KR101522365B1 - 빗각조명을 이용한 기판 검사장치 - Google Patents

빗각조명을 이용한 기판 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 관한 것으로서, 카메라와, 제1조명과, 조명블록과, 블록 이동유닛과, 제어부를 포함한다. 카메라는 투과성 재질의 기판의 일측에 배치되고, 기판에 포함된 이물을 촬영한다. 제1조명은 카메라의 광축에 동축적으로 설치되고, 기판을 향해 광을 조사한다. 조명블록은 기판의 타측에 배치되며, 광축이 카메라의 광축과 일정 거리 이격된 상태에서 기판을 향해 광을 조사하는 제2조명과, 제2조명의 광축으로부터 이격되게 설치되고 제1조명에서 조사된 광을 다시 카메라로 재귀반사하는 재귀반사체를 구비한다. 블록 이동유닛은 제2조명의 광축과 교차하는 교차방향으로 조명블록을 이동시킨다. 제어부는 제1조명을 온시키고 제2조명을 오프시킨 상태에서 조명블록을 교차방향을 따라 이동시키다가 재귀반사체의 단부에서 조명블록을 정지시키고, 카메라의 광축이 재귀반사체의 단부와 제2조명의 광축 사이에 배치된 상태에서 제1조명을 오프시키고 제2조명을 온시킨다.

Description

빗각조명을 이용한 기판 검사장치{Apparatus for inspecting substrate using oblique illumination}
본 발명은 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 빗각조명을 이용하여 기판에 포함된 이물을 검사하여 분류할 수 있는 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 관한 것이다.
최근 휴대전화, PDA, PMP, MP3 플레이어 등 다양한 휴대단말기는 양호한 품질의 영상을 제공하기 위해 이들에 적용되는 디스플레이 기판은 대형화되고 있는 추세이다. 휴대단말기 자체의 경박화와 이에 적용되는 디스플레이 기판의 대형화 요구를 충족시키기 위하여, 디스플레이 기판과 별도로 마련되는 키 버튼 대신 디스플레이 기판 자체에 사용자의 입력을 가능하게 하는 터치스크린 방식이 주로 채용되고 있다.
이와 같은 휴대단말기용 기판은 제조 공정 또는 취급 과정에서 기판 표면뿐만 아니라 기판 내부에도 다양한 이물이 포함될 수 있는데, 작업자의 육안 검사뿐만 아니라 카메라와 광학계를 포함한 기판 자동검사장치를 이용한 검사를 통해 기판의 이물을 검사하고 있다.
도 1은 기판에 포함될 수 있는 이물의 종류를 도시한 도면이고, 도 2는 종래의 기판 검사장치의 일례와, 종래의 기판 검사장치를 이용하여 획득한 이물의 이미지를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판(10)에 포함될 수 있는 이물은, 기판(10)의 제조공정 중 기판(10)의 표면에 안착될 수 있는 먼지 등과 같은 부유성 이물(1), 잉크 등과 같이 기판(10)의 표면에 부착될 수 있는 부착성 이물(2), 기판(10) 내부에 생성될 수 있는 내부기공 이물(3), 기판(10) 내부에 이물질이 들어가 형성될 수 있는 내부포함 이물(4) 등이 있다. 이 중 부유성 이물(1)과 세정 가능한 부착성 이물(2)의 경우, 세정공정 등을 통해 제거될 수 있으므로 최종적으로 불량으로 처리되지 않지만, 페인트 등과 같은 세정 불가능한 부착성 이물(2), 내부기공 이물(3), 내부포함 이물(4)은 기판(10)의 제조가 완료되더라도 제거될 수 없으므로 불량으로 처리된다. 따라서 불량 구분은 생산 수율을 관리하는데 매우 중요하다.
도 2를 참조하면, 기판(10)의 이물들을 검사하는 기판 검사장치는, 기판(10)의 일측에 배치되어 기판(10)의 이물을 촬영하는 카메라(30)와, 기판(10)의 타측에 배치되어 카메라(30)의 광축(31)과 동축적으로 기판(10)으로 광을 조사하는 조명(20)을 구비한다.
그러나, 종래의 기판 검사장치에서는 부착성 이물의 이미지(2a)와 내부포함 이물의 이미지(4a)가 거의 동일하게 표시된다. 즉, 카메라의 광축(31)과 조명의 광축(21)이 일치하기 때문에, 부착성 이물(2)와 내부포함 이물(4)의 주변부에서는 광이 투과되고 부착성 이물(2)와 내부포함 이물(4)에서는 광이 차단되어, 카메라(30)를 통해 획득한 영상(A1,A2)을 살펴보면, 부착성 이물의 이미지(2a)와 내부포함 이물의 이미지(4a)가 모두 검게 표시된다. 따라서, 카메라(30)를 통해 획득한 영상만으로는 실제 불량으로 처리되어야 할 내부포함 이물(4)과, 불량으로 처리되지 말아야 할 부착성 이물(2)을 분류할 수 없는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 빗각조명을 이용하여 기판에 포함된 이물을 검사함으로써, 기판의 이물을 그 종류에 따라 명확하게 분류할 수 있고, 기판의 생산수율 또한 향상시킬 수 있는 빗각조명을 이용한 기판 검사장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치는, 투과성 재질의 기판의 일측에 배치되고, 상기 기판에 포함된 이물을 촬영하는 카메라; 상기 카메라의 광축에 동축적으로 설치되고, 상기 기판을 향해 광을 조사하는 제1조명; 상기 기판의 타측에 배치되며, 광축이 상기 카메라의 광축과 일정 거리 이격된 상태에서 상기 기판을 향해 광을 조사하는 제2조명과, 상기 제2조명의 광축으로부터 이격되게 설치되고 상기 제1조명에서 조사된 광을 다시 상기 카메라로 재귀반사하는 재귀반사체를 구비하는 조명블록; 상기 제2조명의 광축과 교차하는 교차방향으로 상기 조명블록을 이동시키는 블록 이동유닛; 및 상기 제1조명을 온시키고 상기 제2조명을 오프시킨 상태에서 상기 조명블록을 상기 교차방향을 따라 이동시키다가 상기 재귀반사체의 단부에서 상기 조명블록을 정지시키고, 상기 카메라의 광축이 상기 재귀반사체의 단부와 상기 제2조명의 광축 사이에 배치된 상태에서 상기 제1조명을 오프시키고 상기 제2조명을 온시키는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 있어서, 상기 재귀반사체는 상기 제2조명의 광축과 가까워지는 방향을 따라 면적이 점차 작아질 수 있다.
본 발명에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 있어서, 상기 제2조명은 상기 기판의 폭 방향을 따라 다수 개의 광원이 일렬로 배치되고, 상기 재귀반사체는 상기 제2조명의 배치 방향을 따라 길게 형성된 직선부와, 상기 직선부로부터 상기 제2조명의 광축 방향으로 돌출되게 형성된 돌출부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 있어서, 상기 재귀반사체와 상기 제2조명의 광축 사이의 거리를 조정하기 위하여, 상기 제2조명의 광축과 가깝거나 멀어지는 방향으로 상기 재귀반사체를 이동시키는 반사체 이동유닛;을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 따르면, 기판의 이물을 그 종류에 따라 명확하게 분류할 수 있고, 불량으로 처리되지 않아도 되는 기판을 선별해 낼 수 있어 기판의 생산수율 또한 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 따르면, 카메라에 입사되는 광량 즉, 기판을 검사하는 환경을 항상 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 본 발명의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치에 따르면, 다양한 이물 또는 다양한 종류의 기판에 대하여 최적의 조명 조건을 설정할 수 있다.
도 1은 기판에 포함될 수 있는 이물의 종류를 도시한 도면이고,
도 2는 종래의 기판 검사장치의 일례와, 종래의 기판 검사장치를 이용하여 획득한 이물의 이미지를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 4는 도 3의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치의 조명블록을 도시한 도면이고,
도 5는 도 3의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치의 작동 과정을 설명하기 위한 도면이고,
도 6은 도 3의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치를 이용하여 획득한 다양한 이물의 이미지를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치의 조명블록을 도시한 도면이고, 도 5는 도 3의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치의 작동 과정을 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 도 3의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치를 이용하여 획득한 다양한 이물의 이미지를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치(100)는, 빗각조명을 이용하여 기판에 포함된 이물을 검사하여 분류할 수 있는 것으로서, 카메라(110)와, 제1조명(120)과, 조명블록(130)과, 블록 이동유닛과, 제어부와, 반사체 이동유닛을 포함한다.
본 발명의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치(100)에 의해 검사되는 기판(10)은 커버 글래스 기판, 베어 글래스 기판, 프린트된 글래스 기판, 터치 스크린 패널, LCD용 유리 기판, OLED용 유리 기판 등과 같이 투과성 재질의 기판(10)인 경우를 예로 들어 설명한다.
상기 카메라(110)는 기판(10)의 일측에 배치되고, 기판(10)에 포함된 이물을 촬영한다. 카메라(110)에는 후술할 제2조명(131)에서 조사되어 기판(10)을 투과하는 광이 입사되며, 카메라(110)는 입사되는 광을 이용하여 기판(10)의 표면 또는 내부를 촬영한다. 입사된 광량의 차이로 인한 그레이 레벨(gray-level)의 차이를 이용하여, 획득된 이미지에서 기판(10)의 표면 또는 내부에 존재할 수 있는 이물의 식별이 가능하다.
본 실시예의 카메라(110)로는 라인 카메라(line camera)가 이용되며, 에어리어 카메라(area camera) 등 기판 검사장치에 사용되는 다양한 이미지 캡쳐수단이 이용될 수 있다.
상기 제1조명(120)은 카메라(110)의 광축(LA1)에 동축적으로 설치되고, 기판(10)을 향해 광을 조사한다. 제1조명(120)은 엘이디(LED) 광원을 이용할 수 있으며, 카메라(110)의 입구부에 동축적으로 설치되어 카메라의 광축(LA1)과 제1조명(120)의 광축은 일치하게 된다.
제1조명(120)에서 조사된 광은 기판(10)을 투과하여 재귀반사체(132)로 입사되며, 재귀반사체(132)에서 재귀반사된 광은 다시 기판(10)을 투과하여 카메라(110)로 입사된다.
상기 조명블록(130)은, 기판(10)을 경계로 하여 카메라(110)와 제1조명(120)이 설치된 위치의 반대편인 기판(10)의 타측에 배치되며, 제2조명(131)과, 재귀반사체(132)를 구비한다.
상기 제2조명(131)은 광축(LA2)이 카메라의 광축(LA1)과 일정 거리(d1) 이격된 상태에서 기판(10)을 향해 광을 조사한다. 투과성 재질의 기판(10)을 검사하는 종래의 기판 검사장치는 대부분 조명의 광축과 카메라의 광축이 일치된 상태에서 기판(10)을 향해 광을 조사하였으나, 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에서는 제2조명의 광축(LA2)과 카메라의 광축(LA1)이 일정 거리(d1) 이격된 상태에서 제2조명(131)은 기판(10)을 향해 광을 조사한다. 이러한 상태에서 광이 조사되면, 제2조명(131)에서 조사된 광은 기판(10)을 투과하여 카메라의 광축(LA1)과 빗각을 이루면서 카메라(110)에 입사될 수 있다.
본 실시예의 제2조명(131)은 기판(10)의 폭 방향을 따라 다수 개의 광원이 일렬로 배치되며, 엘이디(LED) 광원을 이용할 수 있다.
상기 재귀반사체(132)는 제1조명(120)에서 조사된 광을 다시 카메라(110)로 재귀반사하며, 제2조명의 광축(LA2)으로부터 이격되게 설치된다.
본 실시예의 재귀반사체(132)는 제2조명의 광축(LA2)과 가까워지는 방향을 따라 면적이 점차 작아질 수 있다. 도 4를 참조하면, 제2조명의 광축(LA2)으로부터 상대적으로 멀리 위치한 재귀반사체의 단부(132b)로부터 제2조명의 광축(LA2)으로부터 상대적으로 가까이 위치한 재귀반사체의 단부(132a)로 갈수록 면적이 점차 작아지도록 재귀반사체(132)가 형성되어 있다.
예를 들어, 재귀반사체(132)는 제2조명(131)의 배치 방향을 따라 길게 형성된 직선부(133)와, 직선부(133)로부터 제2조명의 광축(LA2) 방향으로 돌출되게 형성된 돌출부(134)를 포함함으로써, 제2조명의 광축(LA2)과 가까워지는 방향을 따라 면적이 점차 작아질 수 있다.
상기 블록 이동유닛(미도시)은 제2조명의 광축(LA2)과 교차하는 교차방향(B1)으로 조명블록(130)을 이동시킨다.
본 실시예의 블록 이동유닛은 공압에 의해 작동하는 공압 실린더, 회전모터 및 볼스크류를 조합한 구조, 리니어모터 및 직선가이드부재를 조합한 구조 또는 기타 직선구동유닛 등에 의해 구현될 수 있으며, 이러한 구성은 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 제어부(미도시)는 제1조명(120), 제2조명(131)의 온오프를 제어하고, 블록 이동유닛의 구동 여부를 제어한다.
기판(10)의 이물을 검사하기 전에는 카메라의 광축(LA1)의 위치를 찾을 수 있도록, 제1조명(120), 제2조명(131) 및 블록 이동유닛을 제어한다. 즉, 제1조명(120)을 온시키고 제2조명(131)을 오프시킨 상태에서, 블록 이동유닛을 이용하여 조명블록(130)을 교차방향(B1)을 따라 이동시키면서 제1조명(120)의 광이 재귀반사체(132)에서 재귀반사되도록 한다. 카메라(110)에 입사되는 광량의 변화를 확인하면서 재귀반사체의 단부(132a), 즉 카메라(110)에 입사되는 광량이 거의 제로가 되는 위치에서 조명블록(130)을 정지시킨다. 위의 과정을 통해 제2조명의 광축(LA2)에 대하여 카메라의 광축(LA1)의 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
이후, 기판(10)의 이물을 검사하는 과정에서는 기판(10)의 이물을 촬영할 수 있는 광이 카메라(110)에 입사되도록 제1조명(120)과 제2조명(131)을 제어한다. 즉, 카메라의 광축(LA1)을 재귀반사체의 단부(132a)와 제2조명의 광축(LA2) 사이의 원하는 위치에 배치한 상태에서 제1조명(120)을 오프시키고 제2조명(131)을 온시킨다. 제2조명(131)에서 조사되는 광이 카메라(110)에 입사되면서 기판(10)의 이물을 촬영할 수 있다.
상기 반사체 이동유닛(미도시)은, 재귀반사체(132)와 제2조명의 광축(LA2) 사이의 거리를 조정하기 위하여, 제2조명의 광축(LA2)과 가깝거나 멀어지는 방향(C1)으로 재귀반사체(132)를 이동시킨다.
기판(10) 재질의 특성 또는 이물의 특성에 따라 이물의 검사에 적합한 광량이 달라질 수 있다. 제2조명의 광축(LA2)과 가깝거나 멀어지는 방향(C1)으로 재귀반사체(132)를 이동시킨 후 재귀반사체(132)의 위치를 고정시키면, 재귀반사체의 단부(132a)와 제2조명의 광축(LA2) 사이의 거리 역시 변경될 수 있다. 이로 인해 재귀반사체의 단부(132a)와 제2조명의 광축(LA2) 사이에서 카메라의 광축(LA1)을 배치시킬 수 있는 위치를 필요에 따라 다양하게 변경시킬 수 있다. 이물의 검사에 적합한 광량을 얻을 수 있는 위치로 재귀반사체(132)를 이동시킴으로써, 다양한 재질의 기판 또는 다양한 이물에 대하여 호환성 있게 검사를 수행할 수 있다.
본 실시예의 반사체 이동유닛은 공압에 의해 작동하는 공압 실린더, 회전모터 및 볼스크류를 조합한 구조, 리니어모터 및 직선가이드부재를 조합한 구조 또는 기타 직선구동유닛 등에 의해 구현될 수 있으며, 이러한 구성은 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.
이하, 도 3 내지 도 6을 참조하면서, 본 실시예의 빗각조명을 이용한 기판 검사장치를 이용하여 기판의 이물을 촬영하는 원리를 간단하게 설명한다.
검사되는 기판(10)의 재질이 변경되지 않는다면, 빗각조명을 이용하여 기판(10)의 이물을 촬영할 때마다, 제2조명의 광축(LA2)과 카메라의 광축(LA1)이 이격된 거리(d1)는 변경되지 않고 일정하게 유지되는 것이 바람직하다.
기판(10)의 이물을 촬영할 때마다 일정한 기준없이 제2조명의 광축(LA2)과 카메라의 광축(LA1)이 이격된 거리(d1)가 매번 변경되면, 제2조명(131)에서 조사되어 카메라(110)로 입사되는 광량이 달라지며, 동일한 종류의 이물이라도 카메라(110)로 입사되는 광량의 차이에 의해 다른 이미지로 보이게 된다. 이러한 광량의 차이로 인한 오류를 방지하기 위하여 본 발명에서는 제1조명(120)과, 재귀반사체(132)와, 블록 이동유닛을 이용한다.
도 5의 (a)를 참조하면, 우선 기판(10)의 이물을 검사하기 전 제2조명의 광축(LA2)을 기준으로 카메라의 광축(LA1)의 위치를 찾는 것이 선행되어야 한다. 이를 위하여 제1조명(120)을 온시키고 제2조명(131)을 오프시킨 상태에서, 블록 이동유닛을 이용하여 조명블록(130)을 교차방향(B1)을 따라 이동시킨다. 조명블록(130)이 위와 같이 이동하면 상대적으로 제1조명(120)의 광이 재귀반사체(132)의 면적이 넓은 단부(132b)에서 재귀반사체(132)의 면적이 좁은 단부(132a)로 이동하면서 조사될 수 있다.
제1조명(120)의 광은 재귀반사체(132)에서 재귀반사되어 카메라(110)에 입사되는데, 면적이 넓은 단부(132b)에서 면적이 좁은 단부(132a)로 갈수록 광량이 점차 줄어든다. 조명블록(130)을 교차방향(B1)을 따라 이동하다가 재귀반사체(132)를 벗어난 위치(재귀반사체의 면적이 좁은 단부(132a))에서는 카메라(110)에 입사되는 광량이 거의 제로가 되는데, 이때 조명블록(130)을 정지시킨다.
재귀반사체(132)에서 재귀반사되어 카메라(110)에 입사되는 광량의 변화를 이용하여 조명블록(130)을 정지시킬 위치를 찾아내고, 재귀반사체(132)의 면적이 좁은 단부(132a)에 카메라의 광축(LA1)이 위치하게 된다.
이후, 도 5의 (b)를 참조하면, 카메라의 광축(LA1)이 재귀반사체(132)의 단부(132a)와 제2조명의 광축(LA2) 사이에 배치된 상태에서 기판(10)의 이물을 검사하는 과정을 수행한다. 카메라(110)에 입사되는 광량이 거의 제로가 되는 위치에 조명블록(130)을 정지시킨 후, 재귀반사체(132)의 단부(132a)와 제2조명의 광축(LA2) 사이의 원하는 위치에 블록 이동유닛을 이용하여 조명블록(130)을 이동시킬 수 있다.
이때, 기판(10)의 이물을 촬영할 수 있는 광이 카메라(110)에 입사되도록 제1조명(120)을 오프시키고 제2조명(131)을 온시킨다. 기판(10)이 진행방향을 따라 이동하는 동안 제2조명(131)에서 조사되는 광은 기판(10)을 투과하여 카메라의 광축(LA1)에 대하여 빗각을 이루면서 카메라(110)에 입사되고, 이러한 빗각조명을 이용하여 기판(10)의 이물을 촬영한다.
도 6을 참조하면, 빗각조명을 이용하여 기판(10)의 이물을 검사할 경우, 불량으로 처리되지 않는 부착성 이물(2)과, 불량으로 처리되어야 하는 내부기공 이물(3), 내부포함 이물(4) 등을 명확하게 분류할 수 있다.
카메라(110)를 통해 획득한 영상(A3,A4,A5)을 살펴보면, 부착성 이물(2)의 이미지(2a)는 전체적으로 검은 색의 평면 형상으로 나타난다. 한편, 내부기공 이물(3)의 이미지(3a)는 중앙부를 중심으로 일측은 흰색, 반대측은 검은 색의 형상으로 나타난다. 내부포함 이물(4)의 이미지(4a)는 중앙부를 중심으로 4개의 부분으로 분할되면서, 2개의 부분은 흰색, 나머지 2개의 부분은 검은 색의 형상으로 나타난다.
부착성 이물(2)은 기판(10)의 표면에만 부착되므로 기판(10) 내부의 결합 구조를 변경시키지 않으므로, 그 이미지(2a)는 전체적으로 검은 색의 평면 형상으로 나타난다. 그러나, 내부기공 이물(3)과 내부포함 이물(4)은 기판(10)의 내부에 포함되면서 그 주위의 기판(10) 내부의 결합 구조를 변경시키므로, 제2조명(131)에서 조사된 광이 카메라의 광축(LA1)에 대하여 빗각을 이루면서 입사되는 과정에서 기판(10) 내부의 이물 주위에서 굴절률이 변경될 수 있다. 따라서, 내부기공 이물(3)의 이미지(3a)와 내부포함 이물(4)의 이미지(4a)는 부착성 이물(2)의 이미지(2a)와 다르게 나타나고, 내부기공 이물(3)의 이미지(3a)와 내부포함 이물(4)의 이미지(4a) 상호 간에도 서로 다르게 나타난다.
이러한 이미지의 차이를 이용하여 영상처리를 수행할 경우 빠른 시간 내에 양불을 구분할 수 있는 장점이 있다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치는, 빗각조명을 이용하여 기판에 포함된 이물을 검사함으로써, 기판의 이물을 그 종류에 따라 명확하게 분류할 수 있고, 불량으로 처리되지 않아도 되는 기판을 선별해 낼 수 있어 기판의 생산수율 또한 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치는, 재귀반사체를 이용하여 제2조명의 광축과 카메라의 광축이 이격된 거리를 일정하게 유지한 상태에서 이물을 검사함으로써, 카메라에 입사되는 광량 즉, 기판을 검사하는 환경을 항상 일정하게 유지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 빗각조명을 이용한 기판 검사장치는, 반사체 이동유닛을 이용하여 필요에 따라 제2조명의 광축과 카메라의 광축 사이의 간격을 조정함으로써, 다양한 이물 또는 다양한 종류의 기판에 대하여 최적의 조명 조건을 설정할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 빗각조명을 이용한 기판 검사장치
110 : 카메라
120 : 제1조명
130 : 조명블록
131 : 제2조명
132 : 재귀반사체

Claims (4)

  1. 투과성 재질의 기판의 일측에 배치되고, 상기 기판에 포함된 이물을 촬영하는 카메라;
    상기 카메라의 광축에 동축적으로 설치되고, 상기 기판을 향해 광을 조사하는 제1조명;
    상기 기판의 타측에 배치되며, 광축이 상기 카메라의 광축과 일정 거리 이격된 상태에서 상기 기판을 향해 광을 조사하는 제2조명과, 상기 제2조명의 광축으로부터 이격되게 설치되고 상기 제1조명에서 조사된 광을 다시 상기 카메라로 재귀반사하는 재귀반사체를 구비하는 조명블록;
    상기 제2조명의 광축과 교차하는 교차방향으로 상기 조명블록을 이동시키는 블록 이동유닛; 및
    상기 제1조명을 온시키고 상기 제2조명을 오프시킨 상태에서 상기 조명블록을 상기 교차방향을 따라 이동시키다가 상기 재귀반사체의 단부에서 상기 조명블록을 정지시키고, 상기 카메라의 광축이 상기 재귀반사체의 단부와 상기 제2조명의 광축 사이에 배치된 상태에서 상기 제1조명을 오프시키고 상기 제2조명을 온시키는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 빗각조명을 이용한 기판 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 재귀반사체는 상기 제2조명의 광축과 가까워지는 방향을 따라 면적이 점차 작아지는 것을 특징으로 하는 빗각조명을 이용한 기판 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2조명은 상기 기판의 폭 방향을 따라 다수 개의 광원이 일렬로 배치되고,
    상기 재귀반사체는 상기 제2조명의 배치 방향을 따라 길게 형성된 직선부와, 상기 직선부로부터 상기 제2조명의 광축 방향으로 돌출되게 형성된 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 빗각조명을 이용한 기판 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 재귀반사체와 상기 제2조명의 광축 사이의 거리를 조정하기 위하여, 상기 제2조명의 광축과 가깝거나 멀어지는 방향으로 상기 재귀반사체를 이동시키는 반사체 이동유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 빗각조명을 이용한 기판 검사장치.
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