KR20070108907A - 단일, 직각 엔드-블록 - Google Patents

단일, 직각 엔드-블록 Download PDF

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KR20070108907A
KR20070108907A KR1020077020758A KR20077020758A KR20070108907A KR 20070108907 A KR20070108907 A KR 20070108907A KR 1020077020758 A KR1020077020758 A KR 1020077020758A KR 20077020758 A KR20077020758 A KR 20077020758A KR 20070108907 A KR20070108907 A KR 20070108907A
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sputtering apparatus
rotation
axis
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KR1020077020758A
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크리스트 델라에르트
윌메르트 데 보스체르
요아네스 데 보에버
그레고리 라페이레
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베카에르트 어드벤스드 코팅스
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Abstract

본 발명은 스퍼터링 장치에서 타겟(target)을 회전지지(rotatably carrying)하는 단일, 직각 엔드-블록을 청구한다. 이 엔드-블록은 벽 또는 도어의 단일 구멍을 통해 외부로부터 스퍼터링 장치의 타겟을 구동, 여자, 지지 및 밀봉(냉매 및 가스)하는 모든 필요한 수단을 포함한다. 직각 엔드-블록은 타겟이 장착되는 벽에 평행한 회전축 둘레에서 타겟을 회전시킨다. 바람직하게는 엔드-블록은 냉매가 쉽게 배수되도록 타겟 아래에 배치된다.
스퍼터링, 냉매, 벨트, 플랜지, 스프링

Description

단일, 직각 엔드-블록{Single, right-angled end-block}
본 발명은 스퍼터링 장치에서 스퍼터링 타겟을 회전지지하는데 사용되는 엔드-블록에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 모든 공급 기능들을 하나로 통합하면서 타겟이 엔드-블록 플랜지에 실질적으로 평행하게 장착되는 엔드-블록에 대한 것이며 엔드-블록 플랜지에 의해 스퍼터링 장치의 벽에 장착된다.
‘스퍼터 증착’ 또는 ‘스퍼터링’은 동적 이온들과의 충돌에 의해 타겟으로부터 원자들이 제거된 후에 이들 원자가 기판으로 방출되는 코팅 과정이다. 이온들은 음극 타겟과 양극 간의 전압 차이에 의해 저압 스퍼터 가스(일반적으로 아르곤과 같은 큰 원자 질량을 갖는 희가스(noble gas) 종류)에서 점화된 자유 전자 플라즈마에서 생성된다. 또한 전압 차이는 이온들을 타겟을 향해 높은 동적 에너지로 가속시킨다. 이온들의 동적 에너지의 사소한 부분들만이 타겟의 원자들을 제 위치로부터 반발시키는데 사용된다: 이 에너지의 대부분은 열로 전달된다.
플라즈마를 타겟 근처에 가능한 한 국지화시키기 위해 자석 어레이들(magnet arrays)에 의해 생성된 자기장들이 도입되어 가스 이온화를 자체가 닫혀 있는 경로(closed-on-itself racetrack)에 한정한다. 그러므로, 이 과정은 “마그네트론 스퍼터 증착”이라 불린다. 그 다음에 타겟의 침식이 바람직하게는 이 국지화된 플 라즈마 하에서 이루어진다. 타겟 재료를 최적으로 사용하기 위해, 플라즈마와 타겟 간의 상대적 운동이 도입될 수 있다. 이는 자석 어레이를 이동시키고 타겟을 스퍼터링 장치에 대해 고정적으로 유지시키거나 또는 타겟을 이동시키고 자석 어레이를 스퍼터링 장치에 대해 고정되게 유지하여 이루어질 수 있다. 마지막 방법은 고정된 자석 어레이 둘레로 회전하는 관형 타겟을 사용하여 실용적으로 실시된다. 본 발명은 이러한 타입의 회전하는 관형 마그네트론 스퍼터링 장치에 대한 것이다.
처음으로 시작하는 최신기술이 켈비(Kelvey)가 일련의 미국 특허들에서 최초 설명하였으며 이 특허들 중 4356073호, 4422916호, 4443318호, 4445997호가 가장 주목할 만하다. 이들 아이디어를 축척에 따라 설계시, 본 발명자들은 하기와 같은 상이한 문제들에 직면하였다:
● 편리한 타겟 교환을 허용하는 적절한 구동 시스템에 대한 필요성
● 회전가능하고 큰 전류(종종 100A 이상)를 유지할 수 있는 신뢰성 있는 전기접촉 수단에 대한 필요성
● 관형 타겟이 회전되어야 할 때 베어링 시스템에 대한 필요성(몇몇 타겟들은 200kg 이상의 질량을 가짐)
● 누설되지 않는 냉각 시스템에 대한 필요성. 대부분의 에너지가 열로 전달되므로 냉각 시스템이 많은 열을 배출할 수 있어야 한다. 설비의 크기에 따라 이는 1kW 내지 300kW 사이에서 변할 수 있다.
● 진공 완전성(vacuum integrity)이 유지되어야 한다. 타겟이 저압 환경(1 내지 10-4 Pa)에서 회전할 때, 이는 뚜렷하지 않다.
● 자석 어레이가 회전하는 타겟 내에 일반적으로 배치되므로, 회전하는 타겟 튜브 내에 자석 어레이를 고정적으로 유지하는 수단이 제공되어야 한다.
이들 문제점에 대한 해법들과 이들의 실시는 2가지 상이한 경로들을 따라 개략적으로 전개된다:
● 미국 특허 5,096,562호(도 2, 도 6)와 미국 특허 2003/0136672 A1호에 공개된 것과 같은 이중, 직각의 엔드-블록들, 여기서 지지, 회전, 여자, 냉각 및 고립(공기, 냉매 및 전기) 수단이 타겟의 어느 한 단부에 배치되는 2개의 블록들 사이에 분할된다. 직각은 엔드-블록들이 타겟의 회전축에 평행한 스퍼터링 장치의 벽에 장착됨을 의미한다.
● 미국 특허 5,200,049호(도 1)에 공개된 것과 같은 단일, 직선-관통형(straight-through) 엔드 블록들, 여기서 지지, 회전, 여자, 냉각 및 고립 수단은 모두 하나의 엔드-블록에 통합되고 타겟은 대면적 코팅 장치(coater) 내에 일단지지(cantilevered)되어 유지된다. “직선-관통형”은 타겟의 회전 축이 엔드-블록이 장착되는 벽에 직각임을 의미한다.
관형의 회전하는 마그네트론 장치들은 켈비 이래로 갖가지 종류 및 사이즈로 출현하였다. 이들 중 가장 큰 것은 4미터 이하의 길이를 갖는 타겟들이 사용되는 대면적 글래스 코팅 라인들로 나타난다. 보다 작은 사이즈의 설비(예를 들어, 1미터 미만의 타겟들)들은 그리 널리 사용되지 않고 있지만, 이들은 예를 들어, 액정 디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이의 사이즈와 같은 보다 작은 기판들을 처리하는 것을 개선할 수 있다. 이러한 디스플레이 코팅 장치에서 이들 관형 타겟을 사용시에 단점들 중 하나는 현재 기존의 장비를 과다하게 수정할 필요가 있다는 것이다.
현재, 기다랗고 편평한 마그네트론 스퍼터링 타겟들이 디스플레이 코팅 장치에 사용된다. 대부분의 부속물들(냉각 수단, 자석 어레이, 전류 공급장치)은 도어 외측으로부터 접근가능한 타겟 홀더에 장착되며, 타겟은 도어가 닫혔을 때 장치의 내측에서 기판과 평행하게 마주한다. 기판들은 약 7 내지 15° 의 경사각으로 실질적으로 수직으로 장착되고 이들이 의지하는 운송 시스템 상에 위치한다.
관형 마그네트론들을 디스플레이 코팅 장치에 유용하게 하기 위해(원래의 장비 상에 배치하여 또는 기존 장치를 개선하여) 몇몇 문제들이 해결되어야 한다:
● 관형 마그네트론들을 위한 엔드-블록들이 점유하는 길이가 최소화되어야 한다.
● 진공 누설을 최소화하기 위해, 관형 마그네트론 조립체는 연결부들을 관통하는 적은 개수의 공급부를 가져야 한다.
● 타겟과 엔드-블록 사이에 ‘급속 연결기(quick connector)’들이 관형 타겟들을 위해 존재한다. 그러나, 튜브가 교환될 때 타겟 튜브 내에 존재하는 냉매는 누설됨 없이 배수되어야 한다.
그러므로, 본 발명자들은 상기 문제들을 해결하는 신규한 엔드-블록을 발명하였다.
본 발명의 목적은 엔드-블록이 장착되는 벽에 대해 평행한 회전가능한 관형 마그네트론을 자체가 지지할 수 있는 엔드-블록을 제공하는 것이다. 본 발명의 목적은 스퍼터링 장치의 도어 또는 벽에 장착되기에 특히 적합한 단일 단부이고 직각인 엔드-블록을 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 목적은 최소의 축방향 길이를 갖는 엔드-블록을 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 엔드-블록은 타겟이 교환되어야 하는 경우에 냉매를 쉽게 배수하게 해준다.
본 발명의 제 1 특징은 엔드-블록에 대한 것이다. 이러한 엔드-블록은 스퍼터링 장치의 외측에 스퍼터링 장치의 스퍼터링 타겟을 연결한다. 이러한 엔드-블록은 스퍼터링 장치의 벽 또는 -보다 바람직하게는- 도어 상에 단일 유닛으로서 장착될 수 있다. 이를 위해, 엔드-블록은 장착용 플랜지를 구비한다. 이러한 장착 플랜지-원형 또는 정사각형 또는 직사각형 형상일 수 있음-는 벽에 대해 고정적이고 진공이 새지 않게 연결할 수 있어야 한다. 바람직하게는, 이는 도어에 볼트체결되는 플랜지 림(flange rim)과 진공 밀봉 개스킷에 의해 달성된다. 다른 바람직한 접근 방법은 플랜지가 원형 형상이고 나사-형성된 링에 의해 도어에 장착된 커넥터 부품에 대해 압착되는 것이다. 엔드-블록 내의 압력은 진공화 가능한(evacuable) 장치 내보다 높고, 바람직하게는 이 압력은 대기압이다. 타겟 튜브와 함께 제거될 수 있는 수단 또는 제거가능한 자석 바(magnet bar) 조립체는 엔드-블록에 속하지 않는 것으로 간주된다. 엔드-블록의 주요 기능은 타겟을 회전축 둘레에서 지지하고 회전시키는 것이다. 낮은 가스 압력 하에 스퍼터링이 수행될 때, 엔드-블록은 항상 가스가 새지 않아야 하고 엔드-블록이 회전할 때는 물론이다. 타겟의 스퍼터링이 타겟 표면에 많은 열을 생성하므로, 타겟은 냉각되어야 하고 이는 통상적으로 물 또는 다른 적절한 냉매로 이루어진다. 이 냉매는 엔드-블록을 통해 공급 및 배출되어야 한다. 또한 타겟은 타겟을 일정 전위 이상으로 유지하기 위해 전류를 공급받아야 한다. 또한, 이 전류는 엔드-블록을 지나가야 한다. 단일 엔드-블록은 이들 모든 기능을 수행하기 위해 상이한 수단을 포함하여야 한다.
● 타겟이 회전하게 하는 구동 수단. 바람직하게는 이는 웜-기어 시스템, 또는 원통형 기어-기어 시스템 또는 원추형 기어-기어 교차축 시스템, 또는 풀리-벨트 시스템, 또는 타겟이 회전하게 하는 공지된 임의의 다른 수단에 의해 이루어진다.
● 타겟에 전류를 제공하는 회전가능한 전기 접촉 수단. 이는 바람직하게는 정류자(commutator) 링과 미끄럼 접촉하는 브러시들을 구비한 전기 정류자에 의해 달성된다. 브러시-및-링 장치 대신에, 서로에 대해 슬라이딩하는 두 개의 링들이 사용되거나, 또는 금속 벨트와 같은 전도성 벨트 타입의 연결이 사용될 수도 있다. 이러한 미끄럼 접촉이 대기압에서 일어난다는 것이 중요하다. 이러한 접촉이 (미국 특허 2003/0173217호에 공개된 바와 같이) 냉매 내에서 또는 (국제특허 WO/02/38826호에 설명된 바와 같이) 진공 내에서 이루어지는 실시예들은 본원에서 특히 배제된다.
● 다수의 베어링 수단. 타겟의 중량에 따라, 하나 이상의 베어링 수단이 필요할 수 있다. 당업자는 볼 베어링, 롤러 베어링, 평 베어링, 축방향 베어링 또는 공지된 임의의 타입의 베어링과 같은 상이한 타입의 공지된 것들로부터 적절한 타입의 베어링들을 쉽게 선택할 것이다.
● 다수의 회전가능한 냉매 밀봉 수단. 이러한 냉매 밀봉부들을 냉매가 엔드-블록으로 누설되지 않거나 또는 -보다 심하게는- 진공 장치로 누설되지 않으면서 엔드-블록의 고정된 및 회전가능한 부분들이 서로에 대해 회전함을 보장한다. 이러한 위험을 감소시키기 위해, 다수의 냉매 밀봉부들이 직렬(in cascade)로 도입될 수 있다. 전형적으로 립 밀봉부(lip seal)들은 이들이 당업계에 잘 알려져 있으므로 냉매 밀봉부로서 사용된다. 그러나, 기계적 면 밀봉부(mechanical face seal) 또는 라비린스 밀봉(labyrinth seal)과 같은 다른 타입의-전적으로는 아니지만- 밀봉부도 배제되지는 않는다.
● 마지막으로 다수의 회전가능한 진공 밀봉 수단이 필요하다. 이들 진공 밀봉부들은 진공의 완전성을 보장하면서 엔드-블록의 고정된 및 회전하는 부분들이 서로에 대해 회전하게 한다. 진공이 누설되는 위험을 감소시키기 위해 중첩된 일련의 진공 밀봉부-점진적으로 진공을 보호함-들이 바람직하다. 또한, 상이한 밀봉부들이 공지되어 있으며 이들 중 립 밀봉부가 가장 대중적이지만 -자성유체 밀봉부(ferrofluidic seal)와 같은- 다른 타입의 새로운 밀봉부도 물론 사용될 수 있다.
상기 수단 모두는 본 발명의 엔드-블록에 존재한다. 본 발명의 엔드-블록은 회전축이 장착 플랜지에 평행하다는 점에서 기존과는 상이하다(청구범위 제 1 항). 이와 같이 본 발명은 직각, 단일 엔드-블록으로서 분류될 수 있다. 타겟을 회전, 냉각 및 여자시키는 모든 기능들은 이 엔드-블록에 통합되면서 엔드-블록을 회전축에 평행한 벽 상에 장착할 수 있게 한다.
청구범위 제 1 독립항에서, 타겟은 타겟을 쉽게 부착 및 탈착하기 위한 부착 수단(제 2 종속항)을 갖는 것으로 예견된다. 이러한 수단은 예를 들어, 미국 특허 5591314호, 유럽특허 1092109호, 유럽특허 1106893호, 미국 특허 6375815호, 국제특허 WO 2004/085902호에 설명되어 있고 이들은 본원에 참고문헌으로서 포함된다. 이러한 수단은 원추형 면들을 갖는 내부 홈을 갖는 인터페이스 링(interface ring)을 일반적으로 포함한다. 원추형 면들은 일 측면이 엔드-블록 상의 장착 플랜지와 끼워맞춰지고 다른 측면이 타겟의 단부에서 림(rim)과 끼워맞춰진다. 링은 나사 또는 퀵 커플링 또는 다른 수단에 의해 접선방향으로 죄여질 수 있는 두 개 이상의 세그먼트들로부터 만들어 원주가 짧아질 수 있다. 타겟 림과 엔드-블록 플랜지 사이에서 클램핑(clamping)되는 O-링은 진공 및 냉매가 새지 않음을 보장한다.
타겟이 이제 단일 엔드-블록에 의해 지지되어야 하므로, 엔드-블록이 직립의 실질적으로 수직인 위치로 사용될 때 엔드-블록 상의 토크가 최소화된다. 그 다음에 타겟은 엔드-블록에 걸리거나(hang) 또는 엔드-블록 상에 서있을 수 있다. 이 방식으로 엔드-블록에 작용하는 토크가 레버 암이 감소될 때만큼 훨씬 감소된다(제 3 종속항). ‘실질적으로 수직’은 국지적인 수직에 대해 0 내지 약 15° 편향된 임의의 방향으로서 해석되어야 하며, 이 각도는 기판이 장착되는 경사각에 상응한다.
이제 엔드-블록이 타겟 아래에 장착되면(제 4 종속항), 냉매는 편리하게는 중력 하에 타겟으로부터 흘러나올 때 타겟으로부터 배수될 수 있다.
다르게는, 엔드-블록은 실질적으로 수평으로 장착될 수 있고(제 5 종속항) 이 배치는 짧은 타겟들을 사용할 때 바람직한 배치이다.
본 발명의 제 2 특징(제 6 독립항)에 따라, 스퍼터링 장치가 제공된다. 이러한 스퍼터링 장치는 진공화 가능한 공간을 둘러싸는 벽들을 포함한다. 스퍼터링 장치의 벽들 중 하나에, 제 1 항에 따른 본 발명의 엔드-블록이 부착된다. 그 다음에 타겟의 회전축이 엔드-블록이 장착되는 벽에 평행하게 된다.
바람직하게는 스퍼터링 장치의 엔드-블록이 타겟을 위한 부착 수단을 갖는다(제 7 종속항).
타겟이 엔드-블록에 의해 완전히 지지될 때, 중심-조정(centering) 문제가 회전시 발생할 수 있다. 이는 부착 수단의 사소한 오정렬 또는 열을 받아 약간 변형하는 타겟 자체에 의해 또는 엔드-블록 상의 타겟에 의해 작용하는 토크로 인해 발생할 수 있다. 이들 문제를 극복하기 위해 작은 중심조정 블록이 엔드-블록 반대쪽의 타겟의 단부에 제공될 수 있다. 이러한 중심조정 블록은 엔드-블록과 같은 벽에 장착되는 지지부를 포함할 수 있다. 지지부 상에 (피벗 베어링과 같은) 마찰 베어링 또는 작은 비-마찰 베어링(볼 베어링, 롤러 베어링 등)이 타겟의 자유단을 중심조정되게 유지한다.
바람직하게는 타겟은 스퍼터링 장치에서 실질적으로 수직으로 장착된다(제 9 종속항). 보다 바람직하게는 엔드-블록이 냉매를 쉽게 배수할 수 있도록 타겟 아래에 장착된다(제 10 종속항).
다르게는, 타겟이 실질적으로 수평으로 장착될 수 있고(제 11 종속항), 이는 타겟이 그리 길지 않을 때 가능하다. 보다 긴 타겟들에 대해, 수평으로 장착된 타겟은 제 8 청구항에 따라 중심조정 엔드-블록에 의해 지지될 수 있다.
본 발명은 이제 첨부한 도면들을 참조하여 보다 상세히 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 엔드-블록의 사시도.
도 2는 엔드-블록의 개략 단면도.
도 1은 본 발명의 엔드-블록이 스퍼터링 장치의 도어 또는 벽에 어떻게 장착되는가를 보이는 사시도이다. 엔드-블록(100)은 엔드-블록 플랜지(120)에서 스퍼터링 장치의 벽(110)에 장착된다. 장치의 외측으로부터 구동 수단-이 경우, 동기화 벨트(130)-이 장착 플랜지(170)가 회전하게 한다. 타겟(도시않음)이 이 플랜지 상에 놓이고 인터페이스 링(160)에 의해 제거가능하게 부착된다. 냉매 공급부(140)와 외측의 추출부(150; extraction)가 플랜지 구멍(180)에 연결된다. 이 구멍 내측에서 냉매 공급부와 복귀부(return)가 서로 이격된다(보이지 않음). 자석 바(도시않음)도 이 구멍에 삽입되어 유지된다.
도 2는 양호한 실시예의 개략 단면도를 도시한다. 엔드-블록(200)은 단일 하우징(201) 내의 구동 수단, 로터리 전기 접촉 수단, 베어링 수단, 냉매 밀봉 수단 및 진공 밀봉 수단을 포함한다. 엔드-블록은 엔드-블록 플랜지(211)를 통해 스퍼터링 장치의 벽 또는 도어(202)에 장착된다. 플랜지는 직사각형 형상이고 개스 킷(213)에 의해 진공-밀봉된다. 타겟(220)은 회전축(222) 둘레에서 회전할 수 있다. 타겟(220)은 인터페이스 링(224)에 의해 타겟-장착 플랜지(226)에 연결된다. -도시않은 자석 바를 지지하는- 타겟 냉매 튜브(230)가 인터페이스 링(232)을 통해 냉매 공급 튜브(228)를 통해 연결된다. 냉매 공급 튜브(228)는 엔드-블록 하우징(201)에 확실하고 고정적으로 부착된다. 냉매는 냉매 공급부(234)를 통해 냉매 튜브(228)로 공급된다. 냉매는 냉매 튜브(228)에 동축 관계인 고정적인 냉매 채집부(229)에서 채집되고 튜브(236)를 통해 배출된다.
타겟(220)은 홀더 링(226)을 통해 기어 휠(204)에 의해 회전 구동되므로 구동 수단을 제공한다. 기어 치형부들은 결국 예를 들어 전기 모터(도시않음)에 의해 구동되는 웜 샤프트(205)와 결합한다. 기어 휠(204)은 주 베어링 링(214)을 회전시킨다. 장착 링(207)과 기어 휠(204) 사이에 유지된 보다 작은 제 2 베어링(208)은 부가적인 회전 안정성을 제공한다. 또한, 장착 링(207)은 회전축(222)과 동축 관계인 환형 세그먼트들로서 장착되는 일련의 브러쉬(206)들에 의해 제공되는 회전가능한 전기 접촉 수단을 유지한다. 이들 브러쉬(206)는 전기전도성 링(290)에 스프링 장착되고 슬라이드 링(203)에 대해 슬라이딩한다. 브러쉬(206)들은 전기 도선(209)에 의해 결국 공급되는 전도성 링(290)을 지나는 전류를 받는다. 슬라이딩 링(203)은 홀더 링(226)과 기어(204)를 통해 타겟(220)과 전기 접촉한다. 2개의 회전가능한 진공 밀봉 수단이 립 밀봉부(212)들에 의해 제공된다. 회전가능한 냉매 밀봉 수단이 라비린스 밀봉부인 냉매 밀봉부(210)에 의해 통합된다. 냉매 밀봉부(210)는 냉매 채집부(229)와 홀더 링(226) 사이에 장착된다.
당업자는 예를 들어, 지금까지 설명한 것들과는 다른 타입의 수단을 사용하여 다른 가능한 실시예들을 쉽게 인식할 것이다. 또한, 당업자는 엔드-블록의 축방향 길이가 추가로 감소되도록 엔드-블록 내측의 상이한 수단을 재배치할 수 있다. 그러나, 이러한 모든 수정 및 변경은 동일한 본 발명의 개념을 단순히 바꾼 것이고, 하기의 청구범위에 의해 포괄되는 본 발명의 진의 및 범위 내에 있는 것으로 간주된다.

Claims (11)

  1. 스퍼터링 장치에서 회전축 둘레에서 타겟을 회전-지지하는 엔드-블록에서, 상기 엔드-블록은 상기 스퍼터링 장치에 상기 엔드-블록을 장착하기 위한 장착 플랜지를 갖고, 상기 엔드-블록은 구동 수단, 회전가능한 전기 접촉 수단, 베어링 수단, 냉매 밀봉 수단 및 진공 밀봉 수단을 추가로 포함하는, 엔드-블록에 있어서,
    상기 엔드-블록은 상기 플랜지에 실질적으로 평행한 상기 회전축을 갖게 장착될 수 있는 것을 특징으로 하는 엔드-블록.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 타겟의 부착 및 탈착을 위한 부착 수단을 추가로 포함하는 엔드-블록.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 회전축은 실질적으로 수직인 엔드-블록.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 엔드-블록은 상기 타겟 아래에 장착되는 엔드-블록.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 회전축은 실질적으로 수평인 엔드-블록.
  6. 진공화가능한 공간을 둘러싸기 위한 벽들, 회전축을 갖는 회전가능한 타겟과 상기 타겟의 일단부에서 상기 타겟을 회전-지지하는 엔드-블록을 포함하는 스퍼터링 장치에서, 상기 엔드-블록은 구동 수단, 회전가능한 전기 접촉 수단, 베어링 수단, 냉매 밀봉 수단 및 진공 밀봉 수단을 포함하는, 스퍼터링 장치에 있어서,
    상기 엔드-블록은 상기 하나의 벽에 실질적으로 평행한 상기 회전축을 갖게 상기 벽들 중 하나에 장착될 수 있는 것을 특징으로 하는 엔드-블록.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 엔드-블록은 상기 타겟을 부착 및 탈착하기 위한 부착 수단을 추가로 포함하는 스퍼터링 장치.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 타겟은 중심조정 블록에 의해 중심조정된 상태를 추가로 유지하고, 상기 중심조정 블록은 상기 엔드-블록에 의해 지지되는 단부의 반대쪽인, 상기 타겟의 단부에 장착되는 스퍼터링 장치.
  9. 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 타겟은 실질적으로 수직으로 장착될 수 있는 스퍼터링 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 엔드-블록은 상기 타겟 아래에 장착되는 스퍼터링 장치.
  11. 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 타겟은 실질적으로 수평으로 장착될 수 있는 스퍼터링 장치.
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