JP2007095515A - アクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画素毎に形成された第一電極と、第二電極と、両電極間に配置された有機発光媒体層と、前記第一電極に接続された薄膜トランジスタを備えたアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置であって、有機発光媒体層側とは反対面の第二電極上の非画素領域に補助電極を具備することを特徴とするアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置とする。
【選択図】図6
Description
有機EL表示装置は有機発光材料を含む発光層を、第一の電極と第二の電極で挟んだ単純な基本構造をしている。この電極間に電圧を印加し、一方の電極から注入されるホールと、他方の電極から注入される電子とが発光層内で再結合する際に生じる光を画像表示や光源として用いるというものである。
第三の発明は、前記第二電極は厚み10nm以上300nm以下の金属化合物であることを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置である。
第四の発明は、前記補助電極は印刷法にて形成されたことを特徴とする請求項1乃至3記載のアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置である。
本発明のアクティブマトリクス駆動型有機EL表示装置に用いる基板11(バックプレーン)は、TFT120上に、平坦化層117が形成してあるとともに、平坦化層117上に有機EL表示装置の下部電極(第一電極12)が設けられており、かつ、TFTと下部電極とが平坦化層117に設けたコンタクトホール118を介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL表示装置との間で、優れた電気絶縁性を得ることができる。
ゲート電極114としては、通常、ゲート電極として使用されているものを用いることができ、例えば、アルミ、銅等の金属;チタン、タンタル、タングステン等の高融点金属;ポリシリコン;高融点金属のシリサイド;ポリサイド;等が挙げられる。
薄膜トランジスタ120は、シングルゲート構造、ダブルゲート構造、ゲート電極が3つ以上のマルチゲート構造であってもよい。また、LDD構造、オフセット構造を有していてもよい。さらに、1つの画素中に2つ以上の薄膜トランジスタが配置されていてもよい。
薄膜トランジスタ120とドレイン電極116と有機EL表示装置の画素電極12との接続は、平坦化膜117を貫通するコンタクトホール118内に形成された接続配線を介して行われる。
基板11の上に第一電極12を成膜し、必要に応じてパターニングをおこなう(図1(a))。本発明では第一電極は隔壁によって区画され、各画素に対応した画素電極となる。第一電極の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化sxs物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。第一電極を陽極とする場合にはITOなど仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。下方から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション構造の場合は透光性のある材料を選択する必要がある。必要に応じて、第一電極の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。第一電極の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。第一電極のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィー法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。基板としてTFTを形成した物を用いる場合は下層の画素に対応して導通を図ることができるように形成する。
本発明の隔壁13は画素に対応した発光領域を区画するように形成する。第一電極の端部を覆うように形成するのが好ましい(図1(a)、(b))。一般的にアクティブマトリクス駆動型の表示装置は各画素に対して第一電極(画素電極)が形成され、それぞれの画素ができるだけ広い面積を占有しようとするため、第一電極の端部を覆うように形成される隔壁の最も好ましい形状は各画素電極を最短距離で区切る格子状を基本とする(図2)。
隔壁の好ましい高さは0.1μm〜10μmであり、より好ましくは0.5μm〜2μm程度である。高すぎると第二電極の形成及び封止を妨げ、低すぎると第一電極の端部を覆い切れない、あるいは有機発光媒体層形成時に隣接する画素とショートしたり混色したりしてしまうからである。
次に、有機発光媒体層14を形成する(図1(a))。本発明における有機発光媒体層14としては、発光物質を含む単層膜、あるいは多層膜で形成することができる。多層膜で形成する場合の構成例としては、正孔輸送層、電子輸送性発光層または正孔輸送性発光層、電子輸送層からなる2層構成や正孔輸送層、発光層、電子輸送層からなる3層構成、さらには、必要に応じて正孔(電子)注入機能と正孔(電子)輸送機能を分けたり、正孔(電子)の輸送をプロックする層などを挿入することにより、さらに多層形成することがより好ましい。なお、本発明中の有機発光層とは有機発光材料を含む層を指し、電荷輸送層とは正孔輸送層等それ以外の発光効率を上げるために形成されている層を指す。
次に、第二電極15を形成する(図1(a))。第二電極を陰極とする場合には有機発光媒体層14への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質を用いる。具体的にはMg,Al,Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いてもよい。または電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg,AlLi,CuLi等の合金が使用できる。第二電極側から光を取り出す、いわゆるトップエミッション構造とする場合には透光性を有する材料を選択することが好ましい。この場合、仕事関数が低いLi,Caを薄く設けた後に、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物を積層してもよく、前記有機発光媒体層4に、仕事関数が低いLi,Caなどの金属を少量ドーピングして、ITOなどの金属化合物を積層してもよい。
さらに、LiF等の金属化合物材料を第二電極の一部として、あるいは第二電極に隣接する層に積層してもよい。
本発明のアクティブマトリクス駆動型有機EL表示装置が備える補助電極は第二電極上の非画素領域に設けられているため、当該表示装置の表示性能を妨げることがない。さらに隔壁端面で断線した第二電極の修復を行うこともできる。本発明のアクティブマトリクス駆動型有機EL表示装置では、有機発光媒体層の上に一旦第二電極を形成するので、その上部への補助電極の形成方法には下方の有機発光媒体材料が何であるかにかかわらず効率のよい印刷法を選択することが可能である。
有機EL表示装置としては電極間に発光材料を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体を設ける。
封止体16は例えば封止材16a上に樹脂層16bを設けて作成することができる(図1(a))。
基板として、支持体上に設けられたスイッチング素子として機能する薄膜トランジスタ(図示せず)と、その上方に形成された平坦化層31と、平坦化層上にコンタクトホール32によって前記薄膜トランジスタと導通が図られている第一電極33とを備えたトップエミッション用アクティブマトリクス基板30を用いた。基板のサイズは対角5インチ、画素数は320×240である(図3(a))。
この基板30上に設けられている第一電極22の端部を被覆し画素を区画するような形状で隔壁34を形成した。隔壁の形成は、日本ゼオン社製ポジレジストZWD6216−6をスピンコータにて基板全面に厚み2μmで形成した後、フォトリソグラフィーによって幅40μmの隔壁を形成した。これによりサブピクセル数960×240ドット、0.12mm×0.36mmピッチ画素領域が区画された(図3(b))。
次いで、第二電極をバリウムにして、実施例1と同様、真空蒸着法により厚み20nm成膜し、その後露点−80℃、酸素濃度が1ppm以下で管理された窒素グローブボックスへ基板を搬送した。グローブボックス内に設置されたスクリーン印刷機にて、Agペーストを40μm幅、10μmの膜厚でのストライプを非画素領域である隔壁に位置を合わせて縦方向で1回、横方向で1回の都合2回にわけてパターニングした後、150℃で60分焼成を行った。
111:支持体 112:活性層 113:ゲート絶縁膜 114:ゲート電極 115:層間絶縁膜 116:ドレイン電極 117:平坦化層 118:コンタクトホール 119:データ線 120:薄膜トランジスタ 20:アクティブマトリクス基板
21:平坦化層 22:コンタクトホール 23:第一電極
24:データ線 25:共通線 26:走査線
30:アクティブマトリクス基板 31:平坦化層 32:コンタクトホール 33:第一電極 34:隔壁 35:有機発光媒体層 36:第二電極 37:補助電極 37a:第一補助電極 37b:第二補助電極
60:アクティブマトリクス駆動型有機EL表示装置 61:アクティブマトリクス基板 62:第一電極 63:隔壁 64:有機発光媒体層 64a:正孔輸送層 64b:有機発光層 65:第二電極 66:補助電極
Claims (4)
- 画素毎に形成された第一電極と、第二電極と、両電極間に配置された有機発光媒体層と、前記第一電極に接続された薄膜トランジスタを備えたアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置であって、有機発光媒体層側とは反対面の第二電極上の非画素領域に補助電極を具備することを特徴とするアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
- 前記第二電極は厚み1nm以上40nm以下の金属薄膜であることを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
- 前記第二電極は厚み10nm以上300nm以下の金属化合物であることを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
- 前記補助電極は印刷法にて形成されたことを特徴とする請求項1乃至3記載のアクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
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