JP2004211133A - ガラス基板成膜用治具 - Google Patents
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Abstract
【課題】スパッタリング装置内でガラス基板とマスク板との位置合わせおよびその固定を簡単に行うことができるようにする。
【解決手段】ガラス基板100をスパッタリング装置内のスパッタホルダにセットする際に用いられるガラス基板成膜用治具であって、スパッタホルダに支持され、ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板200と、ガラス基板100の反マスク面側に配置され、マグネットMによる磁気的吸着力によりマスク板200に対してガラス基板100を押し付ける押え板300とを含み、マスク板200自体にガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段(係止鉤210と基板載置台220)を備えさせた。
【選択図】 図1
【解決手段】ガラス基板100をスパッタリング装置内のスパッタホルダにセットする際に用いられるガラス基板成膜用治具であって、スパッタホルダに支持され、ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板200と、ガラス基板100の反マスク面側に配置され、マグネットMによる磁気的吸着力によりマスク板200に対してガラス基板100を押し付ける押え板300とを含み、マスク板200自体にガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段(係止鉤210と基板載置台220)を備えさせた。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板成膜用治具に関し、さらに詳しく言えば、液晶表示素子などに含まれるガラス基板の片面にスパッタリング装置で膜を成膜する際に、そのガラス基板をスパッタリング装置内のスパッタホルダにセットするためのガラス基板成膜用治具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示素子の分野において、反射型や半透過半反射型の液晶パネルには、その一方のガラス基板に光反射膜が設けられる。光反射膜には完全反射膜とハーフミラー的な反射膜とがあるが、通常、この種の反射膜はアルミニウムや銀などが用いられ、その成膜は原子レベルでの成膜が可能なスパッタリングによることが多い。
【0003】
スパッタリング装置で液晶パネル用のガラス基板に反射膜を成膜する場合、不要な部分(例えば、表示部の外側)を成膜対象外とするため、ガラス基板にはマスクがかけられるが、その位置合わせには高い精度が要求される。
【0004】
従来より、マスクの位置合わせは、特許文献1のように専用の治具を用いて行われるのが一般的であるが、ここでは、本発明にもっとも関連性がある例を図6(a)ないし図6(c)により説明する。
【0005】
まず、図6(a)を参照して、この従来例では、ガラス基板10とマスク板20との位置合わせを行うため、専用治具として定規盤30を用いる。また、ガラス基板10をマスク板20に固定するため、マスク板20を磁性体とし、ガラス基板10の上にマグネットMを置いて、その磁気的吸着力にてガラス基板10をマスク板20に固定する方法を採用している。
【0006】
なお、ガラス基板10は液晶パネル用であって、この例では、ガラス基板10の周辺の非表示部のみをマスクするため、マスク板20には単純な矩形状の枠体が用いられている。
【0007】
定規盤30には、ガラス基板10の隣接する2辺10b,10cに当接して、その2辺間の角10aを仮想の定点に位置決めするための3つのピン31a,31b,31cが立てられている。マスク板20には、これらの各ピン31a,31b,31cと対応する位置に孔21a,21b,21cが設けられている。
【0008】
ガラス基板10とマスク板20の位置合わせを行うには、まず、ピン31a,31b,31cに孔21a,21b,21cを挿通させてマスク板20を定規盤30上に置く。次に、ガラス基板10をマスク板20の上に置いて、その一方の辺10bを2本のピン31a,31bに、また、他方の辺10cを1本のピン31cにそれぞれ突き当てて、角10aの定点出しを行う。
【0009】
これにより、ガラス基板10とマスク板20とが位置合わせされ、これを固定するため、ガラス基板10の例えば4隅にマグネットMを置く。次に、図6(b)に示すように、マグネットMを付けたままガラス基板10とマスク板20とを定規盤30から外す。
【0010】
そして、図6(c)に示すように、マグネットMにより固定されたガラス基板10とマスク板20との組みを、スパッタリング装置のスパッタホルダ40の開口内に懸架する。図示しないが、スパッタリングターゲットは、図6(c)において、スパッタホルダ40の右側に配置されている。
【0011】
なお、スパッタホルダ40の開口内には、例えば図6(c)の拡大図に示すようなバネクリップ41が設けられており、マスク板20の端部をバネクリップ41に差し込めばよいようになっている。
【0012】
【特許文献1】
特開平10−204615号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例では、ガラス基板10の上にマグネットMを置くだけで、ガラス基板10とマスク板20とを簡単に固定することができる。
【0014】
しかしながら、他方において、固定手段がマグネットMであるがゆえに、定規盤30から外して、スパッタホルダ40にセットするまでの間のハンドリングでずれが生じやすく、一旦、ずれが生ずると、再度、定規盤30にて位置合わせしてリセットしなければならず、その分、余計な手間がかかる。
【0015】
また、上記従来例によると、スパッタリング装置外での位置合わせ作業と、スパッタリング装置内のスパッタホルダ40に対するセット作業とを別々に行わなければならないため、作業効率がよくない。それに、場合によってではあるが、定規盤30という専用の位置合わせ治具を液晶パネルの機種ごとに用意する必要がある。
【0016】
したがって、本発明の課題は、スパッタリング装置外で定規盤などという大掛かりな専用治具による位置合わせ作業を不要とし、スパッタリング装置内で、ガラス基板とマスク板との位置合わせおよびその固定を簡単に行えるようにすることにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、スパッタリング装置でガラス基板の片面に膜を成膜する際に、上記ガラス基板を上記スパッタリング装置内のスパッタホルダにセットするためのガラス基板成膜用治具であって、上記スパッタホルダに支持され、上記ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板と、上記ガラス基板の反マスク面側に配置され、マグネットによる磁気的吸着力により上記マスク板に対して上記ガラス基板を押し付ける押え板とを含み、上記マスク板自体に、上記ガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段を備えていることを特徴としている。
【0018】
本発明において、上記基板保持手段は、上記マスク板の上辺側に配置され、下方から上記ガラス基板の上縁が差し込まれる係止溝を有する係止鉤と、上記マスク板の下辺側に配置され、上記ガラス基板の下縁角部の2辺と対向するL字型の位置決め面を有する基板載置台とを備えていることが好ましく、これによれば、いわゆるワンタッチ的な操作で、上記ガラス基板の上記マスク板に対する位置合わせてと固定とを同時に行うことができる。
【0019】
また、上記押え板は、中央部に開口された四角形状の窓を備え、上記窓の対向する2対の辺のうちの少なくとも一方の対をなす2辺には、反マスク面側に折り曲げられたフランジ板が設けられていることが好ましく、これによれば、上記フランジ板によりターゲット物質(スパッタ原子)のガラス基板の裏面側への回り込みが阻止される。
【0020】
【発明の実施の形態】
次に、図1ないし図5を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は本発明によるガラス基板成膜用治具を示す分解斜視図,図2は同ガラス基板成膜用治具をスパッタリング装置内のスパッタホルダに取り付ける状態を示す縦断面図,図3は図2の横断面図である。なお、スパッタホルダは、先に説明した従来例と同じであってよい。
【0021】
このガラス基板成膜用治具は、例えば液晶パネル用のガラス基板100の片面に光反射膜を成膜する際に用いられるもので、ガラス基板100の所定部位をマスクするマスク板200と、ガラス基板100をマスク板200に押し付けて固定する押え板300とを備えている。
【0022】
マスク板200は磁性体からなり、この例ではSUS430CPが用いられている。マスク板200のマスクパターンを選択することにより、ガラス基板100に光反射膜を種々のパターンで形成できるが、この例においては、ガラス基板100の中央部の表示領域に完全反射膜を形成するため、マスク板200はガラス基板100の周辺部の非表示領域をマスクする四角形状の枠体として形成されている。
【0023】
マスク板200の図1における下面側が図示しないスパッタリングターゲットと向かい合う面で、その反対側の面の上面がガラス基板装着面201である。マスク板200の左右の両側辺には、ガラス基板装着面201側にほぼ直角に折り曲げられたフランジ板202,202が連設されている。このフランジ板202,202は、ターゲット物質のガラス基板100の裏面側への回り込み防止と、マスク板200の強度アップを意図して設けられたものである。
【0024】
また、マスク板200のガラス基板装着面201には、ガラス基板100の位置決めを兼ねた基板保持手段が設けられている。この例において、基板保持手段は、係止鉤210と基板載置台220とからなる組みを2組備えている。すなわち、2つの係止鉤210,210と、2つの基板載置台220,220とを有し、ガラス基板100の大きさに合わせて、係止鉤210,210はマスク板200の上辺203側の両端に配置され、基板載置台220,220はマスク板200の下辺204側の両端に配置されている。
【0025】
係止鉤210,210は同一構成であってよく、その一方を図4に示す。これによると、係止鉤210は側面視逆L字状であって、マスク板200との間で下方からガラス基板100の上縁101が差し込まれる係止溝211を形成している。ガラス基板100を差し込みやすくするため、係止溝211の開口端を面取り加工することが好ましい。
【0026】
基板載置台220,220は左右対称の同一構成で、その一方(図1において左側)を図5に示す。基板載置台220は、ガラス基板100の下縁角部を支持するもので、その下縁角部の2辺と対向するL字型の位置決め面221,222を備えている。
【0027】
すなわち、一方の位置決め面221上にガラス基板100の下縁が載置され、これにより、マスク板200に対するガラス基板100の上下方向の位置が規定される。また、他方の位置決め面222に沿ってガラス基板100の側縁103を配置することにより、マスク板200に対するガラス基板100の左右方向の位置が規定される。
【0028】
基板載置台220,220の間にガラス基板100を配置しやすくするため、図5に示すように、位置決め面222に所定傾斜角のテーパを付けることが好ましい。また、ガラス基板100の脱落防止のため、位置決め面221の上方の少なくとも一部に庇部を形成することが好ましい。
【0029】
なお、この例とは異なり、係止鉤210を1本のレール状としてもよい(基板載置台220側も同様)。また、係止鉤210および基板載置台220は、金属製(磁性,非磁性を問わない),合成樹脂製のいずれであってもよい。
【0030】
押え板300も磁性体からなり、この例ではマスク板200と同じくSUS430CPが用いられている。押え板300は、マスク板200に装着されたガラス基板100の裏面側に配置される。押え板300の裏面(反ガラス基板側)にはマグネットMが設けられており、押え板300は、その磁気的吸着力によりガラス基板100をマスク板200に対して押し付ける。
【0031】
押え板300は、マグネットMの磁気的吸着力によりガラス基板100に密着するため、その間にゴミなどがあるとガラス基板100に傷を付けるおそれがある。これを防止する意味で、押え板300の中央部には、大きく開口された窓310が形成されている。
【0032】
押え板300に窓310を開けることにより、ガラス基板100の裏面が露出されることになるため、そこに回り込んできたターゲット物質がガラス基板100に付着するおそれがある。
【0033】
これを防止するため、押え板300にも、窓310の左右両端からほぼ直角に起立したフランジ板311,311が形成されている。また、このフランジ板311,311は、押え板300の持ち手としても利用することができる。
【0034】
次に、図2および図3を参照して、このガラス基板成膜治具を用いて、ガラス基板100に光反射膜を成膜する手順の一例について説明する。本発明の好ましい態様によると、マスク板200は、清掃やメンテナンスなどの特定の場合を除いて、通常は、スパッタリング装置内のスパッタホルダ40に懸架した状態に置かれる。
【0035】
この例において、マスク板200の懸架は、その上辺203側と下辺204側とをスパッタホルダ40に設けられているバネクリップ41,41にくわえさせることにより行う。なお、この例も含めて、通常、マスク板200を保持するスパッタホルダ40は、その複数セット(例えば、3セット程度)が上下方向につなげられており、したがって、ターゲット物質のガラス基板100の裏面側への回り込みの多くは、マスク板200の側方からのものである。
【0036】
ガラス基板100に光反射膜を成膜するには、まず、ガラス基板100をマスク板200にセットする。その場合、ガラス基板100の上縁101を係止鉤210,210に差し込んだのち、ガラス基板100の下縁102を基板載置台220,220に載せることにより、ガラス基板100のマスク板200に対する位置合わせが行える。
【0037】
次に、ガラス基板100の裏面側に押え板300をあてがって、例えば4個のマグネットMを押え板300の四隅に配置する。これにより、マグネットMの磁気的な吸着力にて押え板300を介してガラス基板100がマスク板200に押し付けられる。
【0038】
そして、スパッタリングが行なわれ、ガラス基板100の片面に金属膜よりなる光反射膜が成膜されるのであるが、その際、マスク板200の側方からのターゲット物質の回り込みがあったとしても、この例では、マスク板200にフランジ板202,202が、また、押え板300にもフランジ板311,311が設けられているため、この2重のフランジ板による堰にて、ターゲット物質のガラス基板100の裏面側への付着が防止される。
【0039】
光反射膜の成膜後には、マグネットMおよび押え板300を取り外したのち、マスク板200からガラス基板100を取り出せばよい。なお、上記実施形態の説明では、マスク板200と押え板300の双方にフランジ板202,311をそれぞれ設けるようにしているが、いずれか一方のフランジ板を省略するのであれば、押え板300のフランジ板311は持ち手としても利用することができるため、マスク板200の方のフランジ板202を省略することが好ましい。
【0040】
また、回り込みターゲット物質のガラス基板100の裏面側への付着をより効果的に防止するには、押え板300の窓310の上下両端にもフランジ板を立設して、窓310の四方をフランジ板で囲むようにすればよい。本発明は、上記実施形態で説明した液晶パネル用のガラス基板のみを成膜対象とするものではなく、他の用途のガラス基板の成膜にも当然に適用されてよい。
【0041】
また、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することができる。例えば、スパッタホルダに対するマスク板の支持手段をバネクリップに代えて、ネジ止めとしてもよい。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、スパッタリング装置でガラス基板の片面に膜を成膜する際に、そのガラス基板をスパッタリング装置内のスパッタホルダにセットする際に用いられるガラス基板成膜用治具であって、スパッタホルダに支持され、ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板と、ガラス基板の反マスク面側に配置され、マグネットによる磁気的吸着力によりマスク板に対してガラス基板を押し付ける押え板とを含み、マスク板自体にガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段を備えさせたことにより、スパッタリング装置内でガラス基板とマスク板との位置合わせおよびその固定を簡単に行うことができる。
【0043】
したがって、スパッタリング装置外での定規盤などによる位置合わせ作業が不要となり、また、位置合わせしたものをスパッタリング装置内に搬入する際のずれ発生などの課題が解消され、コスト低減と生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるガラス基板成膜用治具を示す分解斜視図。
【図2】上記ガラス基板成膜用治具をスパッタリング装置内のスパッタホルダに取り付ける状態を示す縦断面図。
【図3】図2の横縦断面図。
【図4】基板保持手段に含まれる係止鉤を示す斜視図。
【図5】基板保持手段に含まれる基板載置台を示す斜視図。
【図6】従来のガラス基板成膜用治具を用いての成膜手順を示す説明図。
【符号の説明】
100 ガラス基板
200 マスク板
202 フランジ板
210 係止鉤
220 基板載置台
300 押え板
310 窓
311 フランジ板
40 スパッタホルダ
M マグネット
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板成膜用治具に関し、さらに詳しく言えば、液晶表示素子などに含まれるガラス基板の片面にスパッタリング装置で膜を成膜する際に、そのガラス基板をスパッタリング装置内のスパッタホルダにセットするためのガラス基板成膜用治具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示素子の分野において、反射型や半透過半反射型の液晶パネルには、その一方のガラス基板に光反射膜が設けられる。光反射膜には完全反射膜とハーフミラー的な反射膜とがあるが、通常、この種の反射膜はアルミニウムや銀などが用いられ、その成膜は原子レベルでの成膜が可能なスパッタリングによることが多い。
【0003】
スパッタリング装置で液晶パネル用のガラス基板に反射膜を成膜する場合、不要な部分(例えば、表示部の外側)を成膜対象外とするため、ガラス基板にはマスクがかけられるが、その位置合わせには高い精度が要求される。
【0004】
従来より、マスクの位置合わせは、特許文献1のように専用の治具を用いて行われるのが一般的であるが、ここでは、本発明にもっとも関連性がある例を図6(a)ないし図6(c)により説明する。
【0005】
まず、図6(a)を参照して、この従来例では、ガラス基板10とマスク板20との位置合わせを行うため、専用治具として定規盤30を用いる。また、ガラス基板10をマスク板20に固定するため、マスク板20を磁性体とし、ガラス基板10の上にマグネットMを置いて、その磁気的吸着力にてガラス基板10をマスク板20に固定する方法を採用している。
【0006】
なお、ガラス基板10は液晶パネル用であって、この例では、ガラス基板10の周辺の非表示部のみをマスクするため、マスク板20には単純な矩形状の枠体が用いられている。
【0007】
定規盤30には、ガラス基板10の隣接する2辺10b,10cに当接して、その2辺間の角10aを仮想の定点に位置決めするための3つのピン31a,31b,31cが立てられている。マスク板20には、これらの各ピン31a,31b,31cと対応する位置に孔21a,21b,21cが設けられている。
【0008】
ガラス基板10とマスク板20の位置合わせを行うには、まず、ピン31a,31b,31cに孔21a,21b,21cを挿通させてマスク板20を定規盤30上に置く。次に、ガラス基板10をマスク板20の上に置いて、その一方の辺10bを2本のピン31a,31bに、また、他方の辺10cを1本のピン31cにそれぞれ突き当てて、角10aの定点出しを行う。
【0009】
これにより、ガラス基板10とマスク板20とが位置合わせされ、これを固定するため、ガラス基板10の例えば4隅にマグネットMを置く。次に、図6(b)に示すように、マグネットMを付けたままガラス基板10とマスク板20とを定規盤30から外す。
【0010】
そして、図6(c)に示すように、マグネットMにより固定されたガラス基板10とマスク板20との組みを、スパッタリング装置のスパッタホルダ40の開口内に懸架する。図示しないが、スパッタリングターゲットは、図6(c)において、スパッタホルダ40の右側に配置されている。
【0011】
なお、スパッタホルダ40の開口内には、例えば図6(c)の拡大図に示すようなバネクリップ41が設けられており、マスク板20の端部をバネクリップ41に差し込めばよいようになっている。
【0012】
【特許文献1】
特開平10−204615号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例では、ガラス基板10の上にマグネットMを置くだけで、ガラス基板10とマスク板20とを簡単に固定することができる。
【0014】
しかしながら、他方において、固定手段がマグネットMであるがゆえに、定規盤30から外して、スパッタホルダ40にセットするまでの間のハンドリングでずれが生じやすく、一旦、ずれが生ずると、再度、定規盤30にて位置合わせしてリセットしなければならず、その分、余計な手間がかかる。
【0015】
また、上記従来例によると、スパッタリング装置外での位置合わせ作業と、スパッタリング装置内のスパッタホルダ40に対するセット作業とを別々に行わなければならないため、作業効率がよくない。それに、場合によってではあるが、定規盤30という専用の位置合わせ治具を液晶パネルの機種ごとに用意する必要がある。
【0016】
したがって、本発明の課題は、スパッタリング装置外で定規盤などという大掛かりな専用治具による位置合わせ作業を不要とし、スパッタリング装置内で、ガラス基板とマスク板との位置合わせおよびその固定を簡単に行えるようにすることにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、スパッタリング装置でガラス基板の片面に膜を成膜する際に、上記ガラス基板を上記スパッタリング装置内のスパッタホルダにセットするためのガラス基板成膜用治具であって、上記スパッタホルダに支持され、上記ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板と、上記ガラス基板の反マスク面側に配置され、マグネットによる磁気的吸着力により上記マスク板に対して上記ガラス基板を押し付ける押え板とを含み、上記マスク板自体に、上記ガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段を備えていることを特徴としている。
【0018】
本発明において、上記基板保持手段は、上記マスク板の上辺側に配置され、下方から上記ガラス基板の上縁が差し込まれる係止溝を有する係止鉤と、上記マスク板の下辺側に配置され、上記ガラス基板の下縁角部の2辺と対向するL字型の位置決め面を有する基板載置台とを備えていることが好ましく、これによれば、いわゆるワンタッチ的な操作で、上記ガラス基板の上記マスク板に対する位置合わせてと固定とを同時に行うことができる。
【0019】
また、上記押え板は、中央部に開口された四角形状の窓を備え、上記窓の対向する2対の辺のうちの少なくとも一方の対をなす2辺には、反マスク面側に折り曲げられたフランジ板が設けられていることが好ましく、これによれば、上記フランジ板によりターゲット物質(スパッタ原子)のガラス基板の裏面側への回り込みが阻止される。
【0020】
【発明の実施の形態】
次に、図1ないし図5を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は本発明によるガラス基板成膜用治具を示す分解斜視図,図2は同ガラス基板成膜用治具をスパッタリング装置内のスパッタホルダに取り付ける状態を示す縦断面図,図3は図2の横断面図である。なお、スパッタホルダは、先に説明した従来例と同じであってよい。
【0021】
このガラス基板成膜用治具は、例えば液晶パネル用のガラス基板100の片面に光反射膜を成膜する際に用いられるもので、ガラス基板100の所定部位をマスクするマスク板200と、ガラス基板100をマスク板200に押し付けて固定する押え板300とを備えている。
【0022】
マスク板200は磁性体からなり、この例ではSUS430CPが用いられている。マスク板200のマスクパターンを選択することにより、ガラス基板100に光反射膜を種々のパターンで形成できるが、この例においては、ガラス基板100の中央部の表示領域に完全反射膜を形成するため、マスク板200はガラス基板100の周辺部の非表示領域をマスクする四角形状の枠体として形成されている。
【0023】
マスク板200の図1における下面側が図示しないスパッタリングターゲットと向かい合う面で、その反対側の面の上面がガラス基板装着面201である。マスク板200の左右の両側辺には、ガラス基板装着面201側にほぼ直角に折り曲げられたフランジ板202,202が連設されている。このフランジ板202,202は、ターゲット物質のガラス基板100の裏面側への回り込み防止と、マスク板200の強度アップを意図して設けられたものである。
【0024】
また、マスク板200のガラス基板装着面201には、ガラス基板100の位置決めを兼ねた基板保持手段が設けられている。この例において、基板保持手段は、係止鉤210と基板載置台220とからなる組みを2組備えている。すなわち、2つの係止鉤210,210と、2つの基板載置台220,220とを有し、ガラス基板100の大きさに合わせて、係止鉤210,210はマスク板200の上辺203側の両端に配置され、基板載置台220,220はマスク板200の下辺204側の両端に配置されている。
【0025】
係止鉤210,210は同一構成であってよく、その一方を図4に示す。これによると、係止鉤210は側面視逆L字状であって、マスク板200との間で下方からガラス基板100の上縁101が差し込まれる係止溝211を形成している。ガラス基板100を差し込みやすくするため、係止溝211の開口端を面取り加工することが好ましい。
【0026】
基板載置台220,220は左右対称の同一構成で、その一方(図1において左側)を図5に示す。基板載置台220は、ガラス基板100の下縁角部を支持するもので、その下縁角部の2辺と対向するL字型の位置決め面221,222を備えている。
【0027】
すなわち、一方の位置決め面221上にガラス基板100の下縁が載置され、これにより、マスク板200に対するガラス基板100の上下方向の位置が規定される。また、他方の位置決め面222に沿ってガラス基板100の側縁103を配置することにより、マスク板200に対するガラス基板100の左右方向の位置が規定される。
【0028】
基板載置台220,220の間にガラス基板100を配置しやすくするため、図5に示すように、位置決め面222に所定傾斜角のテーパを付けることが好ましい。また、ガラス基板100の脱落防止のため、位置決め面221の上方の少なくとも一部に庇部を形成することが好ましい。
【0029】
なお、この例とは異なり、係止鉤210を1本のレール状としてもよい(基板載置台220側も同様)。また、係止鉤210および基板載置台220は、金属製(磁性,非磁性を問わない),合成樹脂製のいずれであってもよい。
【0030】
押え板300も磁性体からなり、この例ではマスク板200と同じくSUS430CPが用いられている。押え板300は、マスク板200に装着されたガラス基板100の裏面側に配置される。押え板300の裏面(反ガラス基板側)にはマグネットMが設けられており、押え板300は、その磁気的吸着力によりガラス基板100をマスク板200に対して押し付ける。
【0031】
押え板300は、マグネットMの磁気的吸着力によりガラス基板100に密着するため、その間にゴミなどがあるとガラス基板100に傷を付けるおそれがある。これを防止する意味で、押え板300の中央部には、大きく開口された窓310が形成されている。
【0032】
押え板300に窓310を開けることにより、ガラス基板100の裏面が露出されることになるため、そこに回り込んできたターゲット物質がガラス基板100に付着するおそれがある。
【0033】
これを防止するため、押え板300にも、窓310の左右両端からほぼ直角に起立したフランジ板311,311が形成されている。また、このフランジ板311,311は、押え板300の持ち手としても利用することができる。
【0034】
次に、図2および図3を参照して、このガラス基板成膜治具を用いて、ガラス基板100に光反射膜を成膜する手順の一例について説明する。本発明の好ましい態様によると、マスク板200は、清掃やメンテナンスなどの特定の場合を除いて、通常は、スパッタリング装置内のスパッタホルダ40に懸架した状態に置かれる。
【0035】
この例において、マスク板200の懸架は、その上辺203側と下辺204側とをスパッタホルダ40に設けられているバネクリップ41,41にくわえさせることにより行う。なお、この例も含めて、通常、マスク板200を保持するスパッタホルダ40は、その複数セット(例えば、3セット程度)が上下方向につなげられており、したがって、ターゲット物質のガラス基板100の裏面側への回り込みの多くは、マスク板200の側方からのものである。
【0036】
ガラス基板100に光反射膜を成膜するには、まず、ガラス基板100をマスク板200にセットする。その場合、ガラス基板100の上縁101を係止鉤210,210に差し込んだのち、ガラス基板100の下縁102を基板載置台220,220に載せることにより、ガラス基板100のマスク板200に対する位置合わせが行える。
【0037】
次に、ガラス基板100の裏面側に押え板300をあてがって、例えば4個のマグネットMを押え板300の四隅に配置する。これにより、マグネットMの磁気的な吸着力にて押え板300を介してガラス基板100がマスク板200に押し付けられる。
【0038】
そして、スパッタリングが行なわれ、ガラス基板100の片面に金属膜よりなる光反射膜が成膜されるのであるが、その際、マスク板200の側方からのターゲット物質の回り込みがあったとしても、この例では、マスク板200にフランジ板202,202が、また、押え板300にもフランジ板311,311が設けられているため、この2重のフランジ板による堰にて、ターゲット物質のガラス基板100の裏面側への付着が防止される。
【0039】
光反射膜の成膜後には、マグネットMおよび押え板300を取り外したのち、マスク板200からガラス基板100を取り出せばよい。なお、上記実施形態の説明では、マスク板200と押え板300の双方にフランジ板202,311をそれぞれ設けるようにしているが、いずれか一方のフランジ板を省略するのであれば、押え板300のフランジ板311は持ち手としても利用することができるため、マスク板200の方のフランジ板202を省略することが好ましい。
【0040】
また、回り込みターゲット物質のガラス基板100の裏面側への付着をより効果的に防止するには、押え板300の窓310の上下両端にもフランジ板を立設して、窓310の四方をフランジ板で囲むようにすればよい。本発明は、上記実施形態で説明した液晶パネル用のガラス基板のみを成膜対象とするものではなく、他の用途のガラス基板の成膜にも当然に適用されてよい。
【0041】
また、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することができる。例えば、スパッタホルダに対するマスク板の支持手段をバネクリップに代えて、ネジ止めとしてもよい。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、スパッタリング装置でガラス基板の片面に膜を成膜する際に、そのガラス基板をスパッタリング装置内のスパッタホルダにセットする際に用いられるガラス基板成膜用治具であって、スパッタホルダに支持され、ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板と、ガラス基板の反マスク面側に配置され、マグネットによる磁気的吸着力によりマスク板に対してガラス基板を押し付ける押え板とを含み、マスク板自体にガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段を備えさせたことにより、スパッタリング装置内でガラス基板とマスク板との位置合わせおよびその固定を簡単に行うことができる。
【0043】
したがって、スパッタリング装置外での定規盤などによる位置合わせ作業が不要となり、また、位置合わせしたものをスパッタリング装置内に搬入する際のずれ発生などの課題が解消され、コスト低減と生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるガラス基板成膜用治具を示す分解斜視図。
【図2】上記ガラス基板成膜用治具をスパッタリング装置内のスパッタホルダに取り付ける状態を示す縦断面図。
【図3】図2の横縦断面図。
【図4】基板保持手段に含まれる係止鉤を示す斜視図。
【図5】基板保持手段に含まれる基板載置台を示す斜視図。
【図6】従来のガラス基板成膜用治具を用いての成膜手順を示す説明図。
【符号の説明】
100 ガラス基板
200 マスク板
202 フランジ板
210 係止鉤
220 基板載置台
300 押え板
310 窓
311 フランジ板
40 スパッタホルダ
M マグネット
Claims (3)
- スパッタリング装置でガラス基板の片面に膜を成膜する際に、上記ガラス基板を上記スパッタリング装置内のスパッタホルダにセットするためのガラス基板成膜用治具であって、
上記スパッタホルダに支持され、上記ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板と、上記ガラス基板の反マスク面側に配置され、マグネットによる磁気的吸着力により上記マスク板に対して上記ガラス基板を押し付ける押え板とを含み、上記マスク板自体に、上記ガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段を備えていることを特徴とするガラス基板成膜用治具。 - 上記基板保持手段は、上記マスク板の上辺側に配置され、下方から上記ガラス基板の上縁が差し込まれる係止溝を有する係止鉤と、上記マスク板の下辺側に配置され、上記ガラス基板の下縁角部の2辺と対向するL字型の位置決め面を有する基板載置台とを備えている請求項1に記載のガラス基板成膜用治具。
- 上記押え板は、中央部に開口された四角形状の窓を備え、上記窓の対向する2対の辺のうちの少なくとも一方の対をなす2辺には、反マスク面側に折り曲げられたフランジ板が設けられている請求項1または2に記載のガラス基板成膜用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002380294A JP2004211133A (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | ガラス基板成膜用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002380294A JP2004211133A (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | ガラス基板成膜用治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004211133A true JP2004211133A (ja) | 2004-07-29 |
Family
ID=32816559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002380294A Pending JP2004211133A (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | ガラス基板成膜用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004211133A (ja) |
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- 2002-12-27 JP JP2002380294A patent/JP2004211133A/ja active Pending
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|
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|
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