電路基板，即使於被 φ 檢查電極的突出高度有誤差，於可檢查狀態中，由於連接 用配線板對應於被檢查電極的各個的突出高度而產生變形 ，就算作爲向異性導電性彈性片使用厚度較小者，被檢查 電極的突出高度的誤差仍會被充分地吸收。 因而，若根據本發明，屬於檢查對象的電路基板，即 使爲被檢查電極的間距小，於被檢查電極的突出高度有誤 差，對全部被檢查電極而言，仍可達成穩定的電性連接， 實行可靠性高的檢查。 【實施方式】 〔用以實施發明的最佳形態〕 以下針對用以實施本發明的形態做說明。 第1圖是與屬於檢查對象的電路基板一同表示有關本 發明的電路基板檢查裝置的第1例之構成的說明圖，第2 圖是放大表示第1圖所示的電路基板檢查裝置的上部側檢 查用工模的主要部分的說明圖，第3圖是放大表示第1圖 所示的電路基板檢查裝置的下部側檢查用工模的主要部分 -16- <S) 1330258 的說明圖。該電路基板檢查裝置是針對屬於檢查對象的電 路基板（以下亦稱爲「被檢查電路基板」。）1進行例如 斷路、短路試驗。 提供該電路基板檢查裝置的被檢查電路基板1是屬於 欲構成例如BGA等之封裝LSI的電路基板，在其中一面 (於第1圖中爲上面）具有格子狀配置的複數突起狀的一 面側被檢查電極2的同時，在另一面（於第1圖中爲下面 )具有依照格子點位置所配置的複數平板狀的另一面側被 檢查電極3,在其中一面利用覆晶實裝法實裝半導體晶片 ，在另一面側被檢查電極3上形成銲球電極而形成BG A 〇 有關該電路基板檢查裝置是在被檢查電路基板1被水 平配置的檢查實行區域T之上方，設置上部側檢查用工模 10，另一方面，在檢查實行區域T的下方，設置下部側檢 查用工模40。上部側檢查用工模1 0及下部側檢查用工模 40則藉由適當的支撐機構（圖示省略）被支撐，藉此上 部側檢查用工模1 〇及下部側檢查用工模40是以在上下方 向互對的方式被配置。 上部側檢查用工模10是藉由具有連接用配線板21的 上部側配接器20、和配置在該上部側配接器20的連接用 配線板21的背面側（於第1圖及第2圖中爲上面側）的 上部側按壓針腳機構3 0所構成。 上部側配接器20是藉由連接用配線板21、和配置在 該連接用配線板21的表面（於第1圖及第2圖中爲下面 -17- 1330258 )的第1向異性導電性彈性片25、和配置在連接用配線 板21的背面的第2向異性導電性彈性片26所構成，可移 位地設置在對上部側按壓針腳機構3 0形成離接的方向（ 上下方向）。 在連接用配線板2 1的表面乃依照對應於被檢查電路 基板1的一面側被檢查電極2之圖案的圖案而形成複數連 接電極22，在該連接用配線板2 1的背面乃於利用後述的 上部側按壓針腳機構3 0的按壓針腳3 1的按壓位置的各個 形成端子電極23 »具體上，端子電極23是依照對應於上 部側按壓針腳機構3 0的按壓針腳3 1的配列圖案的圖案所 形成，當在其厚度方向透視該連接用配線板2 1時，一個 端子電極23是位於經由連結連接用配線板2 1之所鄰接的 四個連接電極22的中心點所畫分的矩形區域的中心位置 ，且該端子電極23是以不與連接電極22重疊的方式被配 置（參照第5圖）。而且連接電極22的各個是中介著內 部配線（圖示省略）而電性連接於適當的端子電極23。 在圖示例中，連接電極22和端子電極23是以1對1 的對應關係而電性連接，亦即一個連接電極22是電性連 接於一個端子電極23，但有關實際的構成，只要兩者的 電性連接能以配合被檢查電路基板1的配線圖案、檢查目 的的形態而達成即可。因而，全部的連接電極22和端子 電極23不一定要以1對1的對應關係而電性連接，例如 複數連接電極22中介著共通的內部配線而電性連接於一 個端子電極23亦可。 -18- l33〇258 形成連接用配線板21的基材可採用一般作爲印刷配 線板的基材所使用的，較好的具體例可試舉：聚醯亞胺樹 脂、玻璃纖維補強型聚醯亞胺樹脂、玻璃纖維補強型環氧 樹脂、玻璃纖維補強型雙馬來酸酐縮亞胺三氮雜苯樹脂等 〇 連接用配線板21是當配接器20經由後述的按壓針腳 機構30的按壓針腳31的各個和被檢查電路基板1的一面 側被檢查電極2的各個夾壓時，經由該按壓針腳31及該 被檢查電極2之各個的按壓力產生作用的部分以具有在按 壓方向移位的方式產生彎曲之程度的可撓性爲佳。 連接用配線板21所要求的具體性的可撓性程度則是 考慮被檢查電極1的一面側被檢査電極2的直徑及間距等 而適當設定。 連接用配線板21的厚度則是配合該連接用配線板2 1 的材質、所要求的強度及可撓性的程度而適當選擇，但作 爲連接用配線板21的材質而採用玻璃纖維補強型樹脂材 料的情形，則以30〜300 /z m爲佳，較好則爲50〜200以m 〇 有關第1向異性導電性彈性片25，乃如第4圖所示 ’於利用彈性高分子物質製成的基材25A中含有出現磁 性的多數導電性粒子P，該等導電性粒子P是以在厚度方 向並列的方式式所配向，藉此形成利用複數導電性粒子的 連鎖。圖示例的第1向異性導電性彈性片25，乃爲利用 導電性粒子的連鎖是以分散於面向的狀態所形成。 -19- 1330258 於此種第1向異性導電性彈性片25中，其厚度以20 〜500;/m爲佳，較好爲50〜200/zm。該厚度過小的情形 ，該向異性導電性彈性片易形成厚度方向之彈性變形量小 且應力吸收能低者，易使被檢查電路基板1受損，而對被 檢查電路基板1而言，很難達成穩定的電性連接。另一方 面，該厚度超過500 m的情形，該向異性導電性彈性片 易形成厚度方向之電性電阻大，而難以得到較高的分解能 〇 作爲構成第1向異性導電性片25的基材25A的彈性 高分子物質以具有交聯構造的高分子物質爲佳。作爲能應 用於欲得到交聯高分子物質的硬化性高分子物質用材料可 採用各種材料，其具體例試舉有：聚丁二烯橡膠、天然橡 膠、聚異戊二烯橡膠、苯乙烯一丁二烯共聚物椽膠、丙烯 腈-丁二烯共聚物橡膠等之共軛二烯系橡膠以及該些的氫 化物、苯乙烯一丁二烯-二烯嵌段共聚物橡膠、苯乙烯一 異戊二烯嵌段共聚物等的嵌段共聚物橡膠以及該些的氫化 物、氯丁二烯橡膠、尿烷橡膠、聚酯系橡膠、環氧氯丙烷 橡膠、矽橡膠、乙烯一丙烯共聚物橡膠、乙烯一丙烯一二 烯共聚物橡膠等。 於以上對所得到的向異性導電性彈性片要求耐候性的 情形，採用共軛二烯系橡膠以外的爲佳，特別是由成形加 工性及電氣特性的觀點來看，採用矽橡膠爲佳。 矽橡膠則以交聯或縮合液狀矽橡膠者爲佳》液狀矽橡 膠以其粘度爲應變速度10·1 1 sec且105泊以下者爲佳， -20- 1330258 縮合型、附加型、含有乙烯基和羥基等的任一種均可 體上試舉有：二甲基矽生橡膠、甲基乙烯矽生橡膠、 苯基乙烯矽生橡膠等。 該些之中，含有乙烯基的液狀矽橡膠（乙烯基含 二腓基丁二酸）通常是將二甲基二氯矽烷或是二甲基 氧基矽烷，在二甲基乙烯氯矽烷或是二甲基乙烯烷氧 烷的存在下，加水分解及縮合反應，例如藉由持續溶 重複沈殿進行分別經此所得到的。 而於兩末端含有乙烯基的液狀矽橡膠乃將辛甲基 矽氧烷的環狀矽氧烷，於觸媒之存在下進行陰離子聚 且聚合停止劑是使用例如二甲基二乙烯矽氧烷，且適 擇其它反應條件（例如環狀矽氧烷的量及聚合停止劑 )就可經此而獲得。在此，陰離子聚合的觸媒可使用 化四甲基銨及氫氧化η-丁基鱗等之鹼性或是該些的 氧化物溶液等，反應溫度例如爲8 0〜1 3 (TC。 另一方面，含有羥基的液狀矽橡膠（羥基含有聚 基丁二酸）通常是使得二甲基二氯矽烷或是二甲基二 基矽烷，在二甲基氫氯矽烷或是二甲基氫烷氧基矽烷 在下，加水分解及縮合反應，例如利用持續溶解-重 殿進行分別經此所得到的。 將環狀矽氧烷在觸媒之存在下進行陰離子聚合， 合停止劑使用例如二甲基氫氯矽烷、甲基二氫氯矽烷 二甲基氫烷氧基矽烷等，適當選擇其它反應條件（例 狀砂氧院的量及聚合停止劑的量）就可經此而獲得。 。具 甲基 有聚 二烷 基矽 解— 環四 合， 當選 的量 氫氧 矽烷 二狒 烷氧 的存 複沈 且聚 或是 如環 在此 -21 - 1330258 ，陰離子聚合的觸媒可使用氫氧化四甲基銨及氫氧化n~ 丁基鎸等之鹼性或是該些的矽烷氧化物溶液等，反應溫度 . 例如爲80〜130°C。 液狀矽橡膠乃使用其硬化物150 °C之壓縮永久應變爲 35%以下者爲佳，較好爲20%以下。該壓縮永久應變爲 3 5 %以下的情形，所得到的向異性導電性彈性片在其厚度 方向重複進行壓縮時的耐久性良好者爲佳。 φ 而液狀矽橡膠乃使用其硬化物23 °C的撕裂強度爲 7kN/ m以上者爲佳，較好爲l〇kN/ m以上。該撕裂強度 爲7kN/ m以上的情形，所得到的向異性導電性彈性片在 其厚度方向重複進行壓縮時的耐久性良好者爲佳。 在此，液狀矽橡膠硬化物的壓縮永久應變及撕裂強度 乃爲經由以JISK 6249爲標準的方法而測定。 此種彈性高分子物質乃其分子量Mw(稱爲標準聚苯 乙烯換算重量平均分子量。）以1 0000〜40000者爲佳。 • 而從所得到的向異性導電性彈性片的耐熱性觀點來看，分 子量分佈指數（稱爲標準聚苯乙烯換算重量平均分子量 Mw和標準聚苯乙烯換算數平均分子量Μη之比Mw/ Μη 的値。）以2以下者爲佳。 於以上，可在高分子物質用材料中含有欲令該高分子 物質用材料硬化的硬化觸媒。此種硬化觸媒可使用有機過 氧化物、脂肪酸偶氮化合物、氫化甲矽烷基化觸媒等。 硬化觸媒所用的有機過氧化物的具體例試舉有：過氧 化苯醯、過氧化雙環戊烯基、過氧化二異丙苯、過氧化二 -22- 1330258 叔丁烷等。 硬化觸媒所用的脂肪酸偶氮化合物的具 氮二異丁腈等。 氫化甲矽烷基化反應的觸媒所使用且得 舉有：氯化白金酸及其鹽、白金一不飽和基 機金屬錯合物、乙烯矽氧烷和白金的有機金 金和1，3—二乙烯四甲基二矽氧烷的有機金 烴基磷或是磷酸酯和白金的有機金屬錯合物 酯白金螯形化合物、環狀二烯和白金的有機 之公知者。 硬化觸媒的使用量乃考慮高分子物質用 硬化觸媒的種類、其它硬化處理條件而適當 對高分子物質用材料100重量部而言爲3〜] 而在彈性高分子物質中，配合需要，通 化矽粉、膠體二氧化矽、空氣膠二氧化矽、 機充塡材。含有此種無機充塡材，藉此確保 性導電性彈性片的成型材料的觸變性，其粘 性粒子之分散穩定性提昇的同時，所得到的 彈性片的強度昇高。 此種無機充塡材的使用量並未特別限定 量，無法充分地達成利用磁場的導電性粒子 ，很不理想。 而片成型材料的粘度於溫度25 r中 1 000000 cp的範圍內爲佳。 體例試舉有偶 到的具體例試 含有矽氧烷有 屬錯合物、白 屬錯合物、三 、乙醯丙酮醇 金屬錯合物等 材料的種類、 選擇，但通常 5重量部。 常可含有二氧 氧化鋁等的無 欲得到該向異 度高，且導電 向異性導電性 ，但若使用多 之配向的緣故 在 1 00000〜 -23- 1330258 於基材2 5 A中所含有的導電性粒子p，從令磁場作用 藉此易於在厚度方向並列的方式被配向的觀點來看，使用 , 出現磁性的導電性粒子爲佳。此種導電性粒子P的具體例 試舉有：鎳、鐵、鈷等之出現磁性的金屬粒子或是含有該 些合金的粒子或含有該些金屬的粒子，或是以該些粒子作 爲芯粒子’在該芯粒子的表面施以金、銀、鈀、铑等之導 電性良好的金屬電鍍，或是以非磁性金屬粒子或玻璃珠等 φ 之無機物質粒子或聚合物粒子作爲芯粒，在該芯粒子的表 面施以鎳、鈷等之導電性磁性體的電鍍，或是在芯粒子被 覆導電性磁性體及導電性良好的金屬之兩者等。 該些之中，採用以利用強磁性體製成的粒子例如鎳粒 子作爲芯粒子，在其表面施以導電性良好的金屬，特別是 鍍金者爲佳電鍍。 在芯粒子的表面被覆導電性金屬的手段並未特別限定 ，但可利用例如化學電鑛或是電解電鍍施行。 # 導電性粒子p採用在芯粒子的表面被覆導電性金屬的 情形，從得到良好導電性的觀點來看，粒子表面的導電性 金屬的被覆率（相對於芯粒子的表面積的導電性金屬之被 覆面積的比例）以40%以上爲佳，較好爲45%以上，特好 爲47〜95%。 而導電性金屬的被覆量以芯粒子的0.5〜50重量％爲 佳，較好爲1〜3 0重量％、更好爲3〜2 5重量％、特好爲 4〜20重量％。被覆的導電性金屬爲金的情形，其被覆量 以芯粒子的2〜30重量％爲佳，較好爲3〜20重量％、更 -24- 1330258 好爲3 . 5〜1 7重量％。 而導電性粒子P的數平均粒子徑以1〜200 "m爲佳 ，較好爲5〜50/zm、特好爲8〜30#m。該數平均粒子徑 過小的情形’難以得到電氣電阻値低的向異性導電性彈性 片。另一方面，該數平均粒子徑過大的情形，難以得到分 解能高的向異性導電性彈性片。 而導電性粒子P的形狀並未特別限定，但在易於分散 至高分子物質形成材料中的這點上，以球狀者、星形狀者 或是藉由凝集該些的2次粒子的塊狀者爲佳。 而導電性粒子P的含水率以5 %以下爲佳，較好爲3 % 以下、更好爲2%以下、特好爲1 %以下。採用滿足此種條 件的導電性粒子，藉此防止或抑制高分子物質用材料進行 硬化處理之際產生氣泡。 而導電性粒子P適用其表面以矽烷偶合劑等之偶合劑 所處理的粒子。導電性粒子的表面以偶合劑處理，藉此該 導電性粒子和彈性高分子物質的接著性昇高，其結果，所 得到的向異性導電性彈性片乃形成重複使用的耐久性高者 〇 偶合劑的使用量在不影響導電性粒子P之導電性的範 圍而適當選擇，但導電性粒子表面的偶合劑的被覆率（相 對於導電性芯粒子之表面積的偶合劑的被覆面積的比例） 屬5 %以上的量爲佳，較好爲上記被覆率7〜100%、更好 爲10〜100%、特好爲20〜100 %的量。 於第1向異性導電性彈性片25以體積分率爲5〜30% -25- 1330258 、較好爲7〜27%、特好爲1〇〜25%的比例而含有導電性 粒子P爲佳。該比例爲5%以上的話，可於厚度方向形成 電氣電阻値十分小的導電路很理想。另一方面，該比例爲 3 0%以下的話，所得到的向異性導電性彈性片因具有必要 的彈性故很理想。 而有關第1向異性導電性彈性片25，在其厚度方向 並列的導電性粒子P的數量（欲在厚度方向形成導電路的 導電性粒子P的數量。以下亦稱爲「導電路形成粒子數」 。）以3〜20個爲佳，較好爲5〜15個。該導電路形成粒 子數爲3個以上的話，該向異性導電性彈性片的電氣電阻 値之誤差小很理想。另一方面，導電路形成粒子數爲20 個以下的話，該向異性導電性彈性片於壓縮時，經由導電 性粒子P之連鎖的導電路變形不大，導致電阻値上昇的情 形並不多，很理想。 此種第1向異性導電性彈性片25能以例如以下的方 式而製造。 先在硬化並形成彈性高分子物質的液狀高分子物質用 材料中，分散出現磁性的導電性粒子，藉此調製流動性的 成型材料，且將該成型材料塗佈於適當的支撐體上，藉此 於該支撐體上形成成型材料層。其次，在該成型材料層的 上方位置及下方位置，配置例如一對電磁石，且使該電磁 石作動，藉此於成型材料層的厚度方向作用平行磁場。其 結果，分散於成型材料層中的導電性粒子是一邊維持著分 散於面向的狀態一邊於厚度方向並列的方式形成配向，藉 -26- 1330258 此利用在各個厚度方向延伸的複數導電性粒子的i 分散於面向的狀態而形成。 並於該狀態中，將成型材料層進行硬化處理， 以彈性高分子物質製成的基材中，製造出導電性粒 厚度方向並列的方式形成配向並形成連鎖的狀態， 導電性粒子的連鎖分散於面向的狀態而含有所形拭 向異性導電性彈性片25。 於以上，成型材料層的硬化處理也能以依然值 場作用的狀態而進行，但也能在使平行磁場作用停 進行。 作用於成型材料的平行磁場的強度，平均以 2.0特士拉（tesla)的大小爲佳。 而使平行磁場作用於成型材料層的手段也可® 石採用永久磁石。該永久磁石在得到上記範圍之平 強度的這點上，以鋁鐵鎳鈷磁合金（Fe - Al - Ni -合金）、純粒鐵等製成者爲佳。 成型材料層的硬化處理可根據所使用的材料而 定，但通常是根據加熱處理而施行。具體的加熱溫 熱時間則是考慮構成成型材料層的高分子物質用材 種類、導電性粒子移動所需要的時間等而適當選定 第2向異性導電性彈性片26若是可達成連接 板21的端子電極23和形成在後述的上部側按壓針 30的按壓針腳31的檢查電極之所要的電性連接， 限定，可採用習知公知的分散型向異性導電性片及 鎖，以 藉此在 子以在 且利用 的第1 平行磁 止之後 0.02 〜 代電磁 行磁場 .C 〇系 適當選 度及加 料等的 〇 用配線 腳機構 未特別 偏向型 -27- 1330258 向異性導電性片的任一種。 而第2向異性導電性彈性片26的厚度以50〜500"m 爲佳，較好爲1〇〇〜300 // m。 上部側按壓針腳機構30是藉由分別以金屬製成的多 數按壓針腳31、和垂直地支撐該些按壓針腳31的板狀按 壓針腳支撐構件3 5所構成，圖示例中，按壓針腳3 1是依 照格子點位置而配列。 φ 按壓針腳31的各個，乃如第2圖所示，具有圓柱狀 主體部32,在該主體部32的前端乃於該主體部32 —體 地形成具有比該主體部3 2之直徑還小徑的圓柱狀突出部 33，在主體部32的長邊方向的中央位置乃於該主體部32 一體地形成圓板環狀的鍔部34。圖示例中，全部的按壓 針腳31的各個的突出部33做檢查電極，於該按壓針腳 31的基端連接電線W，中介著該電線W而讓按壓針腳31 電性連接於測試器的檢查電路（圖未表示）。 # 按壓針腳支撐構件35乃積層著支撐按壓針腳31的主 體部32的基端部分（指比鍔部34更基端側的部分。）的 基端側支撐板36'和支撐按壓針腳31的主體部32的前 端部分（指比鍔部3 4更前端側的部分。）的前端側支撐 板3 7所構成。 於基端側支撐板3 6分別在厚度方向延伸，依照對應 於按壓針腳31的配列圖案的圖案而形成具有適合按壓針 腳31的主體部32之直徑的內徑的斷面圓形的多數貫通孔 36Η»而在該些貫通孔3 6H的各個插入按壓針腳31的主 -28- 1330258 體部32的基端部分。 於前端側支撐板37乃在其背面（於第1圖及第2圖 爲上面側）依照對應於按壓針腳31的配列圖案的圖案而 形成具有適合按壓針腳31的鳄部34之直徑的圓形凹部 3 7A，在該凹部3 7A的各個底面乃分別於厚度方向延伸， 且依照對應於按壓針腳31的配列圖案的圖案而形成具有 適合按壓針腳31的主體部32的直徑的內徑的貫通孔37H 。而在該些貫通孔37H的各個，插入按壓針腳31的主體 部32的前端部分，在凹部3 7A乃收容著按壓針腳31的 鍔部34並卡合於該凹部37A的底面，藉此該按壓針腳31 的突出部3 3則以突出前端側支撐板3 7之表面（於第1圖 及第2圖爲下面）的狀態被固定。 於此種上部側檢查工模10中，上部側按壓針腳機構 30的多數按壓針腳31，當在厚度方向透視該上部側按壓 針腳機構30及上部側配接器20時，如第5圖所示，在經 由連結連接用配線板21所鄰接的四個連接電極22的中心 點所畫分的矩形區域（以下亦稱爲「特定電極區域」。） R 1內，以至少爲一個按壓針腳3 1位置的方式被配列。圖 示例中，在各特定電極區域R1內以一個按壓針腳31位於 該特定電極區域R1的中心位置，該按壓針腳31的前端面 (按壓面）未與連接電極22重疊的方式配列著多數按壓 針腳3 1。 下部側檢查用工模40乃藉由具有連接用配線板51的 下部側配接器50、和配置在該下部側配接器50的連接用 -29- 1330258 配線板51的背面側（於第1圖及第3圖爲下面側）的下 部側按壓針腳機構60所構成。 . 下部側配接器50乃藉由連接用配線板51、和配置在 連接用配線板51的表面（於第1圖及第3圖爲上面）的 第1向異性導電性彈性片55、和配置在連接用配線板51 的背面的第2向異性導電性.彈性片5 6所構成，且可移位 地設置在相對於下部側按壓針腳機構60而離接的方向（ φ 上下方向）。 在連接用配線板51的表面乃依照對應於被檢查電路 基板1的另一面側被檢查電極3之圖案的圖案而形成複數 連接電極52，且在該連接用配線板5 1的背面乃依照對應 於後述之下部側按壓針腳機構60的按壓針腳6 1的配列圖 案的圖案而形成複數端子電極53，連接電極52的各個乃 中介著內部配線（圖示省略）而電性連接於適當的端子電 極5 3 〇 # 形成連接用配線板51的基材可採用一般使用作爲印 刷配線板的基材。 第1向異性導電性彈性片55只要是能達成連接用配 線板51的連接電極52和被檢查電路基板1之另一面側被 檢查電極3所要的電性連接即可，未特別限定，可採用習 知公知的分散型向異性導電性片及偏向型向異性導電性片 的任一種。 而第1向異性導電性彈性片55的厚度以30〜300ym 爲佳，較好爲50〜200/zm。 •30- 1330258 第2向異性導電性彈性片56只要是能達成連接用配 線板51的端子電極53和形成在下部側按壓針腳機構60 的按壓針腳61的檢查電極所要的電性連接即可，未特別 限定，可採用習知公知的分散型向異性導電性片及偏向型 向異性導電性片的任一種。 而第2向異性導電性彈性片56的厚度以50〜500/^01 爲佳，較好爲100〜300；um。 下部側按壓針腳機構60乃分別藉由以金屬製成的多 數按壓針腳61、和垂直支撐該些按壓針腳61的板狀按壓 針腳支撐構件6 5所構成，圖示例中，按壓針腳61是依照 格子點位置而配列。在此按壓針腳61的配列間距例如爲 0.2mm ' 0.3mm ' 0.4 5 mm、0.5 mm、 0.7 5 mm、0.8 mm、 1.06mm、1.27mm、1.5mm、1.8mm 或是 2.54mm。 按壓針腳61的各個，乃如第3圖所示，具有圓柱狀 的主體部62，且在該主體部62的前端，乃於該主體部62 一體地形成具有比該主體部62之直徑還小徑的圓柱狀突 出部63，該突出部63乃爲檢查電極。而在主體部62的 長邊方向的中央位置，乃於該主體部62 —體地形成圓板 環狀的鍔部64。在按壓針腳61的各個的該按壓針腳61 的基端連接電線W，且中介著該電線W而讓按壓針腳61 電性連接於測試器的檢查電路（圖未表示）。 按壓針腳支撐構件65乃積層著支撐按壓針腳61的主 體部62的基端部分（指比鍔部64更基端側的部分。）的 基端側支撐板66、和支撐按壓針腳61的主體部62的前 -31 - 1330258 端部分（指比鍔部64更前端側的部分。）的前端側支撐 板6 7所構成。 於基端側支撐板66乃分別於厚度方向伸，依照對應 於按壓針腳61的配列圖案的圖案而形成具有適合按壓針 腳61的主體部62的直徑的內徑的斷面圓形多數貫通孔 66H。並在該些貫通孔66H的各個插入按壓針腳61的主 體部62的基端部分，且該按壓針腳61的鍔部64會被卡 合於基端側支撐板66的表面。 在前端側支撐板67乃在其背面（於第1圖及第3圖 爲下面側），依照對應於按壓針腳6 1的配列圖案的圖案 而形成具有適合按壓針腳6 1的鍔部64的直徑的圓形凹部 67A，在該凹部67A的各個底面，乃分別於厚度方向延伸 ，依照對應於按壓針腳61的配列圖案的圖案而形成具有 適合按壓針腳61的主體部62的直徑的內徑的貫通孔6 7H 。並在該些貫通孔67H的各個，插入按壓針腳61的主體 部62的前端部分，且在凹部6 7A收容按壓針腳61的鍔 部64，藉此該按壓針腳61的突出部63就會以突出前端 側支撐板67的表面（於第1圖及第3圖爲上面）的狀態 被固定。 針對此種構成的電路基板檢查裝置，如以下進行被檢 查電路基板1的電性檢査。 先令被檢查電路基板1定位於檢查區域T而配置。具 體上，被檢查電極電路基板1乃其中一面側被檢查電極2 的各個是位於上部側配接器20的連接用配線板2 1的連接 -32 - S) 1330258 極 極 工 有 以 1 的 檢 查 點 j 上 定 被 面 著 查 接 9 針 40 電極22的各個的正下方位置，且其另一面側被檢查電 3是位於下部側配接器5 0的連接用配線板5 1的連接電 52的正上方位置的方式被配置。 其次，使得上部側檢查用工模1 0及下部側檢查用 模40的任一方或兩方在互相接近的方向移動。藉此， 關上部側檢查用工模10是在被檢查電路基板1的上面 其第1向異性導電性彈性片25接觸到被檢查電路基板 的方式配置上部側配接器20，且在該上部側配接器20 背面上，當在其厚度方向透視該上部側配接器20及被 查電路基板1時，如第6圖所示，達成在經由連結被檢 電路基板1之所鄰接的四個一面側被檢查電極2的中心 所畫分的矩形區域（以下亦稱爲「特定被檢查電極區域 。）r內，以形成一個按壓針腳31位置的方式配置著 部側按壓針腳機構3 0的狀態。圖示例中，乃爲在各特 被檢查電極區域r內，一個按壓針腳31是位於該特定 檢查電極區域r的中心位置，且該按壓針腳31的前端 (按壓面）以未與一面側被檢查電極2重疊的方式配置 上部側按壓針腳機構30的狀態。 另一方面，有關下部側檢查用工模40乃爲在被檢 電路基板1的下面，以其第1向異性導電性彈性片55 觸到被檢查電路基板1的方式配置著下部側配接器50 且在該下部側配接器50的背面上，配置著下部側按壓 腳機構5 0的狀態。 且更令上部側檢查用工模1 〇及下部側檢查用工模 -33- 1330258 的任一方或兩方在互相接近的方向移動，藉此有關上部側 檢查用工模1 〇即可經由上部側按壓針腳機構3 0的按壓針 腳31的各個而按壓上部側配接器20的第2向異性導電性 彈性片26，且於該上部側配接器20的第1向異性導電性 彈性片25壓接著被檢查電路基板1的一面側被檢查電極 2。另一方面，有關下部側檢查用工模40乃經由下部側按 壓針腳機構60的按壓針腳61的各個而按壓著下部側配接 器50的第2向異性導電性彈性片56,在該下部側配接器 50的第1向異性導電性彈性片55壓接著被檢查電路基板 1的另一面側被檢查電極3。 於此種狀態中，乃於上部側配接器20的第1向異性 導電性彈性片25，在壓接著一面側被檢查電極2的部分 形成利用在其厚度方向延伸的導電性粒子的導電路的結果 ，即可達成被檢查電路基板1的一面側被檢查電極2的各 個和連接用配線板2 1的連接電極22的各個的電性連接， 且在第2向異性導電性彈性體26乃於被按壓針腳3 1按壓 的部分形成利用在其厚度方向延伸的導電性粒子的導電路 的結果，即可達成形成在按壓針腳31的檢查電極（突出 部33)的各個和連接用配線板21的端子電極23的各個 的電性連接，藉此被檢查電路基板1的一面側被檢查電極 2的各個會被電性連接於測試器的檢查電路。另一方面， 在下部側配接器50的第1向異性導電性彈性片55，乃於 壓接著另一面側被檢查電極3的部分形成利用在其厚度方 向延伸的導電性粒子的導電路的結果，即可達成被檢查電 -34- 1330258 路基板1的另一面側被檢查電極3的各個和連接用配線板 51的連接電極52的各個的電性連接，且在第2向異性導 電性彈性體56乃於被按壓針腳61按壓的部分形成利用在 其厚度方向延伸的導電性粒子的導電路的結果，即可達成 形成在按壓針腳61的檢查電極（突出部63)的各個和連 接用配線板51的端子電極53的各個的電性連接，藉此被 檢査電路基板1的另一面側被檢查電極3的各個會被電性 連接於測試器的檢查電路。該狀態爲可檢查狀態。 如此一來，即可達成被檢查電路基板1的一面側被檢 查電極2的各個中介著上部側配接器20及上部側按壓針 腳機構30的按壓針腳31而電性連接於測試器的檢查電路 ，且被檢查電路基板1的另一面側被檢查電極3的各個中 介著下部側配接器50及下部側按壓針腳機構的按壓針腳 61而電性連接於測試器的檢查電路的可檢查狀態，以該 可檢查狀態針對被檢査電路基板1進行所要的電性檢查。 而於上記可檢查狀態中，上部側配接器20的連接用 配線板21乃爲利用上部側按壓針腳機構3 0的按壓針腳 31及被檢查電路基板1的一面側被檢查電極2的各個的 按壓力產生作用的部分，會以在按壓方向移位的方式產生 彎曲。亦即，如第7圖模式所示，上部側配接器20的連 接用配線板21會強制性地形成規則式的波狀變形，且稱 得上爲形成板簧機能的結果、於一面側被檢查電極2的突 出高度有誤差，藉此即使在第1向異性導電性彈性片25 的一部分之處作用過大的按壓力，仍可經由利用連接用配 -35- 1330258 線板21的彈簧彈性，而作用於第1向異性導電性彈性片 25的按壓力被緩和。 因而，若根據本發明的電路基板檢查裝置，有關被檢 查電極1在一面側被檢查電極2的突出高度有誤差的情形 ，當作爲第1向異性導電性彈性片25使用厚度較小者時 ，在該第1向異性導電性彈性片25並不會於早期產生故 障，該向異性導電性彈性片可得到原來已有的較長使用壽 命。 而於上記可檢查狀態中，即使被檢查電路基板1於一 面側被檢查電極2的突出高度有誤差，由於連接用配線板 21會對應於一面側被檢查電極2的各個的突出高度而產 生變形，就算作爲第1向異性導電性彈性片25使用厚度 較小者，一面側被檢查電極2的突出高度的誤差仍會被充 分地吸收。 因而，若根據本發明的電路基板檢查裝置，即使被檢 查電路基板1是屬於一面側被檢查電極2的間距小，於一 面側被檢查電極2的突出高度有誤差，對全部的一面側被 檢查電極2而言，仍可達成穩定的電性連接，實行可靠性 高的檢查。 第8圖乃爲與屬於檢查對象的電路基板一同表示有關 本發明的電路基板檢查裝置的第2例的構成說明圖，第9 圖是放大表示第8圖所示的電路基板檢查裝置的上部側檢 查用工模的主要部分的說明圖，第10圖是放大表示第8 圖所示的電路基板檢查裝置的下部側檢查用工模的主要部 -36- 1330258 分的說明圖。該電路基板檢查裝置乃屬於針對被檢查電路 基板1進行電氣電阻測定試驗。 提供該電路基板檢查裝置的被檢查電路基板1是屬於 欲構成例如BG A等之封裝LSI的電路基板，在其中一面 (於第8圖中爲上面）具有格子狀配置的複數突起狀的一 面側被檢查電極2的同時，在另一面（於第8圖中爲下面 )具有依照格子點位置所配置的複數平板狀的另一面側被 檢查電極3，在其中一面利用覆晶實裝法實裝半導體晶片 ，在另一面側被檢查電極3上形成銲球電極而形成BGA 〇 有關該電路基板檢查裝置是在被檢查電路基板1被水 平配置的檢查實行區域T之上方，設置上部側檢查用工模 10，另一方面，在檢查實行區域T的下方，設置下部側檢 查用工模40。上部側檢查用工模1 0及下部側檢查用工模 40則藉由適當的支撐機構（圖示省略）被支撐，藉此上 部側檢查用工模10及下部側檢查用工模40是以在上下方 向互對的方式被配置。 上部側檢查用工模10是藉由具有連接用配線板21的 上部側配接器20、和配置在該上部側配接器20的連接用 配線板21的背面側（於第8圖及第9圖中爲上面側）的 上部側按壓針腳機構3 G所構成。 上部側配接器20是藉由連接用配線板2 1、和配置在 該連接用配線板21的表面（於第8圖及第9圖中爲下面 )的第1向異性導電性彈性片25、和配置在連接用配線 -37- 1330258 板2 1的背面的第2向異性導電性彈性片26所構成，可移 位地設置在相對於上部側按壓針腳機構3 0而離接的方向 (上下方向）。 在連接用配線板21的表面乃依照對應於被檢查電路 基板1的一面側被檢查電極2之圖案的圖案而形成分別互 相離間而配置的一對電流供給用連接電極22a及電壓測定 用連接電極22b所製成的複數連接電極組22c，在該連接 用配線板2 1的背面乃於利用後述的上部側按壓針腳機構 30的按壓針腳31的按壓位置的各個形成端子電極23。具 體上，端子電極23是依照對應於上部側按壓針腳機構30 的按壓針腳31的配列圖案的圖案所形成，當在其厚度方 向透視該連接用配線板21時，兩個端子電極23是位於經 由連結連接用配線板21之所鄰接的四個連接電極組22c 的中心點所畫分的矩形區域內，且該端子電極23的各個 是以不與電流供給用連接電極22a及電壓測定用電極22b 的各個重疊的方式被配置（參照第11圖）。 在圖示例中，電流供給用連接電極22a及電壓測定用 連接電極22b和端子電極23是以1對1的對應關係而電 性連接，亦可一個電流供給用連接電極22a是電性連接於 —個端子電極23，且一個電壓測定用連接電極22b是電 性連接於一個端子電極23，但有關實際的構成，只要電 流供給用連接電極22a及電壓測定用連接電極22b和端子 電極23的電性連接，能以配合被檢查電路基板1的配線 圖案、檢查目的的形態而達成即可。因而，全部的電流供 -38- 1330258 給用連接電極22a及電壓測定用連接電極22b和端子電極 2 3不一定要以1對1的對應關係而電性連接，例如複數 電流供給用連接電極22a中介著共通的內部配線而電性連 接於一個端子電極23亦可。 連接用配線板2 1是具有以當上部側配接器20經由後 述的按壓針腳機構30的按壓針腳31的各個和被檢查電路 基板1的一面側被檢查電極2的各個夾壓時，經由該按壓 針腳31及該被檢查電極2之各個的按壓力產生作用的部 分在按壓方向移位的方式產生彎曲之程度的可撓性爲佳。 連接用配線板21所要求的具體性的可撓性程度則是 考慮被檢查電極1的一面側被檢查電極2的直徑及間距等 而適當設定。 連接用配線板21的基材材質及厚度乃與有關第1例 的電路基板檢査裝置的上部側配接器的連接用配線板相同 〇 第1向異性導電性彈性片25及第2向異性導電性彈 性片26乃爲與有關第1例的電路基板檢查裝置的上部側 配接器的第1向異性導電性彈性片及第2向異性導電性彈 性片同樣的構成。 上部側按壓針腳機構3 0乃分別藉由以金屬製成的多 數按壓針腳31、和垂直支撐該些按壓針腳31的板狀按壓 針腳支撐構件35所構成，除了按壓針腳31的配列圖案外 ，基本上是與有關第1例的電路基板檢查裝置的上部側按 壓針腳機構同樣的構成。在按壓針腳31的各個的基端連 -39- 1330258 接電線w，且中介著該電線W而讓按壓針腳31電性連接 於測試器的檢查電路（圖未表示）。 於此種上部側檢查工模1 0中，上部側按壓針腳機構 30的多數按壓針腳31，當在厚度方向透視該上部側按壓 針腳機構30及上部側配接器20時，如第1 1圖所示，在 經由連結連接用配線板2 1所鄰接的四個連接電極組22c 的中心點所畫分的矩形區域（以下亦稱爲「特定電極組區 域」。）R2內，以至少爲一個按壓針腳3 1位置的方式被 配列。圖示例中，在各特定電極組區域R2內以兩個按壓 針腳31位於該特定電極區域R2內，且該按壓針腳31的 各個的前端面（按壓面）未與連接電極組22c的電流供給 用連接電極22a及電壓測定用連接電極22b重疊的方式配 列著多數按壓針腳3 1。 下部側檢查用工模40乃藉由具有連接用配線板5 1的 下部側配接器5 0、和配置在該下部側配接器5 0的連接用 配線板5 1的背面側（於第8圖及第10圖爲下面側）的下 部側按壓針腳機構60所構成。 下部側配接器5 0乃藉由連接用配線板51、和配置在 連接用配線板51的表面（於第8圖及第1 0圖爲上面）的 第1向異性導電性彈性片5 5、和配置在連接用配線板5 1 的背面的第2向異性導電性彈性片56所構成，且可移位 地設置在相對於下部側按壓針腳機構60而離接的方向（ 上下方向）。 在連接用配線板51的表面乃依照對應於被檢查電路 -40- 1330258 基板1的另一面側被檢查電極3之圖案的圖案而形成分別 由電流供給用連接電極52a及電壓測定用連接電極52b所 製成的複數連接電極5 2c，且在該連接用配線板51的背 面乃依照對應於後述之下部側按壓針腳機構6 0的按壓針 腳61的配列圖案的圖案而形成複數端子電極53，電流供 給用連接電極5 2a及電壓測定用連接電極5 2b的各個乃中 介著內部配線（圖示省略）而電性連接於適當的端子電極 53 ° 形成連接用配線板51的基材可採用一般使用作爲印 刷配線板的基材。 第1向異性導電性彈性片2 5及第2向異性導電性彈 性片26乃爲與有關第1例的電路基板檢查裝置的下部側 配接器的第1向異性導電性彈性片及第2向異性導電性彈 性片同樣的構成。 下部側按壓針腳機構60乃分別藉由以金屬製成的多 數按壓針腳61、和垂直支撐該些按壓針腳61的板狀按壓 針腳支撐構件65所構成，除了按壓針腳31的配列圖案外 ，基本上是與有關第1例的電路基板檢查裝置的下部側按 壓針腳機構同樣的構成。 針對此種構成的電路基板檢查裝置，如以下進行被檢 查電路基板1的電性檢查，具體上是進行形成在被檢查電 路基板1的一面側被檢查電極2及另一面側被檢查電極3 之間的各電路的電氣電阻測定。 先令被檢查電路基板1定位於檢查區域T而配置。具 -41 - 1330258 體上，被檢查電極電路基板1乃其中一面側被檢查電極2 的各個是位於上部側配接器20的連接用配線板21的連接 電極2 2c的各個的正下方位置，且其另一面側被檢查電極 3是位於下部側配接器50的連接用配線板51的連接電極 5 2c的正上方位置的方式被配置。 其次，使得上部側檢查用工模1 〇及下部側檢查用工 模40的任一方或兩方在互相接近的方向移動。藉此，有 關上部側檢查用工模1〇是在被檢查電路基板1的上面以 其第1向異性導電性彈性片2 5接觸到被檢查電路基板1 的方式配置著上部側配接器20，且在該上部側配接器20 的背面上，當在其厚度方向透視該上部側配接器20及被 檢查電路基板1時，如第12圖所示，達成在特定被檢查 電極區域r內，以形成兩個按壓針腳31位置的方式配置 著上部側按壓針腳機構30的狀態。圖示例中，乃爲該按 壓針腳31的前端面（按壓面）以未與一面側被檢查電極 2重疊的方式配置著上部側按壓針腳機構3 0的狀態。 另一方面，有關下部側檢查用工模40乃爲在被檢查 電路基板1的下面，以其第1向異性導電性彈性片55接 觸到被檢查電路基板1的方式配置著下部側配接器5 0， 且在該下部側配接器50的背面上，配置著下部側按壓針 腳機構5 0的狀態。 且更令上部側檢查用工模1 0及下部側檢查用工模40 的任一方或兩方在互相接近的方向移動，藉此有關上部側 檢查用工模1 0即可經由上部側按壓針腳機構3 0的按壓針 -42· 1330258 腳31的各個而按壓上部側配接器20的第2向異性導電性 彈性片26’且於該上部側配接器20的第1向異性導電性 彈性片25壓接著被檢查電路基板1的一面側被檢查電極 2。另一方面’有關下部側檢查用工模4 0乃經由下部側按 壓針腳機構60的按壓針腳61的各個而按壓著下部側配接 器5 0的第2向異性導電性彈性片5 6，在該下部側配接器 50的第1向異性導電性彈性片55壓接著被檢查電路基板 1的另一面側被檢查電極3。 於此種狀態中，乃於上部側配接器20的第1向異性 導電性彈性片25，在壓接著一面側被檢查電極2的部分 形成利用在其厚度方向延伸的導電性粒子的導電路的結果 ，即可針對被檢查電路基板1的一面側被檢查電極2的各 個而同時電性連接著連接用配線板2 1的各連接電極組 22c的電流供給用連接電極22a及電壓測定用連接電極 22b的兩方，且在第2向異性導電性彈性體26乃於被按 壓針腳31按壓的部分形成利用在其厚度方向延伸的導電 性粒子的導電路的結果，即可達成形成在按壓針腳31的 檢查電極（突出部33)的各個和連接用配線板21的端子 電極23的各個的電性連接，藉此被檢查電路基板1的一 面側被檢查電極2的各個會被電性連接於測試器的檢查電 路。另一方面，在下部側配接器50的第1向異性導電性 彈性片55，乃於壓接著另一面側被檢查電極3的部分形 成利用在其厚度方向延伸的導電性粒子的導電路的結果， 即可針對被檢查電路基板1的另一面側被檢查電極3的各 -43 - 1330258 個而同時電性連接著連接用配線板51的各連接電極組 5 2 c電流供給用連接電極5 2 a及電壓測定用連接電極5 2 b 的兩方，且在第2向異性導電性彈性體56乃於被按壓針 腳61按壓的部分形成利用在其厚度方向延伸的導電性粒 子的導電路的結果，即可達成形成在按壓針腳61的檢查 電極（突出部63)的各個和連接用配線板51的端子電極 53的各個的電性連接，藉此被檢查電路基板1的另一面 側被檢查電極3的各個會被電性連接於測試器的檢查電路 。該狀態爲可檢查狀態。 如此一來，即可達成被檢查電路基板1的一面側被檢 查電極2的各個中介著上部側配接器20及上部側按壓針 腳機構30的按壓針腳31而電性連接於測試器的檢查電路 ，且被檢查電路基板1的另一面側被檢查電極3的各個中 介著下部側配接器50及下部側按壓針腳機構的按壓針腳 6 1而電性連接於測試器的檢查電路的可檢查狀態，以該 可檢查狀態針對被檢查電路基板1進行所要的電性檢查。 具體上是在上部側配接器20的連接用配線板2 1的電流供 給用連接電極2 1 a和下部側配接器5 0的連接用配線板5 1 的電流供給用連接電極5 1 a之間供給一定値的電流的同時 ，由上部側配接器20的連接用配線板21的多數電壓測定 用連接電極2 2b之中指定一個，且測定該指定的一個電壓 測定用連接電極22b、和電性連接於對應電性連接於該電 壓測定用連接電極22b的一面側被檢查電極2的另一面側 被檢查電極3之下部側配接器50的連接用配線板51的電 -44- 1330258 壓測定用連接電極52b之間的電壓，基於所得到的電壓値 ，取得形成在電性連接於該指定的一個電壓測定用連接電 極2 2b的一面側被檢查電極2和對應於此的另一面側被檢 查電極3之間的電路的電氣電阻値。並依序變更所指定的 電壓測定用連接電極22b，藉此實行形成在全部的一面側 被檢査電極2和對應於此的另一面側被檢查電極3之間的 電路的電氣電阻測定。 而於上記可檢查狀態中，上部側配接器20的連接用 配線板2 1乃爲利用上部側按壓針腳機構3 0的按壓針腳 31及被檢查電路基板1的一面側被檢查電極2的各個的 按壓力產生作用的部分，會以在按壓方向移位的方式產生 彎曲。亦即，上部側配接器20的連接用配線板2 1會強制 性地形成規則式的波狀變形，且稱得上爲形成板簧機能的 結果，於一面側被檢查電極2的突出高度有誤差，藉此即 使在第1向異性導電性彈性片25的一部分之處作用過大 的按壓力，仍可經由利用連接用配線板21的彈簧彈性， 而作用於第1向異性導電性彈性片25的按壓力被緩和。 因而，若根據本發明的電路基板檢查裝置，有關被檢 查電極1在一面側被檢查電極2的突出高度有誤差的情形 ’當作爲第1向異性導電性彈性片25使用厚度較小者時 ，在該第1向異性導電性彈性片25並不會於早期產生故 障’該向異性導電性彈性片可得到較原來還長的使用壽命 〇 而於上記可檢查狀態中，即使被檢查電路基板1於一 -45- 1330258 面側被檢查電極2的突出高度有誤差， 21會對應於一面側被檢查電極2的各 生變形，就算作爲第1向異性導電性彈 較小者，仍可於一面側被檢查電極2的 收誤差。 因而，若根據本發明的電路基板檢 查電路基板1是屬於一面側被檢查電極 面側被檢查電極2的突出高度有誤差， 檢查電極2而言，仍可達成穩定的電性 高的檢查。 本發明並不限於有關上記第1例的 及有關第2例的電路基板檢查裝置，可 例如有關第1例的電路基板檢查裝 電路基板檢查裝置的各個中，在上部側 用配線板21的背面，依照對應於上部 按壓針腳的配列圖案的圖案而形成端子 側按壓針腳機構的全部的按壓針腳的前 但此種構成並不需要。例如亦可爲全部 則端形成檢查電極，而如第13圖所不 的連接用配線板2 1的背面，則在從上 的全部的按壓針腳31之中選出的一個 腳（以下稱爲「特定按壓針腳」。）31 端子電極23，且該特定按壓針腳31A 查電極，特定按壓針腳3 1 A以外的按1 由於連接用配線板 個的突出高度而產 性片25使用厚度 突出高度充分地吸 查裝置，即使被檢 2的間距小，於一 對全部的一面側被 連接，實行可靠性 電路基板檢查裝置 加上各種變更。 置及有關第2例的 配接器20的連接 側按壓針腳機構的 電極，且在該上部 端形成檢查電極， 的按壓針腳不在其 ，在上部側配接器 部側按壓針腳機構 以上的特定按壓針 A的按壓位置形成 是在其前端形成檢 I針腳3 1 B亦可爲 -46 - 1330258 不在其HU牺形成檢查電極。 而上部側配接器的第1向異性導電性彈性片可採用偏 向型向異性導電性片。 而屬於檢查對象的電路基板可爲全部的被檢查電極被 配置在同一間距的格子點位置，也可爲一部分的被檢查電 極被配置在同一間距的格子點位置。而屬於檢查對象的電 路基板不需要在基本格子的全部的格子點位置配置被檢查 電極，亦可爲不在一部分的格子點位置配置被檢查電極。 而屬於檢查對象的電路基板亦可爲形成依照各不相同之間 距的格子點位置而配置被檢查電極所形成的複數被檢查電 極區域。 〔實施例〕 以下針對本發明的具體實施例做說明，但本發明並不 限於該等。 〈實施例1〉 . 依照第1圖〜第3圖所示的構成，且利據下記形式製 作電路基板檢查裝置。 〔上部側配接器（20 )〕 連接用配線板（21)乃爲其基材材質是玻璃纖維補強 型環氧樹脂’厚度爲200//m，具有596個圓形的連接電 極（22)、和596個圓形的端子電極（23)，最小的連接 -47- 1330258 電極（22)的直徑爲120/zm，連接電極（22)的最小間 距爲200/zm，端子電極（23)的直徑爲l〇〇em，端子電 . 極（33 )的最小間距爲200 y m。而端子電極（23 )的各 個是當在其厚度方向透視連接用配線板（21)時，一個端 子電極（23)是位於特定電極區域（R1)的中心位置，且 該端子電極（23)以不與連接電極（22)重疊的方式被配 置（參照第5圖）。 • 第1向異性導電性彈性片（25)乃爲在矽橡膠中以體 積分率爲25%的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 粒子徑爲l〇"m，金的被覆量爲4重量％)所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲l〇〇;/m。在此，矽橡膠屬於 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其1 50 °C的壓 縮永久應變爲5%，23°C的撕裂強度爲25kN/ m以上者。 第2向異性導電性彈性片（26 )乃爲在矽橡膠中以體 積分率爲20%的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 ^ 粒子徑爲20 /z m，金的被覆量爲4重量％ )所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲200 /zm。在此，矽橡膠屬於 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其150 °C的壓 縮永久應變爲5%，23t的撕裂強度爲25kN/ m以上者。 〔上部側按壓針腳機構（3 0 )〕 按壓針腳（31)乃爲其總數596個，分別以施行鍍金 處理的黃銅製成的，其全長（主體部（32)的基端面至突 出部（33)的前端面之長度）爲6.1mm，突出部（33)則 ~ 48 - 1330258 爲檢查電極。按壓針腳（31)的各部具 33)的外徑爲50//m，突出部（33)的 厚度）爲lOOym、主體部（32)的外 部（32)的長度爲6mm、鍔部（34) ^ 部（34)的厚度爲100#m，主體部（ (34 )的基端側端面之長度（主體部（ 長度）爲3mm，主體部（32)的前端 端側端面之長度（主體部（32)的前 2.9mm，按壓針腳（31 )的最小配列間 按壓針腳支撐構件（35)乃以玻璃 脂所製成，基端側支撐板（3 6 )的尺 10mm，前端側支撐板（37 )的尺寸爲 而上部側按壓針腳機構（3 0 )乃以 視該上部側按壓針腳機構（3 0 )及上部 ，在特定電極區域（R1)內一個按壓針 定電極區域（R1)的中心位置，且該按 端面（按壓面）以不與連接電極（22) (參照第5圖）^ 〔下部側配接器（50)〕 連接用配線板（51)乃爲其基材材 型環氧樹脂製成，厚度爲200 /zm，具？ 接電極（52)、和400個圓形的端子電 :體尺寸乃突出部（ 丨長度（檢查電極的 徑爲60/zm，主體 J外徑爲7 0 // m、鍔 32 )的基端至鍔部 32 )的基端部分之 至鍔部（3 4 )的前 端部分之長度）爲 距爲 200 // m。 :纖維補強型環氧樹 寸爲 70mmx70mmx 50mmx50mmx3mm 當在其厚度方向透 側配接器（20 )時 腳（3 1 )位於該特 壓針腳（31 )的前 重疊的狀態被配置 質以玻璃纖維補強 | 400個圓形的連 極（5 3 )，最小的 -49- 1330258 連接電極（52)的直徑爲500//m，連接電極（52)的最 小間距爲l〇〇〇//m，端子電極（53)的直徑爲500ym， 端子電極（53 )的間距爲1 000 // m。 第1向異性導電性彈性片（55)乃爲在矽橡膠中以體 積分率爲25%的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 粒子徑爲l〇ym，金的被覆量爲4重量％)所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲l〇〇/zm。在此，矽橡膠屬於 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其1 5 0 °C的壓 縮永久應變爲5 %，2 3 °C的撕裂強度爲2 5 kN / m以上者。 第2向異性導電性彈性片（5 6 )乃爲在矽橡膠中以體 積分率爲25 %的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 粒子徑爲20/zm，金的被覆量爲4重量％ )所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲200 /zm。在此，矽橡膠屬於 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其150 °C的壓 縮永久應變爲5%，23°C的撕裂強度爲25kN/ m以上者。 〔下部側按壓針腳機構（60)〕 按壓針腳（6 1 )乃爲其總數400個，分別以施行鍍金 處理的黃銅製成的’其全長（主體部（62)的基端面至突 出部（63)的前端面之長度）爲6.1mm，突出部（63)則 爲檢查電極。按壓針腳（61)的各部具體尺寸乃突出部（ 63)的外徑爲50/zm，突出部（63)的長度（檢查電極的 厚度）爲ΙΟΟμηι、主體部（62)的外徑爲60ym，主體 部（62)的長度爲6mm、鍔部（64)的外徑爲70"m、鍔 -50- 1330258 部（64)的厚度爲100/zm，主體部（62)的基端至鍔部 (64)的基端側端面之長度（主體部（62)的基端部分之 長度）爲3mm，主體部（62)的前端至鍔部（64)的前 端側端面之長度（主體部（62)的前端部分之長度）爲 2.9mm，按壓針腳（61)的配列間距爲1000/im。 按壓針腳支撐構件（65 )乃以玻璃纖維補強型環氧樹 脂所製成，基端側支撐板（66)的尺寸爲 70mmx70mmx 10mm，前端側支撐板（67)的尺寸爲 50mmx50mmx3mm 〔電路基板檢查裝置的評估〕 針對上記電路基板檢查裝置，使用下記形態的評估用 電路基板，根據下記手法，實行連接穩定性試驗及耐久性 試驗。 〔評估用電路基板的形態〕 評估用電路基板乃全體尺寸法爲30mmx30mmxlmm， 在其中一面格子狀地配置半球狀的一面側被檢查電極，其 總數爲596個，最小的一面側被檢查電極的直徑爲100#m ，最小的間距爲2 0 0 v m，在另一面以1 m m的間距且格子 狀地配置平板狀的另一面側被檢查電極，其總數爲400個 ，另一面側被檢查電極的直徑爲500 v m。一面側被檢查 電極的突出高度乃其平均値爲約60μπι，最大値爲約80 Vm，最小値爲40/zm。該評估用電路基板爲「電路基板 -51 - 1330258 (W1 )」。 〔連接穩定性試驗〕 將電路基板檢查裝置安裝於BGM—MCM多面基板檢 查裝置（日本電產RIDO公司製的「GATS— 7300」）的 檢查部，且在該電路基板檢查裝置的檢查區域設置電路基 板（W1)。其次，以特定衝壓荷重對電路基板（W1)施 行加壓操作，以此狀態，針對該電路基板（W1 )，測定 當對著上部側配接器的連接用配線板的連接電極和下部側 配接器的連接用配線板的連接電極之間施加1毫安的電流 時的電氣電阻値，求得所測定的電気電阻値爲1 Ο Ο Ω以上 之檢查點（以下稱爲「NG檢查點」。）的數。合計10次 重複求得該N G檢查點數的操作後，算出總檢查點數的 NG檢查點數的比例（以下稱爲「NG檢查點比例」。）。 將算出此種NG檢査點比例的工程，在衝壓荷重爲1 〇〜 22.5 kgf的範圍做階段性的變更而實行，藉此測定NG檢 查點比例爲0.01%以下的最小衝壓荷重。有關實際的電路 基板的檢查，NG檢查點比例須爲〇.〇1 %以下，NG檢查點 比例超過0.0 1 %的情形，有可能會將良品的被檢查電路基 板判定爲不良品，故就電路基板而言，有難以進行可靠性 高之電性檢查的情形。 按此所測定的衝壓荷重爲「可連接荷重」。該可連接 荷重是表示其値愈小就愈小，連接穩定性高。 將以上連接穩定性試驗的結果標示於表1。 -52- 1330258 〔耐久性試驗〕 將電路基板檢查裝置安裝於BGM- MCM多面基板檢 查裝置（日本電產RIDO公司製的「GATS - 73 00」）的 檢查部，且在該電路基板檢查裝置的檢查區域設置電路基 板（W1)。其次，在衝壓荷重爲i〇kgf的條件，對電路 基板（W1)施行特定次數的加壓操作之後，有關該電路 基板（W1)，在衝壓荷重爲l〇kgf的條件，測定當針對 上部側配接器的連接用配線板的連接電極和下部側配接器 的連接用配線板的連接電極之間施加1毫安的電流時的電 気電阻値。求得所測定的電氣電阻値爲1 0 0 Ω以上的檢查 點（NG檢查點）的數，算出總檢查點數的NG檢查點數 的比（NG檢查點比例）。並重複10000次進行求得該NG 檢查點比例的操作。 而重新更換檢查裝置的向異性導電性片，且除了將加 壓操作及電氣電阻測定操作的衝壓荷重變更爲17.5 kgf及 22 · 5 kgf以外，與上記同樣而求得NG檢查點比例。 將以上耐久性試驗的結果標示於表2» 〈比較例1〉 如第1 4圖所示，以當在其厚度方向透視該上部側配 接器（20)時，與連接電極（22)重疊的方式形成上部側 配接器（20 )，且將上部側按壓針腳機構（30 )以除了連 接用配線板（21)的端子電極（23)的各個爲其按壓針腳 -53- 1330258 (31)的各個的前端面（按壓面）位於端子電極（23)上 的方式配置以外，藉由與實施例1同樣的形態，製作電路 基板檢查裝置。 有關該電路基板檢查裝置，與實施例1同樣地實行連 接穩定性試驗及耐久性試驗》將連接穩定性試驗的結果標 示於表1，且將耐久性試驗的結果標示於表2。
〔表1〕 NG檢查點比例（％) 可連接荷重 (kgf) 衝壓荷重 (kgf) 10 12.5 15 17.5 20 22.5 實施例1 0 0 0 0 0 0 10 比較例1 12 3.5 0.8 0.03 0 0 17.5 〔表2〕 衝壓荷重 (kgf) NG檢3 S點比例（％) 第1次 第1000次 第5000次 第10000次 實施例1 10 0 0 0 0 17.5 0 0 0 0 22.5 0 0 0 0.4 比較例1 10 不可測定 不可測定 不可測定 不可測定 17.5 0 0 0.08 0.4 22.5 0 0.2 1.7 不可測定 -54- 1330258 〈實施例2〉 依照第8圖〜第1 0圖所示的構成，根據下記形態製 作電路基板檢查裝置。 〔上部側配接器（20)〕 連接用配線板（21)乃爲其基材材質是玻璃纖維補強 型環氧樹脂，厚度爲200 y m，分別具有以電流供給用連 接電極（22a)及電壓測定用連接電極（22b)製成的596 組的矩形連接電極組（22c )、和1 192個圓形的端子電極 (23 )，最小的電流供給用連接電極（22a )及最小的電 壓測定用連接電極（22b)的尺寸分別爲30/zmx60/zm， 該電流供給用連接電極（22a )及該電壓測定用連接電極 (22b )之間的離間距離爲30 // m，端子電極（23 )的直 徑爲GOym。而端子電極（23)的各個是當在其厚度方向 透視連接用配線板（21)時，兩個端子電極（23)是位於 特定電極區域（R2)內，且該端子電極（23)以不與連接 電極（22)重疊的方式被配置（參照第11圖），配置在 同一特定電極區域（R2)內的兩個端子電極（23)的最小 間距（中心間距離）爲90 " m。 第1向異性導電性彈性片（25)乃爲在矽橡膠中以體 積分率爲25%的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 粒子徑爲10/zm，金的被覆量爲4重量％)所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲l〇〇ym。在此，矽橡膠屬於 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其15 0°C的壓 -55- 1330258 縮永久應變爲5 %，2 3 °C的撕裂強度爲2 5 kN / m以上者。 第2向異性導電性彈性片（26 )乃爲在矽橡膠中以體 . 積分率爲25%的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 粒子徑爲20 y m，金的被覆量爲4重量％ )所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲200 /zm。在此，矽橡膠屬於 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其150 °C的壓 縮永久應變爲5%，23 °C的撕裂強度爲25 kN/ m以上者。 〔上部側按壓針腳機構（30)〕 按壓針腳（3 1 )乃爲其總數1 192個，分別以施行鍍 金處理的黃銅製成的，其全長（主體部（32)的基端面至 突出部（33)的前端面之長度）爲6.1mm，突出部（33) 則爲檢査電極。按壓針腳（31)的各部具體尺寸乃突出部 (33)的外徑爲50//m，突出部（33)的長度（檢查電極 的厚度）爲100//m、主體部（32)的外徑爲60/zm，主 ® 體部（32)的長度爲6 mm、鍔部（34)的外徑爲70/zm、 鍔部（34)的厚度爲100"m，主體部（32)的基端至鍔 部（34)的基端側端面之長度（主體部（32)的基端部分 之長度）爲3mm，主體部（32 )的前端至鍔部（34 )的 前端側端面之長度（主體部（32)的前端部分之長度）爲 2.9mm。 按壓針腳支撐構件（35)乃以玻璃纖維補強型環氧樹 脂所製成，基端側支搏板（36)的尺寸爲 70mmx70mmx 10mm，前端側支撐板（37)的尺寸爲50mmx50mmx3mm -56- 1330258 而上部側按壓針腳機構（30)是當在其厚度方向透視 該上部側按壓針腳機構（3 0 )及上部側配接器（2 0 )時， 兩個按壓針腳（31)位於特定電極區域（R2)內，且該按 壓針腳（31)的前端面（按壓面）以不與連接電極（22) 重疊的狀態被配置（參照第11圖），配置在同一特定電 極區域（R 2 )內的兩個按壓針腳（3 1 )的最小間距（中心 間距離）爲9 0 v m。 〔下部側配接器（5 0 )〕 連接用配線板（51)乃爲其基材材質是玻璃纖維補強 型環氧樹脂，厚度爲200 " m ’分別具有以電流供給用連 接電極（52a)及電壓測定用連接電極（52b)製成的400 組的矩形連接電極組（52c)、和800個圓形的端子電極 (53) ’最小的電流供給用連接電極（52a)及最小的電 壓測定用連接電極（52b)的尺寸分別爲90//mxl5〇Am ’該電流供給用連接電極（52a )及該電壓測定用連接電 極（52b )之間的離間距離爲120 // m，連接電極組（52c )的最小間距爲l〇〇〇/zm，端子電極（53)的直徑爲100 /zm，端子電極（53)的間距爲500/zm。 第1向異性導電性彈性片（55)乃爲在矽橡膠中以體 積分率爲25%的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 粒子徑爲l〇；zm，金的被覆量爲4重量％)所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲100#m。在此，矽橡膠屬於 -57- 1330258 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其150 °C的壓 縮永久應變爲5%，23°C的撕裂強度爲25kN/ m以上者。 第2向異性導電性彈性片（56)乃爲在矽橡膠中以體 積分率爲25%的比例而含有施行鍍金處理的鎳粒子（平均 粒子徑爲20/zm，金的被覆量爲4重量％)所形成的分散 型向異性導電性片，厚度爲20〇em。在此，矽橡膠屬於 雙液型的附加型液狀矽橡膠的硬化物，使用其150 °C的壓 縮永久應變爲5%，23 °C的撕裂強度爲25 kN/ m以上者。 〔下部側按壓針腳機構（60)〕 按壓針腳（6 1 )乃爲其總數800個，分別以施行鍍金 處理的黃銅製成的，其全長（主體部（62)的基端面至突 出部（63)的前端面之長度）爲6.1mm，突出部（63)則 爲檢查電極。按壓針腳（61)的各部具體尺寸乃突出部（ 63)的外徑爲50#m，突出部（63)的長度（檢査電極的 厚度）爲l〇〇#m'主體部（62)的外徑爲60/zm，主體 部（62 )的長度爲6mm、鍔部（64 )的外徑爲70 m、鍔 部（64)的厚度爲100/zm，主體部（62)的基端至鍔部 (64 )的基端側端面之長度（主體部（62 )的基端部分之 長度）爲3mm，主體部（62)的前端至鍔部（64)的前 端側端面之長度（主體部（62)的前端部分之長度）爲 2.9mm，按壓針腳（61)的配列間距爲5 00 /z m。 按壓針腳支撐構件（65 )乃以玻璃纖維補強型環氧樹 脂所製成，基端側支撐板（66 )的尺寸爲70mmx70mmx -58- 1330258 10mm，前端側支撐板（67)的尺寸爲50mmx50mmx3mm 〔電路基板檢查裝置的評估〕 針對上記電路基板檢查裝置，使用下記形態的評估用 電路基板，根據下記手法，實行連接穩定性試驗及耐久性 試驗。 〔評估用電路基板的形態〕 評估用電路基板乃全體尺寸法爲30mmx30mmxlmm， 在其中一面格子狀地配置半球狀的一面側被檢查電極，其 總數爲596個，最小的一面側被檢查電極的直徑爲120/zm ，最小的間距爲200 # m，在另一面以1mm的間距且格子 狀地配置平板狀的另一面側被檢查電極，其總數爲400個 ，另一面側被檢查電極的直徑爲〇.5mm。一面側被檢查電 極的突出高度乃其平均値爲約60/zm，最大値爲約80/zm ，最小値爲40ym。該評估用電路基板爲「電路基板（ W2 )」。 〔連接穩定性試驗〕 將電路基板檢查裝置安裝於BGM-MCM多面基板檢 查裝置（曰本電產 RIDO公司製的「GATS— 7300」）的 檢查部，且在該電路基板檢查裝置的檢查區域設置電路基 板（W2 )。其次，以特定衝壓荷重對電路基板（W2 )施 -59- 1330258 行加壓操作，以此狀態，針對該電路基板（W2 )，一邊 對上部側配接器的連接用配線板的電流供給用連接電極和 下部側配接器的連接用配線板的電流供給用連接電極之間 施加1毫安的電流，一邊測定上部側配接器的連接用配線 板的電壓測定用連接電極和下部側配接器的連接用配線板 的電壓測定用連接電極之間的電壓而測定電氣電阻値。而 求得所測定的電氣電阻値爲1 〇〇 Ω以上的檢査點（以下稱 爲「NG檢查點」。）的數。合計10次重複求得該NG檢 查點數的操作後，算出總檢查點數的NG檢查點數的比例 (以下稱爲「NG檢查點比例」。）。並將算出此種NG 檢查點比例的工程，在衝壓荷重爲1〇〜22.5 kgf的範圍做 階段性的變更而實行，藉此測定NG檢查點比例爲0.01% 以下的最小衝壓荷重。有關實際的電路基板的檢查，NG 檢查點比例須爲〇.〇1°/。以下，NG檢査點比例超過0.01% 的情形，有可能會將良品的被檢查電路基板判定爲不良品 ，故就電路基板而言，有難以進行可靠性高之電性檢查的 情形。 按此所測定的衝壓荷重爲「可連接荷重」。該可連接 荷重是表示其値愈小就愈小’連接穩定性高。 將以上連接穩定性試驗的結果標示於表3。 〔耐久性試驗〕 將電路基板檢查裝置安裝於BGM — MCM多面基板檢 查裝置（曰本電產RIDO公司製的「GATS— 7300」）的 -60- 1330258 檢查部，且在該電路基板檢查裝置的檢查區域設置電路基 板（W2)。其次，在衝壓荷重爲lOkgf的條件，對電路 基板（W2)施行特定次數的加壓操作之後，有關該電路 基板（W2)，在衝壓荷重爲lOkgf的條件，一邊對上部 側配接器的連接用配線板的電流供給用連接電極和下部側 配接器的連接用配線板的電流供給用連接電極之間施加1 毫安的電流，一邊測定上部側配接器的連接用配線板的電 壓測定用連接電極和下部側配接器的連接用配線板的電壓 測定用連接電極之間的電壓並測定電氣電阻値。而求得所 測定的電氣電阻値爲1 0 0 Ω以上的檢查點（N G檢查點） 的數，算出總檢查點數的NG檢查點數的比例（NG檢查 點比例）。重複1 〇〇〇〇次進行求得該NG檢查點比例的操 作。 而重新更換檢查裝置的向異性導電性片，且除了將加 壓操作及電氣電阻測定操作的衝壓荷重變更爲17.5kgf及 22.5 kgf以外，與上記同樣而求得NG檢查點比例。 將以上耐久性試驗的結果標示於表4。 〈比較例2〉 如第1 5圖所示，以當在其厚度方向透視該上部側配 接器（20 )時，與電流供給用連接電極（22a )及電壓測 定用連接電極（22b )的任一個重疊的方式形成上部側配 接器（20)連接用配線板（21)的端子電極（23)的各個 ，且將上部側按壓針腳機構（3 0 )以除了連接用配線板（ -61 - 1330258 21)的端子電極（23)的各個爲其按壓針腳（31)的各個 的前端面（按壓面）位於端子電極（23)上的方式配置以 • 外，藉由與實施例2同樣的條件，製作電路基板檢查裝置 〇 有關該電路基板檢查裝置，與實施例2同樣地實行連 接穩定性試驗及耐久性試驗。將連接穩定性試驗的結果標 示於表3，且將耐久性試驗的結果標示於表4«
〔表3〕 NG檢查點比例（％ ) 可連接荷重 (kgf ) 衝壓荷重 (kgf ) 10 12.5 15 17.5 20 22.5 實施例2 0 0 0 0 0 0 10 比較例2 7.2 2.8 1.3 0.05 0 0 20 〔表4〕 衝壓荷重 NG檢查點比例（％) (kgf) 第1次 第1000次 第5000次 第10000次 10 0 0 0 0 實施例2 17.5 0 0 0 0 22.5 0 0 0.06 3.2 10 不可測定 不可測定 不可測定 不可測定 比較例2 17.5 不可測定 不可測定 不可測定 不可測定 22.5 0 0.05 3.6 不可測定 -62- 1330258 以表1〜表4的結果即可明白，若根據有關實施例1 及實施例2的電路基板檢查裝置，上部側配接器的第1向 異性導電性彈性片就不會於早期產生故障而能得到較長的 使用壽命，且對全的被檢查電極而言，確認可達成穩定的 電性連接。 【圖式簡單說明】 〔第1圖〕與屬於檢查對象的電路基板一同表示有關 本發明的電路基板檢查裝置的第1例之構成的說明圖。 〔第2圖〕放大表示第1例之電路基板檢查裝置的上 部側檢查用工模的主要部分的說明圖。 〔第3圖〕放大表示第1例之電路基板檢查裝置的下 部側檢查用工模的主要部分的說明圖。 〔第4圖〕上表示部側配接器的第1向異性導電性彈 性片的構成的說明用斷面圖。 〔第5圖〕表示在其厚度方向透視第1例的電路基板 檢查裝置的上部側按壓針腳機構及上部側配接器時的連接 電極、端子電極及按壓針腳的位置關係的說明圖。 〔第6圖〕表示有關第1例的電路基板檢查裝置，當 在其厚度方向透視可檢查狀態的上部側按壓針腳機構、上 部側配接器及被檢查電路基板時的被檢查電極及按壓針腳 的位置關係的說明圖。 〔第7圖〕表示有關第1例的電路基板檢查裝置，於 可檢查狀態的上部側配接器的變形狀態的說明用斷面圖。 -63- 1330258 〔第8圖〕與屬於檢查對象的電路基板一同表示有關 本發明的電路基板檢查裝置的第2例的說明圖。 〔第9圖〕放大表示第2例的電路基板檢查裝置的上 部側檢查用工模的主要部分的說明圖。 〔第10圖〕放大表示第2例的電路基板檢查裝置的 下部側檢查用工模的主要部分的說明圖。 〔第11圖〕表示在其厚度方向透視第2例的電路基 板檢查裝置的上部側按壓針腳機構及上部側配接器時的連 接電極組、端子電極及按壓針腳的位置關係的說明圖。 〔第12圖〕表示有關第2例的電路基板檢查裝置， 當在其厚度方向透視可檢查狀態的上部側按壓針腳機構、 上部側配接器及被檢查電路基板時的被檢查電極及按壓針 腳的位置關係的說明圖。 〔第13圖〕表示當在其厚度方向透視有關本發明的 電路基板檢查裝置的變形例的上部側按壓針腳機構及上部 側配接器時的連接電極、端子電極及按壓針腳的位置關係 的說明圖。 〔第14圖〕表示當在其厚度方向透視有關比較例1 的電路基板檢查裝置的上部側按壓針腳機構及上部側配接 器時的連接電極、端子電極及按壓針腳的位置關係的說明 圖。 〔第15圖〕表示當在其厚度方向透視有關比較例2 的電路基板檢查裝置的上部側按壓針腳機構及上部側配接 器時的連接電極組、端子電極及按壓針腳的位置關係的說 -64 - 1330258 明圖。 【主要元件符號說明】 1 :被檢查電路基板 2 : —面側被檢查電極 3 :另一面側被檢查電極 1 0 :上部側檢查用工模 20 :上部側配接器 2 1 :連接用配線板 22 :連接電極 22a :電流供給用連接電極 22b :電壓測定用連接電極 2 2 c :連接電極組 23 :端子電極 2 5 :第1向異性導電性彈性片 25 A :基材 26 :第2向異性導電性彈性片 3 0 :上部側按壓針腳機構 31，31A，31B:按壓針腳 32 :主體部 34 :鍔部 3 6 :基端側支撐板 3 7 :前端側支撐板 3 7H :貫通孔 1330258 50 :下部側配接器 5 2 :連接電極 • 33 :突出部 3 5 :按壓針腳支撐構件 3 6H :貫通孔 37A :凹部 40 :下部側檢查用工模 # 5 1 :連接用配線板 5 2 a :電流供給用連接電極 52b :電壓測定用連接電極 5 2 c :連接電極組 5 3 :端子電極 5 5 :第1向異性導電性彈性片 56 :第2向異性導電性彈性片 60 :下部側按壓針腳機構 ^ 6 1 :按壓針腳 62 :主體部 64 :鍔部 66 :基端側支撐板 67 :前端側支撐板 67H :貫通孔 W :電線 63 :突出部 65 :按壓針腳支撐構件 -66 - 1330258 6 6H :貫通孔 67A :凹部 P :.導電性粒子
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