TWI263861B

TWI263861B - Resist material and pattern forming method

Info

Publication number: TWI263861B
Application number: TW089105398A
Authority: TW
Inventors: Jun Hatakeyama; Tomohiro Kobayashi; Osamu Watanabe; Takanobu Takeda; Toshinobu Ishihara
Original assignee: Shinetsu Chemical Co
Priority date: 1999-03-26
Filing date: 2000-03-24
Publication date: 2006-10-11
Also published as: KR100540968B1; EP1039346A1; DE60010959D1; KR20000076961A; DE60010959T2; EP1039346B1; US6455223B1

Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [1263861 五、發明說明（1 ) 發明所屬的技術領域本發明係有關適於微細加工技術之新穎的光阻材料及形成圖型之方法。習知技術及發明欲解決的課顯 - ,—_ 隨著L S I之局積體化及高速度化，圖型規則正被要求微細化之中’遠紫外線微影術正被期待成爲下一世代之微細加工技術。遠紫外線微影術係亦可進行〇 · 3 # m以下的加工’採用光吸收較低的光阻材料之情形，對基板具有近乎垂直的側壁之圖型形成乃成爲可能，又利用高亮度的K r F準分子雷射（excimer iaser )作爲遠紫外線之光源的技術正令人矚目的’爲採用此技術作爲量產技術，則吸光低且局靈敏度的光阻材料乃被期待的。由此種觀點’以近年經予開發的酸爲觸媒之化學增幅型光阻材料（如日本特公平2 - 2 7 6 6 0號，特開昭 6 3 - 2 7 8 2 9 s虎公報等記載），係靈敏度，解析度高 ’具有優越的特徵者，於遠紫外線微影術方面尤其有希望的光阻材料。此等者即使在以電子射束或x射線爲光源之曝光方面亦顯示出優越的特性係爲人所知的。化學增幅型光阻材料，一般係在〇 · 3 μ 1Ί1製程開始使用’經過0 · 2 5 // m規則，現在適用於〇 · 1 8 // m 規則之量產化，再者亦正開始用於〇 · 1 5 M m規則之檢討’ K r F準分子雷射微影術之微細化趨勢係日益被加速著。同時下一世代之微細化，以E B或x射線爲光源之現本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^----Γ-----； —--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -4- 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（2 ) 實的檢討亦開始著，與設計規則之微細化同時對光阻材料被要求解析力之更高提高。近年，隨著微細化之進行，線邊緣粗糖度（line edge roughness )正成爲問題所在◦線邊緣粗糙度亦被稱作微粗糙度，顯示出線之側壁的凹凸。準分子雷射等利用單一波長之光曝光的情形，由於來自基本之反射，發生駐波，由而側壁上發生凹凸。然而，於光阻及基板之間藉由敷設防止反射膜，可使來自基板之反射設成約略0 %，惟即使在此情形，亦可觀察出線之粗糙度。又於E B或X射線曝光，由於無來自基板之反射，不引起駐波，惟即使在此情形亦可觀察出線邊緣粗糙度。若依學會等的報導時，則此線邊緣粗糙度可說是聚合物之集合體（簇集）而得者，藉由採用低分子之單分散聚合物據云可予降低（日本特開平6 一 2 6 6 0 9 9號公報）。又，亦可說是負片型光阻較正片型光阻會顯著的發生。然而，若採用低分子聚合物時，則聚合物之T g之降低會生成的缺點，又T g亦較預烘烤爲降低的情形，利用熱之烘烤因係不可能，故並不實用。再者’聚合物之T g之降低，與耐乾蝕刻性之降低有關。本發明係有鑑於上述事情而完成者，以提供具有足夠的解析力及靈敏度，線邊緣粗糙度小，具有優越的耐乾飩性之光阻材料及形成圖型之方法爲目的。醒....迭課題而採的手段及發明之實施形態本發明人等對聚合物相互間之糾纏雖可被說是構成簇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐） ,----------J-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5- 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____B7 __ 五、發明說明（3 ) 集構is ’惟糾纏Z強度係被視作與聚合物主鍵之長度成比例，若採用由直鏈狀至再分枝成均勻構成的星形聚合物時，由於成爲僅枝狀之長度的糾纏，故即使不降低全體之分子量，糾纏亦可探討成糾纏會變小。在自由基聚合等可說是會生成枝鏈，惟聚合時可精緻的控制枝鏈，欲控制分子量或分散度係不可能的。因此，本發明人等，係採用活性陰離子聚合，以聚合星形聚合物，嘗試應用作光阻用基底聚合物，以至完成本發明。亦即，本發明係提供下述光阻組成物及形成圖型之方法。申請專利範圍第1項：以含有由酚衍生物之樹枝狀聚合物或超枝鏈聚合物而成的重量平均分子量5 0 0〜 10，000，000之高分子化合物爲基底聚合物爲特徵的光阻材料。申請專利範圍第2項：上述高分子化合物爲由下述重複單位（I )及/或重複單位（I I )與重複單位〔I I I〕而成，單位（ I I I )之個數爲1〜1 ，0 0 0之申請專利範圍第1項之光阻材料，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6- ^----r-----‘—--------訂---------線"41^" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1263861 A7 B7 R1

R丨

五、發明說明（4 單位（I ): ⑴ 單位（I I ) (2) (式內，R1表示氫原子或甲基，R2表示相同或不同種之碳數1〜3 0 0之直鏈狀，分枝狀或環狀的烷基，或碳數 6〜3 0之芳香基。R3表示OR4基，R 4表示酸不安定基或酸安定基。X爲0或正之整數，y爲正整數，滿足X + y S 5之數）。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ,----------J-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1263861 A7 ___B7 —_ 五、發明說明（5 ) 單位（I I I ): R1 (3) R5 (式內，R1與上述相同。R5爲碳數1〜3 0之直鏈狀’ 分枝狀或環狀之伸烷基，或碳數6〜3 0之伸芳香基’此等可經予組合，亦可含有醚鍵結或酯鍵結）° 申請專利範圍第3項：單位（I I I )爲以下式（3 a )。 —H2C-CH一 (3a) X- (式內，X表示單鍵結，或羥基或羰基亦可的碳數1〜 1 0之直鏈狀或分枝狀的伸烷基）之申請專利範圍第2項之光阻材料。申請專利範圍第4項：申請專利範圍第2項或第3項之高分子化合物，係藉由活性陰離子聚合而得者之光阻材料。申請專利範圍第5項：種化學增幅型正片型光阻材料，係含有（A )申請本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 - 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（6 ) 專利範圍第1項至第4項之任一項之高分子化合物，且此高分子化合物係鹼不溶性或難溶性，以與酸之反應成爲鹼可溶性的基底樹脂， (B )有機溶劑及 (C )酸發生劑而成。申請專利範圍第6項：已配合（D )鹼性化合物之申請專利範圍第5項之光阻材料。申請專利範圍第7項：已配合（E )溶解控制劑之申請專利範圍第5項或第 6項之光阻材料。申請專利範圍第8項：一種化學增幅負片型光阻材料，其特徵在於含有（ A )申s靑專利範圍第1項至第4項之任一^項之局分子化合物’且利用交聯劑予以交聯而成鹼不溶性或難溶性之基底樹脂， (B )有機溶劑， (C )酸發生劑及 (F )交聯劑而成。申請專利範圍第9項：已配合（D )鹼性化合物之申請專利範圍第8項之光阻材料。申請專利範圍第1 0項：一種形成圖型之方法，其特徵在於：含有本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-9- 1263861 A7 --------JB7____ 五、發明說明（7 ) (1 )於基板上塗布申請專利範圍第5項至第9項之任一項之光阻材料的步驟， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (1 1 )其次加熱處理後，介由光罩掩膜以波長 5 0 0 n m以下的高能量線或電子射線曝光的步驟，與 (1 1 1 )因應必要時加熱處理後，採用顯影液顯影的步驟。至於用作本發明之基底聚合物之高分子化合物，係酚衍生物之樹枝狀聚合物，超枝鏈聚合物，以此爲基底樹脂並配合於光阻材料內，則隨著聚合物之枝鏈，自由體積之增加效果’其性能亦較習用的線狀構造基底樹脂提高。例如藉由形成樹枝狀聚合物，超枝鏈聚合物，聚合物之分子尺度係與線狀聚合物比較而變小，可提高解析性。使聚合物之分子量增加並使耐熱性提高的情形，可抑制黏度之上升，提高製程安定性。又，藉由形成樹枝狀聚合物，增加終端之數目’可謀提高與基板間之附著性。再者，因可自由進行枝鏈，終端之數目的控制，故因應目的可進行聚合物設計。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製因此，本發明之光阻材料，係在高解析度，曝光餘裕度，製程適應性方面優越，實用性高，有利於精密的微細加工，用作超L S I用光阻材料係非常有效的，用作正片型及負片型之化學增幅型光阻材料係具有優越的性能。以下更詳細說明本發明，本發明之光阻材料係以重量平均分子量50〇〜1〇，〇0〇，〇〇〇之酚衍生物之樹枝狀聚合物’超枝鏈聚合物而成的高分子化合物爲基底 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（8 ) 樹脂。此情形，本發明之高分子化合物，係由下述重複單位 (I )及/或重複單位（I I )與重複單位（I I I )而成，單位（I I I )之個數爲1〜1 0 0 0 ，較宜爲1〜 50〇，更宜爲1〜2〇〇。單位（I ): R1

(式中，R 1表示氫原子或甲基，R 2表示相同或不同種碳數1〜3 0之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基，或碳數6〜 3 0之芳香基◦ R3表示〇R 4基，R 4表示酸不安定基或酸安定基。X爲正整數，滿足x + y^5之數，宜爲R3爲本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ,-----------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 1263861 A7 B7 五、發明說明（9 ) OR1)。單位（III): R1 R5 (3) (式內，R1係與上述相同◦ R5表示係碳數1〜3 0之直鏈狀，枝鏈狀或環狀的伸烷基，或碳數6〜3 0之伸芳香基，此等可經予組合，含有醚鍵結或酯鍵結亦可）。此時，單位（I I I )係以下式（3 a )表示者爲宜經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 —H2C--CH 一 X- 〜，X表示單鍵結或含有羥基或羰基亦可@ ^ ^ 1 宣鏈狀或枝鏈狀的伸烷基）。 1 e，言宜爲1 比，R 2爲碳數1〜3 0，宜爲1〜1 b 、 #，$於直鏈直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基或芳香5 鏈狀或環狀之烷基，可例示出甲基’乙基’ 0 _ 0 1 I，環戊基等，正丁基，異丁基，第三丁基，垓3基於芳香基可舉出苯基等。 (3a) ------------j—--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 泰紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12- 1263861 A7 B7 五、發明說明（10) 至於上述R 1之酸不安定基，可有各種選擇，惟以下式 (9 ) ，（ 1 0 )表示的基，碳數4〜4 0之三級烷基，烷基係以各自碳數1〜6之三烷基甲矽烷基，碳數4〜 2 0之氧基烷基等爲宜。〇II _(CH2)a-〇aR6 ⑼

I—G-0-R 9

R 8 (10) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製式中，R 6表示碳數4〜4 0之三級烷基，烷基各自爲碳數 1〜6之三烷基甲矽烷基，碳數4〜2 0之氧基烷基，a 表示0〜1 0之整數。R7表示氫原子或直鏈狀，枝鏈狀或環狀之碳數1〜1 0之院基，R 8，R 9表示相互獨立的直鏈狀，枝鏈狀或環狀之碳數1〜1 0之烷基，或相互鍵結形成環亦可。至於上式（1 0 )表不的酸不安定基’具體而言，例如可舉出1—甲氧基乙基’ 1—乙氧基乙基’ 1—正—丙氧基乙基，1一異丙氧基乙基，1一正一丁氧基乙基，工一異丁氧基乙基，1 一第二丁氧基乙基，1 一第三丁氧基乙基，1 一第三戊氧基乙基，1—乙氧基一正丙基，1 — 環己氧基乙基，甲氧基丙基，乙氧基丙基，1-甲氧基_ 1 一甲基一乙基，1—乙氧基一 1 一甲基一乙基等直鏈狀或枝鏈狀縮醛基，四氫咲喃基，四氫哌喃基等的環狀，縮醛基等，宜爲乙氧基乙基，丁氧基乙基，乙氧基丙基等。另 :一----------1 —--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- 1263861 A7 _B7 五、發明說明（11 ) 一方面，至於上式（9 )之酸不安定基，例如可舉出：第三丁氧基羰基，第三丁氧基羰基甲基，第三戊氧基羰基，第三戊氧基羰基甲基，1 -乙氧基乙氧基羰基甲基，2 -四氫|岐喃基氧基鑛基甲基，2 -四氨咲喃基氧基簾基甲基等。又，至於三級烷基，可舉出第三丁基，三乙基咔基， 1 一乙基原冰片基，1 一甲基環己基，2 — （2 —甲基）金剛烷基，第三戊基等。至於三烷基甲矽烷基，可舉出三甲基甲矽烷基，三乙基甲矽烷基，二甲基-第三丁基甲矽烷基等的各烷基之碳數爲1〜6者。至於氧基烷基，可舉出3 -氧基環己基。再者，至於酸不安定基，可舉出具有C -〇一 C基之交聯基Q。此交聯基Q，如下式所示般，爲單位（I )之〇Η間在分子內或分子間交聯者。

Ri ,----------1-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(R

R '〇——Q——〇，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -14- 1263861 A7 ______B7 _____ 五、發明說明（12 ) 至於此交聯基Q，可舉出下述一般式（Q a )或（ Q b )表示的基，宜爲（Q a ’）或（Q b / )。 I i -C-^〇-RMV 〇,A [-〇-(Rm-〇)d~C(Qa) RH R” R' R, R" r (式內，R > ’ R 〃表示氫原子或碳數1〜8之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基。或R >及R 〃亦可形成環，在形成環之情形，R >，R 〃係表示碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之伸烷基。R 表示碳數1〜1 0之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之伸烷基，d爲〇或1〜10之整數。A表示c價之碳數1〜5 0之脂肪族或脂環式飽和烴基，芳香族烴基或雜環基，此等基係介在雜原子亦可，又鍵結至該碳原子之氫原子的一部分爲羥基，羧基，醯基或以鹵原子所取代亦可的。B爲一CO —〇一，一NHCO —〇一或 —NHCONH —。c爲2〜8 ，c，爲1〜7之整數） .----------J —--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ,νπ R—d-cIR -ο- A1 0 )τ RM -{ο- Rf—c—Rf

-a (Q R — R' -RM, B- - A1 B- R,f, 細 o心丨 -r 十

Qb /(V 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15- 1263861 A7 B7 五、發明說明（13 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，R >，R 〃表示氫原子或碳數1〜8之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基。或R /及R 〃亦可形成環，在形成環之情形，R /，R 〃係表示碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之伸烷基。R 表示碳數1〜1 0之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之伸烷基，d爲〇或1〜5之整數◦ A >表示c 〃價之碳數1〜2 0之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之伸烷基，烷基甲苯基，烷基四基，碳數6〜3 0之伸芳香基，此等基係介在雜原子亦可，又鍵結至該碳原子之氫原子的一部分爲羥基，羧基，醯基或以鹵原子所取代亦可的。B爲 —C〇一〇一，一 NHC〇一〇一或一 NHCONH —。 c "爲2〜4，c 爲1〜3之整數）。在此，至於碳數1〜8之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基，可例示出與上述者相同者。又，至於R 之碳數1〜 1 0之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之伸烷基，可例示出亞甲基，伸乙基，伸丙基，伸異丙基，伸正丁基，伸異丁基，伸環己基，伸環戊基等。且，A之具體例係如後述。此交聯基（Q a ) ，（ Q b )係源自後述的烯基醚化合物，鹵化經濟部智慧財產局員工消費合作社印製烷基醚化合物。交聯基係由上式（Q a ) ，（ Q b )之c /値可明顯得知，並不限於2價，3〜8價亦可。例如至於2價之交聯基可舉出下式（q a 〃），（ Q b 〃），至於3價之交聯基可舉出下式（q a |" ) ，（ Q b m )表示者。 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 A?B7 五、發明說明（14)

Rs R? ~C -fO~R,!,vr 0-A^0-rR,M-0)d-C- l … 、 I I I R·· R" [ R， ! I -001Τ-!>Α·Β-ΙΓ-0-〇 I I R” R" R1 R' -C -(0-RMV 0-A-0-(RM,-0)d-C- (Qa”） (Qb") (Qa”，） R” 〇 R’ R” I I(R"-0)d-C-R" R， R， -C-0-Rn,-B-A-B-Rn,-0-C- (Qb”，） R” ? f R" R，，，-〇-C- I R’，上述交聯基之導入，係可採用下述的化合物 R，，R’x r I I〗 A-fO-fR^O^c^CH c (I) •----------5-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R” A+O^fiT’-OkC-R，jc (Γ)

Z R，，R，aλ』 I I ,A~fB-R”'-〇_c=CH jc (Π) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17- 1263861 A7 B7 五、發明說明（15 ) R”

Z 在此A , β，r - ，R 〃 , R - ，c ，d係與上述相同’ R a /係表示氫原子或碳數1〜7之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基。Z爲所謂c 1 ，B r ，I之鹵原子。具體而言’ A之c價之烴基係可舉出碳數1〜5 0，宜爲1〜40之〇，NH，N(CH3) ，S，S〇2等雜原子亦可介在的非取代或羥基，羧基，醯基或氟原子，氯原子’氯原子’溴原子，碘原子等鹵原子取代之伸烷基，碳數6〜50，宜爲6〜40 ，更宜爲6〜20之伸芳香基，此等伸烷基及伸芳香基已鍵結的基，已鍵結至上述各基之碳原子上的氫原子係已脫離的c 價（c爲3〜8 之整數）之基，再者可舉出c價之雜環基，此雜環基與上述經基鍵結的基寺。若予具體的例示時，則A可舉出有下述者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 A7 B7 五、發明說明（16) -CHzCHz- f -(CH山-，-CH-CH厂· -(CHWr， CH, -CH「CH-， -CHCH2CH「， - (CHA-,

CzHa CH3 CH, CHr I I -CH2 - 0-CH2-， CH3CH2 -0¾ CH3 ch2— CHr I CH3 - C-CH 厂 CH2- -(d，, 一CH2<^)-CHr , 4CH2CH20)rCH2CH2- , ^CHzCHbO^CH^CHj- t 一 (CHA+O - (CHW 5 一Cft-CH厂0—Ca-CHr，一CH^OVO-CHfCHfO-CH^CHf -?H-CHs-O-CH-CH：-， - CH - CIV-O-〒 H-Cft - 0-?H-CH2- CH, CH3 0¾ 0¾ CH3 -----------‘—--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19- 1263861 A7 B7 五、發明說明（17 CHaOH I -ch2-c-ch2-ch2〇h ch2oh I CHZ CH2- CHr I CHrC-CHi-CHr OHH OHOH I I I l -CH2-0—C一 0 一 0-CHr III! Η OHH Η

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—ch2—c—c— c—c - ch2-I I I I Η Η H

H OH -CH2-c - i一 C 一 C-0¾-· I I I I Η Η H (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20- 1263861 A7 B7 五、發明說明（18 )

,---------.-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21 - 1263861 A7 _ B7 五、發明說明（19 )

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -22- --------ΊΙΦ^--------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1263861

五、發明說明（20 ) 以一般式（I )表示的化合物，例如如Stephen. C. Lapin, Polymers Paint Colour Journal. 179 (Q237), 321(1988) 所記載的方法，亦即多元醇或多元酚及乙炔間之反應’或由多元醇或多元酚與鹵化烷基乙烯基醚間之反應可予合成〇至於式（I )之化合物之具體例，可舉出：乙二醇二乙烯基醚，三乙二醇二乙烯基醚，1 ，2 —丙二醇二乙烯基S迷，1 ，3 —丙—*醇—^乙嫌基魅’ 1 ’ 3 —丁 —'醇·~*乙烯基醚，1 ，4 一丁二醇二乙烯基醚（四亞甲二醇二乙烯基醚），新戊基二醇二乙烯基醚，三羥甲烷丙烷三乙烯基醚，三羥甲烷乙烷三乙烯基醚，己二醇二乙烯基醚，1 ， 4 一環己烷二醇二乙烯基醚，1 ，4 一二乙烯氧基甲基環己烷，四乙二醇二乙烯基醚，季戊四醇二醇二乙烯基醚，季戊四醇三乙烯基醚，季戊四醇四乙烯基醚，山梨糖醇四乙烯基醚，山梨糖醇五乙烯基醚，乙二醇二伸乙乙烯基醚，三乙二醇二伸乙己烯基醚，乙二醇二伸丙乙烯基醚，三乙二醇二伸乙乙烯基醚，三羥甲基丙烷三伸乙乙烯基醚，三羥甲基丙烷二伸乙乙烯基醚，季戊四醇二伸乙乙烯基醚，季戊四醇三伸乙乙烯基醚，季戊四醇四伸乙乙烯基醚及下式（I 一 1 )〜（I 一 3 1 )所示的化合物，惟並非受此等所限定者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

- ϋ I I ϋ ϋ ϋ ·ϋ 一0，1 I ϋ I ϋ ϋ ϋ n I _ϋ ϋ ^1 ^1 ϋ ^1 H ^1 ϋ ^1 -^1 ϋ·_ϋ H ϋ n H ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -23- 1263861 A7 B7 五、發明說明（21 -〇-( CH^CH-0CH2CH20—y-〇CH2CH2〇—CH=€H; (I 一 1) CH产CH—0CH2CH20、 /OCftCHzO—CH=CH2

1—2) ch2=ch-och2ch2〇

och2ch2o-ch=ch2 (1-3) ch2=ch-och2ch2o

OCKtCHzO—CH=CH2 (1-4) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

CH2=CH-〇CH2CH2〇-h 卜〇ch2ch2o-ch=ch2 (I~5) CH2=CH-0CH2CH20 och2ch2o-ch-ch2 (1-6) CHfCH-OCHaOLO」^ /1^〇(：;Η2(：Η2(>(；ή==(：Η2 (I 一 7) --------訂--------- >γ CH, CH2=CH-OCHzCH2〇-k/〇CH2CH2〇„CH==CH2 (I 一 8) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ch2-ch-och,ch2o

,OCH2CH2〇-CH=CH2 OCl^CtizO-CR^CRz 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24- 1-9) 1263861 A7 B7 五、發明說明（22 ) CH3 CH2-CH-0CH3CH2(>^^^C--<^^)--0CH2CH20-CH=CH： CHa Ϊ2 ( I — 10) CH2=CH-OCH2CH；

〇ch2ch2〇一CH=CH2 (I - ID

I - 12) (1-13) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

I - 14) CH^CH-〇CH2CH2〇

O^CHaO—CH=CH2 1 — 15) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 CH2=CH-0 CH^CH—〇

0-CH-CH2 〇-ch=ch2 ch2=ch - 0 0-CH-CHz 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -25- (1-16) (I - 17) 1 — 18)

一 0、I ϋ ϋ ϋ ϋ I I ϋ ϋ ϋ 11 ·1 m ϋ ^1 ϋ ι ϋ I κ I ϋ .tmm ϋ ^1 ϋ ϋ ϋ ϋ I 1263861 A7 B7 五、發明說明（23 CH产CH-〇

S普 O-CH-CHz 1 — 19) Ο CH2=CH—〇 CH尸CH—〇

I -20) 1—21) ch2=ch-o

(I - 22) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

(I — 23) --------訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 CH2=CH-〇

0—CH=CH2 (I - 24) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -26- 1263861 A7 B7 五、發明說明（24) ch2-ch-o

1—25) o-ch=ch2

Ό 一 CH=CH2 (I - 26)

(1—27) CH^CH-〇 CH2=CH-〇

CHa I CH2CHCHCH2 I ca

〇-ch=ch2 O-CH-CIl· (I - 28) -----------. —--------訂---------線 —^1^" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

,0-ch=ch2 o-ch=ch2 (1—29) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- 1263861 Α7 Β7 五、發明說明（25)

och-ch2 och=ch2 och=ch2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I - 30) 1—31) 另一方面，B爲以一 CO - ◦一之情形的上述一般式 (I 1 )表示的化合物’係可藉由多元竣酸及鹵化烷基乙烯基醚之反應可予製造。至於B爲以一 C 0 一 ◦一之情形的式（I 1 )表示的化合物之具體例’可舉出對苯二甲酸二伸乙乙烯基醚，苯二曱酸二伸乙乙烯基醚’間苯二甲酸二伸乙乙烯基醚，苯二甲酸二伸丙乙烯基醚’對苯二甲酸二伸丙乙烯基醚，間苯二甲酸二伸丙乙烯基醚’順丁烯二酸二伸乙乙烯基醚，反丁烯二酸二伸乙乙烯基醚’伊康酸二伸乙乙烯基醚等，惟並非受此等所限定者。再者，於本發明合適採用的含有烯基醚化合物’可舉出利用具有下或一般式（III) ，（IV)或（V)等所示的活性氫之烯基醚化合物及具有異氰酸酯基之化合物間之反應所合成的含有烯基醚基化合物。 ch2=ch—ο.

O-CH-CHs (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂---------線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -28- 1263861 A7 B7 五、發明說明（26 )

RH |

Ra-CH-C-0-RMf-0H (III) R，’

I R^CI和 C-OIdOOI-I (IV)

RM

I RVCH-C-0-Rn,-NH2 (V) (R > a ，R 〃，R 表示與上述相同的意義）。至於製得B爲以一NHCO —〇一或一 NHCONH 一情形之上述一般式（I I )表示的化合物之方法，可採用交聯劑手冊（大成社刊行，1 9 8 1年發行）記載的具有異氰酸酯基之化合物。具體而言，可舉出有：異氰酸酯三苯基甲烷酯，二異氰酸三苯基甲烷酯，二異氰酸次甲苯酯，二異氰酸2 ，4 一次甲苯酯之二聚體，二異氰酸萘一 1 ，5 -酯，二異氰酸鄰一次甲苯酯，異氰酸聚亞甲聚苯酯，二異氰酸六亞甲酯等的聚異氰酸酯型，二異氰酸次甲苯酯及三羥甲基丙烷之加成物，二異氰酸六亞甲酯及水間之加成物，二異氰酸二甲苯酯及三羥甲基丙烷之加成物等的聚異氰酸酯加成物型等◦藉由使上述含有異氰酸酯化合物及含有活性氫之烯基醚化合物反應可得終端具有烯基醚基之各種化合物。至於此化合物可舉出以下式（I I 一 1 )〜（I I 一 1 1 )所示者，惟並非受此等所限定者。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公董） (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) -费經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一°J -ϋ I ϋ I ϋ I ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ Βϋ ^1 I ^1 I ϋ —Λ ϋ ϋ .1 ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ 1263861 A7 B7 五、發明說明（27) CH 尸 CH〇CH2CH20〇CNHH^JJ>~NHC〇〇CH2CH2OCH=ai2 (Π — 1) CH2=CH0CH2CH200CNH\ /NHC00CH2CH20CH=CH2

(n —2) CHa=CH0CH2CH20〇CNH·

NHCOOCH2CH2OCH=CH2 (Π — 3)

A----------；-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣

CI^^CHOCH^HzOOCNH

nhcooch2ch2och-ch2 (n-7) ch2=choch2ch2nhc:

NHCNHCH2CHzOCH=CH2 CHa一 (!) (n — 8) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -30- 1263861 A7 B7 五、發明說明（28 ) CH,

CH； CH2=CHOCH2CH2OOCNH·

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) nhc〇〇ch2ch2〇ch=ch2 (Π-11) 另一方面，至於R4之酸安定基，係藉由酸予以脫離生成酚，顯示出不引起溶解速度變化之取代基，可舉出1 ’ 2級烷基，1 ，2級烷氧基，1 ，2級烷氧基羰基，1 ’ 2，3級烷基羰基，芳香基等。且烷基，烷氧基可舉出碳數1〜20，尤指1〜10者，至於芳香基可例示有苯基等。具體而言可舉出甲氧基，乙氧基，丙氧基，環己氧基，乙醯基，三甲基乙醯基，甲基碳酸酯基，乙基碳酸酯基，異丙基碳酸酯基，甲氧基甲氧基等，惟並非受此等所限定者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製再者，R5之伸院基’伸芳香基^其中伸院基宜爲碳數 1〜20，尤宜爲1〜10，伸芳香基宜爲碳數6〜20 ，尤宜爲6〜1 0者，伸烷基及伸芳香基經予組合亦可，含有醚鍵結，酯鍵結亦可◦具體而言，在亞甲基，伸乙基，伸丙基，伸丁基，伸己基，伸環己基，伸辛基，伸苯基等，或此等已鍵結的基，或於此等內已介在一〇 —，一 C〇—，一 c〇〇一之基經予例示，惟以下述之基爲尤宜。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -31 - 1263861 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（29 )

式內，X如上述般，爲單鍵結，或含有單鍵結或羰基亦可的碳數1〜1 0，宜爲1〜8 ，更宜爲1〜6之直鏈狀，枝鏈狀伸烷基，可舉出上述例示者。本發明之高分子化合物，係於上述單位（I I I )之三根鍵結手上各自鍵結有上述重複單位（I )及/或（ I I )之一側的鍵結手，同時另一側之鍵結手與另外的單位（I I I )之鍵結手鍵結的態樣分枝鍵結連鎖成樹枝狀或超枝鏈狀者。此時，上述單位（I )及單位（I I )之合計，以（ I I ) /〔（ I ) + ( I I )〕計爲0〜1 ，惟正片型光阻材料之情形爲0〜0 · 8，較宜爲〇 · 1 5〜0 . 6 ，更宜爲0 · 2〜0 · 5 ，負片型光阻材料之情形，爲〇〜 0 · 8 ，較宜爲〇〜0 · 6 ，更宜爲〇〜〇.5 。本發明之高分子化合物，例如可以下式（A )表示。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —*------：—--------訂---------線"4^" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -32- 1263861 A7 B7 五、發明說明（30 )

P1 R 〇1 (R

㈧ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 y 亦即，單位（I I I )之三根鍵結手上係單位（ I I I )之數z ( ζ係依枝鏈數而異，宜爲1〜1 0〇〇，較宜爲1〜100，更宜爲1〜50) ，a ，b之重複單位，c，d之重複單位，e ，ί之重複單位已鍵結者。在此，R 1，R 2，R 4，R 5係與上述相同，又亦與上述相同。又a — f爲〇或正數，惟a及b ，c及d，e及ί各自不可同時爲〇。且a/(a+b) ，（： /(c + d)， e/(e + f) ，(a + c + e)/(a+b + c + d + e + f)亦在〇〜1之範圍，惟以上與上述（I I)/〔本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -33- 1263861 A7 B7 五、發明說明（31 相互相正 + d ) c + d 0.1 負片型 )，e d + e 更宜爲本量爲510, 1〇〇形， .0 本 + ( 1 1 )〕之說明的情形相同較合適，此等可爲同，亦司不同，尤宜爲下述般。片型光阻材料之情形，a / ( a + b ) ，c / ( c + e + f )各自宜爲〇 5 0 0 更宜爲情 + 光阻材料之情形，a / ( a /(e + f) ，( a + c + +i)各自宜爲0〜0.8 0 . 5以下。發明之高分子化合物，如上述般，其重量平均〇〇〜1〇，〇〇〇，〇〇〇，宜爲1， 00 000 ， 00〇，較宜爲1 ，〇〇〇〜，〇〇〇，更宜爲2，000〜50，000 分子量分布並未予特別限制，惟M w /Μ η = 〜5 · 0 ，以1 · 〇〜3 ·〇爲尤宜。發明之樹枝狀聚合物，超枝鏈聚合物，具體而 b ) ，c / ( c )/ ( a + b + 較宜爲0 · 6以 b + 方面 + d c + 下，分子 0〜。此言可 ---------.-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 /IV 式略槪述下有具出舉者位單複重的示所 Λ)/ 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -34- 1263861 A7 _B7 五、發明說明（32 ) A^·: V· ·Α

-A

V:A

T·.A :Α\ ⑹ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂· — 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製線 I,------------ί — I α— ϋ ϋ _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -35- 1263861 A7 B7 五、發明說明（33 ) > Τ·Α〔 ,1 ,:al:\ . λ

X

V A/ /A/ \ i

\—/ 7 /V (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

λ M

A

A 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 \-1/A\. / 隹 ♦ \A·.,/ A"/./i: :V Z/'V A— —A"A A:、 \ / / T \λ· —f\ A- ♦ WA A1 % IT *: /-A. : ’ V A-- : ，.Αν \ΑΛ:Α-\ VA·: 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -36· 1263861 A7 _________Β7____ 五、發明說明（34 ) (式內’鏈線表示上述重複單位（I )及/或（I I )之聚合物鏈’ A表示上述單位（I I I ) ◦且A — A間之鏈線之點數及單位（I ) ，（ I I )之鍵結數（重複數）係無關的。至於製造與本發明有關的酚衍生物之樹枝狀聚合物，超枝鏈聚合物之方法，在活性聚合中可藉由使具有可聚合成分及停止成分之化合物反應，再進行聚合予以合成。藉由任意的反複此操作可製造出酚衍生物之樹枝狀聚合物，超枝鏈聚合物。若爲活性聚合時，不論何種聚合方法均亦可能。其中尤以活性陰離子聚合作爲可容易控制的聚合方法爲宜。例如採用以一般式（i )表示的單體及/或一般式（ i i )表示的單體，引發活性陰離子聚合，聚合指定量後，使以一般式（i i 1 )表示的化合物（形成枝鏈單體）。其次再度添加以一般式（i )表示的單體及/或一般式 (i 1 )表示的單體，使聚合。藉由重複此操作不下數次 ’可合成出所期待的聚合物。 ----------.—-----—訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -37- 1263861 A7 B7 五、發明說明（35 ) (R2)

\~/ /(\ R)

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -38- 1263861 A7 B7 五、發明說明（36) 在此，R1，R2，R3，X，y係與上述相同。r爲羥基之保護基，R ◦爲單鍵結或碳數1〜2 0，尤其爲1〜 1 0之伸烷基，X爲鹵原子，醛基或烷氧基羰基等◦且上述保護基可舉出有公知者，並未予特別限制者，最後可依常法脫離。進行活性陰離子聚合之情形，至於反應溶劑以甲苯，苯，四氫呋喃，二鸣烷，乙基醚等的溶劑爲宜，以四氫呋喃，二鳄烷，乙基醚等極性溶劑爲宜，可單獨亦可混合2 種以上使用亦無妨。至於引發劑，以第二丁基鋰，正丁基鋰，萘鈉，異丙苯基鉀爲宜，其使用量係與設計分子量成比例。至於反應溫度爲一 80〜100 °C，宜爲一 70〜〇°C，反應時間爲0 · 1〜5 0小時，宜爲0 · 5〜5小時。若表示出採用第二丁基鋰作爲引發劑之情形之反應式之一例時，則如下述般。爲改變枝鏈度，可任意重複下述反應。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂丨經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）線------------·------------ -39- 1263861 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（37)

且於導入酸不安定基之情形，對所得的聚對羥基苯乙烯若以公知的方法導入所期待的酸不安定基或酸安定基至其酚性羥基上時即可。或採用酸不安定基或酸安定基經予導入酚性羥基之羥基苯乙烯衍生物單體如上述般聚合時即 ---------;-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -40- 1263861 A7 __B7_______ 五、發明說明（38 ) 可。導入酸不安定基之情形之製造例如下所示。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) if------- — 訂---------線 -------------.---.-------- -41 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7

.---------；-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -42- 1263861 A7 B7 五、發明說明（4〇 )

改質反應 (請先閱讀背面之汉意事項再填寫本頁) - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

一 ^ I ϋ ϋ l^i n ϋ I I ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ^1 ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ n n ϋ n ϋ ϋ _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -43 - 1263861 A7 B7 五、發明說明（41 )

本發明之樹枝狀聚合物，超枝鏈聚合物之高分子化合物’與通常的線狀高分子化合物在基本上不同，以此高分子化合物用作光阻材料之基底樹脂的情形，聚合物之尺度係與解析度成比例，若減少尺度時，則線狀高分子化合物有強度不足的缺點，惟此高分子化合物係任意的改變聚合物之尺度係有可能的，此高分子化合物係具有可保持強度且可使尺度減小的特徵。因此，給予習用的光阻材料係未有的高解析性，靈敏度，耐電漿蝕刻性優越的光阻材料。本發明之光阻材料雖係採用上述高分子化合物於基底聚合物內者，惟尤其適合的態樣，可作成下述的化學增幅型光阻材料（正片型，負片型）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) iri-----!線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -44- 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（42 ) 化學增幅型正片型光阻材1 (A )上述高分子化合物，且此高分子化合物係鹼不溶性或難溶性，以與酸間之反應形成鹼可溶性之基底樹脂 (B )有機溶劑 (D )酸發生劑化學增幅型負片型光阻材料 (A )上述咼分子化合物，且藉由以交聯劑予以交聯形成鹼不溶性或難溶性之基底樹脂 (B )有機溶劑 (C )酸發生劑 (F )交聯劑此情形，於上述正片型光阻材料內，可配合（D )驗性化合物或（E )溶劑控制劑，於負片型光阻材料內，可配合（D )鹼性化合物。在此’至於本發明所使用的（B )成分之有機溶劑，右爲酸發生劑’基底樹脂，溶解控制劑等可溶解的有機溶劑時不論何者均可◦至於此種有機溶劑，例如可舉出··環己酮，甲基一 2 —正戊基酮等酮類，3 -甲氧基丁醇，3 一甲基一3 —甲氧基丁醇，1 一甲氧基—2 —丙醇，1一乙氧基一 2 -丙醇等醇類。丙二醇單甲基醚，乙二醇單甲基醚，丙二醇單乙基醚，乙二醇單乙基醚，丙二醇二甲酸，二乙二醇二甲基醚等醚類，丙二醇單甲基醚乙酸酯，丙本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） *-----------.—--------訂---------線"41^" (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) -45- 1263861 A7 B7 五、發明說明（43) 二醇單乙基醚乙酸酯，乳酸乙酯，丙酮酸乙酯，醋酸丁酯，3 -甲氧基丙酸甲酯，3 -乙氧基丙酸乙酯，醋酸第三丁基酯，丙酸第三丁基酯，丙二醇單第三丁基醚乙酸酯等之酯類，此等之一種可單獨使用亦可混合二種以上使用’ 惟並非受此等所限制者。在本發明，此等的有機溶劑之中，除光阻成分中的酸發生劑之溶解性最優的二乙二醇二甲基醚或1 一乙氧基- 2 -丙醇，乳酸乙酯之外，宜爲使用安全溶劑之丙二醇單甲基醚乙酸酯及其混合溶劑。至於（C )成分之酸發生劑，可舉出下述一般式（ 1 1 )之鏺鹽，式（1 2 )之二偶氮甲烷衍生物，式（ 1 3 )之乙二肟衍生物，0 -酮基碾衍生物，二硕衍生物，硝基苄基磺酸酯衍生物，磺酸酯衍生物，咪唑磺酸酯衍生物，鹵衍生物等。 (R 3 0 ) , Μ + K (11) (惟，R 3 ^表示碳數1〜1 2之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基，碳數6〜1 2之芳香基或碳數7〜1 2之芳烷基， Μ 1表示碘，锍，Κ 表示非求核性對向離子，b爲2或3 )。至於R30之烷基，可舉出：甲基，乙基，丙基，丁基，環己基，2 -氧基環己基，原冰片基，金剛烷基等。至於芳香基，可舉出有：苯基，對-甲氧基苯基，間-甲氧基苯基，鄰-甲氧基苯基，乙氧基苯基，對第三丁氧基苯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 — ϋ ϋ I ϋ i__i ϋ I ϋ 1 I ϋ I ϋ ϋ ^1 ϋ ^1 ^1 ^1 ί ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ^1 ϋ ϋ ϋ ^1 ^1 ϋ ^1 -46- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1263861 A7 _______B7___ ____ 五、發明說明（44 ) 基’間第三丁氧基苯基等烷氧基苯基，2 -甲基苯基’ 3 一甲基苯基，4 一甲基苯基，乙基苯基，4 一弟二丁基本基，4 -丁基苯基，二甲基苯基等烷基苯基等◦至於芳香烷基，可舉出：苄基，苯乙基等。至於K 非求核性對向離子，可舉出有：氯化物離子，溴化物離子等的鹵化物離子，1 ，1 ，1 一三氟乙烷磺酸酯，九氟丁烷磺酸酯等的氟烷基磺酸酯，對甲苯磺醯酯，苯磺酸酯，4 -氟苯磺酸酯，1 ，2，3，4，5 -五氟苯磺酸酯等芳香基磺酸酯，甲磺酸酯，丁烷磺酸酯等烷基磺酸酯。 n2 R)1— S 02 — C — s 〇2 — R32 (12) (惟R 3 1，R 3 2表示碳數1〜1 2之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基或鹵化烷基，碳數6〜1 2之芳香基或鹵化芳香基或碳數7〜1 2之芳烷基）◦ 至於R31，R32之烷基，可舉出有：甲基，乙基，丙基，丁基，戊基，環戊基，環己基，原冰片基，金剛烷基等。至於鹵化烷基，可舉出有：三氟甲基，1 ， 1 ， 1一三氟乙基，1 ， 1 ， 1一三氯乙基，九氟丁基等。至於芳香基，可舉出有：苯基，對-甲氧基苯基，間一甲氧基苯基，鄰-甲氧基苯基，乙氧基苯基，對-第三丁氧基苯基，間第三丁氧基苯基等的烷氧基苯基，2 -甲基苯基，3 一曱基苯基，4 一甲基苯基，乙基苯基，4 一第三丁基苯基，4 -丁基苯基，二甲基苯基等的烷基苯基。至於鹵化芳香基，可舉出氟苯基，氯苯基，1 ，2，3 ，4，5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -47- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) --------訂—-------線· 1263861 Α7 Β7 五、發明說明（45) 五氟苯基等◦至於芳烷基，可舉出苄基，苯乙基等。 R34 R35 R、 S〇9 — 0 — N C — C N~-~" 〇 — S〇2 —~ R 、） (惟，R 3 3，R 3 1，R 3 5表示碳數1〜1 2之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基或鹵化烷基，碳數6〜1 2之芳香基或鹵化芳香基或碳數7〜1 2之芳烷基。又，R34，R35 係相互鍵結形成環狀構造亦可，形成環狀構造之情形， R 3 4，R 3 5表示各自碳數1〜6之直鏈狀或枝鏈狀之伸烷基）。至於R33，R34，R35之烷基，鹵化烷基，芳香基，鹵化芳香基，芳烷基，可舉出與R31，R32已述者相同的基。且R34，R35之伸烷基，可舉出亞甲基，伸乙基，伸丙基，伸丁基，伸己基等。具體而言，較宜爲採用例如：三氟甲烷磺酸二苯基銚，三氟甲烷磺酸（對第三丁烷基苯基）苯基銚，對一甲苯磺酸一苯基鎭，對甲苯磺酸（對第二丁氧基苯基）苯基鎭，二氟甲院磺酸三苯基硫，三氟甲院磺酸（對第三丁氧苯基）二苯基銃，三氟甲烷磺酸雙（對一第三丁氧基苯基）本基疏’二献甲ί元礦酸爹（對第二丁氧基苯基）硫，對一甲苯磺酸三苯基锍，對甲苯磺酸（對第三丁氧基苯基）二苯基毓’對甲苯磺酸雙（對第三丁氧基苯基）苯基銃，對 -甲苯磺酸（對-第三丁氧基苯基）锍，九氟丁烷磺酸三苯基毓，丁院擴酸三苯基硫，三氟甲院擴酸二甲基硫，對本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) if 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -48 - 1263861 A7 _B7___ 五、發明說明（46 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製甲苯磺酸三甲基锍，三氟甲烷磺酸環己基甲基（2 —氧基環己基）锍，對-甲苯磺酸環己基甲基（2 —氧基環己基 )銃，三氟甲烷磺酸二甲基苯基锍，對甲苯磺酸二甲基苯基銃，三氟甲烷磺酸二環己基苯基锍，對甲苯磺酸二環己基苯基锍等鐵鹽，雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷，雙（對甲苯磺醯基）二偶氮甲烷，雙（二甲苯磺醯基）二偶氮甲烷，雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（環戊基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（正丁基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（異丁基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（正丙基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（異丙基磺醯基 )二偶氮甲烷，雙（第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（正戊基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（異戊基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（第二戊基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（第三戊基磺醯基）二偶氮甲烷，1 一環己基磺醯基一 1 一（第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷，1 一環己基磺醯基一 1 一（第三戊基磺醯基）二偶氮甲烷，1 一第三戊基磺醯基一 1 一（第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍生物，雙-鄰一（對甲苯磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙一鄰一（對一甲苯磺醯基）一 α —二苯基乙二肟，雙一鄰一（對一甲苯擴酸基）一 α — 一哀己基乙一 @亏，雙一鄰一（tef —甲苯磺醯基）一 2 ，3 -戊烷二酮乙二肟，雙一鄰一（對一甲苯磺醯基）一 2 —甲基一 3 ，4 一戊烷二酮乙二肟，雙一鄰—（正丁烷磺醯基）一 α -二甲基乙二肟，雙一鄰一 (正丁院礦釀基）一 α - 一*苯基乙^_•汚’雙一鄰一（正丁本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -49- 1263861 A7 ____B7_____ 五、發明說明（47 ) 烷磺醯基）一 α —二環己基乙二肟，雙一鄰一（正丁烷磺醯基）一 2 ，3 -戊院二酮乙二汚，雙一鄰一（正丁院擴醯基）一 2 -甲基一 3 ，4 —戊烷二酮己二肟，雙一鄰〜 (甲烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙一鄰一（三氟甲烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙—鄰一（1 ，1 ，1 一三氟乙烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙一鄰一（第三丁烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙一鄰一（全氟辛烷磺醯基）一 α -二甲基乙二肟，雙一鄰一（環己烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙—鄰一（苯磺醯基）一 α — 二甲基乙二肟，雙一鄰一（對氟苯磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙一鄰一（對一第三丁基苯磺醯基）一α —二甲基乙二肟，雙一鄰一（二甲苯磺醯基）一 α —二甲基乙二月亏，雙一鄰一（樟腦磺醯基）一α —二甲基乙二肟等的乙二肟衍生物，2 -環己基羰基一 2 -（對甲苯磺醯基）丙烷，2 -異丙基羰基一 2 -（對甲苯磺醯基）丙烷等/3 -酮基硕衍生物，二苯基二砸，二環己基二硕等的二碾衍生物，對甲苯磺酸2 ，6 —二硝基苯甲基，對甲苯磺酸2 ， 4 一二硝基苯甲基等硝基苯甲基磺酸酯衍生物，1 ，2 ， 3 —穸（甲院磺醯基氧基）苯，1 ’ 2 ，3 —參（二氟甲烷磺醯基氧基）苯，1 ，2 ，3 -參（對一甲苯磺醯基氧基）苯等的磺酸酯衍生物，苯二甲醯胺基-三氟甲磺酸酯，苯二甲醯胺基甲苯醯酯，5 -原冰片烯一 2 ，3 —二羧基醯亞胺基一三氟甲磺酸酯，5 —原冰片烯一 2 ，3 -二羧基醯亞胺基正丁基磺酸酯等醯亞胺三苯基锍，三氟甲烷本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) --------訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -線_------------.——^-------- -50- 1263861 Α7 Β7 五、發明說明（48) 磺酸（對第三丁氧基苯基）二苯基銃，三氟甲烷磺酸參（對第三丁氧基苯基）銃，對-甲苯磺酸三苯基锍，對甲苯磺酸（對第三丁氧基苯基）二苯基銃，對甲苯磺酸參（對第三丁氧基苯基）锍等鐵鹽，雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷 ’雙（對甲苯磺醯基）二偶氮甲烷，雙（環己基磺醯基）二偶氮曱烷，雙（正丁基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（異丁基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷’雙（正丙基磺醯基）二偶氮甲烷，雙（異丙基磺醯基 )二偶氮甲烷，雙（第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷等的二偶氮甲烷衍生物，雙一鄰一（對甲苯磺醯基）一 α —二甲基乙二肟，雙一鄰一（正丁烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟等的乙二肟衍生物，三溴酚，二溴樟腦，參（三氯甲基 )，S -三哄係較宜採用◦且上述氧發生劑係可單獨採用 1種或組合2種以上使用。鑰鹽在短形性提高效果上優越，二偶氮衍生物及乙二肟衍生物在駐波降低效果上優越，惟藉由組合二種，可進行輪廓之微調整。酸發生劑之配合量，對全部基底樹脂1 0 0分（重量分，以下同）爲0·2〜15分，以0·5〜8分爲尤宜，若未滿0 · 2分時，則曝光時之酸發生量較少，有靈敏度及解析力低劣的情形，若超過1 5分時，則光阻之透過率降低，有解析力低劣的情形。 (D )成分之鹼性化合物，係由酸發生劑發生的酸適於可抑制在光阻膜中擴散之際之擴散速度的化合物，藉由此種鹼性化合物之配合，使在光阻膜中之酸之擴散速度受本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

ϋ I H ϋ ϋ ϋ n 一-· I I I I I I ϋ ϋ ϋ ϋ I ϋ ϋ n ϋ H ϋ Ik H ϋ I I I I I ϋ I I -51 - 1263861 A7 ------ B7_ 五、發明說明（49 ) 抑制可提高解析度，抑制曝光後之靈敏度變化，降低基板或環境依賴性，可提高曝光餘裕度或圖型輪廓等（日本特開平5 - 2 3 2 7 0 6號，特開平5 — 2 4 9 6 8 3號，特開平5 — 1 5 8 2 3 9號，特開平5 - 2 4 9 6 6 2號 ’特開平5 — 1 5 8 2 3 9號，特開平5 — 2 4 9 6 6 2 號’特開平5 - 2 5 7 2 8 2號，特開平5 — 289322號，特開平5—289340號公報等。至於此種鹼性化合物，可舉出有：第一級，第二級，第三級之脂肪族胺類，混成胺類，芳香族胺類，雜環胺類，具有羧基之含氮化合物，具有磺醯基之含氮化合物，具有羥基之含氮化合物，具有羥苯基之含氮化合物，醇性含氮化合物，醯胺衍生物，醯亞胺衍生物等，惟尤以脂肪族胺合宜使用。具體而言，至於第一級脂肪族胺類，可例示有氨，甲基胺，乙基胺，正丙基胺，異丙基胺，正丁基胺，異丁基胺，第二丁基胺，第三丁基胺，戊胺，第三戊胺，環戊胺，己胺，環己胺，庚胺辛胺，壬胺，癸胺，十二胺，十四胺，亞甲二胺，伸乙二胺，四伸乙五胺等，至於第二級脂肪族胺類，可例示有二甲胺，二乙胺，二正丙胺，二異丙胺，二正丁胺，二異丁胺，二第二丁胺，二戊胺，二環戊胺，二己胺，二環己胺，二癸胺，二十四胺，N，N -二甲基亞甲二胺，N，N —二甲基伸乙二胺，N ，N —二甲基四伸乙戊胺等，至於第三級脂肪族胺類，可例示有三甲胺，三乙胺，三正丙胺，三異丙胺，三正丁胺，三異丁胺本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 f ϋ ϋ ϋ .^1 ϋ ϋ 一：0, I ϋ ϋ -ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 I ^1 ϋ ^1 ϋ ^1 ^1 I ^1 ^1 ^1 ϋ —*^1 ^1 .1 ^1 ϋ ^1 ϋ H ϋ ^1 _ -52- 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（50 ) ，三第二丁胺，三戊胺，三環戊胺，三己胺，三環己胺，三庚胺，三辛胺，三壬胺，三癸胺，三十二烷胺，三十四胺，N，N，N^ —四甲基亞甲二胺，n，N， N ，N —四甲基伸乙—^胺，N，N，N' ，N —四甲基四伸戊胺等。又，至於混成胺類，例如可例示出有二甲基乙基胺，甲基乙基丙基胺，戊胺，苯乙胺，苄基二甲基胺等。至於芳香族胺類及雜環胺類之具體例，可例示出有：苯胺衍生物（例如苯胺，N -甲基苯胺，N -乙基苯胺，N -丙基苯胺，N，N —二甲基苯胺，2 —甲基苯胺，3 —甲基苯胺，4 -甲基苯胺，乙基苯胺，丙基苯胺，三甲基苯胺， 2 -硝基苯胺，3 -硝基苯胺，4 一硝基苯胺，2，4 一二硝基苯胺，2，6 -二硝基苯胺，3，5 -二硝基苯胺，N，N —二甲基甲苯胺等，二苯基（對甲苯基）胺，甲基二苯基胺，三苯基胺，伸苯二胺，萘胺，二胺基萘，吡咯衍生物（例如吡咯，2 Η —吡咯，1 一甲基吡咯，2 ， 4 一二甲基吡咯，2 ，5 —二甲基吡咯，Ν —甲基吡咯等 )，鸣唑衍生物（例如噚唑，異噚唑等），噻唑衍生物（例如噻唑，異噻唑等），咪唑衍生物（例如咪唑，4 一甲基咪唑，4 一甲基一 2 -苯基咪唑等），吡唑衍生物，呋咱（f u r a z a η )衍生物，吡略啉衍生物（例如吧咯啉，2 -甲基一 1 -吡咯啉等），吡咯烷衍生物（例如吡咯烷，Ν 一甲基吡咯烷，吡咯烷酮，Ν -甲基吡咯烷酮等），咪唑啉衍生物，咪唑啉啶衍生物，吡啶衍生物（例如吡啶，甲本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） . L ------------訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -53- 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（51 ) 基吡啶，乙基吡啶，丙基吡啶，丁基吡啶，4 一（丨一丁基戊基）吡啶，二甲基吡啶，三曱基吡啶，三乙基吡啶，苯基吡啶，3 -甲基一 2 —苯基吡啶，4 —第三丁基吼啶，一苯基吡啶，苄基吡啶，甲氧基吡啶，丁氧基吡啶，二甲氧基吡啶’ 1 一甲基一 2 —吡啶酮，4 一吡咯啶基吡啶，：I 一甲基一 4 一苯基吡啶，2 — ( 1 -乙基丙基）吡啶，胺基吡啶，二甲基胺基吡啶等），噠畊（pyndazine )，喻U疋衍生物’吼11井衍生物，吼哗啉衍生物，吼哩D定，四氬吡啶衍生物，哌畊衍生物，嗎啉衍生物，巧丨D朵衍生物，異吲哚衍生物，1 Η -吲唑衍生物，吲哚啉衍生物，喹啉衍生物（例如喹啉，3 -喹啉碳腈等），異喹啉衍生物，噌啉衍生物，喹唑啉衍生物，喹喔啉衍生物，酞畊衍生物，卟啉衍生物，喋啉衍生物，咔唑衍生物，菲啶衍生物，吖啶衍生物，吩畊衍生物，1 ，1 0 -菲繞啉衍生物，腺嘌呤衍生物，腺苷衍生物，鳥嘌呤衍生物，尿嘧啶衍生物，尿畊衍生物等。再者至於具有羧基之含氮化合物，例如可例示有：胺基苯甲酸，吲哚羧酸，胺基酸衍生物（例如尼古丁酸，丙氨酸，精氨酸，天冬氨酸，谷氨酸，甘氨酸’組氨酸，異白氨酸，甘氨醯白胺酸，白氨酸，蛋氨酸，苯基丙氨酸，賴氨酸，3 -胺基吡畊一 2 -羧酸’甲氧基丙氨酸）等’ 至於具有磺醯基之含氮化合物，例示有3 一 D比陡磺酸’對 -甲苯磺酸吡啶姆等，至於具有羥基之含氮化合物’具有羥基苯基之含氮化合物，醇性含氮化合物’可例示出：2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -54- . „------.. —--------訂---------線 —^1^· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1263861 A7 B7 五、發明說明（52 ) 一羥基吡啶，胺基甲酚，2 ，4 一喹啉二醇，3 —吲哚甲醇水合物，單乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，N —乙基二乙醇胺，N，N —二乙基乙醇胺，三異丙醇胺，2 ，2，一亞胺基二乙醇，2 -胺基乙醇，3 —胺基一 1 一丙醇， 4 一胺基—1 一丁醇，4 一（2 —羥基乙基）嗎啉，2 — (2 —羥乙基）吡啶，1 一（ 2 —羥乙基）哌畊，1 一〔 2 — （ 2 —經乙興基）乙基〕喊啡’四氯D比D定乙醇，1 一 (2 —羥乙基）吡咯烷，1 一（ 2 —羥乙基）一2 —吡咯烷酮，3 —四氫吡啶基一 1 ，2 -丙二醇，3 -吡咯烷— 1 ，2 -丙二醇，8 —羥基久洛尼定，1 一甲基一 2 —吡略烷乙醇，1 —氮雜環丙烷乙醇，N — ( 2 —羥基乙基）酞醯亞胺，N -（2 -羥基乙基）異煙醯胺等。至於醯胺衍生物，可例示出甲醯胺，N —甲基甲醯胺，N，N —二甲基甲醯胺，乙醯胺，N —甲基乙醯胺，N，N —二甲基甲醯胺，乙醯胺，N —甲基乙醯胺，N，N —二甲基乙醯胺，丙醯胺，苯醯胺等。至於醯亞胺衍生物，可例示出酞醯亞胺，琥珀醯亞胺，順丁烯二醯亞胺等。再者亦可配合下述一般式（1 4 )及（1 5 )表示的鹼性化合物。 CH?CH,0(R410)sR44 I… N ——CH2CH20(R42〇)tR4：) (14) CHfHAR43。)〆6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂---------線—▲ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -55- 1263861 A7 B7 五、發明說明（53 ) CK2CH20(R4O)sR49 N一CH2CH20(R4S〇)tR50 (1)) Η (式內，R Η，R 4 2，R i 3，R 4 7，R 4 8係各自獨立表示直鏈狀，枝鏈狀或環狀之碳數1〜2 〇之伸焼基’ R ，R 4 5，R U，R 4 9，R 5。表示氫原子，碳數1〜2 0 之烷基或胺基，R44及R45，R45及R46，R44及R46 ，：R 4 4及R 4 5及R 4 6，R 4 9及R 5。係各自鍵結並形成環亦可。S，T，U係各自表示0〜20之整數。惟s ’ T ，11 = 0時，1144，1^45，1^49，尺5°係不含有氫）。在此，R 4 1，R 4 2，R 4 3，R 4 7，R 4 8 之伸烷基，係碳數1〜20，宜爲1〜10，更宜爲1〜8者’具體而言，可舉出有：亞甲基，伸乙基，伸正丙基，伸異丙基，伸正丁基，伸異丁基，伸正戊基，伸異戊基，伸異己基，伸己基，伸壬基，伸癸基’伸環戊基，伸環己基等。又，R Η，R 4 5，R 4 6，R 4 9，R 5 ◦之烷基，爲碳數1〜20 ，宜爲1〜8，更宜爲1〜6者，此等爲直鏈狀，枝鏈狀，環狀之任一者均可。具體而言’可舉出甲基，乙基，正丙基，異丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，正戊基，異戊基，己基，壬基，癸基，十二基，十三基，環戊基，環己基等。再者，R 1 4 及 R 4 5，R 1 5 及 R u，R /1 4 及 R 4 6， R 4 4及R 4 5及R 4 6，R 4 9及R 5 °形成環之情形，其環之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1·^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

一：0V I ϋ n I I I ϋ I i I _ϋ I n l^i ϋ i^i ϋ ϋ ϋ I I I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -56- 1263861 A7 B7 五、發明說明（54 碳數爲1〜的環爲碳數 S，T ^更且爲1 至於上舉出有：參 (甲氧基乙氧基）甲氧 )乙基}胺參{ 2 —( -乙氧基丙基）乙氧基 2 4 —六氧 2 ◦，較宜爲1 1〜6，尤指1 ，U各自爲〇〜〜8之整數。述（1 4 ) ，r 〜8 ，更宜爲1〜6 ，又此等 < 4之烷基爲枝鏈亦可。 20之整數，較宜爲1〜10 15)之化合物，具體而言可經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線 1▲ 甲氧基）乙基}胺，參{2 ，參〔2 (申氧基乙基}胺基}乙基〕胺，參{2 —（2 —甲氧基，參{ 9 氧基 { ( 2 —甲氧基乙乙氧基 1 一甲氧基乙氧基）乙基}胺 1〜乙氧基乙氧氧基）乙基}胺 }乙基丨胺，4 基〜六烷，4，7，環〔8，5，5 —7，1 6 —二 4，1 一氮雜— 3 18 〜十烷，氮雜環十八基）乙基}胺，參{2 —（1 ，參〔 —{( 2 —羥基乙氧，7 2 -一四 1，烷，氮雜環 6，2 8 ， 8 8〕十二氮雜冠狀一 5 氧基—1 ，1 0 — 4，1〇，13 —四氧基 1 一氮雑一 1 2 —冠狀一，1 一氮雜一 1 8 -冠狀 - 6等。以第三級胺，苯胺衍生物，吡啶烷四氫化吡略衍生物，吡啶衍生物，唼啉衍生物，胺基酸衍生物，具有羥基之含氮化合物，具有羥基苯基之含氮化合物’醇性含氮化合物’醯亞胺衍生物，參{ 2 -（甲氧基）甲氧基}乙基}胺，參{ 2 甲氧基乙氧基）乙基丨胺’參 2 —丨（2 —甲氧基乙氧基）甲基}乙基〕胺，1 一 15 -冠狀一 5等爲尤宜。氮雜本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -57- 1263861 A7 B7 五、發明說明（55 ) 且，上述鹼性化合物可單獨使用1種或組合多種以上使用，其配合量對全部基底樹脂1 0 〇分爲〇 · 0 1〜2 分，以0 · 0 1〜1分爲尤宜。配合量若較0 · 1分少時 ’則無配合效果，超過2分時，靈敏度有過於降低的情形〇再者，於本發明之光阻材料內，於分子內可配合 EC — C〇〇H ，宜爲具有一R57— C〇〇H (R57爲碳數1〜1 0之直鏈狀，枝鏈狀之伸烷基）表示的基之芳香族化合物，此爲例如可使用由下述I群及I I群選出的1 種或2種以上的化合物，惟並非受此等所限制者。藉由此成分之配合，可使光阻之P E D安定性提高’可改善氮化膜基板上之邊緣粗糙度。〔I群〕利用一 R57 — C〇〇H (R57爲碳數1〜1〇之直鏈狀，枝鏈狀之伸烷基）取代以下述一般式（1 6 )〜（ 2 5表示的化合物之酚性羥基之氫原子之一部分$ & @ $ 成，且分子內之酚性羥基（C )及三C 一 C Ο 〇 Η表示的基（D)之莫耳比率C/(C+D)二〇 · 1〜1 · 0之化合物。〔I I 群〕以下述一般式（2 6 )，（ 2 7 )表示的化合物。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一：口、· ϋ ϋ I ϋ I I -ϋ I ·ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ .^1 ϋ ϋ ^1 H ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ I I I _ -58- 1263861 A7 B7 五、發明說明（56 U群〕(〇H)tl

(16) R5 R52 (17)

(18) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(19) (2 0) (2 1

一-口T 1 n ϋ— ϋ —ϋ I in I^i ϋ I ϋ ϋ ϋ n I in ·ϋ I ϋ I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -59- 1263861 Λ7 Α7 Β7 五、發明說明（57

(2 2) (2 3) (24) (2 5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 费訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (惟，式中R 1爲氫原子或甲基，R 5 1，R 5 2係各自氫原子或碳數1〜8之直鏈狀，枝鏈狀之烷基或烯基，R 5 3爲氫原子或碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之烷基或烯基，或一（R57)h—C〇〇R〃基）（R>爲氫原子或 -R 5 7 - C Ο Ο Η ) ’ R54 爲一（CH2) , - ( i=2 〜10)，碳數6〜10之伸芳香基，羰基，磺醯基，氧原子或硫原子，R 5 5爲碳數1〜1 〇之伸烷基，碳數6〜 1〇之伸芳香基，羰基，磺醯基，氧原子或硫原子，R 5 6 爲氫原子或碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之烷基，烯基，各自以羥基取代的苯基或萘基，R 5 7爲碳數1〜1 〇之直本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -60 -

ϋ I ϋ —ϋ ϋ i^i am/ ϋ ϋ I m I .1 I i^i I 1263861 B7

五、發明說明（58) 鏈狀或枝鏈狀之伸烷基，R 5 8爲氯原子或碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之烷基或烯基或一 R 5 7 — C〇〇Η。J爲〇〜5 之整數，u ，h 爲 0 或 1。sl ，tl ，t2 ，S3 ，t3， s4， t4係各自滿足sl+tl=8， S2+ = 5 ，83+1:3 = 4，s4+t4 = 6 ，且各苯基骨幹中具有至少一個羥基之數。/5爲式（2 1 )之化合物設爲重量平均分子量1 ，〇〇0〜50〇〇之數，> 爲式 (2)之化合物設爲重量平均分子量1 ’ 〇〇0〜 1〇，〇0〇之數）。

〔I I 群〕 COOH R62 (2 6) (〇Η)ΰ R51^

R57—C〇〇H (2 7) ----^------r-----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R51，R52，R57係表示與上述相同的意義。s 5 5爲s5^0 ，t52〇，滿足s5+t5二5之數至於上述成分，具體而言可舉出有以下述一般式

I I I 1

1 4 及 I V 受此等所限定者 6表示的化合物，惟並非本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -61 - 1263861 A7 B7 五、發明說明（59) 〇R”

Cm一 1〕 CH3

OR” R”〇翁令翁〇R”

Cm - 2] 〔m — 3〕 R”〇

CH2 ch2-coorw

Cm - 4] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) R”〇一〔m — 5〕〇ir

7 1 cm 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 f------- —訂------- ——線------------.——l·------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -62- 1263861 A7 B7 五、發明說明（6〇)

〔瓜一8〕

Cm - 9] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) / *ch2ch-

〇R” [HI 一 10〕經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

〔瓜一11〕

ammmf 1 ϋ .ϋ 1>1 I i^i ea^e ·ϋ an ^ia B··^— ^^1 I ^Mm0 I ^^1 i·— 1 It imt ϋ i·^— Hi Ml ϋ ·ϋ ϋ ^^1 -Bn ^^1 i^i ^^^1 i^i 1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -63- 1263861 A7 _B7 五、發明說明（61 )

(惟，R 〃表示氫原子或CH2C〇OH基，各化合物內 R"之1〇〜1〇〇莫耳％爲〇112〇〇〇11基。α ，冷表示與上述相同的意義）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) if

ν- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Η 〇 -2 IV-

-3 IV-

一一口、I n _1 ϋ ϋ ϋ ϋ 1 I I ϋ ϋ ·ϋ ϋ ^1 ^1 ^1 ^1 ^1 ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ I 1- ϋ ϋ ^1 ^1 I -64- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 Λ7 B7 五、發明說明（62

[IV-4

<〇)—CH2C〇〇H IV-5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 HO—CH2COOH [IV-6 ] 且，上述分子內具有以三c 一 COO H表示的基之芳香族化合物，可採用單獨一種或組合二種以上使用。上述分子內具有以三C 一 C 0 0 Η表示的基之芳香族化合物之添加量，對基底樹脂1 0 0分，爲0 · 1〜5分，較宜爲1〜3分，若較0 · 1分少時，則改善效果未能獲得足夠在氮化膜基板上之末端拉伸及P E D情形，若較 5分多時，則有光阻材料之解析性降低的情形。於本發明之光阻材料內，可添加溶解控制劑作爲（Ε )成分，由而可使對比（c q n t r a s t )度提高。至於溶解控制劑，爲平均分子量1〇0〜1 ，00〇，宜爲15 ◦〜 8 0 〇，且分子內有二個以上酚性羥基之化合物之該酚性羥基之氫原子利用酸不安定基配合整體上以平均0〜 1〇0莫耳％之比例取代的化合物。且，酚性羥基之氫原子之利用酸不安定基之取代率，平均爲酚性羥基全體之〇莫耳％以上，宜爲3 0莫耳％以 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) J—i^_w^--------訂---------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -65- 1263861

A7 B7 五、發明說明（63 ) 上，又其上限爲1 0 0莫耳％，較宜爲8 0莫耳％。此時，至於具有相關的酚性羥基之化合物，以下式 1)〜（XI)表示者爲宜。 (1 ) (ϋ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -66 - 1263861 A7 B7 五、發明說明（64)

R2 R2 (vi) (via) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) MW----

(ix)

一口、I Bi^i —ϋ 1· Βϋ ϋ I Βϋ i^i ^11 ^^1 B^i ϋ ^1 ϋ —ϋ ϋ in ^^1 ϋ ·ϋ i^i I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -67- 1263861 A7 ___________B7___ 五、發明說明（65 ) (惟’式內R 2 1 ’ R 2 2係各自氫原子或碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之烷基或烯基，R 2 3爲氧原子或碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之烷基或烯基，或 —(R27) n— C〇〇H ，R24 爲一（CH2) , - ( i = 2〜10)，碳數6〜1〇之芳香基，羰基，磺醯基，氧原子或硫原子，R 2 5爲碳數1〜1 〇之伸烷基，碳數6〜 1〇之伸芳香基，羰基，磺醯基，氧原子或硫原子，R26 爲氫原子或碳數1〜8之直鏈狀或枝鏈狀之烷基，烯基，各自羥基取代的苯基或萘基，R27爲碳數1〜1 〇之直鏈狀或枝鏈狀之伸烷基。又j爲〇〜5之整數，u，h爲〇或 1。s ，t ·，s / ，t，，s " ，t β 各自滿足 s + t 二 8 ，s ' + t / 二 5 ，s/7 + t，= 4，且各苯基骨幹中具有至少一個羥基之數。α爲以式（v i i i )，( lx)之化合物之分子量設成100〜1 ，000之數）〇至於上式中R 2 1，R 2 2，例如可舉出：氫原子，甲基，乙基，丁基，丙基，乙炔基，環己基，至於R 2 3，例如可舉出：與R21，R22相同者，或一C〇〇H， —C H 2 C〇〇Η，至於R 2 4，例如可舉出：伸乙基，伸苯基，羰基，磺醯基，氧原子，硫原子等，至於R25，例如可舉出亞甲基，或與R 2 4相同者，至於R 2 6，例如可舉出氫原子，甲基，乙基，丁基，丙基，乙炔基，環己基，各自以羥基取代的苯基，萘基等。在此，至於溶解控制劑之酸不安定基’可舉出有：上 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ·ϋ ϋ ^^1 i·— ^^1 I ϋ ^^1 ϋ— ϋ I 1 ϋ ^^1 ϋ ϋ ^^1 ϋ ^^1 I ϋ —ϋ ϋ ^1· ^^1 ^^1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -68- 1263861 A7 B7 五、發明說明（66 ) 述一般式（9 )，一般式（1 〇 )表示的基，碳數4〜 2 0之三級院基’各烷基各自碳數1〜6之三烷基甲矽烷基，碳數4〜2 0之氧基院基等。以酸不安定基部分取代上述酚性羥基之化合物（溶解控制劑）之配合量’對基底樹脂1 〇〇分，爲〇〜5 〇分，宜爲5〜50分，較宜爲10〜；3〇分，可單獨使用或混合二種以上使用。配合量若未滿5分時，則有解析性未提高的情形，若超過5 0分時，則圖型會生成膜減少，有解析度降低的情形。且’上述的溶解控制劑，係與基底樹脂相同的可使酸不安定基進行化學反應至具有酚性羥基之化合物內予以合成。本發明之光阻材料，係爲取代上述溶解控制劑或於其中以重量平均分子量超過1000，在3000以下且分子內具有酚性羥基之化合物之該酚性羥基的氫原子利用酸不安定基予以部分取代成整體上平均0%以上6 0%以下的比例之化合物作爲其他的溶解控制劑。此時，至於以相關的酸不安定基予以部分取代酚性羥基之氫原子的化合物，具有下述一般式（2 8 )所示的重複單位，以由重量平均分子量超過1 ’ 0 0 0且 3，0 0 0以下的化合物選出的一種或二種以上的化合物爲宜。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

J——mw 0 ϋ ϋ ϋ ϋ I ϋ 一5、I ϋ ϋ I ϋ ^1 1 I I ϋ ϋ -ϋ ϋ I ϋ I ϋ I ϋ ϋ ^1 I ϋ ϋ ^1 ϋ I I — ^1 n I -69- 1263861 A7 B7 五、發明說明（67 ) -GH2-CH —

(28) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (惟式內R 1 1表示酸不安定基’ V ’ w爲各自滿足0 ^ V /(▽+曹）‘〇.6之數）。在此，至於溶解控制劑之酸不安定基，可舉出有：以上述一般式（9)，一般式（10)表示的基，碳數4〜 2 〇之三級烷基，各烷基各自爲碳數1〜6之三烷基甲矽院基，碳數4〜2 0之氧基烷基等。上述另外的溶解控制劑之配合量，以與上述溶解控制劑合計的溶解控制劑全體計’對基底樹脂1 〇〇分，爲〇〜5 0分，尤宜0〜3 0分，以採用1分以上的範圍爲佳〇且，上述的另外溶解控制劑，係於具有酚性羥基之化合物內使基底樹脂同樣的與酸不安定基化學反應可予合成〇再者，於本發明之光阻材料內’可配合波長 2 4 8 nm之莫耳吸光率在1 〇，〇 0 〇以下的化合物作爲紫外線吸收劑。由而對反射率不同的基板，具有適當的透過率之光阻即成爲可設計，控制的。具體而言，可舉出：戊搭烯’節，葜，庚搭烯，聯苯撐，苯井二茚，莽，1 ，8 -苯嵌蔡，菲燦，醋蒽烯，芘，萘，茜，紫蘇烯，戊芬，戊省，苯並〔α〕菲，蒽醌，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -70- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-· .^1 ^1 ϋ I .^1 I 一 0、I I ϋ ί ·ϋ I I n ϋ n ϋ ϋ ϋ ϋ n ϋ ϋ ^1 ϋ I ^1 ϋ ·ϋ ϋ I 1263861 A7 B7 五、發明說明（68) 蒽酮苯並蒽酮，2 ，7 —二甲氧基蔡，2 —乙基一 9 ， 10 —二甲氧基蒽，9 ，10 —二甲基蒽，9 —乙氧基蒽，1，2 -萘醌，9 一莽，下述一般式（29) ，（30 )等的縮合多環烴衍生物，硫雜蒽一 9 一酮，噻蒽，二苯，4 一三羥基二苯酮’ 并噻吩等稠合雜環衍生物，2， 3，6-二羥，壬苯酮，4，4' 4 / 一雙（二甲基胺基）二苯酮方酸二甲基酯等方酸衍生物等，二羥基二苯酮，4 ’ 苯酮衍生物，方酸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

(R83)〇 (2 9)

(3 0) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製狀之烷基’直鏈狀或枝鏈狀烷氧基，直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基2 7，直鏈狀或枝鏈狀之烯基或芳香基，R64爲含有氧原子亦可的取代或未取代之二價脂肪族羥基，含有氧原子亦可的取代或未取代之二價脂環式烴基，含有氧原子亦可的取代或未取代之二價芳香族烴基或氧原子，R 6 5爲酸不安定基。J爲0或1。E，F，G各爲0或1〜9之整數’ Η爲1〜1 〇之整數，且滿足e + F + G + HSI 〇更詳細而言，於上述式（2 9 ) (30

R

本紙張尺度適财關家鮮(CNS)A4規格（2iQx 297公釐） 1263861 A7 _____B7 ____五、發明說明（69 ) R 6 3係各自獨立的氫原子，直鏈狀或枝鏈狀之烷基’直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基，直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基烷基，直鏈狀或枝鏈狀之烯基或芳香基，至於直鏈狀或枝鏈狀之烷基，例如以甲基，乙基，正丙基，異丙基，正丁基，第二丁基，第三丁基，己基，環己基，金剛烷基等碳數1〜 1 0者較合適，其中以甲基，乙基，異丙基，第三丁基較宜使用。至於直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基，例如以甲氧基，乙氧基，丙氧基，異丙氧基，正丁氧基，第二丁氧基，第二丁氧基，己氧基，環己氧基等碳數1〜8者較合適。其中以甲氧基，乙氧基，異丙氧基，第三丁氧基較宜採用。至於直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基烷基，例如以曱 1 一乙氧基乙基，1 一乙氧基丙基丙氧 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製二丁氧基乙基等碳數2〜1 〇者較合適，其中基，1 一乙氧基乙基，1 一乙氧基丙基，丄― 等爲宜。至於直鏈狀或枝鏈狀的烯基，以乙烯，烯丙基，丁烯基之碳數2〜4者較合適，至係以本基，一甲苯基，甲苯基，異丙苯基類碳者較合適。 R 6 1爲含有氧原子亦可的取代或未取代之烴，含有氧原子亦可的取代或未取代之二價脂含有氧原子亦可的取代或未取代之二價芳香族子。且式中之J爲Q或1 ，J爲〇時—R6 4 — 單鍵結。至於含有氧原子亦可的取代或未取代之二尺錢料關家標準公楚) 氧基甲基，基乙基，第以甲氧基甲丙氧基乙基基，丙烯基於芳香基，數6〜1 4 二價脂肪族環式烴基，烴基或氧原鍵結部成爲價脂肪族烴

ϋ ϋ 0 ϋ ϋ ϋ «I 1 ^1 ϋ^-r^J ϋ .1 ϋ ^1 ϋ I ϋ ^1 ^1 I I I ^1 ϋ n ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ I ϋ .^1 ^1 I ^1 _ϋ ϋ I -72- 1263861 A7 B7

五、發明說明（70 ) 基，例如亞甲基，伸乙基，伸正丙基，伸異丙基，伸正丁基，伸第二丁基，一CH2〇一基，—Ch2ch2〇一基，一 CH2O CH2 -基類石灰數1〜1 〇者較合適，其中以亞甲基，伸乙基，一 ch2〇一基，—CH2CH2〇一基較宜採用。至於含有氧原子亦可的取代或未取代之二價脂環式烴基，可舉出例如1 ，4 一環伸己基，2 -氧基伸環己烷一 1 ’ 4 —基’ 2 -硫伸^己丨兀一 1 ’ 4 —基之碳數5〜 1 0者。至於含有氧原子亦可的取代或非取代的二價芳香族烴基，例如可舉出：鄰伸苯基，對伸苯基，1 ，2 —伸二甲苯—3 ，6 -基，伸甲苯—2 ’ 5 -基，1 一伸異丙基一 2，5 -基類之碳數6〜14者，或—CH2Ph —基，一 CH2PI1CH2 —基，一OCH^Ph —基，一〇CH2PhCH2〇一基（Ph爲伸苯基）等碳數6〜 1 4之烯丙基伸苯基。又，R 6 5爲酸不安定基，惟在此所謂的酸不安定基，係以在酸之存在下可分解羧基之一種以上的官能基取代者，限於可將在酸之存在下分解且表示鹼可溶性之官能基予以游離者，並未予特別限定者，惟以下述一般式（3 1 a )，（31b) ，（31c)表不的基爲宜。 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 --------— — — — — —--I---.---VI_______ R65 R88 R68 | 一 C—RS3 -Si-RBa 1 -c -0—R69 1 1 R67 R57 (3 1a) (3 1b) (3 1c) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -73- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1263861 A7 _B7____ 五、發明說明（71 ) (式內，R66〜R69爲各自獨立的氫原子，直鏈狀或枝鏈狀之烷基，直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基，直鏈狀或枝鏈狀之烷氧烷基，直鏈狀或枝鏈狀之烯基或芳香基，且此等基在鏈中亦可含有羰基，惟R66〜R69之不可全爲氫原子。又 R 6 6及R 6 7可相互鍵結並形成環。R 6 9爲直鏈狀或枝鏈狀之烷基，直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基烷基，直鏈狀或枝鏈狀之烯基或芳香基，且此等基係包含羰基亦可。又R69係與R 6 6鍵結並形成環亦可）。此情形，上述直鏈狀或枝鏈狀之2 7，直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基，直鏈狀或枝鏈狀之烷氧基烷基，直鏈狀或枝鏈狀之烯基，至於芳香基，可例示出與上述R 6 1〜R 6 3相同者。又於式（3 1 a )，R 6 6及R 6 7相互鍵結並予形成的環，例如可舉出環亞己基，環亞戊基，3 -氧基環亞乙基，3 -氧基—4 一氧雑環亞己基’ 4 一甲基環亞己基等的碳數4〜1 0者。又於式（3 1 b ) ，R 6 6及R 6 7相互鍵結並予形成的環，例如可舉出1 一矽環亞基，1 一矽環亞戊基，3 -氧基一 1 一矽環亞戊基，4 一甲基一 1 一矽環亞戊基等碳數 3〜9者。再者於式（3 1 a ) ，R 6 9及R 6 6相互鍵結並予形成的環，例如可舉出2 -氧雜環亞己基，2 -氧雜環戊己基，2 —氧雜一 4 一甲基環亞己基等碳數4〜1〇者。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -· I I I ϋ ϋ I ϋ^OJ11111 ^ ϋ I — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — -74- A7 1263861 _B7___ 五、發明說明（72 ) 在此，至於以上式（3 1 a )表示的基，以例如第三戊基，1 ，1 一二曱基乙基，1 ，1 一二甲基丁基，1 一乙基一 1 一甲基丙基，1 ，1 一二乙基丙基等碳數4〜 10之三級烷基外，以1 ， 1一二甲基一3—氧基丁基， 3—氧基環己基，1一甲基一3—氧基一4一氧雜環己基等3-氧基烷基較合適。至於上式（3 1 b )表示的基，例如以三甲基甲矽基，乙基二甲基甲矽基，二甲基丙基甲矽基，二乙基甲基甲矽基，三乙基甲矽基，第三丁基二甲基甲矽基等碳數3〜 1〇之三烷基甲矽烷基較合適。至於上式（3 1 c )表不的基’例如以1 一甲氧基甲基，1 一甲氧基乙基，1 一乙氧基乙基，1 一乙氧基丙基，1 一乙氧基異丁基，1 一正丁氧基乙基，1 一第三丁氧乙基，1 一正丁氧乙基，1 一異丁氧乙基，1 一第三戊氧乙基，1 一環己基氧乙基，1 一（2 / —正丁氧基氧乙基 )乙基，1 一（2 —乙基己基氧基）乙基’ 1一 {4 —( 乙氧基甲基）環己基甲基氧基}乙基，1 一 { 4 (第三丁氧基羰基氧基甲基）環己基甲基氧基}乙基，1一甲氧基一1一甲基乙基，1一乙氧基丙基，二甲氧基甲基，二乙氧基甲基，2 -四氫呋喃基，2 -四氫呋喃基等碳數2〜 8者較合適。且，上式（29) ， (30)，丑，？，0各自爲〇或1〜9之正整數，Η爲1〜10之正整數，滿足E + F + G + H S 1 〇◦ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

一口、 — ^1 ϋ I l^i ϋ I ϋ ϋ ϋ n ϋ I I l ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ I I -75- 1263861 A7 B7 五、發明說明（73 ) 至於上式（2 9 例，可舉出以下述（等。，（3 0 )之化合物之較宜的具體 2 a )〜（3 2 j )所示的化合物 COOR70

COOR70

(3 2 c)

COOR 70 COOR 70

OCH2COOR70 (3 2 f ) OCH2COOR70 OCH2COOR71 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

COOR70

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(3 2 j) 式內，R70爲酸不安定基）。又，至於紫外線吸收劑，亦可探用雙（4 -羥基苯基 ΛΨ------- 丨訂---------線IAW------------------------ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -76- 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（74 ) )亞砸，雙（4 一第三丁氧基苯基）亞砸，雙（4 一第二丁氧基羰基氧基苯基）亞砸，雙（4 -第三丁氧基羰基氧基苯基）亞砸7雙〔4 一（ 1 一乙氧基乙氧基）本基〕亞砸等之二芳香基亞砸衍生物，雙（4 -羥基苯基）砸，雙 (4 -第三丁氧基苯基）砸，雙（4 -第三丁氧基羰基氧基苯基）硕，雙〔4 一（1 一乙氧基乙氧基）苯基〕硕，雙〔4 一（ 1 一乙氧基丙氧基）苯基〕砸等二芳香基硕衍生物，苯醌二疊氮，萘醌二疊氮，蒽醌二疊氮，二偶氮荞，二偶氮四氫萘酮，二偶氮菲酮等重氮化合物，萘醌一 1 ，2 -二疊氮一 5 -磺酸氯化物及2，3，4 一三氫二苯酮完全或部分酯化物，萘醌一 1 ，2 -二重氮一 5 -磺酸氯及2，3 ，4 一三氫二苯酮之完全或部分酯化組成物，萘醌一 1,2 —二疊一 4 一磺酸氯，及2 ，4，4/ 一三氫基二苯酮間之完全或部分酯化合物等之醌二疊氮基含有物等。至於紫外線吸收劑，宜爲9 -蒽羧酸第三丁酯，9 -蒽羧酸第三戊基酯，9 -蒽羧酸第三甲氧基酯，9 -蒽羧酸第三乙氧基乙酯，9 -蒽羧酸第三四氫哌喃酯，9 一蒽羧酸第三四氫呋喃酯，萘醌一 1 ，2 -二疊氮一 5 —磺酸氯及2，3，4 一三經基二苯酮之部分酯化合物等。上述紫外線吸收劑之配合量，對基底樹脂1 0 0分，爲0〜10分，較宜爲0 . 5〜10分，更宜爲1〜5分較佳。再者，於本發明之光阻材料，可配合乙炔醇，由而可本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂·--------*5^ I表 -77- 1263861 A7 B7 五、發明說明（75 ) 使貯存安定性提高。至於乙炔醇衍生物’可合適使用以下述一般式（3 3 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) )，（3 4 )表示者。 R72

R71-OC-(3 3) (HCH2CH20)rH

Rn R72 r75—i-oc-i-r73 (3 4)

I I

H-(OCH2CH2)r〇 CKCH2CH2〇>rH (式內，R71，R72，R73，R74，R75各自表示氫原子，或碳數1〜8之直鏈狀，枝鏈狀或環狀之烷基’ X ’ Y表示0或整數，滿足下述値。〇$XS3 0 ’ 0‘Y ‘ 3〇，〇SX + YS4〇。）至於乙炔醇衍生物，宜爲可舉出Safinol 61，Safinol 82, Safinol 104, Safinol 104E, Safinol 104H, Safinol 104A, Safinol TG, Safinol PC, Safinol 440, Safinol 465, Safinol 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 8 5 , (Air Produets and Ch e mical s Inc .製造），〇rfin E1004 ( 日信化學工業股份有限公司製造等。上述乙炔醇衍生物之添加量，爲光阻組成物1 0 0重量％中0 . 0 1〜2重量％，較宜爲〇·〇2〜1重量％。若較0 . 0 1重量％少時則有未能充分獲得塗敷性及儲存安定性之改善效果之情形，若較2重量％多時，則有光阻材料之解析性降低的情形。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -78- 1263861 A7 五、發明說明（76 ) 又至於上述交聯劑（F )(利用酸之作用予以交聯的化合物）’可舉出有：下述的三聚氰胺系化合物，環氧系化口物，尿素系化合物。 CH.OCH, CH^OCH, /N N N、 ch.och/ Ύ Y ^ch2och3 N丫 N CH3OCH2/ ^CH.OCH, >or· 0 丫 \丫、cr 〆 \丫 \〇h (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〇〇 CH3OCH2\ 义 /CH，OCH3 CH3OCH?v

N N N N \_/ \/ N^N CH3〇// ^ 〇CH3 CH.OCH^ Y xCH9OCH, 〇〇

X ch3och2nh /^nhch2och3 利用酸之作用予以交聯的化合物之配合量，對基底樹脂10〇分’宜爲5〜95分，尤宜爲15〜85分，更宜爲2 0〜7 5分。在未滿5分時，欲引起足夠的交聯反應係較困難的，容易招致殘膜率之降低，圖型之扭曲，膨潤等缺點。又若超過9 5分時，有浮渣增加且顯影性惡化的傾向。於本發明之光阻材料，爲使塗敷性提高除上述成分以本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — -79- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1263861 A7 ___Β7__ 五、發明說明（77 ) 外可添加慣用的界面活性劑作爲任意成分。且任意成分之添加量，可在不妨礙本發明之功效的範圍內可設成通常景〇在此至於界面活性劑，以非離子性者爲宜，可舉出全氟烷基聚環氧乙烷乙醇，氟化烷基酯，全氟烷基胺氧化物，含氟有機矽氧烷系化合物等。例如可舉出：Flolard 「 FC-430」，「FC-431」（任一者均爲住友3 Μ股份有限公製造），Surflon 「S-141」，「S-145」，「S-381」，厂 S- 3 8 3」（任一者均爲旭硝子（玻璃）股份有限公司製造），Unidain 「DS-401」，「DS-403」，「DS-451」（任一者均爲Daikm工業股份有限公司製造），Megafac 「F-8151 」，「 F-171 」，「 F-172 」，「 F-173 」，「 F-177 」 (任一者均爲大日本油墨工業股份有限公司製造），「X — 70-092」，「X-70-093」（任一者均爲信越化學工業股份有限公司製造）等。宜爲可舉出Flolard 「FC-430」（住友3 Μ股份有限公司製造），「χ_70_093」（信越化學工業股份有限公司製造）。使用本發明之光阻材料並形成圖型時，可採用公知的微影術進行，例如於矽晶圓等的基板上以旋塗等技巧塗布成膜厚成0 · 2〜2 · 0 // m，以此在熱板上預烘烤6 0 〜150°C 1〜1〇分鐘，宜爲80〜120°C，1〜 5分鐘。其次將供形成目的之圖型而用的掩膜罩住於上述的光阻膜上，照射波長3 0 〇 n m以下的遠紫外線，激態雷射’ X射線等高能量線或電子射線至成爲曝光量1〜本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線-----------------·------- -80 - 1263861 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（78 ) 2〇〇mJ/cm2程度，宜爲1〇〜1oQmj/cm2 程度後，在熱板上進行6 〇〜1 5 〇 X：，1〜5分鐘，宜爲8 0〜1 2 0°C ’ 1〜3分鐘後曝光烘烤（postexposure bake，PEB ) ◦再者採用0 · 1〜5%，宜爲2〜3%氫氧化四甲基錢（T M A Η )等的鹼水溶液之顯影液，利用 0 · 1〜3分鐘’且爲〇 · 5〜2分鐘，浸漬（dip )法，漿葉（paddle )法’噴布法等的常法予以顯影使於基板上形成目的之圖型。且’本發明材料係尤其在高能量線中最適於2 5 4〜1 4 6 n m之遠紫外線或激態雷射，X射線及電子線之微細圖型化處理。又，上述範圍由上限及下限逸出的情形，未能製得目的之圖型。發明之功效本發明之光阻材料，係具有足夠的解析力，線邊|彖半且糙度小，具有優越的乾鈾性，用作化學增幅型光阻材料係有效的，又此情形不僅正片型亦採用於負片型，賦與丨憂g 的解析度。〔實施例〕以下舉出合成例，實施例及比較例，具體的說明Φ胃明，惟本發明並非受下述的實施例所限制者。合成例1 枝鏈聚（對-羥基苯乙烯）之合成於1 L之燒瓶內饋入溶劑四氫呋喃5 〇〇 m L，引發 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) ---------訂---------線« 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 A7 B7 五、發明說明（79) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 劑第二丁基鋰〇 · 0 1 m 0丨。於此混合溶液內在 - 7 8 °C添加對第三丁氧基苯乙烯3 0 g，攪拌3 0分鐘並使用時聚合，此反應溶液係呈現紅色。再者爲作成枝鏈聚合物，添加對-氯甲基苯乙烯1 5 g，攪拌3 0分鐘同時使其聚合◦聚合停止反應係於反應溶液內添加甲醇〇· 1 m ο 1並進行。其次，爲精製聚合物，將反應混合物注入甲醇中，使所得的聚合物沈澱後，分離並使乾燥時，可得2 9 g之白色聚合物（三枝鏈之聚對第三丁氧基苯乙烯）。再者，爲作成三枝鏈聚（對羥基苯乙烯，將上述三枝鏈之聚對第三丁氧基苯乙烯2 9 g溶於丙酮3 0 OmL內，在6 0 °C加入少量的濃鹽酸並攪拌7小時後，注入水，使聚合物沈澱，淸洗，乾燥後，而得1 8 g之聚合物，又由利用G P C之分析，以1 Η - N M R未能觀測出源自第三丁基之波峰而得的聚合物可予確認出分子量分布狹窄的三枝鏈聚（對羥基苯乙烯）。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〔合成例2〕三枝鏈聚（部分乙氧基乙氧基化對羥基苯乙烯）之合成使合成例1而得的三枝鏈聚羥基苯乙烯1 0 g溶解於四氫呋喃1 0 0 m L內，添加觸媒量之甲烷磺酸後，在 2〇°C攬拌，同時添加乙基乙烯基醚3 g ◦使反應1小時後利用濃氨水中和，滴下中和反應液至5 L水中時，而得白色固體。將此過濾後，使溶解於1 〇 0 m L內，滴下入本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公董） -82 - 1263861 A7 B7 五、發明說明（8〇) 5 L水中，過濾後，予以真空乾燥。所得的聚合物係由1 Η - N M R特定出三枝鏈聚羥基苯乙烯之乙氧基乙基之取代率（後述的聚合物1 )。〔合成例3〕三枝鏈聚（對第三丁氧基羰基氧基苯乙烯-對-羥基苯乙烯）之合成使合成例1而得的三枝鏈聚羥基苯乙烯2 0 g溶解於 2 0 0 m L吡啶內，在4 5 °C攪拌並同時加入二碳酸二第三丁基1 0 g。使反應1小時後，將反應液滴下3 L水中，而得白色固體。將此過濾後，使溶解於1 0 0 m L丙酮內，滴下入5 L水內，過濾後使真空乾燥，而得聚合物。由1 Η - NMR特定出三枝鏈聚羥基苯乙烯之羥基之氫原子之t 一 Β〇C化率（後述的聚合物4 )。〔合成例4〕九枝鏈聚（對羥基苯乙烯）之合成於2 L燒瓶內饋入溶劑四氫呋喃1 〇〇〇 m L，引發劑第二丁基鋰〇 · 〇 6 m ο 1。於此混合溶液內添加一 7 8°C對第三丁氧基苯乙烯6 0 g。攪拌3 0分鐘並使聚合。此反應溶液呈現紅色。再者爲作成三枝鏈聚合物，添加對氯甲基苯乙烯0 · 0 3 m 〇 1 ，反應5分鐘。於此反應溶液內添加對第三丁氧基苯乙烯3 〇 g ，攪拌3 0分鐘並同時使其聚合。此反應溶液呈現紅色。其次爲作成五枝鏈聚合物，添加對氯甲基苯乙烯0 . 〇 3 m ο 1 ，反應 5分鐘，於此反應溶液內添加對第三丁氧基苯乙烯1 5 g 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 --------訂---------線—^^------------------------ -83 - 1263861 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（81) ’攪拌3 0分鐘並同時使其聚合。此反應溶液呈現紅色。最後爲作成九枝鏈聚合物，添加對氯甲基苯乙烯 0 · 0 1 5 m 0 1 ，反應5分鐘，於此反應溶液內添加對第三丁氧基苯乙烯7 · 5 g ，攪拌3 0分鐘並同時使其聚合。此反應溶液呈紅色。其次再添加對第三丁氧基苯乙烯1 〇 g ，攪拌3 0分鐘並同時使其聚合。聚合停止反應後於反應溶液內添加二氧化碳氣體0·lmo1予以進行。其次爲精製聚合物，於甲醇中注入反應混合物，使所得的聚合物沈澱後，分離並使乾燥時，而得9 9 g之白色聚合物（九枝鏈之聚對第三丁氧基苯乙烯）。再者’爲作成九枝鏈聚（對羥基苯乙烯），將上述九枝鏈之聚對第三丁氧基苯乙烯9 9 g溶解入丙酮1 0 0 〇 m L內，在6 0 °C加入少量的濃鹽酸並攪拌7小時後，注入水，使聚合物沈澱，淸洗，乾燥後，而得6 6 g之聚合物。又由GP C分析，以1 H — NMR源自第三丁基之波峯未予觀測一事可予確認出所得的聚合物在分子量分布較狹窄的九枝鏈聚（對羥基苯乙烯）。〔合成例5〕九枝鏈聚（部分乙氧基乙氧基化-對-羥基苯乙烯）之合成於2 L燒瓶內使所得的九枝鏈聚（對羥基苯乙烯） 9 9 g溶解於1 0 0 0 m L四氫呋喃內，添加觸媒量之甲院礦酸後在2 0。(3擾伴並同時添加乙基乙細基醚2 5 g。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）一-口，11111111 I — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — I. -84 - 1263861 A7 B7 五、發明說明（82) 使反應2小時後，利用濃氨水予以中和，將中和反應液滴下入1 0 L水中時’而得白色固體。將此過濾後，使溶解於丙酮5 0 0 m L內，滴下入1 〇 l水內，過濾後，真空乾燥而得聚合物，由1 Η - NMR之分析，可特定出乙氧基乙基之取代率（後述的聚合物3 )。且，後述的聚合物2 ，4，6〜1 1亦以上述方法爲準予以製造。又，聚合物5再以1 ，4 一丁二醇二乙烯醚予以交聯而製得。〔實施例，比較例〕將聚合物1〜1 7所示的部分羥基爲酸不安定基保護的聚烴基苯乙烯，及P A G 1 ，2，3表示的酸發生劑，與P A G 1 ，2，3表示的溶解控制劑溶解於交聯劑之固形分6倍重量的丙二醇單曱基醚乙酸酯（P G Ε Μ A )內 ’製備光阻組成物，再利用以0 · 2 // m聚四氟乙烯製濾網過濾各組成物，製備光阻液。於矽晶圓上將D U V - 3 0 (日產化學製造）製膜成 5 n m且以Kr F光（248m)抑壓反射率至1%以下的基板上並旋塗所得的光阻液，採用熱板，在1 0 0 °C烘烤9 0秒鐘，將光阻之厚度作成0 · 5 5 // m厚。採用激態雷射步進器（excimer laser stepper )( Nikon 股份有限公司製造，S - 202A，NA-〇 · 6)曝光此膜，曝光後立即在1 1 0 °C烘烤9 0秒鐘，以2 · 3 8 重量％之氫氧化四甲基銨水溶液進行6 0秒鐘顯影，而得本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

— · ϋ ϋ !· ϋ ϋ I ϋ 一表口、» ϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ I I ϋ ϋ ^1 I 1 ϋ I ϋ H ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ I -85- 1263861 A7 B7 五、發明說明（83) 正片型圖型。依下述方式§平估所得的光阻圖型。結果不於表1 ，2 〇 g平估方法用測長S E Μ (日立製作所製造的s - 7 2 8 0 )求取以1 : 1解析0 · 2 5 // m之線及空間的曝光量，以此値爲最適曝光量（Ε ο p )，以在此曝光量分離的線及空間之最小線幅爲評估光阻之解析度。又以上述測長S Ε Μ觀察〇 · 2 5 // m線之側面的凹凸。在耐乾蝕性之試驗，以下述的條件評估光阻之旋塗後的晶圓。以C H F 3 / C F 4系氣體之蝕刻試驗：採用東京電子股份有限公司製造乾飩刻裝置Τ Ε - 8 5 Ο Ο Ρ ’以原子間力顯微鏡（A F M : Digital Instrument 公司 ’ D — 5 Ο Ο )測定蝕刻前後的光阻之膜厚差與乾蝕後的光阻表面之凹凸。飩刻係如下述般。室壓 3〇〇m Torr

RF功率 13〇〇W 間隙 9mm C H F 3氣體流量 3 0 s c c m CFd氣體流量 3〇seem 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格mo X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線— ▲ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -86 - 1263861五、發明說明（84A r氣流量時間聚合物枝鏈數 A7 B7 〇 0 s c c m 6 0 s e c

b (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇、/〇、

OH b =〇.3:0. 7， Mw = 1 1，〇〇〇，Mw/M n = 1 . 2 0 -CHCH：經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 H c 8 g

— · -^1 ϋ a^— ί I / 一一口、1 ϋ ϋ i^i ϋ I I ϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ —ϋ ϋ ·ϋ ϋ ^1 ϋ I —^1 ϋ ·ϋ I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -87- 1263861 A7 B7 五、發明說明（85)聚合物2 枝鏈數5

b

CX /0 OH b = 〇. 2 6:0. 74，M\v=ll，〇〇〇， Mw/M n = 1 . 3 〇

g g二 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 — ϋ I B^i ϋ ϋ ϋ 一 0、 ϋ ί ϋ ϋ ϋ ^1 I I I ϋ ^1 ϋ ^1 ^1 ϋ 1· ϋ ^1 I · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -88- 1263861 A7 B7 五、發明說明（86 ) 聚合物3 枝鏈數

b /〇、

OH (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

b = 〇. 2 4:0. 76, Mw-1 2, 000, Mw/M -chch2-

r^S CH' n = 1 . 4 〇經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -89- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 A7 _B7 五、發明說明（87 ) 聚合物4 枝鏈數3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Μ 4 7 〇 6 2 〇 II b Μ 〇〇〇 ηΜ 〇 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

g g --------訂---------線· 一本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -90- 1263861 A7 __B7 五、發明說明（88 ) 聚合物5 已交聯枝鏈數3之聚合物

〇經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

6〇〇3 〇2 g

·-------------.---9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線 -----------I-——.-------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -91 - 1263861 五、發明說明（89) 聚合物6 枝鏈數 A7 B7

b (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •9 Μ，，〇〇〇， Mw/Mn二=1· 2〇 -chch2-ch2—— g g 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

一 δ、 ·ϋ ϋ _ϋ ϋ I ϋ ϋ ^1 ϋ ^1 ϋ ^1 ·ϋ —.1 ϋ I I ^1 1^— ϋ 1^— ^1 ϋ ϋ I. ϋ ϋ ϋ I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -92- 1263861 A7 五、發明說明（9〇) 聚合物7 枝鏈數5

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 費

Mw- 11, 〇〇〇, Mw/Mn - 1 . 3 0

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製訂---------fp------------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -93 - 1263861 五、發明說明（91) 聚合物8 枝鏈數 A7 B7

b chch2- ί^Ί ch2- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .§--------t--------------------------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -94- 1263861五、發明說明（92)聚合物9 枝鏈數 A7 B7

b b = 〇. 2 0:0. 80, Mw— 1 2, 000, Mw/Mn— 1. 8 0 -chch2-ch2— g g = 1 6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -95- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 A7 B7 五、發明說明（93 聚合物1 〇枝鏈數

〇、/〇

OH

〇 a:b = 〇. l〇：〇. 9〇，Mw = 1 1，〇〇〇，Μ\ν/Μ η = 1 . 2 0 - chch2- ch2· g g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 — ϋ ^^1 ^^1 1^1 ϋ ϋ ^^1 11 .^1 ^^1 i^i I I ϋ ^1 n ϋ ϋ ϋ I 1.— I n ^^1 .^1 I ϋ —ϋ ϋ i^i ·.1· ϋ ϋ ϋ _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -96- 1263861 A7 B7 五、發明說明（94) 聚合物1 1 枝鏈數〇、〇

b

OH (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) a:b = 〇. 10:0. 90， Ml· ，〇 0 0，M w/M n =1 . 2 〇

g g

τ—I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -97- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1263861 五、發明說明（95) 聚合物1 2 線狀聚合物 A7 B7

b

CX /0\ OH (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) a ; :b = 〇. 3 5 .65 : ，M w 聚合物1 3 線狀聚合物

OH

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 a : b 二0. 26:〇· 7 4， M w = 1 1，〇〇〇，m w/M n == 1 . 2 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

b -98- 1263861 A7 B7 五、發明說明（96) 聚合物1 4 線狀聚合物

b 〇、 /〇、

XX OH (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

c 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

:w aM c 4 ow :M 5 ， 2〇 • o 〇〇

9 n 6 M 〇2 6〇〇1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -99- 1263861 A7 B7 五、發明說明（97) 聚合物1 5 線狀聚合物

1) b = 1 .〇0， M\v二11， 0〇0， Mw/Mn 二 1. 1 0 聚合物1 6 線狀聚合物

b Οχ. 力

OH ---------：—--------訂---------u^___w (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〇

a ： b 1 0 : 〇· 9 0, Mw- 117 〇〇〇? Mw/Mn- 1 . 1 〇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -100- 1263861 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（98 ) 聚合物1 7 線狀聚合物

〇 a.b 〇.1〇.〇· 90, Mw=l 1? 000, Mw/Mn^l. 1〇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -101 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1263861 A7 B7 五、發明說明（99)

S CFrS03— (PAG1)

(ch3)3c o3s— (PAG2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

lil^ 8

(PAG3) 訂---------線—« 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -102- 1263861 A7 B7 五、發明說明（1〇〇)

o ch3 II I 0-C-0-C-CH3 CH, o ch3 II I O-C-O-C-CH, (DRR2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) CH, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） -103 1263861 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（101) 交聯劑（C r 〇 s s 11 n k e r

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -104- 1263861 A7 B7 五、發明說明（1〇2) [表1] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製實施例光阻材料組成物括弧內：組成比 (單位：重量部）靈敏度 (mJ/cm2) 解析度 (// m ) 線邊緣粗糙度 (nm) 蝕刻速度 (A/mm.) 鈾刻之表面粗糙度 (nm) 基底樹脂酸發生劑鹼性化合物溶解控制劑交聯劑 1 聚合物 1(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 30 0.17 5 1620 5 2 聚合物 2(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 35 0.19 6 1610 4 3 聚合物 3(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 32 0.18 4 1600 4 4 聚合物 4(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 38 0.18 2 1580 3 5 聚合物 5(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 33 0.18 3 1610 5 6 聚合物 6(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 34 0.17 5 1610 4 7 聚合物 7(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 30 0.18 6 1630 5 8 聚合物 8(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 34 0.18 6 1610 4 9 聚合物 9(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - 交聯劑 (10) 30 0.18 9 1520 8 10 聚合物 10(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - 交聯劑 ⑽ 34 0.18 7 1520 8 11 聚合物 11(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - 交聯劑 (10) 30 0.18 8 1530 9 12 聚合物 1(80) PAG1(2) 正丁基胺 (0.1) - - 34 0.19 4 1610 5 13 聚合物 1(80) PAG3 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 30 0.19 6 1620 5 14 聚合物 1(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) DRR1 (10) - 34 0.18 6 1660 6 15 聚合物 2(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) DRR1 (10) - 30 0.18 5 1650 7 16 聚合物 2(80) PAG2(2) 三乙醇胺 (0.1) - - 30 0.17 4 1630 5 17 聚合物 2(80) PAG2(2) TMMEA (0.2) - - 30 0.17 4 1630 5 18 聚合物 (80) PAG2 ⑵ TMEMEA (0.3) - - 30 0.17 3 1620 4 r—--------tr---------^ uew (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -105- 1263861 A7 B7 五、發明說明（1〇3) [表2] 比較例光阻材料組成物括弧內：組成比 (單位：重量部）靈敏度 (mJ/cm2) 解析度 (β m ) 線邊緣粗糙度 (nra) 蝕刻速度 (A/min.) 蝕刻之表面粗糙度 (nm) 基底樹脂酸發生劑鹼性化合物溶解控制劑交聯劑 1 聚合物 12(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 30 0.17 10 1750 10 2 聚合物 13(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 35 0.19 9 1680 12 3 聚合物 14(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 32 0.18 10 1702 13 4 聚合物 15(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - 交聯劑 (10) 30 0.24 20 1600 15 5 聚合物 16(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - 交聯劑 (10) 34 0.24 22 1620 16 6 聚合物 17(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - 交聯劑 (10) 30 0.24 23 1630 15 7 聚合物 12(80) PAG1 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 34 0.19 8 1690 10 8 聚合物 12(80) PAG3 ⑵ 正丁基胺 (0.1) - - 30 0.19 9 1690 11 9 聚合物 12(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) DRRl(lO) - 34 0.18 10 1710 12 10 聚合物 12(80) PAG2 ⑵ 正丁基胺 (0.1) DRR2(10) - 30 0.18 9 1720 15 11 聚合物 12(80) PAG2 ⑵ 三乙醇胺 (0.1) - - 30 0.17 10 1720 12 12 聚合物 12(80) PAG2 ⑵ TMMEA (0.2) - - 30 0.17 8 1710 14 13 聚合物 12(80) PAG2 ⑵ TMEMEA (0.3) - - 30 0.17 7 1730 13 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 106- 1263861 A7 ____ B7 五、發明說明（1〇令由表1 ，2之結果得知，採用本發明之高分子化合物的光阻材料，係滿足足夠的解析力及靈敏度，尤其由實施例9 ，1 〇，1 1與比較例4，5 ，6之例顯而得知，與線狀聚合物相比，於負片型光阻之解析力高，線邊緣粗糖度小，蝕刻前後之膜厚美不僅小且鈾刻後的表面凹凸較小 ’得知具有優越的耐乾蝕性。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -107-

Claims

1263861 8 8 8 8 ABCD

六、申請專利範圍第89 ] 0 5 3 9 8號專利申請案1 中文申請專利範圍修正本民國9 3年Π月22日修正 1 . 一種光阻材料，其特徵在於含有由酚衍生物之樹丰支狀聚合物或超樹枝狀聚合物而成的重量平均分子量 5〇〇〜1〇，〇〇〇，〇〇〇之高分子化合物爲基底聚合物，該高分子化合物係由下述重複單位（I )及/或重複單位（I I ).與重複單位（I I I )所成者：單位（I ): 夸、* ：1'| XJ A

(1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(2) 式中，R1表示氫原子或甲基，R 2表示相|司或+ 碳數1〜3 0之直鏈狀，支鏈狀或環狀的烷基，同種之或碳數本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29<7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1263861 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍〜3 0之芳香基；R 3表示〇R 4基，R 4表示酸不安定基或酸安定基；X爲0或正整數，y爲1 ，滿足X + y S 5 之數）；單位（I I I )爲下式（3 a ) ——

X- (式中，X表示單鍵，或可含羥基或羰基之碳數1〜1 0 之直鏈狀或分枝狀的伸烷基）。 2 .如申請專利範圍第1項之光阻材料，其中該R 4之酸不安定基係選自以下述式（9 ) ， (10) 表示的基，碳數4〜4 0之三級烷基，及下述一般式（ Qa)或（Qb)表示的基，〇II , -(CH2)a-C-0-R6 (9) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R—CIR 9 R I ο 8 \—/ 〇 (式中，R 6表示碳數4〜4 0之三級烷基，烷基分別爲碳數1〜6之三烷基甲矽烷基，碳數4〜2 0之氧基烷基， a表示0〜1 0之整數，R 7表示氫原子或直鏈狀，支鏈狀 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 1263861 A8 B8 C8 D8 -、申請專利範圍一或環狀之碳數1〜1 0之丨充® 直鏈狀，支鏈狀或環狀之碳_ 鍵結形成環）R( R'~C~i〇-Ru\ 0*A j-0-(Rm-0)d-

IT R (Qa) R 9表示相互獨立的〕之烷基，或可相互 R" R· R， >C-0-RM,-B-A[.B>Rn,-0-C*lTr I 1 IR" R" (Qb) (式中，R / ，R 〃表示氫原子或碳數支鏈狀或環狀之烷基，或R /及R 〃亦時，R 〃，R 〃係表示碳數1〜8之直烷基，R 表示碳數1〜1 〇之直鏈狀伸烷基，d爲〇或1〜10之整數，A 〜5 0之脂肪族或脂環飽和烴基，芳香這些基可介在雜原子，又鍵結於該碳原 1〜8之直鏈狀，可形成运’形成環鏈狀或支鏈狀之伸，支鏈狀或環狀之表示C價之碳數1 族烴基或雜環基，子之氫原子的一部分可被羥基，羧基，醯基或鹵原子所取代，B爲- C〇 — 〇 NHCO —〇一或一NHCONH 爲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一項之光阻材料的不溶性或難溶性， 8，c /爲1〜7之整數）。 3 ·如申請專利範圍第1項之光阻材料，其中該子化合物係利用活性陰離子聚合而得者。 4 · 一種化學增幅正型光阻材料，其特徵係含有 A )申請專利範圍第1項至第3項中任高分子化合物，且此高分子化合物係鹼與酸反應成爲鹼可溶性的基底樹脂，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公錶 - 1263861 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 ~~~ (B )有機溶劑 (C )酸產生劑。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 ·如串請專利範圍第4項之光阻材料，係已摻合（ D )鹼性化合物。 6 ·如申請專利範圍第4項或第5項之光阻材料，係已摻合（E )溶解控制劑。 7 · —種化學增幅負型光阻材料，其特徵係含有：（ A )申阳專利範圍第1項至第3項中任一項之光阻材料之局分子化合物.，且利用交聯劑交聯成爲鹼不溶性或難溶性之基底樹脂 (Β )有機溶劑 (C )酸產生劑 (F )交聯劑。 8 ·如申請專利範圍第7項之光阻材料，係已摻合（ D )驗性化合物。 9 · 一種形成圖型之方法，其特徵係：含有 (1 )於基板上塗布如申請專利範圍第4項至第8項中任一項之光阻材料的步驟，經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (1 1 )其次加熱處理後，經由光罩以波長5 〇〇 η m以下的高能量線或電子射線曝光的步驟，及 (1 1 1 )必要時，加熱處理後，使用顯影液顯影的步驟。本紙張尺度朝標準（CNSTT^ ( 21GX297公釐)^