KR100614116B1

KR100614116B1 - 이형제의 부위별 도포를 위한 방법 및 장치

Info

Publication number: KR100614116B1
Application number: KR1020040017236A
Authority: KR
Inventors: 하인슈테판
Original assignee: 어플라이드 필름즈 게엠베하 ＆ 코. 케이쥐
Priority date: 2003-07-04
Filing date: 2004-03-15
Publication date: 2006-08-22
Also published as: US20050061244A1; TW200502413A; KR20050003983A; CN1576385A; DE10330401B3; EP1493836A1; JP4116578B2; CN1325693C; JP2005095854A; US20080187660A1; TWI288783B

Abstract

본 발명은 기화기(1)를 이용하여, 적어도 1개 이상의 금속기화기(33)가 장치된 진공실 속에서 이동하는 기판(10) 표면에 부위별(部位別)로 이형제(離型劑)를 피복하기 위한 방법과 장치에 관한 것으로서, 이때 상기 이형제는 제1실(2) 속에서 가열되어 기화하여, 최소 1개 이상의 조절밸브(12)를 통하여 상기 이동하는 기판(10) 쪽으로 지향된 최소 1개 이상의 노즐(8)이 장치되어 있는 제2실(6) 안으로 상기 이형제가 기체형태로 이동하도록 되어있다. 이때 증착된 표면 패턴, 넓이, 피복두께를 작은 오차한계 내에서 일정하게 유지하고, 증기배출을 즉시 중지시킬 수 있기 위하여, a) 기화온도를 가능한 한 일정하게 유지하고, b) 상기 기화증기는 제1실로부터 적어도 1개 이상의 조절밸브를 통하여 제어되면서, 본래 제1실과 평행하게 장치된 제2실로 유입되고, 이 제2실 안에서 상기 기화증기가 최소 1개 이상의 노즐 구멍으로 유입되며, c) 만약 밴드(기판)가 정지하거나, 또는 결함이 있는 경우에는 상기 조절밸브가 닫혀서 폐쇄되도록 장치된다. 바람직하게는 상기 최소 1개 이상의 조절밸브(12)는 비례밸브(proportional valve)이며, 이 밸브(12)는 제1실(2)과 제2실(6) 사이에 장치된다.

이형제, 피복, 기화증기

Description

이형제의 부위별 도포를 위한 방법 및 장치{Method and device for partial coating of parting compound}

제1도는 측정치를 수집하고, 측정을 통하여 파악된 해당부품에 대하여 제어 및 조정신호를 인가(印加)하는 시스템의 개략 블록선도(-線圖)와 함께, 이형제 배출을 위한 기화장치의 한쪽 단부(端部)를 위쪽으로 도시한 수직축단면도(垂直軸斷面圖)와, 부속된 회전롤러를 축(軸)에 평행하게 도시한 부분 측면도를 보여준다.

제2도는 제1도에 도시된 장치를 이형제의 배출을 위한 노즐들 중 1개를 포함하여 도시한 수직단면도이다.

제3도는 제2도에 있어서 액상 이형제(液狀離型劑)와 노즐 고정대(着設臺)의 온도를 측정하기 위한 온도감지기 부위의 수직단면도이다.

제4도는 제2도에 있어서 기화증기의 배출방향을 반대쪽으로, 즉, 아래쪽으로 향하게 장치한 수직단면도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호설명]

기화장치(1) 제1실(2)

바닥(2a) 측면 플랜지(2b)

측면 플랜지(2c) 전열체(3)

나사부(3a) 전력 케이블(3b)

전원조절장치(3c) 온도감지기(4)

장착 케이스(4a) 중간뚜껑(5)

홈(5a) 홈(5b)

제2실(6) 상향중간요부(6a)

하향중간요부(6b) 노즐 고정대(7)

전단면(7a) 노즐(8)

회전롤러(9) 기판(밴드)(10)

도관(11) 나사캡(11a)

조절밸브(12) 밸브게이트(12a)

기름띠(13) 기름 (이형제)(14)

기화증기실(14a) 액면(15)

밀봉체(16) 밀봉체(16a)

나사(17) 나사볼트(18)

나사볼트(18a) 분리선(19)

전열체(20) 온도감지기(21)

장착 케이스(21a) 압박 스프링(21b)

앵글멤버(22) 기름보충관(23)

제어시스템(24) 도선(25)

도선(26) 도선(27)

회전속도계(28) 관측창(29)

도선(30) 입력 키보드(31)

디스플레이 장치(32) 금속기화장치(33)

흑연 도가니(34) 용탕(35)

측정/제어장치(36) 도선(37)

제1폐쇄뚜껑(38) 제1폐쇄뚜껑(39)

제2폐쇄뚜껑(40) 이송로(41)

이송롤러(42) 브래킷(43)

단열층(44)

본 발명은 기화기(1)를 이용하여, 적어도 1개 이상의 금속기화기(33)가 장치된 진공실 속에서 이동하는 기판(10) 표면에 부위별(部位別)로 이형제(離型劑)를 피복하기 위한 방법과 장치에 관한 것으로서, 이때 상기 이형제는 제1실(2) 속에서 가열되어 기화하여, 최소 1개 이상의 조절밸브(12)를 통하여 상기 이동하는 기판(10) 쪽으로 지향된 최소 1개 이상의 노즐(8)이 장치되어 있는 제2실(6) 안으로 상기 이형제가 기체형태로 이동하도록 되어있다.

이때 중요한 것은 이형제의 띠를 - 이후 "기름띠"라고 요약하여 표시함 - 이 동하는 기판 위에 생성시키는 것이다. 상기 "기름띠"는 기판 가장자리에 대하여 미리 설정된 분포(分布) 패턴과 일정한 두께 및 폭을 갖는 것이 요구된다. 기타 요건들은 아래에서 상세히 후술하는 바와 같다.

독일특허 제DE 39 22 187 A1호에서, 국부적인 피복을 방지하여 주는 이형제(離型劑)라고 칭하는 물질을 가열된 기화관(氣化管) 속에서 증발시키고, 액체 - 일반적으로 기름을 말함 - 위에 위치하는 기화실로부터 직접 노즐을 통하여 배출되는 분사기체를 이동하는 밴드 쪽으로 지향시킴으로써, 기화금속을 증착시키는 동안 금속이 피복되지 않은 긴 띠 부분을 생성시키는 방법이 공개되어 있다. 또한 기름의 피복이 아닌 금속화 공정(증착공정)을 관찰하기 위한 TV카메라 장치도 공개되었다.

독일특허 제41 00 643 C1호에서, 또한 일정한 밴드 이동속도로 회전하는 롤러에 의하여 기름기화장치의 증기실로부터 방해 받지 않고 증기를 배출시켜 추가적으로 금속이 피복되지 않은 가로방향의 기름띠를 생성시키는 방법이 공개되어 있다. 상기 기화장치 내의 기름온도는 온도감지기에 의하여 감시할 수 있다.

독일특허 제DE 42 31 644 A1호에서, 상기 금속막이 형성되지 않은 부위의 배기 패턴(排氣 pattern)은 기화증기실 위쪽에, 슬릿노즐(slit nozzle) 앞에 상이한 길이와 설편(舌片)을 갖는 가동 스크린(可動 screen)을 장치하여 변화시키는 것이 공지되어 있다. 그러나 이 경우에는 상기 슬릿노즐을 항상 비어(free) 두도록 해야 한다는 것을 명백히 하고 있다.

독일특허 제DE 43 09 771 A1호에서, 가열된 기화기 바로 위쪽에 슬릿노즐을 장치하고, 이형제기화기의 열출력을 제어함으로써 기름 층의 피복두께를 조정하는 방법이 공개되어 있다.

유럽특허 제EP 0 968 006 A2호에서, 고광택(高光澤) 회전롤러의 매회전(每回轉) 마다 반응성 단량체(單量體) 증기로 이루어진 경화절연성 수지층(硬化絶緣性樹脂層)을 피복하고, 그 위에 대상패턴(帶狀 pattern)의 이형제층(기름층)과 또한 알루미늄, 동, 아연, 닉켈과 이들의 합금 및 산화물 그룹으로 이루어진 대상(帶狀) 보완적 패턴의 금속층을 피복함으로써 필름 콘덴서들을 제조하는 방법이 공개되었다. 여러 층으로 이루어지는 피복(被覆)이 1800회 까지 나선형으로 수많은 회전을 통하여 생성됨으로써, 비로소 콘덴서의 요망하는 정전용량이 달성된다. 그다음 상기 다층구조의 피복을 회전방향에 직각으로 절단하여 롤러로부터 떼어 내서, 가열하면서 평탄하게 압축하고, 절단한 다음 전극들을 붙인다. 레이저광선에 의한 수지(樹脂) 두께의 측정은 마찬가지로 제시되어 있다. 카메라를 이용한 반사광과 색대비(色對比) 측정에 의한 피복층의 폭의 측정도 마찬가지로 제시되어 있다. 분리층 물질, 즉, 에스테르, 글리콜, 플루오로카본 및 탄화수소의 기름 그룹으로부터의 기화증기를 위하여 노즐이 장치된 증기분배기에 관해서는 제시되어 있으나, 기화증기량과 피복층 두께의 제어 및 설비의 가동 중지할 때 증기흐름을 중단시키기 위한 수단과 방법은 제시되어 있지 않다. 또한 회전롤러의 매회전(每回轉) 마다 모든 개별층의 두께를 결정할 필요가 없으며, 마지막에 일정한 정전용량이 달성되는 것으로 충분하다고 명백히 언급되어 있다. 예를 들어 회전롤러의 최초 15회전 후에 측정점("체크포인트")에서의 층두께 결정으로 충분하다. 알루미늄에 대해서는 30 nm (300 Å)의 피복층 두께를 언급하고 있지만, 이형제에 대해서는 다만 과도한 이 형제를 플라즈마 방전에 의해서 제거되어야 한다고만 언급하였다. 따라서, 그러나 - 특히 이형제로서 할로겐 화합물에 있어서는 - 독성을 띠고 있으며, 펌프오일을 위해서는 유해성 화합물로서 나타났다. 경화수지층에 대해서는 1 ㎛ 이하의 두께를 제시하였다. 근본적으로는 절연층 내지 수지층 및 금속층의 두께와, 금속층 및 이형제층의 폭의 측정, 조정 또는 제어하는 것이 중요하다. 왜냐하면, 이들 값은 콘덴서의 용량을 위하여 결정적이기 때문이다. 경우에 따라서는, 계속적인 회전 후에 특정한 측정점("체크-포인트")에서 반복이 이루어진다. 상기 특허문서는 운전정지 기간중 계속되는 기름 내지 이형제 배출의 문제와, 기름 기화기의 온도 및 길이 변동에 따른 기름띠들의 일탈(逸脫) 방지에 대해서는 전혀 설명되어 있지 않다.

상기 열거된 이형제와 금속들 및 이들의 합금과 화합물들은 원칙적으로 본 발명의 목적에 사용될 수 있다.

상기 문제의 해법에는 상기 기화장치는 피할 수 없는 열적관성(熱的慣性) 때문에 설비의 가동을 중지할 때, 예를 들어 밴드를 교체하거나 또는 운전고장의 경우에는 기름의 기화증기를 계속 배출함으로써, 설비가 크게 오염되는 단점을 가지고 있다. 기름에 의한 오염은 특히 다른 오염물과 함께 윤활액을 형성하게 되므로 거의 제거하기 곤란하다.

선행기술에 있어서의 또 다른 본질적인 문제가 전혀 언급되지 않았다. 즉, 가열 및 냉각 과정에서 온도 변화에 따른 기화기의 길이변화이다. 따라서 기름 배출을 감소시켜야 할 경우에는, 기화장치의 가열을 중지시키고, 재가동을 할 때는 기화장치를 가열하는 것은 필수적이다. 이것은 시간낭비와 부득이하게 기름 배출의 감소를 초래하게 된다. 그러나 노즐들과 기름띠들의 일정한 분배/배치는 최종제품의 완벽한 품질을 위해서 기본적인 것이다.

유럽특허 제EP 1 035 553 A1 및 EP 0 938 971 A2호에서, 기화기로부터 일련의 노즐들로의 기화증기의 흐름을 중지시키기 위한 여러 가지 해결방법이 공개되어 있다. 부분적으로 폐쇄밸브들이 진공실 외부에 장치되어 있는 기화기들과 진공실 내부의 노즐들 사이에 위치한다.

차후의 선행기술은 유럽특허 제EP 1 035 553 A1호 제7도에 따른 실시예이다. 이때 기름 기화장치는 기화증기 유입을 위한 슬릿(slit) 구멍을 통하여 서로 연결되어 있는 2개의 평행한 도관들이 형성되어 있는 가열이 가능한 블록이다. 이때 하부도관은 예비기름 재고량으로 충전되고, 상부도관은 밴드 위에 기름띠를 생성시키기 위하여 대상(帶狀) 밴드 쪽으로 기화증기배출을 위한 일련의 노즐열(列)이 장치되어 있다. 상기 2개의 도관들 사이의 폐쇄 또는 외부 조절밸브들은 언급되지 않았다. 오직 1개의 외부 폐쇄밸브 만이 외부에 냉각상태의 기름을 위한 저장용기와 하부에 액상 기름을 위한 내부저장도관 사이에 존재할 뿐이다. 따라서, 그러나 액체밸브가 폐쇄된 후에도 기름의 기화증기는 노즐열을 통하여 설비의 진공실 안으로 배출되어 그 속에서 응축되는 현상을 방지할 수 없다. 또한 온도변화에 따른 이형제 기화장치의 길이변화의 문제에 대해서도 언급되어 있지 않다. 그렇게 함으로써 매우 간단한 장치를 달성할 수 있다는 주장은 그러나 본질적으로 이형제(기름)의 압력변화의 작용에 노출되는 것이며, 따라서 배출된 이형제량은 불안정하게 되는 경향을 나타낸다.

따라서, 본 발명은 모두(冒頭)에 기술된 유형(類型)의 방법에 있어서, 진공실 내에 기화증기 분배실과 노즐이 장치된 2실식(二室式) 기화장치 속에서 액상이형제(液狀離型劑)의 예비재고량을 사용하여, 기화온도를 일정하게 유지하면서도, 노즐로부터 유출되는 기화증기량을 적절하게 변화시킬 수 있으며, 우연성(偶然性)에 좌우되지 않으며, 또한 필요에 따라 기화증기의 유출을 거의 즉각적으로 중지시킬 수 있도록 개선하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 과제는 모두에 제시된 방법에 있어서, 본 발명에 따라

a) 기화온도를 가능한 한 일정하게 유지하고,

b) 상기 기화증기는 제1실로부터 적어도 1개 이상의 조절밸브를 통하여 제어되면서, 본래 제1실과 평행하게 장치된 제2실로 유입되고, 이 제2실 안에서 상기 기화증기가 최소 1개 이상의 노즐 구멍으로 유입되며,

c) 만약 밴드(기판)가 정지하거나, 또는 결함이 있는 경우에는 상기 조절밸브가 닫혀서 폐쇄되도록

실시함으로써 해결된다.

상기 개념 "제어(control)"는 또한 항상 1개 또는 그 이상의 폐(閉) 루프 회로에 의한 "조절(adjustment, regulation)"을 포함한다.

본 발명의 과제는 상기 해법에 의하여 완전히 해결되는 바, 다시 말해서, 기화온도를 일정하게 유지함으로써, 기화기의 길이와, 그에 따른 노즐의 분사패턴(噴射 pattern)과 그 노즐에 의하여 살포된 기름띠의 분포(分布) 패턴이 일정하게 유 지되고, 상기 노즐로부터 배출되는 기화증기량이 처리과정에 따라 조절할 수 있고, 필요시에는 기화증기의 배출을 거의 즉각적으로 중단함으로써, 진공실과 그의 복잡한 구조가 기름의 응축으로 인하여 오염되는 것을 방지할 수 있고, 따라서 빈번하고, 까다로우며, 많은 노동력이 요구되는 설비청소를 피할 수 있는 것이다.

본 발명의 방법에 따라 나머지 방법청구범위들과 발명의 상세한 설명에서, 특히 이 종속청구범위들의 조합 및 세분조합을 통하여 또 다른 유리한 실시양태(實施樣態)들이 명백해진다. 즉,

상기 제1실 속에 들어있는 액상이형제는 최소 1개 이상의 잠침형 전열체(潛沈形電熱體)에 의하여 일정한 온도로 유지되고, 적어도 상기 제2실의 벽체와 최소 1개 이상의 노즐이 최소 1개 이상의 또 다른 전열체에 의하여 마찬가지로 이형제의 비등온도(沸騰溫度) 이상으로 선택되어 일정한 온도로 유지하는 경우와,

상기 제1실은 아래쪽에, 그리고 상기 제2실은 그 보다 높은 위치에 장치하고, 이때 상기 증기상태의 이형제를 수직으로 향하는 수직지향기(垂直指向器)에 의하여 아래쪽으로부터 상기 대상기판(帶狀基板) 쪽으로 지향시키는 경우와,

상기 제1실은 위쪽에, 그리고 제2실은 그 보다 낮은 위치에 장치되고, 이때 증기상태의 이형제를 수직으로 향하는 지향기에 의하여 위로부터 판상기판 쪽으로 지향시키는 경우와,

상기 제2실의 벽체온도는 제1실 속에 있는 이형제의 온도보다 높은 온도로 조절하는 경우와,

상기 잠침되어 있는 전열체의 열출력은 이형제의 온도에 따라 조절되는 경우 와,

최소 1개 이상의 노즐을 위한 상부 발열체의 열출력은 노즐온도에 따라 조절되는 경우와,

상기 제1실로부터 제2실로 유입되는 단위시간 당 기화증기량은 최소 1개 이상의 노즐을 위한 이형제의 필요량에 따라 최소 1개 이상의 균형 잡힌 조절밸브에 의하여 조절되는 경우와,

상기 최소 1개 이상의 노즐로부터 단위시간 당 배출되는 이형제의 기화증기량은 기름띠 피복층의 두께와 폭, 및 대상기판의 이송속도에 따라 조절되는 경우와,

단위시간에 비례하는 상기 기름띠의 피복층 두께는 금속기화장치에 의하여 기화되는 금속의 양(量)에 의하여 조절되는 경우와,

최소 1개 이상의 기름띠는 광학제어(光學制御)를 수행하는 감시창(監視窓)을 통과하도록 하는 경우와,

상기 분사패턴과 기름띠의 소요두께의 형성을 위하여 결정적인 운전 파라미터를 제어장치에 입력하여, 이 운전 파라미터를 이형제 기화장치의 제어 및/또는 조정을 위한 제어량으로 변환시키는 경우 및/또는,

금속피복을 형성시키기 위한 결정적인 파라미터를 상기 제어 시스템에 입력함으로써, 금속기화장치의 제어 및/또는 조정을 위한 제어량으로 변환시키는 경우 등의 실시형태들을 포함한다.

본 발명은 또한 상기 과제를 해결하기 위한 장치에 관한 것이다. 이 장치는 후술하는 선행기술, 즉, 최소 1개 이상의 금속기화기를 장치한 진공실 속에서 이동하는 기판 위에 가열식(加熱式) 기화기를 사용하여 피복방지용 이형제를 부분적으로 도포하기 위한 장치에 기초를 두고 있으며, 이때 상기 이형제-기화기는 이형제의 기화를 위한 최소 1개 이상의 가열체를 갖고 있는 제1실과, 그 제1실에 평행하게 장치되고, 그 제1실과 연결되어 있으며, 상기 대상기판에 지향된 최소 1개 이상의 노즐과 이형제의 유입을 폐쇄하기 위한 최소 1개 이상의 조절밸브를 갖고 있는 제2실로 이루어져 있다.

상기 과제는 본 발명에 따라 다음과 같은 장치에 의하여 해결된다. 즉,

a) 상기 최소 1개 이상의 조절밸브는 상기 제1실과 제2실 사이에 장치된 비례(比例) 밸브이며,

b) 상기 이형제-기화기의 각 도관(導管/channel) 내에는 상기 조절밸브가 장치되어 있고, 그 도관은 상기 제1실을 제2실과 연결하며,

c) 상기 조절밸브는 이형제의 기화증기흐름을 적절하게 조절될 수 있을 뿐만 아니라 완전히 중단시킬 수도 있도록 실시함으로써,

본 발명의 과제가 해결된다.

본 발명에 따른 장치의 또 다른 유리한 실시양태들이 나머지 장치청구범위와 상세한 설명을 통하여, 특히 또한 조합 및 세분조합(細分組合)에 의하여 명백해진다. 즉, 제1실을 아래쪽에, 그리고 제2실을 보다 높은 위치에 장치하고, 증기상태의 이형제를 수직지향기를 이용하여 아래로부터 대상기판 쪽으로 지향시킬 수 있는 경우와,

상기 제1실을 위쪽에, 그리고 제2실을 보다 낮은 위치에 장치하고, 증기상태의 이형제를 수직지향기를 이용하여 위로부터 판형기판 쪽으로 지향시키는 경우, 및

액상이형제의 가열을 위한 상기 제1실 안에는 최소한 1개 이상의 전열기(電熱器)가 장치되어 있고, 적어도 제2실의 벽체와, 적어도 1개 이상의 노즐이 최소 1개 이상의 추가적인 전열기와 접촉하여 가열되도록 되어있는 경우와,

상기 이형제-기화장치는 하나의 바닥과 양측면에 플랜지들이 형성된 직6면체실(直六面體室)로 이루어져 있으며, 그 위에는 중간뚜껑이 덮여있고, 그 중간뚜껑에는 길이 방향으로 위쪽으로 개방된 상향중간요부(上向中間凹部)가 형성되어 있으며, 그 상향중간요부의 양측에는 홈들이 형성되어 그 홈들 속에 최소 1개 이상의 전열체가 추가적으로 장착되어 있고, 상기 중간뚜껑 위에는 노즐 고정대(着設臺)가 고정되어 있으며, 그 노즐고정대에는 길이 방향으로 아래쪽으로 개방된 하향중간요부(下向中間凹部)를 형성함으로써, 상기 상향 및 하향 중간요부들은 함께 제2실을 형성하여 서로 연결되어 통하게 되고, 최소 1개 이상의 노즐이 상기 제2실로부터 시작되며,

상기 이형제-기화장치는

a) 하나의 바닥과, 양측면에 플랜지들을 가지고 있고, 위쪽에 제1폐쇄뚜껑이 덮여있는 직6면체 모양의 제1실을 가지고 있고,

b) 제2실은 하나의 폐쇄뚜껑을 가지고 있으며, 이 폐쇄뚜껑은 길이방향을 따라 위쪽으로 개방된 중간요부가 형성되어 있고, 그 중간요부의 양쪽에는 홈들이 형성되어, 그 홈들 속에 최소 1개 이상의 추가적인 전열체들을 장착하며, 이때 상기 제2폐쇄뚜껑의 하부면에는 노즐고정대가 장착되어 있고, 그 노즐고정대는 길이방향으로 위쪽으로 개방된 요부가 형성되어, 이때 이 요부들이 제2실을 형성하면서 서로 연결되어 통하게 되고, 최소 1개 이상의 노즐이 제2실로부터 시작되며,

노즐 고정대를 노즐단면이 다른 것과, 또는 다른 노즐의 분사살포 패턴을 갖는 고정대와 교체할 수 있으며,

이형제-기화장치의 제1실 안에는 구조적으로 설계된 액면 아래쪽에 이형제온도 감지기가 장치되며,

상기 노즐 고정대는 전단면(前端面)이 있는 요부가 형성되며, 그 전단면에는 노즐 고정대의 온도를 측정하기 위한 온도감지기가 결합되어 접촉하고 있으며,

상기 이형제-기화장치 위쪽에는 대상기판의 진로(進路)와, 노즐에 의하여 기판 위에 생성된 최소 1개 이상의 기름띠의 진행을 전진시키기 위한 회전롤러가 장치되어 있고, 상기 회전롤러에 기판속도를 측정하기 위한 신호장치가 장치되어 있으며,

상기 이형제-기화장치 아래쪽에는 판형 기판과, 노즐에 의하여 기판 위에 생성된 최소 1개 이상의 기름띠의 진행을 위한 이송로가 장치되어 있고, 상기 이송로에 기판속도를 측정하기 위한 신호장치가 장치되어 있으며,

최소 1개 이상의 기름띠를 갖는 기판의 진로에 광학장치로 감지할 수 있는 관측창(觀測窓)을 장치하고,

온도, 단위시간 당 기화증기량, 분사분포패턴 형성 및 기름띠의 두께를 위한 감지기들의 측정신호들은 하나의 제어시스템에 연결시키고, 이 제어시스템에서 상기 측정신호를 이형제-기화장치의 제어 및/또는 조절을 위한 제어 값으로 변환하며,

상기 제어시스템은 금속기화장치에 의한 금속피복을 제어하기 위한 측정 및 제어장치가 상기 제어시스템에 연결되어 있고,

상기 제어시스템에는 운전 파라미터를 위한 조절명령 및 설정치를 입력하기 위한 입력 키보드를 장치하고, 또는

상기 제어시스템에는 측정치와 조절명령 및/또는 운전 파라미터의 설정치를 위한 디스플레이 장치를 함으로써,

본 발명의 유리한 실시태양들을 실시할 수 있다.

본 발명요지 및 작용방법을 첨부도면 제1 내지 4도를 참조하여 2개 실시예를 설명하면 다음과 같다.

제1도에는 이형제(이하 "기름"이라고 칭함)를 위한 기화장치(1)가 도시되어 있다. 상기 기화장치(1)는 첨부도면에 도시하지 않은 하나의 진공실 내에 장치되어 있고, 기화시킬 기름의 재고저장을 위하여 아래쪽에 대략 직6면체형(直六面體形)의 하부기화실(下部氣化室)(2)을 가지고 있다. 상기 하부기화실(2)의 바닥(2a) 근처에는 길게 뻗은 전열체(3)가 설치되어 있고, 이 전열체(3)의 한쪽 끝은 나사부(3a)를 이용하여 전력 케이블(3b)과 함께 기밀(氣密)하게 장착되어 있다. 상기 기름 자체 의 내부에는 기름 온도를 측정하기 위한 온도감지기(4)가 설치되어, 예를 들어 섭씨 약 110도로 맞추어져 있다. 상기 기화장치(1)의 다른 쪽 끝은 상기 나사부(3a)를 제외하고는 양쪽이 비슷하게 형성된다.

상기 섭씨 110도의 값은 통상적인 다른 이형제들, 예를 들어 "폼블린(Fomblin)"이라는 명칭으로 진공 펌프유(-油)로서 사용되는, 폴리플루오르폴리에테르 그룹 (Polyfluorpolyether group)의 이형제에도 적용된다. 그러한 기름들은 고분자화합물이고, 강력한 부식성 매질에 대하여 불활성이며, 또한 온도에 안정적이며, 불연소성이다. (ROMPP Chemie Lexikon, 1995판, Georg Thieme Verlag 출판사, 독일 슈툿가르트 및 미국 뉴욕 출판, 1421 및 3276 페이지, 표제어 "Fomblin" 및 "Perfluorpolyether". 진공펌프의 펌프유에 첨가하는 것도 문제가 없다.

예를 들어 알루미늄 피복으로 콘덴서를 제조할 때, 기판 위에, 예를 들어 플라스틱 박막과 대상종이(帶狀-) 위에 금속피복물질에 대한 분리도(分離度)는 정확한 기름 층의 두께에 달려있다. 상기 기판 위에 유막(油膜)은 응축하는 금속증기에 의하여 가열되며, 이때 기름이 증발하고, 증발하는 기름 분자들의 입자흐름에 의하여 금속의 침전을 방해한다. 만약 기름이 너무 적게 피복되면, 분리작용이 너무 작아져서, 금속피복을 종료하기 전에 기름띠로부터 기름이 모두 소모되기 때문에 금속피복을 제외시킬 기판표면의 띠줄 부분에 얇은 금속피복층이 생성 된다. 만약 기름이 너무 많이 피복되면, 기름층이 기판 위에 남아 있어서 기판 밴드를 권취(捲取)할 때 기름이 부위별로 금속화된 밴드의 넓은 부위에 걸쳐 퍼져서 오염된다. 따 라서, 이형제의 정확하고, 일정한 도포는 필수적이며, 그러나 매우 어렵게 실시된다.

상기 하부기화실(이하 "제1실"이라고 칭함)(2) 위쪽에는 중간뚜껑(5)에 의하여 밀폐되어 있으며, 그 중간뚜껑(5) 내부에는 관로(管路) 모양의 상부도관실(上部導管室)(이하 "제2실"이라고 칭함)(6)이 형성되어 있고, 이 제2실(6)은 상기 제1실(2)에 대하여 평행하게 장치되어, 기체상태의 기름을 위한 분배관의 역할을 한다. 상기 제2실(6) 위에는 노즐 고정대(7)가 또한 기밀하게 장치되어 있으며, 길이 방향으로 일정한 분사패턴에 따라 다수의 노즐(8)들이 장착되어 있다. 상기 제2실(6)은 상기 중간뚜껑(5)과 노즐 고정대(7) 사이에 형성되어 서로 연결되어 통하게 되어 2개의 직선요부(直線凹部)(6a, 6b)들로 이루어져 있다.

상기 노즐 고정대(7) 위에 근접하여 평행하게 하나의 회전롤러(9)가 장치되어 있고, 피복할 밴드(10), 플라스틱 필름 또는 종이테이프가 공급릴(supply reel)로부터 상기 회전롤러(9)를 거쳐서 권취릴(捲取reel)로 되감겨진다(도시되지 않았음). 상기 밴드(10)의 진행방향은 수직 화살표로 표시하였다.

상기 제1실(2)은 최소 1개 이상의 도관(11)을 통하여 제2실(6)과 연결되어 있으며, 상기 도관(11)은 나사캡(screw cap)에 의하여 바깥쪽으로 밀폐되어 있고, 이때 이행단면(移行斷面)과 그에 따른 단위시간 당 기화증기량은 전기적으로 제어되는 비례조절 밸브(比例調節-)(12)의 밸브게이트(valve gate)(12a)를 통하여 조절될 수 있으며, 이때 상기 밸브게이트(12a)는 도관(11) 속으로 삽입된다. 그와 같은 전압제어식 비례 밸브(電壓制御式比例-)는 독일 뷔커트사(社)에서 판매하고 있다.

상기 제2실(6)을 이루는 도관의 단면적은 모든 노즐(8)들의 단면적을 합한 것 보다 비교적 큰 단면적을 갖고 있기 때문에, 개별 노즐(8)로부터 배출되는 기화증기량은 각각 크기가 같다. 상기 분사증기는 전진하는 밴드(10) 위에 띠 모양의 균일한 폭으로 등거리(等距離)에 이형제 내지 기름 띠(1)를 형성하며, 그 목적에 대해서는 이미 설명한 바 있다. 상기 노즐 고정대(7)는 예를 들어 섭씨 120도의 일정한 온도로 유지함으로써, 노즐 고정대(7)와 노즐(8) 자체에서 기름의 응축이 일어나서 노즐의 단면적을 변화시키지 않도록 한다.

제2도는 지금까지와 같이 동일한 참조기호를 사용하여 양쪽의 측면 플랜지(2b, 2c)들이 형성되어 있고, 내부에 액면(15)까지 도달한 기화될 기름(14)이 들어있는 직6면체 모양의 제1실(2)을 보여주고 있다.

상기 중간뚜껑(5)은 제1실의 플랜지(2b, 2c)들과 함께 밀봉체(16)를 개재(介在)시켜 나사(17)를 이용하여 서로 일치하게 조여서 결합하며, 도면에서는 한 쪽 만을 보여주고 있다. 또다시 밀봉체(16a)를 개재시켜 나사볼트(18)와 단열 처리된 인서트 너트(insert nut)를 이용하여 상기 중간뚜껑(5) 위에 노즐 고정대(7)를 나사로 죄어 단단히 결합하며, 첨부도면에서는 각각 1개만이 나타나 있다. 상기 상부실(제1실)(6)은 근본적으로 적어도 카운터싱킹법(法)(countersinking)으로 형성된다.

상기 중간뚜껑(5)과 노즐 고정대(7) 사이의 분리선(19) 아래쪽 중간뚜껑(5) 내부에는 전열체(20)를 장착할 홈(5a) 및 홈(5b)이 형성되어 있고, 이 홉(5a, 5b)들은 근본적으로 상기 노즐 고정대(7)를 필요한 온도로 가열하여 유지하기 위한 것이다.

제3도는 또한 지금까지와 마찬가지로 동일한 참조기호를 사용하여, 제2도에서 상기 노즐 고정대(7)의 온도를 측정하기 위한 온도감지기(21)가 장치되어 있는 부위(部位)의 실시 단면도를 보여준다. 상기 온도감지기(21)는 장착 케이스(21a)와 함께 앵글멤버(angle member)(22)에 고정되고, 압박 스프링(21b)에 의하여 노즐 고정대(7)에 형성된 고정구멍 안의 단부면(端部面)에 압접(壓接)되어 있다. 또한 제3도에는 기름의 온도감지기(4)가 장착 케이스(4a)와 함께 도시되어 있다. 밀폐할 수 있는 기름 보충관(補充管)(23)이 장치되어 있다.

제1, 2 및 3도를 함께 관찰하면, 다음과 같이 기화장치의 중요한 파라미터들의 설정, 제어 및/또는 조절방법이 명백하게 된다. 제1도는 제어시스템(24)을 극히 도식적으로 표시하고 있다. 상기 제어시스템(24)은 먼저 온도감지기(4)를 통하여 기름의 온도측정치를 입력 받음으로써, 상기 전열체(3)는 도선(25)에 장치되어 있는 전원조절장치(3c)에 의하여 일정한 온도로 조절될 수 있다. 상기 노즐 고정대(7)의 온도감지기(21)는 - 도면에서는 단지 도식적으로 표시하였음 - 마찬가지로 측정치를 상기 제어시스템(24)으로 전송함으로써, 상기 제2도에 도시된 전열체(20)들의 전력은 도선(26)을 통하여 조절되며, 이때 마찬가지로 일정한 온도로 유지된다.

특히 중요한 것은 도선(27)을 통하여 비례밸브(조절밸브)(12)를 제어하는 것이다. 이러한 목적을 위하여, 회전롤러(9)에 회전속도계(28)를 - 도식적으로 표시하였음 - 장치하며, 이 회전속도계(28)는 회전롤러(9) 위에서 이동하는 줄무늬 패 턴(striping pattern)을 감지하기 위한 광(光)센서를 장치하거나, 또는 회전하는 자석에 대한 자석식 센서, 또는 간단히 회전롤러(9)의 축(軸)에 - 도시하지 않았음 - 회전계수기(回轉計數器)를 장치할 수도 있다. 단위시간 및 노즐 당 유량(油量)은 근본적으로 밴드속도에 비례하기 때문에, 기화증기의 유출(流出) 및 유막(油膜)의 두께를 최적화하기 위한 이상적인 방법이 가능하다. 따라서, 회전롤러(9)가 정지하면, 상기 비례밸브(12)가 폐쇄된다. 동일한 목적으로, 운전고장이 일어날 경우를 대비하여, 비상차단기를 상기 제어시스템(24)에 통합하여 장치할 수 있다.

기름층 두께에 대한 또 다른 추가적인 광학 내지 가시제어(可視制御)는 관측창(29)을 통해서 이루어지며, 이때 기름띠(13)들이 관측창(29) 앞을 지나가게 된다. 이 관측창은 예를 들어 비디오카메라로 기록하거나, 또는 광원(光源)과 광센서 사이의 광반사를 도선(30)을 통하여 수동제어 또는 자동제어를 위하여 이용된다.

이 모든 방책들은 개별적으로 또는 임의의 조합으로 적용할 수 있으며, 그러나 이때 기본적인 것은, 장치의 운전 중 기름띠(13)들의 궤적유지(軌跡維持)를 위한 조정에 따라 또는 제어를 통하여 기름 및 노즐 고정대(7)의 온도를 일정하게 유지하고, 설비의 운전이 중지될 때에는 가능한 한 최단시간 내에 노즐(8)들로 부터의 기화증기의 유출을 중단하는 것이 중요하다.

상기 제어시스템(24)은 조절명령 및/또는 설정치의 입력을 위한 입력 키보드와 광학적 관찰을 위한 LCD디스플레이 및/또는 디스플레이 장치(32)를 포함하는 것이 유리하다.

제1도에는 또한 전류로 가열되는 흑연 도가니(34)로 이루어지는 금속기화장 치(33)를 매우 작게 축소하여 도시하였으며, 그 속에는 예를 들어 알루미늄 용탕(鎔湯)이 들어있다. 상기 금속기화장치(33)는 적어도 밴드(10)의 전체 폭에 걸쳐 연장되어 있다. 예를 들어 도선(37)을 통하여 제어시스템(34)의 열출력에 대한 제어신호를 수신하는 측정/제어장치(36)가 장치되어 있다. 단위시간 당 기화금속량은 적어도 열출력 내지 온도에 근본적으로 비례하는 것이 공지되어 있다. 온도 및/또는 열출력의 피드백은 도선(38)을 통하여 제어시스템(34)으로 입력된다. 그렇게 함으로써, 기름 및 금속의 량은 서로 비례하기 때문에, 단위시간 당 기화된 기름 및 금속의 량은 제어시스템(34)에 의하여 최적하게 상호 조절된다.

제4도는 제2도와 유사한 수직단면도로서, 거꾸로, 즉, 아래쪽으로 기화증기를 배출하도록 되어있다. 이때 동일한 참조기호가 사용되는 바, 특히 제4도의 장치는 제1 내지 3도의 장치와 동일한 구성부분으로 이루어져 있기 때문이다.

이 경우에는 제1실(2)이 상부실(上部室)이 되고, 제1폐쇄뚜껑(39)에 의하여 폐쇄된다. 상기 이형제(기름)(14)의 위쪽에 위치하는 기화증기실(14a)은 또한 도관(11)과 연결되어 있고, 이 경우 상기 도관(11)은 U자형으로 구부린 관로(管路)로서 형성되어 있고, 그 도관(11) 내에 전술한 비례밸브(12)가 설치되어 있다. 이 경우에 있어서 상기 제2실(6)은 제1실(2) 밑에 "마치 머리를 거꾸로 하여" 장치된 모양을 하고 있다. 또한 이 경우에 상기 제1 내지 3도의 중간뚜껑(5)은 폐쇄뚜껑(40)으로서 형성된다. 상기 도관(11)은 상기 제2폐쇄뚜껑(40)을 통하여 제2실(6)로 통하고, 상기 제2실은 다시 2개의 요부(6a, 6b)들로 이루어지고, 서로 연결되어 통하게 된다. 최소 1개 이상의 노즐(8)은 그의 증기배출방향이 아래쪽으로 기판(10)을 향하여 지향되고, 이때 상기 기판은 굽혀지지 않는 성질을 가지고 있는 유리판으로 만들어져서, 나중에 액정표시판 재료로서 사용될 수 있다. 배출구들 또는 매거진(magazine)들 사이에 위치하는 이송로(41)는 수개의 이송롤러(42)들에 의하여 미리 정해진다.

상기 제2실(6)은 브래킷(43)에 의하여 제1실(2)과 연결되어 있고, 상기 상 하부실(2, 6)들은 하나의 구조단위를 이룬다. 상기 제2실(6)은 제1실(2) 보다 통상 높은 가동온도를 갖기 때문에, 단열층(44)이 필요하다.

상기 제1실(2), 즉, 기화실의 기능이 보존되는 한에 있어서는, 상기 이형제-기화장치(1)의 공간위치는 기판의 이송로에 따라 여러 가지로 선택할 수 있다는 것은 자명하다. 경사위치 뿐만 아니라, 제2실(6)을 노즐 고정대(7)와 함께 제1실(2) 옆에 장치하여, 예를 들어 수직으로 진행하는 밴드를 피복할 수도 있다. 특히 제2 및 4도의 비교에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 장치는 사실상 모듈러 시스템으로 형성하여 거의 임의로 개장(改裝)이 가능한 것이다.

Claims

적어도 1개 이상의 금속기화장치(33)를 갖는 진공실 안에서 이동하는 기판(10) 위에 금속피복을 방해하는 이형제(14)를 기화장치(1)에 의하여 부위별로 도포하기 위하여, 상기 이형제(14)를 제1실(2) 안에서 가열하여 기화시켜, 증기상태로 최소 1개 이상의 조절(제어)밸브(12)를 통하여, 상기 각 기판(10) 위로 지향된 최소 1개 이상의 노즐(8)이 장치된 제2실(6) 안으로 유입시키는 방법에 있어서,

a) 상기 기화장치의 온도를 일정하게 유지하며,

b) 상기 기화증기는 제1실(2)로부터 적어도 1개 이상의 조절밸브(12)를 통하여 제어되면서, 본래 제1실과 평행하게 장치된 제2실(6)로 유입되고, 이 제2실 안에서 상기 기화증기가 최소 1개 이상의 노즐(8) 구멍으로 유입되며,

c) 상기 기판(10)이 정지하거나, 또는 없을 때에는 상기 조절밸브가 폐쇄되어 폐쇄상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 상기 제1실(2) 안에 포함된 액상이형제(14)는 최소 1개 이상의 잠침(潛沈)된 전열체(3)에 의하여 일정한 온도로 유지되고, 적어도 제2실(6)의 벽체와, 그에 따라 최소 1개 이상의 노즐(8)이 마찬가지로 최소 1개 이상의 또 다른 전열체(20)에 의하여 일정한 온도로 유지되며, 이때 상기 온도는 이형제(14)의 비등점 이상으로 선택하는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제2항에 있어서, 상기 제1실(2)은 아래쪽에, 상기 제2실(6)은 보다 높은 위치에 장치되고, 상기 증기상태의 이형제(14)는 수직지향기로 아래쪽의 대상기판(10)으로 지향되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제2항에 있어서, 상기 제1실(2)을 위쪽에, 제2실(6)을 보다 낮은 위치에 장치하고, 상기 증기상태의 이형제(14)를 수직지향기를 이용하여 위로부터 아래로 판형기판(10) 쪽으로 지향하는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 상기 제2실(6)의 벽체온도를 상기 제1실(2)의 이형제온도 보다 높은 온도로 설정하는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 잠침된 전열체(3)의 열출력은 이형제온도에 따라 조절하는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 상기 최소 1개 이상의 노즐(8)을 위한 전열체(20)의 열출력은 노즐온도에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 상기 최소 1개 이상의 비례밸브(12)를 통하여 상기 제1실(2)로부터 제2실(6)로 매 시간 당 이동하는 기화증기량은 상기 최소 1개 이상의 노즐을 위한 이형제수요에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 최소 1개 이상의 노즐(8)로부터 매 시간 당 배출되는 이형제(14)의 증기량은 기름띠(13)들의 피복층 두께, 폭, 및 기판(10)의 이송속도에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 상기 기름띠(13)들의 피복층 두께는 매 시간 당 금속기화기(33)에 의하여 기화금속량에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 최소 1개 이상의 기름띠(13)가 관측창(29)을 지나가면서, 그 관측창(29) 안에서 기름띠(13)들의 광학적 제어가 이루어지는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 상기 기름띠(13)들의 요구되는 두께와 분사패턴을 형성하기 위하여 필요한 운전 파라미터는 제어시스템(24)으로 입력되고, 그 제어시스템(24)에서 운전 파라미터가 이형제(14)의 기화장치(1)에 대한 제어 또는 조정을 위한 제어치(制御値)로 변환되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제1항에 있어서, 금속피복을 형성시키는데 필요한 운전 파라미터는 마찬가지로 상기 제어시스템(24)에 입력되고, 그 제어시스템(24)에서 금속기화장치(33)의 제어 또는 조정을 위한 제어 값으로 변환되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
적어도 1개 이상의 금속기화장치(33)를 갖는 진공실 안에서 이동하는 기판(10) 위에 금속화 피복을 방해하는 이형제(14)를 가열 가능한 기화장치(1)를 이용하여 부위별로 도포하기 위하여, 상기 이형제-기화장치(1)는 이형제(14)를 기화하기 위한 최소 1개 이상의 전열체(3)를 갖는 제1실(2)을 포함하고, 또한 상기 이형제-기화장치(1)는 상기 제1실(2)에 대하여 평행하게 형성되어, 그 제1실(2)과 연결되어 있으며, 각 기판(10) 쪽으로 지향된 최소 1개 이상의 노즐(8)을 가지고 있고, 상기 이형제의 유입을 차단하기 위한 최소 1개 이상의 제어밸브(12)를 갖고 있는 제2실(6)을 포함하는 이형제의 부위별 도포장치에 있어서,

a) 상기 제1실(2)과 제2실(6) 사이에 장치되어 있는 최소 1개 이상의 조절밸브(12)는 하나의 비례밸브로 이루어져 있으며,

b) 상기 조절밸브(12)는 이형제-기화장치(1)의 각 도관(11)에 장치되어, 제1실(2)을 제2실(6)과 연결하여 주는 역할을 하며,

c) 상기 조절밸브(12)는 이형제(14)의 기화증기 흐름을 양적 및 선택적으로 조절할 수 있을 뿐만 아니라 완전히 중지할 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포방법.
제14항에 있어서, 상기 제1실(2)은 아래쪽에, 상기 제2실(6)은 보다 높은 위치에 장치되고, 상기 증기상태의 이형제(14)는 수직지향기로 아래쪽의 대상기판(10)으로 지향시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서, 상기 제1실(2)을 위쪽에, 제2실(6)을 보다 낮은 위치에 장치하고, 상기 증기상태의 이형제(14)를 수직지향기를 이용하여 위로부터 아래로 판형기판(10) 쪽으로 지향시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서, 상기 액상 이형제(14)를 가열하기 위한 제1실(2) 내에 최소 1개 이상의 전열체(3)를 장치하고, 적어도 제2실(6)의 벽체와, 따라서 최소 1개 이상의 노즐(8)이 적어도 1개 이상의 추가적인 전열체(20)와 열접촉을 하고 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서,

상기 이형제-기화장치(1)는 하나의 바닥(2a)과, 양쪽에 측면 플랜지(2b, 2c)들을 갖는 직6면체실(2)로 이루어져 있으며, 그 직6면체실(2) 위에 하나의 중간뚜껑(5)이 고정되어 있고, 이 중간뚜껑(5)은 길이방향으로 위로 개방된 중간요부(6a)가 형성되어 있으며, 그 중간요부(6a)의 양쪽에는 긴 홈(5a, 5b)들이 형성되어 있고, 그 홈(5a, 5b)들 속에 최소 1개 이상의 또 다른 전열체(20)가 장착되어 있으며,

상기 중간뚜껑(5) 위에는 하나의 노즐 고정대(7)가 고정되어 있고, 그 노즐 고정대(7)에는 길게 아래쪽으로 개방된 중간요부(6b)가 형성되어 있으며, 이때 상기 중간요부(6a, 6b)들은 함께 제2실(6)을 형성하여 서로 연결되어 통하게 되고, 최소 1개 이상의 노즐(8)이 그 제2실에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서, 상기 이형제-기화장치(1)는

a) 하나의 바닥(2a)과 양측에 플랜지(2b, 2c)들을 갖고 있고, 그 위에 폐쇄뚜껑(39)이 고정되어 있는 하나의 직6면체형 제1실(2)과,

b) 제2폐쇄뚜껑(40)을 갖고 있고, 그 뚜껑(40)은 아래쪽에 길이 방향으로 개방된 중간요부(6a)가 형성되어 있으며, 그 중간요부(6a)의 양쪽에 홈(5a, 5b)들이 형성되어, 그 속(5a, 5b)에 추가적으로 전열체(20)들이 장착되는 제2실(6)로 구성되어 있고,

상기 제2폐쇄뚜껑(40)의 하부면에는 하나의 노즐 고정대(7)가 고정되어 있고, 그 노즐 고정대(7)에는 길이 방향으로 위쪽으로 개방된 중간요부(6b)가 형성되어 있으며, 이때 상기 중간요부(6a, 6b)들은 함께 제2실(6)을 구성하여 서로 연결되어 통하게 되어 있고, 그 제2실(6)에 최소 1개 이상의 노즐(8)들이 결합되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 노즐 고정대(7)는 상이한 노즐 단면(斷面) 또는 다른 분사패턴을 갖는 노즐 고정대(7)로 교체할 수 있게 형성되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서, 상기 기화장치(1)의 제1실(2) 안에 구조적으로 설계된 액면(15) 아래쪽에 이형제(14)의 온도측정을 위한 온도감지기(4)가 장치되어 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제18항에 있어서, 상기 노즐 고정대(7)에는 전단면(7a)을 갖는 하나의 요부가 형성되어 있고, 그 전단면(7a)에는 노즐 고정대(7)의 온도 감지기(21)가 접촉하여 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서, 이형제-기화장치(1) 위쪽에는 대상기판(10)의 진로와, 그 기판(10) 위에 노즐(8)에 의하여 생성된 최소 1개 이상의 기름띠(13)들의 진행을 전진시키기 위한 회전롤러(9)가 장치되어 있고, 상기 회전롤러(9)에 기판속도를 측정하기 위한 신호장치가 장치되어 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서, 상기 이형제-기화장치 아래쪽에는 판형기판(10)과, 노즐(8)에 의하여 기판(10) 위에 생성된 최소 1개 이상의 기름띠(13)의 진행을 위한 이송로(41)가 장치되어 있고, 상기 이송로(41)에 기판속도를 측정하기 위한 신호장치가 장치되어 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제15항에 있어서, 상기 최소 1개 이상의 기름띠(13)를 형성한 기판(10)의 진행로에는 관측창(29)이 설치되어 있고, 그 관측창(29)은 광학장치에 의하여 감지할 수 있게 되어있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제14항에 있어서, 온도, 단위시간 당 기화증기량, 분사패턴의 형성 및 기름띠(13)의 두께를 위한 감지기의 측정신호들은 제어시스템(24)에 연결되어, 이형제(14)를 위한 기화장치(1)의 제어 또는 조정을 위한 제어치(制御値)로 변환되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제26항에 있어서, 상기 제어시스템(24)에는 금속기화기(33)에 의한 금속피복 을 제어하기 위한 측정 및 제어장치(36)가 연결되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제26항에 있어서, 운전 파라미터에 대한 제어명령 또는 설정치의 입력을 위한 입력 키보드(31)가 상기 제어시스템(24)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.
제26항에 있어서, 측정치, 제어명령 또는 운전 파라미터의 설정치를 표시하기 위한 디스플레이(32)가 상기 제어시스템(24)에 연결되는 것을 특징으로 하는 이형제의 부위별 도포장치.