TWI325964B - - Google Patents

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1325964 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種使用於例如液晶顯示面板之平板狀 被檢查體之檢查的探針組裝體及適合使用於該探針組裝體 之探針。 【先前技術】

作為使用於例如液晶顯示面板之平板狀被檢查體之檢 查的探針組裝體之一’係有一種將陶瓷製之絕緣體配置於 由板狀之導電板所構成之各接觸件一面，並將此等導電板 及絕緣體交互配置以使其等在重疊狀態下，於各接觸件兩 端以外之區域以樹脂材料將其等一體化者（專利文獻丨）。 又，亦有一種並不將葉片型之複數個探針（接觸件，具 備帶狀之安裝部（中央區域）及自該安裝部之前端及後端分 別往前方及後方延伸之第i及第2針頭部）—體化於同樣之 探針組裝體，而是透過支撐桿分別支擇於支#體者（專利文

很儺寻刊文獻 杜+办播& ，，一仏姐，w π吓兩接觸 之各導電板係藉由陶£製之絕緣體，在電氣上彼此阻 =並藉由樹脂材料-體化，因此提供能確保各接觸件間 電乳絕緣性之小間距的探針組裝 y, 衣篮然而，由於各探針（接 觸件）係藉由樹脂材料一體化，田士紅 別更換。 _心0此無法將探針（接觸件）個 71 很像寻利文獻 yj 於葉另型之久俨4+ 土 T询不之探針組裝體，由 茱片呈之各探針未以樹脂材 體化而係以貫穿該探 5 1325964 針之支撐桿來切’因此可將破損之探針從支撐桿拆卸下 來並更換成正常之探針。此等板狀之各探針，為防止相鄰 探針間之電氣接觸，嘗試以由電氣絕緣性樹脂所構成之絕 緣膜來被覆該探針之兩側面，以使絕緣膜介於相鄰之探針 間。 然而’專利文獻2所揭示之探針組裝體中，由於設於 各探針之料料厚度，在探針之單®已達到大致心m 之厚度’當欲將具有例如15^之厚度尺寸的探針與心 m之排㈣距對應排列時，覆蓋探針兩面之絕緣膜的厚度 可能會妨礙對探針之小排列間距之對應。 因此，可考慮不以絕緣膜來覆蓋各探針之兩面，而以 保護膜覆蓋相鄰各探針整齊排列之一邊的單面。然而，若 以保護膜覆蓋單面之大致全區時，由於會於與另一面間產 生因該保護膜所造成之較大表面應力差，因此會對各探針 往厚度方向產生翹曲。當此翹曲變大時，即會於各探針之 針頭位置產生誤差’並有難以正確測量之虞。 [專利文獻1]曰本特開平6 — 174750號公報 [專利文獻2]日本特開平1〇一 132853號公報 【發明内容】 因此，本發明之目的在於提供一種適合於小排列間距 之探針組裝體的探針、及一種可更換探針且適合於小排列 間距之探針組裝體。 本發明之探針’具備帶狀之安裝部、及自該安裝部之 端部延伸且寬度尺寸小於該安裝部之寬度尺寸之帶狀的針 6 I3..25964 頭部’其特徵在^:於該探針之—面，形成有將該一面之 -部分覆蓋的絕緣膜，於該探針之另—面，形成有覆蓋斑 從該一面之該絕緣膜露出之區域對應之區域的絕緣膜。 本發:之探針之-面，並不以絕緣膜覆蓋其整面而係 局部地覆蓋’其他區域係從該絕緣膜露出。又，另一面同 樣地並不以絕緣膜覆蓋其整面係局部地覆蓋，其他區域係 從該絕緣膜露出。而且，該另一面的絕緣膜係以覆蓋與從 該一面之該絕緣膜露出之區域對應之區域的方式所形成'。 因此，本發明之該探針僅於兩面中任一面，並非以絕 緣膜覆蓋其整面。因此，該絕緣膜所造成對該探針產生翹 曲程度之較強表面應力並不會作用於該探針任一面，故可 防止因此絕緣膜所造成之該探針的翹曲，並可防止探針之 電氣短路。 而且，如則述般，由於該另一面的絕緣膜係以覆蓋與 從該一面之該絕緣膜露出之區域對應之區域的方式所形 成，因此具有該一面及另一面的複數個探針中，藉由使一 個探針之5亥一方之面與其他探針之該其他之面對向之方式 接近配置，即可使形成於兩探針之對向面之各絕緣膜不對 向，能彼此錯開而重疊。其結果，由於可使兩探針間實質 上保持單一該絕緣膜厚度尺寸之間隔使兩探針重疊因此 月t以與兩探針間對應之小間距配置。 可覆蓋該探針之一面的一半以形成絕緣膜，且可覆蓋 其另一面的另一半以形成絕緣膜。藉此，可於該探針之安 裝部一面構成覆蓋該一面一半的絕緣膜區域，並可於與其 7 1325964 一面的另一半對應之該另一面構成覆蓋該一面之另一半的 絕緣膜區域。 藉由該絕緣膜’可於該一面的一半及與該一面的另一 半對應之該另一面的另一半，分別構成沿該安裝部之長邊 方向彼此隔著間隔且分別沿該安裝部之寬度方向延伸的複 數個絕緣膜區域。 又藉由該絕緣膜，可於該一面構成沿該安裝部之長邊 方向彼此隔著間隔且分別沿該安裝部之寬度方向延伸的複 數個帶狀絕緣膜區域，並可於該另一面在與該一面之該絕 緣膜區域間對應之區域，構成沿該安裝部之寬度方向延伸 的帶狀絕緣膜區域。 又’亦可以絕緣膜將該一面局部覆蓋並使另一面整面 為露出面，來取代如前述般於兩面形成絕緣膜。在此情況， 由於該一面並不以絕緣膜來覆蓋其整面，因此不會造成以 絕緣膜覆蓋其整面時所產生之輕曲。 在此情況，可藉由該絕緣膜於該一面，構成沿該安裝 部之長邊方向彼此隔著間隔且分別沿該安裝部之寬度方向 延伸的複數個帶狀絕緣膜區域。 又，亦可在該一面上構成分散為點狀之絕緣膜區域， 來取代形成帶狀之絕緣膜區域》 本發明之探針組裝體，其特徵在於，包含：支撐體； 複數個探針，具有帶狀之安裝部、及自該安裝部之：部延 伸且寬度尺寸小於該安褒部之寬度尺寸之針頭#，在該安 裝部之寬度方向為上下方向之狀態下，使該安裝部對向於 8 1325964 該支撐體之下側且並排配晋.β a e 讲配置，以及細長之支撐桿，係自厚 向貝穿該探針之安裝部並延伸以將各該探針支揮成可 拆卸，且被支樓於該支樓體；於相鄰之探針至少在該安裝 部之彼此對向之面部分，在 、 在被此錯開之區域形成有將該探 針之各對向面局部覆蓋的絕緣膜。

根據本發明之前述探針組裝體，由於可不使形成於相 鄰兩探針之對向面的各絕緣膜對向，利用彼此錯開來重 疊’因此可使兩探針間實質上保持單—該絕緣膜厚度尺寸 之門隔冑兩探針重豐。因此能以與兩探針間對應之小間 又，由於該探針並未以樹脂將整體一體化，各該探針 係以支樓桿支揮成可拆卸方式，因此可容易地將例如缺損 之探針更換成正常者。 此探針組裝體中，亦可以絕緣膜將相鄰探針之對向之 一面局部覆蓋，且使另一面之整面成為露出面。 可將沿該支撐桿之長邊方向所配置之一對狹縫桿配置 於該支持體之緣部，並可以朝該狹縫桿之長邊方向彼此隔 著間隔且分別向下方開&，且以該針頭自狹縫桿突出於對 應之該探針之該針頭部之方式㈣承接之複數個狹縫槽。 藉由配置此狭縫桿，即可蘇實防止相鄰探針之針頭部分直 接短路。因此，在此情況即可不須在探針兩面之針頭部分 形成絕緣膜。 β 根據本發明，如前述般，由於使探針產生趣曲程度之 較強表面應力不會因絕緣膜作用於探針，因此可確實防止 9 1325964 因^絕緣膜所造成之該探針的龜曲。xH缘膜之區域 確貫防止相鄰板針間之電氣短路。並不於相鄰探針之彼此 士向之面it纟重複形成絕緣媒區域。因此，由於能使相 鄰探針間實質上料單—絕緣膜厚度尺寸之間％，並可使 兩探針以可更換方式重疊，因此可以小間距配置探針。 【實施方式】

圖1係表示、组裝有纟發明之多數個探針組裝體1〇的檢 —裝置12之俯視圖。圖i係表示使用於矩形液晶顯示面 板14之通電測試的檢查裝置12之例。 檢查裝置12具有檢查纟16，其設有與液晶顯示面板14 之外形相似但比其小之矩形開口 16a。液晶顯示面板"係 以通過檢查台16之矩形開〇 16a並自背面接受背光之光照 射的方式，t蓋矩形開D l6a並配置於檢查台16上。檢查 〇 16上配置有分別沿該矩形開口 i 6a 一邊之長邊及一邊之 短邊延伸的探針底I 18(18a、18b)，可與整齊排列配置於 液晶顯示面板14表面之緣部之多數個電極墊(未圖示)形成 電氣連接的探針組裝體10,分別透過支撐機構2〇支樓於 各探針底座1 8上。 各支撐機構20，如圖2所示，以可拆卸方式支撐相對 應之各探針組裝冑10,以使分別設於探針组裳豸ι〇之後 述多數個探針22之針頭，朝向液晶顯示面板14突出。藉 此，各探針组裝體1〇之探針22，係使其針頭以分別與排 列於液晶顯示面板14之緣部對應之該電極墊接觸之方式， 透過各支樓機構20保持成可朝向液晶顯示面板14下降。 10 1325964 28b)平行配置之各支撐桿26(26a、鳩），以既定姿 - 於支樓體24之下側。 ’'、 ' 探針22之該另―邊之針頭部36b，係使形成於該針頭 部後端之後方針頭42b從狹縫桿抓往支撲體Μ後方突 出。由於此後方之針頭42b係連接於電路板46(固定於^ 撐支㈣構20之支禮板44的下面）所對應之連接塾，因此 各探針22係經由電路板46連接於未圖示之測試器本體。 傷針頭杨，圖示之例中’係經由用來為防止對電路板46誤 接觸之導片48之孔48a連接於該連接墊。 探針22之該一邊之針頭部36a ’係使形成於該針頭部 前端之前方針頭42a從狹縫桿28a之前方朝其下方突出。 又，圖示之例中，於狹縫桿28a之狹縫槽❿的後緣部形 成有用來界定平坦之段差面5〇a的段部50。又，段部5〇 係用以界定位於較狹縫槽32a頂面上方之段差面5〇a。 又，於探針22之安裝部34與一邊之針頭部36a之間， φ 形成有用來界定與該段差面50a對向之平坦段差面52a的 段部52。在此兩面5〇a、52a抵接狀態下針頭部係 不會抵接於狹縫槽32a之該頂面，在段差面5〇a除外之區 域與針頭部36a之間保持間隔之狀態下，該針頭部之針頭 42a係從狹縫桿28a之前緣朝斜下方突出並被保持。 因此，當探針組裝體1〇之各探針22的該一邊之針頭 p 36a按壓於與液晶顯示面板14對應之該電極墊時，由於 乍用於各探針22之針頭42a的按壓力之至少一部分，係由 與該針頭部36a之段差面52a對向的狭縫捍28a之段部5〇 13 13.25964 的段差面50a來承受反作用力，因此該段差面具有剛性支 點之作用。又，各針頭部36a直至與狹縫槽32a之該頂部 - 中除段差面5〇a以外之區域抵接為止，係容許針頭部 之彈性變形。 a 藉此，各探針22利用與此彈性變形量對應之過驅動力 來按壓於液晶顯示面板14所對應之該電極墊。亦可不需 此剛性支點50a及段部52。然而，為謀求減輕作用於一^ _ 支撐桿26(26a、26b)之過驅動力，並防止因此支撐桿 • 26(26a、26b)之彎曲變形導致針頭4以的偏移，較佳二二 如前述之剛性支點。 組裝有本發明之探針組裝體10的檢查裝置12中，設 於各探針組裝體10之各探針22的針頭42a係按壓於液2 顯示面板14所對應之該電極墊。在此情況，由於各探針22 會產生因彈性所造成之彎曲變形，並以此彎曲變形所產生 之過驅動力連接於對應之該電極墊，因此該電極墊即經由 φ 探針組裝體確實連接於該測試器本體。 在此情況，為防止相鄰之探針22間彼此之電氣短路， 如圖4及圖5所示，於板狀之各探針22的兩面22a、22b(參 照圖5)，從該探針之長邊方向觀看位於其一半之區域54&、 以及從探針22之長邊方向觀看位於與該一半相反側之另 一半的區域54b，形成有以絕緣膜56、58覆蓋的絕緣膜區 域此外將在圖3為簡化圖式而予以省略之電容降低用 孔60a、60b表示於圖4、圖5以及以下所示之各圖式。電 容降低用孔60a、60b係用來謀求降低相鄰探針22間之靜 1325964 電電容，藉此降低因脈衝形訊號之 22間之串擾。 吓化成之相鄰揲針 參照圖4及圖5時，各探 中 ^ 面22a，圖戎夕 除前方之針頭42a外’沿包含_ 例 λ, /〇匕3該針碩所形成之一邊之 針頭部3 6a的探針22之具名士 之 ,,g^ 長邊方向所觀看之一半（54a)，# 由絕緣膜56所覆蓋。此面22a 係 薄葚m 牛（5仆）並無絕緣膜％ ，因此包含後方之針頭42b所 ^ 风之另一邊針頭部36b 的另—半（54b)係露出。

又’探針22之另一面22b，除後方之針頭㈣外，沪 包含該針頭所形成之另—邊之針頭部地的㈣Μ之^ 邊:向所觀看之另—半（54b)，係由絕緣媒58所覆蓋。= =一面22b的另—半（54a)並無絕緣膜58 |蓋因此包含 刖方針頭42a所形成之該—針頭冑36a的-半（54a)係露 出。 複數個探針22，如圖5所示，係使其一面22a分別與 其他之探針22之另一面22b對向配置，並如前述透過貫 穿導孔38(38a、38b)之一對支撐桿26(26a'26b)支撐於支 樓體24。在此情況，以相鄰之各探針22之一面22a之絕 緣膜56所覆蓋之絕緣膜區域’係與相鄰各探針22之另一 面22b之絕緣膜58以外之露出區域對向。又，相鄰各探 針22之—面22a之絕緣膜56以外之露出區域，係與以相 鄰各探針22之另一面22b之絕緣臈58所覆蓋之絕緣膜區 域對向。 因此，當使面22a及面22b彼此對向配置時，相鄰探 15 1325964 22b彼此錯開 針22係絕緣膜56、58分別位於對向面 之區域54a、54b。 藉此’根據該探針組裝n 10，由於不使形成於相鄰兩 探針22之對向面22a、22b的各絕緣膜％、5"十向，並可 彼此錯開重疊’因此能使兩探針22时質上保持單一該 絕緣膜56或58之厚度尺寸的間隔，使兩探針22重疊。 因此，能以與兩探針22間對應之小間距配置。

有關此小間距化’圖5及圖6之實施例中，當探針22 具有例如20以m之厘庚/? +、a々s μ

Am怎知度尺寸、且絕緣膜％、58分別具有 “之厚度尺寸時，即可使圖5所示之配置間Η成為約 3 0 v m 〇 又，探針22由於不以絕緣膜56或兄僅覆蓋其任 - 一-队肌7T |丄 ¢3 仏或22b整面，因此不會對探針22產生因該絕緣膜之表 面應力差所造成之較大龜曲力。此外，料22由於未以 ，脂將整體-體化’且㈣探針22 α可拆卸方式支標在 支掉桿26(26a、26b)，因此可容易地將例如缺損之探針η 更換成正常者。 如圖6及圖7所示’可使與各狹縫桿28(28a、2叫之 間隔壁32c及32d(參照圖3)對應之部分56&、w從絕緣 膜56或58露出。圖8播大矣+ ¾ ^ α 8擴大表不另一邊之狹縫桿28b盥從 :成：探針22之另…,之另一半⑷之絕緣膜；8露 之部分58a的關係。由於狹缝桿m之間隔壁部咖介 防鄰探針22之針頭部36b之間，因此藉由間隔壁部咖 防止與該間隔壁部對應之㈣58a的短路，因此可不需要 16 1325964 此區域58a之絕緣膜。與狹縫桿28a之間隔壁32c對應的 部分56a(參照圖6)同樣亦可不要絕緣膜》 又’配置有一對狹縫桿28(28a、28b)時，可不要針頭 部36(36a、36b)之各絕緣膜56、58。然而，為確保探針22 間更確實之絕缘性，較佳使一面22a的一半54a及另一面 22b的另一半54b，包含針頭部36(36a、36b)，如前述般， 以絕緣膜56、58來覆蓋。

圖9及圖1 〇所示之例中，於探針22之一面22&的一 半54a开> 成有由絕緣膜56所構成之帶狀的複數個絕緣膜區 域。又，另一面22b的另一半54b形成有由絕緣膜58所 構成之帶狀的複數個絕緣膜區域。帶狀之各絕緣膜區域 (56、58)’係以安裝部34之長邊方向彼此隔著間隔所形成， 並分別沿安裝部34之寬度方向w延長。 藉由將各絕緣膜區域（56、58)形成為帶狀可降低因 絕緣膜56、58所造成之導入於探針22的表面應力之影響。 又，可降低絕緣膜56、58之材料的使用量。 半5牦及另一面22b的另一半5仆 如圖η及圖12所示，可使帶狀之絕緣膜56、58沿安 裝部34之長邊方向均等地分散於-面22a及另一面22b， 以取代使絕緣膜56、58 #中形成於探針Μ之—面Ma之 2所不之例中，於各探針22之一面22a， 從探針22之一半54a妇丨^ 到另一半54b形成有以沿探針22之 長邊方向亦即安奘# ^ ip 6 之長邊方向彼此隔著間隔的複數 個贡狀絕緣膜56 »又，於摆斜s 於探針22之另一面22b，同樣地 17 1325964 從探針22之一半54a到另一半54b形成有複數個帶狀絕緣 膜58。 形成於一面22a之絕緣膜56係形成於絕緣膜58(形成 於另一面22b)間之區域，形成於另一面22b之絕緣膜58 係形成於絕緣膜58(形成於一面22叻間之區域。藉此，絕 緣膜56係於一面22a構成沿安裝部34之寬产尺寸方白延 伸的帶狀絕緣膜區域’於另一面22b ’在與一面22a之該

絕緣膜區域間對應的區域構成沿安裝部34之寬度方向w 延伸之帶狀絕緣膜區域。 因此，如圖Η所示，不使於相鄰兩探針22之對向面 22a、22b所形成之各絕緣膜56、58對向’並可彼此錯開 來重疊。 之兩面22a、22b 不形成絕緣膜以 如圖13及圖14所示，可於探針22 中任一面形成帶狀絕緣膜，並可於另—面 使其整面成為露出面。圖式之例中，未於—面m形成絕 緣膜，其整面為露出。相較於此’於另—自2孔朝安裝部 34之長邊方向關形成與前述之财⑽之帶狀絕緣膜 右小π探針 .，一 囬艰圾絕緣膘， 而以絕緣膜覆蓋其另一面整面時，因覆蓋該單面之絕緣膜 所產生之較強表面應力會作用於探針之單面制表面應 !差對探針產生較大之彎曲。然而，如圓u及圖14所示 错由使形成於另-s 22b之絕緣膜58成為帶狀，由於並 不以此絕緣膜58|蓋另—面22b整面，因此可核從絕 18 ^25964 緣膜58之露出面於該一面，並可防止對探針22產生較大 之起曲。 因此，即使以此種絕緣膜58亦不會使探針22產生趣 曲’並由於可使相鄰兩探針22間實質上保持單一絕緣膜58 之厚度尺寸的間隔，並可使兩探針22重疊，因此能以與 兩探針22間對應之小間距配置。 〃 又，有關不於探針22之兩面22a、22b中任一面形成 絕緣膜，而於其另一面形成絕緣膜，如圖15所示，可將 絕緣膜58以點狀分散於其一面（22b)。藉由此種分散為點 狀之絕緣膜58，亦可不使探針22產生翹曲’使相鄰兩探 針22間實質上保持單一絕緣膜58之厚度尺寸的間隔，使 兩探針22重疊。因此，能以與兩探針22間對應之小間距 配置。 本發明並不侷限於上述實施例，只要在不脫離該意旨， 可作各種變更。 【圖式簡單說明】

圖1係表示液晶顯示面板之檢查裝置（表示組裝有本發 明之探針組裝體之電氣連接裝置之例）之—部分的俯視圖。X 圖2係表示組裝於圖丨所示之檢查裝置的多數個探針 組裝體之一的前視圖。 圖3係沿圖2所示之ΠΜΠ線所得之探針組裝體之局 部截面圖。 ° 圖4係詳細表示圖3概略所示之探針的前視圖。 Θ 5係以積層狀態表示圖4所示之探針的俯視圖。 19 1325964

圖6係表示本發明之另一例之與圖 ® 7係有關圖6所示之探針之與圖 ® 8係用來表示圖6所示之探針之 關係的局部截面圓。 圖9係表示本發明之另一例之與圖4 圖10係有關圖9所示之探針之與圖 圖π係表示本發明之另一例之與圖 圖1 2係有關圖1 1 所示之探針之與圖 圖13係表示本發明之另一例之與t 圖係有關圖13 所示之探針之與圖 圖15係表示本發明之另—例之與圖z 【主要元件符號說 明】 10 探針組裝體 22 探針 22a、22b 探針之面 24 支撐體 26(26a ' 26b) 支撐桿 28(28a、28b) 狹縫桿 34 安裝部 36(36a ' 36b) 針頭部 54a 探針之一半 54b 探針之另一半 56、58 絕緣膜 同樣的圖。 同樣的圖。 一部分與狭縫桿之 同樣的圖。 1同樣的圖。 同樣的圖。 5同樣的圖。 同樣的圖。 5同樣的圖。 同樣的圖。 20

Claims (1)

1325964 十、申請專利範圓·· 及自該安裝部之端 尺寸之帶狀的針碩 i、一種探針，具備帶狀之安裝部、 部延伸且寬度&寸小於該安裝部之寬度 部，其特徵在於： a 於該探針之一面，形成有 囟之 部分覆蓋的與 緣膜’於該探針之另-面，形成有選擇 之該絕緣膜露出之區域對應之區域的絕緣膜。

於：如申請專利範圍第1項之探針，纟中，該絕緣媒 面構成覆蓋該一面之一半 、 千的絕緣膜區域，於該另 面構成覆蓋與該一面之另一半 另 域。 卞耵愿之另一 +的絕緣犋 八\如巾請專利範圍第2項之探針，其中，該絕緣膜， 分別於該一面的一半及與該一面之另一半對應之該另一面 、另半，構成沿該安裝部之長邊方向彼此隔著間隔且分 別〜該女裝部之寬度方向延伸的複數個絕緣膜區域。 =4、如申請專利範圍第丨項之探針其中，該絕緣祺， 於該一面，構成沿該安裝部之長邊方向彼此隔著間隔且分 別/σ °亥女裝部之寬度方向延伸的複數個帶狀絕緣膜區域， 於该另一面’構成在與該一面之該絕緣膜區域間對應之區 域’。該安裝部之寬度尺寸延伸的帶狀絕緣膜區域。 5、一種探針，具備帶狀之安裝部、及自該安裝部之端 延伸且寬度尺寸小於該安裝部之寬度尺寸之帶狀的針頭 部’其特徵在於： 該探針之一面係以將該一面局部覆蓋之絕緣膜覆蓋， 21 1325964 另一面其整面為露出面。 6、 如申清專利範圍第5 Jf之撰4+ *+ Ml. 固弟5項之探針，其中，該絕緣膜， 構成沿該安裝部之長邊古A 4 L B- ^ f丨之長邊方向彼此隔著間隔且分別沿該安裝 部之寬度方向延伸的複數個帶狀絕緣膜區域。 7、 如申請專利範圍第〗咬$項夕於& ^ 矛及3孭之探針，其令，該絕緣 膜係構成分散為點狀之絕緣膜區域。 8、 一種探針組裝體，其特徵在於，包含·· 支撐體； 複數個探針，具有帶狀之安裝部、及自該安裝部之端 部延伸且寬度尺寸小於該安裝部之寬度尺寸之針頭部，在 該安裝部之寬度方向為上下方向之狀態下，使該安裝部對 向於該支撐體之下側且並排配置；以及 細長之支撐桿，係自厚度方向貫穿該探針之該安裝部 並延伸以將各該探針支撐成可拆卸，且被支撐於該支撐 體； / 相鄰之探針彼此對向之面中，至少於該安裝部彼此對 向之面部分，在彼此錯開之區域形成有將各該對向面部分 局部覆蓋的絕緣膜。 9、一種探針組裝體’其特徵在於，包含： 支撐體； 複數個探針’具有帶狀之安裝部、及自該安裝部之端 部延伸且寬度尺寸小於該安裝部之寬度尺寸之針頭部，在 該安裝部之寬度方向為上下方向之狀態下，使該安裝部對 向於該支撐體之下側且並排配置；以及 22 1 ..長之支撐彳干，係自厚度方向貫穿該探針之安裝部並 將各該探針支樓成可拆卸，且被支料該支樓體； 相鄰之探針彼此對向之面中，—面係以將該—面局部 蓋之、-、巴緣膜覆盒，另一面其整面為露出面。 10、如申請專利範圍第8或9項之探針組裝體，其進 步包含一對狹縫桿，係沿該支撐桿之長邊方向配置於該 支撐體之緣部，於該狹縫桿之長邊方向彼此隔著間隔且分 別向下方開放，並具有以該針尖自狹縫桿突出來之方式承 接對應之該探針之該針頭部的複數個狹縫槽。 十一、圖式： 如次頁。

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