TWI288783B - Method and equipment to deposit regionally an isolation-medium - Google Patents

Description

1288783 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種在真空室中藉由蒸發器以區域方式在可 移動之基板上塗佈一防止塗層之形成所用之隔離劑，該真 空室具有至少一金屬蒸發器，其中該隔離劑在第一室中藉 由加熱而蒸發且以蒸氣形式經由至少一種調整閥而轉向至 第二室（其設有至少一對準各別基體之噴嘴）中。 因此，本發明涉及在可移動之基板上之條形隔離劑（以下 亦簡稱爲”油軌跡”）之產生。就基板邊緣，定値之厚度和寬 度而言，由此種”油軌跡”可期望其具有一預定之恒定之分 佈圖樣。以下仍將詳述其它需求。 【先前技術】 由DE 3 9 22 1 87 A1中已知在一已加熱之蒸發器管件中 使一種材料（其可防止局部性之塗層且亦稱爲隔離劑）蒸發 且直接由蒸氣室中經由一種流體（通常是一種油）而導入噴 嘴中，各噴嘴對準一種運行帶上之蒸氣流，以便在金屬蒸 發時產生無金屬之長條。亦揭示一種電視攝影機以觀察金 屬化過程，但不是油之塗佈。 又，由DE41 00643 C1另已知：藉由一種以導帶速率來 旋轉之滾筒以產生另外之無金屬之橫條，蒸氣同樣無阻礙 地由油蒸發器之蒸發室中導入至該滾筒中。藉由一種溫度 感測器可監視該蒸發器中之油溫度。 由DE 42 3 1 644 A1已知以下述方式來影響各無金屬區 之分佈圖樣··在蒸發區上方及縫隙噴嘴之前安裝一可移動 1288783 之光圏，其具有不同長度之凹口和舌片。但明確地指出： 通常應有一個縫隙噴嘴保持空著的。 由DE 4 3 09 77 1 A1中同樣已知：直接在已加熱之蒸發 器之蒸發區上方配置多個縫隙噴嘴且油層之層厚度藉由控 制油蒸發器之熱效率來調整。 由EP 0 966 006 A2中已知以下述方式製成一種層電容 器：在一高亮度拋光之旋轉滾筒每次旋轉時依序塗佈：一 已硬化之由反應性單體蒸氣所構成之絕緣樹脂層，已施加 圖樣之條形之隔離層和同樣是條形之與該隔離層互補之已 施加圖樣之金屬層（其由鋁，銅，鋅，鎳，其合金和氧化物 所構成）。各層之外罩藉由多達1 800旋轉數之螺旋線形式 來形成，直至該電容器達到所期望之靜電容量爲止。然後 與旋轉方向成橫向之方式對該多層式之外罩進行切割，由 滾筒取下，在熱作用下平坦地壓製，繼續切割且設有電極。 同樣以雷射光測量該樹脂厚度。同樣藉由測量反射率來測 量該層寬度且藉由照相機來設定各種彩色對比。設有噴嘴 之蒸氣分配器爲各隔離層之材料所使用，即，由脂，乙二 醇，碳氟化物和碳氫化物所形成之油之組（group)中進行蒸 發，但未在該設備之靜止狀態時提及蒸氣量-和層厚度控制 用-及蒸氣流中斷用之裝置和措施。明確而言，其提及：在 該滾筒每一次旋轉時不必決定全部之各單一層之厚度且在 結束時達成一種指定之靜電容量時即已足夠。在該滾筒最 初之1 5個旋轉之後在一測量點（c h e c k · ρ 〇 i n t)上測定一種層 厚度時亦已足夠。對鋁設定一種30 nm (3 00 A)之層厚度， 1288783 但對該隔離劑而言只能使過多之隔離劑又須藉由電漿放電 來去除。但特別是以鹵素化合物作爲隔離劑時會產生對該 泵之油有害且有毒之化合物。對已硬化之樹脂層設定一種 不大於1 um之厚度。基本上只涉及該隔離層-或樹脂層-和 金屬層之厚度-以及各金屬層-和各隔離層之寬度之測量， 控制或調整，此乃因這些數値對該電容器之電容具有決定 性之影響。情況需要時在繼續旋轉之後可在特定之測量點 (check-point)上重複進行。在操作中止時油或隔離劑繼續 流出時所造成之問題，或由於油蒸發器之溫度-和長度變動 時防止油軌跡之移轉是該文件之主要課題。 上述列舉之隔離劑和金屬及其合金和化合物基本上亦適 用於本發明之物件中。 上述之各種解法所造成之缺點是：該蒸發器由於其不可 避免之熱惰性而亦會在該設備靜止狀態時冒出油蒸氣，例 如，在更換該導帶或在操作上發生干擾時即屬此種情況， 該設備因此會大大地受到污染。由油所造成之污染物不易 去除，且特別會與其它污染物一起形成污泥。 先前技術中其它主要之問題是以下之未提及者：在加熱 和冷卻時該蒸發器之與熱有關之長度變化。即，若應使油 之冒出減少，則須調整該蒸發器之加熱過程且在繼續操作 中對該蒸發器加熱。這樣會造成時間上之損耗且亦可能使 油冒出量減少。噴嘴之固定之分佈且因此使”油軌跡”沿著 導帶成固定之分佈對該最終產品之完美特性是重要的。 由EP 1 035 553 A1和EP 0 938 971 A2中已知使蒸氣流 1288783 由蒸發器至一列噴嘴中斷時所用之各種不同之解法 止閥中之一部份係位於各蒸發器和真空室內部中之 之間，各蒸發器配置在真空室外部。 由EP 1 035 553 A1之先前技術中已爲人所知者是 圖所示之例子。油蒸發器是一可加熱之方塊，其二 之通道藉由蒸氣出口處之縫隙而互相連接，其中該 熱至較該油之沸點還高之溫度。下方之通道以庫存 入，上方之通道在該導帶之方向中設有蒸氣出口用 噴嘴，以便以上述方式在該導帶上產生油軌跡。該 道之間之截止閥或調整閥未揭示；唯一之外部之截 存在於冷油用之同樣位於外部之一儲存容器和流體 位於下方之該內部儲存通道之間。然而，這樣卻不能 在該流體閥關閉之後油蒸氣經由該列噴嘴而至該設 空室中且在該處冷凝。在溫度改變時該油蒸發器之 變之問題亦未提及。但重要的是：由上述方式可達 很簡易之配置，但這會影響該隔離劑（油）之壓力變 冒出之油量容易造成不穩定現象。 【發明內容】 本發明之目的是改良上述形式之方法，即，流體 儲存在二室式蒸發器中，該蒸發器在真空室中具有 氣-分配室和噴嘴，該方法以下述方式來進行：雖然 溫度仍保持著定値，但由噴嘴所發出之蒸氣量仍可 改變且與隨機性（randomness)無關，蒸氣出口在情況 亦可立刻中斷。 。各截 噴嘴體 :如第7 個平行 方塊加 之油塡 之一列 二個通 止閥只 油用之 防止： 備之真 長度改 成一種 化，使 隔離劑 一種蒸 蒸發器 適當地 需要時 1288783 當蒸氣形式之隔離劑以垂直方向之成份由下方對準帶形之 基板時， *第一室配置在上方且第二室配置在較低之位置處，且 當蒸氣形式之隔離劑以垂直方向之成份由上方對準板形之 基板時， *第二室之壁溫度調整至較第一室中之隔離劑溫度還高 之値， *已伸入之加熱體之熱功率依據隔離劑溫度來調整， *至少一噴嘴用之上方之加熱體之熱功率依據噴嘴溫度 來調整， *由第一室至第二室中每單位時間流過之蒸氣量藉由至 少一比例閥依據至少一噴嘴所需之隔離劑需求來調整， *隔離劑每單位時間由至少一噴嘴所發出之蒸氣量依據 油軌跡之層厚度和寬度以及輸送速率來調整， *油軌跡之層厚度比例於每單位時間經由金屬蒸發器所 蒸發之金屬量來調整’ *至少一種油軌跡經由一種觀測陣列，其中進行一種油 軌跡之控制， *對於形成該油軌跡之分佈圖樣及所需之厚度而言具有 決定性之各操作參數配屬於一種控制系統，其中各參數轉 換成一種調整値以控制及/或調整該隔離劑用之蒸發器，及 /或當 *對形成該金屬層具有決定性之操作參數同樣配屬於該 控制系統，其中各參數轉換成一種調整値以控制及/或調整 -11- 1288783 條 之外裝 少路送 察 嘴 板之號 至送輸 .觀 噴 基跡信 和輸該 種 ， 該 形軌之ffi之於 一 器著 帶油用 反用屬 置 測定 一之所St所配 配 感設 設生率 $形置 徑 度上 預產速 Η 外裝 路 溫其 種所板If之號 行 之， 一上基-f跡信 運， 度面 置板該 置軌之 之描 溫正，配基定 配油用 板掃 劑種器方於測 方之所 基來 離一測上嘴當，下生率 之件 隔有感器噴且時器產速 跡元 該具度發由，筒發所.板 軌學 測 口溫蒸一筒滾篇上基 油光 感凹之!ί-少滾向-?板該 種由 於之用劑至向轉劑基定 一藉 用條測離和轉該離於測 少可 種嘴感隔徑之於隔嘴當，至其 一 噴度該路用屬該噴且時有， 置該溫在行所配在由，徑具列 配 1 之 1 運形置 1 一徑路 1 陣 -14- 1 溫度用之感測器之測量信號，每單位時間之蒸氣量’ 該分佈圖樣之形成和油軌跡之厚度切換至一種控制系 統，其中其可切換成各種調整値以控制及/或調整該隔離 劑（14)用蒸發器， * 一藉由金屬蒸發器來控制金屬塗層所用之測量-和調 整配置切換至該控制系統， * 一種調整命令用之輸入鍵盤及/或操作參數用之額定 値配屬於該控制系統，及/或，當 *測量値，調整命令用之螢幕及/或操作參數用之額定 値配屬於該控制系統。 【實施形式】 1288783 本發明之二個實施例及其作用方式以下將依據第1至4 圖來詳述。 第1圖中顯示一種隔離劑（以下稱爲油）用之蒸發器。蒸 發器1配置在未顯示之真空室中且具有一大約成長方六面 體形式之位於下方之室2以儲存待蒸發之油。在底部2a之 附近中存在著一種在縱向中貫通之電性加熱體3，其在一 端上藉由螺栓3a而與纜線3b緊密地定位在一起。油本身 中亦存在一種溫度感測器4以測得油溫，其例如調整至大 約llt^C。蒸發器1之另一端亦可類似地構成，除了螺栓3a 之外。 該値1 li^C適用於一般之隔離劑（例如，由聚氟聚乙醚之 組所構成者）中，其亦可用作真空泵油（其例如稱 爲” Fomblin”）。這些油屬高分子且是鈍性的，亦是一種具 有強的防腐性之介質且熱性穩定而不可燃（ROMPP Chemie Lexikon, 1 995, Georg Thieme Verlag, Stuttgart und New York, Page 1421 und 3 276, S tichworter “Formbin” und “Perfluorpolyether”）。其與需要存在之真空泵之泵油相混 合時因此不會有問題。 例如，在製造一種具有鋁層之電容器時，在基板上（例如， 塑料箔上和紙軌道上）相對於金屬層材料之隔離作用是與該 油之準確之層厚度有關：基板上之油膜藉由冷凝用之金屬 蒸氣而加熱，其中該油會蒸發且由於該油之可蒸發之分子 之微粒流而可防止金屬之沈積。若塗佈太少之油，則隔離 作用太小且會在基板之可保持無金屬之條片上塗佈一種簿 -15- 1288783 達成以下各種調整，控制及/或設定：第1圖顯示一種控制 系統24，其首先經由該溫度感測器4而獲得該油之溫度之 測量値，這樣可藉由纜線3b中之功率設定器3c經由導線 25使該加熱體3設定至一種定値之溫度。該噴嘴條7用之 溫度感測器2 1 (此處只以簡圖表示）繼續將其測量値發送至 該控制系統24，這樣可藉由導線26來調整第2圖之加熱 體20之功率，且同樣可調整至一種固定之溫度値。

特別重要的是藉由導線27來控制該比例閥1 2。爲了達 成此一目的，則該轉向滾筒設有一此處只以簡圖來顯示之 轉數設定器28，其可以是一種光學感測器以測得該轉向滾 筒9上之條形圖樣，或一種環形磁鐵用之磁性感測器或是 該轉向滾筒9之此處未顯示之軸上之轉數測定器。由於每 單位時間和噴嘴之油量應與導帶速率成比例，則可設定一 種理想化之可能方式使蒸氣流和油層厚度最佳化。在該轉 向滾筒9在靜止狀態時，該比例閥12因此到達其閉合位 置。在相同之目的和各種操作干擾時，亦可設有一種未閉 合開關，其整合至該控制系統24中。 油層厚度之另一種光學·或目視之控制可在一種觀察陣列 29(其由油軌跡13所貫通）中進行。該陣列例如可藉由視頻 相機來掃描，或其可使用光源和光-感測器之間之光學反射 以經由導線30來進行人工控制或自動地調整。 以上之全部措施可各別使用或任意組合，其中重要的 是：在操作期間油-和噴嘴條7之溫度在調整後或藉由對該 油軌跡13進行調整使軌跡固定而保持定値，且由噴嘴8 -18- 1288783 而來之蒸氣流在該設備靜止狀態時可在最短可能之時間中 被中斷。 該控制系統24可適當地具有一種設定命令·及/或額定値 用之輸入-鍵盤31和一種LCD-顯示器及/或光學觀察用之 營幕3 2。 在很小之比例下仍顯示一種金屬蒸發器33,其由一由電 流通路所加熱之石墨小船所構成，其中存在著一例如由鋁 所構成之熔化物35。該金屬蒸發器33至少經由該導帶1〇 之整個寬度而延伸。相對應的是一種測量-和調整配置36， 其由控制系統34經由導線37而獲得其控制信號（例如，用 於熱功率者）。已爲人所知者是每單位時間已蒸發之金屬數 量是與熱功率或溫度至少成比例。溫度及/或熱功率之回報 是經由導線3 8至控制系統3 4來達成。因此，單位時間已 蒸發之油或金屬數量可藉由控制系統34來最佳化而互相 調整，油和金屬數量然後又可相對應地成比例。 第4圖顯示一類似於第2圖之垂直橫切面；但蒸氣出口 方向相反，即，向下。此處亦使用相同之參考符號，特別 是第4圖之物件由與第1至3圖相同之構件所構成。 在此種情況下第一室是上方之室2且由第一封閉蓋39所 封閉。該隔離劑14(油）上方之蒸氣空間14a此處亦與通道 1 1相連，該通道1 1以彎形之管線所形成且其中存在著上 述之比例閥1 2。第二室6在此種情況下配置於第一室2下 方且某種程度上是”定位在頭部上”。第1至3圖之中介外 蓋5此處以封閉蓋40來形成。該通道1 1經由第二封閉蓋 -19- 1288783 40而注入至第二室6中，第二室6又由二個凹口 6a,讣所 構成，其可互相連通。至少一噴嘴8以其蒸氣出口方向向 下對準該基板1 〇，該基板不易彎曲且一板或圓板由玻璃所 構成，以便稍後例如可用作LCD-圓板。該輸送路徑41 (其 存在於各閘室或儲存庫之間）藉由多個輸送滾筒42來預 設。 弟一室6經由連接板43而與第一室2相連，且室2和6 形成一種構造單元（其具有平行之室2，6)。第二室6相對 於第一室2而言通常具有一種較高之操作溫度，則一種熱 抑制層44是適當的。 可了解的是：該隔離劑·蒸發器1之空間位置依據該基板 之輸送位置而可不同地進行選取，只要第一室2和蒸發器 室可保持作用即可。不只傾斜狀態是可能的，而且該室6 和該噴嘴條7亦可在側面上配置於該室2之旁，以便可對 垂直延伸之帶進行塗層。本發明之物件在某種程度上形成 一種積木系統，其幾乎可任意地改裝，特別是如第2至4 圖所示者。 【圖式簡單說明】 第1圖一垂直向上之隔離劑出口用之蒸發器末端之軸向 切面圖，一所屬之轉向滾筒之一部份·和一以該隔 離劑來作條形塗佈之導帶之軸向平行之側視圖， 其方塊圖已大大地簡化以獲得各測量値且發出各 控制信號和調整信號至由該測量所各別測得之組 件。 -20- 1288783 第2圖 在該隔離劑之出口用之一噴嘴之區域中經由第1 圖之物件之垂直之橫切面。 第3圖 在噴嘴條-和該流體隔離劑之溫度用之溫度感測器 之區域中類似於第2圖之垂直之橫切面。 第4圖 類似於第2圖之垂直之橫切面，但具有反向之蒸 氣出口方向，，出口向下。 主要元件之符號表ζ 1 蒸發器 2 第一室 2a 底部 2b 凸緣 2c 凸緣 3 加熱體 3 a 螺栓 3b 纜線 3c 功率設定器 4 溫度感測器 4 a 終端外殼 5 中介外蓋 5a, 5b 導槽 6 第二室 6a，6b 凹口 7 噴嘴條 7a 正面 -21 - 1288783 28 轉數設定器 29 觀察陣列 30 導線 31 輸入-鍵盤 32 螢幕 33 金屬蒸發器 34 石墨小船 35 熔化物 36 測量-和調整配置 37，38 導線 39 第一封閉蓋 40 第二封閉蓋 41 輸送路徑 42 輸送滾筒 43 連接板 44 熱抑制層 -23-

Claims (1)

1. 以區域方式塗佈一隔離劑所用之方法和裝 1288783 第 93107647 號 置」專利案 (2006年7月修正） 拾、申請專利範圍： 1 · 一種以區域方式塗佈一防止塗層用之隔離劑（1 4)所用之 方法，其係在真空室中在可移動之基板（10)上藉由一蒸 發器（1)來進行，該真空室具有至少一金屬蒸發器（33)， 該隔離劑（14)在第一室（2)中藉由加熱而蒸發且以蒸氣形 式經由至少一調整閥（12)而轉向至設有至少一噴嘴（8)之 第二室（6)中，該噴嘴（8)對準各別之基板（10)，其特徵爲： a) 蒸發器之溫度儘可能廣泛地保持著定値， b) 蒸氣由第一室（2)經由至少一調整閥（12)而受到控制且 在第二室（6)中最初是平行第一室（2)導引到至少一噴 嘴（8)中， c) 該調整閥（12)在導帶靜止或無基板（1〇)時關閉且保持 著關閉。 d) 由第一室（2)每單位時間流至第二室（6)中之蒸氣量是 由至少一比例閥（12)依據至少一噴嘴（8)所需之隔離劑 需求來調整。 2.如申請專利範圍第1項之方法，其中第一室（2)中所含有 之流體隔離劑（1 4)藉由至少一已伸入之電性加熱體（3 )而 保持在定値之溫度處且第二室（6)之至少一壁及至少一噴 嘴（8)藉由至少另一電性加熱體（2〇)而同樣保持在一種定 値之溫度’該溫度選擇成較該隔離劑（丨4)之沸點還高。 1288783 3. 如申請專利範圍第2項之方法，其中第一室（2)配置在下 方且第二室（6)配置在較高之位置，蒸氣形式之隔離劑（14) 以垂直方向之成份由下方對準一種帶形之基板（1 〇)。 4. 如申請專利範圍第2項之方法，其中第一室（2)配置在上 方且第二室（6)配置在較低之位置，蒸氣形式之隔離劑（14) 以垂直方向之成份由上方對準一種板形之基板（10)。 5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之方法，其中第二 室（6)之壁溫調整至一較第一室（2)中之隔離劑溫度還高 之溫度。 6. 如申請專利範圍第2至4項中任一項之方法，其中已伸 入之加熱體（3)之熱功率是依據該隔離劑溫度來調整。 7. 如申請專利範圍第2至4項中任一項之方法，其中至少 一噴嘴（8)之加熱體（20)之熱功率是依據該噴嘴溫度來調 整。 8. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之方法，其中每單 位時間該隔離劑（14)由至少一噴嘴（8)所發出之蒸氣量是 依據油軌跡（13)之層厚度和寬度以及該基板（1〇)之輸送速 率來調整。 9. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之方法，其中油軌 跡（13)之層厚度比例於每單位時間由該金屬蒸發器（22)所 蒸發之金屬量來調整。 10.如申請專利範圍第1至 4項中任一項之方法’其中至少 一油軌跡（13)經由一種觀察陣列（29)，其中對該油軌跡（13) 進行一種光學控制。 1288783 1 1 ·如申請專利範圍第1至 4項中任一項之方法，其中對形 成該油軌跡（1 3)之分佈圖樣和所需之厚度有決定性之操 作參數傳送至一控制系統（24)，其中各參數轉換成各調 整値以對該隔離劑（14)用之蒸發器（1)進行控制及/或調 整。 12.如申請專利範圍第1至 4項中任一項之方法，其中對形 成該金屬塗層具有決定性之操作參數同樣傳送至該控制 系統（24)，其中各參數轉換成各調整値以對該金屬蒸發 器（33)進行控制及/或調整。 1 3 · —種以區域方式塗佈一防止塗層用之隔離劑（1 4)所用之 裝置，其係在真空室中在可移動之基板（10)上藉由一可 加熱之蒸發器（1)來進行，該真空室具有至少一金屬蒸發 器（3 3)，該隔離劑-蒸發器（1)包含：第一室（2)，其具有 至少一加熱體（3)以使該隔離劑（14)蒸發；另有第二室 (6)，其平行於第一室（2)且與其相連；另設有至少一噴嘴 (8)(其對準各別之基板（1〇))和至少一調整閥（1 2)，其用來 使該隔離劑之供應中止，其特徵爲： a) 至少一調整閥（12)是一種比例閥，其配置在第一室（2) 和第二室（6)之間， b) 該調整閥（12)配置在該隔離劑-蒸發器（1)之通道（11) 中，該通道（11)連接第一室（2)和第二室（6)， c) 須形成該調整閥（12)，使該隔離劑（14)之蒸氣流可依數 量來調整且亦可完全中斷. 1 4 ·如申請專利範圍第 1 3項之裝置，其中第一室（2)和第二 1288783 室（6)配置在較高之位置，蒸氣形式之隔離劑（I4)以垂直 方向之成份由下方對準一種帶形之基板（1 〇)。 15.如申請專利範圍第 13項之裝置，其中第一室（2)配置在 上方且第二室（6)配置在較低之位置，蒸氣形式之隔離劑 (14)以垂直方向之成份由上方對準一種板形之基板（1〇)。 1 6 .如申請專利範圍第 1 3至 1 5項中任一項之裝置，其中 流體隔離劑（14)用之第一室（2)中配置至少一電性加熱體 (3)且至少第二室（6)之壁和至少一噴嘴（8)是與至少另一 電性加熱體（20)形成熱接觸。 17·如申請專利範圍第 13或 14項之裝置，其中該隔離劑 -蒸發器（1)之長方六面體形式之室（2)具有底部（2 a)和側面 之凸緣（2b，2c)，其上撐開一種中介外蓋（5)，該中介外蓋 (5)在其最長範圍之方向中具有一種向上敞開之中央凹口 (6a)，其二側配置著各導槽（5a，5b)，其中埋入至少另一 加熱體，且在該中介外蓋（5)上撐開一種噴嘴條（7)，其在 其最長範圍之方向中具有一種向下敞開之中央凹口 (6b)，其中各凹口（6a，6b)在形成第二室（6)時互相連通， 至少一噴嘴（8)由該室中伸出。 1 8 ·如申請專利範圍第 1 3或1 5項之裝置，其中該隔離劑 -蒸發器（1) a) 具有一種長方六面體形式之室（2)，其具有底部（2a)和 側面之凸緣（2b, 2c)，其上撐開一種第一密封蓋（3 9), b) 第二室（6)具有一第二密封蓋（40)，其在其最長之範圍 之方向中具有向下敞開之中央凹口（6a)，其二側配置 1288783 多個導槽（5a，5b)，導槽中埋入至少另一加熱體（20)， 且在該第二密封蓋（40)之下側上撐開一種噴嘴條（7)， 該噴嘴條在其最長之範圍之方向中具有向上敞開之中 央凹口（6b)，其中各凹口（6a，6b)在形成第二室（6)時互 相接通，至少一噴嘴（8)由第二室中伸出。 19. 如申請專利範圍第 18項之裝置，其中該噴嘴條（7)可 針對各噴嘴（8)之不同之橫切面及/或各噴嘴（8)之不同之 分佈圖樣來更換。 20. 如申請專利範圍第 13項之裝置，其中蒸發器（1)之第一 室（2)中在一已構成之流體鏡面（15)下方配置該隔離劑（14) 之溫度用之溫度感測器（4)。 21. 如申請專利範圍第 17項之裝置，其中該噴嘴條（7)之 凹口具有一種正面（7a)，其上設定一種該噴嘴條之溫度 用之溫度感測器（21)。 22. 如申請專利範圍第 18項之裝置，其中在該隔離劑-蒸發 器（1)上方配置一種轉向滾筒（9)以對該帶形之基板（1〇)之 運行路徑-和基板（10)上至少一由噴嘴（8)所產生之油軌跡 (13)之外形進行預設，且該轉向滾筒（9)設有一信號元件 以測定該基板之速率。 23. 如申請專利範圍第13項之裝置，其中在該隔離劑-蒸發 器（1)下方配置一種輸送路徑（41)以用於該板形之基板（1〇) 和基板（10)上至少一由噴嘴（8)所產生之油軌跡（13)之外 形，且該輸送路徑（4 1)設有一信號元件以測定該基板之 速率。 1288783 24 .如申請專利範圍第 1 3項之裝置，其中具有至少一種油 軌跡（13)之該基板（1〇)之運行路徑設有一觀察陣列（29)， 其可由光學元件所掃描。 25 ·如申請專利範圍第1 4或1 5項之裝置，其中溫度用之感 測器之測量信號，每單位時間之蒸氣量，分佈圖樣之形 成和油軌跡（13)之厚度切換至一控制系統（24)，其中上述 各値可轉換成調整値以對該隔離劑（1 4)用之蒸發器（1)進 行控制及/或調整。 2 6 ·如申請專利範圍第 1 3至1 5項中任一項之裝置，其中該 控制系統（24)接通至一種測量-和調整配置（3 6)以藉由金 屬蒸發器（33)來控制金屬塗層。 2 7 ·如申請專利範圍第 1 3項之裝置，其中該控制系統（2 4) 接通至一種輸入鍵盤（3 1)以對各操作參數來設定命令及/ 或設定各額定値。 ·· 28.如申請專利範圍第13項之裝置，其中該控制系統（24) 接通至一種螢幕（3 2)以對各操作參數來設定各測量値， 設定命令及/或設定各額定値。 9r, ry

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