TWI317422B - - Google Patents

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1317422 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明’係關於用來檢查按既定大小分割之透明玻璃 基板等’在透明基板之端面部上有無缺陷之檢查裝置及方 法。又，透明基板，亦包含貼合一對玻璃基板等而成之平 面顯示器面板用貼合基板。 【先前技術】 使用在液晶顯示裝置之液晶顯示面板基板，係將液晶 封入於一對玻璃基板之間而構成。其中一玻璃基板，設有 配線、TFT等，通常稱之為TFT基板。另一基板，設有濾 色片（CF) ’通常稱之為CF基板。如此之顯示面板基板，例 如，將一對母玻璃基板彼此貼合後，按照顯示面板基板的 大小分割形成。作為TFT基板之母玻璃基板，係在每一顯 示面板基板上預先設置既定之TFT、配線等。 圖13，為分割後之顯示面板基板的概略立體圖。構成 顯示面板基板10之TFT基板11 (在圖1 3中，設置在下側） ，设有TFT、配線等，在一側部上形成有端子部i丨a，其設 置分別連接各配線之複數個端子llb。另一 CF基板12，在 设置封入液晶之既定間隔的狀態下，以使端子部丨丨&露出 的方式與TFT基板11貼合。 製造如此構成之顯示面板基板1〇時，如圖14(a)所示 ，設置在貼合玻璃基板10A之τπ基板1U之端子部 之各端子lib，係藉由設置於TFT基板lu之端子部na 的側緣之短鏈環（short link)Uc，來形成電氣連接。短鍵 1317422 環1 lc，係用來防止電荷積存於各端子1 Ib與各配線並 止各配線等之靜電破壞。又，將由母CF基板與母TFT基 板貼合而成之母玻璃基板，分別分割成複數個貼合玻璃基 板後，延著顯示於圖14(b)之分割線1 Id，將TFT基板 11A切斷，藉此，解除以短鏈環Uc連接之各端子部 的連結（參照圖13)。當TFT基板11A延著分割線Ud切斷 ，則對沿著分割線lid之端面Ue研磨，並且，對該端面 11 e兩側的邊緣部分別施以去角加工。又，在此情形，不 僅&著TFT基板Π之端子部iia的端面lie，在未形成顯 示面板基板1 0之端子部的端面，亦對CF基板12之上方邊 緣與TFT基板11下方邊緣亦施以去角加工。 貼合玻璃基板10A ’係藉由分別分割彼此貼合之一對 母玻璃基板來形成。圖15，係從貼合母基板分割之貼合玻 璃基板1 0A的截面圖《在此情形，由於係以使設置在tft 基板11A之端子部lla露出的方式來分割CF基板12A，因 此’ CF基板12A之分割位置，與TFT基板11A之分割位置 不同’如圖15所示，CF基板12A之分割位置，係位於用 來貼合TFT基板11A與CF基板12A所設置之密封材13附 近。因此’在分割CF基板12A之際，密封材13之拉伸力 會施加在分割之CF基板12A的端面1 2e，分割之端面12e 如圖15中之虛線所示，會有越靠近密封材13，越依序往 靠近密封材13之方向成傾斜狀態（裂痕）之虞。 又，從彼此貼合之一對母玻璃基板，分割成貼合玻璃 基板10A之際、以及為從貼合玻璃基板10A切除短鏈環 1317422

11 c而分割TFT盖拓11 A 11A之端子部11 a之際，在分割之顯

不面板基板ίο之τπ基板u的端面或CF基板12的端面 ^ ’有產生缺角之虞。與TFT基板11之端子部lla相鄰之 端面lle，若產生較大之貝殼狀缺角，該缺角會逐漸往TFT 基板11之内部延伸’而造成設置在端子部11a之端子lib 斷線。 如此，從彼此貼合之一對母玻璃基板分割之TFT基板 11的端面部或CF基& 12之端面部產生缺角等缺陷之顯示 面板基板10,若搬運至下一步驟並當作液晶顯示裝置時， 則所製造之液晶顯示裝置會有無法正常動作而產生不良製 品之虞。 為解決如此之問題，較佳為在搬運至下—步驟之前， 先檢查從母貼合基板分割之顯示面板基板丨〇之tft基板 11的端面部或CF基板12的端面部，以檢測出端面傾斜、 端面部缺角等缺陷。可是，要有效率且正確地檢測存在於 顯示面板基板10之端面傾斜、缺角等之缺陷部分，並非容 易。 進而’顯示面板基板10之TFT基板11的端面部及CF 基板12的端面部’通常，在TFT基板11與CF基板12間 主入液晶之後，各端面部之邊緣部，分別以磨石進行濕式 研磨加工來去角’但要綠認是否破實地僅按既定量進行去 角亦不容易。 本發明係為解決此等問題，其目的在於提供：能有效 率且正確地檢測出透明基板之端面部的缺角等缺陷，並且 1317422 此合易進行在端面之去角部分的狀態檢查等之透明基板端 面部之檢查裝置及其檢查方法。 【發明内容】 本發明之透明基板端面部之檢查裝置，其特徵在於且 /iL · ’、 備· 載台，係用來支撐透明基板； 第1照明機構，係設置成與載置於該載台上之透明基 板的端：部相對向，且間歇性地朝該端面部照射光線； 攝？、機構，係s史置在該透明基板表面的至少一個方向 上’將该端面部及其附近部分當作拍攝區域；及 影像處理機構，係依據該攝影機構所拍攝之影像資料 的影像濃度’來檢測該端面部之缺陷。藉此，來達成上述 目的。 亦可進一步具備第1反射機構，以將該第1照明機構 所照射之光線，朝該端面部反射； 遠攝影機構，係將以該第丨反射機構反射之光線所照 射之該端面部及其附近部分當作拍攝區域。 該攝影機構，亦可設置在該透明基板之第丨反射機構 相反側。 δ亥載台亦可以水平狀態支撐載置該透明基板；該第1 反射機構係設置在該透明基板下方。 '•亥載台亦可以水平狀態支撐載置該透明基板；第2反 射機構係設置在該透明基板上方。 該载台，可沿水平方向移動。 1317422 該載台’可繞與載台表面呈垂直之軸旋轉。 該第1 s射機構及攝影機構可成為-體，且相對於該 载台移動。 該第1反射機才鼻，可與該帛丨照、明機構一體移動。 該第i反射機構，可調整對該透明基板之端面部的反 射方向。 該第2纟射機構及攝影機構可成為一冑，且相對於該 載台移動。

該第2反射機構，可與該第！照明機構—體移動。 該第2反射機構，可調整對該透明基板之端面部的反 射方向。 亦可進-步具備第2照明機構’在該第J照明機構之 熄滅期間，對該透明基板之端面部間歇性地照射光線。 該第1照明機構，可為與該透明基板之端面部平行的 長線狀光源。 該攝影機構，可為CCD攝影機。 該第1照明機構輿續笛丨& μ拖4妓 叹傅兴忒弟1反射機構，亦可分別設置在 該透明基板兩側緣部的端面側。 該弟1照明機構血兮楚9 g 6+ 诚 . μ傅4第2反射機構，亦可分別設置在 該透明基板兩側緣部的端面側。 該影像處理機構，亦哥+ m &地 万了在該攝衫機構所拍攝之影像資 料1二ΪΓ象素之影像濃度，再依據該像素之影像濃度 ，來決定該透明基板之端面。 10 1317422 該影像處理機構，亦可依所決定之該透明基板的端面 〇p與像素之影像;辰度’來檢測出缺陷。 該端面部之邊緣部’亦可施以去角加工。 該影像處理機構’亦可將該透明基板之端面部的亂反 射，當作光線強度高之缺陷部分來檢測。 S亥透明基板’亦可在設有供封入液晶之既定間隔的狀 態下，以使端子部露出的方式來貼合2片玻璃基板而成之 貼合玻璃基板。 該影像處理機構，亦可將使端子部露出的方式貼合而 Φ 成之貼合玻璃基板之各端面部之一或兩者，當作檢查對象 來作切換。 本發明之透明基板端面部之檢查方法，其特徵在於具 備以下步驟： 光線照射步驟，係以第1照明機構對透明基板之端面 部間歇性地照射光線； 拍攝步驟，係以攝影機構來拍攝該端面部及其附近部 分；及 _ 缺陷檢測步驟，係依據該攝影機構所拍攝之影像資料 的影像濃度，來檢測在該端面部之缺陷。藉此，來達成上 述目的。 該光線照射步驟及該拍攝步驟中，沿著該透明基板間 歇性地照射之光線，亦可以反射機構朝該端面部反射。在 對該端面部間歇性地照射光線之第",明機構之炮滅期間 ，亦可使用第2照明機構對該端面部間歇性地照射光線。 11 1317422 忒缺陷檢測步驟，亦可在該攝影機構所拍攝之影像資料中 - ，求出每個像素之影像濃度，又依據該影像濃度來決定該 透明基板的端面’再依據所決定之該透明基板的端面與像 素之影像濃度’來檢測缺陷。該端面之邊緣部分，亦可施 以去角加工。 該缺陷檢測步驟’亦可將該透明基板之端面部的亂反 射’當作光線強度高之缺陷部分來檢測。 该透明基板，在設有供封入液晶之既定間隔的狀態下 ’以使端子部露出的方式貼合2片玻璃基板而成之貼合玻 φ 璃基板。 該缺陷檢測步驟，亦可將使端子部露出的方式貼合而 成之貼合玻璃基板之各端面部之一或兩者，當作檢查對象 來作切換。. 【實施方式】 以下’說明本發明之實施形態。 圖1係表示本發明之透明基板端面部之檢查裝置的一 例的概略構成圖。 0 該透明基板端面部之檢查裝置1，例如係用來分別檢 查顯示於圖13之顯示面板基板10的TFT基板11及CF基 板12的各端面部。 該透明基板端面部之檢查裝置1係具備：滑動台23， 係設置成能在基台24上沿既定之Y軸方向滑動；DD馬達（ 直接驅動馬達）22，係設置於該滑動台23上；及旋轉台21 ’係精D D馬達2 2旋轉，在遠旋轉台21上’以水平狀態來 12 1317422 載置顯示面板基板10。 旋轉台21 ’係以真空吸附方式將所載置之顯示面板基 板10固定為水平狀態。設置在滑動台23上之DD馬達22 之旋轉軸為垂直方向，藉由該DD馬達22使旋轉台21可環 繞垂直軸旋轉。旋轉台21，係以顯示面板基板1〇之外緣 部往旋轉台21之外部周圍突出的狀態下，來載置顯示面板 基板1 0。 設有DD馬達22之滑動台23，可沿著設置在基台24 上相互平行之一對Y轴用導軌25滑動。在一對γ勒^用°導軌 25之間’設有與各γ軸用導軌25平行之可旋轉之γ袖用 滚珠螺桿26 ;該Υ軸用滾珠螺桿26與設置在滑動台23下 方之Υ軸用滾珠螺帽27相螺合。γ軸用滾珠螺桿26之一 端部與Υ軸用飼服馬達28作連結；藉由γ軸用飼服馬達 28 ’來使γ軸用滾珠螺桿26正轉及逆轉。又，藉由Υ軸用 椁26之正轉及逆轉，使滑動台23沿著-對υ軸用 纟γ轴之兩個方向（與圖1紙面垂直之前後方向）滑 動。 产基台24,於旋轉台21上方，沿著與Υ軸用滾珠螺 方干二及各γ轴用導軌25正交之X軸方向以成水平狀態的 =置支撑㈠b在該支撐台.沿著與設置在基台 Y軸用滾珠螺桿26AY轴用導軌25正交方向之一 可滑動^導軌、32’係並排成—直線。又，滑動塊34係以 月、方式分別卡合於各χ轴用導軌32〇 又，在支禮·^ q 1 , ° 上’以水平狀態設置X軸用滾珠螺桿 13 1317422 33，使其分別與各χ軸用導軌3 机 34上之；ί軸用滾珠螺帽（未 人，、设在各滑動塊 桿33螺纟。&纟| ⑼與各Χ㈣滾珠螺 #甘λ袖用滾珠螺 部上，分別連結光學系統移 ^ y刀開之各端 、，移動用伺服馬達35，藉由各弁興 糸統移動用飼服馬達35，使各χ車由用滚珠 ^^ 轉及逆轉。因此，藉由各叉軸 刀別正 逆轉，使滑動塊34沿著χ軸方^ γ、于33之分別正轉及 之左右方向）往返移動軸方轴之兩個方向（圖1 各Μ動塊3 4係延伸至支撐 a卩]τ 士 與載置於旋轉台21上之顯亍=:方’各下端 顯不面板基板接近之狀態。各滑動 ，34上以使光軸成垂直狀態的方式分別設置⑽攝 6,以分別拍攝m基板及CF基板12(構成載置於旋轉台 21上之顯不面板基板10)兩側。 f CCD攝影機36之拍攝區域，為相對於光軸15咖左 右之靶圍’使侍可分別拍攝位於顯示面板基板^ 〇之端 na的TFT基板U的端面UeA CF基板12的端面n 以各CCD攝影機36所拍攝之影像資料，傳送給影像處理裝 置51(參照圖2)，然後實施既定之影像處理。 又，各CCD攝影機36下側設有落射照明37，用來將 顯不面板基板10兩側的側緣部，分別對準以各CCD攝影機 36所拍攝之區域；落射照明37之光軸為與各cc])攝^機 36之光軸為一致之垂直狀態。 ’ 又’在各滑動塊34，於另一滑動塊34之遠方側，分 別設置沿著上下方向延伸之連結塊38 ;在各連結境38 ^ 1317422 女而°卩’以與各端面對向的方式分別設置端面照明部39 ’以 刀別對栽置於旋轉台21上之顯示面板基板1 〇的兩側之各 端面部照射光線。 各端面/1明部39，例如以沿著水平方向延伸之線狀光 源刀別構成在本實施形態中，將複數個LED作水平方 向排列所設皇之LED陣列，來分別構成。

在载置於旋轉台21上之顯示面板基板1〇兩側各側緣 部之上方區域上’設置上部反射鏡41，以將各端面照明部 39所照射之光線’朝位於其下方之端面反射。各上部反射 鏡41 ’例如’對CCD攝影機％之垂直狀態的光軸隔1 〇 — 60mm左右之距離而分別設置。 又，在各端面下方區域，分別設置下部反射鏡42，以 將各^面照明部39照射之光線，朝位於其上方位置之端面 反射。各下部反射鏡42，例如，對CCD攝影機36之垂直 狀態的光軸隔5-30mm左右之距離，又，對顯示面板基板 10的上面隔5-25_左右之距離而分別設置。

各上部反射鏡41，係將各端面照明部39所照射之光 線反射後，照射於位在其下方之顯示面板基板丨〇的端面部 各下邛反射鏡42也同樣地，將各端面照明部39所照射 光線反射|，照射於位在其上方之冑示面板基& i Q的端 面。卩。各上部反射鏡41沿著顯示於圖丨之傾斜狀態的傾斜 方向的長度分別為30_ ;又，各下部反射鏡42沿著顯示 於圖1之傾斜狀態的傾斜方向之長度分別為1〇議。 在各上部反射鏡41之一端部分別連結上部反射鏡轉動 15 1317422 馬達43，以沿著顯示面板基板丨〇之端面的水平軸周圍， 來轉動各上部反射鏡41 ;藉由各上部反射鏡轉動馬達43, 使各上部反射鏡41以對垂直方向之10。〜4〇。的角度作轉動 ，藉此，可分別對各上部反射鏡41之光線的反射方向作微 調整。 在各下σ卩反射鏡42之一端部亦同樣地分別連結下部反 射鏡轉動馬達44，以沿著顯示面板基板1〇之端面的水平 軸周圍，來轉動各下部反射鏡42;藉由各下部反射鏡轉動

馬達44,使各下部反射鏡42以對垂直方向之1〇。_4〇。的角 又轉動’藉此’可分別對各下部反射鏡42之光線的反射方 向作微調整。

各上。卩反射鏡轉動馬達43，分別藉由上部反射鏡滑動 用ru缸45，沿著X軸方向作水平滑動，並可作位置調整。 進而各上部反射鏡滑動用汽缸45，分別可藉由上部反射 ，昇降用汽缸46來作上下方向昇降及位置調整…各上 π反射鏡#降m 46 ’分別裝設在所對應之上部反射鏡 ★上方的α動塊34上。因此，藉由各上部反射鏡昇降用 46使所對應之上部反射鏡41隨著上部反射鏡滑動 用汽缸4 5昇降。 +各下。Ρ反射鏡轉動馬達44，分別藉由下部反射鏡滑動 用'飞缸47 ’沿著Χ轴方向作水平滑動並作位置調整。進而 各^反射鏡滑動用汽叙47，分別可藉由下部反射鏡昇 ，用π叙48來作上下方向昇降及位置調整。又，端面照明 ρ 39’係將光線分別照射在所對應之顯示面板基板ι〇的 16 1317422 端面部，並分別裝設在連結塊38;在連結塊38上再分別 叢設各下部反射鏡昇降用汽缸48。因此，藉由各下部反射 鏡汁降用汽缸48，使所對應之下部反射鏡42隨著下部反 射鏡滑動用汽缸47昇降。 圖2係本發明之透明基板端面部之檢查裝置1的控制 系統方塊圖。各CCD攝影機36所拍攝之影像資料，係輸入 至影像處理部51 ;各CCD攝影機36所拍攝之影像資料， 在影像處理部51作影像處理。又，影像處理部51之輸出 ’係輸入至控制部52’藉由控制部52,分別對DD馬達以 · 、Y軸用伺服馬達28、各光學系統移動用馬達35、各落射 照明37、各上部反射鏡轉動馬達43、各下部反射鏡轉動馬 達44、各上部反射鏡用汽缸45 '各上部反射鏡昇降用汽缸 6各下4反射鏡滑動用〉气缸4 7、及各下部反射鏡昇降用 汽红4 8進行控制。 在如此構成之透明基板端面部檢查裝置丨中，可同時 檢查位於顯示面板基板1 0兩側的各端面部。在本發明之透 明基板端面部之檢查裝i丨中，首先，檢查對象之顯示自籲 板基板10載置於旋轉台21上。載置於旋轉台21上之顯示 面板基板10之外周緣部，係從旋轉台21之邊緣突出，在 水平狀態下以真空吸附方式固定在旋轉台21上。 當顯示面板基板10固定於旋轉台21上，則控制部52 控制Y軸用伺服馬達28與DD馬達22,以調整旋轉台21 之位置。㈣旋轉台21 ’使得在已固冑之顯示面板基“ 上之一對角落部位於設置在上方之各CCD攝影機36的拍攝 17 1317422 區域内。 在此狀態下，控制部52分別將各落射照明37點亮， 利用各落射照明37將光線分別照射在所對應之各CCD攝影 機36下方的拍攝區域附近。又，各CCD攝影機％所拍攝 之各角落部的影像資料傳送至影像處理部51，然後進行噹 影像資料之處理。控制部52依據影像處理部51之影像： 理結果，驅動設置在支撐台31上之各光學系統移動用伺服 馬達35、Y軸用伺服馬達28與DD馬達22來調整旋轉a ^之位置，使得固定在旋轉# 21上之顯示面板基板i〇 S —對角落部分別與各CCD攝影機36之拍攝區域的中心位置 當顯示面板基板10的一對角落部分別與各CCD攝影省 36之拍攝區域的中心位置一致時，各端面照明部μ透^ 連結塊38分別裝設於各滑動塊34 ±，並分別與固定在衣 轉台21上之顯示面板基板1〇的各端面部成對向狀態。

在此狀態下’控制部52驅動γ軸用伺服馬達28，^ 將載置顯示面板基板10之旋轉台21沿著Y轴方向移動: 並且，在移動期間，各端面照明冑39以既定之時間間隔《 別間歇性的點亮。X，在各端面照明部39點ϋ 各⑽攝影機36所拍攝之影像，分別檢查顯示面板基未 10兩側的各端面部狀態。 一在本發明之透明基板端面部檢查裝置i中，如圖13戶] °同N·榀查·端面11 e，其與顯示面板基板1 〇之TF 基板11的端子部lla相鄰；端面12e，其與CF基板⑴ 18 1317422 端子部Ua相鄰；以及m基板u之端面及邙基板匕之· 端面’其位於與設有端子部Ua之顯示面板基板ι〇的側緣 部相反側之側緣部上。 /在此情形，控制部52依據各CCD攝影機36所拍攝之 影像資料來控制：分別裝設在各滑動塊34之上部反射鏡昇 降用汽缸46以及分別裝設在各上部反射鏡昇降用汽缸 之各上部反射鏡滑動用汽缸45 ;分別調整各上部反射鏡41 之上下方向位置與γ轴方向位置’並且使各上部反射鏡轉 動馬達43分別沿著γ軸方向之水平軸轉動，來調整反射光 φ 的方向。藉此，各端面照明部39所照射、以及各上部反射 鏡41所反射之光線，會分別照射在顯示面板基板10兩側 之各端面部及包含其附近之CCD攝影機36的拍攝區域。 進而，控制部52依據各CCD攝影機36所拍攝之影像 身料，來驅動透過連結塊38而分別裝設在各滑動塊34上 之各下部反射鏡昇降用汽缸48及各下部反射鏡滑動用汽缸 47，分別調整各下部反射鏡42之上下方向位置與γ軸方向 位置，並且使各下部反射鏡轉動馬達44分別沿著γ軸方向 0 之水平軸轉動，來調整反射光的方向。藉此，各端面照明 部39所照射、以及各下部反射鏡42所反射之光線，會分 別射在顯示面板基板1 〇兩側之各端面部及包含其附近之 CCD攝影機36的拍攝區域。 田各端面照明部3 9分別點亮時，則從各端面照明部 39所照射、以及相對應之各下部反射鏡42所反射之光線 ’分別照射至顯示面板基板1 〇之各端面部，各端面部所反 19 1317422 射之光線，會被相對應之CCD攝影機36擷取。又，各上部 反射鏡41所反射之各光線照射至顯示面板基板1〇之各端 面部，各端面部所反射之光線會被相對應之CCD攝影機36 拍攝。 各上部反射鏡41及各下部反射鏡42所反射、並且在 顯示面板基板10之各端面部所反射之光線，在各端面部上 沒有缺角等缺陷的情形，各CCD攝影機所受光之光線強度 為—定，在各端面部上有缺角等缺陷之情形，由於在該缺 陷部分產生光線之亂反射，故各CCD攝影機36所受光之光 線強度變強。 在檢查顯示面板基板10之端子部時，各CCD攝影機 36之拍攝區域係包含：端面丨丨e，接近顯示面板基板1 〇之 TFT基板11的端子部Ua ;以及端面12e，與CF基板 上之糕子部1 la鄰接；依檢測該端面i le及】2e兩者之情 形、以及分別只檢測出該端面i le及12e兩者其中之一的 情形，來切換影像處理部51之影像處理。 圖3及圖4係表不影像處理部5丨之影像處理順序的流 圖。又’各⑽攝影機％之拍攝影像的影像處理皆相同 故以下僅就一個CCD攝影機％之影像處理來作說明。在 3及圖4所不之流程圖中，預先設定檢測與顯示面板基 上之TFT基板11之端子部} i a接近的端面以及與 土板12上之端子部i丨a鄰接的端面兩者；在此情形， ；個CCD攝影機36所拍攝之影像區域，設定與各端面相 對應之2個影像處理區域A(步驟si)。 20 1317422 圖5為在此情形下，ccD攝影機36所拍攝之影像的一 例。藉由端面照明部39之點亮，當上部反射鏡Ο及下部 反射鏡42之反射光，分別照射在與顯示面板基板1 〇上之 TFT基板11之端子部Ua接近的端面Ue及i2e時，在各 端面lie及i2e上沒有缺角等缺陷之情形下，各端面lle 及12e分別所反射之光線，以一定之強度被CCD攝影機36 所拍攝。又，以各端面lle及12e為中心之一定寬度的區 域，沿著各端面Ue及12e，分別設定為影像處理區域ai 及A2。 籲 又’不將位於顯示面板基板1〇上之端子部lla兩侧的 各端面lie及12e兩者當作檢查對象，而僅將其中之一當 作檢查對象之情形時，則設定為影像處理區域M及A2所 對應之其中一個。以下，將設定之影像處理區域當作A。 若設定為影像處理區域A時，如圖6(a)所示，在該設 疋之衫像處理區域A内，分別將已受光之既定光線強度以 上的像素取出，並計算所取出之像素的總數（步驟S2) ^亦 即求出成為CCD攝影機36之影像資料之像素的影像濃度鑛 並在取出既定濃度以上之像素後，計算所取出之像素的 〜數又，在圖6(a)中，已受光之既定光線強度以上的像 素疋塗以黑色來表示。將已受光之既定光線強度以上的 像素之取出，係在每次端面照明部3 9作間歇性點亮時，重 複地進行。 若在衫像處理區域A内，將已受光之既定光線強度以 像素’作總數之計算，則可決定出在既定濃度以上之 21 1317422 像素的χγ座標（舟赖^ 扣、驟S3)。右決定出在既定濃度以上之像 素的ΧΥ座標，則可從所決定之既定濃度以上之像素的Χγ 座標’沿著在影像處理區域Α内之既定濃度以上的γ軸方 向的像素數，以每個X座標來作統計（步驟S4)。又，依據

該統計結果，製作如圖6(b)之直方圖(histogram)D 製作直方圊後’如圖7(a)所示，求出沿著既定之濃度 以上之Y轴方向的像素數為最大之X座標，對在該X座標 上之既定濃度以上的像素數（最大像素數η)乘以預先設定 之比例（例如60%)，以當作閾值像素數（〇 6)(步驟S5)。然 _ 後^如圖7(b)所示’將既定濃度以上之像素數比閣值像素 數還多的X座標取出（步驟S6)。在圖7(b)中，在X座標為 1 0 0 101 11 〇《3處’既定濃度以上之像素數比閾值像 素數還多。 如此，將既定濃度以上之像素數比閾值像素數還多的 X座標位置取出後，計算出在所取出之各χ座標位置之既 定濃度以上的像素數η1與鄰接之χ座標位置（χ_υ之像素 數π2之差（ηΐ-η2)的絕對值（參照圖4之步驟S7)，將所計 Φ 算之像素數的差為較大的2個χ座標位置取出。在圖八b) 中，取出之X座標位置為100及丨1〇(步驟S8)。所取出之 各X座標，當作檢查對象之端面所處位置之座標的候補。 又，計算2個當作端面位置之候補的X座標之距離。 如此之處理’在每次端面照明部39以既定之時間間隔 點亮時，依序實施。又，每次端面照明部39點亮時，當作 檢查對象之端面候補的X座標位置與當作候補之2個χ座 22 1317422 襟的距離依序計算’將該計算結果 (移動平均幻分別作比較(步驟S9): …各平均值 2個Άϋ對象之端面候補的X座標位置與當作候補之 固X絲的距離，㈣於各㈣平均值

2圍:：當作檢查對象之端面候補所計算的: :二個當作檢查對象之端面候補所計算…標作比較 若在預先所設定之既定範圍内的情形時，則將 ^…座標’判定成檢查對象之端面的位置(步驟 當作檢查對象之端面候補的X座標位置與當作候補之 2々個X座標的距離，相對於各移動平均值未在預先設定之 範圍内的情料，可視為在該端面產生缺角等缺陷，影像 已雙其影響’不採用所獲得< χ座標#作端面位置，而採 用已經獲传之X座標的平均值，或者在前次檢查所求得之 端面位置’來實施缺陷之檢查。 如此，可決疋出X座標，將該決定之X座標當作檢查 對象之端面位置，來實施缺陷檢查。在此情形，首先，例 如，如圖8所示，對於所設定之端面，來設定缺陷檢查區 域。在圖8表示，缺陷檢查區域，係將與顯示面板基板j 〇 上之TFT基板11的端子部鄰接之端面lle、及與該端子部 鄰接之CF基板12的端面12e兩者，當作檢查對象時之情 形；在此情形’缺陷檢查區域D1_D4，分別沿著所設定之 各端面的兩侧來設定。 設定在TFT基板11之端面11 e外側的缺陷檢查區域 23 1317422 D1，係設定成用來檢測從TFT基板11之端面1 le突出之凸 狀缺陷部分；設定在TFT基板11之端面11 e内側的缺陷檢 查區域D2，係設定成用來檢測TFT基板11之端面11 e的 凹狀缺陷部分。同樣地，設定在CF基板12之端面12e外 側的缺陷檢查區域D3 ’係設定成用來檢測從CF基板12之 端面12e突出之凸狀缺陷部分；設定在CF基板12之端面 12e内側的缺陷檢查區域D4，係設定成用來檢測CF基板 12之端面12e的凹狀缺陷部分。 又’缺陷檢測區域，並不限定於分別設定在各端面兩 # 側，例如’若對TFT基板11之端面iie，實施去角之情形 時，則不須檢查凹狀缺陷部分，亦不須在TFT基板丨丨之端 面He的内側設定缺陷檢測區域D2。進而，不限定於在各 端面兩側分別設置缺陷檢查區域之構成，對於各端面亦可 設定1個缺陷檢查區域，並使端面位於缺陷檢查區域之中 央。 、如此’ &定缺陷檢查區域後，實％各端面之缺陷的檢 測處理。《 9係表示缺陷檢測之處理順序的流程圖。在該 檢測處理中’首先，各端面照明部如每次以既定之時 點亮時，在所衫之缺陷檢查區域中，檢查是否 =之島狀部分(島部)。然後，在各缺陷檢查區域 最==數、各島部之面積、在各島部…標的 驟S31「： 座標之最大值與最小值(參照圖9之步 驟，U下相同）。 在此仏形’在各缺陷檢查區域之島部的面積，若比預 24 1317422 先設定之既定閾值面積還小之情形時，則該島部不能認定 為島部，因此，不當作以後之處理對象（步驟S32)。 又，在各缺陷檢查區域，存在比既定大小尺寸還大之 島部的情形時（步冑S33)，若在缺陷檢查區域中檢測出島 π的存在，則計算島部至端面之距離（步冑⑽）。圖 1〇(a) —⑷係表示在TFT基板之端面lie、與設置在該端 面lie兩側之缺陷檢查區域D1及D2令所檢測出之島部l 的位置關係。端面Ue與島部L之關係，如圖ι〇所示，依 據在島部之}(座標的最大值與最小值’及端面He之X座 標來計算。 圖10(a)及（c)，分別為端面Ue之χ座標位於島部 之X座標的最大值與最小值間的情形；圖i〇(b)，為島部

之X座標的最大值與最小值，兩者皆比端面lie之XW 還大的情形；在各情形下，舛笪 "t鼻島部L之X座標的最大j 與端面11 e之距離LA，及皂邱T + v — t 及島邛^之X座標的最小值與端f

11 e之距離LB，從所計算之夂扣她τ A τ异之各距離LA及LB與端面iie ^

X座標與島部L之X座標的最大 取大值及取小值之間的關係： 來決疋出島部L相對於端面丨le之位置。 如此，決定出各島部與诚而+ 现Ββ " ^ , , Α 鳊面<位置關係後，依據檢访 出各島部之缺陷檢查區域 > R刀別决疋出每個島部之缺陷合 種類，亦即，凹狀或凸狀之缺陷。 + 釈丨曰進而，再依據各島部戈 面積，來決定出缺陷之大，〗、，廿 並且依據各島部與端面之 離，分別決定出凹狀缺陷之、、穿痒―、η⑴ 阳之冰度或凸狀缺陷之突出

驟 S35)。 八《 $ U 25 1317422 突出量彳依據存在之缺陷的種類、缺陷之大小、深度及 陷之：類來判定該缺陷是否在容許範圍内，'料，針對缺 較，來二與預先設定之缺陷的大小、深度及突出量作比 ,判疋出檢測出之缺陷是否為可容許（步驟S36)。缺 後’若存右> & ^ 1 …、 缺未在可容許範圍内，則判定檢查對象之 ::面板基板10為不良品(步驟S37);若存在之缺陷在可 :° 圍内’則判定檢查對象之顯示面板

步驟S38)。 勹艮口口 C

檢杏t此/相當於顯示面板基板1Q兩邊之—對的各端面部 凡成後，載置並固定顯示面板基板10之旋轉台21， 會再j移動並往開始檢查之位置復原’並且，利用卯馬達 21 ’ ％繞垂直轴作90度旋轉，各滑動塊34依據顯示面板 f板10之尺寸等資料來移動’按照與上述檢查方法相同之 榀查方去，貫施相當於顯示面板基板1 0剩餘兩邊之—對各 端面部檢查。 ^ 又，相當於顯示面板基板1〇四邊之端面檢查，並不限 疋^使用一台如上述之本發明透明基板端面部之檢查裝置麵| ，為縮短檢查處理時間，亦可使用兩台檢查裝置。、 又，如圖11所示，在端面部之檢查期間，以既定之時 間間隔來點亮之端面照明部39在照明之熄滅期間，將間歇 性地使落射照明37點亮之光線照射在顯示面板基板1〇之 端面部’將反射之光線的強度以各CCD攝影機36作檢測， 使用與上述影像處理機構相同之方法，實施透明基板之端 面4仏查藉此，由於照射於顯示面板基板之端面部的光 26 1317422 線方向增加，故可改善 不面板基板之端面部的缺角、裂 痕寻缺陷之檢測精度。 進们'、員不面板基板10之端面部檢查時，落射照明 易檢測出之缺陷’與端面照明部39易檢測出之缺陷不 冋，又’因玻璃基板之材質等所產生之缺陷不同，故可選 擇使用洛射照明37與端面照明部39兩者之檢查，或者， 使用落射照明37與端面照明部39兩者之一的檢查。 ⑴又’將端面照明部39之照明，對顯示面板基板1〇之 糕面部照射後所獲得之影像，與將落射照明37對顯示面板φ 基板10之端面部照射後所獲得之影像，為影像之濃淡相反 之影像，兩者之影像處理有若干不同。 進而TFT基板11之端面部與CF基板】2之端面部， ，常’在m基板u與CF基板12間注入液晶後，各端面 部之各邊緣，例如，利用磨石之濕式研磨加工、或將雷射 光照射在各端面部之邊緣的方式，來進行去角加工，特別 ^在去除前述短鏈環且對端子部lla之邊緣作去角之情形 時’由於完全去除短鏈環，並且提高邊緣之強度，故須進 _ 行僅就既定量確實地去角之確認。 圖12為檢查去角量之透明基板端面部檢查裝置的光學 系統之概略構成圖，用來檢查顯示面板基板1〇之端面部邊 緣在去角加工後的去角量。從圖1省略了落射照明、及各 上部反射鏡與各下部反射鏡、及調整各上部反射鏡與各下 部反射鏡之位置及角度的驅動裝置，並追加下部CCD攝影 機 36B 〇 27 1317422

在使用該裝_置之+ I 角ι的k查，係從各端面照明部39 來的光線照射在貼合基板1〇A之端面部，以上部⑽攝影 、幾A “下。P CCD攝影機36B來拍攝該端面部，使用與上 述之影像處理機構相同Μ 士、t + 再邗H的方法來實施檢查，可確認去角量 是否適當。 士此在本發明之透明基板端檢 於旋轉台21上檢杳 秋直

—對象的顯不面板基板10兩側之各側緣 ’分別呈往旋轉台21夕^日丨、A 咕 轉口 21之側邊方向延伸的狀態，藉設置在 ::面：⑷。下方之下部反射鏡42，將從各端面照明 二 =照射光線反射，並分別照射在顯示面板基板ι〇 ^而 此，光線可對顯示面板基板10之各端面部 確實地照射。 分磲曲。Ρ 射之二顯示面板基板“之各端面部的光線所照 =方 附近部分，使用分別設置在顯示面板基 板10上方之CCD攝影機狀* 4A孩 受光之“… 攝，依據CCD攝影機36所 ’又，來檢測出端面之缺陷，因此，可以以古 精度並確實地作缺陷之 了以以间 ,,= J進而’亦可檢測出缺陷夕鍤 類、缺陷位置及缺陷大小等。 之種 例如’將光線昭射^立 + 1 、、射在糕面部，依據端面部之@1安 =罐陷之方法的情形時，因為光線所照射之二象面圖板案 土板1G之各端面部的附近存在端子部山 辨識影像圖案，會有無法正確地檢測出缺陷之虞法=地 月基板立而面部檢查裝置中，沒有如此 刀另’將光線照射在顯示面板基、 合鳊面部的端面 28 1317422 部之由於是間歇性地點亮，故可抑制照射在各端面 °先線的焭度不均，且可長期並穩定地使用。 本發明之透明基板端面部檢查裝置及其檢查方法 :例如’冑用在平面板顯示器之_種之液晶顯示面板、有 :el面板、無機EL面板、電漿顯示器面板等之端面部的 檢查*，亦可有效地適用在貼合石英基板而成之透過型投影 基板#之端面部的檢查。 、進而，本發明之透明基板端面部檢查裝置，檢查對象 並不限定為如顯示面板基板10之貼合玻璃基板，亦可適用 在1片之玻璃基板及塑膠基板等透明基板之端面部檢查。 本發明之透明基板端面部檢查裝置及其檢查方法，利用簡 易且低成本之光學系統與影像處理裝置，可確實且高精度 地檢測出透明基板端面部的缺陷，且可正確地檢測出透明 基板端面部之邊緣部之去角加工後的去角量。 【圖式簡單說明】 (一）圖式部分 圖1係本發明之透明基板端面部之檢查裝置之實施形 態之概略構成圖。 圖2係本發明之透明基板端面部之檢查裝置之控制系、 統之方塊圖。 圖3係表示本發明之透明基板端面部之檢查裝置的％ 作順序之流程圖。 圖4係表示本發明透明基板端面部之檢查裝置的動作 順序之流程圖。 29 1317422 另圖5虽作係用來說明本發明之透明基板端面部之檢查 裝置的動作之影像的一例。 圖6(a)、（b)係本發明之透明基板端面部之檢查裝置 的影像處理說明圖。 圓7(a)、（b)，係本發明之透明基板端面部之檢查裝 置的影像處理說明圖。 ^圖8係用來說明本發明透明基板端面部之檢查裝置的 影像處理之影像的一例。 圖9係表示本發明之透明基板端面部之檢查裝置的影 春 像處理順序之流程圖。 圖l〇(a)〜（c)係本發明之透明基板端面部之檢查裝置 的影像處理說明圖。 圖11係用來說明端面照射部之照明、及落射照明在點 亮、熄滅時的樣子。 圖12係用來檢查去角量之透明基板端面部之檢查裝置 的光學系統之概略構成圖。 圖13係表示顯示面板基板之概略構成的立體圖。 圖14(a)、（b)係表示該顯示面板基板之製造順序的概 略立體圖。 圖15係顯示面板基板之重要部位的截面圖。 (二）元件代表符號 10 :顯示面板基板 10A :貼合玻璃基板 11 : TFT基板 30 1317422 I ΙΑ : TFT 基板 11a :端子部 II b :端子 11 c :短鏈環 lid :分割線 11 e、1 2 e :端面 12、12A : CF 基板 13 :密封材

21 :旋轉台 22 : DD馬達 23 :滑動台 24 :基台 25 : Y軸用導軌 26 : Y軸用滾珠螺桿 27 : Y軸用滾珠螺帽

28 : Y轴用伺服馬達 31 :支撐台 32 : X軸用導軌 33 : X軸用滾珠螺桿 34 :滑動塊 35 :伺服馬達 36 : CCD攝影機 36A :上部CCD攝影機 36B :下部CCD攝影機 31 1317422 37 :落射照明 .38 :連結塊 39 :端面照明部 41 :上部反射鏡 42 :下部反射鏡 43 :上部反射鏡轉動馬達 44 :下部反射鏡轉動馬達 45 :上部反射鏡滑動用汽缸

46 :上部反射鏡昇降用汽缸 47 :下部反射鏡滑動用汽缸 48 :下部反射鏡昇降用汽缸 51 :影像處理部 52 :控制部

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Claims (1)

1317422專利申請案第93105466號申請專利範圍修正本·年3月 拾、申請專利範圍： ？¥丨月7^0日 修正]g ' 1、 一種透明基板端面部之檢查裝檢查透 明基板的端面部’其特徵在於具備： 第1照明機構，用以照射光線； 、，第1反射機構，於該透明基板之第i面側，將該照射 之光線朝該透明基板的端面部反射； 第2反射機構’於該透明基板之第i面相反側之第2 面側，將該照射之光線朝該透明基板的端面部反射； 攝影機構，係於該透明基板表面之第i面側及第2面 側中至少-面側’擷取被該透明基板的端面部反射之光、線魯 :及 檢測機構，係依據該㈣之光線強冑，來檢測產生於 該透明基板的端面部之缺陷。 2、 如申請專利範圍帛i項之透明基板端面部之檢查 裝置，其係進一步具備載台，用以水平支撐該透明基板； 該第1反射機構、攝影機構及第2反射機構，係設於 該透明基板表面之第i面側及第2面侧中之一面側。 3、 如申請專利範圍第i項之透明基板端面部之檢查鲁 裝置，其係進-步具備載台，用以水平支撐該透明基板； ， 該載台係可移動於水平方向。 4如申明專利範圍第3項之透明基板端面部之檢查 裝置，其中，該載台係可繞與該载台表面呈垂直之軸旋轉 33 1317422 5、 如申請專利範圍帛2項之透明基板端面部之檢查 裝置’其中’该第1反射機構、攝影機構及第2反射機構 係成為一體，且能相對於該載台移動。 6、 如申請專利範圍第5項之透明基板端面部之檢查 裝置，其中，該第1反射機構與第2反射機構，係設置成 可相對於該第1照明機構一體移動。 7、 如申請專利範圍第6項之透明基板端面部之檢查 裝置，其中，該第1反射機構及第2反射機構，係可分別 調整該照射之光線的反射方向。 8、 如申清專利範圍第1或2項之透明基板端面部之 ® 檢查裝置，其中，該第1照明機構係間歇性地照射光線； 其進一步具備第2照明機構，在該第1照明機構之熄 滅期間，對該透明基板的端面部間歇性地照射光線。 9、 如申請專利範圍第1項之透明基板端面部之檢查 裝置’其中’該第1照明機構，係與該透明基板的端面部 平行延伸的線狀光源。 10、 如申請專利範圍第9項之透明基板端面部之檢查鲁 裝置’其中’該線狀光源為LED陣列。 11、 如申請專利範圍第1項之透明基板端面部之檢查 裝置’其中，該攝影機構為CCD攝影機。 12、 如申請專利範圍第2項之透明基板端面部之檢查 裝置’其中，該第1照明機構、第1反射機構及第2反射 機構’係分別設置在該透明基板兩侧緣部的端面側。 13、 如申請專利範圍第1項之透明基板端面部之檢查 34 1317422 裝置，其令，該檢測機構，係在該攝影機構所拍攝之影像 資料中I出各像素之影像濃度，再依據該像素之 度，來決定該透明基板之端面。 ， 14、 如申請專利範圍帛13帛之透明基板端面部之檢 查裝置，其中，該檢測機構，係依據所決定之該透明基板 的端面部與像素之影像濃度，來檢測缺陷。 15、 如申請專利範圍第i項之透明基板端面部之檢查 裝置，其中，該端面部之邊緣部分係施以去角加工。 16如申晴專利範圍第1項之透明基板端面部之檢查 裝置，其中，該檢測機構，係將該透明基板之端面部的亂 反射’當作光線強度高之缺陷部分來檢測。 17如申睛專利範圍第1項之透明基板端面部之檢查 裝置八中’該透明基板’係在設有供封入液晶之既定間 隔的狀態下’以使端子部露出的方式來貼合2片玻璃基板 而成之貼合玻璃基板。 18、 如申請專利範圍第17項之透明基板端面部之檢 查裝置’其中，該檢測機構，係可將使端子部露出的方式 貼合而成之貼合玻璃基板之各端面部之一或兩者，當作檢 查對象來作切換。 19、 如申請專利範圍第1項之透明基板端面部之檢查 裝置’其中，該第1照明機構係間歇性地照射該光線。 20、 如申請專利範圍第1項之透明基板端面部之檢查 裝置’其中，該檢測機構’係依據與該擷取之光線強度對 應之影像濃度’來檢測產生於該透明基板的端面部之缺陷 35 1317422 “、一種透明基板端面部之檢查方法，係用以檢查透 明基板的端面部，其特徵在於，包含： 第1照明步驟’用以照射光線； 第1反射步驟，於該透明基板之第1面側，將該照射 之光線朝該透明基板的端面部反射； 第2反射步驟，於該透明基板之第1面相反側之第2 面側’將該照射之光線朝該透明基板的端面部反射； 攝影步驟’係於該透明基板表面之第1面側及第2面 側中至少一面側’擷取被該透明基板的端面部反射之光線 :及 檢測步驟’係依據該擷取之光線強度，來檢測產生於 該透明基板的端面部之缺陷。 22、 如申請專利範圍第21項之透明基板端面部之檢 查方法，其中，該第丨照明步驟包含間歇性地照射該光線 之步驟。 23、 如申請專利範圍第22項之透明基板端面部之檢 查方法，纟進-步包含第2照明步驟’在該第1照明步驟 ft?、射之光線媳滅期間，間歇性地照射光線。 24、 如申請專利範圍第21至23項中任一項之透明基 板端面部之檢查方法，其中，該檢測步驟，係在該攝影步 驟所拍攝之影像資料中，求出每個像素之影像濃度，依據 該影像濃度來決定該透明基板的端面，依據所決定之該透 明基板的端面與像素之影像濃度，來檢測缺陷。 36 1317422 25、 如申請專利範圍第21項之透明基板端面部之檢 查方法，其係對該端面之邊緣部分施以去角加工。 26、 如申請專利範圍第21項之透明基板端面部之檢 查方法，其中，該檢測步驟，係將該透明基板之端面部的 亂反射，當作光線強度高之缺陷部分來檢測。 27、 如申請專利範圍第21項之透明基板端面部之檢 查方法，其中，該透明基板，係在設有供封入液晶之既定 門隔的狀態下，以使端子部露出的方式貼合2片玻璃基板 而成之貼合玻璃基板。 28、 如申請專利範圍第27項之透明基板端面部之檢 查方法，其中，該檢測步驟，係可將使端子部露出的方式 貼合而成之貼合玻璃基板之各端面部之一或兩者，當作檢 查對象來作切換。 29、 如申請專利範圍第21項之透明基板端面部之檢 查方法，其中，該檢測步驟，包含依據與該擷取之光線強 度對應之影像濃度，來檢測產生於該透明基板的端面部之 缺陷之步騍。 拾壹、圖式： 如次頁 37