JP2020501015A - ユニバーサルマウント式端部ブロック - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、一般に、動力を消耗性ターゲットに伝送する、蒸着装置で使用するための端部ブロックに関する。より具体的には、本発明は、円柱状消耗性ターゲットを上に装着することができ、エンジンハウジング上の突出部を含まず、ユニバーサルマウント可能な端部ブロックに関する。本発明は、対応する蒸着装置も含む。
ブラシシステムは、コイルが存在しない静止部の部分114、116、216の電力を、消耗性ターゲットを装着するための継手130に伝達するように適応化されている。
Claims (18)
- 円柱状消耗性ターゲット(150)を磁気バーによって蒸着装置の外側と接続する、前記蒸着装置で使用するための端部ブロック(100)であって、前記端部ブロックが、消耗性ターゲットと磁気バーとの間の相対運動を提供する駆動手段であって、駆動されるシャフトを含む、駆動手段を含み、前記端部ブロック(100)を収容する端部ブロックハウジング(160)が、実質的に軸対称であり、前記駆動されるシャフトと同軸であり、
前記消耗性ターゲットと前記磁気バーとの間の相対運動を提供する前記駆動手段が、消耗性ターゲットモータ(120)および前記消耗性ターゲット(150)を駆動する消耗性ターゲット駆動シャフト(126)を含み、かつ/または磁気バーモータおよび前記磁気バーを駆動する磁気バー駆動シャフトを含み、
前記端部ブロックが、前記消耗性ターゲット上の動力伝達装置手段を含むことを特徴とする、端部ブロック(100)。 - 前記端部ブロックハウジングに外接し、前記駆動されるシャフトに垂直な円の直径が、前記消耗性ターゲットを上に装着することができる継手の直径の2.7倍以下、好ましくは2.1倍以下、例えば1.6倍以下である、請求項1に記載の端部ブロック。
- 前記消耗性ターゲットと前記磁気バーとの間の相対運動を提供する前記駆動手段が、消耗性ターゲットモータ(120)および前記消耗性ターゲット(150)を駆動する消耗性ターゲット駆動シャフト(126)を含む、請求項1または2に記載の端部ブロック。
- 前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)が、少なくとも部分的に導電性材料で作製されている、請求項3に記載の端部ブロック(100)。
- 次の部品、(i)前記消耗性ターゲット上で電力を取得するための回転可能な電気接点、(ii)前記消耗性ターゲットを、それがその軸を中心として回転する間、機械的に支持する1つ以上の軸受、(iii)冷却剤および/または真空のための1つ以上の回転可能なシールデバイス、のうち少なくとも1つをさらに含む、請求項3または4に記載の端部ブロック。
- 前記消耗性ターゲットモータ(120)が、前記端部ブロック(100)の静止部分(110)上に装着されたコイル(122)を含み、前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)上に装着された磁石システム(124)を含み、前記コイルおよび前記磁石システム(124)が、前記コイルを通じて電流を送ることによって前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)上で回転モーメントを生成することができるように装着されている、請求項3〜5のいずれか一項に記載の端部ブロック(100)。
- 前記静止部分が、少なくとも1つのシリンダ(112、116)を有するディスク(114)を含み、前記シリンダ(112、116)が、前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)と同軸であり、前記ディスク(114)が、前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)に垂直であり、前記少なくとも1つのシリンダ(112、116)が、前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)の周囲またはその中に位置する、請求項6に記載の端部ブロック(100)。
- 前記消耗性ターゲットモータ(120)の前記コイル(122)が、前記シリンダ(112、116)上に装着され、前記動力伝達装置(140)が、前記シリンダ(112、116)と前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)との間に装着されている、請求項7に記載の端部ブロック。
- 前記消耗性ターゲットと前記磁気バーとの間の相対運動を提供する前記駆動手段が、磁気バーモータ(220)および前記磁気バーを前記消耗性ターゲット内で運動させる磁石バー駆動シャフト(226)を含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の端部ブロック。
- 請求項3に従属する限りにおいて、前記磁気バーモータ(220)が、前記消耗性ターゲットモータ(120)と直列に配設され、前記磁気バーモータが、前記静止部(110)に取り付けられ、前記磁石バー駆動シャフト(226)が、前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)と同軸に装着されている、請求項9に記載の端部ブロック(100)。
- 前記磁気バーモータが、前記端部ブロック(100)の前記静止部(110)上に装着されたコイル(220)を含み、前記磁気バー駆動シャフト(226)上に装着された磁石システム(224)を含み、前記コイル(222)および前記磁石システム(224)が、前記コイルを通じて電流を送ることによって前記磁気バー駆動シャフト(226)上で回転モーメントを生成することができるように装着されている、請求項9または10に記載の端部ブロック(100)。
- 請求項7に従属する限りにおいて、前記少なくとも1つの元のシリンダ(112、116)が存在するのと反対側で前記ディスク(114)上に存在する少なくとも1つの追加のシリンダ(212、216)を含み、前記追加のシリンダ(212、216)が、前記消耗性ターゲット駆動シャフト(126)と同軸であり、前記磁石バー駆動シャフト(226)の一部分が、前記追加のシリンダ(212、216)の周囲またはその中に位置する、請求項10または11に記載の端部ブロック(100)。
- 個々の磁石または一連の磁石を前記磁気バー内に位置決めする手段をさらに含む、請求項1〜12のいずれか一項に記載の端部ブロック。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の少なくとも1つの端部ブロック(100)を含む、蒸着装置(300)。
- 前記蒸着装置が、少なくとも1つの端部ブロック(100)を含み、前記蒸着装置(300)が、前記少なくとも1つの端部ブロック(100)上に消耗性ターゲット(150)を配設することができ、前記消耗性ターゲット(150)の隣に基材(310)を配置することができるように適応化されている、請求項14に記載の蒸着装置(300)。
- 前記蒸着装置が、複数の端部ブロックを含み、これらの端部ブロックが、平行する消耗性ターゲット駆動シャフトと共に二次元構成で配置されている、請求項14または15に記載の蒸着装置(400)。
- 請求項8〜11のいずれか一項に従属する限りにおいて、基材が、前記消耗性ターゲットの位置に対して複数の方向にあることができる、請求項14に記載の蒸着装置(400)。
- 請求項9〜12のいずれか一項に従属する限りにおいて、基材が平坦ではない用途で使用することができる、請求項14に記載の蒸着装置(400)。
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