1303840 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關使細長的複數個燈的紫外光源點燈的紫 外光源點燈裝置及使用該裝置的紫外線照射裝置。 【先前技術】 細長的紫外光源據知有殺菌燈、金屬鹵化物燈及準分 子燈等。由紫外光源所放射的紫外光之應用涉及多方面。 連上述之紫外光源中，準分子燈爲了易於製作多樣的 形狀及尺寸·，照射面積的大小難以受到限制，並且有發生 有效的波長之放射的特徵。亦即，準分子燈是將氙等的稀 氣或是稀氣的鹵化物等進行無聲放電，即進行介電質障壁 放電，使其發生接近固有之單色的放射之燈，記載於多數 文獻並自以往已知（例如參照專利文獻1。）。於介電質 障壁放電中，流入脈衝狀的電流。該脈衝狀的電流具有高 速的電子流，且休止期間多的緣故，會令放出氙等之紫外 線的物質暫時結合爲分子狀態（準分子狀態），當該物質 回到基底狀態時，會效率良好的放出再吸收少的短波長紫 外線。再者，氣之場合下，進行以172nm爲中心波長的 半値寬幅較寬的分子發光。波長17 2nm的紫外線，其電 能比由低壓水銀燈所得到的波長1 8 5 nm、2 5 4nm的紫外線 還大，並且比欲分解的有機化合物之結合電能還大。因 此，藉由照射波長172nm的紫外線，切斷上述有機化合 物的結合，就能分解並除去。進而，藉由在大氣環境氣中 (2) 1303840 進行波長172nm的紫外線照射，分解大氣中的氧而生成 活性氧，結合被切斷的有機化合物與活性氧一起反應，生 成碳酸氣體（C〇2 )、水（H20 )等，就很容易除去有機 化合物。因而，準分子燈作爲細長的紫外線光源非常有 效。 專利文獻1中，使用細長的管狀氣密容器。那樣，就 能採用有效長超過1 m波長。若使用此種長條的細長的準 分子燈，例如就能成爲大面積液晶基板的灰化、感光性樹 脂之硬化以及殺菌等多樣的工業應用。 可是在細長的紫外光源的多數用途中，爲了得到所希 望的照射面積以及紫外線照射強度，因此該複數個燈以鄰 接配置的方式所構成。 [專利文獻1]日本特開2003 — 197152號公報 【發明內容】 φ [發明欲解決之課題] 但是，鄰接配置細長的複數個燈的紫外光源之場合 下，其一部分在點燈中因任何原因無法點燈時，若繼續進 行紫外光照射，由於得不到所要的照射強度，因此紫外光 照射工程發生品質不良。於是，雖在此種異常時要求適當 的輔助，但在習知技術中並無法對應於此。 本發明其目的在於提供一在鄰接配置細長的複數個燈 的紫外光源之構成中，紫外光源的一部分在點燈中不知何 種原因無法點燈的場合下進行適當輔助的紫外光源點燈裝 -6 - (3) 1303840 置以及使用該裝置的紫外線照射裝置。 [用以解決課題的手段] 本發明之紫外光源點燈裝置，其特徵爲具備：以合成 各個所放射的紫外光來照射被照射面的方式所鄰接配置的 細長的複數個燈的紫外光源；和將複數個燈的紫外光源一 個個點燈的點燈電路；和檢測複數個燈的紫外光源之不點 燈的不點燈檢測手段；和連動於不點燈檢測手段來控制鄰 接於不點燈的紫外光源的紫外光源的點燈電路使紫外光輸 出增加的不點燈時輔助手段。 [發明效果] 若藉由本發明，因在細長的複數個燈的紫外光源的一 部分於點燈中不知何種原因無法點燈的場合下進行適當的 輔助’即使繼續進行紫外光照射仍可得到所要的照射強度 的緣故，在紫外光照射工程就不會發生品質不良，可提供 可靠性高的紫外光源點燈裝置以及使用該裝置的紫外線照 射裝置。 【實施方式】 [用以實施發明的最佳形態] 以下，參照圖面來說明用以實施本發明的形態。 〔第1形態〕 (4) 1303840 第1圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的第l 形態的電路方塊圖。於本形態中，紫外光源點燈裝置 UVO具備：細長的紫外光源UVL、點燈電路OC、不點燈 檢測出手段D以及不點燈時輔助手段B A。而且，上述中 的紫外光源UVL、點燈電路OC以及不點燈檢測手段D各 使用複數組，在圖中表示各個要素的符號之末尾附記上 1、2、3、···！！的數値。 〔有關細長的紫外光源UVL〕 細長的紫外光源UVL是具有利用點燈爲主來發生紫 外光的細長的發光部之光源，例如可適當選擇水銀蒸氣放 電燈、金屬鹵化物燈以及準分子燈等來使用。再者，水銀 蒸氣放電燈是以在紫外線透過性燈管的內部封入水銀以及 稀氣，藉由水銀蒸氣放電爲主來放射水銀之特性光譜的波 長2 54nm或是 3 60nm的紫外線的方式所構成的燈。而 φ 且，金屬鹵化物燈是在鐵（Fe )等之放電時主要封入用來 放射紫外線的金屬鹵化物、稀氣以及水銀等之燈電壓形成 金屬或是金屬鹵化物的燈。上述水銀蒸氣放電燈以及金屬 鹵化物燈，可爲將一對電極封裝到放電容器內的有電極型 以及在放電容器的外部捲裝激勵線圏的無電極型的任一 型。進而，準分子燈乃爲既述的。 於第1圖所示的形態中，細長的複數個燈的紫外光源 UVL1 ' UVL2、UVL3、…UVLn爲鄰接所配置，且並聯， 藉由分別於後述的點燈電路〇Cl、OC2、OC3、…OCn來 1303840 (5) 點燈。 〔有關點燈電路〇C〕 點燈電路oc是令細長的紫外光源UVL點燈的電路 手段，可對應細長的紫外光源UVL的種類採用既知的各 種點燈電路之細長的紫外光源UVL是屬於水銀蒸氣放電 燈以及金屬鹵化物燈，爲有電極型的場合下，有將稱爲石 碴的限流阻抗對紫外光源UVL做串聯並包含的必要。可 是，在無電極型的場合下，不需要石碴。而且，準分子燈 的場合下，因利用以該氣密容器的壁面作爲介電質的介電 質障壁放電，故同樣地不需要石碴。 而且，點燈電路OC是爲了對應進行點燈的細長的紫 外光源UVL之特性，將具有所要之頻率、波形以及電壓 値的電壓施加到該紫外光源UVL，配備電壓發生電路。 該電壓發生電路雖然也可以照樣利用電源，但爲了發生所 希望的電壓，最好採用電壓變換電路。電壓變換電路可採 用單獨或是組合DC - DC變換電路以及DC - AC變換電路 等。如果是敘述比較容易控制的構成的一個例子，即爲從 屬連接直流斬波器及逆變器的形態。在該形態中，能用直 流斬波器得到所希望値的平衡化直流電壓，把該平衡化直 流電壓進一步以逆變器變換爲所希望頻率及波形的交流電 壓或是脈衝電壓。 於第1圖所示的形態中，點燈電路OC是藉由點燈主 電路me及控制電路CC所構成。點燈主電路me主要是對 -9- (6) 1303840 細長的紫外光源UVL處理施加電壓以及燈電流的電 路。控制電路CC是發生點燈主電路mc的動作訊號 此控制輸入到點燈主電路me的控制系電路。 複數個點燈電路OC1、OC2、OC3、…OCn是並 低頻交流電源AC。 〔有關不點燈檢測手段D〕 不點燈檢測手段D是用來檢測細長的紫外光源 之不點燈的手段，用來個別檢測細長的複數個燈的紫 源UVL的不點燈。於本發明中，用來進行不點燈之 的構成並未特別限定。例如，藉由從細長的紫外 UVL被放射的紫外光和點燈電路中的電流、電壓 化，經常監視細長的紫外光源UV L的點燈狀態，在 生紫外光斷絕時和點燈電路中的電流、電壓對應消燈 變化的時候，將該等作爲不點燈現象進行檢測就能查 點燈。 而且，如上述，以不點燈檢測手段D經常監視 的紫外光源UVL之點燈狀態的構成之場合下，藉由 控制上述點燈狀態，也能定照度控制細長的紫外 UVL，或者調光到所希望電位。進而，也可在細長的 光源UVL之不點燈檢測時來控制點燈電路〇c使該 停止，爲了安全達到保護。 於第1圖所示的形態中，不點燈檢測手段D是 細長的複數個燈的紫外光源UVL1、UVL2、UVL3 源電 ，將 聯於 UVL 外光 檢測 光源 之變 當發 時之 出不 細長 反饋 光源 紫外 輸出 對應 -10- (7) 1303840 UVLn的各個，其複數個爲Dl、D2、D3、…Dn而配設， 且各個是藉由紫外線感測器Suvl、Suv2、Suv3、…Suvn 以及判定電路Π、J2、J3、…Jn的組所構成。然後，監 視對應由紫外線感測器Suv所得到的輸出電位之判定電路 J以對各個來判定紫外光源UVL的不點燈。 〔有關不點燈時輔助手段B A〕 不點燈時輔助手段BA是在細長的複數個燈之紫外光 源UVL的一部分爲不點燈之際，使鄰接於剩餘的紫外光 源UVL中成爲不點燈的細長的紫外光源UVL之細長的紫 外光源UVL之紫外光輸出增加的電路手段。細長的紫外 光源UVL之紫外光輸出的增加，可藉由控制該紫外光源 UVL的點燈電路OC使其高輸出化進行增加。 而且，不點燈時輔助手段BA，爲了進行上述的不點 燈時輔助，對應來自不點燈檢測手段D的不點燈檢測輸 出動作。然後，對鄰接於成爲不點燈的細長的紫外光源 UVL之細長的紫外光源UVL送出用以使紫外光輸出增加 的控制訊號。再者，成爲不點燈的細長的紫外光源UVL 與鄰接於此的細長的紫外光源UVL之關係，是藉由事先 形成表格資料使其記憶在不點燈時輔助手段BA內，於必 要時讀出該表格資料予以比較演算，就很容易得知此關 進而，不點燈時輔助手段BA，容許配備顯示手段 ID。藉由配備顯示手段ID，無論哪個紫外光源UVL都能 -11 - (8) 1303840 與進行不點燈時的輔助同時來顯示不點燈。 〔有關紫外光源點燈裝置UVO的動作〕 投入紫外光源點燈裝置UV 0之電源的話，細長的複 數個燈的紫外光源UVL予以點燈來放射紫外光。藉此， 於照射面中將紫外光照射到被照射物，就能對被照射物進 行所要的照射處理。 點燈中，假設細長的複數個燈的紫外光源UVL的一 部分’例如圖中UVL2不知何種原因造成不點燈的話，對 應成爲不點燈的細長的紫外光源UVL2的不點燈檢測手段 D2是用來檢測該紫外光源UVL2的不點燈。而且，該檢 測輸出會被送出到不點燈時輔助手段BA。不點燈時輔助 手段BA由不點燈檢測手段D2接收到不點燈之檢測輸出 的話，會對鄰接於成爲不點燈之細長的紫外光源UVL2之 細長的紫外光源UVL1及UVL3的點燈電路OC1及OC3 送出增光控制訊號使其增加紫外光輸出。 儘管其結果細長的紫外光源UVL2成爲不點燈，但因 被照射面的照度會藉由所鄰接之細長的紫外光源UVL 1及 UVL3的增光被補光，故根據重合的理由會被維持在同一 照度乃至最低限的容許照度。而且，配光特性也不會造成 不點燈前那樣大的變化。因此，對被照射物之照射處理中 即使發生細長的紫外光源UVL之一部分的不點燈，還是 可防止照射工程發生品質不良。 再者，於不點燈時輔助手段BA配備顯示手段ID之 -12- (9) 1303840 場合下，當不管哪個細長的紫外光源UVL成爲不點燈 時，因顯示發生該不點燈，故可喚起作業者或是管理者等 的注意，就能儘快進行更換燈等的對應。 以下，參照第2圖至第6圖，針對用以實施本發明之 紫外光源點燈裝置的其他形態做說明。再者，有關與第1 圖相同的部分，附上相同的符號省略說明。 .〔第2形態〕 第2圖至第4圖是表示用以實施本發明之紫外光源點 燈裝置的第2形態，第2圖是主要部分槪念圖，第3 .圖是 紫外光源的部分切斷的剖面正面圖，第4圖是發光管的一 部分切缺正面圖。於本形態中，紫外光源點燈裝置UVO 是由細長的紫外光源UVL爲準分子燈EXL所形成，施加 由圖未示的點燈電路所輸出的高頻脈衝電壓予以點燈。其 他構成雖省略圖示，但爲與第1圖所示的第1形態相同。 > 而且，準分子燈EXL是其複數個燈中，於第2圖中，僅 圖示三個燈。而且，對應上述，不點燈檢測手段D分別 配設於三個燈的準分子燈EXL。 準分子燈EXL具備：氣密容器1、封入氣密容器1內 的準分子形成氣體、內部電極2以及外部電極OE，藉由 高頻點燈電路HFI作用予以點燈。再者，於圖示之形態 中，氣密容器1、準分子形成氣體以及內部電極2是事先 組裝構成一體化的發光管LT。 -13- (10) 1303840 〈有關發光管LT〉 於本形態中’發光管LT乃如第3圖所示，除了上述 構成外，在其兩端具有一對供電部3 A、3 B及一對支撐部 (有關氣密容器1 ) 氣密容器1是由紫外線透過性的材料所形成，在內部 形有細長的放電空間1 a。例如，細長的管之兩端藉由一 對封止部1 b、1 b被封止，就能造成在內部形成有圓柱狀 之放電空間1 a的構造。而且，藉由封止兩層細長的管之 兩端，也能造成在內部形成圓筒狀即橫剖面爲甜甜圈狀的 細長的放電空間的構造。紫外線透過性的材料，一般採用 合成石英玻璃製作。可是，對於利用那樣所形成的波長之 紫外線具有透過性，以哪種材料都可構成。 而且，雖然氣密容器1，爲了容許可確保所要的紫外 線量以比較狹小的間隔排列配置複數個準分子燈EXL使 用，最好爲直線性優的直管，但即使稍微彎曲也不礙事。 實際上，在形成細長的管之際，多少易發生彎曲’例如對 全長約1200mm會形成最大1mm左右以下的彎曲。可 是’該程度的彎曲，爲形成略直管所容許。 (有關準分子生成氣體） 準分子生成氣體可採用氙（Xe)、氪（Kr) (Ar )或是氮（He )等之稀氣的一種或是複數種的混合 •14- (11) 1303840 或是稀氣鹵化物例如X eCl、KrCl等。再者，封入稀氣鹵 化物之場合下，也可封入稀氣與氟（F)、氯（C1)、臭 素（Br)或是砩（I)等的鹵素，在氣密容器1的內部生 成鹵化物。而且，除了準分子生成氣體外，混合不會生成 準分子之氣體例如氖（Ne)等也會因場合被容許。 (有關內部電極2 ) 內部電極2乃如第4圖所示，以隔著氣密容器1的壁 面與外部電極OE相對向的方式被配設。可是，內部電極 2可爲露出於氣密容器1之放電空間.1 a內的方式被封入 的形態以及例如在氣密容器1的內側被配設在放電空間 1 a之外部的形態的任一種形態。後者之形態的場合下， 例如氣密容器1爲兩層管構造，內部電極2是沿著形成在 氣密容器1之中心軸側的筒狀壁面被配設。因而，於本發 明中，可理解內部電極2在由外部觀看氣密容器1的場合 下，屬於相對性配設在氣密容器1之內側的電極。 由以上說明即可理解，如果內部電極2是以在氣密容 器1的內部，該管軸方向的略全長即燈的有效長的全體進 行準分子放電換句話就是生起介電質障壁放電的方式被配 設的電極，最好爲管軸方向較長之電極的話，其餘也可爲 任何的構成。再者，於第3圖中，內部電極2圖示予以省 略。 針對第4圖所示的內部電極2之最佳構成例做說明。 亦即，該內部電極2是多數獨立的網狀部分2b分散配置 -15- (12) 1303840 在氣密容器1的軸方向，且在周圍形成分別夾介空隙而配 設之構成的網狀，並且夾介連結部分2a而連接成爲一體 化的構造，配備以插入到氣密容器1之內部的狀態所配設 的構成。藉由採用此種內部電極2 ’就能相對性多數產生 紫外線發生量。再者，網狀部分2b對周方向可爲連續、 也可爲分斷。 因而，內部電極2形成網狀之場合下，該網狀部分 2b，具體而言例如容許形成環狀、螺旋狀或是線圈狀或是 網目狀等。 其次，針對配設在內部電極2由石英玻璃所形成的氣 密容器1之內部的場合下的支撐構造以及供電構造做說 明。對於將內部電極2封固在氣密容器1內，乃如第4圖 所示，可採用利用封固金屬箔1 b 1的封固構造。亦即，將 拉伸延長內部電極2之連結部分2 a的兩端所形成的直線 狀端部2c，利用溶接等連接在封固金屬箔1 b 1，並將內部 電極2插入到氣密容器1內後，加熱端部的石英玻璃形成 軟化狀態而由封固金屬箔1 b 1的上面予以壓緊密封。那樣 做的話，在氣密容器1的端部形成有封止部1 b，內部電 極2就會被支撐在特定的位置。 (供電部3 A、3 B ) 供電部3 A、3 B是構成對內部電極2用來供給準分子 放電所必要之電流的供電端。然後，供電部3 A、3 B是分 別形成棒狀，內端是溶接於被埋設在形成於氣密容器1之 -16- (13) 1303840 兩端的封止部1 b的鉬箔1 b 1，基端是由形成在 之兩端的封止部1 b朝向外部之管軸方向突出 部3 A、3 B是在後述的支撐部5之內部，分別 供電線4。再者，供電線4是由後述的高頻點 的輸出端延長設置。 (支撐部5 ) 0 支撐部5乃如第3圖所示，具備：有底圓 5a、繫緊環5b以及安裝臂5c。蓋體5a是用 管LT的端部。然後，.在底部具有供電線 5al。繫緊環5b是配設在蓋體5a的開口端， 容器1的端部。安裝臂5c是由蓋體5a的側面 上方突出，將發光管LT以蓋體5a的上面抵接 的定位臂的狀態利用安裝臂5c安裝在圖未表 分。 <有關外部電極〇E> 外部電極OE是以至少在準分子燈EXL的 分，沿著其管軸方向密接在氣密容器1的外面 適度的間隙予以延長設置的方式被配設，並相 電極2。然後，藉由與外部電極OE以及內部 動作，且以至少在氣密容器1的放電空間1 a 密容器1中的一個壁面作爲介電質的介電質障 式產生作用。
氣密容器1 。又，供電 緊固連接於 燈電路HFI 筒狀的蓋體 來包圍發光 4的插通孔 固定在氣密 於圖中朝向 在圖未表示 示的固定部 有效長之部 ，或者保持 對向於內部 電極2偕同 內生起以氣 壁放電的方 -17- (14) 1303840 而且，外部電極OE也可爲具備剛性的構成以及具備 可動性的構成的任一種構成。剛性之場合下，作成由導電 性金屬所形成之熱容量較大的塊狀之如圖所示的外部電極 OE。因而，可根據希望照樣將以往稱爲燈體的構件作爲 外部電極使用。此場合下，就不必採用像是將由以往使用 的鋁製之薄板所形成的外部電極OE夾持在燈體與氣密容 器1之間的構造。而且，爲了冷卻生起準分子放電之區域 的氣密容器1部分，可在外部電極OE配設冷卻手段9。 此場合下，冷卻手段9雖可爲任何的構成，但冷媒最好是 將流通到內部的.冷卻水路外附在外部電極OE，或是一體 •形成在內部予以附設。進而，外部電極OE也可作成連續 的面狀或是網狀的任一種狀態。再者，網狀是指作成網目 狀、冲孔狀、格子狀等。 於圖示之形態中，作成由鋁所形成的塊狀之外部電極 OE，乃如第2圖所示，在其發光管LT的管軸方向之中間 部具有爲了將從發光管LT被放射的紫外光導入到不點燈 檢測手段D的紫外線感測器Suv的透孔TH。 <點燈電路> 點燈電路是對準分子燈EXL的內部電極2與外部電 極0E之間施加高頻脈衝電壓，用來作用準分子燈EXL予 以點燈。而且，點燈電路是以昇壓斬波器及並列逆變器爲 主體所構成，該高頻脈衝輸出是分別其高電位側爲夾介供 電線4、4而施加於準分子燈EXL之發光管LT的一對供 -18- (15) 1303840 電部3 A、3 B，而低電位側則施加於外部電極OE。再者， 上述昇壓斬波器是對上述並列逆變器形成直流電源的功 能，將輸出的直流電壓控制在所需要的。而且，上述並列 逆變器會發生高頻脈衝電壓。 <準分子燈EXL的動作> 準分子燈EXL因爲點燈電路OC的高頻輸出端的一 方，例如高壓側輸出端經由供電線4、4連接在從內部電 極2朝向外部導出的一對供電部3 A、3 B，另一方，例如 低壓（接.地）側輸出端連接在外部電極〇E的一端，所以 投入點燈電路0C之圖未表示的輸入電源的話，會發生高 頻脈衝電壓，施加在內部電極2與在此夾介氣密容器1的 壁面而相對向的外部電極OE之間。其結果，在氣密容器 1的內部生起介電質障壁放電。藉由該準分子放電並利用 氙的準分子放射中心波長爲172tim的真空紫外光。真空 紫外光是透過氣密容器1的壁面朝向外部導出，故可將此 對應各種目的予以利用。 〔第3形態〕 第5圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的第3 形態的電路方塊圖。本形態是細長的紫外光源UVL爲準 分子燈EXL，點燈電路OC具備定電壓直流電源CDC以 及DC — AC變換電路INV之主從連接電路所構成，並且 具備依據電路動作狀態來檢測燈動作狀態的方式所構成的 -19- 1303840 . (16) 燈狀態檢測手段LOD。 紫外光源UVL是由與第2形態的光源同樣的準分子 燈EXL所形成。 點燈電路〇 C是由其定電壓直流電源c d C爲直流斬 波器等之定電壓化的DC - DC變換電路所形成，將低頻交 流電源電壓變換爲所要値的直流電壓。又，定電壓直流電 源C D C可藉由來自後述的燈狀態檢測手段L 〇 d之反饋來 調整輸出電壓。DC — AC變換電路INV可藉由逆變器所構 成，將直流電壓變換爲高頻脈衝電壓。 燈狀態檢測手段LOD是具備定電壓直流電源CDC的 電流檢測手段DI或/及電壓檢測手段dV而成，藉由其 檢測輸出的値來判定準分子燈EXL之狀態的方式所構 成。 燈狀態檢測手段LOD是藉由定電壓直流電源CD C之 電流檢測手段DI所構成的場合下，於準分子燈EXL之穩 定點燈動作中當負荷變動時，輸出電流的檢測値會變動， 而且在不點燈之際，檢測値被遮斷。進而，在準分子燈 EXL的氣密容器破損發生異常放電之際，即使異常放電電 流幾乎不會改變穩定點燈時的燈電流，由於定電壓直流電 源CDC的定電壓特性，隨著燈電壓極端下降，電流檢測 値變小。因而，在省略圖示的判定手段中，事先以電流檢 測手段DI的檢測輸出與燈狀態的關係例如作爲表格資料 而記億，與檢測値進行比較演算，藉此就能正確判定準分 子燈EXL的燈狀態。 -20- (17) 1303840 而且，燈狀態檢測手段L O D是藉由定電壓直流電源 CDC之電流檢測手段DI以及電壓檢測手段DV所構成的 場合下，依據電流檢測値以及電壓檢測値求得輸出電力， 檢測其變化的話，於準分子燈EXL之穩定點燈動作中當 負荷變動時，輸出電力會變動，而且在不點燈之際，輸出 電力被遮斷。進而，在準分子燈EXL的氣密容器破損發 生異常放電之際，檢測電力變小。因而，在省略圖示的判 定手段中，事先以藉由定電壓直流電源D C S的檢測電力 値與燈狀態的關係例如作爲表格資料而記憶，與檢測値進 行比較演算，藉此就能正確判定準分子燈EXL的燈狀 態。 像這做’若根據本形態，將準分子燈EXL的狀態藉 由上述的構成來檢測，就能對應要求適當進行準分子燈 EXL ·的控制和保護。而且，在複數個燈的準分子燈EXL 之一部分爲不點燈的場合下，在補足因不點燈的照射面之 照射照度的不足之際，藉由附加與第1形態的燈同樣的構 成’就能在不點燈之際使鄰接的準分子燈EXL增光，將 因不點燈之照射照度不足，補足到所希望的程度。 〔第4形態〕 第6圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的第4 形態的電路方塊圖。本形態乃在與第5圖所示的第3形態 之對比中’除了點燈電路0C的定電壓直流電源CDC的 電流檢測手段DI 1及其判定手段JC1外，具備用來檢測 -21 - (18) 1303840 DC — AC變換電路INV之輸出電流的電流檢測手段DI2及 其判定手段JC2，並且更具備燈狀態判定手段jC3。 電流檢測手段DI1的檢測輸出係準分子燈Exl及DC 一 AC變換電路INV發生異常時變小，故利用判定手段 JC 1來判定這個，藉此就能判定上述異常。 電流檢測手段DI2的檢測輸出係準分子燈EXL及DC 一 AC變換電路INV發生異常時變小，故利用判定手段 JC2來判定這個，藉此就能判定上述異常。 燈狀態判定手段J C 3是依據判定手段J C 1及J C 2的判 定結果進行比較判定，藉此就能指定準分子燈E X L及D C 一 AC變換電路INV是哪一個發生異常。 第7圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的其中 一形態的槪念圖。於圖中，針對與第2圖相同的部分附上 相同的符號，說明予以省略。於本發明中，紫外線照射裝 置UVW是利用由介電質障壁放電燈EXL所發生的紫外線 的所有裝置。例如爲光洗浄裝置、光硬化裝置以及光乾燥 裝置等。紫外線照射裝置UVW係具備紫外光源點燈裝置 UV Ο以及紫外線照射裝置本體丨1。 紫外光源點燈裝置UVO係具備第1圖及第2圖所示 的構成。 紫外線照射裝置本體1 1是由紫外線照射裝置UVW除 了紫外光源點燈裝置UVO之剩下的部分，例如具備關閉 器SY以及被照射物載置台丨2等。被照射物載置台丨2是 將被照射物1 3位於照射面的方式予以支撐。而且，雖省 -22- (19) 1303840 略圖示，但根據希望可具備利用冷風來冷卻被照射物1 3 的被照射物冷卻手段。 【圖式簡單說明】 第1圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的第1 形態的電路方塊圖。 第2圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的第2 形態的主要部分槪念圖。 第3圖是相同的紫外光源之部分切斷的剖面正面圖。 第4圖是相同的發光管之一部分切缺正面圖。 第5圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的第3 形態的電路方塊圖。 第6圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的第4 形態的電路方塊圖。 第7圖是用以實施本發明之紫外光源點燈裝置的其中 一形態的槪念圖。 【主要元件符號說明】 A C S :低頻交流電源 BA :不點燈時輔助手段 c c :控制電路 ID :顯示手段 me :點燈主電路 OC :點燈電路 -23- (20)1303840
Suv :紫外線感測器 UVL :細長的紫外光源 UVO :紫外光源點燈電路
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