TWI306905B - Substrate carrier - Google Patents

Description

l3〇69〇5 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】

本項發明是有關一種依照申請專利範圍第1項之前士 的載具。 D 【先前技術】 基板通常是在喷濺塗覆單元内被導引經過一所謂的乾 _部，粒子是從其表面喷濺出去，被沈積至該基板上。由於 例如是玻璃板的基板被使用，其等會被輸送經過一直線排 列的噴濺塗覆單元。這些玻璃板則是被設定進入至一個與 輸送裝置相連結之框架内。 一種用於輸送基板進入和經過例如是真空處理單元的 裝置已為眾人所習知，其包含有一巨大足部係由二個與一 軌道相聯之車輪組和一支撐軸承所組成（參考專利DE 4139549A1)。將被處理的該等基板在此是藉由一長方形 φ 基板握持器之作用而被保持住。 另外，一種用於安裝一圓形基板的環狀基板握持器亦 斤驾知，此種基板握持器依序是藉由四個等距離的 刀配用握持臂而被保持住（參考專利DL· 1 02 1 1 827C 1 )。 倘若握持在框架内之基板的熱膨脹係數不同於該框架 的…膨脹係數時，基板的邊緣處會被不均勻塗佈且單側的 塗佈量過夕。在晶圓之情況中，此種現象被視為是，，邊緣排 斥亦即是該晶圓的周邊區域並未被塗佈。 1306905 【發明内容】 於是，本項發明描述了提供—基板載具所產生的問題， 其中該等基板是被均勻塗佈和該邊緣處並未被塗佈成太 厚。 以上問題的解決係依據申請專利範圍第丨項之該等特 徵。 < . 因此，本項發明是有關一種基板載具，其中該載具至 少部份的組成材料之熱膨脹係數是高於該基板之熱膨脹係 數。為了要避免’或是至少降低該基板於該邊緣處產生不 均勻塗佈的狀況，特別是在噴濺塗覆程序期間時，一連接 板是沿著中央地被連結至該載具。此連接板所具有的熱膨 脹係數則是低於它被鎖附至之該載具區域的熱膨脹係數。 經由本項發明所得到之優點特別是其中經由結合重量 輕、成本經濟的鋁材（其熱膨脹量較大）與一熱膨脹量較 低的材料（例如是鈦材質）之中央定位機構，該，，邊緣排斥” 現象得以被減少。 【實施方式】 本項發明之應用實施例是被表示於下列該等圖式中， 並且於下列圖形中被詳加描述。 圖一 a到圖一 c表示出—面基板2被支持於一傳統式 基板載具1之連接板3、4上的工作原理。以上問題的解 決方式將結合此圖形來加以說明。該基板將被假設是破螭 材質，同時，該基板載具丨是由鋁材所組成。 1306905 圖一 a表示出大約异摄芘 疋攝氏20度的狀態（其中攝氏0度 是等於273Λ5絕對溫度’亦即是攝氏2Q度料293 15絕 對溫度）。基板2的末端4q、4i是會緊鄰著連接板3“ 之突出部位42、43。亓株玆胁 Λ , 件彳夺就44是代表著即將被塗佈之 基板2的側邊。該基板2在圖—a所描述之位置中，該基 板2中被該等連接板3、4所蓋住的區域a、b於被喷減時， 並未被塗佈。該等區域㈠的尺寸是相同。 然而’喷濺塗覆作用的發生溫度是要比上述之溫度高 220絕對溫度（大約是513.15絕對溫度），在此—高溫之 下，玻璃和銘材的熱膨服狀況是有所不同。圖―b和圖— C表示出此種不同熱膨脹狀況的作用。該等銘材的連接板 3、4是會彼此相互連結（其連結方式並未被表示出來）， 而且更進一步往内朝向超過基板2的側邊。其中產生二種 不同的相互影響因I’ -相互影響因素是被描述於圖一 b 中’而且另外一種相互影_素則是被描述於圖- c中。 從實際的結果中可以得知，基板2的該等末端區域… 46 '其中之一末端區域通常是要比另一末端區域更加牢固 地倚靠於連接板3、4 i，其結果則是被表示於其中一末 端區域’在圖—b中為該末端區域乜，是會移動離開突出 .P位42 ’而另一末端區域45則維持其原先的位置。 ^ 該基板2於該末端區域46是幾乎完全被塗佈， 而在該末端區域45則保持未被塗佈。 圖c表不出其中該末端區域“維持其原先位置，而 該末端區域45移動離開連接板4之應用實例。 1306905 於是，在圖一 b中，’’ i蠢絡知t & ,， Λ 你口 r遭緣排斥，，現象是發生於末端區 域4 5 ’相反地，在圖一 c中，，，、息从：过〆 你口 ^ 邊緣排斥”現象是發生於末 端區域46。 倘若該基板是-寬度為195〇公厘之玻璃板，而且倘若 溫度差例如是220絕對溫度，玻璃的熱膨脹量是丨.6公厘 且铭材的熱膨服量是10·2公厘。區段部份1的長度則為&6 公厘。 圖二表示出一依照本項發明之基板載具丨，其具有基 板2。基板2則仍是一玻璃板。此基板載具丨基本上是由 一帶有一垂直連接板3、4和二水平板5、6的框架所組成。 該二垂直連接板3、4例如是鈦材質連接板。然而，該二 垂直連接板亦可以由其他材料所組成。該等水平板5、6 較佳是包含有鋁材及分別採用螺栓或鉚釘7 ' 8、9、1 〇或 11到16而被連結至該等垂直連接板3、4的末端處為較適 宜。接近基板2之下方處是會延伸出一相當薄的鈦材質連 接板1 7，此連接板1 7的每一末端則是具有一往上導引之 指狀部位18、19。此連接板17是沿著中央採用螺栓2 〇或 其他類似方式地被連結至該銘材板6。在位於連接板17之 下方的該鋁材板6内是被提供有一溝槽（圖形中未表示出 來），用以導引該鈦材質連接板17。 倘若基板2並未具有連接板1 7和指狀部位1 8、19， 亦即是該基板僅停靠接觸於該等鋁材板5、6上，該基板2 被輸送經過一加熱喷濺塗覆室，該等鋁材板5、6的熱膨 脹量是會大於由玻璃組成之該基板2的熱膨脹量。於是， 1306905 如同圖一 a到圖一 c之所示，連接板3、4是會背離彼此而 移動，其代表著該基板2不再受到此等連接板3、4的限 制。基板2的左側邊緣是位於連接板3上（參考圖一 ^ )， 而且匕的右側邊緣則是位於連接板4上（參考圖一 b)。 在任何一項應用實例中，由於基板2無法相對於連接板3、 4而被女置在中央，導致該基板2的邊緣被不均勻地塗佈。 相反地，倘若該基板是被安置於鈦材質連接板17的指 狀部位18、19之間，由於該鈦材質連接板17的中央是被 連結至鋁材板6之中央部位，該基板2則依然維持在中央。 該鈦材質連接;fe 17是會相•於螺检2〇❿對稱地朝向左側 和右側移動。 因為鈦材質的熱膨脹係數遠低於鋁材的熱膨脹係數， 該基板2僅會相對於指狀部纟18、19而略微移動一段距 離。於是’它能夠相對於該等垂直連接板3、4而維持在 中央。 此之作用原理係再一次被表示於圖三a到圖三c中。 圖三a表示出大約是攝氏2〇度的狀態。該等鈦材質連 接板Π的心狀部位18、19 _方面是會緊鄰著該基板之突 出部位42、43,另外—方面則是會緊鄰著該基板之末端40、 41° 一 疋絕對/皿度，其所產生如同圖三 b、圖二c之所示之相互影響因素。 由於隨著溫度的辦A I, Jjg. . 的增加，鈦材質的熱膨脹量是遠小於鋁 材的熱膨服量，基; 板2僅會分別相對於鈦材質連接板17 1306905 之指狀部位或18而具有些許容差c或d。相較於如圖 一 b和圖-e所示之情況，該基板2的塗覆狀況會更加均 句。當溫度差4 220絕對溫度時，該鈦㈣連接板^於 假設之寬度上僅會膨脹3.5公厘。以此之該等距離c和d 則僅為i.9公厘。例如是陶竞之具有低熱膨服量的其他材 料是可以被用來取代鈦材質，其等陶究是另外選擇性地採 用玻璃纖維來增加強度。 在圖四中表示出-經過依照圖三a之構形的剖面b — B。鈦材質連接板π的該等指狀部位18、19在此載被明 顯表示出來。在此，該等框架3、4、5〇是整體由相同材 料（例如是鋁材）所組成。 【圖式簡單說明】 圖式中： 圖-a到圖-e為-具有-不同熱膨脹量的基板之基 板载具的基本示意圖， 圖二為一具有相當低熱膨脹係數材料 質）之連接板的框架型式基板載具， 意圖， 圖三a到圖三c為解釋本項發明之操作功能的概略示 圖四為經過如圖三a所示之裝置中的Β〜β剖面視圖 b區域 【主要元件符號說明】 a區域 1306905

C距離 1區段部份 1基板載具 3連接板 5水平板 7螺栓或鉚釘 9螺栓或鉚釘 11螺栓或鉚釘 13螺栓或鉚釘 1 5螺栓或鉚釘 17連接板 19指狀部位 40末端 42突出部位 44側邊 46區域 d距離 2基板 4連接板 6水平板 8螺栓或鉚釘 1 0螺栓或鉚釘 12螺栓或鉚釘 14螺栓或鉚釘 16螺栓或鉚釘 1 8指狀部位 20螺栓 41末端 43突出部位 45區域 50框架 11

Claims (1)

1. '1306905

   申請專利範圍： 口 膨脹係數曰、中該載具至少部份的組成材料之熱 是、，儿=於該基板之熱膨脹係數，其中-連接板（Π) 接Z中央地被鎖附在該載具⑴的一特定區域内，該連 具有的熱膨脹係數低於它被鎖附至 熱膨脹係數。 ^載具區域的 其中該連接板（1 7 ) ’於該等突出部位之 其中載具（1 )是被 其中該载具（1)至 2.如申請專利範圍第I項之載具 方、匕的末端具有突出部位（18、19) 間被安置於該基板（2 )的一末端處 3·如申請專利範圍第1項之載具 實行成一框架之形式。 4.如申凊專利範圍第1項之載具 少部伤（5、6)是由鋁材所組成。 …請專利範圍第1項之載具’其中該載具包含有二 (3、4)和二水平板（5、6)，該水平板（5、 6)疋由鋁材所組成。 ::專利乾圍第5項之載具’其中該二垂直連接板 (3 4)疋由鈦材質所組成。 -玻Z申請專利範圍第1項之載具，其中該基板⑴是 广:申請專利範圍第〗項之載具，其中被鎖附至該載且 ()的该連接板（17)是由鈦材質所組成。 9_如申請專利範圍第5項之載具，其中 是被與該載具⑴的該該垂直連接板（3 =?) 夕乞该该末端 12 -1306905 末端連結，並且該連接板（1 7 )是沿著中央地被與該該水 平板的下侧部位（6 )連結。 1 〇.如申請專利範圍第1項之載具，其中安置有該連接 板（1 7 )的該板（6 )是包含有一用於該連接板（1 7 )之水 平導件。 十一、圖式：

   如次頁

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