TWI262742B - Method for manufacturing organic electroluminescence device and electronic apparatus - Google Patents

Description

1262742 (1) 九、發明說明 t胃0月所屬之技術領域】 本發明係有關於一種有機電激發光裝置之製造方法及 電子裝置。 本案針對2 004年4月27日所申請之日本國專利申請 第2004-130867號主張優先權，在此則援用其內容。 【先前技術】 近年來，在筆記型個人電腦、行動電話、電子PDA 等的電子機器中，則提出有讓有機電激發光（以下稱爲有 機EL)元件對應於畫素以作爲顯示資訊之手段的有機EL 裝置等的顯示裝置。 該有機EL裝置的其中一者則有被動矩陣型（單純矩 陣型）的有機EL裝置。一般而言該被動矩陣型的有機EL φ 裝置具備有：多個被形成在基板上而在一定的方向呈帶狀 而延伸的第1電極、多個呈帶狀地被配置在相對於該第1 電極呈直交的方向上的第2電極、及在第1電極與第2電 極的交差領域中被第1電極與第2電極上下所挾持的有機 機能層。該有機機能層則包含有當電流在第1電極及第2 電極流動時會發光的發光層，而被動矩陣型的有機E L裝 置則是藉由對應於1個畫素具備有多個包含有發光層的有 機機能層而構成。 但是該被動矩陣型的有機EL裝置的第2電極一般則 是藉由真空電鍍法而形成。根據該真空電鍍法，如周知般 -4- (2) 1262742 ，如特開平1 1 - 8 7 0 6 3號公報所示般，在形成第2電極之 範圍的彼此間根據一定的厚度設有隔離件，藉由從相對於 基板面呈垂直方向或斜方向蒸鍍第2電極材料而將第2電 極彼此間加以隔離。又，當藉由液滴吐出法來形成有機機 能層時’則將有機機能層材料吐出到露出在上述隔離件彼 此間的第1電極上，之後則藉由乾燥而形成有機機能層。 然而，在上述的習知技術中會存在有以下的問題。一 般而言，藉由真空蒸鍍法等來成膜時，當將膜厚變厚時， 則有時候會因爲膜應力等而發生剝離、或爲了要長時間地 成膜而使得發光層因爲來自蒸鍍源的輻射熱而惡化。因此 ，藉由真空電鍍法所形成的陰極的膜厚會受到限制而變薄 '。因此不得不加大電極的電阻。 ^ 當陰極得電阻大時，因爲電壓降愈是接近於顯示領域 之中央的部分，則被施加在有機EL元件的電壓會變得愈 # 低，而因此會產生輝度不均的情形。該電壓降對於大型的 有機EL顯示裝置的情形會更加顯著，而產生顯示品質降 低的問題。 在此則檢討例如利用液滴吐出方式來形成電極的情形 。該液滴吐出方式則例如隔著間隔而設置多個的間隔壁， 藉由將包含有導電性微粒子的液滴吐出·燒成在位於該些 間隔壁之間的膜形成領域而形成線狀的電極，相較於蒸鍍 方式能夠藉由使電極厚膜化來減小電阻° 但是在該構成中會有液滴從膜形成領域流出而使得隔 著間隔壁所形成之相鄰的電極彼此之間在間隔壁的長度方 (3) 1262742 向端部發生接觸的顧慮。此時則成爲電極彼此在電氣上連 接而發生短路的原因。 【發明內容】 本發明則是考慮到上述點而提出，其目的在於提供一 能夠防止因爲以液滴吐出方式所形成的電極彼此發生接觸 φ 所產生之短路的有機電激發光裝置之製造方法及利用該製 造方法所製造的電子機器。 爲了要達成以上的目的，本發明採用以下的構成。 本發明之有機電激發光裝置之製造方法，主要是一具 有：如挾持著基板上的膜形成領域般地形成間隔壁的過程 / 、及將含有電極形成材料的液滴吐出到上述膜形成領域的 過程的有機電激發光裝置之製造方法，其特徵在於；具有 在上述間隔壁的端部附近形成用來區隔上述膜形成領域與 # 非膜形成領域，而阻止所吐出的上述液滴流出之規劃部的 過程。 因此，在本發明中，已吐出到位於間隔壁之間的i旲形 成領域的液滴會藉由規劃部而阻止其從膜形成領域流出。 因此’能夠避免被吐出到在隔著間隔壁而相鄰的膜形成領 域的液滴彼此發生接觸而短路。 區隔壁能夠是一針對上述液滴具有疏液性的疏液膜或 是一將挾著上述膜形成領域而配置的上述間隔壁的上述端 部彼此加以連接的第2間隔壁。 當規劃部以第2間隔壁來構成時’則藉由上述間隔壁 (4) 1262742 與上：；也第2間隔壁在同一過程中形成能夠減少製程而對於 提高生產性有所幫助。 又’間隔壁則能夠採用一朝上方直徑逐漸地變大的倒 推拔狀的構成。 X ’ @夠J ί采取將上述液滴吐出到上述膜形成領域的過 程、及將所吐出的上述液滴實施乾燥·燒成的過程反覆地 φ 進行多次的順序。 此時則能舜Μ吏得電極的膜厚變得更大，而使得在電極 中的電阻變得更小。 另+方面’本發明的電子機器的特徵在於具備有由上 述有機電激發光裝置之製造方法所製造的有機電激發光裝 置。 - 因此’在本發明中能夠得到一所形成的電極不會發生 短路’且不會產生輝度不均情形而具有優越的顯示品質的 φ 電子機器。 【實施方式】 以下請參照圖面來說明本發明有機電激發光裝置及其 製造方法以及電子裝置。此外，在所參照的各圖中，爲了 設成在圖面上可以辨識的大小則縮小比例有時會有針對各 層或各構件不同的情形。 (第1實施形態） 圖1〜圖3爲以模型方式來表示本實施形態之被動矩 (5) 1262742 陣型的有機E L顯示裝置的模式圖。圖1爲平面圖、圖2 爲有機E L裝置的內部構成圖、圖3爲在圖1中之I 一 I -箭頭視圖。如該些圖所示般，本有機E L裝置1的主要的 構成兀件則有.壬市狀地在基板2上在一定的方向（Y軸 方向）上延伸的多個的第1電極（陽極）3、在與第1電 極的延伸方向呈直交的方向（X軸方向）上延伸的多個的 φ 陽極隔板（間隔壁）4、被設置在陽極隔板4之下方的間 隔壁層1 〇、被形成在陽極隔板4彼此間之膜形成領域Μ 的第2電極（陰極）5、在第1電極3與第2電極5的交 差領域（發光領域）Α被第1電極3與第2電極5在上下 挾持的有機機能層6、以及用來封裝第1電極3、陽極隔 ’ 板4、第2電極5及有機機能層6等的封裝部7。 此外，在圖2中，B表示作爲在基板2上用來形成陽 極隔板4之範圍的陽極隔板形成領域，而在該陽極隔板形 φ 成領域B的一端部B a的附近則如圖所示如爲陽極隔板4 彼此所挟持般，且在從陽極隔板4的兩u而部罪近基板的中 心附近形成多個的連接部8 a。此外，連接部8 a則構成連 接端子8的一部分，而與第2電極5直接地連接。又，陽 極隔板形成領域B雖然是一在基板2上用來形成多個陽極 隔板4的領域，但更詳細地說則是指陽極隔板4及陽極隔 板4之間存在的全部的領域° 又，第1電極3及連接纟而卞8 ’則弟1電極3的一端 部3 a及連接端子8的一端部8 b則延伸到位在封裝部7的 外部，而在第1電極3的一端部3 a則連接有具備有移位 (6) 1262742 暫存器、位準移位器、視頻線及類比開關的資料側驅動電 路1 〇 〇，而在連接端子8的一端部8 b則連接有具備有移 位暫存器及位準移位器的掃描側驅動電路1 〇 1。 如圖3所示般，有機機能層6包含有當從上下方向將 其挾持的第1電極3與第2電極5流有電流時會發出一定 波長的光的發光層6 1。有機EL裝置1藉由呈矩陣狀地具 φ 備多個形成有包含該發光層6 1的有機機能層6的發光領 域A而具有作爲顯示裝置的功能。此外，在本實施形態 的有機EL裝置1中，基板2及第1電極3具有透光性， 而從發光層6 1所發光的光則構成從基板2側射出。又， .有機機能層6如圖示般被收容在爲間隔壁層液晶透鏡元件 ' 1 〇、第1電極3、及第2電極5所包圍的空間內。因此能 夠防止有機機能層6會因爲從外部進入的水分及空氣等而 惡化。 # 具有透光性的基板2的材料則例如是玻璃、石英、樹 脂（塑膠、塑膠薄膜）等，特別適合於使用便宜的鹼性玻 璃基板。第1電極3藉由例如由銦錫氧化物（ITO )或銦 鋅氧化物（I Z 0 )等的金屬氧化物所構成的透光性的導電 材料所形成，而將形狀設定爲長方形，且分別隔著一定的 間隔而形成多個。該第1電極3擔任將正孔注入到有機機 能層6的角色。連接端子8則是由具有導電性的金屬材料 所形成而被設定爲矩形，且如圖所示般，各自的端部8 c 則被配置成位在陽極隔板4彼此之間。 在形成有該第1電極3及連接端子8的基板2上則形 (7) 1262742 成有由二氧化矽膜（S i Ο 2 )所構成的絕緣膜9。因此’該 絕緣膜9則被實施圖案化而使得發光領域A的第1電極3 、第1電極3的端部3 a附近、連接部8 a及連接端子8的 端部8 b附近露出。此外，絕緣膜9則被實施圖案化而使 得連接部8a位在從陽極隔板4的端部4a (陽極隔板形成 領域B的一端部B a )靠近基板2的中心附近。 φ 間隔壁層1 0則如使連接部8a未被被覆般地被形成在 絕緣膜9上的陽極隔板形成領域B內。該間隔壁層1 〇是 由丙醯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等的耐熱性、耐溶媒性優越 的有機材料所構成，而在發光領域A，在對應的位置形成 開口部1 Oa。又，間隔壁層1 0的厚度則被設定爲較陽極 ， 隔板4的厚度爲薄，且較有機機能層6的厚度爲厚。 . 在間隔壁層1 0上所形成的陽極隔板4是由聚醯亞胺 等的感光性樹脂所形成，例如以6 // m的厚度將寬度方向 • 的斷面的形狀設定爲朝著上方直徑逐漸地變大的倒推拔狀 ，且沿著第2電極5分別在Y軸方向隔著一定的間隔形 成多個。又，如圖所示般，陽極隔板4則被形成使得在陽 極隔板4上部的寬度方向的端部4b位在從間隔壁層1 〇之 開口部1 Oa的端部（在圖3中與左右方向對應的端部） 1 〇c靠近發光領域A的外側。此外，陽極隔板4當例如藉 由光石印技術來形成時’則藉由與間隔壁層1 〇不同的材 料來構成以使得間隔壁層1 0不會被蝕刻。 各陽極隔板4的長度方向（X軸方向）的端部（端部 )則在Y軸方向延伸，而以作爲用來區隔第2電極5的 -10- (8) 1262742 膜形成領域Μ與非膜形成領域Η之區隔部的區間隔壁（ 第2間隔壁）Π來連接。在本實施形態中，區隔壁1 1以 與陽極隔板4相同的材料被形成爲一體。 有機機能層6是一由正孔注入/輸送層62、發光層6 1 及電子注入/輸送層6 3實施積層而成的積層體，而被收 容在間隔壁層1 〇的開口部1 〇a內。正孔注入/輸送層62 φ 例如是由聚乙烯二羥基噻吩的聚噻吩與聚苯乙烯磺酸的混 合物所形成。該正孔注入/輸送層62除了將正孔注入到 發光層6 1外，也具有將正孔在正孔注入/輸送層62的內 部輸送的功能。 發光層6 1具有發光成紅色（R )的紅色發光層6 1 a、 * 發光成綠色（G)的綠色發光層61b及發光成青色（B) 的青色發光層61c等3種。各發光層61a〜61c被實施馬 賽克配置。發光層6 1的材料則是在蒽或芘、8 -羥基D奎啉 # 鋁、雙苯乙烯基蒽衍生物、四苯基丁二烯衍生物、香豆素 衍生物、噁二唑衍生物、二苯乙烯苯衍生物、吡咯并吡啶 衍生物、芘酮衍生物、環戊二烯衍生物、噻二唑吡啶、或 在該些低分子材料摻雜蛇麻素、D奎吖啶衍生物、吩噁嗪酮 衍生物、DCM、DCJ、茈酮、茈衍生物、香豆素衍生物、 二氮雜苯並二茚等。 電子注入/輸送層6 3除了將電子注入到發光層6 1外 ，也具有將電子在電子注入/輸送層6 3的內部輸送的功 肯巨。該電子注入/輸送層6 3則可以適用例如口奎啉酚鋰或 氟化鋰或巴松凡鉋。又也可以使用工作函數在4eV以下之 -11 - (9) 1262742 例如 M g、C a、B a、S r、L i、N a、R b、C s、Y b、S m 等。 第2電極5例如利用a 1膜或A g膜等的高反射率的 金屬膜’將從發光層6 1發光至第2電極5側的光有效率 地射出到基板2側。又，第2電極5則如將間隔壁層1 〇 的開口部1 0 a被覆般地被形成。又，也可以在第2電極5 上因應必要而設置由S i 0、S i 0 2、S i N等所構成的防止氧 φ 化用的保護層。 封裝部7是由被塗佈在基板2的封裝樹脂7a、及封 裝構件7b所構成。封裝樹脂7a是一將基板2與封裝構件 7 b加以接著的接著劑，例如藉由微粒噴霧器等呈環狀地 _ 被塗佈在基板2的周圍。該封裝樹脂7 a是由熱硬化樹脂 * 或紫外線硬化樹脂等所構成，特別是最好是由作爲熱硬化 ， 樹脂的1種的環氧樹脂所構成。又，該封裝樹脂7 a則利 用較難讓氧或水分通過的材料，以防止水或氧從基板2 • 與封裝部7之間侵入到封裝構件7b內部，而防止第2電 極5或發光層61產生氧化。 封裝構件7b則在其內側設有用來收容第1電極3、 有機機能層6及第2電極5等的凹部7b 1，而經由封裝樹 月旨7a被接合在基板2。此外，在封裝構件7b的內側則因 應必要在陽極隔板形成領域B的外側能夠設置吸收或除去 氧或水分的吸氣材（g e 11 e 1·)。該吸氣材可以利用例如L i 、Na、Rb、Cs 等的鹼金屬、Be、Mg、Ca、Sr、Ba 等的 鹼土類金屬、鹼土類金屬的氧化物、鹼金屬或鹼土類金屬 的的氫氧化物。鹼土類金屬的氧化物則藉由與水產生反應 - 12 - (10) 1262742 而變化成氫氧化物而當作脫水材來使用。鹼金屬或鹼土類 金屬則由於在與氧產生反應而變化成氫氧化物的同時，也 會與水產生反應變成氧化物，因此不只是當作脫水材，也 可以當作脫氧材料來使用。藉此，能夠防止有機機能層6 等產生氧化而可以提高裝置的信賴性。 接著請參照圖面來說明本實施形態之有機E L裝置1 # 的製造方法。本實施形態之有機E L裝置1的製造方法例 如具備有（1 )第1電極形成過程、（2 )絕緣膜形成過程 、（3 )間隔壁層形成過程、（4 )陽極隔板形成過程、（ 5 )電漿處理過程、（6 )正孔注入/輸送層形成過程、（ 7)發光層形成過程、（8)電子注入/輸送層形成過程、 ^ ( 9 )第2電極形成過程、及（1 〇 )封裝過程。此外，製 ' 造方法並未限定於此，也可以因應必要去掉或是追加其他 的過程。 (1 )第1電極形成過程 第1電極形成過程是一將多個在γ軸方向上呈帶狀 地延伸的第1電極3形成在基板2上的過程。在該第1電 極形成過程中，則如圖4A、B所示般，藉由噴濺將多個 由I TO或IZO等的金屬氧化物所構成的第1電極3形成 在基板2上。藉此，長方形的第1電極3則具有一定的間 隔地形成多個在X軸方向上，而使得其中一個的端部3 a (在圖4A中的上側）到達基板2的端部2b。此外，在第 1電極形成過程中也形成有連接端子8。該連接端子8則 -13 - (11) 1262742 如圖所示般，如其中的一端部8 b到達基板2的端部2 b， 而另一端8 C位在較陽極隔板形成領域B的端部B a靠近 基板2的中心般地被形成。 (2 )絕緣膜形成過程 絕緣膜形成過程如圖5A、B所示，是一在基板2、第 • 1電極3及連接端子8上形成經過實施圖案化而使發光領 域A的第丨電極3、第丨電極3的端部3 a附近、連接部 8 a及連接端子8的端部8 b附近露出的絕緣膜9的過程。 在該絕緣膜形成過程中，則是以四乙氧基矽烷或氧氣 等作爲原料而藉由電漿CVD法來形成絕緣膜9。此外， •絕緣膜9則被實施圖案化而使得連接部8a能夠位於從陽 ' 極隔板形成領域B的端部8a靠近基板2的中心附近。 Φ ( 3 )間隔壁層形成過程 間隔壁層形成過程如圖6A、B所示般，是一在未被 S連接部8a的情形下，將在與發光領域A對應的位置形 成有開口部1 〇a的間隔壁層1 0形成在陽極隔板形成領域 B的過程。在該間隔壁層形成過程中，則是將丙醯酸樹脂 、聚醯亞胺樹脂等的具有耐熱性、耐溶劑性的感光性材料 (有機材料）根據在有機機能層6的厚度以上、且在陽極 隔板4的厚度以下而塗佈在已經形成有上述的第1電極3 及絕緣膜9的基板上，而藉由光石印技術而在與發光領域 A對應的位置形成開口部1 〇a。 -14- (12) 1262742 (4 )陽極隔板及區隔壁形成過程 陽極隔板及區隔壁形成過程，如圖7A、B所示般是 一根據一定的間隔將呈帶狀地在與相對於第1電極3的延 伸方向呈直交的方向（X軸方向）上延伸的多個的陽極隔 板4形成在挾著膜形成領域Μ的兩側外’也將陽極隔板4 φ 的端部彼此連接，而形成用來區隔第2電極的膜形成領域 Μ之區隔壁1 1的過程。在陽極隔板及區隔壁形成過程中 ，首先藉由旋轉塗佈等根據一定的厚度將聚醯亞胺等的感 光性樹脂塗佈在基板2上。因此，藉著以光石印技術針對 該根據一定的厚度所塗佈的聚醯亞胺等的感光性樹脂實施 * 蝕刻，而將多個寬度方向的斷面的形狀被設定爲倒推拔狀 · 的陽極隔板4及區隔壁1 1在同一過程中形成在陽極隔板 形成領域Β。此外，該陽極隔板4則如使連接部8 a位在 # 陽極隔板4之間，而陽極隔板4的寬度方向的端部4b位 在從間隔壁層1 〇的端部1 靠近發光領域A的外側附近 (5 )電漿處理過程 在電漿處理過程中，其目的在於將第1電極3的表面 加以活性化、以及將間隔壁層1 0及陽極隔板4、區隔壁 1 1的表面實施表面處理。具體地說，首先藉由進行0 2電 漿處理，除了進行已露出的第1電極3 ( IΤ Ο )上的洗淨 、更且工作函數的調整外，也會使提層1 〇的表面露出的 -15- (13) 1262742 第1電極3的表面及陽極隔板4的表面進行親液化。接著 ，藉由進行C F 4電漿處理而使間隔壁層1 〇及陽極隔板4 、區隔壁Π的表面進行疏液化。 (6 )正孔注入/輸入層形成過程 正孔注入/輸入層形成過程是一利用液滴吐出法在已 % 露出的第1電極3上、亦即，間隔壁層1 0的開口部1 0 a 內形成正孔注入/輸入層62的過程。在該正孔注入/輸 入層形成過程中，藉由例如噴墨裝置將正孔注入/輸入層 材料吐出到第1電極3上。之後，藉由乾燥處理及熱處理 '在第1電極3上形成如圖8A、B所示的正孔注入/輸入 ^ 層 62。 ' 該噴墨裝置是一除了從噴墨頭所具有的吐出噴嘴吐出 每滴的液量已經被控制的材料外，也藉由將吐出噴嘴面向 • 基板，而更讓吐出噴嘴與基板2作相對移動而將材料吐出 到吐出面上者。此時，由於間隔壁層1 0的表面藉由上述 的電獎處理過程被疏液化，因此即使從吐出噴嘴被吐出的 材料暫時地附著在間隔壁層的上面等，材料也會確實地進 入到間隔壁層1 〇的開口部1 0 a內。 (7 )發光層形成過程 發光層形成過程如圖9 A、B、以及圖1 〇 A、B所示般 是一在被形成在第1電極3上的正孔注入/輸入層62上 形成由低分^材料所構成的發光層6 1的過程。在該發光 -16- (14) 1262742 層形成過程中’首先藉著以利用噴墨裝置的液滴吐出法將 青色發光層材料吐出到與青色發光領域Ac對應的間隔壁 層1 0的開口部]〇 a內，則可以形成如圖9 A、B所示的青 色發光層6 1 c。接著’藉著將紅色發光層材料吐出到與紅 色發光領域A a對應的間隔壁層I 〇的開口部丨〇 a內，則可 以形成紅色發光層6 1 a，藉著將綠色發光層材料吐出到與 φ 綠色發光領域Ab對應的間隔壁層1 0的開口部1 Oa內，則 可以形成綠色發光層6 1 b (參照圖1 0 A、B )。 (8)電子注入/輸送層形成過程 .電子注入/輸送層形成過程則如圖1 1 A、B所示般是 - 一在發光層61上形成電子注入/輸送層63的過程。在該 ， 電子注入/輸送層形成過程中，例如藉著以利用噴墨裝置 的液滴吐出法將電子注入/輸送層材料吐出到發光層6 1 Φ 上而形成電子注入/輸送層6 3。此外，由正孔注入/輸 入層形成過程、發光層形成過程及電子注入/輸送層形成 過程組合而成的過程是一有機機能層形成過程。 如此般爲正孔注入/輸送層62、發光層6 1及電子注 入/輸送層6 3之積層體的有機機能層6則是藉著以液滴 吐出法將其材料吐出到被形成在間隔壁層1 0的開口部 1 0 a內而形成。因此能夠防止有機機能層6沿著陽極隔板 4的側面部鼓出來。 (9 )第2電極形成過程 -17- (15) 1262742 第2電極形成過程則如圖1 2 A、B所示般是一在相鄰 的陽極隔板4彼此之間的膜形成領域Μ形成第2電極5 的過程。在該第2電極形成過程中，則藉著以利用上述噴 墨裝置的液滴吐出法將含有電極形成材料的液滴（例如金 屬分散系墨水）吐出到膜形成領域Μ而形成第2電極5 ◦ 此時，由於膜形成領域Μ在Υ軸方向爲陽極隔板4所包 φ 圍，而在X軸方向爲區隔壁1 1所包圍，因此所吐出的液 滴會被收容在各膜形成領域Μ內以避免相鄰的膜形成領 域Μ的液滴彼此發生接觸。 之後則藉由進行乾燥處理及熱處理而在有機機能層6 上形成圖3所示的第2電極5。 ’ 如此般，由於藉由液滴吐出方式來形成第2電極5， ， 因此很容易如被覆間隔壁層液晶透鏡元件1 0的開口部 1 〇a般地形成第2電極5。藉此，有機機能層6則被收容 Φ 在爲間隔壁層1 0、第1電極3及第2電極5所包圍的空 間內。因此，由於能夠保護有機機能層6免於受到從外部 所侵入的水分或空氣的傷害，因此能夠防止有機機能層6 的惡化，結果能夠得到良好的發光壽命。 又，連接部8 a由於是位在爲陽極隔板4及區隔壁1 1 所包圍的膜形成領域Μ內，因此藉由利用上述液滴吐出 方式的第2電極形成過程，也能夠在連接部8 a上形成第 2電極材料。結果，連接部8a與第2電極5則藉由第2 電極形成過程直接被連接。如此般，只是藉由第2電極形 成過程即能夠將第2電極5與連接部8 a連接。 -18- (16) 1262742 (1 ο)封裝過程 最後_由封裝樹脂7 a將經由上述的過程已形成有第 ]電極3、有機機能層6及第2電極5等的基板2與封裝 構件加以封裝。例如將由熱硬化樹脂或紫外線硬化樹脂所 構成的封裝樹脂7 a塗佈在基板2的周緣部，而將封裝構 φ 件7b配置在封裝樹脂上（參照圖3 )。封裝過程最好是 在氮氣、氬氣、氨氣等的惰性氣體下進行。當在大氣下進 行時’則當在第2電極5產生針孔（p i n h ο 1 e )等的缺陷 時’則由於會有水或氧氣等從該缺陷部分侵入到第2電極 5而造成第2電極5氧化的顧慮，因此並不好。 -之後’藉由除了將被設在基板2上或外部的資料側驅 ， 動電路1 00與第1電極3連接外，也將被設在基板2上或 外部的掃描側驅動電路1 0 1與第2電極5連接而完成本實 φ 施形態的有機EL裝置1。 如上所述般，在本實施形態中，在陽極隔板4的端部 ，由於是藉由區隔壁1 1將膜形成領域Μ與非膜形成領域 Η隔離，因此所吐出之用來形成第2電極5的材料則從膜 形成領域Μ流出，而能夠阻止相鄰的膜形成領域Μ的液 滴彼此發生接觸。因此能夠防止相鄰的第2電極5彼此在 電氣上被連接而發生短路。又，在本實施形態中，由於藉 由與陽極隔板4同一過程來形成區隔壁Π，因此能夠減 少製程，而對於提高生產性有所幫助° 此外，在上述實施形態中，雖然作爲間隔壁的陽極隔 -19- (17) 1262742 板4的形狀最好是倒推拔狀，但是除此外.也可以是朝上 方直徑逐漸地減少的正推拔狀、或呈垂直地（直方體形狀 )地被立設的構成。 (第2實施形態） 接著則針對本發明之有機E L裝置之製造方法之第2 φ 實施形態來說明。 在上述之第1實施形態中，雖然是設置區隔壁n以 作爲隔離膜形成領域Μ的規劃部來使用，但是在第2實 施形態中則說明利用疏液膜當作規劃部來使用的情形。 • 如圖1 3所示般，在本實施形態中，則在陽極隔板的 ' 長度方向端部之間形成有針對電極形成材料的液滴具有疏 ’ 液性的疏液膜（規劃部）1 1 /，而藉由疏液膜1 1 -將膜 形成領域Μ與非膜形成領域η隔離。 Φ 該疏液膜11則能夠藉由上述的電漿處理等而形成 〇 已吐出到膜形成領域Μ之包含有電極形成材料的液 滴則藉由疏液膜1 1 ’而阻止其從膜形成領域Μ流出，而能 夠防止相鄰的第2電極5彼此在電氣上連接而發生短路。 此外’在圖1 3中，雖然只在膜形成領域μ與非膜形 成領域Η的邊界邰分（附加有陰影的部分）設有疏液膜 11 ’但也可以將整個的非膜形成領域Η設爲疏液膜 -20- (18) 1262742 (第3實施形態） 針對本發明之電子機器的具體例作爲第3實施形態來 說明。 圖1 4 A爲表示行動電話之一例的立體圖。在圖1 4 A 中，6 0 0表示行動電話本體、6 0 1表示具有上述實施形態 之有機E L裝置1的顯示部。 圖1 4 B爲表不文書處理機、個人電腦等之攜帶型杳訊 處理裝置之一例的立體圖。在圖1 4 B中，7 〇 〇爲資訊處理 裝置、701爲鍵盤等的輸入部、7 0 3爲資訊處理本體、7〇2 表示具有上述實施形態之有機E L裝置1的顯示咅p。 圖14C爲表不手腕型電子機器之〜例的立體圖。在圖 、 14C中，800表不手錶本體、801表示具有上述實施形態 ， 之有機E L裝置1的顯示部。 圖1 4 A〜C所示的電子機器是一具有上述實施形態之 Φ 有機E L裝置1者，而其所形成的電極不會短路，且不會 產生輝度不均的情形而具有優越的顯示品質者。 以上雖然疋：一邊參照所附的圖面一邊來說明本發明之 最佳的實施例’但本發明當然並不限定於該例。在上述例 中所示的各構成構件的諸形狀及組合等只是一例而已，在 不脫離本發明之主旨得範圍內可根據設計要求進行各種的 變更。 例如在上述製造方法的第2電極形成過程中，藉由將 吐出含有電極形成材料之液滴的過程、及將所吐出的液滴 加以乾燥的過程反覆地進行多次，則能夠形成膜厚大的電 -21 - (19) 1262742

此外，在上述的實施形態中，雖然是使用低分子系的 材料作爲發光層61，但也可以使用高分子系的材料。此 高分子系的發光層材料可以使用在（聚）對苯乙燒撑 衍生物、聚苯撑衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻 吩衍生物、茈系色素、香豆素系色素、若丹明系色素、或 在該些的高分子材料摻雜紅熒烯、茈、9，10-二苯基蒽 、四苯基丁二烯、尼羅河紅（Nile Red )、香豆素6、喹 吖酮。 以上雖然是說明本發明的最佳的實施形態，但當然本 發明並不限定於該些實施例，在不脫離本發明之主旨的範 圍內可以進行構成的附加、省略 '置換及其他的變更。本 發明並不爲以上的說明所限定，而只爲所附的申請專利範 圍所限定。 【圖式簡單說明】 圖1爲本發明之有機電激發光裝置的平面圖。 圖2爲本發明之有機電激發光裝置的內部構成圖。 圖3爲在圖1中之I 一 箭頭視圖。 圖4A爲表示說明有機電激發光裝置之製造方法的說 明圖。 匾I 4B爲表示說明有機電激發光裝置之製造方法的剖 面圖。 @ 5&及® 5B爲說明有機電激發光裝置之製造方法 的說明圖。 -22- (20) 1262742 圖6A及圖6B爲說明有機電激發光裝置之製造方法 的說明圖。 圖7A及圖7B爲說明有機電激發光裝置之製造方法 的說明圖。 圖8A及圖8B爲說明有機電激發光裝置之製造方法 的說明圖。

圖9A及圖9B爲說明有機電激發光裝置之製造方法 的說明圖。 圖10A及圖10B爲說明有機電激發光裝置之製造方 法的說明圖。 圖11A及圖11B爲說明有機電激發光裝置之製造方 法的說明圖。 圖12A及圖12B爲說明有機電激發光裝置之製造方 法的說明圖。 圖13爲說明有機電激發光裝置之製造方法的說明目 〇 圖14爲說明有機電激發光裝置之製造方法的說^^目 【主要元件符號說明】 有機電激發光裝置 2 :基板 3 :第1電極 4 :陽極隔板 5 :第2電極 -23- (21) 1262742 6 :有機機能層 7 :封裝部 7b :封裝構件 7 b 1 :凹部 8 :連接端子

8 a :連接部 8b :端部 9 :絕緣膜 1 〇 :間隔壁層 1 0 a :開口部 1 1 :區隔壁 1 1 :疏液月旲 61 :發光層 6 1 a :紅色發光層 6 1 b :綠色發光層 61c :青色發光層 6 2 :正孔注入/輸送層 1〇〇 :資料側驅動電路 1 〇 1 :資料側驅動電路 600 :行動電話本體 6 0 1 :顯示部 700:資訊處理裝置 7 0 1 :輸入部 702 :顯示部 (22) 1262742

7 0 3 ： 8 0 0 ： 801 ： A :發 B :陽 Μ :膜 Η :非 資料處理裝置 手錶本體 顯示部 光領域 極隔板形成領域 形成領域 膜形成領域

-25-

Claims (1)

1. (1) 1262742 十、申請專利範圍 1 · 一種有機電激發光裝置之製造方法，其特徵在於 具有： 如挾持著基板上的膜形成領域般地形成間隔壁的過程 φ 在上述間隔壁的附近形成規劃部的過程；及、 將含有電極形成材料的液滴吐出到爲上述間隔壁與上 述規劃部所包圍之上述膜形成領域的過程。 2 ·如申請專利範圍第1項之有機電激發光裝置之製 造方法，其中上述規劃部是一針對上述液滴具有疏液性的 -疏液膜。 / 3.如申請專利範圍第1項之有機電激發光裝置之製 造方法，其中上述規劃部是一用來將挾著上述膜形成領域 φ 而配置的上述間隔壁的上述彼此的端部加以連接的第2間 隔壁。 4.如申請專利範圍第3項之有機電激發光裝置之製 造方法，其中上述間隔壁與上述第2間隔壁是在同一過程 中被形成。 5 .如申請專利範圍第1項之有機電激發光裝置之製 造方法，其中上述間隔壁被形成爲隨著朝上方直徑逐漸變 大的倒推拔狀。 6.如申請專利範圍第1項之有機電激發光裝置之製 造方法，其中更具有將所吐出的上述液滴實施乾燥·燒成 -26- (2) 1262742 的過程，而針對將上述液滴吐出到上述膜形成領域的過程 、與將吐出的上述液滴實施乾燥·燒成的過程反覆多次地 實施。 7。一種電子機器，具備有由第1項的有機電激發光裝 置之製造方法所製造的有機電激發光裝置。

   -27-