JP2008172241A - 高温ロボットエンドエフェクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ある実施形態において、エンドエフェクタは反対の装着端と遠端とを有し、セラミックの単体の塊から作製された本体を含む。この本体は本体の上面から上方に延びる一対の弓型リップを含む。各リップは、本体の遠端に配置された各フィンガーに配置されている。弓型内壁は、本体の装着端で、上面から上方に延びている。内壁とリップは基板受容ポケットを画定している。複数の接触パッドが本体の上面から上方に延びており、そこで基板はサポートされる。リセスが本体の底面に形成されていて、装着クランプが収容されている。
【選択図】図5
Description
本発明の実施形態は、概して、高温半導体処理システムで利用するロボットコンポーネントに関する。
半導体基板処理では、一般的に、基板に複数の連続プロセスを行って、導体や絶縁体等のデバイスが基板上に作成されている。これらのプロセスは、通常、製造プロセスの一工程を行うように構成されたプロセスチャンバで実施される。処理工程の全体のシーケンスを効率よく完了するために、数多くのプロセスチャンバが、一般的に、中央搬送チャンバに結合されている。このチャンバには、ロボットが収容されていて、周りを囲むプロセスチャンバ間での基板の搬送を促す。この構成の半導体処理プラットフォームは、クラスターツールとして通常知られている。例を挙げると、カリフォルニア州、サンタクララのアプライドマテリアルズ社(Applied Materials,Inc.,Santa California)より入手可能なプロデューサー(PRODUCER)(登録商標)、センチューラ(CENTURA)(登録商標)及びエンデューラ(ENDURA)(登録商標)の系列ものがある。
他の実施形態において、本体は、更に、本体のセンターラインを通して形成された孔を含み、内壁及びリップが、孔の中心から同じ半径方向距離で配置されている。
Claims (14)
- 処理システムにおいて、基板を搬送するのに好適なロボットエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタが、
反対にある装着端と遠端とを有し、セラミックの単体の塊で製造された本体を含み、前記本体が、
前記本体の前記遠端に配置された一対のフィンガーと、
前記本体の上面から上方に延びていて、各フィンガーに配置された一対の弓形リップと、
前記本体の前記上面から上方に延びる複数の接触パッドと、
前記本体の前記装着端で前記上面から上方に延びる弓形内壁であって、リップと共に基板受容ポケットを画定している弓形内壁と、
前記本体の底面に形成されたリセスとを含むロボットエンドエフェクタ。 - 前記本体が前記内壁の外側へ前記本体を通して形成された複数の孔を含み、前記孔の一端が前記リセスに開いている請求項1記載のエンドエフェクタ。
- 前記本体が前記本体のセンターラインを通して形成された孔を含み、前記内壁及びリップが前記孔の中心から同じ半径方向距離で配置されている請求項1記載のエンドエフェクタ。
- 前記本体の重さが約237〜約703グラムである請求項1記載のエンドエフェクタ。
- 前記本体が約99.5重量パーセントのアルミナである請求項1記載のエンドエフェクタ。
- 処理システムにおいて、基板を搬送するのに好適なロボットエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタが、
反対の装着端と遠端とを有する矩形の平坦な本体と、
前記本体の前記遠端に配置された一対のフィンガーと、
前記本体の上面から上方に延びていて、各フィンガーに配置された一対の弓形リップと、
前記本体の前記上面から上方に延びる複数の接触パッドであって、リップ及び前記本体と同じくセラミックの単体の塊から製造されている接触パッドと、
前記本体の前記装着端で前記上面から上方に延びる弓形内壁であって、リップと共に基板受容ポケットを画定している弓形内壁と、
前記本体のセンターラインを通して形成された孔であって、前記孔の中心から同じ半径方向距離で、前記内壁及びリップが配置されている孔と、
前記内壁の外側へ前記装着端で前記本体の底面に形成されたリセスであって、前記本体のセンターラインに実質的に垂直で、横方向に延びる壁を有するリセスと、
前記本体の前記装着端を通して形成された複数の装着孔であって、孔の一端が前記リセスに開いている孔とを含むロボットエンドエフェクタ。 - 前記本体の重さが約237〜約703グラムである請求項6記載のエンドエフェクタ。
- 前記本体が約99.5重量パーセントのアルミナである請求項6記載のエンドエフェクタ。
- 前記パッドが外壁及び内壁を有しており、前記内壁及び外壁がアークセグメントである請求項6記載のエンドエフェクタ。
- 前記孔の中心に対する前記内壁の半径が約5.21インチであり、前記外壁の半径が約5.55インチである請求項9記載のエンドエフェクタ。
- 前記パッドが前記本体の上に約0.75インチ延びている請求項6記載のエンドエフェクタ。
- 真空処理システムにおいて基板を搬送するのに好適なロボットであって、前記ロボットが、
ベースと、
前記ベースの第1の端部で結合した連結部と、
前記連結部の第2の端部に結合した手首と、
矩形の平坦なエンドエフェクタを備え、前記エンドエフェクタが、
本体と、
前記本体の遠端に配置された一対のフィンガーと、
前記本体の上面から上方に延びていて、各フィンガーに配置された一対の弓形リップと、
前記本体の前記上面から上方に延びる複数の接触パッドであって、リップ及び前記本体と同じくセラミックの単体の塊から製造されている接触パッドと、
前記本体の前記装着端で前記上面から上方に延びる弓形内壁であって、リップと共に基板受容ポケットを画定している弓形内壁と、
前記本体のセンターラインを通して形成された孔であって、前記孔の中心から同じ半径方向距離で、前記内壁及びリップが配置されている孔と、
前記内壁の外側へ前記装着端で前記本体の底面に形成されたリセスであって、前記本体のセンターラインに実質的に垂直で、横方向に延びる壁を有するリセスと、
前記本体の前記装着端を通して形成された複数の装着孔であって、前記装着孔の一端が前記リセスに開いている孔とを含むロボット。 - クランププレートであって、そこから延びていて、前記エンドエフェクタの前記装着孔へ延びる複数のボスを有するクランププレートと、
前記クランププレートを前記手首に結合する複数のファスナとを含む請求項12記載のロボット。 - 前記クランププレートが、前記エンドエフェクタの前記リセスに配置されている請求項13記載のロボット。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US88454207P | 2007-01-11 | 2007-01-11 | |
US60/884,542 | 2007-01-11 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008172241A true JP2008172241A (ja) | 2008-07-24 |
JP2008172241A5 JP2008172241A5 (ja) | 2011-02-24 |
JP5675032B2 JP5675032B2 (ja) | 2015-02-25 |
Family
ID=39361369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008002018A Expired - Fee Related JP5675032B2 (ja) | 2007-01-11 | 2008-01-09 | 高温ロボットエンドエフェクタ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7717481B2 (ja) |
EP (1) | EP1944799A2 (ja) |
JP (1) | JP5675032B2 (ja) |
KR (1) | KR100973610B1 (ja) |
CN (1) | CN101226893B (ja) |
SG (1) | SG144821A1 (ja) |
TW (1) | TWI346033B (ja) |
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- 2008-01-09 JP JP2008002018A patent/JP5675032B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-01-10 KR KR1020080003074A patent/KR100973610B1/ko active IP Right Grant
- 2008-01-11 EP EP08000488A patent/EP1944799A2/en not_active Withdrawn
- 2008-01-11 TW TW097101249A patent/TWI346033B/zh active
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KR100973610B1 (ko) | 2010-08-02 |
TWI346033B (en) | 2011-08-01 |
CN101226893B (zh) | 2010-06-09 |
US20080170929A1 (en) | 2008-07-17 |
CN101226893A (zh) | 2008-07-23 |
SG144821A1 (en) | 2008-08-28 |
TW200911483A (en) | 2009-03-16 |
JP5675032B2 (ja) | 2015-02-25 |
EP1944799A2 (en) | 2008-07-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110107 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121003 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121009 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121101 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121106 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121203 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130917 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131217 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20131220 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140116 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140121 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140217 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140415 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140714 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140717 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140805 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140808 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140912 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140918 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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