BE1024754B9 - Een universeel monteerbaar eindblok - Google Patents

Abstract

Een eindblok (100) voor gebruik in een depositie-inrichting, voor het verbinden van een cilindrisch verbruiksdoel (150) met magneetbar, met een buitenzijde van de depositie-inrichting, omvat minstens aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar to voorzien, waarbij de aandrijfmiddelen een aangedreven as omvatten. De aandrijfmiddelen omvatten een verbruiksdoel-motor en een verbruiksdoel-aandrijfas en/of een magneetbar-motor en een magneetbar-aandrijfas. Een eindblokbehuizing (160) die het eindblok (100) bevat, is substantieel as-symmetrisch en coaxiaal met de aangedreven as. Door de as-symmetrie is het eindblok universeel monteerbaar.

Description

(73) Houder(s) :

SOLERAS ADVANCED COATINGS BVBA

9800, DEINZE

België (72) Uitvinder(s) :

DE BOSSCHER Wilmert 9031 DRONGEN België

VAN DE PUTTE Ivan 8790 WAREGEM België

DEWILDE Niek 9770 KRUISHOUTEM België (54) EEN UNIVERSEEL MONTEERBAAR EINDBLOK

120 (57) Een eindblok (100) voor gebruik in een depositie-inrichting, voor het verbinden van een cilindrisch verbruiksdoel (150) met magneetbar, met een buitenzijde van de depositie-inrichting, omvat minstens aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar to voorzien, waarbij de aandrijfmiddelen een aangedreven as omvatten. De aandrijfmiddelen omvatten een verbruiksdoel-motor en een verbruiksdoel-aandrijfas en/of een magneetbarmotor en een magneetbar-aandrijfas. Een eindblokbehuizing (160) die het eindblok (100) bevat, is substantieel as-symmetrisch en coaxiaal met de aangedreven as. Door de as-symmetrie is het eindblok universeel monteerbaar.

FIG. 1

BELGISCH UITVINDINGSOCTROOI

FOD Economie, K.M.O., Middenstand & Energie

Publicatienummer: 1024754 Nummer van indiening: BE2016/5888

Dienst voor de Intellectuele Eigendom

Internationale classificatie: C23C 14/34 C23C 14/35 H01J 37/34 Datum van verlening: 27/06/2018

De Minister van Economie,

Gelet op het Verdrag van Parijs van 20 maart 1883 tot Bescherming van de industriële Eigendom;

Gelet op de wet van 28 maart 1984 op de uitvindingsoctrooien, artikel 22, voor de voor 22 September 2014 ingediende octrooiaanvragen ;

Gelet op Titel 1 Uitvindingsoctrooien van Boek XI van het Wetboek van economisch recht, artikel XI.24, voor de vanaf 22 September 2014 ingediende octrooiaanvragen ;

Gelet op het koninklijk besluit van 2 december 1986 betreffende het aanvragen, verlenen en in stand houden van uitvindingsoctrooien, artikel 28;

Gelet op de aanvraag voor een uitvindingsoctrooi ontvangen door de Dienst voor de Intellectuele Eigendom op datum van 29/11/2016.

Overwegende dat voor de octrooiaanvragen die binnen het toepassingsgebied van Titel 1, Boek XI, van het Wetboek van economisch recht (hierna WER) vallen, overeenkomstig artikel XI.19, § 4, tweede lid, van het WER, het verleende octrooi beperkt zal zijn tot de octrooiconclusies waarvoor het verslag van nieuwheidsonderzoek werd opgesteld, wanneer de octrooiaanvraag het voorwerp uitmaakt van een verslag van nieuwheidsonderzoek dat een gebrek aan eenheid van uitvinding als bedoeld in paragraaf 1, vermeldt, en wanneer de aanvrager zijn aanvraag niet beperkt en geen afgesplitste aanvraag indient overeenkomstig het verslag van nieuwheidsonderzoek.

Besluit:

Artikel 1. - Er wordt aan

SOLERAS ADVANCED COATINGS BVBA, E3-Iaan 75/79, 9800 DEINZE België;

vertegenwoordigd door

HERTOGHE Kris, Hundeigemsesteenweg 1116, 9820, MERELBEKE;

een Belgisch uitvindingsoctrooi met een looptijd van 20 jaar toegekend, onder voorbehoud van betaling van de jaartaksen zoals bedoeld in artikel XI.48, § 1 van het Wetboek van economisch recht, voor: EEN UNIVERSEEL MONTEERBAAR EINDBLOK.

UITVINDER(S):

DE BOSSCHER Wilmert, Noordhoutstraat 22, 9031, DRONGEN;

VAN DE PUTTE Ivan, Lavendellaan 6, 8790, WAREGEM;

DEWILDE Niek, Deinsesteenweg 67, 9770, KRUISHOUTEM;

VOORRANG:

AFSPLITSING :

Afgesplitst van basisaanvraag : Indieningsdatum van de basisaanvraag :

Artikel 2. - Dit octrooi wordt verleend zonder voorafgaand onderzoek naar de octrooieerbaarheid van de uitvinding, zonder garantie van de Verdienste van de uitvinding noch van de nauwkeurigheid van de beschrijving ervan en voor risico van de aanvrager(s).

Brussel, 27/06/2018,

Bij bijzondere machtiging:

BE2016/5888

Een universeel monteerbaar eindblok

Toepassingsgebied van de uitvinding

De onderhavige uitvinding heeft in het algemeen betrekking op een eindblok voor gebruik in een depositie-inrichting voor het overbrengen van vermögen naar een verbruiksdoel. Meer specifiek heeft ze betrekking op een eindblok waarop een cilindervormig verbruiksdoel kan gemonteerd worden en dat geen uitstekend deel bevat aan de motor behuizing, waardoor het universeel monteerbaar is. De uitvinding omvat eveneens een corresponderende depositie-inrichting.

Achtergrond van de uitvinding

Een eindblok verbindt een verbruiksdoel in een depositie-inrichting met de buitenzijde van de depositie-inrichting. Een dergelijk eindblok is typisch monteerbaar als een onderdeel op de depositie-inrichting. In delen van het eindblok kan de druk hoger zijn dan in de depositie-inrichting. Deze druk kan bijvoorbeeld dicht tegen atmosferische druk liggen. Onderdelen die samen met het verbruiksdoel verwijderd kunnen worden, of de verwijderbare magneet configuratie, worden typisch niet als vast behorend tot het eindblok gerekend.

De hoofdfunctie van het eindblok is het dragen van het verbruiksdoel en potentieel het röteren van het verbruiksdoel rond de rotatie-as. Gezien PVD depositie gebeurt bij een gas op läge gasdruk, moet het eindblok vacuümdicht zijn, ook tijdens de eventuele rotatie van het verbruiksdoel. PVD depositie verwijst naar een fysische dampfase depositietechniek waarbij materiaal afkomstig van een verbruiksdoel wordt neergeslagen op onder andere een substraat waarop men een dunne laag wenst aan te brengen. Deze PVD depositie kan bv. sputteren zijn en in dit geval wordt het verbruiksdoel dikwijls target of sputterdoel genoemd. PVD depositie omvat tevens opdampen of verdampen van het verbruiksdoel teneinde een dunne laag aan te brengen op nabij gepositioneerde oppervlakken met materiaal dat o.a. afkomstig is van het verbruiksdoel.

BE2016/5888

Gezien PVD depositie van een verbruiksdoel veel wärmte kan genereren op het verbruiksdoel oppervlak, dient het verbruiksdoel ook gekoeld te worden. Dit wordt typisch gedaan met water of een ander geschikt koelmiddel. Het koelmiddel moet gevoed en geëvacueerd worden via het eindblok.

Het verbruiksdoel dient ook gevoed te worden met een elektrische stroom om het verbruiksdoel op een bepaalde elektrische potentiaal te brengen. Meer specifiek wordt in het eindblok vermögen van het statische deel van het eindblok naar het roterend deel van het eindblok overgebracht.

Om al deze verschwende functionaliteiten te incorporeren, dient elk eindblok een of meerdere van de volgende middelen te bevatten : (i) aandrijfmiddelen om het verbruiksdoel te laten röteren, (ii) een roteerbaar elektrisch contact middel om elektrische stroom op het verbruiksdoel te krijgen, (iii) één of meerdere lagers (of glijlagers) om het verbruiksdoel mechanisch te ondersteunen terwijl het draait rond zijn as, (iv) één of meerdere roteerbare dichtingsmiddelen voor koelvloeistof, (v) één of meerdere roteerbare vacuümdichtingsmiddelen, en (vi) middelen om magneten of een reeks van magneten te positioneren.

Om deze functionaliteiten te combineren bestaan reeds verscheidene configuraties van eindblokken in de stand der techniek.

Dubbele rechthoekige eindblokken, zoals beschreven in US5096562 en in US2003/0136672, zijn eindblokken waarin de lageringsmiddelen, de middelen om te röteren, de middelen om elektrisch te voeden, de middelen om te koelen en de middelen om te isoleren (lucht, koelvloeistof, elektrisch) verspreid worden over twee eindblokken, elk gesitueerd aan een einde van het sputterdoel. Met rechthoekig wordt bedoeld dat de eindblokken gemonteerd zijn op de wand parallel aan de rotatie as van het sputterdoel.

Enkelvoudige, rechtlijnige eindblokken, zoals beschreven in US5200049, zijn eindblokken waarin de lageringsmiddelen, de middelen om te röteren, de middelen om elektrisch te voeden, de middelen om te koelen en de middelen om te isoleren (lucht, koelmiddel, elektrisch) allen gecombineerd worden in één eindblok. Het sputterdoel wordt hierbij op het eindblok gemonteerd. Met rechtlijnig wordt bedoeld

BE2016/5888 dat de rotatie as van het sputterdoel loodrecht Staat op de wand waarop het eindblok wordt gemonteerd.

Hybride configuraties voor eindblokken worden beschreven in US5620577, waarbij het einde van het sputterdoel, gelegen tegenover het einde van het sputterdoel waar het eindblok voorzien is, gesupporteerd wordt door een mechanisch steunelement.

Doordat verschwende functies in een eindblok aanwezig zijn, heeft dit implicaties op de grootte van het eindblok. Gekende eindblokken hebben veelal een uitstekend deel waarin een deel van de motor is ondergebracht, waardoor montage van verscheidene eindblokken dicht bij elkaar niet probleemloos kan gebeuren.

US20110147209 betreft een behuizing waarin slechts één functie aanwezig is, namelijk het aanbrengen van een draaimoment op de aandrijfas. In de behuizing van US20110147209 kan een motor gemonteerd worden. Een aandrijfas is aan één zijde toegankelijk van buiten de behuizing en is aan deze zijde verbonden met een roterende target. Aan de andere zijde, binnen de behuizing, is de aandrijfas verbonden met een elektrische motor om een draaimoment over te brengen op de aandrijfas.

Er is dus verbetering mogelijk in het ontwerp van eindblokken, en dit vooral met betrekking tot de integratie van verschwende functionaliteiten in het eindblok op zo een manier dat het eindblok universeel monteerbaar is.

Samenvatting van de uitvinding

Het is een doel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding om een (goed) eindblok te voorzien dat ondersteuning biedt voor verschwende functies en om een depositie-inrichting te voorzien waarin een dergelijk eindblok gebruikt wordt.

De bovengenoemde doelstelling wordt verwezenlijkt door een apparaat, en inrichting volgens de onderhavige uitvinding.

In een eerste aspect voorziet de huidige uitvinding in een eindblok voor gebruik in een depositie-inrichting. Het eindblok heeft als functie het verbinden van een cilindrisch verbruiksdoel met magneetbar, met een buitenzijde van de depositie4

BE2016/5888 inrichting. Het eindblok omvat minstens de volgende functionaliteiten: (i) aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, waarbij de aandrijfmiddelen een aangedreven as omvatten en (ii) overdrachtsmiddelen om elektrische stroom op het verbruiksdoel te brengen. Het eindblok is omvat in een eindblokbehuizing die substantieel as-symmetrisch is en coaxiaal met de aangedreven as. Een eindblokbehuizing is een onderdeel dat het eindblok met zijn functionaliteiten bevat en omsluit.

In een specifieke uitvoeringvorm is de eindblokbehuizing een monolithisch stuk, bv. gemaakt uit een metaal zoals staal of aluminium. Dit kan onder andere worden vervaardigd door het uitdraaien of uitfrezen van een massief blok materiaal.

In een uitvoeringsvorm is de eindblokbehuizing verbonden met een wand (of deur, flens of deksel) van de vacuümkamer en zorgt tevens voor de vacuümafdichting van een opening in de vacuümkamer.

De diameter van een cirkel die de eindblokbehuizing omschrijft en die loodrecht Staat op de aangedreven as, is niet groter is dan 2,7 keer, bij voorkeur niet groter dan 2,1 keer, bijvoorbeeld niet groter dan 1,6 keer, de diameter van een koppeling waarop het verbruiksdoel kan gemonteerd worden. De diameter van een cirkel die de eindblokbehuizing omschrijft en die loodrecht Staat op de aangedreven as, ligt bijvoorbeeld tussen 1,2 en 2,7 keer, bij voorkeur tussen 1,6 en 2,1 keer, de diameter van een koppeling waarop het verbruiksdoel kan gemonteerd worden.

Door de as-symmetrie van de eindblokbehuizing is het eindblok universeel monteerbaar. Vergeleken met Systemen waar de motor buiten het eindblok is geplaatst, heeft een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding immers geen uitstulpingen waarin motor onderdelen zijn ondergebracht, waardoor het beter monteerbaar is in verschwende coater configuraties.

In een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kunnen de aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, een verbruiksdoel-motor en een verbruiksdoel-aandrijfas omvatten voor het aandrijven van het verbruiksdoel. De verbruiksdoel-aandrijfas is dan de aangedreven as.

BE2016/5888

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is de verbruiksdoel-aandrijfas dezelfde as als dewelke waarop het verbruiksdoel is gemonteerd. In andere uitvoeringsvormen kunnen de verbruiksdoel aandrijfas en de as waarop het verbruiksdoel is gemonteerd twee verschwende assen zijn die aan elkaar gemonteerd zijn. Doordat de verbruiksdoel-aandrijfas coaxiaal is met het verbruiksdoel heeft het eindblok geen uitstulpingen waardoor het beter en universeel monteerbaar is in verschwende coater configuraties. Het is bovendien een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat de verbruiksdoel-aandrijfas niet alleen dient om een rotatie-moment over te brengen naar het verbruiksdoel maar tevens kan gebruikt worden om elektrisch vermögen over te brengen naar het verbruiksdoel. Het vermögen kan bijvoorbeeld overgebracht worden van de verbruiksdoel-aandrijfas naar het verbruiksdoel. Dit elektrisch vermögen kan bijvoorbeeld aangelegd worden om plasma te genereren. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat de verbruiksdoel-aandrijfas in lijn ligt met de rotatie-as van het verbruiksdoel (wanneer het verbruiksdoel gemonteerd is).

Hierdoor is het mogelijke om een substantieel as-symmetrisch, of zelfs assymmetrisch, eindblok te maken. Dit in tegenstelling tot eindblokken waar de motor niet in lijn Staat met de rotatie-as van het verbruiksdoel.

Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat het eindblok enkel met flexibele connecties verbonden is voor de toevoer van energie, en bijvoorbeeld koelmiddel zoals koelvloeistof. Doordat de aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, bijvoorbeeld de verbruiksdoel-motor of, zoals lager aangegeven, de magneetbar-motor, en de vermogen-overbrenging geïntegreerd zijn in het eindblok is er geen bijkomende mechanische aandrijfverbinding noodzakelijk tussen de atmosferische kant en het eindblok dat zieh mogelijks in vacuüm bevindt. Hierdoor kan het eindblok vrij gepositioneerd worden binnen een vacuüm depositie-systeem. Het eindblok kan bijvoorbeeld gemonteerd worden op een robotarm in een vacuüm depositie-systeem.

Een eindblok, in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding, met er op gemonteerd een verbruiksdoel, kan ingezet worden als

BE2016/5888 zelfreinigende anode in een reactief depositie-proces. Het verbruiksdoel kan hierbij ronddraaien naast andere magnetrons die voortdurend in kathode mode worden gebruikt voor het coaten van een substraat. De anode magnetron verwijdert materiaal van het procès weg aan de achterkant, bijvoorbeeld door sputteren of verdampen terwijl het blootgesteld verbruiksdoel oppervlak aan de voorkant proper blijft.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is de as van elektrische vermogenoverdracht coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas. Het is niet voor de hand liggend om de elektrisch vermogen-overbrengingsas coaxiaal te maken met de verbruiksdoel-aandrijfas; dit is contra-intuïtief. Het ligt immers niet voor de hand om een AC signaal te sturen door een inductie-gebaseerde motor. Precies doordat de verbruiksdoel-aandrijfas coaxiaal is met het verbruiksdoel, is het mogelijk om de diameter van het eindblok te beperken. Mocht deze coaxialiteit er niet zijn, dan zou de motor een uitstulping vormen op het eindblok. Een dergelijk eindblok met uitstulping is niet meer universeel inzetbaar, en kan het niet geplaatst worden op sommige plaatsen waar dit nog wel mogelijk is voor een eindblok in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

In een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan de verbruiksdoel-aandrijfas ten minste gedeeltelijk gemaakt zijn van elektrisch geleidend materiaal. In dergelijke uitvoeringsvormen dient geen bijkomende geleider meer te moeten worden aangebracht om elektrisch vermögen naar het verbruiksdoel over te brengen. Dit wordt mogelijk gemaakt door de vermogen-overbrenging en door de elektrisch geleidende verbruiksdoel-aandrijfas.

Een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan verder minstens één van volgende onderdelen omvatten: (i) een roteerbaar elektrisch contact om elektrische stroom op het verbruiksdoel te krijgen, (ii) één of meerdere lagers om het verbruiksdoel mechanisch te ondersteunen terwijl het draait rond zijn as, (iii) één of meerdere roteerbare dichtingsmiddelen voor koelmiddel, bijvoorbeeld koelvloeistof, en/of vacuüm.

BE2016/5888

In een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan de verbruiksdoel-motor spoelen omvatten die gemonteerd zijn op een statisch deel van het eindblok, en een magneetsysteem dat gemonteerd is op de verbruiksdoelaandrijfas, waarbij de spoelen en het magneetsysteem zo gemonteerd zijn dat door het sturen van een elektrische stroom doorheen de spoelen een rotatiemoment kan opgewekt worden op verbruiksdoel-aandrijfas.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan het statische deel van het eindblok een schijf omvatten met daarop minstens één cilinder (oorspronkelijke cilinder genoemd), waarbij deze cilinder coaxiaal is met de verbruiksdoel-aandrijfas en de schijf loodrecht Staat op de verbruiksdoel-aandrijfas, en waarbij de minstens één cilinder zieh rond of binnen de verbruiksdoel-aandrijfas bevindt. In bijzondere uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan het statische deel van het eindblok een schijf omvatten met daarop minstens een eerste en een tweede cilinder, beiden coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas, waarbij de eerste cilinder zieh rond de verbruiksdoel-aandrijfas bevindt, en de tweede cilinder zieh binnen de verbruiksdoelaandrijfas bevindt. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat de spoelen van de verbruiksdoel-motor kunnen gemonteerd worden op de eerste cilinder en dat de vermogen-overbrenging kan gemonteerd worden op de tweede cilinder. In bijzondere uitvoeringsvormen kunnen de spoelen van de verbruiksdoel-motor gemonteerd zijn op de minstens één cilinder en kan de vermogen-overbrenging gemonteerd zijn tussen de minstens één cilinder en de verbruiksdoel-aandrijfas.

In bovenstaande of alternatieve uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding, kunnen de aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, een magneetbar-motor en een magneetbar-aandrijfas omvatten, om de magneetbar te bewegen binnen het verbruiksdoel. De huidige uitvinding omvat dus uitvoeringsvormen met enkel een verbruiksdoel-motor als enige aandrijving binnen het eindblok, uitvoeringsvormen met enkel een magneetbarmotor als enige aandrijving binnen het eindblok, en uitvoeringsvormen met zowel een verbruiksdoel-motor als een magneetbar-motor as aandrijving binnen het

BE2016/5888 eindblok. In het geval enkel een magneet-bar motor als aandrijving binnen het eindblok is voorzien, omvat het eindblok (i) een vast elektrisch contact, (ii) een of meerdere lagers om het magneetbarsysteem mechanisch te ondersteunen terwijl het draait rond zijn as en (iii) een of meerdere roteerbare dichtingen voor koelmiddel, een dynamische vacuümafdichting is dan niet vereist.

In een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kunnen een magneetbar-motor en een verbruiksdoel-motor in serie geplaatst zijn. De magneetbar-motor kan bevestigd zijn aan het statische deel van het eindblok, en de magneetbar-aandrijfas kan coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas gemonteerd zijn.

Zowel het verbruiksdoel als de magneetbar kunnen aangedreven worden door het eindblok. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat de diameter van het eindblok niet groter is wanneer er twee motoren in serie aanwezig zijn dan wanneer er slechts één motor aanwezig is: beide motoren kunnen achter elkaar geplaatst zijn in lengterichting van de aangedreven as of assen. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat directionele en/of omni-directionele materiaal depositie mogelijk zijn.

In een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan de magneetbar-motor spoelen omvatten die gemonteerd zijn op het statisch deel van het eindblok, en een magneetsysteem dat gemonteerd is op de magneetbaraandrijfas, waarbij de spoelen en het magneetsysteem zo gemonteerd zijn dat door het sturen van een elektrische stroom doorheen de spoelen een rotatiemoment kan opgewekt worden op de magneetbar-aandrijfas.

In een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan op de schijf minstens één bijkomende cilinder aanwezig zijn op de zijde tegenover deze waarop de minstens één oorspronkelijke cilinder aanwezig is, waarbij de minsten één bijkomende cilinder coaxiaal is met de verbruiksdoel-aandrijfas en waarbij een gedeelte van de magneetbar-aandrijfas zieh rond of binnen de bijkomende cilinder bevindt. De spoelen van de magneetbar-motor kunnen gemonteerd worden op de minstens één bijkomende cilinder. De minstens één bijkomende cilinder kan geïmplementeerd zijn als een derde cilinder en een vierde cilinder. Een gedeelte van

BE2016/5888 de magneetbar-aandrijfas kan zieh tussen de derde cilinder en de vierde cilinder bevinden.

Een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan verder middelen omvatten om individuele magneten of een reeks van magneten in de magneetbarte positioneren.

In een tweede aspect voorziet de huidige uitvinding in een depositie-inrichting die ten minste één eindblok in overeenstemming met uitvoeringsvormen van het eerste aspect omvat.

Een depositie-inrichting volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan minstens één eindblok omvatten, waarbij de depositie-inrichting is aangepast zodat een verbruiksdoel kan geplaatst worden op het minstens één eindblok en een substraat kan gebracht worden naast het verbruiksdoel.

Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat het mogelijk is om een, bijvoorbeeld cilindervormig, substraat längs de binnenzijde te voorzien van een coating. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen dat de diameter van dat substraat een kleinere binnendiameter kan hebben, en toch nog rond het eindblok passen, dan wanneer een eindblok gebruikt wordt waarbij de motor buiten het eindblok geplaatst is. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat interne coating van een hol substraat mogelijk is. Dit maakt het bijvoorbeeld mogelijk om grote reflectoren te maken. Dit is bijzonder voordelig in toepassingen zoals het coaten van een spiegel voor een spiegeltelescoop. Een spiegeltelescoop kan een spiegel hebben met een diameter van meerdere meters; bv.

m of 8 m of nog veel groter. Momenteei worden voor het coaten van dergelijk grote Spiegels enkel vlakke targets gebruikt die staan opgesteld over een straal van de spiegel en welke kunnen ronddraaien rond het middelpunt van de ronde spiegel. De enige aandrijving hier is de rotatie van de volledige vlakke magnetron, welke zieh in de vacuümkamer bevindt. Een magnetron met een cilindrisch target zou hier alle voordelen van cilindrische targets kunnen bieden, maar is met de huidige Staat van roterende cilindrische magnetrons niet mogelijk omwille van het typische atmosferische karaktervan de rotatieaandrijving. Dit probleem wordt verholpen door

BE2016/5888 gebruik van een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding, in een depositie-inrichting volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

Een depositie-inrichting volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan meerdere eindblokken omvatten, waarbij deze eindblokken in een twee5 dimensionele configuratie, bijvoorbeeld met parallelle verbruiksdoel-aandrijfassen zijn opgesteld. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat een meer compacte twee-dimensionele configuratie kan gerealiseerd worden dan wanneer eindblokken gebruikt worden waarbij de motor geheel of gedeeltelijk buiten de eindblokbehuizing geplaatst is.

In een depositie-inrichting volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding, kunnen Substraten zieh in meerdere richtingen bevinden vanuit het standpunt van het verbruiksdoel gezien, en kan waarbij de magneetbar-motor zorgen voor coating in meerdere richtingen. Een dergelijke opstelling kan in het bijzonder bijvoorbeeld worden gebruikt met een statisch cilindrisch verbruiksdoel. De

Substraten kunnen in een planetair systeem rond het verbruiksdoel zijn opgesteld.

Een depositie-inrichting volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan worden gebruikt in toepassingen waarbij de Substraten niet vlak zijn en waarbij op oppervlakken met meerdere oriëntatierichtingen uniform gecoat dient te worden.

Specifieke en voorkeursdragende aspecten van de uitvinding zijn opgenomen in de aangehechte onafhankelijke en afhankelijke conclusies. Kenmerken van de afhankelijke conclusies kunnen worden gecombineerd met kenmerken van de onafhankelijke conclusies en met kenmerken van andere afhankelijke conclusies zoals aangewezen en niet enkel zoals uitdrukkelijk in de conclusies naar voor gebracht.

Deze en andere aspecten van de uitvinding zullen duidelijk zijn van en verhelderd worden met verwijzing naar de hiernavolgende beschreven uitvoeringsvorm(en).

Korte beschrijving van de figuren

BE2016/5888

FIG. 1 tot FIG. 6 tonen, in de langsrichting, schematische voorstellingen van verschwende configuraties van eindblokken in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 7 toont een voorstelling van een eindblok bekeken vanuit de verbruiksdoelas in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 8 toont voorstellingen van eindblokken bekeken vanuit de verbruiksdoelas overeenkomstig de stand der techniek.

FIG. 9a en FIG. 9b tonen een schematische voorstelling van een gedeelte van een depositie-inrichting in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 10 en FIG. 11 tonen een schematische voorstelling van een dwarsdoorsnede van een depositie-inrichting met meerdere eindblokken, in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 12 toont een schematische voorstelling van een eindblok dat een magneetbar-motor en een verbruiksdoel-motor omvat, in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 13 toont een schematische voorstelling van een eindblok dat een magneetbar-motor omvat en met een statisch verbruiksdoel, in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 14 toont een schematische voorstelling van een depositie-inrichting waarin een veelheid aan verbruiksdoelen naast elkaar zijn aangebracht, waarbij elk verbruiksdoel is gemonteerd op een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 15 illustreert een andere uitvoeringsvorm van de huidige uitvinding, waarbij een verbruiksdoel statisch kan worden opgesteld in het centrum van een planetair systeem, waarbij de te coaten Substraten de planeten zijn die rond het verbruiksdoel worden aangebracht. Het verbruiksdoel wordt gemonteerd op een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding, en voorziet o.a.

BE2016/5888 vermögen aan een aandrijving voor het aandrijven van de magneetbar in het verbruiksdoel.

De figuren zijn enkel schematisch en niet limiterend. In de figuren kunnen de afmetingen van sommige onderdelen overdreven en niet op schaal zijn voorgesteld voor illustratieve doeleinden.

Referentienummers in de conclusies mögen niet worden gei'nterpreteerd om de beschermingsomvang te beperken. In de verschwende figuren verwijzen dezelfde referentienummers naar dezelfde of gelijkaardige elementen.

Gedetailleerde beschrijving van illustratieve uitvoeringsvormen

De huidige uitvinding zal beschreven worden met betrekking tot bijzondere uitvoeringsvormen en met verwijzing naar bepaalde tekeningen, echter de uitvinding wordt daartoe niet beperkt maar is enkel beperkt door de conclusies. De beschreven tekeningen zijn slechts schematisch en niet beperkend. In de tekeningen kunnen voor illustratieve doeleinden de afmetingen van sommige elementen vergroot en niet op schaal getekend zijn. De afmetingen en de relatieve afmetingen komen soms niet overeen met de actuele praktische uitvoering van de uitvinding.

Verder worden de termen eerste, tweede, derde en dergelijke in de beschrijving en in de conclusies gebruikt voor het onderscheiden van gelijkaardige elementen en niet noodzakelijk voor het beschrijven van een volgorde, noch in de tijd, noch spatiaal, noch in rangorde of op enige andere wijze. Het dient te worden begrepen dat de termen op die manier gebruikt onder geschikte omstandigheden verwisselbaar zijn en dat de uitvoeringsvormen van de uitvinding hierin beschreven geschikt zijn om in andere volgorde te werken dan hierin beschreven of weergegeven.

Bovendien worden de termen bovenste, onderste, boven, voor en dergelijke in de beschrijving en de conclusies aangewend voor beschrijvingsdoeleinden en niet noodzakelijk om relatieve posities te beschrijven. Het dient te worden begrepen dat de termen die zo aangewend worden onder gegeven omstandigheden onderling kunnen gewisseid worden en dat de uitvoeringsvormen van de uitvinding hierin

BE2016/5888 beschreven ook geschikt zijn om te werken volgens andere oriëntaties dan hierin beschreven of weergegeven.

Het dient opgemerkt te worden dat de term omvat, zoals gebruikt in de conclusies, niet als beperkt tot de erna beschreven middelen dient geïnterpreteerd te worden; deze term sluit geen andere elementen of stappen uit. Hij is zodoende te interpreteren als het specificeren van de aanwezigheid van de vermelde kenmerken, waarden, stappen of componenten waarnaar verwezen wordt, maar sluit de aanwezigheid of toevoeging van één of meerdere andere kenmerken, waarden, stappen of componenten, of groepen daarvan niet uit. Dus, de omvang van de uitdrukking een inrichting omvattende middelen A en B dient niet beperkt te worden tot inrichtingen die slechts uit componenten A en B bestaan. Het betekent dat met betrekking tot de huidige uitvinding, A en B de enige relevante componenten van de inrichting zijn.

Verwijzing doorheen deze specificatie naar één uitvoeringsvorm of een uitvoeringsvorm betekent dat een specifiek kenmerk, structuur of karakteristiek beschreven in verband met de uitvoeringsvorm is opgenomen in ten minste één uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. Dus, het voorkomen van de uitdrukkingen in één uitvoeringsvorm of in een uitvoeringsvorm op diverse plaatsen doorheen deze specificatie hoeft niet noodzakelijk telkens naar dezelfde uitvoeringsvorm te refereren, maar kan dit wel doen. Voorts, de specifieke kenmerken, structuren of karakteristieken kunnen gecombineerd worden op eender welke geschikte manier, zoals duidelijk zou zijn voor een gemiddelde vakman op basis van deze bekendmaking, in één of meerdere uitvoeringsvormen.

Vergelijkbaar dient het geapprecieerd te worden dat in de beschrijving van voorbeeldmatige uitvoeringsvormen van de uitvinding verscheidene kenmerken van de uitvinding soms samen gegroepeerd worden in één enkele uitvoeringsvorm, figuur of beschrijving daarvan met als doel het stroomlijnen van de openbaarmaking en het helpen in het begrijpen van één of meerdere van de verscheidene inventieve aspecten. Deze werkwijze van openbaarmaking dient hoe dan ook niet geïnterpreteerd te worden als een weerspiegeling van een intentie dat de uitvinding

BE2016/5888 meer kenmerken vereist dan expliciet vernoemd in iedere conclusie. Eerder, zoals de volgende conclusies weerspiegelen, liggen inventieve aspecten in minder dan alle kenmerken van één enkele voorafgaande openbaar gemaakte uitvoeringsvorm. Dus, de conclusies volgend op de gedetailleerde beschrijving zijn hierbij expliciet opgenomen in deze gedetailleerde beschrijving, met iedere op zichzelf staande conclusie als een afzonderlijke uitvoeringsvorm van deze uitvinding.

Voorts, terwijl sommige hierin beschreven uitvoeringsvormen sommige, maar niet andere, in andere uitvoeringsvormen inbegrepen kenmerken omvatten, zijn combinaties van kenmerken van verschillende uitvoeringsvormen bedoeld als gelegen binnen de reikwijdte van de uitvinding, en vormen deze verschillende uitvoeringsvormen, zoals zou begrepen worden door de vakman. Bijvoorbeeld, in de volgende conclusies kunnen eender welke van de beschreven uitvoeringsvormen gebruikt worden in eender welke combinatie.

In de hier voorziene beschrijving worden talrijke specifieke details naar voren gebracht. Het is hoe dan ook te begrijpen dat uitvoeringsvormen van de uitvinding kunnen uitgevoerd worden zonder deze specifieke details. In andere gevallen zijn welgekende werkwijzen, structuren en technieken niet in detail getoond om deze beschrijving helder te houden.

Waar in uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding verwezen wordt naar een verbruiksdoel-motor wordt een motor bedoeld waarmee een rotatie-moment kan overgebracht worden op een verbruiksdoel en waarvan de motor-as coaxiaal is met de rotatie as van het verbruiksdoel. Zo een verbruiksdoel-motor kan bijvoorbeeld een koppelmotor zijn. Dit zijn typisch inductiemotoren met een toroïdale constructie. Bovendien hebben deze motoren als voordeel dat ze hoi kunnen uitgevoerd worden waardoor er één of meerder assen kunnen doorheen gemonteerd worden. In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kan de motor een waterturbine zijn.

Waar in uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding verwezen wordt naar een magneetbar-motor wordt een motor bedoeld waarmee een rotatie-moment kan overgebracht worden op een magneetbar. Dit kan ook een koppelmotor of een waterturbine zijn.

BE2016/5888

Met as-symmetrisch in de context van de huidige uitvinding wordt bedoeld dat eenzelfde kenmerk periodiek voorkomt na een bepaalde hoekrotatie rond de as.

Met substantieel as-symmetrisch wordt bedoeld dat er op de exacte as-symmetrie kleine afwijkingen kunnen optreden, bijvoorbeeld door het aanbrengen van onderdelen zoals antennes, bevestigingsmiddelen, etc. die niet noodzakelijk na een bepaalde hoekrotatie rond de as opnieuw voorkomen, echter zonder dat daarbij de universele monteerbaarheid van het eindblok en zijn behuizing wordt aangetast. De substantieel as-symmetrische behuizing bevat geen uitstulpingen die de assymmetrie onderbreken, waarin motor onderdelen zijn ondergebracht.

In een eerste aspect verschaft de huidige uitvinding een eindblok voor gebruik in een depositie-inrichting, voor het verbinden van een cilindrisch verbruiksdoel met magneetbar, met een buitenzijde van de depositie-inrichting. Het eindblok omvat minstens aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, waarbij de aandrijfmiddelen een aangedreven as omvatten.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kunnen de aandrijfmiddelen een verbruiksdoel-motor en een verbruiksdoel-aandrijfas omvatten, voor het roterend aandrijven van een verbruiksdoel rond een magneetbar (die kan stil staan, of die op zieh een beweging kan uitvoeren verschillend van de rotatieve beweging van het verbruiksdoel). In alternatieve uitvoeringsvormen kunnen de aandrijfmiddelen een magneetbar-motor en een magneetbar-aandrijfas omvatten, voor het roterend aandrijven van een magneetbar binnen een statisch verbruiksdoel. In nog alternatieve uitvoeringsvormen kunnen de aandrijfmiddelen zowel een verbruiksdoel-motor als een magneetbar-motor omvatten, voor het respectievelijk rotatief aandrijven van een verbruiksdoel en een magneetbar. Het eindblok volgens de huidige uitvinding zit vervat in een eindblokbehuizing die substantieel as-symmetrisch, of zelfs assymmetrisch, en coaxiaal met de aangedreven as is, welke de verbruiksdoel-as of de magneetbar-as kan zijn. De diameter van een cirkel die de eindblokbehuizing omschrijft en loodrecht Staat op de aangedreven as is niet groter dan 2,7 keer, bij voorkeur niet groter dan 2,1 keer, bijvoorbeeld niet groter dan 1,6 keer de diameter van een koppeling waarop het verbruiksdoel kan gemonteerd worden. Door de as16

BE2016/5888

Symmetrie van het eindblok is het eindblok universeel monteerbaar. De eindblokbehuizing kan open zijn, zoals gei'llustreerd in FIG. 1, FIG. 2 en FIG. 6, of gesloten, zoals gei'llustreerd in FIG. 3, FIG. 4 en FIG. 5.

In een bijzondere uitvoeringsvorm voorziet de huidige uitvinding in een universeel monteerbaar eindblok 100 voor het aandrijven van een cilindrisch verbruiksdoel 150. Het eindblok omvat een statisch deel 110 waaraan een verbruiksdoel-motor 120 bevestigd is. Deze verbruiksdoel-motor 120 kan een rotatiemoment overbrengen op een verbruiksdoel 150 wanneer dat verbruiksdoel gemonteerd is op het eindblok 100. Om het rotatiemoment te kunnen overbrengen omvat de verbruiksdoel-motor 120 een verbruiksdoel-aandrijfas 126 voor het aandrijven van het verbruiksdoel 150. Deze verbruiksdoel-aandrijfas is coaxiaal met de rotatie-as van het verbruiksdoel wanneer het verbruiksdoel gemonteerd is op het eindblok. In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is de verbruiksdoelaandrijfas 126, tijdens de werking van het eindblok, geconnecteerd met het verbruiksdoel, zodat de verbruiksdoel-motor een draaimoment kan uitoefenen op het verbruiksdoel. Bovendien omvat een eindblok, in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding, een vermogen-overbrenging 140. Deze vermogen-overbrenging 140 is aangepast om elektrisch vermögen van buiten het eindblok 100 naar de verbruiksdoel-aandrijfas 126 over te brengen. Hiertoe kan bijvoorbeeld een elektrisch geleidend contact gemaakt worden tussen een elektrische vermogensbron en de verbruiksdoel-aandrijfas. Het elektrisch contact met de verbruiksdoel-aandrijfas kan bijvoorbeeld een slepend contact zijn. De vermogenoverbrenging kan uit meerdere gedistribueerde elementen bestaan. In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is de verbruiksdoel-aandrijfas aangepast om dat elektrisch vermögen naar het verbruiksdoel 150 over te brengen.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is de verbruiksdoel-aandrijfas 126 een holle as. Dit maakt een flexibele configuratie van het eindblok 100 mogelijk.

Zo kan het statisch deel 110 van het eindblok een deel hebben aan de binnenzijde van de verbruiksdoel-aandrijfas en een deel aan de buitenzijde van de verbruiksdoelaandrijfas. Zoals in hetgeen volgt zal blijken, biedt dit verschwende mogelijkheden

BE2016/5888 voor het aanbrengen van de spoelen van de motor en van de vermogenoverbrenging. Bovendien heeft een holle verbruiksdoel-aandrijfas als voordeel dat er een extra as kan doorgevoerd worden, bijvoorbeeld voor het aandrijven van een magneetbar in het verbruiksdoel.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is de verbruiksdoel-aandrijfas 126 geheel of gedeeltelijk gemaakt van elektrisch geleidend materiaal zodat het mogelijk is om elektrisch vermögen körnende van de vermogen-overbrenging naar het verbruiksdoel over te brengen.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding omvat het eindblok 100 lagering om het röteren van de verbruiksdoel-aandrijfas mogelijk te maken en afdichtingen om een vacuüm in het depositiesysteem waarop het eindblok gemonteerd is mogelijk te maken en afdichtingen om koeling door een koelmiddel mogelijk te maken.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvindingen worden de verschwende componenten die bijdragen tot de functionaliteit van het eindblok gei'ntegreerd in eenzelfde behuizing 160. Deze componenten zijn bijvoorbeeld: de verbruiksdoelmotor 120, de vermogen-overbrenging 140, de lagering, het koelcircuit. Doordat de verbruiksdoel-aandrijfas 126 coaxiaal is met het verbruiksdoel 150 (wanneer deze gemonteerd is), is het mogelijk om een substantieel as-symmetrisch eindblok te bouwen. Dit in tegenstelling tot eindblokken, gekend in de stand der techniek, waar de motor-as niet coaxiaal is met de aandrijfas van het verbruiksdoel en zieh mogelijks zelfs niet binnen de behuizing van het eindblok bevindt. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat het eindblok substantieel assymmetrisch is. Het is een voordeel van uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding dat er geen uitstulpingen aanwezig zijn op de behuizing. De behuizing 160 kan bijvoorbeeld cilindrisch zijn, anderzijds kan ze bijvoorbeeld ook 4-hoekig, 6-hoekig, of 8-hoekig zijn. De behuizing kan bijvoorbeeld een uitgefreesde stalen structuur zijn.

FIG. 1 toont een schematische voorstelling van een eindblok 100 in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding. Deze figuur toont een statisch deel 110 en een verbruiksdoel-motor 120. De verbruiksdoel-motor

BE2016/5888

120 is bevestigd aan het statisch deel 110 en de verbruiksdoel-aandrijfas 126 is coaxiaal met de rotatie-as van het verbruiksdoel 150. De verbruiksdoel-aandrijfas 126 omvat een koppeling 130 waarop het verbruiksdoel 150 gemonteerd kan worden. In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is de diameter van een cirkel die de eindblokbehuizing 160 omschrijft rond de aandrijfas of verbruiksdoelas niet groter dan 2,7 keer, bijvoorbeeld niet groter dan 2,1 keer, de diameter van de koppeling 130, of zelfs niet groter dan 1,6 keer de diameter van de koppeling 130, of zelfs niet groter dan 1,2 keer de diameter van de koppeling 130. De koppeling 130 kan bijvoorbeeld een diameter hebben van 133 mm en de diameter van een cirkel die de eindblokbehuizing 160 omschrijft kan dan bijvoorbeeld een diameter hebben van 212 mm (voor een factor van 1,6 keer); indien dit een balkvormige behuizing is met gelijke zijden in een doorsnede loodrecht op de aandrijfas, betekent dit dat elke zijde bv. een lengte heeft kleiner dan 150 mm.

In FIG. 1 omvat het statische deel 110 een schijf 114. Deze Staat loodrecht op de rotatie-as. Loodrecht op deze schijf Staat een eerste cilinder 112 en een tweede cilinder 116. Beide zijn coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas 126. De eerste cilinder 112 bevindt zieh rond de verbruiksdoel-aandrijf-as 126 en de tweede cilinder 116 bevindt zieh binnen de verbruiksdoel-aandrijfas.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding omvat de verbruiksdoel-motor

120 spoelen 122, een magneetsysteem 124, en een verbruiksdoel-aandrijfas 126. In dit voorbeeld zijn de spoelen gemonteerd op het statisch deel, bijvoorbeeld de eerste cilinder 112 en is het magneetsysteem 124 gemonteerd op het bewegend deel, bijvoorbeeld de verbruiksdoel-aandrijfas 126. In andere uitvoeringsvormen kan dit echter ook omgekeerd zijn, m.a.w. spoelen 122 op het bewegende deel en magneetsysteem 124 op het statische deel. In FIG. 1 wordt ook de vermogenoverbrenging 140 die is aangepast om elektrisch vermögen van buiten het eindblok 100 naar de verbruiksdoel-aandrijfas 126 over te brengen schematisch voorgesteld. In deze figuur is de vermogen-overbrenging 140 aangebracht tussen de tweede cilinder 116 en de verbruiksdoel-aandrijfas 126.

BE2016/5888

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding omvat de vermogenoverbrenging 140, die is aangepast om elektrisch vermögen van buiten het eindblok 100 naar de verbruiksdoel-aandrijfas 126 over te brengen, bovendien ook één of meerdere elementen die voor de elektromagnetische afscherming tussen de motor en het verbruiksdoel zorgen. Hierdoor wordt interferentie tussen de motor en het verbruiksdoel vermeden. Dit heeft als voordeel dat vermeden wordt dat wisselstromen doorheen de spoelen van de motor het plasma bei'nvloeden.

In FIG. 2 is de vermogen-overbrenging 140 aangebracht tussen de eerste cilinder 112 en de verbruiksdoel-aandrijfas 126.

In FIG. 3 is de vermogen-overbrenging 140 aangebracht tussen de tweede cilinder 116 en de verbruiksdoel-aandrijfas 126. Waar in FIG. 1 de spoelen en het magneetsysteem 124 dichter bij de schijf 114 geplaatst waren, is in FIG. 3 de vermogen-overbrenging 140 dichter bij de schijf 114 geplaatst.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is er geen elektrisch contact tussen de spoelen 122 van de motor en de verbruiksdoel-aandrijfas 126. Hierdoor kan worden vermeden dat de spoelen op verbruiksdoel spanning komen. Daarnaast zijn de spoelen steeds geïsoleerd van direct elektrisch contact met het elektrisch vermögen dat naar het verbruiksdoel wordt geleid.

In FIG. 4 is de vermogen-overbrenging 140 aangebracht tussen de eerste cilinder 112 en de verbruiksdoel-aandrijfas 126. Waar in FIG. 2 de spoelen en het magneetsysteem 124 dichter bij de schijf 114 geplaatst waren, is in FIG. 4 de vermogen-overbrenging 140 dichter bij de schijf 114 geplaatst.

In het eindblok 100 dat schematisch wordt voorgesteld in FIG. 5 is enkel de tweede cilinder 116 aanwezig op de schijf 114. Deze cilinder is coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas 126. De verbruiksdoel-aandrijfas 126 is in dit voorbeeld rond de tweede cilinder 116 geplaatst. In FIG. 5 is de vermogen-overbrenging 140 aangebracht tussen de eerste cilinder 114 en de verbruiksdoel-aandrijfas 126. De spoelen 122 van de verbruiksdoel-motor 120 zijn gemonteerd op het statisch deel, bijvoorbeeld de tweede cilinder 116. Het magneetsysteem 124 is gemonteerd op het bewegend deel, bijvoorbeeld de verbruiksdoel-aandrijfas 126. In alternatieve

BE2016/5888 uitvoeringsvormen kunnen de spoelen 122 gemonteerd zijn op het bewegend deel, terwijl het magneetsysteem 124 gemonteerd is op het statisch deel.

FIG. 6 toont, zoals FIG. 5, een eindblok met een schijf 114 met daarop enkel de tweede cilinder 116. Waar in FIG. 5 de spoelen en het magneetsysteem 124 dichter bij de schijf 114 geplaatst waren, is in FIG. 6 de vermogen-overbrenging 140 dichter bij de schijf 114 geplaatst.

FIG. 7 toont een voorstelling van een eindblok 100 bekeken vanuit de verbruiksdoelas in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding. In deze uitvoeringsvorm bevindt het eindblok zieh aan de atmosferische kant en zit verscholen achter een monteerflens 701. De uitsparingen in de hoeken laten montage op de vacuümkamer toe via een wand, deksel, deur of ander overgangsstuk of flens. Vervolgens zijn voorzieningen voor vacuümafdichting aangebracht 702, bv. voor een O-ring. De andere cirkels 703 op deze figuur verwijzen naar o.a. de opening in de behuizing 160, koppelvlak voor montage van een verbruiksdoel, openingen voor het geleiden van het koelmiddel, bijvoorbeeld de koelvloeistof, en de as van de magneetbar.

Ter vergelijking worden in FIG. 8 eindblokken overeenkomstig met de stand der techniek getoond. In FIG.7 is het verbruiksdoel -motor gei'ntegreerd in het eindblok overeenkomstig uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding. Dit eindblok is vergelijkbaar in grootte met de verbruiksdoel-houders 812, 822 van de eindblokken in FIG. 8. De eindblokken in FIG. 8 omvatten echter nog een uitstekend deel waar de motor zieh bevindt. Hierdoor nemen deze eindblokken meer ruimte in beslag dan een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding. De linkse tekening van FIG. 8 toont een compact eindblok 810 met het verbruiksdoel houder 812 onderaan en de motor 814 bovenaan. De rechtse figuur toont een axiale magnetron 820 met het verbruiksdoel houder 822 onderaan en de motor 824 bovenaan.

In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding is ook een magneetbar-motor 220 gei'ntegreerd in het eindblok 100. Een voorbeeld hiervan wordt getoond in de tekeningen op FIG. 12 en FIG. 13. Deze tekeningen tonen een langsdoorsnede van een eindblok in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

BE2016/5888

FIG. 12 toont een statisch deel 110 van het eindblok 100 waaraan een verbruiksdoel-motor 120 en een magneetbar-motor 220 bevestigd zijn. Het statisch deel 110 omvat een schijf 114 met daarop een eerste cilinder 112 en een tweede cilinder 116. De eerste en de tweede cilinder 112, 116 zijn coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas 126. De schijf 114 Staat loodrecht op de verbruiksdoelaandrijfas 126. Op de schijf 114 zijn ook een derde cilinder 212 en een vierde cilinder 216 aanwezig. Deze bevinden zieh op de zijde tegenover deze waarop de eerste en tweede cilinder 112, 116 zieh bevinden. De derde en de vierde cilinder 212, 216 zijn coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas 126. In uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding maakt deze schijf 114 met bijhorende cilinders deel uit van de behuizing.

Het kan echter ook zijn dat een dergelijk eindblok 100 nog een extra behuizing omvat (niet gei'llustreerd in FIG. 12) die het eindblok omsluit.

In deze voorbeeldmatige uitvoering van de huidige uitvinding bestaat de verbruiksdoel-motor 120 uit spoelen 122, een magneetsysteem 124 en een verbruiksdoel-aandrijfas 126. Deze verbruiksdoel-aandrijfas is hol. De eerste cilinder 112 bevindt zieh rond de verbruiksdoel-aandrijfas 126 en de tweede cilinder 116 bevindt zieh binnen de verbruiksdoel-aandrijfas 126. De spoelen 122 zijn gemonteerd op het statisch deel, bijvoorbeeld de eerste cilinder 112.. Het magneetsysteem 124 is gemonteerd op het bewegend deel, bijvoorbeeld de verbruiksdoel-aandrijfas 126. In alternatieve uitvoeringsvormen kan deze montage net omgekeerd gebeuren: magneetsysteem 124 op de het statisch deel, bijvoorbeeld de eerste cilinder 112, en spoelen 122 op het bewegend deel, bijvoorbeeld de verbruiksdoel-aandrijfas 126. De verbruiksdoel-aandrijfas 126 omvat ook een koppeling 130 waarop een verbruiksdoel (niet gei'llustreerd in FIG. 12) kan gemonteerd worden. De spoelen 122 en het magneetsysteem 124 zijn zo gepositioneerd dat, door de spoelen op een gepaste manier elektrisch te bekrachtigen, een draaimoment kan uitgeoefend worden op de verbruiksdoel-aandrijfas 126.

In deze voorbeeldmatige uitvoering van de huidige uitvinding bestaat de magneetbar-motor 220 uit spoelen 222, een magneetsysteem 224 en een magneetbar-aandrijfas 226. Deze magneetbar-aandrijfas 226 is aangebracht in de

BE2016/5888 holle verbruiksdoel-aandrijfas 126. De magneetbar-aandrijfas 226 is zo gepositioneerd dat ze een magneetbar in het verbruiksdoel kan röteren. Een gedeelte van de magneetbar-aandrijfas 226 bevindt zieh tussen de derde cilinder 212 en vierde cilinder 216. Op het bewegend gedeelte is, in het gei'llustreerde voorbeeld, het magneetsysteem 224 aangebracht. De spoelen 222 zijn gemonteerd op het statisch deel, meer bepaald, in het gei'llustreerde voorbeeld, de derde cilinder 212. In alternatieve uitvoeringsvormen kan het magneetsysteem 224 op het statisch deel, bijvoorbeeld op de derde cilinder 212, gemonteerd zijn, terwijl de spoelen 222 op het bewegend deel, bijvoorbeeld de magneetbar-aandrijfas 226, zijn gemonteerd. De spoelen 222 en het magneetsysteem 224 zijn zo gepositioneerd dat, door de spoelen 222 op een gepaste manier elektrisch te bekrachtigen, een draaimoment kan uitgeoefend worden op de magneetbar-aandrijfas 226. In deze voorbeeldmatige uitvoering van de huidige uitvinding omvat het gedeelte van de magneetbaraandrijfas 226 dat zieh bevindt tussen de derde cilinder 212 en vierde cilinder 216, een cilindervormig deel 228 dat zieh op het uiteinde 229 van de magneetbaraandrijfas 226 bevindt en de rest van de magneetbar-aandrijfas ten minste gedeeltelijk omsluit.

FIG. 12 toont, via verschwende arceringen, welke delen van het eindblok 100 statisch zijn (de schijf 114 met bijhorende cilinders 112, 116, 212, 216), welke delen overeenkomen met de verbruiksdoel-rotatie (spoelen 122, magneetsysteem 124, verbruiksdoel-aandrijfas 126, koppeling 130), en welke delen overeenkomen met de magneetbar-rotatie (spoelen 222, magneetsysteem 224, magneetbar-aandrijfas 226).

Tijdens werking van de depositie-inrichting van dit voorbeeld, Staat minstens de verbruiksdoel-aandrijfas 126 op verbruiksdoel potentiaal. Door de verbruiksdoel25 aandrijfas 126 loopt een stroom naar het verbruiksdoel voor het plasma. In deze voorbeeldmatige uitvoering van de huidige uitvinding omvat de vermogenoverbrenging 140, die is aangepast om elektrisch vermögen van buiten het eindblok 100 naar de verbruiksdoel-aandrijfas 126 over te brengen, een börsteIsysteem. Het borstelsysteem is aangepast om het elektrisch vermögen over te brengen van het

BE2016/5888 gedeelte 114, 116, 216 van het statisch deel waarin geen spoelen aanwezig zijn naar de koppeling 130 voor het monteren van het verbruiksdoel.

FIG. 13 illustreert een alternatieve uitvoeringsvorm, waarin de onderdelen die instaan voor de magneetbar rotatie (magneetsysteem 224, magneetbar-aandrijfas 226 en het uiteinde 229 ervan) rotationeel zijn opgesteld, terwijl onderdelen die gerelateerd zijn aan het verbruiksdoel statisch zijn (de schijf 114 met bijhorende cilinders 212, 216). Het verbruiksdoel kan worden bevestigd op een koppelstuk (niet gei'llustreerd in FIG. 13) dat op de schijf 114 is vastgemaakt.

In deze voorbeeldmatige uitvoering van de huidige uitvinding bestaat de magneetbar-motor 220 uit spoelen 222, een magneetsysteem 224 en een magneetbar-aandrijfas 226. Deze magneetbar-aandrijfas 226 is aangebracht in het holle, maar statische, verbruiksdoel. De magneetbar-aandrijfas 226 is zo gepositioneerd dat ze een magneetbar in het verbruiksdoel kan röteren. Een gedeelte van de magneetbar-aandrijfas 226 bevindt zieh tussen de derde cilinder 212 en vierde cilinder 216 (er zijn in deze uitvoeringsvorm niet noodzakelijk een eerste en tweede cilinder aanwezig, maar voor consistentie van terminologie wordt dezelfde benaming gebruikt als in eerdere uitvoeringsvormen). Op het bewegend deel, bijvoorbeeld op de magneetbar-aandrijfas 226, is het magneetsysteem 224 aangebracht. De spoelen 222 zijn gemonteerd op het statisch deel, bijvoorbeeld op de derde cilinder 212. In alternatieve uitvoeringsvormen kunnen spoelen 222 en magneetsysteem 224 ten opzichte van elkaar van plaats wisselen, zodat het magneetsysteem 224 op het statisch deel, bijvoorbeeld de derde cilinder 212, is gemonteerd, en de spoelen 222 op het bewegend deel, bijvoorbeeld de magneetbar-aandrijfas 226. De spoelen 222 en het magneetsysteem 224 zijn zo gepositioneerd dat, door de spoelen 222 op een gepaste manier elektrisch te bekrachtigen, een draaimoment kan uitgeoefend worden op de magneetbar-aandrijfas 226. In deze voorbeeldmatige uitvoering van de huidige uitvinding omvat het gedeelte van de magneetbar-aandrijfas 226 dat zieh bevindt tussen de derde cilinder 212 en vierde cilinder 216, een cilindervormig deel 228 dat zieh op het uiteinde 229 van de magneetbar-aandrijfas 226 bevindt en de rest van de magneetbar-aandrijfas ten minste gedeeltelijk omsluit.

BE2016/5888

Teneinde vermogen-overbrenging naar het verbruiksdoel te voorzien, is een vermogen-overbrenging 140 voorzien. Aangezien het verbruiksdoel in deze uitvoeringsvorm statisch is opgesteld, kan ook de vermogen-overbrenging 140 statisch zijn, bijvoorbeeld - maar niet beperkt daartoe - een vastgeschroefde elektrische aansluiting. De vermogen-overbrenging 140 kan zieh binnen de derde cilinder 212 bevinden, zoals geïllustreerd in FIG. 13, waardoor de derde cilinder als assymmetrische behuizing kan fungeren. Alternatief (niet geïllustreerd in FIG. 13) kan de vermogen-overbrenging ook buiten de derde cilinder voorzien zijn, echter binnen de as-symmetrische eindblokbehuizing die het eindblok 100 dan omgeeft.

In een tweede aspect verschaft de huidige uitvinding een depositie-inrichting waarbij de depositie-inrichting minstens één eindblok omvat in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding.

FIG. 9a en FIG. 9b tonen schematische voorstellingen van een gedeelte van een depositie-inrichting 300 in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding. Een zijaanzicht evenwijdig met de lengte-as van het verbruiksdoel wordt getoond. Deze figuren tonen een eindblok 100 waarop een verbruiksdoel 150 gemonteerd is. Rond het verbruiksdoel 150 en het eindblok 100 is een substraat 310 geplaatst. In deze voorbeelden is het substraat een cilindervormig substraat en is het zo gemonteerd dat het aan de binnenkant ervan kan gesputterd worden. In FIG. 9a bevindt het eindblok 100 zieh volledig binnen de vacuümkamer 410 zonder risico op interferentie met de mantel of aanhechtingspunten van het cilindrisch substraat 310; dat mogelijks eveneens ronddraait rond zijn as. In FIG. 9b echter is de vacuümkamer 410 kleiner en Staat een eindblok 100 gemonteerd aan de atmosferische kant.

Mogelijke aansluitflenzen, kijkvensters of verstevigingsribben 510 kunnen op de buitenwand van de vacuümkamer bevestigd zijn en ook nu kan interferentie hiermee vermeden worden door de compacte eindblok dimensies. Verder is elke combinatie tussen kenmerken van FIG. 9a en FIG. 9b mogelijk zodat de eindblok 100 zieh deels längs atmosferische kant en deels längs de vacuümkant van de depositie-inrichting bevindt. Een dergelijke gemengde opstelling kan ook in FIG. 14 worden opgemerkt.

BE2016/5888

FIG. 10 toont een schematische voorstelling van een depositie-inrichting 400 met meerdere eindblokken in overeenstemming met uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding. In dit voorbeeld wordt een zieht loodrecht op de rotatie-as van een verbruiksdoel getoond. De figuur toont een vacuümkamerwand of vacuümafdekplaat 410 met een 6-hoekige vorm. Daarbinnen zijn verschillende eindblokken 100 gepositioneerd, met op elke eindblok een verbruiksdoel 150. In deze situatie zou het niet mogelijk zijn om voor de middelste eindblok een eindblok te gebruiken waarvan de motor niet coaxiaal is met het verbruiksdoel. De eindblokken rond de middelste eindblok zouden immers de positionering verhinderen.

Een gelijkaardige depositie-inrichting wordt getoond in FIG. 11. In dit geval is de wand of afdekplaat van de depositie-inrichting cirkelvormig. Ook hier is het niet mogelijk om het middelste verbruiksdoel te monteren door middel van een eindblok waarvan de motor niet coaxiaal is met het verbruiksdoel.

FIG. 14 illustreert een depositie-inrichting 1500 waarin verscheidene verbruiksdoelen 150, elk gemonteerd op een eindblok 100 volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding, zijn voorzien. De eindblokken 100 volgens uitvoeringsvormen van de uitvinding, gezien hun as-symmetrie en de geringe diameter van de cirkel die het eindblok omschrijft loodrecht op de aangedreven as, laten toe dat de verbruiksdoelen 150 relatief dicht bij elkaar geplaatst worden.

Montage van de eindblokken 100 vormt geen probleem, zelfs niet als de bodemplaat 1501 of de topplaat (niet getoond) van het depositiesysteem 1500, of beiden, zou doorlopen onder of boven de eindblokken. In de geïllustreerde depositie-inrichting 1500 worden verschillende eindblokken 100 getoond, kortere en längere. De kortere eindblokken kunnen bijvoorbeeld eindblokken zijn waarin enkel een verbruiksdoel motor is voorzien, terwijl de längere eindblokken bijvoorbeeld eindblokken kunnen zijn waarin zowel een verbruiksdoel motor als een magneetbar motor, achter elkaar geplaatst zoals bijvoorbeeld voorgesteld in FIG. 12, zijn voorzien. Het voorzien van zowel de verbruiksdoel motor als de magneetbar motor binnen hetzelfde eindblok doet geen afbreuk aan de as-symmetrie van het eindblok.

BE2016/5888

Door hun substantieel as-symmetrische vorm kunnen de eindblokken 100, indien gewenst, verder of minder ver door een wand 1502 van een vacuümkamer van de depositie-inrichting 1500 naar binnen worden geschoven. Dit laat toe verbruiksdoelen 150 verder van de binnenkant van de wand 1502 te positioneren, wat bijvoorbeeld relevant kan zijn als ook het substraat waarop gesputterd moet worden verder van die wand aanwezig is of zal zijn. Het dieper inschuiven in de vacuümkamer van verbruiksdoelen 150 en hun overeenkomstig eindblok 100, zoals geïllustreerd bij de twee voorste eindblokken 100 in FIG. 14, vermijdt de noodzaak om afstandshouders 1503 te gebruiken, zoals geïllustreerd bij de twee achterste eindblokken 100 in FIG. 14.

FIG. 15 illustreert een verdere uitvoeringsvorm van de huidige uitvinding, waarbij een statisch cilindrisch verbruiksdoel, voorzien van een magneetbar die roterend binnen het statisch verbruiksdoel kan worden aangedreven, voorzien kan worden temidden van een reeks Substraten waarop dient te worden gesputterd, en die in een planetair systeem rond het statisch verbruiksdoel zijn opgesteld. Het verbruiksdoel is gemonteerd op een eindblok volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding. Een dergelijk systeem kan worden gebruikt voor omni-directioneel PVD depositie op Substraten. Minstens één van beide cirkelvormige flenzen die de substraathouder 1540 afsluiten hebben een opening waar minstens één verbruiksdoel doorheen kan geschoven worden. Deze substraathouder bevat typisch een planetair aandrijfsysteem waardoor elk van de kleinere substraathoudertrommels 1550 kunnen rondgedraaid worden voor het bekomen van een uniforme coating op elk onderdeel. Mogelijks kan de totale substraathouder 1540 ronddraaien rond zijn as. Het eindblok of eindblokken 100 volgens uitvindingsvormen van de huidige uitvinding kunnen vast in de wand van de depositie-inrichting gemonteerd zijn waarbij de substraathouder 1540 er omheen wordt gemonteerd.

De verschillende aspecten kunnen eenvoudig met elkaar worden gecombineerd, en de combinaties corresponderen aldus eveneens met uitvoeringsvormen volgens de huidige uitvinding.

ΊΊ

ΒΕ2016/5888

De verschillende aspecten van de huidige uitvinding kunnen worden toegepast in uiteenlopende toepassingen. Bijvoorbeeld, naast de hierboven reeds vermelde toepassingen, en zonder hiertoe beperkt te zijn, kunnen eindblokken volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding voordelig worden toegepast in Systemen voor dubbelzijdig coaten door een enkele doorvoer, zoals bijvoorbeeld beschreven in US8092657, waarbij de verschillende eindblokken niet alleen gemakkelijk relatief dicht bij elkaar kunnen worden geplaatst zonder dat uitsteeksels op één eindblok de positionering van een ander eindblok hinderen, maar waarbij bovendien de eindblokken eenvoudig kunnen voorzien worden van aandrijfmiddelen die onafhankelijk van elkaar kunnen zorgen voor een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar, bv. die onafhankelijk van elkaar de verbruiksdoelen in een roterende beweging kunnen aandrijven.

De eindblokken volgens uitvoeringsvormen van de huidige uitvinding kunnen ook voordelig worden toegepast in Systemen met bewegende kathodes, zoals bijvoorbeeld beschreven in W02016/005476.

BE2016/5888

Claims (18)

1. Conclusies

   1. - Een eindblok (100) voor gebruik in een depositie-inrichting, voor het verbinden van een cilindrisch verbruiksdoel (150) met magneetbar, met een buitenzijde van de depositie-inrichting, waarbij het eindblok aandrijfmiddelen omvat om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, waarbij de aandrijfmiddelen een aangedreven as omvatten waarbij een eindblokbehuizing (160) die het eindblok (100) bevat substantieel as-symmetrisch is en coaxiaal met de aangedreven as, waarbij de aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, een verbruiksdoel-motor (120) en een verbruiksdoelaandrijfas (126) omvat voor het aandrijven van het verbruiksdoel (150) en/of een magneetbar-motor en een magneetbar-aandrijfas omvat voor het aandrijven van de magneetbar, daardoor gekenmerkt dat het eindblok overdrachtsmiddelen van elektrische stroom op het verbruiksdoel omvat.
2. 2. - Een eindblok volgens conclusie 1, waarbij de diameter van een cirkel die de eindblokbehuizing omschrijft en loodrecht Staat op de aangedreven as, niet groter is dan 2,7 keer, bij voorkeur niet groter dan 2,1 keer, bijvoorbeeld niet groter dan 1,6 keer de diameter van een koppeling waarop het verbruiksdoel kan gemonteerd worden.
3. 3. - Een eindblok volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, een verbruiksdoel-motor (120) en een verbruiksdoel-aandrijfas (126) omvat voor het aandrijven van het verbruiksdoel (150).
4. 4. - Een eindblok (100) volgens conclusie 3, waarin de verbruiksdoel-aandrijfas (126) ten minste gedeeltelijk gemaakt is van elektrisch geleidend materiaal.

   BE2016/5888
5. 5. - Een eindblok volgens één van de conclusies 3 of 4, dat verder minstens één van volgende onderdelen omvat (i) een roteerbaar elektrisch contact om elektrische stroom op het verbruiksdoel te krijgen, (ii) één of meerdere lagers om het verbruiksdoel mechanisch te ondersteunen terwijl het draait rond zijn as, (iii) één of

   5 meerdere roteerbare dichtingsmiddelen voor koelmiddel en/of vacuüm.
6. 6. - Een eindblok (100) volgens één van conclusies 3 tot 5, waarbij de verbruiksdoelmotor (120) spoelen (122) omvat die gemonteerd zijn op een statisch deel (110) van het eindblok (100) en een magneetsysteem (124) omvat dat gemonteerd is op de

   10 verbruiksdoel-aandrijfas (126), waarbij de spoelen en het magneetsysteem (124) zo gemonteerd zijn dat door het sturen van een elektrische stroom doorheen de spoelen een rotatiemoment kan opgewekt worden op verbruiksdoel-aandrijfas (126).
7. 7. - Een eindblok (100) volgens conclusie 6, waarbij het statische deel een schijf (114)

   15 omvat met daarop minstens één cilinder (112, 116), waarbij deze cilinder (112, 116) coaxiaal is met de verbruiksdoel-aandrijfas (126) en de schijf (114) loodrecht Staat op de verbruiksdoel-aandrijfas (126) en waarbij de minstens één cilinder (112, 116) zieh rond of binnen de verbruiksdoel-aandrijfas (126) bevindt.

   20
8. 8.- Een eindblok volgens conclusie 7, waarbij de spoelen (122) van de verbruiksdoelmotor (120) gemonteerd zijn op de cilinder (112, 116) en waarbij de vermogenoverbrenging (140) gemonteerd is tussen de cilinder (112, 116) en de verbruiksdoelaandrijfas (126).

   25
9. 9.- Een eindblok volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de aandrijfmiddelen om een relatieve beweging tussen verbruiksdoel en magneetbar te voorzien, een magneetbar-motor (220) en een magneetbar-aandrijfas (226) omvat om de magneetbar te bewegen binnen het verbruiksdoel.

   BE2016/5888
10. 10. - Een eindblok (100) volgens conclusie 9 voor zover afhankelijk van conclusie 3, waarbij de magneetbar-motor (220) in serie met de verbruiksdoel-motor (120) is geplaatst, en waarbij de magneetbar-motor is bevestigd aan het statische deel (110), en waarbij de magneetbar-aandrijfas (226) coaxiaal met de verbruiksdoel-aandrijfas (126) gemonteerd is.
11. 11. - Een eindblok (100) volgens conclusie 9 of 10, waarbij de magneetbar-motor (220) spoelen (222) omvat die gemonteerd zijn op het statisch deel (110) van het eindblok (100) en een magneetsysteem (224) omvat dat gemonteerd is op de magneetbaraandrijfas (226), waarbij de spoelen (222) en het magneetsysteem (224) zo gemonteerd zijn dat door het sturen van een elektrische stroom doorheen de spoelen een rotatiemoment kan opgewekt worden op de magneetbar-aandrijfas (226).
12. 12. - Een eindblok (100) volgens één van de conclusies 10 of 11, voor zover afhankelijk van conclusie 7, waarbij op de schijf (114) minstens één bijkomende cilinder (212,

    216) aanwezig is op de zijde tegenover deze waarop de minstens 1 oorspronkelijke cilinder (112, 116) aanwezig is, waarbij de bijkomende cilinder (212, 216) coaxiaal is met de verbruiksdoel-aandrijfas (126) en waarbij een gedeelte van de magneetbaraandrijfas (226) zieh rond of binnen de bijkomende cilinder (212, 216) bevindt.
13. 13. - Een eindblok volgens één van voorgaande conclusies, dat verder middelen omvat om individuele magneten of een reeks van magneten in de magneetbar te positioneren.
14. 14. - Een depositie-inrichting (300), omvattend ten minste één eindblok (100) in overeenstemming met één van de voorgaande conclusies.
15. 15. - Een depositie-inrichting (300) volgens conclusie 14, de depositie-inrichting omvattend minstens één eindblok (100), waarbij de depositie-inrichting (300) is aangepast zodat een verbruiksdoel (150) kan geplaatst worden op het minstens één

    BE2016/5888 eindblok (100) en een substraat (310) kan gebracht worden naast het verbruiksdoel (150).
16. 16. - Een depositie-inrichting (400) volgens één van conclusies 14 of 15, waarbij de 5 depositie-inrichting meerdere eindblokken omvat, en waarbij deze eindblokken in een twee-dimensionele configuratie met parallelle verbruiksdoel-aandrijfassen zijn opgesteld.
17. 17. - Een depositie-inrichting (400) volgens conclusie 14 voor zover afhankelijk van

    10 één van de conclusies 8 tot 11, waarbij Substraten zieh in meerdere richtingen kunnen bevinden vanuit het standpunt van het verbruiksdoel.
18. 18. - Een depositie-inrichting (400) volgens conclusie 14 voor zover afhankelijk van één van de conclusies 9 tot 12, die kan gebruikt worden in toepassingen waarbij

    15 Substraten niet vlak zijn.

    BE2016/5888

    120 '122 124 126'