CN1691847A - 有机el装置的制造方法及电子仪器 - Google Patents

Abstract

有机EL装置的制造方法，包括：在基板上形成夹持成膜区域隔壁的工序；在上述隔壁附近形成分区部的工序；和向由上述隔壁和上述分区部围绕的上述成膜区域内，喷出含有电极形成材料液滴的工序。

Description

有机EL装置的制造方法及电子仪器

技术领域

本发明是关于有机EL装置的制造方法及电子仪器。

背景技术

近年来，在笔记本电脑、便携式电话机、电子记事本等电子仪器中，作为显示信息的装置，提出所谓具有使有机电致发光(以下称有机EL)元件与像素相对应的有机EL装置等显示装置。

这种有机EL装置中的一种，具有无源矩阵(Passive matrix)(单纯矩阵型)型的有机EL装置。一般讲，这种无源矩阵型的有机EL装置，备有在基板上形成多个沿所定方向，以带状延伸的第1电极、与该第1电极相对，沿直交方向以带状配置的多个第2电极、和在第1电极和第2电极交叉区域内，由第1电极和第2电极上下夹持的有机功能层。这种有机功能层含有电流流过第1电极和第2电极时进行发光的发光层，无源矩阵型的有机EL装置，其构成是与1个像素相对应，具有多个含发光层的有机功能层。

然而，这种无源矩阵型有机EL装置的第2电极，一般利用真空蒸镀法形成。利用真空蒸镀法，正如众所周知的那样(例如，特开平11-87063号公报)，形成第2电极的范围彼此之间设有所定厚度的隔离物，与基板面相对从垂直方向或斜方向，通过蒸镀第2电极材料，使第2电极彼此形成隔离。另外，在利用液滴喷出法形成有机功能层时，在上述隔离物彼此间露出的第1电极上，喷出有机功能层材料，随后通过干燥形成有机功能层。

然而，上述的现有技术中存在如下的问题。一般讲，利用真空蒸镀法等成膜时，当形成厚膜时，受膜应力而产生剥离，或因为成膜时间长，受到来自蒸镀源的辐射热，发光层导致劣化。因此，以真空蒸镀法成膜的阴极，其膜厚度仅限于薄。因此不得不增大电极的电阻。

当阴极的电阻大时，由于电压降低，像靠近显示区域的中央部分，施加给有机EL元件的电压也会降低，由此引发产生亮度不均。这种电压降低，尤其是大型有机EL显示装置，更加显著，产生所谓显示质量降低的问题。

例如，在研究了由液滴喷出方式形成膜电极的情况。这种液滴喷出方式，例如是以间隔设置多个隔壁，向这些隔壁之间的成膜区域内，喷出含有导电性微粒子的液滴，并进行烧结，形成线状电极，与蒸镀方式相比，通过形成厚膜电极，可减小电阻。

然而，此构成中，液滴从成膜区域流出，被隔壁隔离，形成邻接的电极彼此在隔壁长度方向的端部存在相接触的危险。这种情况下，电极彼此形成电连接，成为短路的原因。

发明内容

本发明就是考虑到上述问题而进行的，其目的是提供一种能防止因以液滴喷出方式形成的电极彼此接触而发生短路的有机EL装置的制造方法，及使用该制造方法制造的电子仪器。

为达到上述目的，本发明采用以下构成。

本发明的有机EL装置的制造方法，是具有在基板上形成夹持成膜区域隔壁的工序、和向上述成膜区域喷出含电极形成材料液滴的工序，在上述有机EL装置的制造方法，其特征在于，其中具有在上述隔壁的端部附近区分成上述成膜区域和非成膜区域，形成阻止喷出液滴流出的分区部的工序。

因此，本发明中，向隔壁间的成膜区域喷出的液滴，由分区部阻止，可防止从成膜区域流出。因此，能避免向隔壁隔开的相邻成膜区域内喷出的液滴因彼此接触而发生短路。

作为分区部，可形成对上述液滴具有疏液性的疏液膜和以夹持上述成膜区域配置的，将上述隔壁端部彼此连接的第2隔壁。

以第2隔壁构成分区部时，通过在同一工序中形成上述隔壁和上述第2隔壁，可减少制造工序，并能提高生产效率。

另外，作为隔壁，可采用随着向上方形成逐渐扩大直径的倒锥体状的构成。

优选采用如下顺序进行，即，将向上述成膜区域喷出上述液滴的工序和将喷出的上述液滴进行干燥·烧结的工序，反复进行多次。

这种情况下，可进一步增大电极膜厚度，和进一步减小电极中的电阻。

而本发明的电子仪器，其特征在于，具备由上述有机EL装置的制造方法制造的有机EL装置。

因此，利用本发明能获得制膜的电极不短路，不产生亮度不均等显示质量优良的电子仪器。

附图说明

图1是本发明有机EL装置的平面图。

图2是本发明有机EL装置的内部构成图。

图3是图1中I-I’箭头所指方向的图。

图4A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图4B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图5A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图5B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图6A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图6B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图7A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图7B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图8A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图8B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图9A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图9B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图10A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图10B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图11A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图11B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图12A是表示有机EL装置的制造方法的平面图。

图12B是表示有机EL装置的制造方法的剖面图。

图13是表示有机EL装置的制造方法的图。

图14A～C是表示本发明电子仪器的具体例的图。

具体实施方式

以下参照附图，对本发明的有机EL装置及其制造方法，以及电子仪器的实施方式进行说明。参照的各图中，为了在图面上形成可识别的大小，缩小尺寸对于各层和各个部件有时不同。

(第1种实施方式)

图1～图3是表示本实施方式无源短阵型有机EL(电致发光)显示装置的模式图，图1是平面图、图2是有机EL装置1的内部构成图、图3是图1中I-I’箭头所指方向的图。

如这些图所示，该有机EL装置1的主要构成要件，包括在基板2上沿所定方向(Y轴方向)以带状延伸的多个第1电极(阳极)3、与第1电极延伸方向相对，沿直交方向(X轴方向)延伸的多个阴极隔离物(隔壁)4、设在阴极隔离物4下方的贮格围堰(bank)10、在阴极隔离物4彼此之间的成膜区域M中形成的第2电极(阴极)5、在第1电极3和第2电极5交叉区域(发光区域)A中，由第1电极3和第2电极5上下夹持的有机功能层6、和将第1电极3、阴极隔离物4、第2电极5和有机功能层6进行密封的密封部7。

另外，图2中，B表示在基板2上形成阴极隔离物4范围的阴极隔离物形成区域，在该阴极隔离物形成区域B的一端部Ba附近，如图示，形成多个由阴极隔离物4彼此夹持的，而且，从阴极隔离物4的两端部聚集在基板中心处的连接部8a。连接部8a是连接端子8的一部分，与第2电极直接连接的。阴极隔离物形成区域B是在基板2上形成多个阴极隔离物4的区域。更详细讲，是阴极隔离物4和阴极隔离物4之间存在的整个区域。

第1电极3和连接端子8延伸得使第1电极3的一个端部3a和连接端子8的一个端部8b位于密封部7的外部，而具有移位寄存器、电位移位器、视频线路和模拟开关的数据侧驱动电路100与第1电极3的一端3a连接，具有移位寄存器和电位移位器的扫描侧驱动电路101与连接端子8的一端部8b连接着。

如图3所示，有机功能层6含有向上下夹持该层的第1电极3和第2电极5中流入电流时发出所定波长光的发光层61，有机EL装置1具有多个矩阵状的形成含有上述发光层61的有机功能层的发光区域A，所以具有显示装置的功能。本实施方式的有机EL装置1中，其构成是基板2和第1电极3具有透光性，从发光层61发出的光，由基板2侧射出。如图所示，有机功能层6收容在由贮格围堰层侧壁部分10b、第1电极3和第2电极5围成的空间内。由此，可以防止因外部进入水分或空气而导致有机功能层6劣化。

作为具有透光性基板2的材料，例如有玻璃、石英、树脂(塑料、塑料膜)等，优选使用廉价的钠玻璃基板。第1电极3，例如由铟锡氧化物(ITO)和铟锌氧化物(IZO)等金属氧化物构成的透光性导电材料形成，设定成长方形状，而且，各自以所定间距空开形成了多个。该第1电极3起到向有机功能层6注入空穴的作用。连接端子8由具有导电性的金属材料形成，设置成矩形状，而且，如图所示，配置成使其端部8c位于阴极隔离物4彼此之间。

在形成了该第1电极3和连接端子8的基板2上，由氧化硅膜(SiO₂)形成绝缘膜9。该绝缘膜9图案形成为：使发光区域A的第1电极3、第1电极3的端部3a附近、连接部8a和连接端子8的端部8b附近露出。另外，将绝缘膜9图案形成，以使连接部8a位于从阴极隔离物4的端部4a(阴极隔离物形成区域B的一端部Ba)到基板2中心聚集处。

贮格围堰层10形成在绝缘膜9上的阴极隔离物形成区域B内，没有被覆连接部8a。该贮格围堰层10由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优良的有机材料形成。而且在与发光区域A相对应的位置上形成开口部10a。贮格围堰层10的厚度设定为比阴极隔离物4的厚度薄，但比有机功能层6的厚度厚。

贮格围堰层10上形成的阴极隔离物4，由聚酰亚胺等感光性树脂形成，例如，设置成例锥体状，其厚度为6μm，在宽度方向上的剖面直径，随着向上方移动逐渐扩大，而且，沿着第2电极5，设置多个贮格围堰层10，在Y轴方向以所定间距空开。如图所示，阴极隔离物4形成得，使阴极隔离物4上部宽度方向的端部4b位于从贮格围堰层10开口部10a的端部(与图3中左右方向相对应的端部)10c向发光区域A的外侧聚集处。阴极隔离物4，例如由与贮格围堰层10不同的材料构成，在利用光刻技术形成阴极隔离物4时，使贮格围堰层10不被蚀刻。

各阴极隔离物4的长度方向(X轴方向)端部(两端)在Y轴方向上延伸，由将第2电极5的膜形成区域区分成成膜区域M和非成膜区域H的分区部的分区壁(第2隔壁)连接。在本实施方式中，分区壁11由和阴极隔离物4相同的材料形成为一个整体。

有机功能层6是将空穴注入/输送层62、发光层61和电子注入/输送层63进行层叠的层叠体，收容在贮格围堰层10的开口部10a内。空穴注入/输送层62，例如由聚乙烯二氧噻吩等聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物形成的。该空穴注入/输送层62具有向发光层61注入空穴，同时使空穴在空穴注入/输送层62的内部进行输送的功能。

发光层61有3种类型，即，发红色(R)光的红色发光层61a、发绿色(G)光的绿色发光层61b、和发蓝色(B)光的蓝色发光层61c，各发光层61a～61c是嵌镶配置的。作为发光层61的材料，例如可使用蒽或芘、8-羟基喹啉铝、二苯乙烯基蒽衍生物、四苯基丁二烯衍生物、香豆素衍生物、噁二唑衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、吡咯吡啶衍生物、周酮衍生物、环戊二烯衍生物、噻二唑吡啶衍生物、或这些低分子材料中掺杂红荧烯、喹吖酮衍生物、苯氧唑啉衍生物、DCM、DCJ、周酮(perinon)、苝衍生物、香豆素衍生物、二氮杂苯并二茚(diazaindacene)衍生物等。

电子注入/输送层63具有向发光层61内注入电子的功能，同时具有使电子在电子注入/输送层63内进行输送的功能。作为这种电子注入/输送层63，例如优选使用锂羟基喹啉或氟化锂或4，7二苯基铯(bathophen cesium)等，也可使用功函数在4eV以下的金属，例如，Mg、Ca、Ba、Sr、Li、Na、Rb、Cs、Yb、Sm、等。

第2电极5，例如，使用Al膜或Ag膜等高反射率的金属膜，可使从发光层61向第2电极5侧发出的光有效地射向基板2侧。而且，第2电极5形成得被覆在贮格围堰层10的开口部10a上。根据需要，第2电极5上也可设置由SiO、SiO₂、SiN等形成的防氧化保护层。

密封部7，由涂布在基板2上的密封树脂7a、和密封壳(密封部件)7b构成。密封树脂7a是将基板2和密封壳7b粘接的粘接剂，例如，利用微型分配器等，以环状涂布在基板2的周围。该密封树脂7a由热固化树脂或紫外线固化树脂等制成，特别优选是由热固化树脂的1种环氧树脂制成。该密封树脂7a中使用了氧或水分难以通过的材料，可防止水或氧从基板2和密封壳7b之间浸入密封壳7b内，也就防止了第2电极5或发光层61被氧化。

密封壳7b，在其内侧设有收容第1电极3、有机功能层6和第2电极5等的凹部7b1，通过密封树脂7a与基板2接合在一起。而且，在密封壳7b的内面侧上，根据需要，在阴极隔离物形成区域B的外侧上，可设置吸收或去除氧或水分的吸气材料。作为这种吸气材料，例如可使用Li、Na、Rb、Cs等碱金属、Be、Mg、Ca、Sr、Ba等碱土类金属，碱土金属的氧化物，碱金属或碱土金属的氢氧化物等。碱土金属的氧化物通过与水反应形成氢氧化物，用作脱水材料。碱金属、碱土类金属与氧反应形成氧化物，同时与水反应形成氢氧化物，不仅能用作脱水材料，而且也能用作脱氧材料。由此，可防止有机功能层6等被氧化。并能提高装置的可靠性。

以下参照附图说明本实施方式有机EL装置1的制造方法。本实施方式的有机EL装置1的制造方法，其构成，例如包括(1)第1电极形成工序、(2)绝缘膜形成工序、(3)贮格围堰层形成工序、(4)阴极隔离物和分区壁形成工序、(5)等离子体处理工序、(6)空穴注入/输送层形成工序、(7)发光层形成工序、(8)电子注入/输送层形成工序、(9)第2电极形成工序、和(10)密封工序。制造方法并不限于这些工序，根据需要也可添加或去除某些工序。

(1)第1电极形成工序

第1电极形成工序是在基板2上，形成多个沿Y轴方向以带状延伸第1电极3的工序。第1电极形成工序中，如图4A、B所示，利用溅射法在基板2上形成多个由ITO或IZO等金属氧化物形成的第1电极3。由此形成的多个长方形状第1电极3，在X轴方向上具有所定的间距，其一方的端部3a(图4A中的上侧)形成得到达基板2的端部2a。在第1电极形成工序中也形成连接端子8。如图所示，该连接端子8的一个端部8b，形成得到达基板2的端部2b，另一端部8c，形成得位于从贮格围堰形成区域B的端部Ba向基板2的中心聚集处。

(2)绝缘膜形成工序

如图5A、B所示，绝缘膜形成工序是在基板2、第1电极3和连接端子8上形成已图案形成的绝缘膜9的工序，以使发光区域A中的第1电极3、第1电极3的端部3a附近、连接部8a和连接端子8的端部8b附近露出。

在该绝缘膜形成工序中，将四乙氧硅烷和氧气等作原料，利用等离子体CVD法形成绝缘膜9。将绝缘膜9图案形成，使连接部8a位于从阴极隔离物形成区域B的端部Ba向基板2的中心聚集处。

(3)贮格围堰层形成工序

如图6A、B所示，贮格围堰层形成工序是在阴极隔离物形成区域B内形成贮格围堰层10的工序，该贮格围堰层10不覆盖连接部8a，而且在与发光区域A相对应的位置形成开口部10a。该贮格围堰层形成工序中，在上述形成了第1电极3和绝缘膜9的基板上涂布丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等具有耐热性、耐溶剂性的感光性树脂(有机材料)，其厚度比有机功能层6的厚度厚，且比阴极隔离物4的厚度薄，利用光刻技术，在与发光区域A相对应的位置处形成开口部10a。

(4)阴极隔离物和分区壁形成工序

如图7A、B所示，阴极隔离物和分区壁形成工序是在夹持成膜区域M的两侧，以所定的间距，在与第1电极3的处延伸方向相对的直交方向(X轴方向)上形成带状延伸的多个阴极隔离物4，同时，将隔离物4的端部彼此连接，形成将第2电极5的成膜区域M进行区分的分区壁11的工序。该阴极隔离物和分区壁形成工序中，首先，利用旋转涂布法等，在基板2上涂布所定厚度的聚酰亚胺等感光性树脂。随后，将以所定厚度涂布的聚酰亚胺等感光性树脂，利用光刻技术进行蚀刻，在同一工序中，在阴极隔离物形成区域B中形成多个宽度方向的剖面成倒锥体状的阴极隔离物4和分区壁11。形成的这种阴极隔离物4，使连接部8a位于阴极隔离物4之间，使阴极隔离物4的宽度方向端部4b，位于从贮格围堰层10的端部10c向发光区域A的外侧聚集处。

(5)等离子体处理工序

进行等离子体处理工序的目的是使第1电极3的表面活性化，进而，对贮格围堰层10、阴极隔离物4、和分区壁11的表面进行表面处理。具体讲，如众所周知的那样，首先，通过进行O₂等离子体的处理，洗净露出的第1电极3(ITO)、进而调整功函数，同时，将贮格围堰层10的表面、露出的第1电极3的表面及阴极隔离物4、分区壁11的表面进行亲液化。接着，通过进行CF₄等离子体的处理，使贮格围堰层10及阴极隔离物4、分区壁11的表面进行疏液化。

(6)空穴注入/输送层的形成工序

空穴注入/输送层形成工序是利用液滴喷出法，在露出的第1电极3上，即贮格围堰层10的开口部10a内形成空穴注入/输送层62的工序。该空穴注入/输送层的形成工序中，例如使用喷墨装置将空穴注入/输送层材料喷出到第1电极3上。之后，通过进行干燥处理和热处理，在第1电极3上形成图8A、B所示的空穴注入/输送层62。

该喷墨装置是从喷墨喷头上的喷嘴，喷出控制每1滴液量的材料，同时使喷嘴对准喷出面，并通过使喷嘴和基板2作相对移动，向喷出面上喷出材料。这时，由于贮格围堰层10表面在上述等离子体处理工序中形成疏液化，即使从喷嘴喷出的材料随着在贮格围堰层上面，材料也能保证进到贮格围堰层10的开口部10a内。

(7)发光层形成工序

如图9A、B、图10A、B所示，发光层形成工序是在第1电极3上形成的空穴注入/输送层62上，由低分子材料形成发光层61的工序。该发光层形成工序中，首先，例如，向与蓝色发光区域AC对应的贮格围堰层10开口部10a内，利用液滴喷出法，使用喷墨装置喷出蓝色发光层材料，形成图9A、B所示的蓝色发光层61c。接着，通过向与红色发光区域Aa对应的贮格围堰层10开口部10a内喷出红色发光层材料，形成红色发光层61a、通过向与绿色发光区域Ab相对应的贮格围堰层10开口部10a内喷出绿色发光层材料，形成绿色发光层61b(参见图10A、B)。

(8)电子注入/输送层形成工序

如图11A、B所示，电子注入/输送层形成工序是在发光层61上形成电子注入/输送层63的工序。该电子注入/输送层形成工序中，例如，利用液滴喷出法，使用喷墨装置，向发光层61上喷出电子注入/输送层材料，形成电子注入/输送层63。而且，将空穴注入/输送层形成工序、发光层形成工序和电子注入/输送层形成工序合在一起的工序是有机功能层形成工序。

如上述，将空穴注入/输送层62、发光层61和电子注入/输送层63形成层叠体的有机功能层6，通过利用液滴喷出法，将该材料喷出到贮格围堰层10上形成的开口部10a内形成。由此，可防止有机功能层6沿着阴极隔离物4的侧面部溢出。

(9)第2电极形成工序

如图12A、B所示，第2电极形成工序是在相邻的阴极隔离物4彼此之间的成膜区域M内形成第2电极5的工序。该第2电极形成工序中，利用液滴喷出法，使用上述喷墨装置向成膜区域M内，喷出含有电极形成材料的液滴(例如，金属分散系油墨)，形成第2电极5。这时，成膜区域M关于Y轴方向，由阴极隔离物4围绕，而关于X轴方向，由分区壁11围绕，所以喷出的液滴收集在各个成膜区域M内，避免了相邻成膜区域M中的液滴彼此接触。

随后，通过进行干燥处理和热处理，在有机功能层6上形成图3所示的第2电极5。

如上述，由于利用液滴喷出方式形成第2电极5，所以能使形成的第2电极5容易地被覆在贮格围堰层10的开口部10a内。据此，有机功能层6收容在由贮格围堰层10、第1电极3和第2电极5围绕的空间内。因此能保护有机功能层6免受外部浸入水分或空气的浸蚀，从而防止了有机功能层6的劣化，结果获得了良好的发光寿命。

另外，由于连接部8a位于由阴极隔离物4和分区壁11围成的成膜区域M内，所以通过使用上述液滴喷出方式的第2电极形成工序也能在连接部8a上制成第2电极材料膜。所以，连接部8a和第2电极5由第2电极形成工序直接连接。如上述，只利用第2电极形成工序就能将第2电极5和连接部8a进行连接。

(10)密封工序

最后利用密封树脂7a，将利用上述工序形成第1电极3、有机功能层6和第2电极5的基板2与密封壳7b进行密封。例如，将由热固化树脂或紫外线固化树脂构成的密封树脂7a涂布在基板2的周边部位，再将密封壳7b配置在密封树脂上(参见图3)。密封工序优选在氮、氩、氦等惰性气体气氛中进行。在大气中进行时，第2电极5上产生针孔等缺陷时，水和氧等会从该缺陷部分浸到第2电极5上，导致第2电极5被氧化，所以极理想。

随后，通过将基板2上或外部设置的数据侧驱动电路100的基板2与第1电极3连接，同时将基板2上或外部设置的扫描侧驱动电路101与第2电极5连接，以制成本实施方式的有机EL装置1。

在如上述的本实施方式中，在阴极隔离物4的端部，由分区壁11将成膜区域M区分成非成膜区域H，所以可防止喷出形成第2电极5的材料以成膜区域M中流出，从而避免相邻成膜区域M中的液滴彼此接触。由此，可防止相邻的第2电极5彼此形成电连接，发生短路。本实施方式中，由于可在与阴极隔离物4同一工序中形成分区壁11，所以能减少制造工序，并能获得产生效率提高。

在上述实施方式中，作为隔壁的阴极隔离物4，最佳形状可形成为倒锥体状的构成，但除此之外，也可以是随着向上方逐渐缩小直径的正锥体状，也可是垂直(立方体形状)立设的构成。

(第2种实施方式)

接着对本发明有机EL装置的制造方法的第2种实施方式进行说明。

上述第1种实施方式中，其构成是设置分区壁11对成膜区域M进行分区的作为分区部，但第2种实施方式中作为分区部，对使用疏液膜的情况进行说明。

如图13所示，本实施方式中，在阴极隔离物的长度方向端部之间，形成对电极形成材料液滴具有疏液性的疏液膜(分区部)11’，由疏液膜11’将成膜区域M区分成非成膜区域H。

该疏液膜11’可利用上述等离子体处理等而形成。

向成膜区域M中喷出的含有电极形成材料的液滴，由疏液膜11’阻止从成膜区域M中流出，所以能防止相邻的第2电极5彼此形成电连接而发生短路。

图13中，虽然只在成膜区域M和非成膜区域H的边界部分(带剖面线部分)设置有疏液膜11’，但也可以将整个非成膜区域H成为疏液膜。

(第3种实施方式)

作为第3种实施方式，对本发明电子仪器的具体实例进行说明。

图14A是表示移动电话的一例的立体图。在图14A中，600表示移动电话机主体，601表示具有上述实施方式有机EL装置1的显示部。

图14B是表示文字处理器、个人电脑等携带型信息处理装置的一例立体图。图14B中，700表示信息处理装置、701表示键盘等输入部、703表示信息处理主体、702表示具有上述实施方式的有机EL装置1的显示部。

图14(C)是手表型电子仪器的一例立体图。图14(C)中，800表示手表主体、801表示具有上述实施方式的有机EL装置1的显示部。

图14A～C所示的电子仪器，由于是具有上述实施方式的有机EL装置1的设备，所以制膜电极不会短路，不会产生亮度不均等现象，获得优良的显示质量。

以上虽然一边参照附图，一边对本发明的最佳实施方式例作了说明，但本发明并不限于上述实例，上述实例中，仅仅是所示各构成部件的诸种形态和组合的一种示例，在不脱离本发明宗旨的范围内，可根据设计要求，进行种种变更。

例如，上述制造方法的第2电极形成工序中，通过将喷出含有电极形成材料液滴的工序和将喷出液滴进行干燥的工序，重复进行多次，也能形成膜厚度大的电极。

另外，上述实施方式中，作为发光层61，虽然使用了低分子系的材料，但也可以使用高分子系的材料。作为高分子系的发光层材料，可使用(聚)对苯撑乙烯撑衍生物、聚苯撑衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、苝系色素、香豆素系色素、罗丹明系色素、或者，这些高分子材料中掺杂红荧烯、香豆素、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等后使用。

以上虽然说明了本发明的优选实施例，但本发明并不限于这些实施例。在不脱离本发明宗旨的范围内，构成可以增加、省略、置换、和其他变更。本发明并不受上述说明所限定，以要求保护的范围所限定。

Claims (7)

1.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上形成夹持成膜区域隔壁的工序；

在上述隔壁附近形成分区部的工序；

向由上述隔壁和上述分区部围绕的成膜区域喷出含有电极形成材料的液滴的工序。

2.根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，上述分区部是具有对上述液滴疏液性的疏液膜。

3.根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，上述分区部是将夹持上述成膜区域配置的上述隔壁端部彼此连接的第2隔壁。

4.根据权利要求3所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，上述隔壁和上述第2隔壁是在同一工序中形成的。

5.根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，上述隔壁，形成为随着向上方逐渐扩大直径的倒锥体状。

6.根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，还具有对上述喷出液滴进行干燥·烧结的工序，将向上述成膜区域内喷出上述液滴的工序；和将上述喷出液滴进行干燥·烧结的工序，反复进行多次。

7.一种电子仪器，其特征在于，具备通过权利要求1所述的有机EL装置的制造方法制造的有机EL装置。

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