JP2017503080A - 大気圧未満の圧力でロータとコレクタとの間に電気的接続を有する回転可能なターゲットのエンドブロック - Google Patents
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Abstract
Description
前記6つの段落のいずれかに記載のスパッタリング装置において、前記第1冷却領域内の液体は、前記第2冷却領域内の液体と混ざり合う必要はない(第1及び第2冷却領域は、互いに流体連通しない)。また、また別の例示的な実施形態において、第1及び第2冷却領域内の液体は、混合してもよく、第1及び第2冷却領域は、互いに流体連通してもよい。
Claims (19)
- 円筒状の回転可能なスパッタリングターゲットの端部を支持する少なくとも1つのエンドブロックであって、前記エンドブロックは、固定された導電性コレクタ及びスパッタリング作動中に前記円筒状のスパッタリングターゲットと共に回転するための回転可能な導電性ロータを含む、エンドブロックと、
前記コレクタから前記ロータに電力を伝達するために、前記固定された導電性コレクタと回転可能なロータとの間に配置される電力伝達構造体をさらに含む前記エンドブロックと、
前記固定された導電性コレクタを冷却するために液体が流動する第1冷却領域であって、前記第1冷却領域は、前記固定された導電性コレクタの少なくとも一部の周囲に配置されて前記固定された導電性コレクタと実質的に同じ中心を有する、第1冷却領域と、
前記ロータ及び前記ターゲットを冷却するために液体が流動する前記第1冷却領域と別の第2冷却領域であって、前記第2冷却領域は、前記ロータによって少なくとも部分的に囲まれて、前記第2冷却領域内の液体は、前記ターゲット及びロータが回転する軸に対して実質的に平行な少なくとも一方向に流れる、第2冷却領域と、
を含み、
前記第1冷却領域内の液体は、前記ターゲット及びロータが回転する軸の周辺を流れて、
前記電力伝達構造体、前記ロータ、及び前記コレクタは、各々スパッタリング作動中に大気圧未満の圧力を有する真空下の領域内に配置される、スパッタリング装置。 - 前記電力伝達構造体は、1つ以上の導電性ブラシで構成される、請求項1に記載のスパッタリング装置。
- 前記電力伝達構造体の全体及び前記ロータの全体は、各々前記大気圧未満の圧力を有する真空下の領域内に配置される、請求項1〜2のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記ターゲットは、また、完全に前記大気圧未満の圧力を有する真空下の領域内に配置される、請求項1〜3のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記コレクタの全体は、前記大気圧未満の圧力を有する真空下の領域内に配置される、請求項1〜4のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- エンドブロック支持体は、前記スパッタリング装置のスパッタリングチャンバの天井から前記エンドブロックを支持する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記第1冷却領域内の液体は、前記第2冷却領域内の液体と混合しない、請求項1〜6のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記第1冷却領域内の液体は、水を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記第2冷却領域内の液体は、水を含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記エンドブロック及びターゲットは、前記スパッタリング装置内でスパッタリング作動中の選択的移動及び使用のためにカソード回転装置上に装着される、請求項1〜9のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記第1冷却領域の冷却液体注入口及び冷却液体排出口は、前記エンドブロック内又は周辺に提供され、前記第2冷却領域の冷却液体注入口及び冷却液体排出口は、前記コレクタを含む前記エンドブロックが配置された端部の反対側のターゲットの端部に提供されるまた別のエンドブロック内又は周辺に提供される、請求項1〜10のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- スパッタリング装置内で回転可能なスパッタリングターゲットを支持するエンドブロックであって、
固定された導電性コレクタと、
スパッタリング作動中に前記回転可能なスパッタリングターゲットと共に回転するための回転可能な導電性ロータと、
少なくとも前記コレクタから前記ロータに電力を伝達するために、前記固定された導電性コレクタと前記回転可能なロータとの間に配置される電力伝達構造体と、を含み、
前記電力伝達構造体、前記ロータ、及び前記コレクタは、各々スパッタリング作動中に大気圧未満の圧力を有する真空下の領域内に配置されるようにする、エンドブロック。 - 前記固定された導電性コレクタを冷却するために液体が流動する第1冷却領域をさらに含み、前記第1冷却領域は、前記固定された導電性コレクタの少なくとも一部の周囲に配置されて前記固定された導電性コレクタと実質的に同じ中心を有する、請求項12に記載のエンドブロック。
- 前記ロータ及びターゲットを冷却するために液体が流動する第2冷却領域をさらに含み、前記第2冷却領域は、前記ロータによって少なくとも部分的に囲まれて、前記第2冷却領域内の液体は、前記ターゲット及びロータが回転する軸に対して実質的に平行な少なくとも一方向に流れる、請求項13に記載のエンドブロック。
- 前記第1冷却領域内の液体は、前記ターゲット及びロータが回転する軸の周辺を流れる、請求項14に記載のエンドブロック。
- 前記電力伝達構造体は、1つ以上の導電性ブラシで構成される、請求項12〜15のいずれか一項に記載のエンドブロック。
- 前記電力伝達構造体の全体及び前記ロータの全体は、各々スパッタリング作動中に前記大気圧未満の圧力を有する真空下の領域内に配置されるようにする、請求項12〜16のいずれか一項に記載のエンドブロック。
- 前記第1及び第2冷却領域は、互いに流体連通しない、請求項14〜17のいずれか一項に記載のエンドブロック。
- 基板上に層をスパッタ蒸着するために、大気圧未満の圧力でのチャンバ内で回転するターゲットをスパッタリングする工程において、前記ターゲットは、エンドブロックによって支持され、前記エンドブロックは、固定された導電性コレクタ、前記スパッタリング中に前記スパッタリングターゲットと共に回転するための回転可能な導電性ロータ、及び前記コレクタから前記ロータに電力を伝達するために、前記固定された導電性コレクタと前記回転可能なロータとの間に配置される電力伝達構造体、を含む、工程と、
前記スパッタリング中に、前記電力伝達構造体、前記ロータ、及び前記コレクタが各々前記大気圧未満の圧力を有する真空下の領域内に配置されるようにする位置に前記エンドブロックを提供する工程とを含む、被覆製品の製造方法。
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