KR20080008076A

KR20080008076A - 기판 고정장치

Info

Publication number: KR20080008076A
Application number: KR1020060067517A
Authority: KR
Inventors: 김용우; 최호근; 정배현; 김팔곤
Original assignee: 삼성전자주식회사; 에프엔에스테크 주식회사
Priority date: 2006-07-19
Filing date: 2006-07-19
Publication date: 2008-01-23
Also published as: KR101319985B1

Abstract

공정 대상 기판에 대응되는 소정 영역이 개구된 제1 고정 프레임과 제2 고정 프레임, 상기 제1 및 제2 고정 프레임에서 상기 소정 영역으로 각각 돌출되게 형성되어 상기 공정 대상 기판을 지지하는 제1 및 제2 지지대, 상기 제1 및 제2 고정 프레임의 가장자리를 따라 상기 제1 및 제2 고정 프레임 각각에 형성된 제1 및 제2 자성부재를 포함하는 기판 고정장치가 제공된다. 상기 제1 및 제2 자성부재에 의해 상기 제1 및 제2 고정 프레임 사이에 인력이 작용하고, 상기 기판은 상기 제1 및 제2 고정 프레임 사이에서 안정적으로 고정된다.

기판, 지지대, 고정 프레임, 식각

Description

기판 고정장치{Holding Apparatus for Substrate}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 고정장치의 평면도이다.

도 2a는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 취해진 단면도이고, 도 2b는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따라 취해진 단면도이다.

도 3a 및 도 3b는 도 1의 기판과 지지대의 배치를 나타낸 평면도이다.

도 4a 내지 도 4e는 도 1의 기판 고정장치에 기판이 장착되고 탈착되는 과정을 개략적으로 설명하는 도면들이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 -- 기판 100 -- 제1 고정 프레임

110 -- 제1 지지대 120 -- 제1 자성부재

130 -- 제1 관통홀 200 -- 제2 고정 프레임

210 -- 제2 지지대 220 -- 제2 자성부재

230 -- 제2 관통홀 300 -- 구동핀

본 발명은 기판 고정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 대한 공정 이 진행되는 동안 기판을 안정적으로 고정하는 기판 고정장치에 관한 것이다.

기억 장치나 표시 장치와 같은 각종 전자 제품은 기판을 포함하며, 이러한 전자 제품의 제조를 위해 상기 기판에 대한 다양한 공정이 진행된다. 예컨대, 영상을 표시하는 표시장치는 서로 마주보는 두 장의 투명 기판을 포함한다. 상기 두 장의 투명 기판은 각각의 기판상에 다양한 막 패턴을 형성하는 공정이 진행된다. 또한 상기한 막 패턴 형성 후에 상기 두 장의 투명 기판이 서로 마주보도록 합착되고 합착된 기판의 두께를 줄이기 위한 식각 공정이 진행된다. 위와 같은 기판에 대한 다양한 공정 진행을 위해서는, 공정이 진행되는 동안 기판을 일정하게 고정하는 기판 고정장치가 필요하다.

종래의 기판 고정장치에 있어서 기판은 작업자의 수작업으로 처리되었으며, 그 결과 작업성이 떨어지고 기판의 오염 및 파손의 위험성이 높았다. 특히, 상기한 식각 공정에서는 공정이 진행되면서 기판의 두께가 얇아지는데, 이와 같이 기판의 두께가 얇아질수록 수작업 처리가 더욱 어렵게 된다. 또한 상기 식각이 진행되면서 기판의 두께가 공정 중에 변경되면, 두께가 변경된 기판을 지지하기가 용이하지 않게 된다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 다양한 공정에서 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 기판 고정장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 제1 및 제2 고정 프레임, 제1 및 제2 지지대, 제1 및 제2 자성부 재를 포함한다. 상기 제1 고정 프레임은 공정 대상 기판에 대응되는 소정 영역이 개구된다. 상기 제2 고정 프레임은 상기 제1 고정 프레임과 서로 마주보며, 상기 소정 영역에 대응되는 영역이 개구된다. 상기 제1 지지대는 상기 제1 고정 프레임에서 상기 소정 영역으로 돌출되게 형성되며, 상기 공정 대상 기판의 제1 면을 지지한다. 상기 제2 지지대는 상기 제1 지지대들과 대응되도록 상기 제2 고정 프레임에 형성되며, 상기 공정 대상 기판의 상기 제1 면과 마주보는 제2 면을 지지한다. 상기 제1 자성부재는 상기 제1 고정 프레임의 가장자리를 따라 상기 제1 고정 프레임에 형성된다. 상기 제2 자성부재는 상기 제1 자성부재에 대응되도록 상기 제2 고정 프레임에 형성되며, 상기 제1 자성부재와의 상호 작용으로 상기 제1 및 제2 고정 프레임 사이에 인력을 형성한다.

상기 제1 및 제2 자성부재의 서로 마주보는 표면상에 보호막이 형성되며, 상기 보호막은 테프론 재질을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정 프레임 중 적어도 하나에 형성된 관통홀이 형성되며, 상기 관통홀을 통하여 외부로부터 외력이 작용하여 상기 제1 및 제2 고정 프레임을 서로 분리하도록 할 수 있다.

상기 공정 대상 기판은 장방형이며, 상기 제1 및 제2 지지대들은 상기 장방형의 모서리 부분에 대응되게 위치할 수 있다. 또는 상기 공정 대상 기판은 복수로 분리되게 형성된 서브 기판들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 지지대들은 상기 서브 기판들의 경계에서 이격되게 위치할 수 있다.

상기 공정 대상 기판은 표시장치용 기판이고, 상기 소정 영역에서 두께가 감 소되도록 식각 공정에 적용될 수 있다.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 살펴보기로 한다. 다만 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다양한 형태로 응용되어 변형될 수도 있다. 오히려 아래의 실시예들은 본 발명에 의해 개시된 기술 사상을 보다 명확히 하고 나아가 본 발명이 속하는 분야에서 평균적인 지식을 가진 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 제공되는 것이다. 따라서 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되는 것으로 해석되어서는 안 될 것이다. 또한 하기 실시예와 함께 제시된 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 크기는 명확한 설명을 강조하기 위해서 간략화되거나 다소 과장되어진 것이며, 도면상에 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1을 참조하면, 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)이 구비되며 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)에 의해 공정 대상 기판(점선 표시)(1)이 고정된다. 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)은 중심부를 포함하는 소정 영역이 개방된 개구부(10)를 가지며, 상기 개구부(10)가 형성된 영역은 공정 대상 기판(1)에 대응된다. 제1 고정 프레임(100)에서 상기 개방된 영역으로 돌출되게 제1 지지대(110)가 형성된다. 제2 고정 프레임(200)에서 상기 개방된 영역으로 돌출되게 제2 지지대(210)가 형성되며, 제1 및 제2 지지대(110,210)는 서로 대응되게 위치하여 평면상에서 서로 중첩된다.

기판(1)은 제1 및 제2 지지대(110,210) 사이에 놓여지며 이들에 의해 지지된 다. 기판(1)은 상기 개구된 영역과 동일하거나 또는 상기 개구된 영역 보다 다소 큰 것이 사용될 수 있다. 기판(1)과 개구부(10)의 영역이 동일하면, 기판(1)은 제1 및 제2 지지대(110,210)에 의해서만 지지된다. 기판(1)이 개구부(10)의 영역보다 크면, 기판(1)은 제1 및 제2 지지대(110,210)외에 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)에서 개구부(10)에 인접한 부분에 의해서도 지지될 수 있다.

제1 및 제2 지지대(110,210)는 기판(1)을 지지하는데 필요한 적정수로 형성된다. 그 수가 너무 적으면 기판(1)을 안정적으로 지지할 수 없고, 그 수가 너무 많으면 기판(1)에 소정의 공정을 진행할 때 영향을 미칠 수 있다. 제1 및 제2 지지대(110,210)는 다양한 형상을 가질 수 있으며, 예컨대 평면상에서 다각형이나 원형 또는 반원형으로 형성될 수 있다.

제1 및 제2 지지대(110,220)에 의해 기판(1)에 대한 공정이 영향받지 않도록, 제1 및 제2 지지대(110,220)와 기판(1)의 접촉 면적은 작을수록 유리하다. 이러한 관점에서 볼 때, 상기한 형상들 중 포인트 접촉 방식에 적합한 삼각형이나 반원형 형상이 보다 바람직하다.

제1 및 제2 고정 프레임(100,200)에는 각각 서로 대응되는 위치에 제1 및 제2 자성부재(120,220)가 형성된다. 제1 및 제2 자성부재(120,220)는 자성을 나타내는 재질로 형성된다.

제1 및 제2 고정 프레임(100,200)에는 각각 제1 관통홀(130)과 제2 관통홀(230)이 형성된다. 제1 및 제2 관통홀(130,230)은 서로 상이한 크기를 가지며, 이들을 통하여 외력이 작용하여 자기력에 의해 결합된 제1 및 제2 고정 프레 임(100,200)이 서로 분리된다. 이에 대한 상세 설명은 후술한다.

제1 및 제2 자성부재(120,220), 제1 및 제2 관통홀(130,230)의 개수나 배치는 도 1에 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 제1 및 제2 자성부재(120,220)는 지그재그 형상으로 배치될 수 있다. 또한 제1 및 제2 자성부재(120,220)/제1 및 제2 관통홀(130,230)을 배치함에 있어서 상호간에 견련성이 있는 것은 아니다. 예컨대, 제1 및 제2 자성부재(120,220)/제1 및 제2 관통홀(130,230)은 평면상에서 서로 동일한 가상선상에 위치하거나 또는 서로 평행하게 이격된 가상선들 각각에 위치할 수 있다.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 제1 고정 프레임(100)은 제1 바닥면(101)과 제1 바닥면(101)과 수직하게 연결된 측면(102)을 포함한다. 제2 고정 프레임(200)은 제1 측면(102)이 형성된 영역의 면적만큼 작게 형성되며, 제1 바닥면(101)에 대응되는 제2 바닥면(201)을 포함한다. 제1 고정 프레임(100)은 측면(102)에 의해 수납공간을 형성하며, 제2 고정 프레임(200)은 상기 수납공간 내부로 수납된다. 기판(1)은 제1 및 제2 지지대(110,210)에 의해 그 양면이 모두 지지된다.

제1 및 제2 자성부재(120,220)는 제1 및 제2 고정 프레임(100,200) 보다 작은 두께로 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)에 삽입된다. 제1 및 제2 자성부재(120,220)는 상호간에 작용하며 제1 및 제2 고정 프레임(100,200) 사이에 인력이 형성된다. 예컨대, 제1 및 제2 자성부재(120,220)가 각각 N극과 S극을 갖는 자성물 질인 경우, 제1 자성부재(120)는 S극에 해당하는 부분이 제1 고정 프레임(100)에 삽입되고 N극에 해당하는 부분의 표면이 제1 고정 프레임(100)의 외부로 노출된다. 또한 제2 자성부재(220)는 N극에 해당하는 부분이 제2 고정 프레임(200)에 삽입되고 S극에 해당하는 부분의 표면이 제2 고정 프레임(200)의 외부로 노출된다.

위와 같이, 서로 다른 극성을 갖는 부분이 서로 마주보도록 배치되면, 자기장에 의한 자기력에 의해 제1 및 제2 고정 프레임(100,200) 사이에 인력이 작용된다. 그 결과, 제1 및 제2 자성부재(120,220)에 의한 자기력을 통하여 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)이 서로 탈착되지 않고 결합될 수 있으며, 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)의 사이에서 기판(1)이 고정될 수 있다.

또한 공정을 진행하면서 기판(1)의 두께가 얇아지는 경우에도, 상기한 자기력에 의해 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)간 간격이 좁아지면서 기판(1)이 안정적으로 고정될 수 있다.

제1 및 제2 자성부재(120,220)는 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)의 가장자리를 따라 분포된다. 제1 및 제2 자성부재(120,220)가 갖는 자성에 따라, 자성이 큰 경우 제1 및 제2 자성부재(120,220)의 개수를 보다 감소시킬 수 있으며 자성이 작은 경우 그 개수를 보다 증가시킬 수 있다.

기판(1)에 대한 공정이 진행되면서 소정의 공정액이 기판(1)과 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)에 닿을 수 있다. 이 경우, 제1 및 제2 자성부재(120,220)의 서로 마주보는 면이 외부로 노출된다면, 공정 중에 제1 및 제2 자성부재(120,220)의 자성이 약화되면서 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)이 상호간에 분리될 수 있 다. 이를 방지하기 위해, 제1 및 제2 자성부재(120,220)의 서로 마주보는 표면상에 보호막(30)이 형성된다.

보호막(30)은 공정액으로부터 제1 및 제2 자성부재(120,220)를 보호하면서, 동시에 제1 및 제2 자성부재(120,220) 상호간에 작용하는 자기력을 약화시키지 않는 재질로 형성된다. 이러한 요건을 충족하는 재질로 테프론(teflon)이 사용될 수 있다. 테프론은 불소와 탄소의 화학적 결합으로 형성된 매우 안정된 화합물로서, 화학적 비활성 및 내열성, 비점착성, 낮은 마찰계수의 특성들을 가지고 있다. 상기 테프론 재질의 보호막(30)은 제1 및 제2 고정 프레임(100,200) 전면에 코팅되거나 또는 제1 및 제2 자성부재(120,220)가 형성된 영역상에만 국부적으로 코팅될 수 있다.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 기판(1)은 장방형의 형상을 가지며, 기판(1)은 복수의 서브 기판(1s)들을 포함한다. 기판(1)상에 행 방향의 제1 라인(2a)들과 열 방향의 제2 라인(2b)들로 이루어진 절단 라인(2)이 형성되며, 상기 제1 및 제2 라인(2a,2b)들이 상호간에 교차하면서, 복수의 서브 기판(1s)들이 정의된다.

서브 기판(1s)들은 모두 동일한 구조를 가지며 각각이 낱개 단위로 별도의 제품에 사용된다. 기판(1)에 대한 모든 공정이 완료되면, 기판(1)은 절단 라인(2)을 따라 절단되어 각 서브 기판(1s)들이 분리된다.

기판(1)에 대한 특정 공정에서는, 공정액과 같은 반응물질이 기판(1) 표면에 접촉되면서 공정이 진행된다. 그런데, 기판(1)에서 제1 및 제2 지지대(110,210)에 접촉되는 부분은 상기 반응물질과 접촉되지 못하여 필요한 공정이 진행될 수 없다. 따라서, 제1 및 제2 지지대(110,210)는 공정에 영향을 주지 않도록 최소한의 개수로 형성되고, 공정에 크게 영향을 미치지 않는 영역에 위치함이 바람직하다.

도 3a에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 지지대(110,210)는 기판(1)의 모서리 부분에 배치될 수 있다. 모서리 부분은 서브 기판(1s)이 절단된 후 폐기되는 부분으로, 모서리 부분에서 충분한 공정이 진행되지 않더라도 서브 기판(1s)에 대해서는 영향을 미치지 않는다.

도 3b에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 지지대(110,210)는 기판(1)의 가장자리를 따라 서브 기판(1s)의 경계가 되는 절단 라인(2)으로부터 이격되게 배치될 수 있다.

절단 라인(2)과 제1 및 제2 지지대(110,210)가 중첩되고, 예컨대 식각 공정이 진행되는 경우를 고려한다. 식각시 식각액이 기판(1) 표면에 접촉되어 기판(1)의 두께가 감소하는데, 만약 절단 라인(2)이 제1 및 제2 지지대(110,210)와 중첩되면 해당 절단 라인에서 중첩된 부분과 중첩되지 않은 부분에서 기판(1)의 두께가 달라진다. 이 경우, 기판(1)을 절단할 때, 절단 부위의 두께차로 인하여 기판(1)이 용이하게 절단되지 못하고 파손될 수 있다.

도 4a를 참조하면, 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)이 자기력에 의해 밀착된 상태에서 구동핀(300)이 제1 관통홀(130)로 삽입된다. 구동핀(300)은 구동원(미 도시)에 연결되고, 구동원은 유압 실린더와 같이 동력을 발생하는 다양한 수단으로 구성되어 구동핀(300)에 동력을 제공한다.

구동핀(300)은 상기한 동력에 의해 상방향이나 하방향으로 직선 운동한다. 구동핀(300)은 제1 및 제2 관통홀(130,230)에 대응되는 형상을 갖는다. 예컨대, 제1 및 제2 관통홀(130,230)이 원형의 평면 형상을 가질 때, 구동핀(300)은 원형의 평면 형상을 갖되 높이에 따라 단면의 면적이 달라지는 삼각뿔 형상으로 형성될 수 있다. 제1 관통홀(130)은 제2 관통홀(230) 보다 큰 면적을 갖는다. 상기 삼각뿔은 제1 높이에서 제1 관통홀(130)과 동일한 면적을 가지며, 상기 제1 높이 보다 높은 제2 높이에서 제2 관통홀(230)과 동일한 면적을 갖는다.

구동원에서 제공된 동력으로, 구동핀(300)이 상승하면서 제1 관통홀(130)로 삽입된 후 이를 통과하여 제2 관통홀(230)에 도달된다. 구동핀(300)은 제2 높이에 도달될 때까지 제2 관통홀(230)을 통과하며, 제2 높이에 도달된 순간 제2 관통홀(230)에 걸리게 된다. 이 상태에서, 동력이 계속 제공되면, 구동핀(300)이 제2 관통홀(230)에 걸린 상태에서 상승하면서 제2 고정 프레임(200)이 제1 고정 프레임(100)에서 분리되어 이격된다. 이 후, 구동핀(300)의 제1 높이에 해당하는 부분이 제1 관통홀(130)을 통과할 때까지 동력이 제공된다.

위와 같은 분리 과정은 제2 관통홀(230)이 형성되지 않고, 제1 관통홀(130)만이 형성된 경우에도 가능하다. 다만 제2 관통홀(230)이 형성되고 구동핀(300)의 일부가 제2 관통홀(230)을 통과한 상태일 때, 제1 고정 프레임(100)에서 분리된 제2 고정 프레임(200)이 보다 안정적으로 지지될 수 있다.

도 4b를 참조하면, 기판(1)이 이송유닛(미도시)에 의해 이송되어 제1 고정 프레임(100)의 제1 지지대(110)상에 안착된다. 구동핀(300)이 하강하면서 제2 고정 프레임(200)과 제1 고정 프레임(100)이 자기력에 의해 결합되고, 구동핀(300)은 제2 관통홀(230)과 제1 관통홀(130)에서 분리된다.

도 4c를 참조하면, 기판(1)은 공정이 진행되는 챔버로 이송되며 상기 챔버에서 해당 공정이 진행된다. 상기 공정은 기판(1)의 종류에 따라 다양하며, 또한 동일한 기판(1)에 대해서도 다양한 공정이 진행될 수 있다. 도 4c에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 기판(1)이 액정표시장치용인 경우에 기판(1)에 대한 식각이 진행될 수 있다.

액정표시장치용으로 투명한 절연 기판(1)이 사용된다. 액정표시장치는 두 장의 서로 마주보는 기판을 포함하며, 상기 두 장의 기판을 합착한 후 합착된 기판 (1) 전체의 두께를 줄이기 위해 기판(1)을 식각한다. 식각시 기판(1)의 표면에 식각액(400)이 분사되는데, 기판(1)의 양면에서 분사되려면 기판(1)이 수직하게 세워진 상태에서 식각액(400)이 분사됨이 바람직하다. 그런데, 기판(1)은 제1 및 제2 고정 프레임(100,200) 사이에서 안정적으로 고정되므로, 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)을 수직하게 세운 후 용이하게 식각액(400)이 분사될 수 있다.

도 4d를 참조하면, 기판(1)에 대한 공정이 완료된 후 기판(1)이 챔버로부터 이송된다. 구동핀(300)이 제1 및 제2 관통홀(130,230)로 삽입되면서 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)이 서로 분리된다.

도 4e를 참조하면, 기판(1)이 제1 고정 프레임(100)에서 탈착되어 분리되며 구동핀(300)이 하강하면서 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)이 서로 결합된다. 상기 결합된 제1 및 제2 고정 프레임(100,200)은 식각 등의 공정을 진행하기 위해 준비중인 새로운 대상 기판(1)을 장착하기 위하여 이송된다.

위와 같은 과정에 있어서, 작업자가 기판(1)을 직접 핸들링하지 않고도 기판(1)이 제1 및 제2 고정 프레임(100,200) 사이에 장착될 수 있다. 따라서 기판(1)에 대한 자동화 처리가 가능하여, 작업자가 핸들링함으로 인하여 기판(1)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한 기판(1)의 두께가 얇아지면 제1 및 제2 자성부재(120,220)의 상호 작용에 따라 제1 및 제2 고정 프레임(100,200) 사이의 거리도 가까워지므로, 기판(1) 두께가 변경되는지 여부와 상관없이 기판(1)이 안정적으로 고정될 수 있다.

이상 예시적인 관점에서 본 발명의 실시예를 살펴보았지만, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 갖는 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

본 발명의 기판 고정장치에 따르면, 공정 대상 기판이 공정 중 안정적으로 고정될 수 있으며 또한 기판에 대한 자동화 처리가 가능하여 기판이 오염되거나 손상되는 것을 방지할 수 있다.

Claims

공정 대상 기판에 대응되는 소정 영역이 개구된 제1 고정 프레임;

상기 제1 고정 프레임과 서로 마주보며, 상기 소정 영역에 대응되는 영역이 개구된 제2 고정 프레임;

상기 제1 고정 프레임에서 상기 소정 영역으로 돌출되게 형성되며, 상기 기판의 제1 면을 지지하는 제1 지지대;

상기 제1 지지대와 대응되도록 상기 제2 고정 프레임에 형성되며, 상기 기판의 상기 제1 면과 마주보는 제2 면을 지지하는 제2 지지대;

상기 제1 고정 프레임의 가장자리를 따라 상기 제1 고정 프레임에 형성된 제1 자성부재; 및

상기 제1 자성부재에 대응되도록 상기 제2 고정 프레임에 형성되며, 상기 제1 자성부재와의 상호 작용으로 상기 제1 및 제2 고정 프레임 사이에 인력을 형성하는 제2 자성부재를 포함하는 기판 고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 제1 및 제2 자성부재의 서로 마주보는 표면상에 형성된 보호막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.
제 2항에 있어서,

상기 보호막은 테프론 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.
제 1항에 있어서,

외부로부터 외력이 작용하여 상기 제1 및 제2 고정 프레임을 서로 분리하도록, 상기 제1 및 제2 고정 프레임 중 적어도 하나에 형성된 관통홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 기판은 장방형이며, 상기 제1 및 제2 지지대들은 상기 장방형의 모서리 부분에 대응되게 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 기판은 복수로 분리되게 형성된 서브 기판들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 지지대들은 상기 서브 기판들의 경계로부터 이격하여 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 제1 및 제2 지지대들은 반원형 또는 다각형의 평면 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 제1 고정 프레임은 제1 바닥면과 상기 제1 바닥면의 가장자리에서 제1 바닥면과 수직하게 형성된 측면을 포함하여 수납공간을 제공하고, 상기 제2 고정 프레임은 상기 제1 바닥면과 대응되는 제2 바닥면을 포함하여 상기 수납공간에 수납되는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 공정 대상 기판은 표시장치용 기판이고, 공정을 통하여 두께가 감소되도록 상기 소정 영역에서 식각되는 것을 특징으로 하는 기판 고정장치.