TWI297523B - Die carrier - Google Patents

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TWI297523B
TWI297523B TW092123101A TW92123101A TWI297523B TW I297523 B TWI297523 B TW I297523B TW 092123101 A TW092123101 A TW 092123101A TW 92123101 A TW92123101 A TW 92123101A TW I297523 B TWI297523 B TW I297523B
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P Malathong Seang
A Hemmerling Martin
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Aehr Test Systems
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Description

I2975^6pif d〇c 為第92123101號令文說明書無劃線修正本 修改曰期·· 96年n月 22曰 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於-種晶粒载座,其偏來暫時 二T日粒之老化或其他測試。本發明_ 2 咖哦物板插槽 【先前技術】 一般而言’在半導體晶圓中或晶圓上形成積 =圓Γί切割成一顆顆分別載置著積體電路二
(dicing)^,] " ^ ^ ^ % ^ 4 ^ ^ #J —當晶粒從整片晶圓切割出來後,在進行封裳,最好先對 ^晶粒内的積體電路進行測試。預先確認晶粒中的缺陷, 在晶粒封裝時增加額外的_。對於多晶粒組件而 i體價^確⑽疋特別重要的,因為—個缺陷晶粒將會影響到
Crl.種'K單I封裝晶粒的方法是將晶粒暫時插入晶 《(。farrier)之載座本體的存放構造(r—g f__ 夕子山構k中的多數個晶粒接點(dieecmtaet)會與晶粒上的 =固端點(terminal)分別接觸。外部載座接點係電性連接到 妾點’並且其表面會與紐無賴,藉以在載座接點 與晶粒上的端點之間提供訊號。 墓座接著被插人到插槽㈣㈣中。插槽具有多數個 〜腳’絲連接到—電路板。插槽也具有多數個插槽 I2975^6pif d〇c 修改日期·· 96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 接點,其用來與接腳做電性連接並且與載座接點接觸。因 此,電流可經由電路板與電路板連接器而傳導至載座接點, 並且在電路板與未封裝晶粒之間建立起一條電性路徑,以用 來測試晶粒中的積體電路。 目前用來測試薄小型包裝體(thin small_〇utHne package ’ TSOP)電子組件的測試裝置中有數種插槽式者。 tsop封裝結構具有插人模型(mGld)巾的—微電子晶粒以及 具有數個從對邊延伸之145微米薄的電性導線(㈣。然而, 在目前並沒有-種可以用於TS〇p插槽中的晶粒載座。 【發明内容】 、因此,根據本發明之-觀點,本發明提出—種微電子晶 粒連接組件’其包括插槽與晶粒載座。插槽包括··插槽本體、 數個‘電|±電路板連接盗、分隔成左、右列的導電性下插槽 接點,分隔成左、右列的導電性上鋪接點。導電性電路板 連接器位於插槽本體外。導電性下插槽接點與導電性上插槽 ,點係位於插槽本體上,且至少分财—部分連接到電路板 連接器。晶減座包括:載座本體、數個晶粒無與數個左 歹J右列載座接點。載座本體具有一存放構造,其可暫時容 納-微電子晶粒。晶粒接點係位於械構造巾,其可與晶粒 的U接觸。載座接點係係從载座本體的對邊延伸設置於 晶粒載座上,並且與晶粒接點連接。左、右列的載座接 點係以-特定關距彼此姉’關距可以在上插槽接點位 於退出位置時,使得錢雜赌人於左、右列的上插槽接 占之間,並且在上插槽接點位於接觸位置時,使得各載座接 ^T2o96pif. doc 為第92123101號巾湖書無齡修正本 修改日期:96年U月22日 點位於各對上、下插槽接點之間。 根據本發明另一觀點,本發明亦提出一種晶粒載座,包 括:載座基座支#元件、載絲板、载縣體、數個晶粒接 點與數個載座接點。載座基座支撐元件具有第—寬度。載座 基板位於載座基座支撐元件上,且載座基板具有第二寬度, 使得載座基板之左右部分延伸出載座基座元件。載座本體位 於載座基板上’且載座本體具有存放構造时暫時且可移開 地容納微電子晶粒。㈣aSB減點位於餘基板之存放構造 中,用以與微電子晶粒上的每一個端點接觸。該些載座接點 位於载座基板之各左邊與右邊的表面±,錢與該些晶 點電性連接。 .根據本發明另一觀點,本發明更提出一種晶粒載座,包 括.載座基座、載座基板、載座本體、載座鉸鍊構件與載座 鉸鍊栓。載座基板位於載座基座元件上。載絲鍊座位於载 座基座支撐元件上。載縣齡於载絲板上,且载座本體 具有存放構造用來暫時且可㈣地容納微電子晶粒。載座錢 鍊栓係插入於載座鉸鍊座與載座本體上的數個開孔中,用以 將載座本體絲SI定到載座鉸鍊座,且經由載餘鍊構件的 開孔可令載座鉸賴件可旋轉地絲固定於載座鉸鍊座上。 .曰根據本發明另-觀點’本發明更提出一種晶粒载座,包 括:晶粒基板、载座本體、數個晶粒接點與數個下載座接點。 載座本體係位於餘基板上,且载座本體具有存放構造,用 來暫4且可移開地容納微電子晶粒。該些晶粒接點係位於载 座基板之存放構造巾,肋與微電子晶粒上的每—個端點之 1297521 fz(T96pif. doc 修改日期:96年π月22 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 接觸。該些下載座無餘於延伸至本料的载座基板 之左右部分的下側上,且下載座接點係與至少—部 = 接點電性連接。 θθ" 為讓本發明之上述目的、特徵、和優點能更明顯易懂, 下文特舉較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說明'如 【實施方式】 第1圖係依據本發明之實施例所緣示的晶粒載座其 包括晶粒基座支撐元a、載座基板Μ、,.座欽鍊^ (carrier hinge base)16A_D、載座本體18、載座蓋2〇、載座閃 (carrier latch)22、前後載座鉸鍊栓(hinge pin)24A、24B、以及 前後載座彈簧26A、26B。 載座鉸鍊座16A-D係一起成形而固定於載座基座支撐 元件12上。載座鉸鍊座16A與16B彼此之間有一間距,並 且從載座基座支撐元件12的前端部分向上延伸。載座鉸鍊 座16C、16D彼此之間也有一間距,並且從載座基座支撐元 件12的後端部分向上延伸。 載座基板14的厚度約為I#微米。在另一實施例中, 載座基板14之厚度在約135微米至155微米之間。載座基 板14有四個開口,每一個開口均與各個載座鉸鍊座16八_〇 的位置對應。如第1A圖所示,載座基板η的中央部份的一 部分在載座基座支撐元件12上,一部分則在橡膠部材15A 上。橡膠部材15A係位在載座基座支撐元件12之上表面的 凹處(pocket)15B内。載座基板14的寬度wi係大於載座基 座支撐元件12的寬度W2,使得載座基板14的左右部分 I2975^6pif doc 修改日期:96年11月22日 為弟92123101號中文說明書無劃線修正本 30A、30B在載座基座支撐元件12之外延伸。 載座本體18也具有四個開口,每一個開口均與各個載 座鉸鍊座16A-D的位置對應。載座鉸鍊座16尬係相對於 載座基板14來與載座本體18賴。本體财具有一 存放構造32。存放構造32的邊係由載座本體18的各相對應 部分所^,时放構造32的底顧_座絲14 _成。 載座蓋20 &含蓋體鉸鍵構件34與蓋體加壓板%。蓋體 · 加壓板被固定於蓋體鉸鏈構件34上,使得蓋體加壓板%可 :乂相?於蓋體鉸鏈構件34轉動與搖動,且使蓋體加壓板% · 壓向蓋體鉸鏈構件34。蓋體鉸鏈構件34與蓋體加壓板%之 間的壓縮彈黃(未繚出)可以撐開蓋體加壓板36與蓋體欽鏈構 件34 〇 蓋體绞鏈構件34具有兩個末端構件38,其位於載座鉸 鍊座16C、16D外。載座鉸鍊座16c、16〇之間則插入 載座張力彈簧26B。 · 載座閃22具有兩個末端部分40,其係位於載座鉸鍊座- 16A、16B外。載座鉸鍊座16Α、16β之間則插入一前載座張 力彈簧26A 〇 · 前載座鉸鍊栓24A係穿插過載座本體18的開口、載座 閂22之末端部分4〇、載座鉸鍊座16A、16B並且穿過前載 座^力彈簧26A。因此’前載座鉸鍊栓嫩將載座本體18 的前端部分,藉由載座鉸鍊座16Α、⑽固定職座基座支 f兀件12上,而不需要任何會額外浪費空間的螺絲與螺帽。 前載座鉸鍊栓24A也同時將載座閂22可樞軸轉動式、地固定 I2975api,doc 修改日期:96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 到載座本體18上。 同樣地,前載座鉸鍊才全24B係穿插過載座本體18的開 口、蓋體鉸鏈構件34之末端構件38、載座鉸鍊座16C、16D 並且穿過後載座張力彈簧細。因此,後載座鉸鍊栓施將 載座本體18的後端部分,經由載座鉸鍊座16C、16D固定到 載座基座支撐元件12上。後載座鉸鍊栓24b也同時將蓋體 鉸鏈構件34可枢軸轉動式地固定到載座本體18上。 在使用時,係將微電子晶粒(未繪出)插到存放構造32 中,並且使微電子晶粒的端點位在載座基板14上,然後, 由載座基板14與載座基座支撐元件12上的吸引孔41抽真 空,可吸住晶粒。在電子產業界中,係將這種的晶粒方向稱 之為覆晶(flip chip)。 然後,以後載座鉸鍊栓24B作樞軸,抵抗後載座彈箬 26B所產生的彈性力旋轉載座蓋2〇,以使得蓋體加壓板36 與微電子晶粒的上表面接觸(在覆晶方向為晶粒的背面)。調 整蓋體加壓板36其相對於蓋體鉸鏈構件34之樞軸,可以改 變微電子晶粒上表面上之蓋體加壓板36其表面的水平。在 蓋體鉸鏈構件34的外表面施壓時,蓋體加壓板36與蓋體鉸 鏈構件34之間的彈簧會產生彈力,將微電子晶粒斜偏壓於 載座基板14上。 蓋體鉸鏈構件34的前端42可抵抗前載座彈簧26A所產 生的彈力,而移動載座閂22之嵌合結構(engaging f〇rmation)44。嵌合結構44接著扣住前端42,使得載座蓋2〇 處於關閉的位置。微電子晶粒此時便被固定在存放構造32 11 12975益。if — 修改日期:96年11月22 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 中。 七&ΓΓ、、、第2圖’非導電性载座14上具有數個導電部, 曰粒接點50、多數個载座接點52以及多數個開 f狀拉線(fan-om trace)54。晶粒接點5〇位於載座基板Μ的 中央部份,其與微電子晶粒端點的位置相對應,以使得微電 子晶粒上的各綱點可與之接觸。載絲座讀元件Η盘 ,凹陷處的橡膠部材15A可支_座基板14。由於橡膠部材 5A具有可塑性’因此’晶粒接點可相對於載絲座支撐元 Γ〇 L2日垂4直Γ動’並且確保絲座基板14上的每-晶粒接點 5〇與曰日粒上母-端點之間完全接觸。在另—實施例中,可由 載座基板14、晶粒接點5〇或晶粒上的端點縣提供可塑性。 載座接點52分為左列52Α與右列s2b,其分別在載座 基板Η的左部、右部30A、遞的邊緣。每一個載座接點 52Α或52Β皆分別以開扇狀拉線54連接到晶粒接點%。載 絲板14的下表面亦形成有錄_座接點(树⑴。在載 座基板14下表面的載座接點的配置,係與载座基板14之上 表面上之載座接點52Α與52Β的位置相對應。在載座基板 14中的貫孔㈣56 ’可將各載座接點52Α與52β與載座基 板14下表面之各對應的載座接點連接。因此,載座基板& ^表面之每—餘無也經由對觸貫孔%和開扇狀拉線 54與晶粒接點5〇電性連接。 在一實施例中,載座基板Η上有27個載座接點52Α與 ^载座接點52Β。在另—個實施例中,—列的載座接點可 旎有22至35個載座接點。另一個實施例的一邊上具有33 12 12975¾ M6pif.doc 修改日期:96年11月22 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 個載座接點。在另一實施例中,載座基板14之寬度約為12mm 且長度約為21mm。在另一實施例中,寬度可以在9至 之間’且長度可以在18至24mm之間。 晶粒載座10係先被插入在一測試接觸器中,以對晶粒 執行預老化測試(pre_burn-in test)。測試接觸器可用來放置典 型的TSOP電子組件,且晶粒載座10之形狀、尺寸與接點配 置專係可與測试接觸器配合,而載座基板14之下表面載座 接點可與測試接觸器的對應接點接觸。在預老化測試完成 後,晶粒與晶粒載座10便從測試接觸器移開,並且插入到 一般的老化插槽中進行老化測試。 苐3圖與弟4圖係繪示一般老化插槽6〇。而第1圖的晶 粒載座10係針對此插槽所設計。第3圖的左半邊繪示插^ 60之外部構件,而右半邊則以剖面來繪示内部構件。左半部 的剖面圖’為弟3圖所示之右半邊剖面圖之鏡像。 插槽60,其包括插槽本體62、電路板連接器接腳64、 左、右列的導電性下插槽接點66(只繪出右列)、左、右列的 導電性上插槽接點68(只繪出右列)以及插槽致動構件7〇。 被固定住的電路板連接器接腳64係由插槽本體62之下 表面延伸,其可插入到老化電路板(未繪出)之對應孔洞中。 此外’還有一些開口(p〇cket)以相同的方式連接到電路板。電 流便可以從電路板,經由電路板連接器接腳64,到達導電性 下插槽接點66與導電性上插槽接點68。如插槽60之數個插 槽可連結組裝在電路板上,以形成永久或半永久組件。 固定在插槽本體62中的數個共同接合部(common 13 I2975^6pif d〇c 修改日期·· 96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 碰此絕緣,並且齡顺所對應的電路 板連接裔接腳64電性連接。 人邻點66’係電性連接到各自對應的共同接 4 72 ’並且其所在位置會使其上表面暴露出來。每一上插 =68,係經由各自對應的鉗制彈簧(ci_ng % 來連接到與之對應的共同接合部72,其可以在第3圖所 线-置之_動°當上插槽接點 66的# ^ ’八可轉動而和與之對應的下插槽接點 合盥的上插槽接點沾和下插槽接點66 7曰2:二電;5合部72連接,也因此會有與共同接合部 位二Λ二圖所示,當上插槽接點68位在退出 置$ ’钳制彈黃74會管曲,而使得各上插槽接點68往上 移動到其所對應之下插槽接點66的右側。 所-件7〇被固定在插槽本體62上’且在第3圖 處”弟4圖所示之下降處之間移動。固定於上插 ==各Γ連結構件76,可沿著插槽致動器70之表 端動構件7。往下移動時,連結構件76的前 獅76往轉鱗,纽得上插槽接 點68向上移動到下插槽接點66的右侧。 谷,於插槽60右邊上所有的上插槽接點68會一致地上移 ::邊二而插槽60左邊上所有的上插槽接點會上移至左邊, 口此,當插槽致動構件70下隊Fpfc ,, 其彼此之間的間距會增加。在‘I 插槽接點68 70^ 在插槽本體62與插槽致動構件 插⑽的恢復力的作用下,插槽致動構件70會 1297523 ™6pif.doc 修改日期:96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 上升,而使前述間距縮減。 在使用上,上插槽接點68移動至第4圖所示之退出位 置。微電子晶粒被置於第i圖的晶粒載座1〇中,之後,再 將晶粒載座10插入插槽60之中。載座基板14之下表面上 的載座接點52之左右列便被定位在下插槽接點66之左右列 的頂端。接著,令上插槽接點68移動到第3圖所示的位置, 且載座基板14被夾在上下插槽接點68、66之間。在第3圖 中的每一個上插槽接點68會與第2圖右侧所示之右列的各 自對應載座接點52B接觸。同樣地,每一個上插槽接點68 會與第2圖左側所示之列的各自對應載座接點52八接觸。右 列之載座接點52B的間距(pitch)便與左邊列上之插槽接點68 的間距相當。而且,左列載座接點52A與右列載座接點52b 之間的間距係設計與左、右列之上插槽接點68之間的間距 相當。經由各個電路板連接器接腳64、共同接合部72、各 對上下插槽接點66、68、載座基板14之上下表面的各對載 座接點52(只繪出上表面的接點52)、各開扇狀拉線%以及
各晶粒接點50,再到達各微電子晶粒上的接點,可形成一電 流通路。 值得注意的是,第1圖之晶粒載座1〇是使用於插槽6〇 中。更具體而言,晶粒載座10具有一基板14,基板14上配 置著载座接點52。晶粒載座1〇的大小尺寸被設計成與上、 下插槽接點68、66的位置相匹配。145微米厚的載座基板 14可以配置在上、下插槽接點68、66之間。載座基座支撐 元件12位在僅低於載座基板14的一部分,而不會損及插在 15 I2975^6pif doc 修改日期:96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 上、下插槽接點68、66間之相當小的間隙中的載座基板Μ。 以上、下插槽接點68、66㈤之對邊來触載座基板14,可 以避免損壞餘基板14。值得注意的是,載絲座支樓元件 12並沒有會使其體積變大的_或螺帽等構件,而阻擾其播 入至插槽6G中。而且,各對上、下插槽接點、66可建立 雙邊且堅固的電性連接。 、與插槽60結合之晶粒餘1G,可形成_種微電子晶粒 連接組件,其可在電路板與微f子晶粒_遞減,以達到 測試微電子晶粒之目的。—但在完成老化測試之後,晶粒 座10便從插槽60移開。 ,5圖繪不晶粒之測試與封裝的整個流程。如前述第工 圖所示之内谷,首先係將晶粒被載置到晶粒載座上(步驟 1〇2)。接著,將晶粒載座10裂載至測試接觸器,以進行預老 化測试(步驟1〇4)。其後,將晶粒載座丨心移開測試接觸器, 再插入刚面第3圖所描述的老化插槽6(),用以進行老化測試 (步驟106)。在進行老化測試時,係將多個晶粒載座(每一個 均載置4固晶粒)插入到相同於前述之老化電路板上的插槽 中’之後,再將老化電路板再插入到老化爐作跡& 〇彻)中, 進打老化職。在進行絲職後,將老化電路板從老化爐 移開,並將晶粒載座10移開老化插槽6〇,之後,再將晶粒 載座插入#到測試接觸H中,以對晶粒進行參數測試(步驟 108)。接著,將晶粒載座1〇移開測試接觸器,再依循第1圖 所述之相反步驟,將晶粒移開晶粒載座中(步驟11〇)。接著, 將晶粒封裝到習用的TS0P中(步驟112),或將已完全測試的 16 I2975^6pif d〇c 修改日期:96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 化的裸晶粒運送到顧客端。接著,將封裝好的晶粒 再二衣載_試接觸器中(步驟114^TS〇I^的接點佈局與 曰曰粒上的接點佈局是相同的,所以可以以相同於步驟刚與 =8的晶_試步驟,藉由賴接顧來進行輯晶粒之測 试步驟114。當縣晶粒的測試步驟完成之後,便
粒移,測試接觸器。封裝好的晶粒便可以運送到顧客端。曰 第6圖繪示步驟U4中被測試的TSOP電子裝置13〇。 Tsop,電子農置13()包括微電子晶粒132以及多數個導線 136。微電子晶粒132係以物質134永久膠裝,而導線⑽ 則從物質134延伸出來。導、線136之定位與第2圖之載座接 點52相同,其可讓裝£ 13〇可以在步驟114的測試接觸哭 中進行測試。其他與裝置13〇相同之TS〇p電子装置可以^ 用相同的測試接觸器與相同的插槽6〇來進行測試。
細上所述,雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其 並非用以限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本^月 之精神和範圍内’當可作各種之更動與潤飾,因此本發明之 保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 弟1圖係依據本發明之實施例所綠示的晶粒載座之立 圖。 第1A圖係用來繪示第丨圖中之可塑橡膠部材的位置之 剖面圖。 第2圖係-上視圖,讀示第丨圖之晶粒載座中之晶粒 基板其上表面上的晶粒接點、載座接點與開扇狀拉線。 17 I2975^g6pif d〇c 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 修改日期:96年11月22曰 剖面鱗示可供第1圖之晶粒载座使狀插槽的部分 触^圖鱗示部分插槽之剖面端面圖,用以顯示上插槽 接點在退出位置的動作。 第5圖係依據本發明所纷示之微電子晶粒測試的方塊 圖〇 第6 5[為典型TSQp電子元件的上視圖,其可以以第3 圖所不之相同設備來進行測試。 【主要元件符號說明】 10晶粒載座 Μ载座基板 15Α橡膠部材 18載座本體 22载座閂 26Α_26Β前後載座彈簧 30Α、30Β載座基板的左右部分 12載座基座支撐元件 16A-D載座欽鍊座 15Β凹處 20載座蓋 24Α-24Β前後载座鉸鍊栓 34蓋體鉸鏈構件 38末端構件 41吸引孔 44嵌合結構 52載座接點 32存放構造 36蓋體加壓板 40末端部分 42前端 50晶粒接點 52Α、52Β左右列載座接點 54開扇狀拉線 56貫孔 60插槽 62插槽本體 18 1297523 12096pif.doc 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 修改日期:96年11月22日 64電路板連接器接腳 68左、右列之上插槽接點 72共同接合部 76連結構件 130電子裝置 134物質 66下插槽接點左右列 70插槽致動構件 74钳制彈簧 80插槽彈簧 132微電子晶粒 136導線
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Claims (1)

  1. I2975^96pif d〇c 為第92123101號令文說明書無劃線修正本 少 修改日期·· 96年11月22曰 十、申請專利範圍: 1· 一種微電子晶粒連接組件, 一插槽本體; I =辦f性電路板連接器,位 多數個導電性下插槽接點,其僧::夕,以及 缽插娣*赇《^ X , /、刀丨网成左、右兩列且位於 二二’至〉、—部分該些下插槽接點連接到至少-部 分該些電路板連接器; 牧』主少口丨 特二ίίΓ,純触,其分隔成左、右兩列且位於 “別相對於該左、右列之下插槽接點而移 ^至了以出位置與-接觸位置,且至少_部分之該些上插槽 接點係電性連接至至少—部分該些電路板連接器; -載座本體,具有-存放構造,狀暫時 納微電子純; 多數個晶粒接點,位於該存放構造中,用以與該 之多數個端點個別接觸;以及 、左右列之多數個載座接點,位於該載座本體上且從該 載座本體之對邊延伸,並且電性連接至該些晶粒接點,該 左右列之該些載座接點係以一間距彼此相對,該間距可以 使得當該些上插槽接點位於該退出位置時,可以其插入於該 些上插槽接點之該左右列之間,並且使得當該些上插槽接點 位於該接觸位置時,各該載座接點位於各該對上、下插槽接 點之間。 2·如申請專利範圍第1項所述之微電子晶粒連接組件, 其中當各該載座接點位於各該對上、下插槽接點之間時,各 12975益_ d〇c 修改日期:96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 該上插槽接點係與各該下插槽接點相距I%微米至微米 的距離。 ^ 3·如申請專利範圍第2項所述之微電子晶粒連接組件, 其中該當左、右列之該些上插槽接點位於該接觸位置時,該 左右列之間距為13mm之間,且該些下插槽接點之各列 之長度為18至24mm長。 4·如申請專利範圍第i項所述之微電子晶粒連接組件, 更包括: 一插槽致動構件,安裝於該插槽本體上,用以在一上升 位置與下降位置之間移動,並且當從該上升位置移動到該 :降位置日f ’娜概動構件會同時龍上純接點從該接 觸位置移動至該退出位置。 5.如申請專利難第丨賴述之微電子晶粒連接组件, :中該些電路板連接器缝該插槽本體的—下表 多數個接腳。 =如中請專利範圍第1項所述之微電子晶粒連接 羽7‘由Γ該些ΐ曰粒接點與該些載座接點彼此互相連接。 1中圍第6項所述之微電子晶粒連接組件, 其中》些载座接點係該載座基板之— 载座fr由魅電性連接到各該些下插槽接點。 .申睛專利範圍第6項所述之微電子晶粒連接組件, 21 1297523 12096pif. doc 修改日期:96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 其中該些載座接點係該載座基板之一上表面上的多數個上 載座接點,並且電性連接到各該些上插槽接點。 9·如申請專利範圍第6項所述之微電子晶粒連接組件, 其中該些載座接點包括: 多數個下載座接點,其位於該載座基板之一下表面上, 且與各該些下插槽接點電性連接;以及 多數個上載座接點,其㈣該載絲板之—上表面上, 且與各該些上插槽接點電性連接。 1〇·如申請專利範圍第1項所述之微電子晶粒連接組 件,更包括: 載座蓋,安裝至該載座本體,用以在一開啟位置與一 f閉位置之間移動,其中在該鼠位置時,可令該晶粒插入 ,移開該存放構造,並且t在該關位置時,該載座蓋會將 该晶粒固定於該存放構造中。 11·如申請專利範圍第1〇獅述之微電子晶粒連接組 件,其中該載座蓋位於該載座基板上方。 12·—種晶粒載座,包括: 一載座基座支撐元件,具有一第一寬度; 呈古一ί座基板,位於該載座基座支撐元件上,該載座基板 寬度’使得該載座基板之—左、右部分延伸出該 載座基座支撐元件; 放’位於該載座基板上,該载座本體具有—存 構=用來暫¥且可移開地容納一微電子晶粒; 多數個晶粒接點,位於該載座基板之該存放構造中,用 22 I297523qfi H 為第^號中文說明書無劃線修正本 修改日期:96年„月22日 以與該微電子晶粒上的多數個端點之每一個接觸;以及 ,、多數個載座接點,位於該載座基板之各該左右部分的至 表面上該些載座接點係電性連接到該些晶粒接點。 13·如申明專利範圍第12項所述之晶粒載座,其中該 座基板之該左、右部分的厚度係在135至155微米^間Γ 如申請專利範圍第12項所述之晶粒載座,更包括: 士〜Γ可塑性70件,可賤該些晶粒接點相對於該載座基座 支撐元件移動。 、15·如中請專利範圍第12項所述之晶粒载座,更具 過該載座基板與該載座基座支撐元件之一吸引孔。 16·—種晶粒載座,包括: 一載座基座支撐元件; 一载座基板,位於該載座基座支撐元件上; 一载座鉸鍊座,位於該載座基板上; 位於該載座基板上,該載座本體具有—存 放構^來暫#且可移開地容納—微電子晶粒; 一載座鉸鍊構件;以及 多數雜,插人於職座鉸鍊絲職座本體上的 座,且“二;該載座本體安裝固定到該载座较鍊 轉地安i固定x至鍊構件可旋 鉸鍊咖第16項所述之晶減座,其中載座 之間移動,其中在該開啟位置時,可將該晶粒插人或被移開 23 1297523 i2TO6pif. doc 為第92123101號中文說明書無劃線修正 修改曰期·· 96年n月22日 该存放構造,並且當在該關閉 晶粒 保持於該存放構造中 ^ 3载座盍會將該 如:請專利範圍第16項所述之晶粒載座,更包括: 構 工固載座接點’位於該载座基板之該存放構造中外 夕 —丨心心葫粒載座 構造中,用 ;以及 心二晶粒接點,位賊基板之該存放 ”該微電子晶粒上的多數個端點之每—個接觸 且該些载座接點係電性連接到該些晶粒接點 19·一種晶粒載座,包括: 一載座基板; 一載座本體,位於該載座基板 放構造用來暫時且可移開地容納-微電子t體具有一存 多數個晶粒接點’位於該載座基板之該盖 以= 電子晶粒上的多數個端點之每-個接觸二, 灵板^目rf座無,餅延輕該载座本料的該载座 至至 二v、右部分的1"側上,該下载座接點係電性連接 少一部分該晶粒接點。 ^連接 =申請專利範圍第19項所述之晶粒載座,更包括: 上铜Γ上载座接點,位於職絲板之該左、右部分的 點側上’該上載座接點係電性連接至至少―部分該晶粒接 21·—種晶粒載座,包括: 移本體’該載座本體具有—存放構造用來暫時且可 移開地谷納一微電子晶粒; 多數個晶粒接點,其位於魏縣體之該存放構造中, 24 I2975api,doc 修改曰期·· 96年u月22 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 微電子晶粒上的多數個端點之每一個接觸的位 -多數個部分,架構於該载座本體上 該些部分具有-上表面與一下表面,其中至少一 數個载座接點所構成,各該些載座接點 上= its,其中各部分之該上表面與該下表面之間的H 尚度係在135至155微米之間。 芏直 广J2,如中請專利範圍第21項所述之晶粒載座,其中兮载 座本體與該些部分之寬度係在9至13醜之間長Ί ίΓΓ座並且在該載座本體之一特定邊上具有^至 23=申請專觀,22項所叙晶粒,其中該垂 同广、、’、14:微米’該寬度約12mm且該長度約η贿。 # t 申睛專利範圍第23項所述之晶粒载座,其中在嗲 载座本體之簡㈣27_座無。 在該 載座H申圍第23項所述之晶粒載座,其中在該 戰1本體之該特定邊上具有33個載座接點。 26·一種測試電子構件的方法,包括·· 將一裸微電子晶粒插入於一晶粒載座中,· 將該晶粒载座與該裸微電子晶粒—输人—插槽中 接^粒载座之多數個載座接點與該插槽之多數個插槽接點 當該晶粒载座位於該插槽_時,測試該裸微電子晶粒. 將該晶粒载座從該插槽移開,且將該裸微電子晶粒從該 25 12975為 6pif doc 修改日期:96年11月22日 為第92123101號中文說明書無劃線修正本 晶粒載座移開; 將一 TSOP電子元件插入於該插槽中,該TSOP電子元 件包括一微電子晶粒、永久地膠封該微電子晶粒之一封装材 料’與從該封裝材料延伸出來之多數個導線,其中該些導線 與該插槽的該些插槽接點接觸; 測試該插槽中之該TSOP電子元件内的該微電子晶粒; 以及 從該插槽移開該TSOP電子元件。 27·如申請專利範圍第26項所述之測試電子構件的方 法,其中該裸微電子晶粒健TSQP電子元件_該微電子 晶粒。 28.如申請專利範圍第26項所述之測試電子構 ^其中該插槽為—老化電路板上之多數個插槽的其中之
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