JP2005095854A - 基板上に分離媒体を部分的に塗布する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送中の基板１０の上に被覆防止のための分離媒体を蒸発器１によって真空室内で部分的に塗布するための方法であって、真空室が金属蒸発器３３を有しており、分離媒体が第１の室２内で加熱によって蒸発されて、蒸気状態で調整弁１２を介して、基板に向けられたノズル８を備える第２の室６内へ移されるようになっている形式のものにおいて、
蒸着された面パターン、幅及び層厚さを極めて正確に維持して、蒸気流出を必要に応じて直ちに遮断できるようにする。
【解決手段】ａ）蒸発温度をできるだけ一定に保ち、ｂ）第１の室からの蒸気を調整弁によって制御して、第２の室６内へ、かつ該第２の室内でまず第１の室に対して平行にノズルに向けて供給し、ｃ）調整弁を基板の停止に際して若しくは基板の欠落している場合に閉じる。
【選択図】図１

Description

本発明は、運動中の基板の上に被覆防止のための分離媒体を蒸発器によって真空室内で部分的に塗布するための方法であって、真空室が少なくとも１つの金属蒸発器を有しており、この場合に分離媒体が第１の室内で加熱によって蒸発させられ、蒸気状態で少なくとも１つの調整弁を介して、基板に向けられた少なくとも１つのノズルを備える第２の室内へ移されるようになっている形式のものに関する。

塗布は、運動若しくは移動中の基板の上に分離媒体のストライプ、以下においては短くオイル痕跡若しくはオイル膜と称する、を形成するために行われる。このようなオイル膜は、基板縁部に関連した所定の分布パターン、一定の厚さ及び幅を有するようにしたい。

ドイツ連邦共和国特許出願第３９２２１８７Ａ１号明細書により公知の手段では、局所的な被覆の防止のために用いられ、分離媒体（分離剤）とも称される物質は、加熱可能な蒸発器用管内で蒸発若しくは沸騰させられて、直接に蒸気室からノズル内に導入されるようになっており、ノズルはそれぞれ１つの蒸気噴流を走行中の帯状材料に向けて、金属の蒸着中に金属のない縦ストライプを形成するようになっている。この場合には、被覆の防止のための物質、一般的にオイルの塗布を監視する手段は設けられていない。

ドイツ連邦共和国特許第４１００６４３Ｃ１号明細書により公知の手段では、金属のない付加的な横ストライプが帯状材料速度で回転するローラによって形成され、ローラ内に蒸気が同時にオイル蒸発器の蒸気室から導入される。温度センサーによって、蒸発器内のオイル温度が監視される。

ドイツ連邦共和国特許出願第４２３１６４４Ａ１号明細書により公知の手段では、金属のない領域の分布パターンが、蒸気室の上側及びスリットノズルの前側に配置されて種々の長さの切欠き及び舌状部を備えた運動可能なブラインド若しくは遮蔽部材によって調節されるようになっている。この場合には、常に１つのスリットノズルを開放しておくようにしてある。

ドイツ連邦共和国特許出願第４３０９７７１Ａ１号明細書により、スリットノズルを加熱式の蒸発器の蒸気室の上に直接に配置して、オイル層の層厚さをオイル蒸発器の加熱出力の制御によって調節することが公知である。

ヨーロッパ特許出願第０９６６００６Ａ１号明細書により公知の手段では、積層コンデンサーが、つや出し仕上げされた回転するローラの各回転中に順次に、反応性のモノマー蒸気からなる硬化された絶縁性の樹脂層、ストライプ状のパターンの分離層、及び該分離層に対して相補的なストライプ状のパターンでアルミニウム、銅、亜鉛、ニッケル、これらの合金若しくは酸化物からなる金属層を塗布することによって形成される。層の外被が１８００回転までの複数の回転によって螺旋の形状に形成されて、コンデンサーの所望の静電容量が達成される。形成された積層体は、回転方向に対して横方向に切り開かれて、ローラから外され、次いで熱の作用下で平らにプレスされ、さらに切り分けられて、電極を付けられる。樹脂厚さの測定はレーザー光を用いて行われる。層幅の測定は、カメラを用いて反射及び色のコントラストの測定によって行われる。分離層の材料、即ちエステル、グリコール、弗化炭素及び炭化水素のオイル類からなる蒸気のための蒸気分配器は示してあるものの、蒸気量及び層厚さを制御するため並びに装置の停止時の蒸気流の遮断のための手段は講じられていない。それどころか、個別の各層の厚さを規定する必要はなく、最終的に所定の静電容量を得ることで十分であると述べてある。例えば層厚さをローラの１５回の回転の後の測定点（チェック・ポイント[check-point]）で決定するので十分である。アルミニウムにとって３０ｎｍ（３００Å）の層厚さが示してある。しかしながら分離媒体にとっては、余剰の分離媒体をプラズマ放電によって再び除去することしか述べてられていない。この場合に、特に分離媒体としてのハロゲン化合物においては有毒でかつポンプオイルにとって有害な化合物が生じる。硬化された樹脂層にとっては１μｍを越えない厚さが示してある。基本的に、絶縁層若しくは樹脂層及び金属層の厚さ、並びに金属層及び分離層の幅の測定及び制御若しくは調整のみが行われ、それというのはこれらの値がコンデンサーの容量にとって重要であるからである。前記明細書には、運転段階でのオイル若しくは分離媒体の流出の問題並びに蒸発器の温度変化及び長さ変化によるオイル痕跡のずれを避けることについては論じられていない。

前述の分離媒体、金属、合金及び化合物は本発明でも利用可能なものである。

前述の手段においては欠点として、蒸発器は急速には冷めないので、装置の停止、例えば帯状部材の交換若しくは運転障害に際してもオイル蒸気を噴出してしまい、これによって装置が著しく汚染される。さらに蒸発器は加熱及び冷却の際に熱に起因した長さ変化を生ぜしめる。オイル噴出量が減少すると、蒸発器の加熱装置を接続して、蒸発器を再び作動させる必要がある。帯状部材に沿ったノズルひいてはオイル痕跡(Oelspur)の一様な分布は、最終製品の申し分のない特性にとって重要である。

ヨーロッパ特許出願第１０３５５５３Ａ１号明細書及びヨーロッパ特許出願第０９３８９７１Ａ１号明細書により、１つの蒸発器から１つのノズル列への蒸気流を遮断するための手段は公知である。この場合に遮断弁は、真空室の外側にある蒸発器と真空室の内部のノズル本体との間に配置されている。

ヨーロッパ特許出願第１０３５５５３Ａ１号明細書の図７に示してある手段では、オイル蒸発器は平行な２つの通路を備えた加熱可能なブロックであり、通路は蒸気流過のための１つのスリットによって互いに接続されており、ブロックはオイルの沸点より高い温度に加熱される。下側の通路はオイルの貯蔵部に開口しており、上側の通路は帯状材料に向けられた蒸気流出のためのノズル列を備えていて、帯状材料上にオイル痕跡を生ぜしめるようになっている。両方の通路間に遮断弁若しくは調節弁を設けることは、開示されていない。従って、オイル蒸気がノズル列から装置の真空室内に流出してそこで凝結してしまうことは避けられない。装置は分離媒体（オイル）の圧力変化にもさらされることになり、その結果、噴出するオイル量が不安定になってしまう。
ドイツ連邦共和国特許出願第３９２２１８７Ａ１号明細書 ドイツ連邦共和国特許第４１００６４３Ｃ１号明細書 ドイツ連邦共和国特許出願第４２３１６４４Ａ１号明細書 ドイツ連邦共和国特許出願第４３０９７７１Ａ１号明細書 ヨーロッパ特許出願第０９６６００６Ａ１号明細書 ヨーロッパ特許出願第０９３８９７１Ａ１号明細書 ヨーロッパ特許出願第１０３５５５３Ａ１号明細書

本発明の課題は、冒頭に述べた形式の方法、即ち、液状の分離媒体を真空室内に蒸気分配室及びノズルを備えた二室形蒸発器内に貯蔵して塗布するための方法を改善して、蒸発器温度を一定に維持すると共に、ノズルから流出する蒸気量を意図的に変化できて、偶然性に左右されなくして、かつ蒸気流出を必要に応じて実質的に直ちに遮断できるようにすることである。

前記課題を解決するために本発明に基づく手段では、
ａ）蒸発温度をできるだけ一定に保ち、
ｂ）第１の室からの蒸気を少なくとも１つの調整弁によって制御して、第２の室内へ、かつ該第２の室内でまず第１の室に対して平行に少なくとも１つのノズルに向けて供給し、
ｃ）調整弁を基板の停止に際して若しくは基板の存在していない場合（欠落している場合）に閉じる。

制御なる用語は、単数若しくは複数の閉制御回路による調整若しくはフィードバック制御をも含むものである。

前述の手段によって、前記設定の課題が完全に解決され、即ち、蒸発器温度を一定に維持するとによって、蒸発器の長さが維持され、ひいてはノズルの分配パターン及び該ノズルによって生ぜしめられるオイル痕跡の分布パターンが一定であり、ノズルから流出する蒸気量が所定のパラメータに依存して制御され、蒸気流出が必要に応じて実質的に直ちに遮断（中断）され、その結果、真空室及び複雑に組み立てられた構成部分のオイル凝縮液による汚染が実質的に避けられ、ひいては装置の厄介で困難な清掃が避けられる。

本発明の前記手段の有利な実施態様が従属請求項に記載してある。各実施態様を個別に用いることも、種々に組み合わせて用いることも可能である。

１つの実施態様では、第１の室内に受容された液状の分離媒体を、該分離媒体内に浸漬された少なくとも１つの電気式の加熱体によって一定の温度に維持し、少なくとも第２の室の壁、ひいてはノズルを別の少なくとも１つの電気式の加熱体によって同じく一定の温度に維持し、該温度を分離媒体の沸騰温度よりも高く選ぶようになっている。

有利な実施態様では、第１の室を下側に配置し、かつ第２の室を第１の室よりも高い位置に配置して、蒸気状の分離媒体の鉛直な方向成分を下方から帯状の基板（帯状材料）に向けるようになっている。

別の有利な実施態様では、第１の室を上側に配置し、かつ第２の室を第１の室よりも低い位置に配置して、蒸気状の分離媒体の鉛直な方向成分を上方からプレート状の基板に向けるようになっている。

第２の室の壁の温度を、第１の室内の分離媒体の温度よりも高い値に調節する。浸漬された加熱体の加熱出力を、分離媒体の温度に依存して調節する。少なくとも１つのノズルのための加熱体の加熱出力を、ノズルの温度に依存して調節する。第１の室から第２の室内へ流入する単位時間当たりの蒸気量を、少なくとも１つの比例式の調整弁によってノズルに対する分離媒体需要量に依存して調節する。分離媒体の、ノズルから流出する単位時間当たりの蒸気量を、オイル膜の被膜厚さ及び幅、並びに基板の搬送速度に依存して調節する。オイル膜の被膜厚さを、金属蒸発器によって単位時間当たりに蒸発される金属量に比例して調節する。さらに別の実施態様では、少なくとも１つのオイル膜を監視領域で光学的に検出するようになっている。

別の実施態様では、オイル膜の分布パターン及び必要な厚さの規定のための運転パラメータを制御機構に送り、制御機構内で前記運転パラメータを分離媒体の蒸発器の制御及び／又は調整のための調節値に変換するようになっている。

さらに別の実施態様では、金属被膜の形成の規定のための運転パラメータを同じく制御機構に送り、制御機構内で前記運転パラメータを金属蒸発器の制御及び／又は調整のための調節値に変換するようになっている。

本発明は、前記課題を解決するための装置にも関する。該装置は次のような公知技術のものから出発する：該装置は、被覆若しくは積層の防止のための分離媒体を真空室内で加熱可能な蒸発器によって運動中、例えば搬送中の基板の上に部分的に塗布するようになっており、真空室が少なくとも１つの金属蒸発器を有しており、この場合に、分離媒体・蒸発器が、分離媒体の蒸発のために少なくとも１つの加熱体を備えた第１の室、並びに第２の室を有しており、該第２の室が前記第１の室に対して平行に延びて、該第１の室に接続されていて、かつ基板に向けられた少なくとも１つのノズルを有し、さらに分離媒体供給の遮断のための少なくとも１つの調整弁を備えている。

前記課題を解決するために本発明の構成では、
ａ）少なくとも１つの調整弁が比例弁であり、比例弁が第１の室と第２の室との間に配置されており、
ｂ）前記調整弁が分離媒体・蒸発器の通路内に配置されており、該通路が第１の室と第２の室とを接続しており、かつ
ｃ）前記調整弁が、分離媒体の蒸気流の流量を意図的に調整でき、かつ分離媒体の蒸気流を完全に遮断できるように形成されている。

本発明に基づく装置の有利な実施態様が従属請求項に記載してあり、各実施態様を個別に用いることも、種々に組み合わせて用いることも可能である。

本発明に基づく装置の実施態様では、第１の室が下側に配置され、かつ第２の室が第１の室よりも高い位置に配置されており、蒸気状態の分離媒体の鉛直な方向成分が下方から帯状の基板に向けられるようになっている。

別の実施態様では、第１の室が上側に配置され、かつ第２の室が第１の室よりも低い位置に配置されており、蒸気状態の分離媒体の鉛直な方向成分が上方からプレート状の基板に向けられるようになっている。

液状の分離媒体のための第１の室内に少なくとも１つの電気式の加熱体が配置されており、少なくとも第２の室の壁、ひいては少なくとも１つのノズルが別の少なくとも１つの電気式の加熱体と熱接触している。

分離媒体・蒸発器は立方体状の室を有しており、該室は、底部及び側方のフランジ（フランジ付き側壁）、該フランジ上に緊締された中間カバーによって形成されており、該中間カバーは該中間カバーの長手方向に、上方へ向かって開いた中央の１つの切欠き（凹設部）を有しており、該切欠きの両方の側部に溝が配置されており、該溝内に別の少なくとも１つの加熱体が収容されており、中間カバー上にノズル条片を緊締してあり、該ノズル条片は該ノズル条片の長手方向に、下方へ向かって開いた中央の１つの切欠きを有しており、前記両方の切欠きは互いに合致して一緒に第２の室を形成しており、該第２の室から少なくとも１つのノズルが延びている。

別の実施態様では分離媒体・蒸発器の第１の立方体状の室は、底部及び側方のフランジ、該フランジ上に緊締された閉鎖カバーによって形成されており、分離媒体・蒸発器の第２の室は第２の閉鎖カバーを有しており、該閉鎖カバーは前記閉鎖カバーの長手方向に、下方へ向かって開いた中央の１つの切欠きを有しており、該切欠きの両方の側部に溝を配置してあり、該溝内に別の少なくとも１つの加熱体を収容してあり、前記第２の閉鎖カバーにノズル条片を緊締してあり、該ノズル条片は該ノズル条片の長手方向に、上方へ向かって開いた中央の１つの切欠きを有しており、これら両方の切欠きは互いに合致して一緒に第２の室を形成しており、該第２の室から少なくとも１つのノズルが延びている。

ノズル条片は、別の横断面のノズル及び／又は別の分布パターンのためのノズルを備えたノズル条片と交換可能に形成されている。

蒸発器の第１の室内で所定の液面の下側に、分離媒体の温度のための温度センサーを配置してある。

ノズル条片は切欠きを備えており、該切欠きの端面にノズル条片の温度のための温度センサーが接触している。

分離媒体・蒸発器の上側に、帯状の基板の走行路及びノズルによって基板上に形成されたオイル膜の経過を規定するための転向ローラが配置されており、該転向ローラに対応して基板速度の検出のための信号手段が配置されている。

別の実施態様では分離媒体・蒸発器の下側に、プレート状の基板のため、及びノズルによって基板上に形成された少なくとも１つのオイル膜の経過のための搬送路が配置されており、該搬送路に対応して基板速度の検出のための信号手段が配置されている。少なくとも１つのオイル膜を備えた基板の走行路に対応して、監視領域を配置してあり、監視領域は光学的な手段によって検出されるようになっている。温度、単位時間当たりの蒸気量、オイル膜の分布パターン及び厚さのためのセンサーの測定信号を、制御機構に供給するようになっており、該制御機構内で前記測定信号は分離媒体のための蒸発器の制御及び／又は調整のための調節値に変換されるようになっている。制御機構に金属蒸発器の金属被覆の制御のための測定兼調整装置が接続されている。制御機構に対応して制御命令及び／又は運転パラメータの目標値のための入力キーが配置されている。制御機構に対応して、測定値、制御命令及び／又は運転パラメータの目標値のための画像スクリーンが配置されている。

図１は、分離媒体を鉛直に上方へ流出させる蒸発器の一方の端部を、所属の転向ローラ及び分離媒体でストライプ状に被覆された帯状材料と一緒に、測定値を得て所定の構成部分へ制御信号を送るためのブロック回路と関連して縦断面して示す図である。図２は、図１の実施例の、分離媒体の流出のための１つのノズルの領域の垂直横断面図である。図３は、液状の分離媒体及びノズル条片の温度のための温度センサーの領域の垂直横断面図である。図４は、分離媒体の蒸気を鉛直に下方へ流出させる蒸発器の垂直横断面図である。

図１に、分離媒体（以下においては短くオイル[Oel]と称する）のための蒸発器１を示してある。蒸発器１は真空室（図示省略）内に配置されていて、蒸発させるべきオイルの貯蔵のためのほぼ立方体状（直方体状）の下側の室２を有している。底部２ａの近傍に、長手方向に一貫して延びる電気的な加熱体３を配置してあり、加熱体が一方の端部にケーブル３ｂを備えていてねじ３ａによって密に固定されている。オイル内にオイル温度の検出のための温度センサー４を配置してあり、オイル温度が例えばほぼ摂氏１１０度に調節される。蒸発器１の他方の端部はねじ３ａを除いて類似して形成されていてよい。

１１０度の値は、通常の分離媒体に当てはまるものであり、この種の分離媒体は、例えばポリフルオルポリエチレンの群からなっていて、真空ポンプオイルとしても用いられ、例えばFomblinと呼ばれている。このようなオイルは高分子でかつ不活性であり、腐食作用のある媒体及び熱に対しても安定的でかつ不燃性である(ROEMPP Chemie Lexikon, 1995, Georg Thieme Verlag, Stuttgart und New York, 1421頁及び3276頁の 「Fomblin」及び「 Perfluorpolyether」)。従って、必要に応じて設けられる真空ポンプのポンプオイルと分離媒体との混ざり合いも問題にされていない。

例えばアルミニウム箔を備えたコンデンサーを製造する際に基板、例えばプラスチックシート及びペーパーテープ上の金属性の被覆物質に対する分離作用は、オイルの正確な層厚さ若しくは膜厚さに基づいている：基板上のオイル膜は凝縮する金属蒸気によって熱せられ、この場合にオイルは蒸発して、オイルの蒸発する分子の粒子流によって金属の堆積を妨げる。塗布されたオイルが少なすぎると、分離作用が少なすぎて、基板の金属なしに保つべきストライプ（縞状区分）に薄い金属層が施されることになり、それというのは基板上のオイル膜量が、金属堆積を終える前に消失してしまうからである。塗布されるオイルが多すぎると、オイル薄膜は基板上に残留して、帯状部材の巻き取りに際して２つの層間で広がり、これによってオイルは部分的に金属被覆された基板の大きな範囲にわたって塗りつぶされることになる。従って、分離媒体の正確で一定な調量が要求されている。

室２の上に中間カバー５を密に配置してあり、該中間カバーに上側の通路状の室６を設けてあり、該通路状の室は下側の室２に対して平行に延びていて、蒸気状態のオイルの分配通路として役立っている。室６の上にノズル条片７を同じく密に配置してあり、ノズル条片は長手方向に所定の分布パターンに応じて複数のノズル８を備えている。室６は直線的に延びる２つの切欠き６ａ，６ｂから成っており、該切欠き（凹設部）は中間カバー５内及びノズル条片７内に形成されていて、互いに連通している（図２、参照）。

ノズル条片７の上に、かつ該ノズル条片に対して平行に所定の間隔で転向ローラ９を配置してあり、該転向ローラを介して、被覆すべき帯状部材１０、例えばプラスチックシート若しくはペーパーストリップがストック巻体（図示省略）から完成巻体（図示省略）に巻き取られる。走行方向は垂直な矢印に示してある。

下側の室２は上側の室６に少なくとも１つの通路１１を介して接続されており、通路は外部に対してねじ付き栓１１ａによって閉鎖されており、この場合に移行断面、ひいては単位時間当たりの蒸気量が電気的に制御可能な比例弁１２によって調整されるようになっており、比例弁の弁体１２ａが通路１１内に係合している。このような電圧制御式の比例弁１２は、例えばドイツ国のビュルケルト社(Firma Buerkert /Deutschland)によって市販されている。

通路６はすべてのノズル８の横断面の総計に比べて大きな横断面を有しているので、各ノズル８から流出する蒸気量は互いに同じ大きさである。蒸気噴流は走行中の帯状部材１０上に、等間隔で互いに同じ幅のストライプ状の分離媒体膜若しくはオイル膜１３を形成する。ノズル条片７は例えば１２０℃の一定の温度に維持され、従ってノズル８内で、横断面を変化させてしまうようなオイル凝縮は生じない。

図２に示してあるように、立方体状の室２は底部２ａと側方のフランジ２ｂ，２ｃによって、所定の液面１５まで満たされて蒸発させるべきオイル１４の貯蔵部を形成している。中間カバー５は室２のフランジ２ｂ，２ｃとシール部材１６を介在してねじ１７（１つだけを図示）によって結合されている。中間カバー５上に同じくシール部材１６ｂを介在してノズル条片７がねじ１８及び断熱性のねじスリーブ１８ａによって固定されている。図示の実施例から明らかなように、上側の室６は実質的に中間カバー５及びノズル条片７のフライス加工によって形成されている。

中間カバー５とノズル条片７との間の分離継ぎ目１９の下側で中間カバー５内に加熱体２０のための溝５ａ，５ｂを設けてあり、該加熱体はノズル条片７を所定の温度にもたらして該温度に維持するために役立っている。

図３に示すように、ノズル条片７の温度を検出するための温度センサー２１は、接続ケーシング２１ｂで以てアングル片２２に取り付けられて、圧縮ばね２１ｂによってノズル条片７の穴の端面７ａに圧着されている。さらにオイルのための温度センサー４が接続ケーシング４ａを介して室に取り付けられている。符号２３でオイルのための閉鎖可能な補充用接続片を示してある。

図１乃至図３に示す手段を組み合わせて用いることによって、蒸発器の所定のパラメータの調節、制御及び／又は調整のための種々の実施例が可能である。図１に制御機構２４を極めて概略的に示してあり、該制御機構は温度センサー４を介してオイルの温度のための測定値を受け取り、これによって加熱体３が導線２５を介してケーブル３ｂ内の出力調節装置３ｃを用いて一定の温度値に調節される。ノズル条片７のための同じく概略的に示す温度センサー２１も、測定値を制御機構２４に送り、これによって図２に示す加熱体２０の出力が導線２６を介して一定の温度値に調節される。

導線２７を介して比例弁１２を制御することは重要である。このために、転向ローラは概略的に示す回転数発信器２８を備えており、回転数発信器は転向ローラ９のストリップパターンの検出のための光学式のセンサーであるか、若しくは回転する磁石のための磁気式のセンサー、若しくは簡単に転向ローラ９の軸（図示省略）の回転数測定器であってよい。時間当たり及びノズルのオイル量は帯材速度にほぼ比例しており、このことは蒸気流及びオイル層厚さを最適にするための良好な手段になる。転向ローラ９の停止状態では比例弁１２は閉鎖位置にある。運転障害若しくは運転故障に対応して非常遮断スイッチを設けてあってよく、非常遮断スイッチは制御機構２４内に組み込まれている。

オイル層厚さの光学的若しくは目視的な検査を監視領域２９で行ってよく、監視領域がオイル膜１３によって通過される。監視領域は例えばビデオ・カメラによって連続的に記録され、若しくは光源とフォト・センサーとの間の光学反射が導線３０を介して手動制御若しくは自動調整のために利用されてよい。これらの手段は個別に用いられ、若しくは両方を組み合わせて用いられてよい。この場合にオイル若しくはノズル条片７の温度は運転中に一定に保たれ、ノズル８からの蒸気流は装置の停止に際してはできるだけ短い時間で遮断される。

制御機構２４は有利には、調節命令及び／又は目標値のための入力・操作キー３１及び視覚的な監視のためのLCD・表示装置、及び／又は画像スクリーン３２を含んでいる。

さらに金属蒸発器３３を著しく縮尺して示してあり、金属蒸発器は通電によって加熱可能なグラファイト槽３４から成っており、グラファイト槽内に例えばアルミニウムからなる溶融液３５が入っている。金属蒸発器３４は少なくとも帯状部材の全幅にわたって延びている。金属蒸発器に対応して測定兼制御装置３６を配置してあり、測定兼制御装置は制御機構２４から導線３７を介して、例えば加熱出力のための制御信号を受け取るようになっている。明らかなように、単位時間当たりに蒸発される金属量は加熱出力若しくは温度にほぼ比例している。温度及び／又は加熱出力のフィードバック信号は導線３８を介して制御機構２４へ送られる。これによって、単位時間当たりに蒸発されるオイル量及び金属量が制御機構３４を用いて互いに最適に調整され、それというのはオイル量及び金属量が互いに相応に比例しているからである。

図４は図２に類似して垂直断面を示しているものの、蒸気・流出方向が逆で、即ち下向きである。図４の実施例でも、図１乃至図３の実施例の構成部分と同じ構成部分には同じ符号を付けてある。

図４に示す実施例では、第１の室２が上側の室であり、第１の閉鎖カバー３９によって閉鎖されている。分離媒体（オイル）１４の上側の蒸気室１４ａはここでも通路１１に接続してあり、通路は折り曲げられた管路として形成されていて、既に述べた比例弁１２を備えている。この場合に第２の室６は第１の室２の下側に配置され、いわゆる逆立ちして、即ち逆向きにされている。図１乃至図３の中間カバー５はここでは閉鎖カバー４０として形成されている。通路１１は第２の閉鎖カバー４０を経て第２の室６内に開口しており、該室は同じく２つの切欠き６ａ，６ｂから成っており、該切欠きは互いに連通している。少なくとも１つのノズル８は、蒸気流出方向を下側へ剛性の基板１０へ向けており、基板は例えばLCD・ディスクとして使用するためにガラスからなるディスク若しくはプレートであってよい。ロックゲート間若しくは貯蔵部（マガジン）間に存在する搬送路４１は、複数の搬送ローラ４２によって形成されている。

第２の室６は連結片４３を介して第１の室２に結合されており、これらの室２，６は、互いに平行に延びる複数の室から成る１つの構成ユニットを形成している。通常は第２の室６は第１の室２に比べて高い運転温度を有しているので、断熱層４４が有利である。

明らかなように、分離媒体・蒸発器１の容積装置（スペース装置）は基板（サブストレート）の搬送路に応じて種々に形成されて、第１の室２、即ち蒸気室若しくは沸騰室の機能が保たれる。ノズル条片７を備えた室６は斜めに配置されてもよく、また例えば鉛直方向に走行する帯状材料を被覆するために、側方に室２の横に並べて配置されてもよい。本発明の構成は、図２と図３とに示すように任意に組み替え可能なユニットシステムを成している

本発明に基づく蒸発器の、所属の転向ローラ及びブロック回路と関連して示す部分縦断面図 図１の蒸発器のノズルの領域の垂直横断面図 蒸発器の分離媒体及びノズル条片のための温度センサーの領域の垂直横断面図 分離媒体の蒸気を鉛直に下方へ流出させる蒸発器の垂直横断面図

符号の説明

１ 蒸発器、 ２ 室、 ２ａ 底部、 ３ 加熱体、 ３ａ ねじ、 ３ｂ ケーブル、 ４ 温度センサー、 ５ 中間カバー（蓋）、 ６ 室、 ７ ノズル条片、 ８ ノズル、 ９ 転向ローラ、 １１ 通路（管路）、 １１ａ ねじ付き栓、 １２ 比例弁、 １２ａ 弁体、 １３ オイル膜、 １４ 分離媒体、 １４ａ 蒸気室、 １６，１６ａ シール部材、 １７ ねじ、 １８ ねじ、 １８ａ ねじスリーブ、 １９ 分離継ぎ目、 ２０ 加熱体、 ２１ 温度センサー、 ２１ａ 接続ケーシング、 ２１ｂ 圧縮ばね、 ２２ アングル片、 ２３ 補充用接続片、 ２４ 制御機構、 ２７ 導線（ライン）、 ２８ 回転数発信器、 ２９ 監視領域、 ３０ 導線（ライン）、 ３１ 入力・操作キー、 ３２ 画像スクリーン若しくはLCD・表示装置、 ３３ 金属蒸発器、 ３４ グラファイト槽、 ３５ 溶融液、 ３７ 導線（ライン）、 ３９，４０ 閉鎖カバー、 ４１ 搬送路、 ４２ 搬送ローラ、 ４３ 連結片、 ４４ 断熱層

Claims (29)

1. 運動中の基板（１０）の上に被覆防止のための分離媒体（１４）を蒸発器（１）によって真空室内で部分的に塗布するための方法であって、真空室が少なくとも１つの金属蒸発器（３３）を有しており、分離媒体（１４）が第１の室（２）内で加熱によって蒸発されて、蒸気状態で少なくとも１つの調整弁（１２）を介して、基板（１０）に向けられた少なくとも１つのノズル（８）を備える第２の室（６）内へ移されるようになっている形式のものにおいて、
   ａ）蒸発温度をできるだけ一定に保ち、
   ｂ）第１の室（２）からの蒸気を少なくとも１つの調整弁（１２）によって制御して、第２の室（６）内へ、かつ該第２の室内でまず第１の室（２）に対して平行にノズル（８）に向けて供給し、
   ｃ）調整弁（１２）を基板（１０）の停止に際して若しくは基板の存在していない場合に閉じることを特徴とする、基板上に分離媒体を部分的に塗布する方法。
2. 第１の室（２）内に受容された液状の分離媒体（１４）を、浸漬された少なくとも１つの電気式の加熱体（３）によって一定の温度に維持し、第２の室（６）の壁、ひいてはノズル（８）を別の少なくとも１つの電気式の加熱体（２０）によって同じく一定の温度に維持し、該温度を分離媒体（１４）の沸騰温度よりも高く選ぶ請求項１記載の方法。
3. 第１の室（２）を下側に配置し、かつ第２の室（６）を第１の室よりも高い位置に配置して、蒸気状の分離媒体（１４）の鉛直な方向成分を下方から帯状の基板（１０）に向ける請求項２記載の方法。
4. 第１の室（２）を上側に配置し、かつ第２の室（６）を第１の室よりも低い位置に配置して、蒸気状の分離媒体（１４）の鉛直な方向成分を上方からプレート状の基板（１０）に向ける請求項２記載の方法。
5. 第２の室（６）の壁の温度を、第１の室（２）内の分離媒体の温度よりも高い値に調節する請求項１から４のいずれか１項記載の方法。
6. 浸漬された加熱体（３）の加熱出力を、分離媒体の温度に依存して調節する請求項１から５のいずれか１項記載の方法。
7. 少なくとも１つのノズル（８）のための加熱体（２０）の加熱出力を、ノズルの温度に依存して調節する請求項１から６のいずれか１項記載の方法。
8. 第１の室（２）から第２の室（６）内へ流入する単位時間当たりの蒸気量を、少なくとも１つの比例式の調整弁（１２）によってノズル（８）に対する分離媒体需要量に依存して調節する請求項１から７のいずれか１項記載の方法。
9. 分離媒体（１４）の、ノズル（８）から流出する単位時間当たりの蒸気量を、オイル膜（１３）の被膜厚さ及び幅、並びに基板（１０）の搬送速度に依存して調節する請求項１から８のいずれか１項記載の方法。
10. オイル膜（１３）の被膜厚さを、金属蒸発器（２２）によって単位時間当たりに蒸発される金属量に比例して調節する請求項１から９のいずれか１項記載の方法。
11. 少なくとも１つのオイル膜（１３）を監視領域（２９）で光学的に検出する請求項１から１０のいずれか１項記載の方法。
12. オイル膜（１３）の分布パターン及び必要な厚さの規定のための運転パラメータを制御機構（２４）に送り、制御機構内で前記運転パラメータを分離媒体（１４）の蒸発器（１）の制御及び／又は調整のための調節値に変換する請求項１から１１のいずれか１項記載の方法。
13. 金属被膜の形成の規定のための運転パラメータを同じく制御機構（２４）に送り、制御機構内で前記運転パラメータを金属蒸発器（３３）の制御及び／又は調整のための調節値に変換する請求項１から１２のいずれか１項記載の方法。
14. 運動中の基板（１０）の上に被覆防止のための分離媒体（１４）を加熱可能な蒸発器（１）によって真空室内で部分的に塗布するための装置であって、真空室が少なくとも１つの金属蒸発器（３３）を有しており、分離媒体用の蒸発器（１）が、分離媒体（１４）の蒸発のために少なくとも１つの加熱体（３）を備えた第１の室（２）、並びに第２の室（６）を有しており、該第２の室（６）が第１の室（２）に対して平行に延びて、該第１の室に接続されていて、かつ基板（１０）に向けられた少なくとも１つのノズル（８）を有し、さらに分離媒体供給の遮断のための少なくとも１つの調整弁（１２）を備えている形式のものにおいて、
    ａ）少なくとも１つの調整弁（１２）が比例弁であり、比例弁が第１の室（２）と第２の室（６）との間に配置されており、
    ｂ）前記調整弁（１２）が分離媒体用の蒸発器（１）の通路（１１）内に配置されており、該通路（１１）が第１の室（２）と第２の室（６）とを接続しており、
    ｃ）前記調整弁（１２）が、分離媒体（１４）の蒸気流の流量を調整でき、かつ分離媒体の蒸気流を完全に遮断できるように形成されていることを特徴とする、基板上に分離媒体を部分的に塗布する装置。
15. 第１の室（２）が下側に配置され、かつ第２の室（６）が第１の室よりも高い位置に配置されており、蒸気状の分離媒体（１４）の鉛直な方向成分が下方から帯状の基板（１０）に向けられるようになっている請求項１４記載の装置。
16. 第１の室（２）が上側に配置され、かつ第２の室（６）が第１の室よりも低い位置に配置されており、蒸気状の分離媒体（１４）の鉛直な方向成分が上方からプレート状の基板（１０）に向けられるようになっている請求項１４記載の装置。
17. 液状の分離媒体（１４）のための第１の室（２）内に少なくとも１つの電気式の加熱体（３）が配置されており、少なくとも第２の室（６）の壁、ひいては少なくとも１つのノズル（８）が別の少なくとも１つの電気式の加熱体（２０）と熱接触している請求項１４から１６のいずれか１項記載の装置。
18. 分離媒体用の蒸発器（１）が立方体状の室（２）を有しており、該室が、底部（２ａ）及び側方のフランジ（２ｂ，２ｃ）、該フランジ上に緊締された中間カバー（５）によって形成されており、前記中間カバーが該中間カバーの長手方向に、上方へ向かって開いた中央の１つの切欠き（６ａ）を有しており、該切欠きの両方の側部に溝（５ａ，５ｂ）が配置されており、該溝内に別の少なくとも１つの加熱体（２０）が収容されており、中間カバー（５）上にノズル条片（７）を緊締してあり、該ノズル条片が該ノズル条片の長手方向に、下方へ向かって開いた中央の１つの切欠き（６ｂ）を有しており、前記両方の切欠き（６ａ，６ｂ）が互いに合致して一緒に第２の室（６）を形成しており、該第２の室から少なくとも１つのノズル（８）が延びている請求項１４、１５及び１７のいずれか１項記載の装置。
19. 分離媒体用の蒸発器（１）の第１の立方体状の室（２）が、底部（２ａ）及び側方のフランジ（２ｂ，２ｃ）、該フランジ上に緊締された閉鎖カバー（３９）によって形成されており、分離媒体用の蒸発器（１）の第２の室（６）が第２の閉鎖カバー（４０）を有しており、該閉鎖カバーが前記閉鎖カバーの長手方向に、下方へ向かって開いた中央の１つの切欠き（６ａ）を有しており、該切欠きの両方の側部に溝（５ａ，５ｂ）が配置されており、該溝内に別の少なくとも１つの加熱体（２０）が収容されており、前記第２の閉鎖カバー（４０）にノズル条片（７）を緊締してあり、該ノズル条片が該ノズル条片の長手方向に、上方へ向かって開いた中央の１つの切欠き（６ｂ）を有しており、前記両方の切欠き（６ａ，６ｂ）が互いに合致して一緒に第２の室（６）を形成しており、該第２の室から少なくとも１つのノズル（８）が延びている請求項１４、１６及び１７のいずれか１項記載の装置。
20. ノズル条片（７）が、別の横断面のノズル（８）及び／又は別の分布パターンのためのノズル（８）を備えたノズル条片と交換可能に形成されている請求項１８又は１９記載の装置。
21. 蒸発器（１）の第１の室（２）内で液面（１５）の下側に、分離媒体（１４）の温度のための温度センサー（４）が配置されている請求項１４記載の装置。
22. ノズル条片（７）が切欠きを備えており、該切欠きの端面（７ａ）にノズル条片の温度のための温度センサー（２１）が接触している請求項１８又は１９記載の装置。
23. 分離媒体用の蒸発器（１）の上側に、帯状の基板（１０）の走行路及びノズル（８）によって基板（１０）上に形成されたオイル膜（１３）の経過を規定するための転向ローラ（９）が配置されており、該転向ローラ（９）に対応して基板速度の検出のための信号手段が配置されている請求項１４記載の装置。
24. 分離媒体用の蒸発器（１）の下側に、プレート状の基板（１０）のため、及びノズル（８）によって基板（１０）上に形成された少なくとも１つのオイル膜（１３）の経過のための搬送路（４１）が配置されており、該搬送路（４１）に対応して基板速度の検出のための信号手段が配置されている請求項１４記載の装置。
25. 少なくとも１つのオイル膜（１３）を備えた基板（１０）の走行路に対応して、監視領域（２９）が配置されており、監視領域が光学的な手段によって連続的に検出されるようになっている請求項１５又は１６記載の装置。
26. 温度、単位時間当たりの蒸気量、オイル膜（１３）の分布パターン及び厚さのためのセンサーの測定信号を、制御機構（２４）に供給するようになっており、該制御機構内で前記測定信号が分離媒体（１４）のための蒸発器（１）の制御及び／又は調整のための調節値に変換されるようになっている請求項１４から２５のいずれか１項記載の装置。
27. 制御機構（２４）に金属蒸発器（３３）の金属被覆の制御のための測定兼調整装置（３６）が接続されている請求項２６記載の装置。
28. 制御機構（２４）に対応して制御命令及び／又は運転パラメータの目標値のための入力キー（３１）が配置されている請求項２６記載の装置。
29. 制御機構（２４）に対応して、測定値、制御命令及び／又は運転パラメータの目標値のための画像スクリーン（３２）が配置されている請求項２６記載の装置。

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