KR200410865Y1

KR200410865Y1 - 실링 회전 장치 및 박막 증착 장치

Info

Publication number: KR200410865Y1
Application number: KR2020050031073U
Authority: KR
Inventors: 김응순
Original assignee: (주)인텍
Priority date: 2005-11-02
Filing date: 2005-11-02
Publication date: 2006-03-10

Abstract

본 고안은 피증착물이 안착된 안착부재가 회전하면서 작동하는 박막 증착 장치에서 회전축이 실링되도록 하는 실링 회전 장치에 관한 것이다. 이러한 실링 회전 장치는 챔버 내에 회전 가능하게 설치된 회전체를 상기 챔버 외부에 배치된 구동유닛에 의해 구동연결하는 것으로서, 상기 구동유닛에 동력 연결되어 회전하는 제1 마그네틱부와, 상기 챔버의 내부에 배치되고 일단이 상기 회전체에 연결된 구동축이 일단에 결합되고 상기 제1 마그네틱부의 자기력에 의해 상기 제1 마그네틱부와 함께 회전하는 제2 마그네틱부를 포함한다. 이상과 같은 본 고안의 실링 회전 장치는 챔버 내의 진공을 유지시키면서 외부의 회전력을 챔버 내로 인가함으로써, 기존의 마모성 실링부재인 오링과 리데나의 사용을 배제할 수 있어, 잦은 교체에 따른 번거로움을 해소함과 아울러 리크현상을 최소화할 수 있고, 고속 회전을 구현할 수 있다.

박막 증착 장치, 마그네틱, 실링, 챔버

Description

실링 회전 장치 및 박막 증착 장치{SEALING ROTARY UNIT AND THIN FILM DEPOSITION APPARATUS}

도 1a는 종래 박막 증착 장치의 대표적인 일례를 설명하기 위한 개략구성도이다.

도 1b는 종래 박막 증착 장치의 안착부재에 연결된 구동수단을 설명하기 위한 요부발췌 측단면도이다.

도 1c는 도 1b의 구동수단에 있어, 회전유닛을 확대 도시한 측단면도이다.

도 2는 본 고안에 따른 박막 증착 장치의 전체구성을 설명하기 위한 구성도이다.

도 3은 본 고안에 따른 박막 증착 장치에 있어, 구동수단을 발췌 도시한 측단면도이다.

도 4는 본 고안에 따른 박막 증착 장치에 있어, 구동수단의 마그넷 실링 회전유닛을 발췌 도시한 측단면도이다.

도 5는 본 고안에 따른 박막 증착 장치에 있어, 마그넷 실링 회전유닛의 제1 마그네틱들과 제2 마그네틱을 설명하기 위한 평면구성도이다.

<도면주요부위에 대한 부호의 설명>

1 : 박막 증착 장치 2 : 챔버

3 : 안착부재 4 : 원료 공급 수단

5 : 이온 발생 수단 6 : 구동수단

31 : 피증착물 61 : 주회전축

62 : 마그넷 실링 회전유닛 63 : 구동유닛

621 : 마그넷하우징 622 : 제1 하우징

623 : 제2 하우징

본 고안은 박막 증착 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 균일한 증착 박막을 형성하기 위하여 피증착물이 안착된 안착부재가 회전하면서 작동하는 박막 증착 장치에서 회전축이 실링되도록 하는 실링 회전 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 피복(被覆)될 물체 및 이 물체의 표면에 부착시키려는 금속 원료를 고진공상태의 챔버에 수용시킨 후, 히터를 가열하여 상기의 금속원료를 증발시키면 증발된 금속입자가 차가운 상기 물체 표면에 응축해서 부착하게 된다. 일반적인 증착기술은 이러한 특성을 이용하여 피복(被覆)될 물체의 표면에 금속 박막을 코팅하는 기술을 일컫는다. 이와 같은 증착기술은 모든 물품에 적용될 수 있으며, 특히 고기능성 광학 제품에 널리 사용되고 있다.

도 1a는 종래 박막 증착 장치의 대표적인 일례를 설명하기 위한 개략 구성도 이다.

도 1a를 참조하면, 박막 증착 장치(100)는 진공상태의 챔버(200), 상기 챔버(200) 내에 설치된 안착부재(210), 상기 안착부재(210) 상에 배치된 적어도 하나의 피증착물(220), 상기 챔버(200) 내에 설치된 원료 공급 수단(230) 및 이온 발생장치(240)를 포함한다. 이때, 상기 안착부재(210)는 피증착물(220)의 표면에 균일한 두께의 박막이 증착될 수 있도록 회전운동을 수행하는데, 이를 구현하기 위해 상기 안착부재(210)에는 구동수단(250)의 주회전축(250a)이 연결된다.

도 1b는 종래 박막 증착 장치의 안착부재에 연결된 구동수단을 설명하기 위한 요부발췌 측단면도이고, 도 1c는 도 1b의 구동수단에 있어, 회전유닛을 확대 도시한 측단면도이다.

도 1b를 참조하면, 구동수단(250)은 상기 안착부재(210)에 연결된 주회전축(250a)과, 상기 주회전축(250a)에 동력연결된 회전유닛(250b)과, 상기 회전유닛(250b)을 구동시키는 구동유닛(250c)을 포함하여 구성된다. 이와 같은 회전유닛(250b)은 상기 구동유닛(250c)에서 발생하는 회전력을 상기 주회전축(250a)에 전달하는 매개체역할을 수행하며, 도 1c에서와 같이 챔버내부의 진공을 유지하기 위해 오링(O)과 리데나(R)를 사용하여 실링 처리된다.

하지만, 상기의 종래 박막 증착 장치(100)는 회전유닛(250b)에 마모성 실링부재인 오링(O)과 리데나(R)를 사용함에 따라 이들을 자주 교체해야하는 번거로움이 있다.

아울러, 오링(O)과 리데나(R)의 교체시기를 놓치거나 예상보다 마모도가 큰 경우, 이들이 마모된 상태에서 박막 증착 공정이 수행되면 오링(O)에 의한 실링부위에서는 리크(leak)현상이 발생할 수 있어, 공정불량을 야기하는 요인이 된다. 또한, 회전부위에 사용되는 리데나(R)는 저속회전에 대해서는 안정적이어서 사용이 가능하지만 고속회전에서는 안정적이지 못하여 사용이 곤란한 단점이 있다.

이에, 본 고안은 기존 박막 증착 장치가 갖는 제반적인 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 마모성 실링부재인 오링과 리데나의 사용을 배제하여 이들의 잦은 교체에 따른 번거로움을 해소하여 공정의 지속성을 이룰 수 있는 실링 회전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 고안의 다른 목적은 박막 증착 장치에서 회전유닛에서 발생될 수 있는 리크현상을 최소화할 수 있는 실링 회전 장치를 제공하는 것이다.

본 고안의 또 다른 목적은 마그네틱을 이용하여 구동유닛의 회전력을 주회전축에 전달함으로써 구동유닛의 성능에 따라 고속 회전을 구현할 수 있는 실링 회전 장치를 제공하는데 있다.

전술된 본 고안의 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 챔버 내에 설치된 회전체를 회전시키는 실링 회전 장치로서, 상기 회전체에 연결되고, 상기 챔버 외부로 돌출된 회전축과, 상기 챔버 외부로 돌출된 상기 회전축에 부착된 제 1 자성 체와, 상기 돌출된 회전축을 감싸 상기 챔버를 밀봉하는 하우징 실링부 및 상기 하우징 실링부 외부에 배치되고, 자기장의 변화를 주어 상기 제 1 자성체를 회전시키는 제 2 자성체를 포함하는 실링 회전 장치를 제공한다.

상기에서, 상기 하우징 실링부는 하부가 개방된 통 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 본 고안에 따른 챔버 내에 설치된 회전체를 회전시키는 실링 회전 장치로서, 상기 회전체에 연결되어 상기 챔버 외부로 돌출된 주 회전축과, 상기 주 회전축을 감싸 상기 챔버를 밀봉하는 주축 하우징과, 상기 주 회전축에 연결되고 상기 주축 하우징 외부로 돌출된 보조 회전축과, 상기 주축 하우징 외부로 돌출된 상기 보조 회전축에 부착된 제 1 자성체와, 상기 돌출된 보조 회전축을 감싸 상기 주축 하우징을 밀봉하는 하우징 실링부 및 상기 하우징 실링부 외부에 배치되고, 자기장의 변화를 주어 상기 제 1 자성체를 회전시키는 제 2 자성체를 포함하는 실링 회전 장치를 제공한다.

여기서, 동력 전달 기어를 통해 상기 주 회전축과 보조 회전축이 연결되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 주 회전축의 원활한 회전을 위해 상기 주축 하우징 내에 베어링이 형성되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 제 2 자성체를 지지하는 지지수단 및 상기 지지수단을 회전시키는 구동 모터부를 더 포함하는 것이 효과적이다.

상기에서 상기 제 1 및 제 2 자성체는 영구자석 및 전자석을 사용하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제 1 자성체는 내부가 비어 있는 원통 형상의 자석인 것 이 효과적이다. 물론 상기 제 2 자성체는 상기 하우징 실링부의 둘레에 배치된 다수의 판형 자석인 것이 효과적이다. 이때, 상기 제 2 자성체는 상기 제 1 자성체 방향으로 동일한 극성이 배치되어 있는 것이 효과적이다.

또한, 본 고안에 따른 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 피증착물이 안착되는 안착부재와, 상기 피증착물에 박막 증착용 원료를 공급하는 원료 공급 수단과, 상기 피증착물에 플라즈마를 인가하는 이온 발생 수단과, 상기 안착부재에 연결되어 그 일부가 상기 챔버 외부로 돌출된 주 회전축과, 상기 주 회전축을 감싸는 주축 하우징과, 상기 주 회전축에 연결되고 그 일부가 상기 주축 하우징 외부로 돌출된 보조 회전축과, 상기 보조 회전축에 부착된 제 1 자성체와, 상기 돌출된 보조 회전축을 감싸 상기 주축 하우징을 밀봉하는 하우징 실링부 및 상기 하우징 실링부 외부에 배치되고, 자기장의 변화를 주어 상기 제 1 자성체를 회전시키는 제 2 자성체를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 상세히 설명하기로 한다.

도 2를 참조하면, 본 고안의 박막 증착 장치(1)는 챔버(2)와, 상기 챔버(2)내에 배치되어 소정의 박막이 형성될 피증착물(31)이 안착되는 안착부재(3)와, 상기 피증착물(31)에 박막 증착용 원료를 공급하는 원료 공급 수단(4)과, 상기 피증 착물(31)에 플라즈마를 인가하는 이온 발생 장치(5)와, 상기 안착부재(3)를 회전시키는 구동수단(6)을 포함한다.

상기 챔버(1)는 공정에 적합한 진공환경이 조성될 수 있도록 진공라인(도면에 미도시됨)과 연결된다.

상기 안착부재(3)는 상기 챔버(1) 내 상부에 위치한다. 이와 같은 안착부재(3)에는 적어도 하나의 피증착물(31)이 안착될 수 있도록 구성되는데, 이러한 피증착물(31)로는 고기능성 광학 제품, 예컨대 광학 렌즈, 거울, 프리즘, 밴드 패스 필터 또는 간섭 필터용 광학계 등을 적용할 수 있다. 이때, 상기 안착부재(3)의 안착부위는 피증착물(31)의 박막 증착 영역이 하부의 증착 원료 또는 플라즈마에 직접 노출될 수 있도록 관통된 형태로 구성함이 바람직하다.

상기 원료 공급 수단(4)은 박막 증착을 위한 원료가 저장되는 용기와, 이 용기를 가열하는 가열수단(도면에 미도시 됨)을 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성에 따르면, 상기 원료 공급 수단(4)은 상기 용기 내의 원료가 증발하도록 상기 가열 수단을 통해 용기를 가열하여 증발된 원료가 그 상부에 위치한 피증착물(31)의 표면에 증착되게 하는 작용을 수행한다. 여기서, 상기 용기 내에 저장되는 원료는 Cr, Al, Cu, Ag, Al₂O₃, SiO₂, TiO₂, ZnO₂,TiN, Si₃N₄, MgF₂ 및 이들의 혼합물 중 적어도 어느 하나를 사용할 수 있다.

상기 이온 발생 수단(5)은 고밀도의 플라즈마를 발생시키는 기능을 수행한다. 이와 같이 이온 발생 수단(5)에서 생성된 플라즈마는 피증착물(31)의 표면을 뚫고 들어갈 만큼의 큰 에너지가 원자 이온에 인가된 상태이므로 피증착물(31)의 표면에 미세한 스크래치를 발생시킴은 물론 상기 원료 공급 수단(4)에서 증발된 원료를 활성화하는 작용을 한다. 이에 따라서, 상기 이온 발생 수단(5)은 플라즈마의 생성을 통해 피증착물(31)의 박막 증착률을 향상시킬 수 있다.

상기 구동수단(6)은 상기 안착부재(3)의 상부에 연결된 주회전축(61)과, 상기 주회전축(61)에 동력연결된 마그넷 실링 회전유닛(62)과, 상기 마그넷 실링 회전유닛(62)을 통하여 주회전축(61)에 동력을 인가하기 위한 구동유닛(63)을 포함한다.

도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 구동 수단을 설명하기 위한 개념도이다.

도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 박막 증착 장치의 구동 수단은 챔버(2)의 연결공을 통해 챔버(2) 외부로 돌출된 회전축(61)과, 상기 챔버(2) 외부로 돌출된 회전축(61)에 부착된 제 1 자성체(110)와, 상기 돌출된 회전축(61)을 감싸 상기 챔버(2) 내부를 밀봉하는 하우징 실링부(101)와, 상기 하우징 실링부(101) 외부에 배치되어 회전운동을 통해 상기 제 1 자성체(110)를 전자기적(기전력) 힘으로 회전시키는 제 2 자성체(120)와 상기 제 2 자성체(120)를 회전시키는 구동 모터부(130)를 포함한다.

상기의 회전축(61)은 챔버(2) 내부의 안착 부재(3)에 접속된 기둥 형상으로 제작되고, 회전축(61)의 회전운동을 통해 안착 부재(3)가 회전한다. 이때, 회전축(61)은 베어링과 같은 별도의 고정부재(미도시)에 의해 고정되어 있는 것이 바람직하다.

회전축(61)의 돌출된 영역의 외주면에는 제 1 자성체(110)가 결합되어 있다. 상기의 제 1 자성체(110)로 영구자석을 사용할 수 있고, 전자석을 사용할 수도 있다. 이러한 제 1 자성체(110)는 도면에 도시된 바와 같이 회전축(61)의 외주면에 결합 배치된다. 즉, 내부가 비어 있는 원통 형상의 영구 자석을 제 1 자성체로 사용하고, 원통 내부 공간에 회전축이 삽입 장착되는 것이 효과적이다. 물론 별도의 결합부재(미도시)에 의해 결합될 수도 있으며, 기계적 구성을 변경시켜 제 1 자성체(110)의 일부가 회전축(61) 내부로 삽입되거나, 회전축(61)을 관통하여 배치될 수도 있으며, 상기 회전축(61)의 돌출된 영역 자체를 제 1 자성체(110)로 사용할 수 있다. 상기 회전축(61)의 수직 방향 또는 수평 방향으로 동일 극성 또는 서로 다른 극성이 나타나도록 상기 제 1 자성체(110)를 배치할 수 있다. 바람직하게는 수직 방향으로는 동일 극성을 띄고 수평 방향으로는 서로 다른 극성을 띄도록 배치할 수 있다.

상기의 제 1 자성체(110)가 결합된 회전축(61)은 챔버(2)의 외부로 돌출되어 있기 때문에 회전축(61)이 돌출된 영역을 통해 챔버(2) 내부의 진공이 파괴되거나 불순물이 유입되거나 또는 챔버(2) 내부의 반응 물질들이 챔버(2) 외부로 유출되는 문제가 발생할 수 있다.

이에 본 실시예에서는 회전축(61)을 감싸는 하우징 실링부(101)를 이용하여 이러한 문제를 해결할 수 있다. 즉, 상기 도면에서와 같이 하우징 실링부(101)는 하부가 개방된 통 형상으로 형성한다. 하우징 실링부(101)는 챔버(2) 외부로 돌출된 회전축(61)을 충분히 감쌀 수 있는 높이와 폭을 갖도록 형성한다. 그리고, 챔버(2)와 결합시 챔버(2) 내부의 압력은 물론 반응 부산물의 유출을 방지할 수 있도록 밀봉하는 것이 바람직하다. 또한, 제 1 및 제 2 자성체(110, 120)의 자기장을 변화시키지 않는 물질을 사용하여 제작하는 것이 바람직하다.

한편, 상기의 제 1 자성체(110)가 결합된 회전축(61)은 외부의 자기장이 변화에 따라 제 1 자성체(110)가 움직이고, 이러한 제 1 자성체(110)의 움직임으로 인해 제 1 자성체(110)와 결합된 회전축(61)이 움직이게 된다. 이에 관한 구체적 설명은 후술한다.

이를 위해 본 고안은 제 1 자성체(110)와 소정간격 이격되어 외부의 구동 모터부(130)와 동력 연결되어 회전하면서 자기장을 변화시키는 제 2 자성체(120)를 하우징 실링부(101)의 둘레에 배치한다.

상기 제 2 자성체(120)도 영구자석 및 전자석을 사용할 수 있고, 제 2 자성체(120)의 자기장에 의해 제 1 자성체(110)의 움직임을 극대화할 수 있는 범위 내에서 제 2 자성체(120)를 하우징 실링부(101) 주변에 배치하는 것이 바람직하다.

상기에서 제 1 자성체(110) 방향으로 동일한 극성을 띄도록 다수의 제 2 자성체(120)를 하우징 실리부(101) 주변에 배치한다. 그리고 회전 운동시 원심력에 의해 제 2 자성체(120)가 제 1 자성체(110)로부터 멀어짐을 방지하기 위해 제 2 자성체(120)는 별도의 지지수단(미도시)을 통해 지지하는 것이 바람직하다. 또한 지지수단이 구동 모터부에 접속되어 상기 제 2 자성체(120)를 회전시키는 것이 바람직하다.

도 4 및 도 5는 본 고안에 따른 구동 수단의 구체적 실시예의 도면이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 주회전축(61)은 상기 챔버(2)의 상부에 형성된 주축 하우징(630) 내에 설치된다. 이와 같은 주회전축(61)에는 동력전달기어(g)가 설치되고, 그 외주연에는 원활한 회전을 위해 적어도 하나의 베어링(B)이 주축 하우징(630) 내에 설치되어 상기 주회전축(61)을 회전 가능하게 지지한다.

상기 주축 하우징(630)의 상부 외측에는 상기 구동유닛(63)이 설치된다. 상기 구동유닛(63)은 통상의 전동모터를 사용한다. 이와 같은 구동유닛(63)의 구동축에는 상기한 마그넷 실링 회전유닛(62)에 동력을 전달하기 위해 베벨기어(G)가 설치된다.

상기 마그넷 실링 회전유닛(62)은 상기 구동유닛(63)과 상기 주회전축(61)의 사이에 설치된다. 이러한 마그넷 실링 회전유닛(62)은 상기 구동유닛(63)에 동력 연결되어 회전하는 제1 마그네틱부와, 상기 주회전축(61)에 동력 연결되고 상기 제1 마그네틱부의 자기력에 의해 회전되는 제2 마그네틱부와, 상기 제1 마그네틱부와 상기 제2 마그네틱부 사이에는 설치되어 챔버를 밀봉하는 실링부를 포함한다.

도면을 참조하여 이를 구체적으로 설명하면, 상기 마그넷 실링 회전유닛(62)은 마그넷하우징(621)과, 제1 및 제2 하우징(622, 623)을 포함한다. 즉, 제1 하우징(622)의 상부와 하부에 각각 마그넷하우징(621)과 제2 하우징(623)이 결합된 구성을 갖는다. 이때, 상기 마그넷하우징(621)에는 제1 동력전달축(621a), 즉 상기 구동유닛(63)의 베벨기어(G)에 맞물리는 베벨기어(G')가 축결합된 제1 동력전달축(621a)이 설치되며, 그 내부에는 제1 마그네틱(621b)이 상기 마그넷 하부징의 주연부에 원주방향으로 배치된다.

예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 마그네틱(621b)은 다수개의 판형 마그네틱일 수 있고, 이 경우 반지름 방향으로 서로 반대의 극이 배열되도록 설치된다. 또한, 상기 제1 하우징(622)은 그 내부에 상기 마그넷하우징(621)을 수용하기 위한 수용부가 마련된다. 이와 같은 제1 하우징(622)의 상부에는 상기 마그넷하우징(621)이 원활하게 회전할 수 있도록 베어링이 설치된다.

아울러, 상기 제2 하우징(623)에는 상기 마그넷하우징(621)의 제1 마그네틱(621b)들과 마주보는 형태로 위치하도록 상기 제1 마그네틱(621b)들 사이공간에 삽입되는 제2 마그네틱(623a)과 상기 제2 마그네틱(623a)이 볼트에 의해 연결되는 제2 동력전달축(623b)이 수직관통되는 구조로 설치된다.

이때, 제2 마그네틱(623a)은 대향하는 제1 마그네틱을 향하는 방향으로 서로 다른 극이 배열되도록 N극과 S극을 갖는 자성체로 된 봉형태이다. 즉, 상기 제2 마그네틱(623a)은 횡방향으로 극이 서로 다른 봉형이고, 상기 제1 마그네틱(621b)은 상기 제2 마그네틱(623a)의 둘레에 다수개가 배치된 판형이고, 상기 제1 마그네틱(621b)은 상기 제2 마그네틱(623a)을 향하는 방향과 그 반대방향으로 극이 서로 다르게 배열된다.

또한, 상기 제2 동력전달축(623b)의 외둘레 소정부에는 원활한 회전을 위한 적어도 하나의 베어링이 설치되고 그 끝단에는 전술한 주회전축(61)의 동력전달기어(g)에 맞물리는 동력전달기어(g')가 설치된다.

여기서, 상기 제1 하우징(622)에는 도 4에서와 같이 상기 챔버내부의 진공을 유지하기 위한 실링커버(622b)가 마련되는데, 이러한 실링커버(622b)는 상기 제1 마그네틱(621b)들과 상기 제2 마그네틱(623a)의 사이에 개재되도록 상기 제1하우징(622)에서 연장형성함이 바람직하다.

이에, 상기와 같은 구성을 갖는 본 고안에 따른 박막 증착 장치의 작동에 대하여 살펴보기로 한다.

도 2를 다시 참조하면, 본 고안의 박막 증착 장치(1)는 챔버(2) 내에 설치되어 있는 안착부재(3)에 적어도 하나의 피증착물(31)을 배치한 상태에서 챔버(2) 내에 위치한 원료 공급 수단(4)에서 원료를 증발시킴과 아울러 이온 발생 장치(5)에서 플라즈마를 인가하여 피증착물(31)에 소정의 박막을 형성하게 된다.

이때, 안착부재(3)는 피증착물(31)의 표면에 균일한 두께의 박막이 증착될 수 있도록 구동수단(6)에 의해 회전한다. 이와 관련해서는 도 5 및 도 6을 참조하여 설명하고자 한다. 도 5는 본 고안에 따른 박막 증착 장치에 있어, 구동수단의 마그넷 실링 회전유닛을 발췌 도시한 측단면도이고, 도 6은 본 고안에 따른 박막 증착 장치에 있어, 제1 마그네틱들과 제2 마그네틱을 설명하기 위한 평면구성도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 구동수단(6)의 마그넷 실링 회전유닛(62)은 마그넷하우징(621)이 베벨기어(G, G')에 의해 연결된 구동유닛(63)으로부터 동력을 전달받아 회전함과 아울러 이 마그넷하우징(621)내부의 제1 마그네틱(621b)들 또한 회전함에 따라서 이러한 제1 마그네틱(621b)들의 사이공간에 설치되어 있는 제2 마그네틱(623a)이 자장을 형성하여 제2 동력전달축(623b)을 마그넷하우징(621)의 회전방향에 대하여 역방향으로 회전시킨다. 이후, 회전하는 제2 동력전달축(623b)은 기어 연결되어 있는 주회전축(61)에 회전력을 전달하고, 이러한 주회전축(61)에 연결되어 있는 안착부재(3)를 회전시키게 된다.

따라서 본 고안에서는 기존의 회전부재에 설치된 오링과 리데나와 같은 실링부재의 사용을 배제하고 마그네틱을 이용하여 구동유닛(63)에서 발생한 회전력을 주회전축(61)에 전달함으로써 구동유닛(63)의 성능에 따라 고속회전을 구현할 수 있고, 제1 하우징(622)에서 일체로 연장 형성된 실링커버(622b)에 의해 챔버 내의 진공을 유지시킴으로써 리크현상을 최소화할 수 있다.

이상에서 설명된 실시예는 본 고안을 설명하기 위한 일례에 불과하고, 본 고안의 권리범위는 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 고안의 기술적 사상과 실용신안등록청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능하며, 본 고안의 권리범위는 후속하는 특허청구범위에 기초로 하여 해석되어야 할 것이다.

예를 들어, 본 실시예에서는 제1 및 제2 마그네틱으로 영구자석이나 전자석이 공히 사용될 수 있음은 물론이다. 또한, 전술된 실시예에서, 마그넷 실링 회전유닛(62)의 제2 동력전달축(623b)이 상기 안착부재에 연결된 주회전축(61)과 기어로 연결되어 주회전축(61)을 회전시키는 것으로 설명되어 있으나, 마그넷 실링 회전유닛(62)의 제2 동력전달축(623b)이 안착부재에 직접 연결되어 상기 안착부재를 직접 회전시킬 수도 있다.

더욱이, 전술된 실시예에서 본 고안의 실링 회전 장치가 박막 증착 장치의 챔버에 설치된 것을 예로서 설명하였으나, 회전축이 설치된 어떠한 챔버에 대해서 도 본 고안에 따른 실링 회전 장치가 적용될 수 있음은 물론이다.

이상과 같은 본 고안에 따른 실링 회전 장치는 제1 하우징에서 연장 형성된 실링커버에 의해 챔버 내의 진공을 유지시킴에 따라 기존의 마모성 실링부재인 오링과 리데나의 사용을 배제할 수 있어, 잦은 교체에 따른 번거로움을 해소함과 아울러 리크현상을 최소화할 수 있는 장점이 있다. 또한, 제1 , 제2 마그네틱을 이용하여 구동유닛의 회전력을 주회전축에 전달함으로써 구동유닛의 성능에 따라 고속 회전을 구현할 수 있는 효과가 있다.

Claims

챔버(2) 내에 설치된 회전체(3)를 회전시키는 실링 회전 장치로서,

상기 회전체(3)에 연결되고, 상기 챔버(2) 외부로 돌출된 회전축(61);

상기 챔버(2) 외부로 돌출된 상기 회전축(61)에 부착된 제 1 자성체(110);

상기 돌출된 회전축(61)을 감싸 상기 챔버(2)를 밀봉하는 하우징 실링부(101); 및

상기 하우징 실링부(101) 외부에 배치되고, 자기장의 변화를 주어 상기 제 1 자성체(110)를 회전시키는 제 2 자성체(120)를 포함하는 실링 회전 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 하우징 실링부(101)는 하부가 개방된 통 형상으로 형성된 실링 회전 장치.
챔버(2) 내에 설치된 회전체(3)를 회전시키는 실링 회전 장치로서,

상기 회전체(3)에 연결되어 상기 챔버(2) 외부로 돌출된 주 회전축(61);

상기 주 회전축(61)을 감싸 상기 챔버(2)를 밀봉하는 주축 하우징(630);

상기 주 회전축(61)에 연결되고 상기 주축 하우징(630) 외부로 돌출된 보조 회전축(623b);

상기 주축 하우징(630) 외부로 돌출된 상기 보조 회전축(623b)에 부착된 제 1 자성체(623a);

상기 돌출된 보조 회전축(623)을 감싸 상기 주축 하우징(630)을 밀봉하는 하우징 실링부(622b); 및

상기 하우징 실링부(622b) 외부에 배치되고, 자기장의 변화를 주어 상기 제 1 자성체(623a)를 회전시키는 제 2 자성체(621b)를 포함하는 실링 회전 장치.
청구항 3에 있어서,

동력 전달 기어(g)를 통해 상기 주 회전축(61)과 보조 회전축(623)이 연결된 실링 회전 장치.
청구항 3에 있어서,

상기 주 회전축(61)의 원활한 회전을 위해 상기 주축 하우징(630) 내에 베어링(B)이 형성된 실링 회전 장치.
청구항 1 내치 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 2 자성체(120, 621b)를 지지하는 지지수단; 및

상기 지지수단을 회전시키는 구동 모터부(130)를 더 포함하는 실링 회전 장치.
청구항 1 내치 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 및 제 2 자성체(110, 623a, 120, 621b)는 영구자석 및 전자석을 사용하는 실링 회전 장치.
청구항 1 내치 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 자성체(110, 623a)는 내부가 비어 있는 원통 형상의 자석인 실링 회전 장치.
청구항 1 내치 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 2 자성체(120, 621b)는 상기 하우징 실링부(101, 622b)의 둘레에 배치된 다수의 판형 자석인 실링 회전 장치.
청구항 9에 있어서,

상기 제 2 자성체(120, 621b)는 상기 제 1 자성체(110, 623a) 방향으로 동일한 극성이 배치된 실링 회전 장치.
챔버(2);

상기 챔버(2) 내에 설치되어 피증착물(31)이 안착되는 안착부재(3);

상기 피증착물(31)에 박막 증착용 원료를 공급하는 원료 공급 수단(4);

상기 피증착물에 플라즈마를 인가하는 이온 발생 수단(5);

상기 안착부재(3)에 연결되어 그 일부가 상기 챔버(2) 외부로 돌출된 주 회전축(61);

상기 주 회전축(61)을 감싸는 주축 하우징(630);

상기 주 회전축(61)에 연결되고 그 일부가 상기 주축 하우징(630) 외부로 돌출된 보조 회전축(623);

상기 보조 회전축(623)에 부착된 제 1 자성체(623a);

상기 돌출된 보조 회전축(623)을 감싸 상기 주축 하우징(630)을 밀봉하는 하우징 실링부(622b); 및

상기 하우징 실링부(622b) 외부에 배치되고, 자기장의 변화를 주어 상기 제 1 자성체(623a)를 회전시키는 제 2 자성체(621b)를 포함하는 박막 증착 장치.