• 1279741 九、發明說明： 【發明所屬之技術區域】 本發明係關於利用對零件組裝基板（但以下，也有單指 「基板」的場合）攝影所得到的畫像，對基板執行零件有無、 位置有否偏離、焊錫是否得當等的檢查方法，以及實施該檢 查方法的基板檢查裝置。 【先前技術】 利用零件組裝基板的畫像來對零件的組裝狀態或焊錫 附著狀態作自動檢查的基板檢查裝置，本案申請人正進行開 發中（參照專利文獻1 )。該基板檢查裝置，其有··支持檢 查對象基板的基板工作台、對基板作攝影的照相機、使基板 工作台及照相機沿水平面移動的桌面部（X軸桌面部，γ軸 桌面部）等。檢查時，經由對各桌面部動作的控制，使前述 照相機的視野對準基板的規定區域，再經由對該狀態下所生 成的畫像作處理，而對前述區域內的被檢查部位執行有關檢 查必要的測定，再以獲得的計測値與判定基準値作比較。 〈專利文獻1〉日本專利特開2003 -2225 9 8號公報 此種檢查裝置，在檢查之前，需要執行各種檢查資料的 作成並登錄於記憶體的處理（學習處理）。該等檢查資料中， 包含在各個被檢查部位設定於檢查區域的設定資料。檢查 時，根據檢查對象基板的畫像（以下稱爲「處理對象畫像」） 上的前述設定資料而設定檢查區域，經由各檢查區域的畫像 之個別處理，對各個被檢查部位實行檢查。 執行上述檢查，爲使基板上的被檢查部位位於符合各檢 1279741 查區域的設定資料，而必須調整基板或照相機 往，一般係在基板的適當處所附上位置決定用記 攝影區域的基板的畫像將前述記號抽出，使該抽 預先決定的基準位置，而控制X、γ的各桌面部 揭露有等同於上述調整處理的文獻，例如下 獻2。該專利文獻2，其係記載有關由基板畫像 決定用圖案抽出後，以使各圖案的抽出位置之連 中點與各圖案的基準位置的連接線部分的中點 方式，而調整基板工作台的位置，更進一步使基 轉動各線部分的夾角度數的角度。 〈專利文獻2〉日本專利特開平9- 1 5 3 02號 【發明內容】 〔發明要解決的課題〕 但是，如上述專利文獻2將基板工作台的驅 的方法，取決於該驅動部的性能，仍不免會受 響。特別是近年以來的基板，由於零件的微細化 的進展，基板的位置對準即使僅有微小的誤差， 設定也會產生錯亂，檢查結果很有出錯的可能性 誤差變小，則有必要使用高性能的驅動部，因而 增高。 本發明著眼於上述問題點，其在利用軟體處 查區域之對處理對象畫像的設定位置之調整方g 丰反或照相機位置之工作台部的動作量誤差所引 U除去，其目的在對被檢查部位的檢查區域之設 的位置。以 號’從搬入 出位置成爲 的動作。 記的專利文 將2個位置 接線部分的 成爲一致的 板工作台僅 公報 動部作控制 其誤差的影 或高密度化 檢查區域的 。又若要使 招致成本的 理、經由檢 :，將決定基 起的影響予 定予以高精 1279741 度執行，以提高檢查的精確度。 〔解決課題的手段〕 本發明相關之基板檢查方法，其係利用經由攝影手段對 零件組裝基板攝影所得到的畫像，對前述基板上的複數個被 檢查部位執行檢查的方法，包含準備步驟與檢查步驟。 準備步驟，其相當於所謂「學習處理」，而含有以下的 步驟A、B、C、及D。 步驟A，以攝影手段的視野對準基板上的規定區域，取 得應可得到的基準畫像。該基準畫像，係對品質良好的基準 基板分爲複數個區域作攝影，再經由將各區域所得到的畫像 予以合成爲基板的全體畫像的作成方法而取得。又者，經由 攝影手段對準前述基準基板的規定位置執行攝影而取得基 準畫像亦可。再者，若基板的尺寸小，該基板全體可進入照 相機視野之場合，可將該基板的全體畫像設定爲基準畫像。 步驟B，取得攝影手段與前述基準畫像所對應之基板上 區域在位置對準時所必要的攝影手段與基板之位置關係。該 位置關係，可由對應於攝影手段視野的基板上區域（以下稱 「攝影對象區域」）的位置資料來表示。又者，將該位置資 料，利用前述攝影對象區域內的特定位置對基板上規定基準 點所看到的相對座標來表示亦可。在此場合，若作成前述基 板的全體畫像，則求出對全體畫像上的基準點的相對座標， 作爲前述的位置資料亦可。再者，攝影對象區域的大小係由 攝影手段的視野來決定，因此前述相對座標從攝影對象區域 內特定的1點所求出的座標固然可以，但並不以此爲限，例 1279741 如對攝影對象區域的左上頂點與右下頂點分別求取前述相 對座標，用以表示攝影對象區域的位置與大小亦可。 又前述攝影手段與基板的位置關係，以調整此等位置的 桌面部的座標來表示亦可。 步驟C，對前述基準畫像上的被檢查部位，設定檢查區 該設定處理，利用前述基板的設計資料（例如CAD資 料）來執行較理想。在此場合，例如利用前述步驟B所取得 的位置關係，從基板的設計資料抽出基準畫像之對應區域內 的資料’再由抽出資料所示的被檢查部位，可求出適合該部 位之檢查區域的位置及大小。 然而，設定處理不限於上述者，例如，將上述基準畫像 顯示於監視器，經由使用者的設定操作而將各檢查區域予以 設定亦可。 步驟D，將步驟A所取得的基準畫像、步驟B所取得的 攝影手段與基板的位置關係、以及步驟C所設定的檢查區域 之對基準畫像的位置關係，分別予以對應登錄。 關於步驟C所設定的檢查區域，與基準畫像的位置關係 之外若加上將表示檢查區域大小的資料予以登錄則更理 想。例如，檢查區域的位置，以檢查區域的特定點對基準畫 像的特定點的相對座標來表示外，檢查區域的大小可用檢查 區域的各邊的寬度來表示。又關於檢查區域的左上頂點及右 下頂點’分別求出其對基準畫像上的特定點的相對座標，由 此等座標來表示檢查區域的位置及大小亦可。 Ί279741 前述檢查步驟，包含以下第1、第2、第3、及第4步驟。 第1步驟，根據前述步驟D所登錄的攝影手段與基板的 位置關係，以前述攝影手段對檢查對象基板作位置對準再執 行攝影，作成處理對象畫像。該攝影手段的位置對準，係將 攝影手段及基板的至少一方的工作台部對他方作移動而實 施的，此時若工作台部的移動產生誤差，要執行與基準畫像 相同區域的攝影是不可能的，處理對象畫像對於基準畫像有 位置偏離的可能性。 第2步驟，以第1步驟所作成的處理對象畫像，與前述 步驟D所登錄的基準畫像作比對，檢出處理對象畫像相對於 基準畫像的偏離量。該檢出處理，係以處理對象畫像或基準 畫像對他方作掃描，於各規定間隔（理想的是每1畫素間隔） 執行相關演算或濃度差分演算等的比對處理，於兩畫像間的 類似度變爲最大時檢出該位置關係的偏離量較爲理想。 再者，檢查對象基板的畫像會含有不良部位的可能性， 但不良部位以外的部份爲近於基準畫像的狀態。從而，上述 的比對處理，基準畫像與處理對象畫像變爲合適的位置關係 之時，可認爲類似度最大，故可將偏離量精確地檢出。 第3步驟，以前述第2步驟所檢出的偏離量，對前述步 驟D所登錄的檢查區域與基準畫像的位置關係作校正，根據 該校正後的關係而在處理對象畫像上設定檢查區域。 例如，將表示檢查區域位置相對於基準畫像的座標，使 之僅以前述偏離量的移動量作移動，如此可在移動後的座標 位置設定檢查區域。 1279741 第4步驟，利用前述第3步驟所設定之檢查區域內的畫 像資料，執行前述檢查所需的畫像處理。該畫像處理，與前 述專利文獻1等所揭露之與先前處理同樣的處理亦可。又 者，爲了該第4步驟，於前述準備步驟中，將各檢查區域的 各種檢查資料予以登錄亦可。例如，可將所執行程式的種 類、2進制後的臨界値等的參數、計測資料的基準値、判定 處理用的臨界値等予以登錄。 經由上述的基板檢查方法，對於基板的照相機位置從原 來應有的位置偏離多少，可經由軟體處理而抽出，利用該抽 出結果可對檢查區域的設定位置作校正。如此，與工作台部 的性能無關，可對檢查區域予以精確地設定，在最後的第4 步驟中，執行檢查所必要的畫像處理，得以無障礙地實行。 以下，關於上述基板檢查方法相關的2個態樣加以說明。 首先第1態樣係，前述步驟A包含：步驟A1，將品質 良好的基準基板因應於前述攝影手段的視野大小而分成複 數個區域（攝影對象區域），對此等各區域執行攝影；步驟 A2，將步驟A 1所生成之各區域的畫像予以合成，以生成前 述基準基板的全體畫像；步驟A3,於該全體畫像上，對含 有規定數的被檢查部位、且因應前述攝影手段的視野大小的 區域予以設定；及步驟A4，將步驟A3所設定區域內的畫像， 設定當作前述基準畫像。 又前述步驟C，其包含：步驟C1，從對應於前述基準基 板的基板設計資料，抽出與前述步驟A4所設定之基準畫像 對應之區域內的基板設計資料；及步驟C2，利用所抽出的 -10- ，:[279741 基板設計資料，對前述基準畫像決定其檢查區域之設定條 件。 於上述態樣中的步驟A 1，各攝影對象區域，若僅以前 述工作台部驅動時所生誤差的對應寬度的重疊而予以設定 則是理想的。在此場合，於步驟A2若將各區域之畫像的前 述重疊部份依順序重疊對準而作成全體畫像則是理想的。更 進一步，於該重疊對準處理時，利用重疊部份的畫像資訊實 施圖案比對處理，根據該比對結果再調整畫像的對應關係， ® 則可作成更適切的全體畫像。 於步驟C 1，根據基板上的特定基準點（例如基板上的 位置決定記號的中心點），將步驟A所作成全體畫像與基板 設計資料執行座標系對準後，根據基準畫像對全體畫像的位 置關係，可以抽出對應於基準畫像的區域的基板設計資料。 於步驟C2，從抽出的基板設計資料再抽出被檢查部位，在 該被檢查部位設定合適的檢查區域，而可以將該區域的位置 或大小當作檢查區域的設定條件。在此場合的檢查區域的位 ^ 置，對基準畫像上的特定點以相對座標來表示是理想的。實 際檢查時，從取得對應於基準畫像的畫像，對於該畫像可將 前述相對座標元元本本予以適用，對檢查區域可簡單予以設 定。 再者，適用上述態樣的步驟D，從前述基準基板的全體 畫像由步驟A4只將所設定的基準畫像切出作登錄亦可，或 代之將前述全體畫像作登錄亦可。 更進一步，該第1態樣的前述步驟A3中，其可對前述 -11- 1279741 基準基板的全體畫像，將前述步驟A 1攝影時所使用區域的 對應區域作設定；前述步驟A4中，其可將前述步驟A3所 設定各區域的畫像，各自當作個別的基準畫像作設定。經由 如此，則檢查時也可與全體畫像作成時同樣的條件來執行攝 影，而成爲可對基板作涉及全體的檢查。 再者’實施上述方法之場合’將各區域所得到的基準畫 像合成爲基板的全體畫像再登錄亦可。 又前述步驟A3中，其可根據對應於前述基準基板的基 ® 板設計資料，決定基板上規定之被檢查部位之檢查區域的設 定條件，再依據該設定條件設定含有檢查區域的區域。在此 場合，由於可以利用與全體晝像作成時不同的條件執行攝 影，故即使全體畫像作成時有跨過攝影對象區域間的被檢查 部位，亦可以生成包含該被檢查部位全體的畫像並執行檢 查，如此可提高檢查的自由度。又從基板設計資料作成表示 涉及基板全體檢查區域分布的地圖畫像，若能執行具有良好 效率檢查的攝影對象區域的分割處理，則可提高檢查的效 率。 其次，第2態樣係，步驟A包含：步驟A1，根據前述 基板的基板設計資料，決定基板上規定的被檢查部位之檢查 區域的設定條件；及步驟A2，對於品質良好的基準基板， 以依據前述步驟A1所決定的設定條件之檢查區域被包含於 視野的方式，將前述攝影手段作位置對準並執行攝影，再將 所得到的畫像當作基準畫像。又前述步驟C，其包含：步驟 C 1，將前述基準畫像上的被檢查部位予以檢出；步驟C2， -12- 1279741 · 根據步驟A 1所決定的設定條件，而在前述基準畫像已設定 檢查區域時，對該等檢查區域中的被檢查部位的偏離量予以 檢出；及步驟C3，根據步驟C2所檢出的偏離量，對前述檢 查區域的設定位置作校正。 於步驟A，不作成全體畫像，而是利用基板設計資料於 基板上的任意位置決定攝影對象區域，於基準基板的該攝影 對象區域將攝影手段做位置對準，如此可取得基準畫像。然 而若採用此種方法，由工作台部的動作量誤差的影響，攝影 手段對於攝影對象區域的視野會有偏離，而有不能取得正確 基準畫像的可能。但是，經由步驟C 1、C2的處理，可對該 攝影手段的視野偏離，予以對應處理。 於步驟C 1，因應被檢查部位的特徵，可經由2進制後、 邊緣袖出等手法，從基準畫像將被檢查部位抽出。又，從基 板設計資料抽出被檢查部位亦可。又將基準畫像顯示於監視 器，於該顯示畫面上受理被檢查部位的指定操作，而將被檢 查部位抽出亦可。 於步驟C2，根據步驟A 1所決定的設定條件，作成表示 檢查區域之分布狀態的地圖畫像，經由使該地圖畫像對基準 畫像掃描，可於基準畫像成爲合適位置關係時（基準畫像上 的被抽出的被檢查部位，個別被包含於檢查區域狀態時）’ 將偏離量予以檢出。 上述的態樣，由於也可在基板的任意位置設定攝影對象 區域並執行檢查，故可提高檢查的效率及檢查自由度。 本發明相關基板檢查裝置，其具備：將檢查對象基板之 -13- Ί279741 被檢查部位以向上的狀態予以支持的基板工作台；從上方對 前述基板工作台所支持的基板作攝影的攝影手段；使前述攝 影手段及基板工作台的至少一方沿水平方向移動的移動手 段；記憶體，其登錄有於前述攝影手段的視野對準檢查對象 基板上的規定區域時所應獲得的基準畫像、獲得該基準畫像 時之攝影手段與基板的位置關係、及檢查區域相對於基準畫 像的位置關係；位置調整手段，其控制前述移動手段的移動 量，而將攝影手段與基板的位置關係，調整成與記憶體所登 錄的位置關係相同；處理對象畫像生成手段，驅動由位置調 整手段所調整後的前述攝影手段，生成處理對象畫像；偏離 量檢出手段，將處理對象畫像與前述基準畫像作比對，將處 理對象畫像之對於基準畫像的偏離量予以檢出；區域設定手 段，藉由偏離量檢出手段所檢出的偏離量，對登錄於前述記 憶體的檢查區域與基準畫像的位置關係作校正，根據該校正 後的位置關係，於前述處理對象畫像上設定檢查區域；及畫 像處理手段，利用區域設定手段所設定之檢查區域內的畫像 資料，執行前述檢查所必要的畫像處理。 於上述中’移動手段相當於前述桌面部，故可設於攝影 手段及基板工作台的雙方。在此場合，使攝影手段的桌面部 沿水平面上的正交2方向的一方移動，使基板工作台的桌面 部沿他方移動亦可。又者，於攝影手段及基板工作台的任一 方設有桌面部，使該桌面部可沿前述正交2方向移動亦可。 又’於此寺桌面部設有轉動機構亦可。 於記憶體’可將前述基板檢查方法的準備步驟所作成的 1279741 基準畫像等予以登錄之。再者，該記憶體係爲非易失性記憶 體（nonvolatile memory)比較理想。 位置調整手段、處理對象畫像生成手段、偏離量檢出手 段、區域設疋手段及畫像處理手段中的任一*個，皆可由儲存 有程式的電腦所構成。前述基板檢查方法，可考慮爲其第1 步驟係由位置調整手段及處理對象畫像生成手段、第2步驟 係由偏離量檢出手段、第3步驟係由區域設定手段、第4步 驟係由畫像處理手段，所分別實行而達成。 構成上述各手段的程式，可組裝於1部電腦內。另一方 面，前述記憶體可設置於電腦內或外附於電腦。再者，於該 基板檢查裝置，如下所示，對登錄於記億體的資料設定有作 成手段亦可。另一方面，由其他電腦作成全體畫像或檢查區 域的設定資料等，再登錄於前述記憶體亦可。 執行前述第1態樣相關之基板檢查方法的基板檢查裝 置，於上述的構成再加設：攝影控制手段，係在品質良好的 基準基板由基板工作台所支持的狀態下，以前述基準基板因 應於攝影手段視野的大小而分成複數個區域被攝影的方 式，控制前述移動手段及攝影手段的動作；畫像合成手段， 將由攝影控制手段的控制所得到之各畫像作合成，以生成前 述基準基板之全體畫像；基準畫像抽出手段，於前述全體畫 像上，將包含規定數量的被檢查部位且因應前述攝影手段視 野大小的區域予以設定，再將該區域內的畫像抽出當作前述 基準畫像；條件決定手段，從被抽出前述基準畫像之區域內 的基板設計資料，決定檢查區域相對於前述基準畫像的設定 -15- •1279741 條件；及登錄手段，將前述基準畫像登錄於前述記憶體，且 將根據條件決定手段所決定的設定條件之檢查區域與基準 畫像的位置關係、及得到該基準畫像時之基準基板與攝影手 段的位置關係予以抽出，再將此等位置關係登錄於前述記憶 體0 上述各手段，實行任何一個手段的處理皆可由程式所設 定的電腦構成的。攝影控制手段，其係前述第1態樣的基板 檢查方法步驟A 1的實行，畫像合成手段係步驟A 2的實行。 又者，基準畫像抽出手段係步驟A3以及步驟A4的實行。 條件決定手段，其係前述步驟C 1的實行。登錄手段， 其係前述步驟C 2的處理實行外，也實行基準畫像與攝影手 段的位置關係的抽出處理，並將這些處理結果連同基準畫像 登錄於記憶體。 再者，基準畫像與攝影手段的位置關係，可當作基準畫 像抽出手段所設定的攝影對象區域與全體畫像的位置關係 而來抽出。例如，可當作攝影對象區域的特定點對於全體畫 像上的特定基準點的相對座標來求出。 執行第2態樣相關之基板檢查方法的基板檢查裝置，具 備有：條件決定手段，根據基板的設計資料，決定基板上的 檢查區域相對於規定的被檢查部位之設定條件；位置關係決 定手段，以經由條件決定手段所決定條件的檢查區域可包含 於攝影手段的視野的方式，來決定前述攝影手段與基板的位 置關係；攝影控制手段，於前述基板工作台將品質良好的基 準基板予以支持的狀態下，以前述基板相對於攝影手段、在 -16- •1279741 由前述位置關係決定手段所決定的位置關係之狀態下被攝 影之方式，而控制前述移動手段及攝影手段的動作；檢出手 段，將攝影控制手段的控制所得到的畫像上之前述被檢查部 位予以檢出，且在既由條件決定手段所決定之設定條件對前 述畫像上的檢查區域作設定之場合，將被檢查部位相對於該 檢查區域的偏離量予以檢出；校正手段，根據檢出手段所檢 出的偏離量，對前述檢查區域的設定位置予以校正；及登錄 手段，將由攝影控制手段的控制所生成的畫像當作基準畫像 登錄於前述記憶體，且將前述位置關係決定手段所決定之攝 影手段與基板的位置關係、以及根據前述校正手段所校正的 設定位置之檢查區域與基準畫像的位置關係，登錄於前述記 憶體。 上述構成的各手段，也皆可由設定有執行該手段之處理 程式的電腦所構成。前述條件決定手段，其係前述第2態樣 的基板檢查方法的步驟A 1的實行。位置關係決定手段及攝 影控制手段，其係步驟A2的實行。檢出手段係步驟C 1及 C2、校正手段係步驟C3的執行。 〔發明的效果〕 本發明，其係將處理對象畫像與預先作成的基板之全體 畫像作比對而抽出兩畫像間的相對位置關係，根據該抽出結 果及全體畫像與檢查區域的對應關係而在處理對象畫像設 定必要的檢查區域。經由此，工作台部將照相機或基板移動 時動作量的誤差所引起檢查區域的偏離予以消除；對檢查部 位可以高精度地設定其檢查區域，可以提高檢查的精度。 1279741 【實施方式】 第1圖係表示本發明一實施例相關基板檢查裝置的構 成。 該基板檢查裝置，其係對檢查對象基板攝影所得到的畫 像執行處理，進而對基板上的零件組裝狀態或焊錫是否得當 執行判別者，而由攝影部3、投光部4、控制處理部5、X軸 桌面部6、Y軸桌面部7等所構成。 再者，圖中的1T，係指檢查對象基板（以下稱「被檢 ® 查基板1 T」）。又1 S則指零件的組裝狀態良好的基準基板， 於檢查之前的學習過程時使用。 前述Y軸桌面部7，其具備有支持基板1 S、1 T的輸送 帶7A，由未圖示出來的馬達帶動該輸送帶7A，而使前述基 板1 S、1 T沿Y軸方向（與圖的紙面正交的方向）移動。前 述X軸桌面部6，其係在Y軸桌面部7的上方，用以支持攝 影部3及投光部4，並使彼等在X軸方向（圖的左右方向） 移動。 ^ 前述投光部4，其係由相不同直徑的3個圓環狀光源8、 9、1 〇所構成。這些光源8、9、1 0，分別發出紅色、綠色、 藍色的各彩色光，經由其中心與觀測位置的正上方位置對 準，由前述基板1 S、1 T來看，則係配備有對應於不同仰角 方向的定位方式。 前述攝影部3，由於含有彩色畫像生成用的CCD照相機 3 A (以下稱「照相機3 A」），其光軸對應於各光源8、9、 1 〇的中心，且沿著垂直方向被決定位置。經由此，從觀測對 -18- 1279741 象的基板1 s、1 T來的反射光入射至攝影部3，被轉換爲三 原色的彩色信號R、G、Β，並被輸入到控制處理部5。 控制處理部5，其構成包括：含有CPU的電腦作成的控 制部1 1、畫像輸入部1 2、記憶體1 3、攝影控制器1 4、畫像 處理部1 5、照明控制部1 6、XY桌面控制部1 7、檢查部1 8、 學習表19、資料管理部20、輸入部21、CRT顯示部22、印 表機23、傳送接收部24、及外部記憶體裝置25等。 畫像輸入部1 2，其備有：將來自攝影部的R、g、β的 各畫像信號予以放大的放大電路，以及將此等畫像信號轉換 爲數位信號的A/D轉換電路等。記憶體13，其儲存R、G、 B的數位濃淡畫像資料外，也儲存將此等濃淡畫像作處理後 得到的2進制畫像資料或彩色相位資料等。 攝影控制器1 4，以備有將攝影部3連接於控制部I〗的 介面等，根據來自控制部1 1的命令來驅動前述攝影部3外， 也執行對各彩色光的輸出位準作調整等的控制。照明控制部 1 6，其係對投光部4的各光源的光量作調整者。再者，該實 施例係經由紅、綠、藍的各彩色光的混合而施以白色照明， 故係對各光源8、9、1 0的光量作調整者。 ΧΥ桌面控制器1 7，其含有將前述X軸桌面部6及γ軸 桌面部7連接於控制部1 1的介面等，根據來自控制部η的 指令來控制X軸桌面部6及Υ軸桌面部7的移動動作。 學習表1 9，其乃係用於記憶基板之檢查資料的記憶 部，被設置於硬碟裝置等的非易失性記憶體內。該等檢查資 料，除含有將在後面描述的基板的基準畫像、檢查區域及處 -19- •1279741 理對象區域的設定資料外’也含有各檢查區域所執行程式的 種類、對應於實行畫像處理的參數（例如2進制後處理的臨 界値、邊緣値抽出的濾波器等）、及判別抽出特徵量是否適 當的判定基準値等。 上述檢查資料，檢查之前，使用前述基準基板1S作攝 影得到的畫像或預先登錄的基準檢查資料，作爲教示。此等 檢查資料，可依每一種類基板歸納成判定檔案。前述資料管 理部20，即是儲存有基板種類與判定檔案的對應連結資訊的 記憶體。控制部1 1，在接受被檢查基板1 T的基板名的輸入 後，根據資料管理部20的連結資訊，將該被檢查基板1 T所 對應的判定檔案讀出並設定於記憶體1 3。畫像處理部1 5或 檢查部1 8，根據該讀出的判定檔案內的檢查資訊，而來執行 處理。 畫像處理部1 5，其於檢查時，係對記憶體1 3所儲存的 R、G、B的各灰階所示的彩色畫像，依各檢查區域作處理， 對被檢查部位的面積、重心位置、彩色圖案等檢查所必要的 特徵量作計測。檢查部1 8，其經由將畫像處理部1 5所抽出 的特徵量與前述基準資料比較，而判別各被檢查部位的適當 與否。 控制部1 1，其在綜合檢查部1 8的各種判別處理結果， 然後判定被檢查基板1 T是否良品。該最終的判定結果，被 輸出至CRT顯示器22、印表機23、或傳送接收部24。 前述輸入部2 1，其在輸入檢查所需的各種條件或檢查資 訊等’而由鍵盤、滑鼠等所構成。CRT顯示器22 (以下， -20- 1279741 單以「顯示部22」稱之），其接受來自控制部1 1供給的畫 像資料、檢查結果等，並將此等顯示於顯示畫面上。又印表 機23，其係接受來自控制部1 1的檢查結果等，並將此結果 以預定的形式予以印出。 傳送接收部24，其在與其他的裝置之間執行資料的收 受，例如將判斷爲不良的被檢查基板1 T，將其識別資訊或 不良內容傳送至後段的修正裝置，如此可以快速地將不良部 位予以修正。外部記憶體裝置25，其係用於在軟碟、CD-R、 光磁碟等的記憶媒體將資料作讀寫的裝置，利用於前述檢查 結果的保存、或檢查所必要程式或設定資料等的由外部讀 入。又者，傳送接收部24或外部記憶體裝置25，於檢查前 的學習過程，將檢查區域或攝影對象區域作設定時，有時也 使用於將基板的CAD資料作讀入的用途。 再者，於上述構成中，畫像處理部1 5及檢查部1 8，係 由組入有執行上述各處理的程式的專用處理機而構成的。但 是，也非必然要設置專用處理機，將畫像處理部1 5及檢查 部1 8的機能賦予在控制部1 1亦可。 本實施例的基板檢查裝置，其係利用CAD資料作成前 述檢查區域的設定條件（檢查區域的位置及大小）。以下， 利用第2圖說明檢查區域的設定有關的原理。 第2圖的1 00，其係對前述基準基板1 S攝影而得到之 被模式化過的基準畫像。該基準畫像1 00，係表示基板1 S 的全體部份。 1〇1係表示基準畫像100上的檢查區域102之畫像化的 -21 - 1279741 分布狀態。以下，將該畫像1 〇 1稱爲「檢1 或簡卓的「地圖畫像」。該地圖畫像上的 係對準於基板的CAD資料所示被檢查部 設定的。 亦即，地圖畫像係表示基板上檢查區 資訊，也就是表示檢查區域之設定條件的 上該設疋條件係由表不檢查區域位置的座 的xn，yn)、或表示檢查區域寬度的數値 圖及以下各實施例，爲使說明容易明白， 件係以地圖畫像來表示。 本實施例中處理對象基板1 s、1 τ的 角部份，設有搬入時使基板對準基準位置 CAD資料也包含表示前述位置決定記號的 2圖中，基準畫像1 〇〇上的位置決定記號j 而地圖畫像1 0 1上的位置決定記號則分別 不 ° 第2圖的例子，爲使地圖畫像1 0 1 105a、106a分別與全體畫像100上的位置 重疊而使基準畫像100與地圖畫像101的 畫像101上的檢查區域102的位置及大 1 02的設定資料來決定。如此，經由基準 與地圖畫像1 0 1的座標系的位置對準，對 的任何被檢查部位，包含該被檢查部位； 1 02，即可被設定於適切的位置。 E區域的地圖畫像」 各檢查區域1 0 2， 位的位置與大小而 域的位置及大小的 資訊。再者，實際 標資料（例如後記 所構成，但在第2 檢查區域的設定條 左上角部份及右下 的位置決定記號。 J位置等的資料。第 以1 0 5、1 0 6表示， | 以 105a、105b 表 上的位置決定記號 決定記號105、106 位置對準後，地圖 小即可以檢查區域 畫像1 0 0的座標系 於前述基準畫像上 之大小的檢查區域 -22- Ί279741 再者，第2圖中，係將包含本體部與電極部的零件當作 1個#檢查部位而來設定檢查區域1 02，但並不限於此，後 面將描述，也可將零件本體、電極、焊錫部位（Fillet :焊 腳）等各自當作個別的被檢查部位而來設定檢查區域1 02。 從而，對於該基準畫像1 〇〇，若能將檢查區域1 〇2的設 定位置及大小登錄於前述學習表1 9，則對於被檢查基板1 T 的畫像，亦可以該畫像上的前述位置決定記號當作基準，與 對基準基板1S同樣的條件來設定檢查區域102。又者，若 ^ 將檢查區域1 02的位置，以對於前述位置決定記號1 05的相 對座標作登錄的話，則被檢查基板1 τ的畫像即使對基準畫 像1 〇〇有位置偏離，也可根據該畫像上的位置決定記號 1 〇 5，將各被檢查部位的檢查區域設定於適切的位置。 然而，若基板1 S、1 T比照相機3 A的視野大，必須分成 複數個攝影對象區域來攝影之場合，則必須對各攝影對象區 域做基準畫像登錄，檢查區域的設定條件也必須設定在各基 準畫像。 ® 在此場合，在生成各攝影對象區域的基準畫像時，首先 關於含有位置決定記號的攝影對象區域（例如右下角的區 域），係將畫像上的位置決定記號1 〇5作爲預先決定的基準 座標來調整照相機3 A與基板的位置關係並作攝影；之後關 於其他的攝影對象區域，則有必要根據該攝影對象區域之對 於基板上的位置決定記號的相對座標（可從前述基板全體的 地圖畫像1 〇 1求得），控制X軸桌面部6及Y軸桌面部7 的移動量，以將照相機3A的視野對準各攝影對象區域。 -23- Ί279741 又決定檢查區域之設定條件的處理，乃係根據攝影對象 區域對前述位置決定記號的相對座標，從前述基板全體的地 圖畫像1 〇 1抽出該攝影對象區域的畫像，再執行該抽出地圖 畫像與前述基準畫像的重疊對準處理。 再者，爲方便計上述係使用「重疊」的表現字眼，但實 際上乃是將由CAD資料所求得的檢查區域的位置資訊及大 小資訊，轉換爲基準畫像側之座標系的處理。 但是，由於各桌面部6、7的動作量多少含有誤差，實 際攝影時照相機3 A的視野對攝影對象區域可能有位置偏 離。因此，從地圖畫像1 〇 1抽出的畫像，其和正確對應於攝 影對象區域的畫像相比，基準畫像對攝影對象區域呈現位置 偏離的狀態，故即使兩者的位置有對準，也有可能檢查區域 102不能設定於正確位置。 因此，以下所示4個實施例，係以有必要設定複數個攝 影對象區域的基板作爲檢查對象，而前提是在每個此等攝影 對象區域生成基準畫像，則對該基準畫像的檢查區域的位 置，可精度良好地予以決定。 更進一步，由於在檢查時上述照相機3 A的視野的偏差 也會產生，於各實施例，經由將照相機3 A所生成的處理對 象畫像與前述基準畫像比對，檢出照相機3 A的視野對前述 攝影對象區域的偏離量，利用該偏離量校正檢查區域的設定 資料。更進一步，檢查區域之對前述處理對象畫像的設定處 理，係利用該校正後的設定資料執行。 〈實施例1〉 -24- Ί279741 該實施例，其係將前述基準基板1S分成複數個區域攝 影後，將各區域的晝像對準連接作成基準基板1 S的全體畫 像並登錄起來。再者，相鄰區域間，爲因應於X軸桌面部6 及Y軸桌面部7的移動量產生的誤差（以下，將此稱爲「機 械誤差」），而設定一定畫素量的重疊。關於此等畫素，若 利用各個重疊部份的畫素資訊來執行圖案比對處理，根據比 對結果調整畫素的對應關係，再經由對應畫素彼此的疊合， 可做成適切的全體畫像。 第3圖係表示畫像之疊合處理的一個例子，連結的順序 以小圓圈內的數字表示。第3圖的範例係將中央部的畫像當 作第1個畫像，然後依順時鐘方向將畫像重疊。再者，重疊 部份的各畫素，其濃度設定在疊合前各畫素的平均値。 第4〜6圖表示全體畫像的作成處理的具體例。再者， 爲使此等圖中基板的畫像狀態容易了解，將基板上的零件之 分布圖案以「ABC」文字列置換。又者，基板的左上角及右 下角設有十字記號105、106、係搬入時要將基板對準基準位 置所需的位置決定記號。 _ 第4圖係將處理對象基板分成6個攝影對象區域作攝影 而得到的各畫像（圖中，以g 1〜g 6的記號表示）。第5圖 係表示將此等畫像之中的下段中央部的畫像g2設定爲第1 號而要作成全體畫像的開始狀態。再者，該全體畫像的作成 若適用第3圖的疊合順序，則可依g2、g5、g6、g3、gl、g4 的順序，執行畫像的疊合處理。經由此疊合處理，可作成第 6圖所示的全體畫像1〇3。 -25 - Ί279741 該實施例，利用前述第2圖所示方法在前述全體畫像 1 03上設定檢查區域，再根據此等檢查區域的分布狀態，於 基板上設定複數個攝影對象區域。因此，對前述全體畫像 1 03，可考慮爲含有此等複數個攝影對象區域的基準畫像。 又者，在考慮X、Y桌面部6、7的機械誤差之下，藉由重 疊部份已被設定的畫像gl〜g6,可以得到重疊部份適當疊合 的全體畫像1 03。從而，對於任何一個攝影對象區域，若能 將前述全體畫像1 03上的攝影對象區域的畫像切出並當作基 準畫像，則可把照相機3A的視野正確對準該攝影對象區域 而得到的同樣畫像當作基準畫像。 另一方面於檢查時，由於X、Y桌面部6、7的機械誤 差，成爲照相機3 A的視野無法正確對準前述已設定的攝影 對象區域的狀態。照相機3 A的視野對於該攝影對象區域的 偏離量，可當作處理對象畫像對於前述全體畫像103上之攝 影對象區域的偏離量而予以檢出。 第7圖係表示上述偏離量檢出處理的槪要。圖中的3 1 係根據全體畫像103而設定的檢查區域，30則係全體畫像 1 03上的攝影對象區域。該攝影對象區域3 1內的畫像，其機 能是作爲檢查用的基準畫像。再者，本例只設定1個檢查區 域3 0，實際上1個攝影對象區域3 0內可含有複數個檢查區 域。 圖中的40係照相機3 A對準實際的基板上的攝影對象區 域而生成的處理對象畫像。又4 1則係在全體畫像1 03上， 得到前述處理對象畫像40之對應畫像的區域（以下稱「對 -26- Ί279741 應區域4 1」）。照相機3 A的視野有正確定位之場合，該對 應區域4 1應該與前述攝影對象區域3 0 —致，但在本例中由 於前述X軸桌面部6、Y軸桌面部7的機械誤差，照相機3 A 的視野無法正確定位，因而對應區域4 1對攝影對象區域3 0 會產生Δχ、Ay的偏離量。 檢查區域3 1或攝影對象區域3 0的位置，使用與前述基 板的全體畫像1 03相同座標系的座標而有被登錄。將該座標 系中各區域3 0、3 1間的位置關係直接適用於處理對象畫像 40，則檢查區域3 1會由本來應設定的位置呈現偏離的狀態 (處理對象畫像40上由鍊線所示的區域3 1 1，即係位置呈現 偏離狀態的檢查區域）。 於本實施例，經由圖案比對處理（也稱相關比對處理） 將前述處理對象畫像40的對應區域4 1抽出後，在全體畫像 103上，將區域41對前述攝影對象區域30的水平方向、垂 直方向的各方向偏離量Δχ、Ay予以算出。更進一步，本實 g 施例以上述偏離量Δχ、Ay對處理對象畫像40中的檢查區域 3 1的設定位置作校正（處理對象畫像40上由虛線所示的區 域3 12，即係校正後的檢查區域）。如此，經由此校正，對 於被檢查部位（本例中的「B」），將與基準畫像1 03中同 樣位置的檢查區域3 1予以設定，可以得正確的檢查結果。 以往的檢查裝置，根據檢查開始時從基板畫像上的位置 決定記號1 05、1 06的畫像所抽出的基板偏離量，經由前述 方法將照相機3 A的視野與攝影對象區域作位置對準而已， 因此在處理對象畫像40中，對位置有偏離的檢查區域3 11 -27- 1279741 內的畫像作處理。又若X軸桌面部6或Y軸桌面部7 械誤差還算小的話，檢查區域3 1 1的設定位置的精度尙 能提高，但機械誤差要小，X軸桌面部6或Υ軸桌面部 必要組入高性能的驅動部，如此會招致成本的增高。 針對此種情況，上述第7圖的例子中，將全體畫像 上的處理對象畫像40對攝影對象區域30的偏離量Δχ 予以抽出，利用此等偏離量Δχ、Ay對檢查區域3 1的設 置作校正，而能以1畫素左右的誤差範圍對檢查區域 ® 定。如此，與X軸桌面部6或Y軸桌面部7的驅動部 能無關，可對檢查區域作高精度設定，檢查所必要的畫 理也得以無障礙地執行。 再者，相對於全體畫像1 03係利用品質良好的基準 1 S而生成者，對檢查對象基板1 T攝影而得到的處理對 像4 0，有含有不良部位的可能性。然而，例如即使有不 位，這些以外的部份應可得到與全體畫像1 03的對應部 同狀態的畫像，故只要處理對象畫像4 0內不良部位的 胃小，對應於處理對象畫像4 0的區域比其他的區域，可 相關値會變高。因此，經由圖案比對處理，以將與處理 畫像4 0的相關値最高的區域抽出當作前述對應區域4 1 式，可求出偏離量Δχ、Ay。 第8圖、第9圖係分別表示實施例1所執行的學習 順序、檢查順序。以下，沿著各圖的流程說明學習處理 查處理的槪要。再者，第8、9圖及以下的說明中，「 係「步驟」的略稱。 的機 有可 7有 ί 103 、△ y 定位 作設 的性 像處 基板 象畫 良部 份相 比率 視爲 對象 的方 處理 及檢 ST」 -28- 127974l· 首先是第8圖的學習處理，其由因應於登錄對象的基板 名或基板尺寸等的輸入操作而開始。最初的ST1，係將基準 基板1 S搬入到前述Y軸工作台部7。其次的ST2，其根據 前述輸入的基板尺寸，決定全體畫像作成所需的攝影對象區 域的數目及位置，將照相機3A定位於彼等之中含有前述位 置決定記號105及106的攝影對象區域。 於ST3，將前述位置決定後的照相機3 A作驅動而執行 攝影。該攝影所生成的畫像，經由前述畫像輸入部1 2暫時 ®保存於記億體1 3。 於ST4，將前述暫時保存的畫像顯示於顯示部22並將 前述位置決定記號1 05及1 06的位置由使用者指定，該被指 定的座標即當作基準點的座標。又或者經由圖案比對等將畫 .像上的位置決定記號1 〇 5及1 0 6自動抽出，以表示該抽出位 置的座標當作基準點亦可。 ST4的處理終了即進入ST5，對X軸桌面部6及Y軸桌 面部7作驅動將前述照相機3A對準次一攝影對象區域。於 W 其次的ST6，驅動照相機3A，再將生成的畫像暫時保存於記 憶體1 3。 以下也同樣，照相機3A對於基準基板1 S -面變更位 置，一面反覆地執行攝影處理。全體畫像的作成在取得必要 的所有畫像後，即由ST7進入ST8。於該ST8，根據前述第 3圖所示的方法，將前述暫時保存於記憶體1 3的各畫像依次 作疊合而作成全體畫像1〇3。 於其次的ST9，經由從前述基準基板1S對應的CAD資 -29- 1279741 料將檢查區域的地圖畫像作成的方法，對前述全體畫像1 〇 3 上的各被檢查部位，設定檢查區域。再者，該地圖畫像，其 在經由前述位置決定記號1 0 5、1 0 6而與全體畫像1 0 3作位 置對準後，位置對準後的地圖畫像上的檢查區域的位置及大 小，即當作檢查區域的設定資料而被設定。 更進一步，於其次的ST10，在前述檢查區域的地圖畫 像上，對因應於照相機3 Α的視野大小的視窗作掃描，以決 定檢查時的攝影對象區域的設定位置。 B 於S T 1 1，其在對前述全體畫像上的各零件，作成其他 的檢查資料。這些其他的檢查資料有：對檢查區域內的各部 位之檢查用視窗的設定位置、所執行程式的種類、2進制後 的臨界値等的參數、判別抽出特徵量適當與否的基準値等資 料。再者，此等檢查資料，可分爲：預先依零件種類而登錄 的標準檢查資料（庫存資料），或利用全體畫像而作成者。 於ST12，將前述ST4所決定基準點的座標、前述ST8 所作成的全體畫像、以及ST9〜1 1所作成的各種檢查資料， ® 賦予對應基板名而作成判定檔案並登錄於前述學習表1 9 中。之後，在ST13將基準基板搬出，處理即告終了。 第9圖之檢查順序，其係在前面第8圖的學習處理執行 之後，對應被檢查基板1 T的基板名及檢查開始命令等被輸 入而開始的。於最初步驟的S T2 1，由前述學習表1 9中將該 基板的判定檔案讀出並設定於記憶體1 3。 於ST22，將被檢查基板1T搬入至Y軸桌面部7上後， 於ST23首先利用前述位置決定記號，將照相機3 A的對被檢 -30- 1279741 查基板IT的初期位置作校正。該校正處理，係將照相機3A 的視野對準含有前述基準點所對應之位置決定記號1 05及 1 06的區域並攝影之，將生成的畫像上的位置決定記號予以 抽出’再將位置決定記號對於前述學習處理所登錄的基準點 的位置偏離量予以求出。接著，將該位置偏離量換算爲X軸 桌面部6及Y軸桌面部7的移動量，經由該換算後的移動量 驅動各桌面部6、7，以調整照相機3 A與基板1 T的位置關 係。再者，後面將敘述的其他實施例，也以上述同樣的順序 • 調整照相機3 A的位置。 上述位置校正處理一告終了，以下即依序注目於所登錄 之攝影對象區域，對每一攝影對象區域執行ST24〜31。 首先於ST24，驅動X軸桌面部6及Y軸桌面部7，以 使照相機3 A對準注目中的攝影對象區域。接著於ST25，經 由前述照相機3 A執行攝影而作成處理對象畫像。於ST26， 在前述全體畫像上，將注目中的攝影對象區域及含有該周圍 畫像的規定大小的區域，設定爲前述處理對象畫像的掃描對 ® 象。於其次的S T2 7，在該掃描對象區域將處理對象畫像每 次以1畫素作掃描，於各掃描位置執行相關的比對處理，抽 出處理對象畫像的對應區域。更進一步於ST28，對ST27所 抽出的對應區域，算出其對前述注目中的攝影對象區域的偏 離量Δχ、Ay。 於ST29，其利用前述偏離量Δχ、Ay，對由前述學習表 1 9讀出並儲存於記憶體1 3內的檢查區域的設定位置作校 正。再者，該校正處理首先將登錄有的檢查區域的設定位置 -31 - Ί279741 之座標（可由前述全體畫像的座標系求出），置換爲相對於 前述已登錄的攝影對象區域的相對座標（例如由攝影對象區 域的右下頂角所看到的座標），再將該轉換後的座標由前述 偏離量Δχ、Ay予以校正。 校正後進入ST30，執行檢查有關的一連串處理。 於該ST30，其根據ST29所校正過的設定位置，於前述 處理對象畫像上設定檢查區域。接著，在每一檢查區域，利 用由前述學習表1 9所讀出的檢查資料，對被檢查部位執行 計測處理或良否判定處理。再者，每一檢查區域的良否判定 結果，被儲存於記憶體1 3。 ST30的檢查一告終了，即經由ST31回到ST24，對其 次的攝影對象區域，執行上述同樣的處理。 對所有的攝影對象區域，皆執行上述S T2 4〜3 0後，在 ST31若是「YES」則進入ST32。於該ST32，其在綜合儲存 於前述記憶體1 3內的各檢查區域的良否判定結果，以判別 被檢查基板1 T是否爲良品，並將該判別結果輸出。 其後’於ST33將前述被檢查基板1T搬出，對該基板的 檢查即告終了。更進一步，還有檢查對象基板之場合，經由 ST34回到ST22,接著對下一被檢查基板1T，執行同樣的處 理。 〈實施例2〉 本實施例2及以下的各實施例，係以檢查零件的焊錫部 位（焊腳）爲前提，對攝影對象區域或檢查區域的設定方法， 以及處理對象畫像與攝影對象區域的偏離量的檢出方法 -32- 1279741 等，作較具體的說明。 若經由前述第1圖的構成，從投光部4的各光源8、9、 1 0來的彩色光由焊腳的表面會產生正反射’然而因應於焊腳 的傾斜狀態，可得到紅、綠、藍的色彩以一定比例分布的畫 像。焊腳的檢查，乃係將此等的色彩作個別抽出’再經由與 該位置或面積的判定基準値比較，以判別傾斜狀態的良否。 第1 0圖係表示基板的全體畫像。本實施例的全體畫像 103，其與前述第4、5圖的例子同樣，也是由橫方向（X方 向）3枚、縱方向（y方向）2枚合計6枚的畫像疊合構成的。 再者，爲了使說明簡單’本實施例中將畫像間的重疊部份予 以省略。 本實施例2，檢查時也以上述全體畫像1 03作成時同樣 的條件，對攝影對象區域作攝影。因此，於本實施例2，其 係將全體畫像1 03依對應於各攝影對象區域的各區域r而來 切割，將各區域r的畫像G0〜G5分別當作基準畫像而登錄 之。又者，爲使照相機3A的視野對準各攝影對象區域，其 有將前述區域r .的縱橫尺寸xP、yP作成登錄，以當作表示X 軸桌面部6及Y軸桌面部7的移動量的資料。 再者，之所以從全體畫像1〇3的作成，將各基準畫像 G0〜G5予以切割，其目的乃係在基準畫像之生成的執行攝 影時，能夠將所產生的機械誤差予以消除。 如第10圖，構成全體畫像103的畫像G0〜G5之中， 只有上段中央的畫像G4表示有2個的零件5 0。此等零件 5〇，係兩側有電極部的晶片零件，5 1係表示前述焊腳、52 -33 - 1279741 係表示該焊腳的檢查區域。 於該實施例，作爲檢查區域5 2的設定位置，而將 查區域5 2的右下頂點的座標予以登錄。該座標，係由 含前述檢查區域52的畫像之右下頂點作爲基準的相對 (xn，yn)來表示的。此外，第1〇圖中雖未顯示，乃是有 述檢查區域5 2的縱橫的寬度作成登錄，以當作表示各 區域5 2的大小的資料。 第1 1圖係表示利用前述晝像G4，以決定檢查區ij ^ 的設定位置之處理具體例。 於該處理，從前述基板的CAD資料，抽出各基準 所對應區域內的資料，再從抽出的資料中將表示焊腳5 資料予以特別指定，並因應該被檢查部位的位置或大小 定檢查區域的設定條件。 於第11圖，其顯示有構成前述全體畫像103的上 央部的基準畫像G4，與表示該基準畫像G4中檢查區域 布狀態的地圖畫像M4。與前述第2圖所示的例子同樣 ® 地圖畫像M4與基準畫像G4做位置對準，經由將地圖 5 4上的檢查區域5 2的位置或大小適用於基準畫像G4， 前述基準畫像G4上的各焊腳5 1分別設定到適切的檢查 52 〇 再者，於本實施例，爲了作成各基準畫像G0〜G5 應地圖畫像，可將基板的右下角部的位置決定記號1 05 心點P當作基準，藉由該基準點P，可使全體畫像1 03與 資料的座標系，達成位置的對準。CAD資料也包含位置 該檢 :包 座標 將前 檢查 t 52 畫像 丨1的 ，決 段中 的分 ，將 畫像 可對 區域 的對 的中 CAD 決定 -34- 1279741 記號的資料，又實際基板的位置決定記號的形成位置的精度 高，故由一方的位置決定記號1 05，可對基準點P予以特別 指定。 前述全體畫像1 03上的各點位置，任何一點都可由對基 準點P的相對座標來表示。例如第1 0圖所示，關於含有基 準點P的畫像G0與鄰接畫像Gl、G5的境界線，其分別到 基準點的距離是xo、y〇，則前述基準畫像G4上的檢查區域 51之右下頂點的座標可由（x〇 + xn，y〇 + yn)表示。 於本實施例2，檢查時，將照相機3 A對準在與作成前 述全體畫像1 03時相同的攝影對象區域，以生成各基準畫像 G0〜G5所對應的處理對象畫像，但由於機械誤差，照相機 3 A的視野無法正確對準攝影對象區域，登錄的基準畫像與 處理對象畫像之間有產生位置偏離的可能性。因而，本實施 例2也與實施例.1同樣，先將處理對象畫像的位置偏離抽 出，再對檢查區域作校正。 第1 2圖表示有前述基準畫像G4所對應的處理對象畫 像。該處理對象畫像54，其對基準畫像G4有位置偏離。又 處理對象畫像5 4上的4個被檢查部位5 1之中的1個（圖中 的51K)，其有不良發生。 在本實施例，以基準畫像G4對處理對象畫像5 4 —面作 每次1畫素的掃描，一面算出兩畫像間重疊部份的相關値， 然後將相關値最高時的兩畫像之間的位置偏離量Δχ、Ay， 判斷爲前述處理對象畫像54對基準畫像G4的偏離量。如第 1 2圖的例子，即使處理對象畫像54有部份不良之場合，該 -35- Ί279741 不良部份5 1 K以外的部份與基準畫像G4是相同的，因此當 基準畫像G4移動到最合適的位置時，可視爲該相關値會變 成最大。 第1 3圖表示關於前述處理對象畫像5 4，將利用與前述 基準畫像G4相同條件所設定的檢查區域5 2 (鍊線所示者） 的位置，根據上述偏離量Δχ、Ay予以校正的範例。經由如 此處理，任何的焊腳5 1、5 1 K均可將其設定爲適切的檢查區 域，也可確保其檢查精度。 本實施例2,其亦可替代全體畫像，而將各個畫像GO 〜G5當作基準畫像作登錄除此外，則可與前述第8圖同樣 的順序來執行學習處理。 因此，關於學習處理的流程，在此省略圖示及詳細說 明，接著利用第1 4圖說明檢查時的處理。 第14圖中，於最初步驟的ST41，係從前述學習表19 將該基板的檢查資料讀出並設定於記憶體1 3。其次於 ST42，被檢查基板1T 一被搬入，接著於ST43，將照相機 3 A對準含有前述基準點P所對應之位置決定記號1 05的攝 影對象區域（基準畫像G0的對應攝影對象區域）。 於其次的ST44，經由前述照相機3 A執行攝影，接著將 生成的畫像上之位置決定記號1 05的中心點予以抽出，再將 該抽出位置對前述基準點P的位置偏離量求出。接著，因應 該位置偏離量而驅動X軸桌面部6及Y軸桌面部7，‘以調整 前述照相機3 A的位置。但是，該調整時也會產生機械誤差， 照相機3A的視野對攝影對象區域會有位置偏離的可能性。 -36- 1279741 在此於本實施例，於其次的ST45，經由前述位置調整後的 照相機3 A再度執行攝影，生成基準畫像GO對應的處理對 象畫像後，經由ST46、ST47的處理之執行，於處理對象畫 像上，以不受前述機械誤差所引起偏離的影響而設定檢查區 域。 於ST46，進行被生成的處理對象畫像與基準畫像GO之 間的相關比對處理，將偏離量A X、△ y檢出。該處理，其與 先前所說明利用第1 2圖檢出處理對象畫像5 4對基準畫像 G 4的偏離量的方法是同樣的。 更進一步於ST47，利用此等偏離量Δχ、Ay對檢查區域 的設定位置作校正，之後在ST48，利用校正後檢查區域的 畫像資料進行檢查。 之後由ST49進入ST50，將照相機3A對準次一攝影對 象區域。例如，要將照相機3 A對準基準畫像G1的對應攝 影對象區域之場合，只要將前述X軸桌面部6以前述xp的 對應量移動即可。又若要將照相機3 A對準基準畫像G5的 對應攝影對象區域之場合，只要將前述γ軸桌面部7以前述 yP的對應量移動即可。之後，回到ST45，在新決定的位置 利用照相機3 A執行攝影。更進一步，對生成的畫像，與上 述同樣執行ST46〜48的處理。 以下也一樣，依序取得各基準畫像的對應畫像，再以上 述同樣的步驟，檢出其對基準畫像的偏離量、對檢查區域的 校正、以及進行檢查。所有的攝影對象區域的相關處理終了 後’由ST49進入ST51將檢查結果輸出，再於ST52將被檢 -37- 1279741 查基板IT搬出。如果還有其他的被檢查基板，由ST53回到 ST42實行同樣的處理程序。 〈實施例3〉 上述實施例2，其係以基板上的被檢查部位被包含於構 成全體畫像的任何一個畫像內爲前提，但如第1 5圖所示， 亦有檢查對象的零件56(圖中零件係QFP )之位置係跨在畫 像間的情形。在此場合，與實施例1同樣，乃希望能在全體 畫像1 03上的任意位置設定攝影對象區域。 ® 於實施例3，在基準基板1 S的全體畫像1 03作成之後， 即在該畫像103上設定含有前述零件56整體的攝影對象區 域5 7，將該設定位置予以登錄外，將攝影對象區域5 7內的 畫像予以切出，並當作基準畫像而予以登錄。 再者，攝影對象區域57的設定，可利用前述基板的地 圖畫像來進行，但並不限於此，例如也可將前述全體畫像1 〇3 顯示於顯示部22,於該顯示畫面上再經由使用者的設定操作 而予以設定。 B 又者，該攝影對象區域5 7，當然也具有橫寬xp、縱寬 Υρ 0 第16圖表示由前述全體畫像103上的處理對象區域57 所切出的基準畫像G 1 1、以及分布於該基準畫像G1 1的檢查 區域之地圖畫像Mil。再者，圖中59係表示前述零件的1 •條導線的焊腳，5 8則係表示該焊腳的檢查區域。 該實施例的地圖畫像Μ 1 1，也與實施例2的情形同樣， 可在全體畫像1 〇3的座標系與CAD資料的座標系一致的條 -38 - 1279741 件下，經由從CAD資料將前述基準畫像G 1 1的對應區域之 資料的抽出而作成的。又者，地圖畫像Μ 1 1上的各檢查區域 5 8的設定位置，也與實施例2同樣，係以從畫像的右下頂點 來看該檢查區域58的右下頂點的相對座標（xn，yn)來表示。 前述全體畫像1 03上的攝影對象區域5 7的設定位置， 可用由前述基準點P來看該區域的右下頂點的相對座標（χτ， y τ)而來設定（參照第15圖）。 爲決定檢查區域的設定條件而在CAD資料上將上述基 ® 準畫像G 1 1的對應區域的特別指定，根據基準點P在將全體 畫像與CAD資料的座標系對準後，則將前述座標（xT，yT)m 表示的某一點當作右下頂點而將橫寬xp、縱寬yp的區域予 以設定即可。 又，檢查時將照相機3A對準基板上的攝影對象區域 57，首先經由前述第14圖的ST43、ST44同樣的處理，根據 基準點P使基板與照相機3A的位置關係作調整後，再使X 軸桌面部6及Y軸桌面部7分別僅以相當於xT，yT加上基準 ® 點P的座標値的距離來移動即可。 以上述要領將照相機3 A定位後，經由與前述實施例2 同樣的方法，抽出處理對象畫像對基準畫像的偏離量Δχ、 △y ’然後利用該偏離量Δχ、Ay，可對檢查區域的位置執行 校正。 此外，關於實施例3中學習處理或檢查處理，由於也與 實施例1或2同樣，在此省略相關的詳細說明。 再者，上述的實施例2、3，其在基準基板1S的全體畫 -39- 1279741 像1 03作成後，係從該全體畫像1 03切出攝影對象區域的對 應畫像以當作基準畫像登錄之，但並不以此爲限，與實施例 1同樣將全體畫像1 0 3作登錄亦可。在此場合，檢查時將處 理對象畫像對基準畫像的偏離量作檢出之時，由登錄的全體 畫像1 03將基準畫像切出，在該切出的基準畫像與處理對象 畫像之間，來執行該切出的基準畫像與處理對象畫像之間的 前述相關比對處理即可。 〈實施例4〉 本實施例4，也以前述第1 5圖所示同樣構成的基板爲對 象，將含有零件56整體的攝影對象區域57予以設定，且將 該攝影對象區域57內的畫像當作基準畫像G11登錄之。但 是，本實施例4不作成全體畫像103，而是在CAD資料上將 含有前述零件56的攝影對象區域57的設定位置予以特定 之，且將照相機3 A對準基準基板1 S的前述已被特定的攝影 對象區域，取得當作基準畫像G 1 1的畫像。然而，以如此的 方法生成基準畫像之際，必須考慮因X軸桌面部6及Y軸 桌面部7的機械誤差所引起的影響。因此，實施例4執行其 次第1 7圖所示流程的學習處理。 第17圖中，最初的步驟ST61，其係將檢查對象基板的 CAD資料讀出，利用此讀出資料作成基板整體之檢查區域的 地圖畫像。其次的ST62，於前述地圖畫像中，在包含所有 對應前述零件5 6的檢查區域5 8的位置，設定攝影對象區域 5 7。再者，該攝影對象區域5 7的設定位置，也與前述實施 例3的全體畫像1 〇 3中的同樣’係由該區域5 7的右下頂點 -40- 1279741 對前述基準點P的相對座標（xT，yT)來表示。 於其次的ST63，將基準基板1S搬入。接著於ST64，爲 使前述基準基板1 S的畫像上的位置決定記號1 05能定位於 預先決定的座標，而來調整基準基板1 S與照相機3 A的位置 關係。該位置對準終了後，進入ST65，根據Xt，yT分別使X 軸桌面部6及Y軸桌面部7移動，將照相機3 A對準於前述 ST62所設定的攝影對象區域57。更進一步，於ST66，經由 前述照相機3A執行攝影，生成當作基準畫像的畫像。 # 於ST67，利用前述相對座標（xT，yT)，從前述基板整體 的地圖畫像抽出前述攝影對象區域5 7內的畫像，將該地圖 畫像疊合於前述基準畫像。更進一步，在前述基準畫像與地 圖畫像成爲適合的位置關係之前，對地圖畫像作每次1畫素 的掃描，直到有其適合的位置關係時，檢出當時基準畫像與 地圖畫像的位置偏離量d X、d y。 在此，利用第1 8圖，對該ST67的處理做具體的說明。 第1 8圖（1 )，其係表示將前述攝影對象區域5 7的地圖 ® 畫像Μ 1 1，以基準畫像G 1 1作初期設定的狀態。本實施例的 基準畫像G 1 1，由於對攝影對象區域5 7爲位置偏離之狀態， 因此畫像上的焊腳5 9對檢查區域5 8也有位置偏離。第1 8 圖（2)，其係顯示爲了使各焊腳59之位置被包含於對應之檢 查區域5 8內，而將地圖畫像Μ 1 1移動後的狀態。如成爲該 狀態，可認爲基準畫像G 1 1與地圖畫像Μ 1 1已達到適合的 位置關係。此時基準畫像對地圖畫像的橫方向偏離量即爲前 述dx，縱方向偏離量即爲dy。 -41 - 1279741 又者，在求基準畫像G 1 1與地圖畫像Μ 1 1的適合位置 關係時，首先將基準畫像G 1 1上紅、綠、藍的各色彩的分布 區域予以抽出，更進一步將抽出區域與其他區域作區別且使 其成爲2進制。又關於地圖畫像，也將檢查區域5 8與其他 區域作區別且使其成爲2進制。其後，一面使上述兩個2進 制後的畫像作相對挪動，一面求出相關値最高時的位置關 係。該位置關係，即是前述基準畫像G 1 1與地圖畫像Μ 1 1 的適合位置關係，此時兩畫像間的偏離量即爲前述的dx、dy。 回到第1 7圖，經由前述ST67的處理，基準畫像G1 1 的對地圖畫像Μ 1 1的偏離量dx、dy被求出後，於其次的 ST68，利用此等位置偏離量dx、dy，對前述地圖畫像上檢 查區域5 8的設定位置作校正。進而接著於s T 6 9，也利用位 置偏離量dx、dy，同樣對前述ST62所設定之攝影對象區域 5 7的設定位置，予以校正。 於ST70，與前述第8圖的ST1 1同樣，作成檢查區域以 外的檢查資料。之後於ST71，作成包含有··由前述ST66所 生成的基準畫像、攝影對象區域的校正後的設定位置、檢查 區域的校正後的設定位置及大小、以及由ST70所作成的其 他檢查資料等的判定檔案，再將此檔案登錄於學習表1 3。之 後進入ST72將前述基準基板1S搬出，接著學習處理即告終 了。 再者，該學習處理後的檢查方面，由於其內容與前述實 施例2相同，有關檢查的說明省略之。 經由上述學習處理，即使沒有作成基準基板1 S的全體 -42- Ί279741
畫像，利用CAD資料，也可在基板上包含規定數目之 查部位的任意位置設定攝影對象區域，接著可將該攝影 區域中於檢查時所必要的基準畫像及檢查區域予以登H 再者，第1 7圖所示的學習處理，經由前述偏離量 d y，除對檢查區域5 8的設定位置校正外，也對攝影對 域5 7的設定位置作校正，但該校正並非必要的處理。絮 若基板上的被檢查部位的位置，有必要從前述基準點P 的相對座標來作正確求取之場合，該攝影對象區域5 7 定位置之校正就有必要。其理由如下所述 前述攝影對象區域57的設定資料Χτ、yT，乃係對 基準點P的相對座標。相對於此，如第1 8圖（1)所示， 區域58的設定資料Xn、yn，乃係對地圖畫像G1 1，換言 即攝影對象區域5 7的右下頂點的相對座標。由於基板 查區域5 8的位置關係固定的，因此對基準點p之檢查 的相對座標也經常保持一定値（XT + Xn，yT + yn)。從而，χ 的値變更的話，當然xT、yT的値也必須變更。例如， 檢查區域的座標由χη變更爲xn + dx之場合，攝影對象區 座標XT也必須變更爲xT-dx。 再者，像這樣將攝影對象區域5 7的設定資料Χτ、 更之場合，檢查時雖也將照相機3 A予以對準在變更後 影對象區域’但此時也有機械誤差發生的可能。從而， 處理對象畫像的檢查區域有必要作校正，但該檢查區域 被檢查部位的位置，係以對基準點p的相對座標來表示 根據上述同樣的理由，攝影對象區域的設定資料也有必 被檢 對象 k ° dx、 象區 $而， 所看 的設 前述 檢查 r之， 與檢 區域 η ' yn 前述 域的 yT變 的攝 雖對 內的 :，故 要作 -43 - 1279741 校正。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明一實施例相關基板檢查裝置的方塊圖。 第2圖係表示基板的基準畫像與檢查區域的關係的說明 圖。 第3圖係表示爲了作成全體畫像之畫像疊合處理的順序 的說明圖。 第4圖係表示爲了作成全體畫像而作成之6枚畫像的說 明圖。 第5圖係表示經由第4圖的畫像作成全體畫像之過程的 說明圖。 第6圖係表示經由第5圖的處理所作成全體畫像的說明 圖。 第7圖係表示處理對象畫像的偏離量之檢出處理的說明 圖。 第8圖係表示學習處理順序的流程圖。 第9圖係表示檢查順序的流程圖。 第1 0圖係表示實施例2的全體畫像的構成的說明圖。 第1 1圖係表示基準畫像與檢查區域的關係的說明圖。 第12圖係表示處理對象畫像的偏離量之檢出處理的說 明圖。 第1 3圖係表示檢查區域的校正處理的說明圖。 第1 4圖係表示實施例2的檢查順序的流程圖。 第1 5圖係表示實施例3之全體畫像之構成的說明圖。 -44- Ί279741 第1 6圖係表示基準畫像與檢查區域的關係的說明圖。 第1 7圖係表示實施例4之學習處理順序之流程圖。 第1 8圖係表示基準畫像的偏離量之檢出處理的說明圖。 【元件符號說 明 ] 1 丁，1 S 基 板 3 A 照 相 機 6 X 軸 桌 面 部 7 Y 軸 桌 面 部 11 控 制 部 13 記 憶 體 15 畫 像 處 理 部 18 檢 查 部 19 學 習 表 3 1,52,58 檢 查 域
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