KR101002936B1 - 캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 - Google Patents

캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101002936B1
KR101002936B1 KR1020030092437A KR20030092437A KR101002936B1 KR 101002936 B1 KR101002936 B1 KR 101002936B1 KR 1020030092437 A KR1020030092437 A KR 1020030092437A KR 20030092437 A KR20030092437 A KR 20030092437A KR 101002936 B1 KR101002936 B1 KR 101002936B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
plastic substrate
plastic
display device
support
Prior art date
Application number
KR1020030092437A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050060733A (ko
Inventor
이우재
박애나
홍문표
김보성
이용욱
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020030092437A priority Critical patent/KR101002936B1/ko
Publication of KR20050060733A publication Critical patent/KR20050060733A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101002936B1 publication Critical patent/KR101002936B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

플라스틱 기판의 휨 현상을 방지하기 위한 캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법이 개시되어 있다. 캐리어 기판은 화상 표시소자가 형성되는 플라스틱 기판을 지지하기 위한 제1 지지 기판과 제1 지지 기판의 저면과 부착되고, 상기 플라스틱 기판의 열 팽창계수와 상응하는 열 팽창계수를 갖는 제 2지지 기판을 포함한다. 상술한 구조를 갖는 캐리어 기판은 적층되는 플라스틱 기판의 휨 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 액정 디스플레이 장치를 양산하는 설비의 변형 없이 유연한 디스플레이 장치를 형성할 수 있다.

Description

캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법{CARRIER PLATE, METHOD OF LAMINATING PLASTIC PLATE USING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE HAVING THE FLEXIBILITY}
도 1은 본 발명의 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 방법에 적용되는 캐리어 기판을 나타내는 구성도이다.
도 2a 내지 2c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조를 위한 플라스틱 기판의 적층 방법을 나타내는 공정단면도들이다.
도 3a 내지 3d는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조를 위한 플라스틱 기판의 적층 방법을 나타내는 공정단면도들이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 컬러 필터 제조 방법을 나타내는 공정흐름도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 공정흐름도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100 : 플라스틱 기판 110 : 제1 지지 기판
120 : 제2 지지 기판 130 : 캐리어 기판
B : 접착 물질
본 발명은 캐리어 기판, 플라스틱 기판의 적층 방법 및 이를 이용한 유연성을 갖는 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 적층되는 플라스틱 기판의 휘는 현상을 방지하는 캐리어 기판과, 상기 캐리어 기판을 상에 적층되는 플라스틱 기판의 적층 방법 및 유연성을 갖는 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 기술의 발달과 인터넷의 보편화 및 소통되는 정보의 양이 폭발적으로 늘어남에 따라 언제 어디서나 정보를 접할 수 있는 유비퀴토스 디스플레이 (ubiquitous display) 환경이 창출되고 있다. 따라서 정보를 출력하는 매개체인 디스플레이 장치의 역할이 보다 중요시되고, 그 사용 범위도 더욱더 광범위해지고 있는 실정이다.
이러한, 유비퀴토스 디스플레이 환경을 구현하기 위해서는 디스플레이 장치의 휴대성을 향상시킴과 동시에 각종 멀티미디어 정보를 표시가 가능하면서 가볍고, 표시면적이 넓고, 해상도가 우수하며, 표시속도가 빠른 디스플레이 장치의 특성이 요구되어야 한다.
이러한 요구에 부응하여 디스플레이 장치의 대형화 및 상기 장치를 구성하는 유리 기판의 밀도 및 유리 기판의 두께를 감소시키는 방향으로 활발하게 연구되어 왔다. 그러나, 상기 디스플레이 장치 즉, 액정 표시 패널에 적용되는 유리 기판의 유리 밀도가 감소될 경우 유리 기판을 구성하는 이산화실리콘(SiO2)이 실질적으로 유리 기판의 모든 물리적 특성 값을 결정하기 때문에 상기 유리기판 밀도를 더 낮추는 기술은 한계에 직면하였다.
또한, 상술한 휴대성이 어려운 문제점을 해결하기 위해서 디스플레이 장치의 크기를 줄여야 하지만은 이는 대화면의 디스플레이 장치를 원하는 소비자들의 욕구에 상충되는 문제점을 갖는다.
따라서, 대화면이라는 특성과 가벼워 휴대성이 우수한 특성을 동시에 만족시키기 위해서는 디스플레이 장치를 플라스틱 기판에 형성하는 유연한 디스플레이 장치의 필요성이 대두되고 있는 실정이다.
상술한 유연한 디스플레이 장치는 궁극적으로 롤(Roll)투 롤(Roll) 방식으로 제조될 수 있다. 그러나 상술한 방식으로 유연성을 갖는 유연한 디스플레이 장치를 생산하기 위해서는 생산 단계의 모든 공정에서 플라스틱 기판을 적용하기 위한 전용 설비가 개발되어야 할 뿐만 아니라 많은 투자비용이 요구되는 문제점을 갖는다.
현재, 샤프(Sharp)나 필립스(Philips)와 같은 기존의 LCD 제조사들은 유연한 디스플레이 장치에 대한 연구를 진행하고 있으나 대부분 플라스틱 기판을 적용하기 위해 전용 척을 고안하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 연구를 진행하고 있는 실정이다.
그러나, 이러한 연구는 기존의 LCD 양산 설비를 그대로 이용할 수 없기 때문에 현재 양산 설비를 대폭 변경되어야 하는 단점을 가지고 있다.
또한, 접착제가 도포된 유리 기판에 상기 플라스틱 기판을 부착시켜 현재 LCD 양산 설비에 플라스틱 기판을 적용하는 방법이 제시되고 있으나 상술한 방법은 디스플레이 장치를 형성하는 공정시 유리 기판과 플라스틱 기판간의 열팽창계수의 차이에 의해 상기 플라스틱 기판의 휨 현상이 발생한다.
그리고, 상기 유리 기판에 적층되는 상기 플라스틱 기판의 크기가 증가할 수 플라스틱 기판의 열 팽창율은 더 높아짐으로 인해 대형화된 플라스틱 기판의 적용이 어려운 실정이다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 유연한 디스플레이 장치의 형성 공정에 적용되는 플라스틱 기판의 휨 방지 및 기존의 디스플레이 양산설비 하에서 유연한 디스플레이 장치를 형성하기 위해 적용되는 캐리어 기판을 제공한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 캐리어 기판 상에 지지되어 있는 플라스틱 기판의 휨 방지 및 보다 넓은 플라스틱 기판을 적용할 수 있는 플라스틱 기판의 적층 방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 캐리어 기판 상에 지지되어 있는 플라스틱 기판의 휨 방지 및 보다 넓은 플라스틱 기판을 적용할 수 있음과 동시에 기존의 디스플레이 양산설비 하에서 유연한 디스플레이 장치를 형성하기 위한 방법을 제공한다.
상술한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 캐리어 기판은 화상 표시소자가 형성되는 플라스틱 기판을 지지하기 위한 제1 지지 기판; 및 상기 제1 지지 기판의 저면과 부착되고, 상기 플라스틱 기판의 열 팽창계수와 상응하는 열 팽창계수를 갖는 제2 지지 기판이 적층된 구조를 갖는다.
또한, 상술한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 제1 특징에 따른 플라스틱 기판의 적층 방법은,
(a) 플라스틱 기판의 열 팽창계수와 상응하는 열 팽창계수를 갖는 제2 지지 기판 상에 제1 지지 기판이 적층된 구조를 갖는 캐리어 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 단계(a)에 의한 캐리어 기판의 상에 접착물질을 도포하는 단계; 및 (c) 상기 단계(b)에 의한 캐리어 기판 상에 상기 플라스틱 기판을 적층하는 단계를 포함한다.
또한, 상술한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 제2 특징에 따른 플라스틱 기판의 적층 방법은,(a) 접착물질이 도포된 지지 기판의 저면에 제1 플라스틱 기판을 부착하는 단계; (b) 상기 단계(a)에 의한 지지 기판의 상면에 상기 접착물질을 도포하는 단계; 및 (c) 상기 단계(b)에 의한 지지 기판의 상면에 제2 플라스틱 기판을 적층하는 단계를 포함한다.
또한, 상술한 본 발명의 또 다른 목적을 실현하기 위한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법은, (a) 접착물질이 도포된 지지 기판의 저면에 제1 플라스틱 기판을 부착하는 단계; (b) 상기 단계(a)에 의한 지지 기판의 상면에 상기 접착물질을 도포하는 단계; (c) 상기 단계(b)에 의한 지지 기판의 상면에 제2 플라스틱 기 판을 적층하는 단계; (d) 상기 단계(c)에 의한 제2 플라스틱 기판 상에 화상 표시소자를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 단계(d)에 의한 제2 플라스틱 기판으로부터 상기 지지 기판을 분리하는 단계를 포함한다.
이러한 캐리어 기판 및 플라스틱 기판의 적층 방법에 의하면, 플라스틱 기판과 캐리어 기판간에 열 팽창계수의 차이에 의해 발생되는 변화를 효과적으로 완화시켜 표시소자 형성 공정시 플라스틱 기판의 휨 현상을 효과적으로 방지함으로써, 보다 넓은 크기를 갖는 유연한 디스플레이 장치를 제조할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 방법에 적용되는 캐리어 기판을 나타내는 구성도이다.
도 1을 참조하면, 캐리어 기판(130)은 유연한 디스플레이 장치를 형성하기 위해 플라스틱 기판(100)을 지지하는 역할을 하는 기판으로서, 상기 플라스틱 기판의 휨 현상을 완화시키는 구조를 갖는 기판(Plate)이다.
즉, 본 발명의 캐리어 기판(130)은 제2 지지 기판(120) 상에 제1 지지 기판(110)이 적층된 구조를 가지고 있다. 이때, 제1 지지 기판(110)과 제2 지지 기판(120)은 접착제에 의해 서로 밀착된 상태를 갖는다.
여기서, 제1 지지 기판(110)은 디스플레이 장치의 화상 표시소자 형성 공정시 플라스틱 기판(100)을 직접적으로 지지하는 기판(110)으로 플라스틱 기판(100)과 동일하거나 보다 넓은 크기를 갖는 사각형 유리 기판이다.
제2 지지 기판(120)은 플라스틱 기판(100)과 유사한 열 팽창계수를 갖는 물질로 형성된 기판으로 약 150℃의 화상 표시소자 형성 공정시 상기 화상 표시 소자가 형성되는 플라스틱 기판(100)에 열팽창의 변화로 인해 발생되는 응력을 완화시키는 역할을 한다. 여기서 제 2지지 기판(120)은 플라스틱 기판이다.
즉, 제 1지지 기판(110)의 상면에서 생성되는 플라스틱 기판의 휨 현상을 초래하는 힘을 상기 제2 지지 기판(120)의 저면에서 상기 힘과 동일하게 제공함으로서 제1 지지 기판의 상면에서 발생되는 힘을 상쇄시켜 플라스틱 기판(100)의 휨 현상을 방지한다.
따라서, 상술한 구조를 갖는 캐리어 기판(130)은 상기 유연한 특성을 갖는 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 공정시 캐리어 기판(130)과 플라스틱 기판(100)간에 열 팽창계수의 차이를 방지함으로서 플라스틱 기판(100)의 휨 현상 및 유연한 디스플레이 장치 형성시 보다 대형화된 플라스틱 기판(100)을 적용할 수 있다.
도 2a 내지 2c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조를 위한 플라스틱 기판의 적층 방법을 나타내는 공정 단면도들이다.
도 2a를 참조하면, 먼저 제2 지지 기판(120) 상에 제1 지지 기판(110)이 적층된 구조를 갖는 캐리어 기판(130)을 마련한다. 여기서, 제1 지지 기판(110)은 실리콘 기판 또는 유리 기판이고, 바람직하게는 유리 기판을 적용한다. 이하에서, 상기 지지 기판은 유리 기판(110)이고, 제2지지 기판(120)은 제1 플라스틱 기판이다.
캐리어 기판(130)을 마련하는 단계를 상세히 나타내면, 유리 기판(110)의 저 면에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께로 도포한다. 이어서, 소정의 온도하에서 접착물질이 도포된 유리 기판의 저면에 제1 플라스틱 기판(120)을 밀착되도록 부착하여 열팽창계수가 서로 다른 복층 구조를 갖는 캐리어 기판(130)을 형성한다.
도 2b 및 도 2c를 참조하면, 캐리어 기판(130)의 상면, 즉 유리 기판(110)의 표면에 접착물질(B)을 균일한 두께를 갖도록 도포한다. 이어서, 소정의 온도 하에서 화상표시 소자가 형성되는 연성 기판인 제2 플라스틱 기판(100)을 캐리어 기판(130) 상에 적층한다.
이때, 상기 접착물질이 도포된 유리 기판(110)에 제1 플라스틱 기판(120)또는 제2 플라스틱 기판(100)을 부착할 경우 기포(공기 방울)가 발생되지 않도록 부착해야 한다. 상기 플라스틱 기판과 유리 기판 사이에 기포가 존재할 경우에는 화상 표시 소자를 형성하는 고온의 공정시 접착력이 약화되어 유리 기판과 상기 플라스틱이 서로 들떠 분리되는 문제점이 발생하기 때문이다.
따라서, 상술한 방법으로 적층된 제2 플라스틱 기판(100)은 이후 화상 표시소자 형성 공정시, 상기 제1 플라스틱 기판(110)의 열팽창 변화로 인해 발생하는 제1 힘과 상기 제2 플라스틱 기판(100)의 열팽창 변화로 인해 발생된 제2 힘이 서로 상쇄됨으로 인해 휨 현상이 발생하지 않는다.
도 3a 내지 3d는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조를 위한 플라스틱 기판의 적층 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 3a 및 도 3d를 참조하면, 화상 표시소자가 형성되는 플라스틱 기판(200)을 직접적으로 지지하기 위한 지지 기판(210)의 저면에 접착물질(Bonding Matter; B)을 균일한 두께로 도포한다. 여기서, 지지 기판(210)은 실리콘 기판 또는 유리 기판이고, 바람직하게는 실리콘 기판(210)이 적용된다. 이하에서, 상기 지지 기판은 실리콘 기판(210)이라 명기한다.
이어서, 소정의 온도하에서 접착물질이 도포된 실리콘 기판(210)의 저면에 상기 화상 표시소자가 형성될 플라스틱 기판(200)과 동일한 열팽창 계수를 갖는 제1 플라스틱 기판(220)을 밀착되도록 부착한다.
이어서, 실리콘 기판(210)의 상면에 접착물질(B)을 균일한 두께를 갖도록 도포한 후, 소정의 온도 하에서 화상표시 소자가 형성되는 제2 플라스틱 기판(200)을 실리콘 기판(210) 상에 적층한다. 여기서, 제1 플라스틱 기판(220)과 제2 플라스틱 기판(200)의 열팽창 계수는 동일하다.
이때, 상기 접착물질(B)이 도포된 실리콘 기판(210)에 제1 플라스틱 기판(220)또는 제2 플라스틱 기판(200)을 부착할 경우 기포(공기 방울)가 발생되지 않도록 부착해야 한다. 상기 플라스틱 기판과 실리콘 기판 사이에 기포가 존재할 경우에는 화상 표시 소자를 형성하는 고온의 공정시 접착력이 약화되어 실리콘 기판과 상기 플라스틱이 서로 들떠 분리되는 문제점이 발생하기 때문이다.
따라서, 상술한 방법으로 적층된 제2 플라스틱 기판(200)은 이후 화상 표시소자 형성 공정시, 상기 제1 플라스틱 기판(210)의 열팽창 변화로 인해 발생하는 제1 힘과 상기 제2 플라스틱 기판(200)의 열팽창 변화로 인해 발생된 제2 힘이 서로 상쇄됨으로 인해 휨 현상이 발생하지 않는다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 컬러 필터 제조 방법을 나타내는 공정흐름도이다.
도 4를 참조하면, 먼저 제2 지지 기판 상에 제1 지지 기판이 적층된 복층 구조를 갖는 캐리어 기판을 마련한다(단계 S100). 여기서, 상기 캐리어 기판을 마련하는 방법을 상세히 나타내면, 먼저 제1 지지 기판인 유리 기판의 저면에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께로 도포한다. 이어서, 접착물질이 도포된 유리 기판의 저면에 제2 지지 기판인 플라스틱 기판을 밀착되도록 부착함으로서, 열팽창계수가 서로 다른 복층 구조를 갖는 캐리어 기판을 형성한다.
이어서, 캐리어 기판의 상면, 즉 유리 기판의 표면에 접착물질을 균일한 두께를 갖도록 도포한다(단계 S110).
이후에, 소정의 온도 하에서 화상표시 소자가 형성되는 연성 기판인 플라스틱 기판을 캐리어 기판 상에 적층한다(단계 S120).
이어서, 상기 캐리어 기판 상에 부착된 플라스틱 기판의 표면에 컬러필터, 블랙 매트릭스, 오버 코팅막, 공통전극을 형성함으로서 복층 구조를 갖는 캐리어 기판상에 지지되는 컬러필터 기판을 형성한다(단계 S130). 여기서, 컬러필터의 형성 방법을 상세히 설명하며, 먼저 적색(R)/녹색(G)/청색(B)컬러수지 중 적색을 띄는 컬러수지를 블랙 매트릭스가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 도포한 후 선택적으로 노광한 후 표시 영역에 적색(R) 컬러필터를 형성한다.(이때, 색을 입히는 순서는 임의로 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 순서로 정하여 설명한다). 이어서, 상기 적색 컬러필터가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 녹색 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 녹색 컬러필터를 형성한다. 연속하여, 상기 적색(R) 및 녹색(G) 컬러필터가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 청색(B) 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 청색 컬러필터를 형성한다.
이어서, 블랙 매트릭스 및 컬러필터의 단차를 제거하는 오버 코팅막을 형성한 후 상기 컬러필터가 대응되는 오버 코팅막 상에 공통전극을 형성한다. 이를 상세히 설명하면, 먼저 결과물 상에 소정의 두께를 갖는 공통전극막을 연속적으로 형성한다. 상기 공통전극막은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 형성된다. 식각 마스크를 적용하여 상기 블랙 매트릭스 상에 존재하는 공통전극막을 식각하여 공통전극을 형성한다.
이어서, 컬러필터 기판과 복층 구조의 캐리어 기판을 서로 밀착시키는 접착물질의 제거 및 상기 접착물질의 접착력을 상실시켜 상기 컬러필터 기판으로부터 캐리어 기판을 분리한다(단계 S140). 이로 인해, 유연한 컬러필터 기판이 형성된다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 공정흐름도이다.
도 5를 참조하면, TFT 소자가 형성되는 제2 플라스틱 기판을 직접적으로 지지하기 위한 실리콘 기판의 저면에 접착물질(Bonding Matter; B)을 균일한 두께로 도포한다(단계 S200).
이어서, 소정의 온도하에서 접착물질이 도포된 실리콘 기판(210)의 저면에 상기 화상 표시소자가 형성될 제2 플라스틱 기판과 동일한 열팽창 계수를 갖는 제1 플라스틱 기판(220)을 밀착되도록 부착한다(S210).
이어서, 실리콘 기판의 상면에 접착물질(B)을 균일한 두께를 갖도록 도포한 후, 소정의 온도 하에서 화상표시 소자가 형성되는 제2 플라스틱 기판을 실리콘 기판(210) 상에 적층한다(단계 S220, S230). 여기서, 제1 플라스틱 기판과 제2 플라스틱 기판의 열팽창 계수는 동일하다.
이어서, 제2 플라스틱 기판 상에 스위칭 소자로 동작하는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor), 게이트 절연막, 패시베이션막, 유기막 및 화소 전극을 형성함으로서 실리콘 기판 상에 지지되어 있는 어레이 기판을 형성한다(단계 S240).
상기 어레이 기판을 형성 방법을 구체적으로 설명하면, 제2 플라스틱 기판 상에 도전성 물질을 증착한다. 계속해서, 상기 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 게이트 전극을 형성한다. 이후에, 게이트 전극이 형성된 제2 플라스틱 기판의 전면에 게이트 절연막을 증착한다. 상기 게이트 절연막은 투명한 절연물질인 실리콘 질화막(SiNx)으로 형성된다.
계속해서, 아몰퍼스 실리콘 및 N+ 아몰퍼스 실리콘을 증착 및 식각하여 상기 게이트 전극에 대응하는 게이트 절연막상에 반도체층을 형성한다. 이어서, 상기 반도체층이 형성된 상기 게이트 절연막 상에 도전성 물질을 증착한 후 상기 도전성 물질의 일부를 식각함으로서 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성한다.
이어서, 박막 트랜지스터가 형성된 제2 플라스틱 기판 상에 투명한 절연물질을 증착하여 패시베이션막을 형성한 후 상기 패시베이션막의 일부를 제거하여 상기 드레인 전극의 일부를 노출하는 개구부를 형성한다. 이때, 상기 개구부는 유기막을 형성한 이후에 형성할 수 있다.
계속해서, 패시베이션막 상에 유기물질을 도포하여 유기막을 형성한다. 상기 유기물질은 포토레지스트(Photoresist) 성분을 포함한다. 이후에, 유기막을 노광 및 현상하여 상기 드레인 전극의 일부가 개구된 유기막을 형성한다.
이어서, 유기막 및 패시베이션막 상에 투명한 도전성 물질인 ITO, IZO, ZO 등을 증착한 후 투명한 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 화소영역 내에 화소 전극을 형성한다.
이후에, 어레이 기판과 실리콘 기판을 부착시키는 접착물질의 제거 및 상기 접착물질을 접착력을 상실시키는 공정을 수행함으로서, 상기 어레이 기판으로부터 실리콘 기판을 분리한다(단계 S250). 이로 인해, 유연한 어레이 기판이 형성된다.
도면에 도시하지 않았지만, 상기 실시예 3 및 실시예 4로부터 형성된 유연한 어레이 기판 및 컬러필터 기판을 적용하여 유연한 액정 디스플레이 장치의 제조 방법을 이하에서 설명하기로 한다.
먼저, 상기 어레이 기판 또는 컬러필터 기판의 표면에 스페이서를 형성한다. 상기 스페이서는 컬럼 스페이서 또는 비드 스페이서이다.
이어서, 상기한 스페이서가 형성된 컬러필터 기판과 유연한 어레이 기판을 대향하여 결합시킨다. 이어서, 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정물질을 주입한 후에 밀봉부제(Seal)를 이용하여 밀봉함으로서, 액정층을 포함하는 유연한 디스플레이 장치를 형성한다. 이때, 상기 밀봉부재가 도포된 컬러필터 기판 또는 어 레이 기판 상에 액정을 적하한 후에 컬러필터 기판 및 어레이 기판을 대향하여 결합하여 유연한 디스플레이 장치를 형성할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 유연한 디스플레이 장치를 형성하는데 적용되는 캐리어 기판은 플라스틱 기판 상에 표시 장치의 배선을 형성하는 고온의 화학적 기상 증착 공정시 플라스틱 기판과 캐리어 기판간의 열팽창 계수의 차이로 발생되는 힘을 상쇄시킬 수 있는 구조를 가지고 있어 상기 플라스틱 기판의 휨 현상을 효과적으로 완화시킬 수 있다.
또한, 유연한 디스플레이 장치를 형성하기 위한 플라스틱 기판의 적층 방법은 지지 기판을 사이에 두고 2개의 플라스틱 기판을 상하로 적층시키는 방법을 적용하고 있기 때문에 상기 지지 기판과 플라스틱 기판의 열 팽창계수의 불일치로 인한 발생되는 힘을 상쇄시켜 플라스틱 기판의 휨 현상의 방지 및 유연한 디스플레이 장치에 적용되는 보다 넓은 플라스틱 기판을 적용할 있다.
또한, 유연한 디스플레이 장치의 형성방법은 기존의 디스플레이 장치의 생산라인에 설비의 변경 없이 적용될 수 있기 때문에 양산 설비의 설비투자 없이 유연한 디스플레이 장치를 형성할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (11)

  1. 화상 표시소자가 형성되는 플라스틱 기판을 지지하기 위한 제1 지지 기판; 및
    상기 제1 지지 기판의 저면과 부착되고, 상기 플라스틱 기판의 열 팽창계수와 동일한 열 팽창계수를 갖는 제2 지지 기판을 포함하는 캐리어 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 지지 기판은 유리 기판 또는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 지지 기판은 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 지지 기판의 크기는 상기 플라스틱 기판의 크기 와 동일하거나 보다 큰 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  5. (a) 플라스틱 기판의 열 팽창계수와 동일한 열 팽창계수를 갖는 제2 지지 기판 상에 제1 지지 기판이 적층된 구조를 갖는 캐리어 기판을 마련하는 단계;
    (b) 상기 단계(a)에 의한 캐리어 기판의 상에 접착물질을 도포하는 단계; 및
    (c) 상기 단계(b)에 의한 캐리어 기판 상에 상기 플라스틱 기판을 적층하는 단계를 포함하는 플라스틱 기판의 적층 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 지지 기판은 유리 기판 또는 실리콘 기판이고, 상기 제2 지지 기판은 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판의 적층 방법.
  7. (a) 접착물질이 도포된 지지 기판의 저면에 제1 플라스틱 기판을 부착하는 단계;
    (b) 상기 단계(a)에 의한 지지 기판의 상면에 상기 접착물질을 도포하는 단계; 및
    (c) 상기 단계(b)에 의한 지지 기판의 상면에 제2 플라스틱 기판을 적층하는 단계를 포함하는 플라스틱 기판의 적층 방법.
  8. (a) 접착물질이 도포된 지지 기판의 저면에 제1 플라스틱 기판을 부착하는 단계;
    (b) 상기 단계(a)에 의한 지지 기판의 상면에 상기 접착물질을 도포하는 단계;
    (c) 상기 단계(b)에 의한 지지 기판의 상면에 제2 플라스틱 기판을 적층하는 단계;
    (d) 상기 단계(c)에 의한 제2 플라스틱 기판 상에 화상 표시소자를 형성하는 단계; 및
    (e) 상기 단계(d)에 의한 제2 플라스틱 기판으로부터 상기 지지 기판을 분리하는 단계를 포함하는 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1 플라스틱 기판은 상기 제2 플라스틱 기판과 동일한 열 팽창계수를 갖는 것을 특징으로 하는 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 화상 표시 소자는 박막 트랜지스터를 포함하고,
    상기 단계(d)에 의해 박막 트랜지스터 기판으로 정의되는 것을 특징으로 하는 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법.
  11. 제8항에 있어서, 상기 화상 표시 소자는 색화소층을 포함하고,
    상기 단계(d)에 의해 컬러 필터 기판으로 정의되는 것을 특징으로 하는 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법.
KR1020030092437A 2003-12-17 2003-12-17 캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 KR101002936B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030092437A KR101002936B1 (ko) 2003-12-17 2003-12-17 캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및유연한 디스플레이 장치의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030092437A KR101002936B1 (ko) 2003-12-17 2003-12-17 캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및유연한 디스플레이 장치의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050060733A KR20050060733A (ko) 2005-06-22
KR101002936B1 true KR101002936B1 (ko) 2010-12-21

Family

ID=37253412

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030092437A KR101002936B1 (ko) 2003-12-17 2003-12-17 캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및유연한 디스플레이 장치의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101002936B1 (ko)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11097509B2 (en) 2016-08-30 2021-08-24 Corning Incorporated Siloxane plasma polymers for sheet bonding
US11123954B2 (en) 2014-01-27 2021-09-21 Corning Incorporated Articles and methods for controlled bonding of thin sheets with carriers
US11167532B2 (en) 2015-05-19 2021-11-09 Corning Incorporated Articles and methods for bonding sheets with carriers
US11192340B2 (en) 2014-04-09 2021-12-07 Corning Incorporated Device modified substrate article and methods for making
US11331692B2 (en) 2017-12-15 2022-05-17 Corning Incorporated Methods for treating a substrate and method for making articles comprising bonded sheets
US11535553B2 (en) 2016-08-31 2022-12-27 Corning Incorporated Articles of controllably bonded sheets and methods for making same
US11905201B2 (en) 2015-06-26 2024-02-20 Corning Incorporated Methods and articles including a sheet and a carrier

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005045718B4 (de) * 2005-09-24 2009-06-25 Applied Materials Gmbh & Co. Kg Träger für ein Substrat
DE102005045717B3 (de) * 2005-09-24 2007-05-03 Applied Materials Gmbh & Co. Kg Träger für ein Substrat
KR101267068B1 (ko) * 2006-04-18 2013-05-23 엘지디스플레이 주식회사 캐리어 기판, 이의 형성방법 및 이를 이용한 유연성표시장치의 제조방법
KR100781278B1 (ko) 2006-05-04 2007-11-30 엘지전자 주식회사 입체영상 표시장치
KR101309397B1 (ko) * 2006-06-29 2013-09-17 엘지디스플레이 주식회사 가요성 표시장치용 기판
KR101279257B1 (ko) * 2006-06-29 2013-06-26 엘지디스플레이 주식회사 가요성 표시장치용 기판
KR100841321B1 (ko) * 2006-09-29 2008-06-26 엘지전자 주식회사 입체영상 표시장치
JP2010026457A (ja) * 2008-07-24 2010-02-04 Technology Research Association For Advanced Display Materials 薄膜半導体基板およびその製造装置
KR20140029987A (ko) 2012-08-31 2014-03-11 삼성디스플레이 주식회사 캐리어 기판, 이의 제조방법 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법
KR102009727B1 (ko) 2012-11-26 2019-10-22 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치, 표시 장치의 제조 방법 및 표시 장치를 제조하기 위한 캐리어 기판

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001209059A (ja) 2000-01-28 2001-08-03 Optrex Corp 液晶表示パネルの製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001209059A (ja) 2000-01-28 2001-08-03 Optrex Corp 液晶表示パネルの製造方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11123954B2 (en) 2014-01-27 2021-09-21 Corning Incorporated Articles and methods for controlled bonding of thin sheets with carriers
US11192340B2 (en) 2014-04-09 2021-12-07 Corning Incorporated Device modified substrate article and methods for making
US11167532B2 (en) 2015-05-19 2021-11-09 Corning Incorporated Articles and methods for bonding sheets with carriers
US11660841B2 (en) 2015-05-19 2023-05-30 Corning Incorporated Articles and methods for bonding sheets with carriers
US11905201B2 (en) 2015-06-26 2024-02-20 Corning Incorporated Methods and articles including a sheet and a carrier
US11097509B2 (en) 2016-08-30 2021-08-24 Corning Incorporated Siloxane plasma polymers for sheet bonding
US11535553B2 (en) 2016-08-31 2022-12-27 Corning Incorporated Articles of controllably bonded sheets and methods for making same
US11331692B2 (en) 2017-12-15 2022-05-17 Corning Incorporated Methods for treating a substrate and method for making articles comprising bonded sheets

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050060733A (ko) 2005-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101002936B1 (ko) 캐리어 기판, 이를 이용한 플라스틱 기판의 적층 방법 및유연한 디스플레이 장치의 제조 방법
JP6863905B2 (ja) 表示基板、表示パネル、表示装置、並びに表示基板及び表示パネルの製造方法
WO2017008370A1 (zh) 阵列彩膜集成式液晶显示面板的制作方法及其结构
US7508481B2 (en) Liquid crystal panel having multiple spacer walls and method of making the same
JP4486554B2 (ja) 低分子有機半導体物質を利用する液晶表示装置及びその製造方法
US20090303423A1 (en) Liquid crystal display and a method for manufacturing the same
US20120081651A1 (en) Display panel
CN101825815A (zh) Tft-lcd阵列基板及其制造方法
KR100653467B1 (ko) 박막 트랜지스터-액정표시소자의 제조방법
US20070254415A1 (en) Thin film transistor substrate, method of manufacturing the same and method of manufacturing liquid crystal display panel including the same
CN106024705B (zh) Tft基板的制作方法
JP2008042218A (ja) 薄膜トランジスタパネルの製造方法
KR101073032B1 (ko) 플라스틱 기판의 적층 방법 및 이를 이용한 유연한디스플레이 장치의 제조방법
KR100964575B1 (ko) 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 적용되는캐리어 기판
KR20040061292A (ko) 액정표시소자 제조방법
JP3696214B2 (ja) 薄膜トランジスタディスプレイパネル及びその製造方法
US6916691B1 (en) Method of fabricating thin film transistor array substrate and stacked thin film structure
TWI400524B (zh) 一種液晶顯示製程面板與形成配向膜的方法
KR20050077859A (ko) 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의제조방법.
WO2010079540A1 (ja) 液晶表示パネル
WO2016123933A1 (zh) 一种阵列基板的制作方法、显示基板及显示装置
KR100715937B1 (ko) 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법
US20060160033A1 (en) Method for printing by printed pattern and production equipment for printing printed pattern
CN101807551B (zh) 电子纸阵列基板制造方法和电子纸阵列基板
WO2012005198A1 (ja) アクティブマトリクス基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131129

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141128

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171129

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181126

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191202

Year of fee payment: 10