TWI260063B - Drive-mechanism for a vacuum-processing apparatus - Google Patents

Description

1260063 九、發明說明： [發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種真空處理設備用之驅動機構，藉此使圍 繞一軸之環形軌道上之多個基板支件可由一入口閘經由至 少一處理室而輸送至一出口閘，其中在該環形軌道之中央 配置一種位置固定之承載圓柱，其上定位著一種可旋轉之 傳動機構室，其外側上配置著該基板支件之旋轉-和徑向轉 移用之控制桿，其中在該可旋轉之傳動機構室中在該承載 圓柱上固定一種位置固定之馬達且配置著該控制桿用之可 旋轉之移位驅動器，各控制桿分別貫通該傳動機構室之各 壁之一且因此在作用上分別與所屬之基板支件相連接。 但上述設備較佳不只是用在一至少處於垂直狀態中之平 面長方形-或正方形基板中，該設備之真空室包含：至少二 個分佈在該真空室周圍之於室側敞開之處理室，一入口 閘，一出口閘和一位於真空室內部之由基板支件所構成之 可旋轉之配置，該配置具有一驅動機構，使基板支件相對 於各處理室而依序旋轉，前進或後退。 可連續操作之處理-或塗層設備在真空中可操作至真空泵 組之功率極限且所謂基板上之各種不同之處理是在各別之 處理站中進行，此種設備通常包含以下之模組： a) 至少一真空室， b) 至少一真空系統或泵系統， c) 可由真空室接近之處理站，其具有處理源， d) 情況需要時位於各處理站之輸入端上之內閘室閥， 1260063 e)各處理源所需之供應裝置（電流源及/或氣體源）， 0 至少一閘室系統，其具有閘室閥以使基板可進/出於該 真空室， g) 輸送系統，以對基板進行二維-或多維之輸送， h) 基板支件或-載體以便與該輸送系統一起作用， 1)情況需要時連接於前方之機組，以便在該設備之閘室 系統之前備妥基板及/或送出基板。 只要涉及一種具有以下各組件之設備都稱爲”群集 (Cluster)-設備”：旋轉式-且情況需要時徑向式之輸送路徑； 處理站或處理室，其連接到至少一基本上至少是旋轉對稱 之主-真空室。 在該處理過程中使用：基板之預熱（出氣）和冷卻，真空蒸 鍍，陰極濺鍍，電漿處理（例如，發出微光以進行淨化和促 進黏合），PVD過程，CVD-過程和PCVD-過程，其中很多之 程序參數和裝置組件已爲人所知。此處”P”表 示” p h y s i c a 1 ”” C ” 表示” c h e m i c a 1 ”，，，V，，表示，，v a c u u m，，且，，D，， 表示”deposition”。這些過程中之一些過程（其名稱已設定在 國際之語言慣用法中）能以反應性（此時供應一反應氣體或 氣體混合物）或非反應性（在鈍氣出現時）方式來進行。此處 亦可使用表面處理用之蝕刻方法，其包含：於基板上產生 特定之”平面圖樣”和接觸線。整個過程之各步驟和該裝置之 各組件依據終端產品之需求適用於本發明中。 【先前技術】 在歷史之發展中，連續之”群集設備，’首先用於較小之基板 1260063 (例如，碟片，晶片，資料記憶體和晶圓）中。但就較大之基 板（例如，視窗圓板和顯示器）而言其進一步發展會有很大之 — 問題，例如，該設備之尺寸，基板-和可能存在之基板支件 - 處理時之空間需求，例如，在水平狀態中傳送之基板直立 成垂直之狀態，彈性變形之危險，基板斷裂及/或機械上受 損及/或基板受到塗層或受到污染，特別是由於塗層聚集在 持續地（或主要是）存在於該設備中之組件且由於不同之運 行參數而使這些污染物剝落，特別是由於溫度變化或機械 作用所造成者。 Φ 因此，依據以下仍將討論之EP 0 1 36 5 62 B1，每一基板 在水平位置中傳送至一種閘室系統，其中藉由一種拉升裝 置而使基板向上提高且然後藉由一種擺動裝置而擺動至一 種垂直狀態中，此時該基板固定在一基板支件上。在送出 至第二閘室系統中時，須使上述各步驟之順序相反。這在 ‘ 大面積之矩形基板中會造成巨大之空間問題，大的閘室-和 室體積以及真空泵之長的抽真空時間及/或大的抽吸功率。 由ΕΡ 0 1 36 5 62 Β1中已知一種用於小圓板形基板（例如， 鲁 碟片，半導體和晶圓）之連續之陰極濺鍍設備。該外室在周 邊以等距離之方式而設有一種閘室設備和4個室形之處理 站。此種設備亦屬於”群集設備”。 在一外室和一內室之間以可旋轉之方式配置一種多角形 之盆，在其邊框上藉由片簧配置5個基板支件’其在操作 狀態時封閉該閘室設備且藉由墊圈和閥功能來封閉各處理 室。各基板支件之徑向移動（其在真空室中持續地保持著） 1260063 只在靜止狀態時同步地藉由一種中央錐體和5個推進桿所 產生’各推進桿導引至內室之邊框中且藉由其壁而導引至 大約一半高度處且因此不能一起旋轉。該驅動器及其錐體 亦是靜止的。 該基板支件-盆以步進方式藉由另一驅動器而旋轉。爲了 使該基板支件-盆在真空室內部中由一站至另一站地旋轉， 則上述之推進桿須由該基板支件-盆之圓形-或圓柱形之移 動軌道周期性地拉回且又向前移。藉由該驅動機構使切線 速率和徑向速率相調和且相適應，這在此處由於基板數量 少而不說明。 由於基板尺寸持續變大，以及由於基板厚度隨著硏發之 進展而變小使模之硬度和強度亦變小，因此會產生新的問 題’其已導致很複雜-且昂貴之構造上之原理以及複雜之操 作流程。 【發明內容】 本發明之目的是改良上述形式之驅動機構，其以下述方 式來進行：大面積之稍微傾斜於垂直方向-且未固定至基板 支件之基板能可靠地且至少廣泛地以無摩擦之方式經由一 種真空處理設備且被處理。 在本發明之進一步之形式中亦應考慮該構造原理和操作 流程’其可使該設定面積，室體積，抽真空時間進一步減 少’且使基板在該真空室內部和外部中之”處理”更簡化， 且另又可使基板受到已剝落之層封包之微粒所污染之危險 性大大地下降。 1260063 依據本發明，在本文開頭所述之驅動機構中上述目的是 藉由申請專利範圍第1項之特徵來達成，即，藉由 a) 馬達是與一位置固定之軸承外殼相連接’其中以與 該承載圓柱同心之方式來設定一由懸臂所構成之 可旋轉之星形之配置， b) 各懸臂敏捷地與雙臂式角桿之末端相連接’各角桿 分別具有一種關節銷’ c) 角桿之另一末端敏捷地與一控制桿相連接’ d) 該角桿之關節銷在位置固定之第一控制曲線中受 到導引，其路徑決定該控制桿之徑向移動。 藉由上述之解法，則該目的在整個範圍中可滿意地達 成，且特別是設定該驅動機構之構造原理’其使該基板支 件在其圍繞該周圍之移動軌道上和諧地且不會向後地移動 著。 在本發明之其它形式之進展中’特別有利的是當-各別地 或相組合地使： *該控制桿定位在徑向導引件中’該徑向導引件固定在 可旋轉之傳動機構室上， *第一控制曲線配置在該角桿下方之位置固定之控制板 上， *該角桿以鐮刀之形式且徑向向外地彎曲而形成且配置 著，其經由第一控制曲線而導引之關節銷配置在該角件之 中央區中， ^該角桿之遠離該懸臂之末端經由聯杆而與控制桿相連 -10- 1260063 接， *第一曲線在圓周方向中具有一閉合之周期性波浪形之 外形，藉由其至該軸之最大之徑向距離可決定該基板支件 相對於各別處理室之終端位置。 *在位置固定之第一控制曲線內部中配置一位置固定之 第二控制曲線，使另外在由懸臂所構成之可旋轉之星形之 配置上配置至少一擺動關節，其上分別配置著一種角桿， 其一端經由第二控制曲線而延伸且其另一端藉由一種關節 連接板而與該傳動機構室相連接，使其圓周速率在重疊至 該基板支件之徑向移動時可被改變。 *在由懸臂所構成之星形配置之在直徑端相面對之位置 上分別配置一種具有角桿之擺動關節，其經由一種關節連 接板而與該傳動機構室相連接。 *各關節連接板之遠離至少一角桿之末端經由一關節銷 而與該傳動機構室相連接， *各別之關節銷分別經由一種角件和一種對立件而與該 傳動機構室之相鄰之角隅相連接， * 在每一可旋轉之懸臂上分別配置至少一位置告知器’ 其在作用上是與相對應之位置固定之位置接收器相連接’ *藉由該位置告知器··和該位置接收器之信號以及全邰之 懸臂之角位置，則可決定該至各處理室之一-和至該轉交室 之分配情況， *在該軸之周圍上以等距離之角度分佈而配置4個懸 臂，一個轉交室和3個處理室， -11- 1260063 *具有該傳動機構室之該驅動機構配置在一內部之子室 之底部和一外部之子室之底部之間， *在十字形配置中在該傳動機構室上固定著4對水平之 懸臂’其上懸掛著平行四邊形之導桿配置，其下端經由另 一水平之懸臂而與基板支件相連接， *該基板支件向上以3至15度之角度在該軸之方向中對 準，及/或，當 *在該軸之切線方向中在該子室上配置一種水平之線性 室列，其由入口閘，轉交室和出口閘所構成，基板能以3 度至1 5度之角度經由該閘室列而運行。 【實施方式】 本發明之物件之實施例，其作用方式和優點以下將依據 第1至7圖來說明。此處須強調：本發明不限於4室（即， 1個轉交室和3個處理室）-原理且各室（包含各閘室和該驅 動機構及其角位置）之總數可依據產品規格向上或向下來改 變 〇 第1圖顯示一不能旋轉之承載圓柱1，其具有一軸A-A， 一種由4個基板支件所構成之以下仍將詳述之系統可圍繞 該軸A-A而旋轉。該承載圓柱1上固定著同樣不可旋轉之 圓板形之控制板2和一在該控制板2上相隔一段距離之驅 動單元3(其包含一種馬達4和一軸承外殼5)。在該控制板2 和該軸承外殼5之間之中間區中存在著一種由各控制元件 所構成之複雜之系統，其以下仍將詳述且能以其整個單元 圍繞該軸A-A而旋轉。 -12- 1260063 由各控制元件和驅動單元3所構成之整個配置是由一可 圍繞該軸A - A而旋轉之傳動機構室（此處未詳細顯示，其具 有正方形之平面圖）所圍繞，其最內側之周邊是由虛線7來 表示。在該可旋轉之傳動機構室6之4個側壁上以等距離 之角分佈方式在內側固定著4個徑向導引件8，其分別具有 一可與該軸A-A成徑向而移動之控制桿9，各控制桿在其外 端上承載著該擺動軸承1 0以控制著以下仍將詳述之基板支 件。 該控制板2(此處只顯示一部份）承載二個已銑切之圍繞在 周圍之控制曲線，即，第一外部控制曲線1 1和第二內部控 制曲線1 2，其空間上之外形相互之間已完全顯示在第2圖 中 ° 直接在該位置固定之軸承外殻5下方定位著一可旋轉之 旋轉十字件13，其具有4個在其周圍以等距方式而配置之 懸臂14，其中在第1圖中只可看到二個。各懸臂以其外端 藉由旋轉軸承1 5而抓握在4個角桿1 6之一端，其另一端（此 處不可看見）在作用上是與該控制桿相連接，這在以下仍將 詳述。 在其中央區中各角桿1 6經由關節銷1 7和配置於該角桿 1 6下方之導引滾筒而接合至外部之控制曲線1 1中。各角桿 1 6此處顯示成鐮刀形。但重要的是二條虛擬直線之角位 置，該二條直線一方面由各別之旋轉軸承1 5延伸至關節銷 1 7且由該處延伸成可與所屬之控制桿靈活地連接著。該二 條直線與關節銷1 7之軸中之頂點所形成之角度”α”可在60 -13- 1260063 度和120度之間（請參閱第4圖上方）。 由第2圖可知··藉由較外部之曲線區段Π a和較內部之曲 線區段1 lb之間逐漸之轉移（transition) ’則可使各控制桿達 成平穩之徑向移動。 由第3圖（其中省略各控制元件之一部份）中另外可知：該 角桿1 6在遠離各懸臂1 4之末端上分別經由聯桿1 8和第一 關節1 9而與各控制桿9相連接。第二關節由徑向導引件8 之蓋板所覆蓋，該徑向導引件8因此向下開啓，如第1圖 所示。 在已描述各徑向移動之控制是藉由控制板2之位置固定 之外部控制曲線1 1和連續之控制桿9之間之旋轉式相對移 動來達成之後，現在來描述各控制桿9之疊加之周期性可 變之運行速率之控制，其係藉由控制板2之位置固定之內 部控制曲線1 2和連續之控制桿9之間之旋轉式相對移動來 達成。 同樣由第3圖可知：在該旋轉十字件1 3及固定地安裝於 其上之各懸臂1 4上安裝著二個在直徑端相面對之擺動關節 20，分別有另一角桿2 1以受限制之方式圍繞該擺動關節而 擺動。各角桿分別具有二個關節銷22和23，其中第一個有 一部份被覆蓋且藉由一未顯示之（已覆蓋之）滾筒而被導引 至內部之控制曲線1 2中。各關節銷22，23相對於該擺動關 節20之角位置所具有之角度是” β”，這在第3圖中顯示在右 上方和左下方中。該角度可依據空間比例和移動動力學而 選擇成介於60度和1 20度之間。藉由該二個角桿2 1配置於 1260063 直徑端，則可使不可避免之徑向力獲得補償，但基本上亦 可分別只以一個角桿2 1來達成。 另外，由第 2圖中亦可知：藉由較外部之曲線區段1 2 a 和較內部之曲線區段1 2 b之間逐漸-或和諧式之轉移’則亦 可使關節銷22達成一種平穩之徑向移動。此種徑向移動依 據該關節銷22，23之桿長度和相對於該擺動關節20之角位 置而在該二個外部箭頭之方向中跟隨該傳動機構室6之圓 周速率。 各關節銷23經由一關節連接板24和另一關節銷25而分 別與一種角件26相連接，該角件26可移位而受限制地固定 在一種對立件2 7上，各關節銷在直徑之二個相面對之角隅 中與該傳動機構室6相連接。於是該傳動機構室6之圓周 速率依據該內部控制曲線丨2之外形而逐漸地且周期地在最 大値和靜止狀態之間改變。當各控制桿9準確地位於基板 用之轉交室之前或準確地位於各處理室之一之前時，則處 於該靜止狀態中。 第4圖顯示該具有馬達4和軸承外殻5之驅動單元3拆除 之後該控制驅動器之各個組件。明顯的是：該控制驅動器 在順時針方向繼續圍繞一種90度之角度時可具有該傳動機 構室6，這在右下方之角隅中可在關節銷25，角件26和該 對立件27之位置上辨認出。該旋轉十字件1 3，該擺動關節 2〇 ’該角桿2 1和全部之徑向導引件8及各控制桿9跟隨著 該移動過程。爲了淸楚之故，第3圖中各角桿21之一及其 連接元件已省略，其必須位於左上方。 -15- 1260063 第1，4圖又顯示：在各懸臂1 4上分別配置三個位置告知 器28，且在軸承外殼5(此處未顯示）上在共軸式互補之可覆 蓋件中三個位置接收器3 0固定在一懸臂2 9上，因此具有以 下之情況：藉由相對應之資料傳送和-評估’則不只可決定 該懸臂1 4-和控制桿9相對於處理室和閘室列內部中之轉交 室之各別之位置，而且亦可決定哪一控制桿9面對哪一室。 第5圖顯示圓周方向中和徑向中已疊加之移動外形。閘 室列3 1平行於切線E-E而延伸，該閘室列由一入口閘32， 一轉交室3 3和一出口閘34所構成。該閘室列包含已知之構 造形式之真空閥3 5。 傾斜直立-或受導引之無基板支件之基板經由閘室列3 1 以直線之步進方式所形成之輸送方向是由一列箭頭3 6來表 示。該轉交室3 3面對該處理室3 7。在環形之空間3 8之內 部中各和諧（或逐漸）之移動順序是由厚的箭頭線來表示。此 種旋轉式移動由該轉交室33開始分別以90度沿著閉合之箭 頭線3 9而進行著。在4個支點（其分別直接位於該轉交室 33之前和各處理室40，37，41之前）上，該基板之前進和 後拉是由徑向箭頭42來表示。該基板之前進係進行至直接 位於該屏蔽用之框形之屏蔽件43之前，各屏蔽件配置在各. 處理室40，37和41之前。但各基板和各屏蔽件43之間之 密封作用是不需要的，此乃因最外側之基板不必對此作出 貢獻。只要該基板支件之向後移動已完全停止，則該基板 支件以90度旋轉至下一個處理室之前，在處理結束之後旋 轉至該轉交室3 3之前以繼續輸送至出口閘3 4中。 -16- 1260063 由第5圖可得知該設備之最簡潔之省空間和體積之形 式’特別是該基板不必送出至大氣中。在全部之情況下， 各鬧室32 ’ 34中已打孔之基板支件及經由整個基板面和滾 輪來進行之壓力氣體供應件係配置在下端，使基板無摩擦 地經由氣墊而移動至基板支件上且又可移開。爲了抽真空 且使基板靜靜地直立在其支件上，則須停止該氣體供應 件。這亦適用於”該基板在環形空間3 8中已位於基板支件 上”時之此一時段中。 第6圖顯示一種中央驅動機構44,其具有一垂直軸A_a， 一種共軸之安裝凸緣45和該傳動機構室6，其中配置著第 1’ 4圖中之配置。該安裝凸緣45用來固定在真空室之一於 此處只顯示一部份之下底部46上。在該可旋轉之傳動機構 室6之角隅上固定著總共8個懸臂47，其經由傾斜之支柱 4 8而支撐在該傳動機構室6上（請亦參閱第3圖）。 在各懸臂47 (其以成對之方式而延伸且形成一種直角形之 十字）上經由上方之擺動軸承而向下懸掛著總共8個平行四 邊形-導桿配置49。該平行四邊形-導桿配置49之下端以可 擺動之方式定位在水平之懸臂50(其是U形之護圈，具有互 相平行之成對之股邊）上，其向外對準之末端分別經由框架 形式之基板支件5 2之一水平之橫件5 1而相連接，該橫件用 作此處未顯示之基板。各基板支件5 2向上傾斜且又向後對 準而與垂直線形成一種3至1 5度之間之角度。 已顯示之二個基板支件5 2因此在箭頭5 3之方向中相面對 且可在徑向中互相移動。須強調：只顯示二個基板支件52。 -17- 1260063 另二個基板支件（其配置在該傳動機構室6之前和之後）爲 了淸楚之故此處未顯示，其同樣在相反方向中可徑向地移 動，且對該二個箭頭5 3成直角。 該傳動機構室6以垂直軸A-A而整合在一真空室中。該 真空室由一盆形之內部子室54所構成，該承載圓柱1之上 部末端區藉由凸緣5 6以真空密封-且不可旋轉之方式而插 入至該子室54之底部55中。垂直之支撐作用係藉由該固定 支柱5 7來達成，該固定支柱5 7之有效長度可藉由第7圖中 所不之調整元件67來改變。此處只顯示二個位於垂直切面 (第5圖中之E-E)後方之固定支柱57，其依據第7圖是懸掛 在徑向之節點板6 6上。 該真空室另外具有一外部子室64 (第7圖），其形式是四邊 形之平截頭棱錐體，該傳動機構室6之下方之凸起5 8以真 空密封但可旋轉之方式經由該平截頭棱錐體之底部46。 在水平之底部4 6和5 5之間存在著該驅動機構44之可旋 轉之主要部份。在環形之空間3 8 (第5圖）中各可旋轉-且可 以徑向之各移動組件來移動之基板支件52由下向上凸出。 經由該內部子室54之圓柱形之壁之移動現象不存在。反 之，基板支件5 2之移置是藉由上述之平行四邊形-導桿配置 4 9來達成，其中該擺動軸承之空間位置已由，，平行四邊形-導桿配置”之定義所設定。因此可達成一種圍繞一中央位置 之對稱之擺動。由於在預測該擺動角度或各徑向移動之成 份時已充份地測得該導桿之長度，則可使垂直之移動成份 成爲最小。 -18- 1260063 上述之擺動軸承相對於移動導引作用而言實際上未由該 塗層材料產生碎屑且亦未產生灰塵（其會影響該基板上之層 品質）。因此，各懸臂50對各基板支件52之侵蝕是發生在 其下邊緣上而不像EP 0136 562 B1中是發生在基板中央。 上述之平行四邊形-導桿配置4 9之下方之擺動軸承只以儘 可能小之間距而位於該懸臂5 0之上側之上方且位於該基板 支件5 2之背面上，因此，由於上述原因使可能發生之碎屑 不能到達該基板之外側。 由第6圖可知：該水平之控制桿9之外部末端在上述之平 行四邊形-導桿配置49作周期性之移動時由該傳動機構室6 中凸出且經由該擺動軸承1 0而抓握在內部之導桿上。 第7圖顯示該使用第1至6圖之各元件之一種完整設備之 外部透視圖，其參考符號仍繼續使用第1至6圖中者。在 轉交室33二側以虛線顯示該入口閘32和該出口閘34。該 轉交室3 3中顯示該傾斜之入口縫隙5 9，同樣亦顯示一種連 接於其上之泵支件60及停止閥6 1和低溫泵62。明顯可見 的是該轉交室 3 3 -和該處理室之對抗大氣壓力用之肋條 63。在內部子室54和外部子室64之間配置一種環形-或圍 繞周圍之蓋子65，節點板66位於該蓋子上方’其可使各調 整元件67對該子室內部之各固定支柱57進行校準。 特別是由第5至7圖中可得知該設備之一特別簡潔-且省 空間和體積之構造’特別是各基板支件不必推出至大氣 中〇 【圖式簡單說明】 -19- 1260063 第1圖內部之驅動機構之透視圖，其未具備該傳動機構室 之外殼且未具備基板載體。 第2圖位置固定之控制板之垂直下看之俯視圖，其具有二 個控制曲線。 第3圖取出該驅動單元之後該驅動機構之垂直下看之俯視 圖，該驅動單元具有馬達和軸承外殻。 第4圖在該傳動機構室旋轉90度後之位置時類似於第3 圖之垂直下看之俯視圖。

第5圖圓周方向中和徑向中一真空設備內部中已疊加之移 動外形之圖解。 第6圖係第5圖之真空設備之核心之軸向切開之側視圖之 一部份，其包含該傳動機構室和二個懸掛在傳動機 構室上且已運行出來之基板支件。 第7圖使用第1至6圖之各元件之整個設備之透視外觀 圖。 [主要元件符號說明】

1 ，承載圓柱 2 控制板 3 驅動單元 4 馬達 5 軸承外殻 6 傳動機構室 7 線 8 徑向導引件 -20- 1260063 9 控 制 桿 10 擺 動 軸 承 1卜 1 2 控 制 曲 線 11a ，1 lb，12a，12b 曲 線 Ts 段 13 旋 轉 + 字 件 14, 29, 47，50 縣 臂 15 旋 轉 軸 承 16, 21 角 桿 17, 22 〜25 關 節 銷 18 聯 桿 19 關 節 20 擺 動 關 節 26 角 件 27 對 ,、r. 件 28 位 置 告 知 器 30 位 置 接 收 器 3 1 閘 室 列 32 入 □ 閘 33 轉 交 室 34 出 □ 閘 35 真 空 閥 36, 42, 53 m 頭 37 處 理 室 38 空 間 39 m 頭 線 40 ' ，41 處 理 室

-21 - 屏蔽件 驅動機構 安裝凸緣 底部 傾斜之支柱 平行四邊形-導桿配置 橫件 基板支件 子室 底部 凸緣 固定支柱 凸起 入口縫隙 泵支件 停止閥 低溫泵 肋條 子室 蓋子 節點板 調整元件 軸 切面/平面 角度 -22-

Claims (1)

1260063 qr ζ (h 木 第93 1 1 895 6號「真空處理設備用之驅動機構」專利案 (2006年5月修正） 十、申請專利範圍： 1. 一種真空處理設備用之驅動機構，藉此使圍繞一軸（A-A) 之環形軌道上之多個基板支件（5 2)可由一入口閘（32)經由 至少一處理室（37, 40，41)而輸送至一出口閘（34)，其中在 該環形軌道之中央配置一種位置固定之承載圓柱（1)’其 上定位著一種可旋轉之傳動機構室（6)，其外側上配置著 該基板支件（5 2)之旋轉-和徑向轉移用之控制桿（9)，其中 在該可旋轉之傳動機構室（6)中在該承載圓柱（1)上固定一 種位置固定之馬達（4)且配置著該控制桿（9)用之可旋轉之 移位驅動器，各控制桿分別貫通該傳動機構室之各壁之 一且因此在作用上分別與所屬之基板支件（5 2)相連接’其 特徵爲： a) 馬達（4)是與一位置固定之軸承外殼（5)相連接’其中 以與該承載圓柱（1)同心之方式來設定一由懸臂（14)所 構成之可旋轉之星形之配置， b) 各懸臂（14)敏捷地與雙臂式角桿（16)之末端相連接’ 各角桿分別具有一種關節銷（1 7)， c) 角桿（16)之另一末端敏捷地與一控制桿（9)相連接， d) 該角桿（1 6)之關節銷（1 7)在位置固定之第一控制曲線 (1丨）中受到導引，其路徑決定該控制桿（9)之徑向移動。 2. 如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中各控制桿（9)定 位在徑向導引件（8)中’各徑向導引件（8)固疋在可&轉之 1260063 傳動機構室（6)中。 3. 如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中第一控制曲線（11) 在角桿（16)下方配置在一位置固定之控制板（2)上。 4. 如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中該角桿（16)以 徑向向外彎曲之形式形成鐮刀形而配置著且其由第一控 制曲線（11)所導引之關節銷（17)配置在該角件（16)之中央 區中。 5 ·如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中該角件（1 6)之 遠離各懸臂（14)之末端經由聯桿（18)而與控制桿（9)相連 接。 6·如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中第一控制曲線（11) 在圓周方向中具有閉合之周期性之波浪形之外形，藉由 其至軸（A-A)之最大之徑向距離可決定各基板支件（52)對 各別之處理室（3 7，4 0，4 1)之終端位置。 7 .如申g靑專利範圍第1項之驅動機構，其中在位置固定之 第一控制曲線（1 1)內部中配置位置固定之第二控制曲線 (12) ’使另外在由各懸臂（14)所構成之可旋轉之星形配置 上配置至少一擺動關節（20)，其上分別配置一角桿（21)， 其一末端經由第二控制曲線（12)而受到導引且其另一端藉 由一關節連接板（24)而與該傳動機構室（6)相連接，使其 圓周速率在重疊至該基板支件（5 2)之徑向移動時可周期性 地改變。 8·如申請專利範圍第7項之驅動機構，其中在由各懸臂（14) 所構成之星形配置之位於直徑相面對之位置上分別配置 1260063 一種具有角桿（2 1)之擺動關節（2 0)，其經由一種關節連接 板（24)而與該傳動機構室（6)相連接。 9.如申請專利範圍第7項之驅動機構，其中各別之關節連 接板（24)之遠離至少一角桿（21)之末端經由一關節銷（25) 而與該傳動機構室（6)相連接。 1 〇.如申請專利範圍第9項之驅動機構，其中各別之關節銷 (2 5 )分別經由一種角件（2 6)和一種對立件（2 7 )而與該傳動 機構室（6)之相鄰之角隅相連接。 1 1.如申請專利範圍第 1項之驅動機構，其中在每一可旋 轉之懸臂（14)上分別配置至少一位置告知器（28)，其在作 用上是與相對應之位置固定之位置接收器（30)相連接。 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項之驅動機構，其中藉由該位置 告知器（28)和位置接收器（30)之信號可決定全部之懸臂（14) 之角位置及決定該至各處理室（37，40，41)和至該轉交室 (33)之分配情況。 1 3 ·如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中在該軸（A - A) 之周圍以等距離之角度分佈方式配置4個懸臂（1 4)，一轉 交室（3 3)和三個處理室（37，40，41)。 1 4.如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中驅動機構（44) 及該傳動機構室（6)配置在內部之子室（5 4)之底部（5 5 )和外 部之子室（64)之底部（46)之間。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項之驅動機構，其中在該傳動機 構室（6)上以十字形之配置方式固定著4對水平之懸臂 (47)，其上懸掛著平行四邊形-導桿配置（49)，其下端經由 1260063 另一水平之懸臂（50)而與基板支件（5 2)相連接。 1 6 .如申請專利範圍第1項之驅動機構，其中各基板支件（5 2) 向上以3至15度之角度而在該軸（A-A)之方向中對準。 1 7 .如申請專利範圍第1 4或1 6項之驅動機構，其中在該軸 (A-A)之切線方向中在該子室（64)上配置一水平之直線式 閘室列（31)，其由入口閘（32)，轉交室（33)和出口閘（34) 所構成，使各基板可經由該閘室列以3至1 5度之角度而 受導引。 1260063— :.7— ，_: :r :: - Ί/7

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