TW201731348A - 電漿沉積設備 - Google Patents

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金讚鎬
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Abstract

本發明係關於電漿沉積設備，且更具體而言，係關於一電漿沉積設備，其中構成陰極電極的電極主體與磁鐵兩者可獨立地旋轉。電漿沉積設備可根據各種沉積條件而有效地控制磁場形成的位置。電漿沉積設備包括陰極電極驅動元件，其安裝在真空腔室之外側且從真空腔室之外側可拆卸地耦接至陰極電極，藉此最大化真空腔室中的磁場產生面積，並能夠輕易維護。

Description

電漿沉積設備
本發明係關於電漿沉積設備，且更具體而言，係關於一電漿沉積設備，其中之陰極電極的電極主體與磁鐵經封裝而個別地旋轉，其中該電漿沉積設備可根據沉積條件而有效地控制磁場形成的位置、透過將陰極電極驅動元件可拆卸地安裝在真空腔室之外側而最大化磁場面積、並使陰極電極能夠輕易更換。
在電或電子裝置、半導體裝置、顯示裝置、太陽能電池、或觸控面板的製造領域中，沉積系統用以在基板的表面上沉積薄膜。
沉積方法可分為物理氣相沉積(PVD)方法與化學氣相沉積(CVD)方法，PVD方法包括真空沉積、濺射、及離子鍍。
濺射方法在相對上弱的真空狀態下產生電漿並將離子化的電漿加速，使得被加速的離子與靶材(沉積材料)碰撞。因此，靶材之材料的原子從靶材散射出來並沉積在基板上，藉此在基板上形成薄膜。
化學氣相沉積方法使用電漿分解反應氣體，使得期望材料的薄膜被沉積在基板上。
因此，已發展使用各種沉積方法沉積薄膜的各種電漿沉積設備。本案發明人已於韓國專利案第10-1160680號中提出圓柱狀濺射陰極。
關於習知的圓柱狀濺射陰極，電極與磁鐵可獨立地旋轉。因此，有一優點為在電極的表面上的磁場的位置與強度易於調整。然而，由於用以旋轉磁鐵的旋轉軸從蓋部突出，且端部塊(其為用以將旋轉軸旋轉的驅動系統)不可分地耦接至電極主體的個別端部，故存在陰極之總長度增加的問題。
因為端部塊(其所具有的靶材未經塗佈)以及陰極係安裝在真空腔室中，此問題導致沉積材料未在真空腔室中被均勻地散射。因此，沉積品質與效率退化。
此外，由於電極主體與端部塊係一體成型，故陰極電極係重的。因此，難以將陰極電極安裝在真空腔室中及將陰極電極從真空腔室中移除。再者，當將電極主體塗佈靶材時，必須致力於避免端部塊被靶材塗佈。
技術問題 據此，本發明已考量相關領域中發生的以上問題，且本發明意在提出一電漿沉積設備，經建構而使得僅電極主體(其被塗佈靶材)設置在真空腔室中，其使沉積材料能夠在真空腔室中被均勻地散射，藉此改善沉積品質與效率。
此外，由於陰極電極與驅動元件可彼此拆卸，故欲修理的沉積設備的各元件的重量減少。因此，沉積設備的維護變得容易。此外，在靶材完全地消耗之後，可輕易地將陰極電極再次塗佈靶材。
本發明之目標不應限於上述目標，且所屬技術領域中具有通常知識者可從以下說明中輕易地理解本發明的其他目標、特徵、及優點。技術解決方案
為達成以上目標，根據本發明的一實施態樣，提供能夠從外側個別地旋轉電極主體及磁鐵的一電漿沉積設備，該電漿沉積設備包括:一真空腔室，具有用以容納為沉積對象之基板的一內部空間；一陰極電極，可旋轉地安裝在該真空腔室中並產生電漿使得電漿朝該基板移動，該陰極電極包括一電極主體、及安裝在該電極主體中的一磁鐵；一電極主體驅動元件，安裝在該真空腔室之外側，並且延伸穿過該真空腔室之第一側而連接至該電極主體，以旋轉該電極主體；以及一磁鐵驅動元件，安裝在該真空腔室之外側，並且延伸穿過該真空腔室之第二側而連接至該磁鐵。
在較佳實施例中，安裝在該真空腔室中的該陰極電極可存在複數個。
在較佳實施例中，該電極主體驅動元件及該磁鐵驅動元件各可存在複數個，且該電極主體驅動元件之數量及該磁鐵驅動元件之數量可等於該陰極電極之數量。
在較佳實施例中，該電極主體驅動元件或該磁鐵驅動元件可同時地由一驅動來源驅動，或個別地由分別不同的驅動來源驅動。
在較佳實施例中，該陰極電極具有對應到該真空腔室之內部空間之寬度的長度，其中該陰極電極包括:電極主體，具有帶個別開口端部的圓柱體；第一蓋部，連接至該電極主體之第一端部並隨著該電極主體之旋轉而旋轉；第二蓋部，連接至該電極主體之第二端部並隨著該電極主體之旋轉而旋轉；以及一磁鐵支持架，安裝在該電極主體中並且在該電極主體的縱向方向上延伸；其中該磁鐵支持架之第一端部連接至該第一蓋部的中央部位，使得該磁鐵支持架可旋轉並同時受該第一蓋部所支持；該磁鐵支持架之第二端部連接至該第二蓋部的中央部位，使得該磁鐵支持架可旋轉並同時受該第二蓋部所支持；且該磁鐵支持架之第一端部及第二端部未從該第一蓋部及該第二蓋部的表面突出。
在較佳實施例中，該第一蓋部包括:第一內側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，該磁鐵支持架之第一端部通過該中央孔洞，該第一內側蓋部插入該電極主體的第一端部中；第一外側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，該第一外側蓋部連接至該電極主體的第一端部；其中該第一外側蓋部的內側表面與該第一內側蓋部的外側表面接觸；以及第一卡環，在該第一內側蓋部插入該電極主體中之後插入該電極主體中並固定在預設位置上，該第一卡環避免該第一內側蓋部從該電極主體脫落。
在較佳實施例中，該第二蓋部包括:第二內側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，該磁鐵支持架之第二端部通過該中央孔洞，該第二內側蓋部插入該電極主體的第二端部中；第二外側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，並且連接至該電極主體的第二端部，其中該第二外側蓋部的內側表面與該第二內側蓋部的外側表面接觸；以及第二卡環，在該第二內側蓋部插入該電極主體中之後插入該電極主體中並固定在預設位置上，該第二卡環避免該第二內側蓋部從該電極主體脫落。
在較佳實施例中，該第一內側蓋部可設置有一冷卻水引入孔洞，該電極主體的內部空間通過該冷卻水引入孔洞與該第一外側蓋部的中央孔洞連通，且供應至該第一外側蓋部的中央孔洞的冷卻水通過該冷卻水引入孔洞而供應至該電極主體的內部空間中；其中該第二內側蓋部設置有一冷卻水排出孔洞，該電極主體的內部空間通過該冷卻水排出孔洞與該第二外側蓋部的中央孔洞連通，使得引入該電極主體中的冷卻水通過該第二外側蓋部的中央孔洞而排出。
在較佳實施例中，該磁鐵支持架可經建構成不與該第一蓋部及第二蓋部分開且可沿著該電極主體的一中央軸移動一預設距離。
在較佳實施例中，該電極主體的個別端部之內側表面可設置有止動器，當該第一內側蓋部及該第二內側蓋部朝該電極主體的中央部位插入時，該止動器限制該第一內側蓋部及該第二內側蓋部的移動距離。
在較佳實施例中，該電極主體驅動元件包括:一外殼，與該真空腔室之第一側的外側表面結合並且設置有位在預設位置上的一馬達驅動軸插入孔洞；一驅動力傳送齒輪，可旋轉地安裝在該外殼中並且連接至一馬達驅動軸，該馬達驅動軸插入該馬達驅動軸插入孔洞中且可旋轉地安裝；以及一電極主體旋轉軸，具有:第一端部，連接至該驅動力傳送齒輪；及第二端部，通過該真空腔室的外側腔壁並連接至該電極主體；該電極主體旋轉軸將該驅動力傳送齒輪的旋轉力傳送至該電極主體，藉此僅旋轉該電極主體而未旋轉該磁鐵。
在較佳實施例中，該電極主體旋轉軸可具有帶一中空部的圓柱狀，且該電極主體旋轉軸之中空部通過該冷卻水引入孔洞與該電極主體的內部空間連通。
在較佳實施例中，該電極主體旋轉軸可更設置有一冷卻水供應管，該冷卻水供應管的一端部通過該外殼並且插入該電極主體旋轉軸之中空部，藉此通過該電極主體旋轉軸供應冷卻水至該電極主體的內部空間。
在較佳實施例中，該電極主體驅動元件可更設置有一油封，插設在該冷卻水供應管的外側表面與該電極主體旋轉軸的內側表面之間，藉此避免被引入該電極主體旋轉軸中的冷卻水滲漏至該冷卻水供應管之外。
在較佳實施例中，該電極主體驅動元件的第一端部可插入該電極主體旋轉軸之中空部中，該電極主體驅動元件的第二端部可設置有一彈簧，朝該電極主體的內部空間向外突出，且該彈簧施加彈性壓力以箝制磁鐵，使之不在該電極主體的軸向方向上位移。
在較佳實施例中，該電極主體驅動元件可在該外殼中與該電極主體旋轉軸的外側表面接觸，其中該電極主體驅動元件更包括一供電板，將外部供應的電力經由該電極主體旋轉軸而傳送至該電極主體。
在較佳實施例中，該磁鐵驅動元件可包括:一外殼，與該真空腔室之第二側的外側表面結合並且設置有位在其預設位置上的一馬達驅動軸插入孔洞；一驅動力傳送齒輪，可旋轉地安裝在該外殼中並且連接至一馬達驅動軸，該馬達驅動軸插入該馬達驅動軸插入孔洞中；以及一磁鐵旋轉軸，具有:第一端部，連接至該驅動力傳送齒輪；及第二端部，通過該真空腔室的外側腔壁並連接至該磁鐵，藉此將該驅動力傳送齒輪的旋轉力傳送至該磁鐵，藉此僅旋轉該磁鐵而未旋轉該電極主體；以及一電極主體連接軸，具有:帶一中空部的圓柱體；第一端部，插入而置於該磁鐵旋轉軸之上；及第二端部，連接至該電極主體，藉此隨著該電極主體的旋轉而旋轉；該電極主體連接軸獨立於該外殼及該磁鐵旋轉軸而旋轉。
在較佳實施例中，該電極主體連接軸具有帶一中空部的圓柱體，其中該電極主體連接軸之中空部通過該冷卻水排出孔洞而與該電極主體的內部空間連通。
在較佳實施例中，一冷卻水排出管設置在該磁鐵旋轉軸中，其中該磁鐵旋轉軸設置有一連通孔洞，該電極主體連接軸之中空部通過該連通孔洞與該冷卻水排出管連通，且其中該電極主體中的冷卻水依序通過以下各者而排出:該冷卻水排出孔洞、該電極主體連接軸之中空部、該磁鐵旋轉軸的連通孔洞、及該冷卻水排出管。
在較佳實施例中，該磁鐵驅動元件可更包括一油封，插設在該磁鐵旋轉軸的外側表面與該電極主體連接軸的內側表面之間，該油封避免被引入該電極主體連接軸之中空部中的冷卻水沿該磁鐵旋轉軸的外側表面而滲漏。有利效果
根據本發明，電漿沉積設備經建構而使得僅有塗佈靶材的電極主體設置在真空腔室中。因此，沉積材料可在真空腔室中被均勻地散射，這使得沉積品質與效率改善。
此外，根據本發明，電漿沉積設備經建構而使得陰極電極與驅動元件彼此組裝，但可視所需而彼此分開。因此，電漿沉積設備之各元件的重量減少。因此，可輕易地維護電漿沉積設備。再者，在靶材完全地消耗之後，可將陰極電極從真空腔室中移除並在真空腔室之外側輕易地再次塗佈靶材。
此外，根據本發明，電漿沉積設備經建構而使得磁鐵與電極主體可獨立地旋轉。因此，根據沉積條件而輕易地改變磁場形成的位置係可能的。
此外，根據本發明，電漿沉積設備經建構而使得安裝在真空腔室之外側的電極主體驅動元件及磁鐵驅動元件可使用蓋部而簡單地組裝。亦即，電極主體驅動元件及磁鐵驅動元件可封裝為單一物體。
此外，根據本發明，電漿沉積設備有利之處在於其可被輕易地組裝。
最佳實施例 [ 第一實施例 ] 圖1為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備之內部結構的圖式。
參考圖1，根據本發明之第一實施例，電漿沉積設備1000為用以在真空條件下產生電漿，以促使靶材散射並藉此在基板上沉積薄膜的沉積設備。
電漿沉積設備1000包括真空腔室1100、陰極電極1200、電極主體驅動元件1300、及磁鐵驅動元件1400。
真空腔室1100為用以容納其中之基板(受沉積處理的對象)的腔室。真空腔室1100可提供真空環境。
此外，用以支持放置在上方之基板S的基部10設置在真空腔室1100中。
陰極電極1200可拆卸地安裝在真空腔室1100中。陰極電極1200使用化學氣相沉積方法或物理氣相沉積方法散射沉積材料。
此外，陰極電極1200包括電極主體1210及磁鐵1250。
電極主體1210為具有個別開口端部的圓柱體。電極主體1210可在真空腔室1100中旋轉。
磁鐵1250設置在電極主體1210中。磁鐵1250產生磁場，藉此調整沉積材料散射的方向。
電極主體驅動元件1300為用以旋轉電極主體1210的元件。電極主體驅動元件1300安裝在真空腔室1100的第一側壁之外。
此外，電極主體驅動元件1300的驅動軸延伸穿過真空腔室1100而連接至電極主體1210，藉此旋轉電極主體1210。
磁鐵驅動元件1400為用以旋轉磁鐵1250的元件，且其安裝在真空腔室1100的第二側壁之外。
此外，磁鐵驅動元件1400的驅動軸延伸穿過真空腔室1100而連接至磁鐵1250，藉此旋轉磁鐵1250。
亦即，因為電極主體驅動元件1300及磁鐵驅動元件1400安裝在真空腔室1100的外側，因此僅有陰極電極1200安裝在真空腔室1100中，故根據本發明的電漿沉積設備1000具有最大化真空腔室1100中之磁場面積的優點。
此外，陰極電極1200的長度較佳地對應到真空腔室1100之內部空間的寬度。
由於最大化真空腔室1100之內部空間中之磁場面積係可能的，故可均勻地散射沉積材料。因此，改善沉積品質及效率。
支持架1500安裝在真空腔室1100中，用以將陰極電極1200懸置在真空腔室1100中。
由於上述結構，在陰極電極1200安裝在真空腔室1100之內部空間中之後，從真空腔室1100之外側將電極主體驅動元件1300及磁鐵驅動元件1400與陰極電極1200組裝在一起係可能的。
替代地，可在當陰極電極1200被升降機(crane) (而非支持架1500)懸置時，將電極主體驅動元件1300及磁鐵驅動元件1400與陰極電極1200組裝在一起。
圖2為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備1000之陰極電極1200的展開圖；圖3為根據本發明之第一實施例沿電漿沉積設備1000之陰極電極1200的軸向方向的剖面圖。
參考圖2及3，陰極電極1200包括電極主體1210、磁鐵支持架1240、磁鐵1250、第一蓋部1220、及第二蓋部1230。
電極主體1210為具有個別開口端部的圓柱體。當供應電力至電極主體1210時，電極主體1210在真空腔室1100中產生電漿。
在物理氣相沉積的例子中，電極主體1210之表面塗佈靶材而成為沉積材料。另一方面，在化學氣相沉積的例子中，電極主體1210之表面未塗佈靶材。
磁鐵支持架1240為用以支持磁鐵1250的支架，且其安裝在電極主體1210中。磁鐵支持架1240可旋轉地安裝在電極主體1210中，藉此旋轉與之附接的磁鐵1250。
此外，磁鐵支持架1240在電極主體1210的縱向方向上延伸。
磁鐵1250安裝在電極主體1210中，並同時被支持在磁鐵支持架1240上。磁鐵1250產生磁場(在電極主體1210之外，作用於預設方向上)，藉此將電漿集中在預設位置上。
藉由改變電漿集中的位置來控制沉積材料散射的散射方向。
第一蓋部1220連接至電極主體1210之第一端部。
第一蓋部1220在真空腔室1100中可拆卸地連接至電極主體驅動元件1300的驅動軸，且因此隨著電極主體1210之旋轉而繞電極主體1210之中心軸c旋轉。
第二蓋部1230連接至電極主體1210之第二端部。
第二蓋部1230隨著電極主體1210之旋轉而繞電極主體1210之中心軸c旋轉。
亦即，第一蓋部1220從電極主體驅動元件1300接收驅動力，並與電極主體1210及第二蓋部1230一起旋轉。
磁鐵支持架1240之個別的端部1241及1242通過個別的蓋部1220及1230的中心。磁鐵支持架1240可旋轉地安裝，並同時受蓋部1220及1230所支持。
然而，磁鐵支持架1240之個別的端部未從蓋部1220及1230的表面突出。
此外，磁鐵支持架1240可拆卸地連接至磁鐵驅動元件1400(安裝在真空腔室1100之外側)的驅動軸，且其獨立於電極主體1210而旋轉。
因此，真空腔室1100之內側僅設置有陰極電極1200。因此，真空腔室1100中的磁場面積為最大化，這使沉積材料能夠被均勻地散射並改善沉積品質。
此外，磁鐵支持架1240的第二端部1242設置有鍵槽(keyway) a，且磁鐵驅動元件1400的鍵(key)配適於鍵槽a中。
替代地，磁鐵支持架1240的第二端部1242可設置有鍵，且磁鐵驅動元件1400可設置有鍵槽(鍵配適於其中)。
然而，若磁鐵支持架1240設置有鍵，則鍵槽從第二蓋部1230的表面向外側突出。在此例中，當未安裝陰極電極1200時，磁鐵支持架1240的鍵有可能被破壞，因此，較佳地係，磁鐵支持架1240設置有鍵槽。
亦即，電極主體1210受到經由第一蓋部1220傳送的驅動力而旋轉，且磁鐵1250受到經由磁鐵支持架1240傳送的驅動力而旋轉。因此，電極主體1210與磁鐵1250可獨立地旋轉。因此，根據沉積條件而輕易地控制磁場形成的位置係可能的。
引導件1260可附接至磁鐵支持架1240的外側表面。亦即，引導件1260的第一部分耦接至磁鐵支持架1240的外側表面，而引導件1260的第二部分耦接至電極主體1210的內側表面。
引導件1260使磁鐵支持架1240能夠在電極主體1210中旋轉，同時避免旋轉軸位移。
圖4為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備1000之陰極電極1200之第一蓋部1220之細部結構的圖式。
參考圖4，第一蓋部1220包括第一內側蓋部1221、第一外側蓋部1222、及第一卡環1223。
第一內側蓋部1221具有中央孔洞。第一內側蓋部1221插入電極主體1210的第一端部中，且磁鐵支持架1240的第一端部1241可旋轉地插入第一內側蓋部1221的中央孔洞中。
第一外側蓋部1222具有中央孔洞。第一外側蓋部1222以封閉電極主體1210之第一端部的方式耦接至電極主體1210。
第一外側蓋部1222使用從電極主體驅動元件1300傳送而來的驅動力旋轉電極主體1210。
第一卡環1223插入電極主體1210的第一端部中，藉此避免第一內側蓋部1221從電極主體1210脫落。
此外，第一內側蓋部1221具有冷卻水引入孔洞1221a。冷卻水引入孔洞1221a為一孔洞，電極主體1210的內部空間通過該孔洞與第一內側蓋部1221的中央孔洞連通。
此外，第一內側蓋部1221的中央孔洞與第一外側蓋部1222的中央孔洞連通。供應至第一外側蓋部1222的中央孔洞的冷卻水通過冷卻水引入孔洞1221a而引入電極主體1210的內部空間中，藉此調整電極主體1210與磁鐵1250的溫度。
圖5為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備1000之陰極電極1200之第二蓋部1230的剖面圖。
參考圖5，第二蓋部1230包括第二內側蓋部1231、第二外側蓋部1232、及第二卡環1233。
第二內側蓋部1231為具有中央孔洞的蓋部。第二內側蓋部1231插入電極主體1210的第二端部中。磁鐵支持架1240的第二端部1242插入該中央孔洞中。
第二外側蓋部1232為具有中央孔洞的蓋部。第二外側蓋部1232以封閉電極主體1210的第二端部的方式連接至電極主體1210。第二外側蓋部1232與第二內側蓋部1231表面接觸。
第二卡環1233插入電極主體1210的第二端部中，藉此避免第二內側蓋部1231從電極主體1210脫落。
此外，第二內側蓋部1231具有冷卻水排出孔洞1231a。
冷卻水排出孔洞1231a為一孔洞，電極主體1210的內部空間通過該孔洞與第二內側蓋部1231的中央孔洞連通。電極主體1210中的冷卻水通過第二內側蓋部1231的中央孔洞及第二外側蓋部1232的中央孔洞而排出。
圖6為根據本發明之第一實施例沿與電漿沉積設備1000之陰極電極1200之軸向方向垂直之方向的剖面圖。
參考圖6，磁鐵1250包括第一磁鐵1251及第二磁鐵1252。
此外，所使用的磁鐵1250之數目不限。參考圖6，二或更多磁鐵設置成彼此分隔。
此外，第一磁鐵1251及第二磁鐵1252具有不同的極性且均為框型(frame-shaped)。第一磁鐵1251及第二磁鐵1252彼此分隔。
第二磁鐵1252設置在第一磁鐵1251之外側，其中各磁鐵之間存在間隙。
第一磁鐵1251及第二磁鐵1252在電極主體1210的外側表面上產生磁場。由於該磁場，框型的電漿雲形成在電極主體1210的外側表面上。
圖7為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備1000之陰極電極1200之組裝過程的圖式。
(a)參考圖7，首先，將第一內側蓋部1221推進電極主體1210的第一端部1210a中。
在電極主體1210中形成止動器1211以限制第一內側蓋部1221插入電極主體1210中的深度。當第一內側蓋部1221插入電極主體1210中時，其透過被止動器1211阻擋而插入電極主體1210中達一預設深度。
(b)接下來，將第一卡環1223插入電極主體1210的第一端部中。
(c)其後，通過第二端部1210b將與磁鐵1250結合的磁鐵支持架1240插入電極主體1210中。
(d)接下來，將磁鐵支持架1240的第一端部1241推進第一內側蓋部1221的中央孔洞中。
第一內側蓋部1221受磁鐵支持架1240的止動器1241a阻擋，然後朝電極主體1210的第一端部1210a退回。
此時，由於第一內側蓋部1221受第一卡環箝制，故第一內側蓋部1221不會從電極主體1210移開。
(e)接下來，將第一外側蓋部1222耦接而與第一內側蓋部1221表面接觸，且同時，第一外側蓋部1222固定於電極主體1210的第一端部1210a上。
(f)接下來，將第二內側蓋部1231插入電極主體1210的第二端部1210b。
此外，將磁鐵支持架1240的第二端部1242推進第二內側蓋部1231的中央孔洞中。
此外，在電極主體1210的第二端部的內側表面上形成較低的止動器1212，藉此在當第二內側蓋部1231插入電極主體1210的中央部分時，限制第二內側蓋部1231的推進。
(g)接下來，將第二卡環1233插入電極主體1210的第二端部1210b。
(h)接下來，朝電極主體1210的第二端部1210b，將磁鐵支持架1240的第一端部1241推進電極主體1210中。
此時，第二內側蓋部1231被位在磁鐵支持架1240的第二端部的止動器1241b止動。然後，第二內側蓋部1231與磁鐵支持架1240一起移動，並接著由於被第二卡環1233阻擋而止動。
(i) 接下來，將第二外側蓋部1232耦接而與第二內側蓋部1231表面接觸，並接著固定於電極主體1210的第二端部上。
圖8為圖解電極主體驅動元件1300的圖式；圖9為圖解馬達1350安裝在電極主體驅動元件1300中之狀態的圖式；且圖10為圖解電極主體驅動元件1300的剖面圖。
參考圖8到10，電極主體驅動元件1300為一驅動元件，其延伸穿過真空腔室1100的外側腔壁並且可拆卸地連接至陰極電極1200的第一外側蓋部1222，藉此將旋轉力傳送至第一外側蓋部1222並因此旋轉電極主體1210。
此外，電極主體驅動元件1300包括外殼1310(下文稱「第一外殼」)、驅動力傳送齒輪1320(下文稱「第一驅動力傳送齒輪」)、及電極主體旋轉軸1330。
第一外殼1310容納第一驅動力傳送齒輪1320及電極主體旋轉軸1330。
第一外殼1310的第一端部1310a穿過真空腔室1100的腔壁並且連接至電極主體1210。
第一驅動力傳送齒輪1320為可旋轉地安裝在第一外殼1310中的齒輪。第一驅動力傳送齒輪1320從作為驅動來源的馬達1350(下文稱「第一馬達」)接收驅動力並將驅動力傳送至電極主體旋轉軸1330。
第一外殼1310具有馬達驅動軸插入孔洞1311(下文稱「第一馬達驅動軸插入孔洞」)位在其預設位置上。插入第一馬達驅動軸插入孔洞1311中的第一馬達1350的驅動軸與第一驅動力傳送齒輪1320嚙合。
電極主體旋轉軸1330的第一端部與第一驅動力傳送齒輪1320嚙合，且其第二端部耦接至電極主體1210。電極主體旋轉軸1330受第一驅動力傳送齒輪1320的旋轉力而旋轉，藉此旋轉電極主體1210。
電極主體旋轉軸1330的第二端部設置有與電極主體1210嚙合的齒部1333。
此外，齒部1333使電極主體旋轉軸1330與電極主體1210能夠透過單觸操作(one-touch operation)而彼此組裝。
此外，電極主體旋轉軸1330為具有中空部1331的軸。當電極主體旋轉軸1330與電極主體1210組裝在一起時，中空部1331通過冷卻水引入孔洞1221a與電極主體1210的內部空間1210c連通。
中空部1331為一通道，冷卻水可通過該通道而從外部被引入電極主體1210的內部空間中。因此，由於電極主體1210及磁鐵1250被冷卻水冷卻，故電極主體1210及磁鐵1250不易受熱破壞。
電極主體驅動元件1300可更包括冷卻水供應管1340。
冷卻水供應管1340延伸穿過第一外殼1310的壁並且連接至電極主體旋轉軸1330之中空部1331。因此，冷卻水可通過電極主體旋轉軸1330而供應至電極主體1210的內部空間1210c。
此外，電極主體驅動元件1300可更包括油封1332(下文稱「第一油封」)，設置在冷卻水供應管1340的外側表面與電極主體旋轉軸1330的內側表面之間。
第一油封1332避免被引入電極主體旋轉軸1330之中空部1331中的冷卻水在電極主體旋轉軸1330與冷卻水供應管1340之間滲漏。
電極主體驅動元件1300的第一端部配適於電極主體旋轉軸1330之中空部1331中，且其第二端部可設置有彈簧1334，暴露在電極主體旋轉軸1330的第二端部之外側。
彈簧1334彈性地壓縮並支持磁鐵1250，使得磁鐵1250不在電極主體旋轉軸1330之軸向方向上位移。
電極主體驅動元件1300可更包括供電板1335。
供電板1335與電極主體旋轉軸1330的第一端部接觸。供電板1335從外側接收電力並經由電極主體旋轉軸1330將之傳送至陰極電極1200。
亦即，電極主體驅動元件1300旋轉電極主體1210，而未旋轉設置在陰極電極1200中的磁鐵1250。
圖11為圖解磁鐵驅動元件1400的圖式；圖12為圖解馬達1450安裝在磁鐵驅動元件1400中之狀態的圖式；且圖13為圖解磁鐵驅動元件1400的剖面圖。
參考圖11至13，根據本發明之一實施例的磁鐵驅動元件1400延伸穿過真空腔室1100的外側腔壁並且可拆卸地連接至陰極電極1200的磁鐵1250。磁鐵驅動元件1400為僅旋轉磁鐵1250的驅動元件。
此外，磁鐵驅動元件1400包括外殼1410(下文稱「第二外殼」)、驅動力傳送齒輪1420(下文稱「第二驅動力傳送齒輪」)、及磁鐵旋轉軸1430。
第二外殼1410為用以容納其中之第二驅動力傳送齒輪1420及磁鐵旋轉軸1430的外殼。
此外，第二外殼1410的第一側部1411插入真空腔室1100的腔壁中。
第二驅動力傳送齒輪1420為可旋轉地安裝在第二外殼1410中的齒輪。第二驅動力傳送齒輪1420從作為驅動來源的馬達1450(下文稱「第二馬達」)接收驅動力並將驅動力傳送至磁鐵旋轉軸1430。
此外，第二外殼1410具有馬達驅動軸插入孔洞1411(下文稱「第二馬達驅動軸插入孔洞」)位在預設位置上。插入第二馬達驅動軸插入孔洞1411中的第二馬達1450的驅動軸與驅動力傳送齒輪1420嚙合。
第二驅動力傳送齒輪1420與磁鐵旋轉軸1430的預設部位結合，磁鐵旋轉軸1430的第一端部1431與磁鐵支持架1240結合，且磁鐵支持架1240受第二驅動力傳送齒輪1420的旋轉力而旋轉。
磁鐵旋轉軸1430延伸穿過第二驅動力傳送齒輪1420的中央部位，並同時以栓槽連接(spline joint)的方式組裝。
亦即，磁鐵驅動元件1400僅旋轉設置在電極主體1210中的磁鐵支持架1240，藉此旋轉磁鐵1250，而未旋轉陰極電極1200的電極主體1210。
因此，根據沉積條件而有效地控制磁場形成的位置係可能的。
具體而言，電極主體驅動元件1300與磁鐵驅動元件1400經安裝成從外側通過真空腔室1100之個別腔壁而延伸至真空腔室1100的內部空間，且該者可拆卸地耦接至陰極電極1200。因此，與習知陰極電極(其中驅動元件及電極主體一體成型)相較之下，根據本發明的陰極電極1200的總長度減少。
這表示僅電極主體1210設置在真空腔室1100中，而將真空腔室1100的內部空間中磁場可形成的面積最大化。
因此，沉積材料可在真空腔室1100中被均勻地散射，而改善沉積品質與效率。
此外，當電極主體驅動元件1300與磁鐵驅動元件1400故障時，該者的維護可在真空腔室之外側執行，而毋須開啟真空腔室1100。
磁鐵驅動元件1400可更包括電極主體連接軸1440。
電極主體連接軸1440為具有中空部1440a的軸。電極主體連接軸1440的第一端部可旋轉地位於第二外殼1410中，且電極主體連接軸1440的第二端部連接至電極主體1210。因此，電極主體連接軸1440可隨著電極主體1210之旋轉而在外殼1410中旋轉。
將電極主體連接軸1440插入而置於磁鐵旋轉軸1430之上，且其獨立於磁鐵旋轉軸1430而旋轉，藉此促成僅有電極主體1210被旋轉。
電極主體連接軸1440的第二端部設置有與電極主體1210嚙合的齒部1441。
電極主體連接軸1440與電極主體1210透過單觸操作而彼此組裝。
此外，磁鐵旋轉軸1430的第一端部1431設置有鍵，其配適於形成在磁鐵支持架1240中的鍵槽a。
因此，雖然磁鐵旋轉軸1430沿旋轉軸方向移動，但磁鐵旋轉軸1430的旋轉驅動力被輕易地傳送到磁鐵支持架1240。
此外，當電極主體連接軸1440與電極主體1210組裝在一起時，電極主體連接軸1440的中空部1440a與電極主體1210的內部空間1210c連通。
此外，磁鐵旋轉軸1430具有冷卻水排出管1431，在其縱向方向上延伸。磁鐵旋轉軸1430之一部位設置有連通孔洞1431a，電極主體連接軸1440的中空部1440a與冷卻水排出管1431通過連通孔洞1431a而彼此連通。
此外，被引入電極主體1210的內部空間1210c中的冷卻水依序通過以下各者而排出: 電極主體連接軸1440的中空部1440a、第二內側蓋部1231的冷卻水排出孔洞1231a、磁鐵旋轉軸1430的連通孔洞1431a、及冷卻水排出管1431。
此外，冷卻水排出管1431延伸至外殼1410之外側。
此外，磁鐵驅動元件1400可更包括油封1460(下文稱「第二油封」)，介在磁鐵旋轉軸1430與電極主體連接軸1440之間，以避免水在磁鐵旋轉軸1430與電極主體連接軸1440之間滲漏。
第二油封1460將電極主體連接軸1440之內側表面與磁鐵旋轉軸1430之外側表面之間的間隙封閉，藉此避免排出的冷卻水滲漏並流進驅動力傳送齒輪1420。
此外，磁鐵驅動元件1400可更包括原點感測器(origin sensor )1470，安裝在磁鐵旋轉軸1430的預設位置上。
此外，原點感測器1470量測磁鐵旋轉軸1430的旋轉角度，而旋轉角度作為控制第二馬達1450所需的資訊。
如上所述，根據本發明之電漿沉積設備1000，由於設置在真空腔室1100之外側的電極主體驅動元件1300及磁鐵驅動元件1400可拆卸地耦接至設置在真空腔室1100中的陰極電極1200，故與習知陰極電極(其中驅動元件及電極主體一體成型)相較之下，陰極電極具有減少的長度及重量。因此，本發明在輕易維護方面係有利的。
此外由於僅有產生電漿的電極主體1210設置在真空腔室1100中，故在真空腔室1100中形成的磁場面積可最大化，這使沉積材料能夠在真空腔室中被均勻地散射，而因此改善沉積品質與效率。
再者，由於電極主體1210與磁鐵1250可獨立地旋轉，故根據沉積條件而輕易地控制磁場形成的位置係可能的。再者，由於陰極電極1200與驅動元件1300及1400透過單觸操作而組裝，故組裝工作變得容易。本發明之實施例 [第二實施例]
圖14為根據第二實施例圖解電漿沉積設備之第一側部的圖式。圖15為根據本發明之第二實施例圖解電漿沉積設備之第二側部的圖式。
參考圖14至15，根據本發明之第二實施例，電漿沉積設備2000包括真空腔室1100、陰極電極1200、電極主體驅動元件1300、及磁鐵驅動元件1400。
根據第二實施例的電漿沉積設備2000與根據本發明之第一實施例的電漿沉積設備1000不同於之處在於其包括複數個陰極電極1200a、1200b、及1200c，而非包括一個陰極電極1200。
此外，其包括複數個電極主體驅動元件1300a、1300b、及1300c，而非包括一個電極主體驅動元件1300；且其包括複數個磁鐵驅動元件1400a、1400b、及1400c，而非包括一個磁鐵驅動元件1400；其中電極主體驅動元件的數量及磁鐵驅動元件的數量等於陰極電極1200a、1200b、及1200c的數量。
亦即，根據本發明之第二實施例的電漿沉積設備2000及根據本發明之第一實施例的電漿沉積設備1000，在陰極電極(1200a、1200b、1200c)、電極主體驅動元件(1300a、1300b、1300c)、及磁鐵驅動元件(1400a、1400b、1400c)的數量方面彼此不同，但在其個別元件的功能與結構方面彼此實質上相同。
此外，陰極電極1200a、1200b、及1200c並排地設置在真空腔室1100中並彼此分隔。
因此，在真空腔室1100中形成均勻密度之電漿方面，根據第二實施例的電漿沉積設備2000係有利的，這使得沉積品質與效率改善。
此外，電極主體驅動元件1300a、1300b、及1300c受驅動來源1350所驅動，如圖14中所繪。
因此，以相同轉速旋轉所有陰極電極1200a、1200b、及1200c係可能的。
此外，磁鐵驅動元件1400a、1400b、及1400c可被個別的驅動來源1350個別地旋轉，如圖15中所繪。因此，以不同方向旋轉陰極電極1200a、1200b、及1200c的磁鐵係可能的。
有了此結構與操作，當在真空腔室1100中移動基板S並執行沉積時，改變電漿形成的位置而藉此改善沉積品質與效率係可能的。
替代地，電極主體驅動元件1300a、1300b、及1300c可受個別的驅動來源所驅動，或所有磁鐵驅動元件1400a、1400b、及1400c可受一個驅動來源所驅動。產業應用性
根據本發明之實施例的電漿沉積設備可用以透過物理氣相沉積或化學氣相沉積在各種基板(例如電/電子裝置、半導體裝置、顯示裝置、太陽能電池、或觸控面板)上形成沉積層。
a‧‧‧鍵槽
c‧‧‧中心軸
S‧‧‧基板
10‧‧‧基部
1000‧‧‧電漿沉積設備
1100‧‧‧真空腔室
1200‧‧‧陰極電極
1200a-c‧‧‧陰極電極
1210‧‧‧電極主體
1210a‧‧‧第一端部
1210b‧‧‧第二端部
1210c‧‧‧內部空間
1211‧‧‧止動器
1212‧‧‧止動器
1220‧‧‧蓋部
1221‧‧‧第一內側蓋部
1221a‧‧‧冷卻水引入孔洞
1222‧‧‧第一外側蓋部
1223‧‧‧第一卡環
1230‧‧‧蓋部
1231‧‧‧第二內側蓋部
1231a‧‧‧冷卻水排出孔洞
1232‧‧‧第二外側蓋部
1233‧‧‧第二卡環
1240‧‧‧磁鐵支持架
1241‧‧‧端部
1241a‧‧‧止動器
1241b‧‧‧止動器
1242‧‧‧端部
1250‧‧‧磁鐵
1251‧‧‧第一磁鐵
1252‧‧‧第二磁鐵
1260‧‧‧引導件
1300‧‧‧電極主體驅動元件
1300a-c‧‧‧電極主體驅動元件
1310‧‧‧外殼
1311‧‧‧馬達驅動軸插入孔洞
1320‧‧‧驅動力傳送齒輪
1330‧‧‧電極主體旋轉軸
1331‧‧‧中空部
1332‧‧‧油封
1333‧‧‧齒部
1334‧‧‧彈簧
1335‧‧‧供電板
1340‧‧‧冷卻水供應管
1350‧‧‧馬達/驅動來源
1400‧‧‧磁鐵驅動元件
1400a-c‧‧‧磁鐵驅動元件
1410‧‧‧外殼
1411‧‧‧第一側部
1420‧‧‧驅動力傳送齒輪
1430‧‧‧磁鐵旋轉軸
1431‧‧‧冷卻水排出管
1431a‧‧‧連通孔洞
1440‧‧‧電極主體連接軸
1440a‧‧‧中空部
1441‧‧‧齒部
1450‧‧‧馬達
1460‧‧‧油封
1470‧‧‧原點感測器
1500‧‧‧支持架
2000‧‧‧電漿沉積設備
圖1為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備的圖式；
圖2為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備之陰極電極的展開圖；
圖3為根據本發明之第一實施例沿電漿沉積設備之陰極電極的軸向方向的剖面圖；
圖4為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備之陰極電極之第一蓋部之細部結構的圖式；
圖5為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備之陰極電極之第二蓋部的圖式；
圖6為根據本發明之第一實施例沿與電漿沉積設備之陰極電極之軸向方向垂直之方向的剖面圖；
圖7為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備之組裝過程的圖式；
圖8為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備之電極驅動元件的圖式；
圖9為根據本發明之第一實施例圖解馬達安裝在電漿沉積設備之電極驅動元件中之狀態的圖式；
圖10根據本發明之第一實施例，為電漿沉積設備之電極主體驅動元件的剖面圖；
圖11為根據本發明之第一實施例圖解電漿沉積設備之磁鐵驅動元件的圖式；
圖12為根據本發明之第一實施例圖解馬達安裝在電漿沉積設備之磁鐵驅動元件中之狀態的圖式；
圖13根據本發明之第一實施例，為電漿沉積設備之磁鐵驅動元件的剖面圖；
圖14為本發明之根據第二實施例圖解電漿沉積設備之第一側部的圖式；
圖15為根據本發明之第二實施例圖解電漿沉積設備之第二側部的圖式。
S‧‧‧基板
10‧‧‧基部
1000‧‧‧電漿沉積設備
1100‧‧‧真空腔室
1200‧‧‧陰極電極
1300‧‧‧電極主體驅動元件
1400‧‧‧磁鐵驅動元件
1500‧‧‧支持架

Claims (20)

  1. 一種電漿沉積設備，能夠從外側個別地旋轉電極主體及磁鐵，該電漿沉積設備包括: 一真空腔室，具有用以容納為沉積對象之基板的一內部空間； 一陰極電極，可旋轉地安裝在該真空腔室中並產生電漿使得電漿朝該基板移動，該陰極電極包括一電極主體、及安裝在該電極主體中的一磁鐵； 一電極主體驅動元件，安裝在該真空腔室之外側，並且延伸穿過該真空腔室之第一側而連接至該電極主體，以旋轉該電極主體；以及 一磁鐵驅動元件，安裝在該真空腔室之外側，並且延伸穿過該真空腔室之第二側而連接至該磁鐵。
  2. 如申請專利範圍第1項之電漿沉積設備，其中安裝在該真空腔室中的該陰極電極存在複數個。
  3. 如申請專利範圍第2項之電漿沉積設備，其中該電極主體驅動元件及該磁鐵驅動元件各存在複數個，且該電極主體驅動元件之數量及該磁鐵驅動元件之數量等於該陰極電極之數量。
  4. 如申請專利範圍第3項之電漿沉積設備，其中該電極主體驅動元件或該磁鐵驅動元件係同時地由一驅動來源驅動，或個別地由分別不同的驅動來源驅動。
  5. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之電漿沉積設備，其中該陰極電極具有對應到該真空腔室之內部空間之寬度的長度，且其中該陰極電極包括: 該電極主體，具有帶個別開口端部的圓柱體； 第一蓋部，連接至該電極主體之第一端部並隨著該電極主體之旋轉而旋轉； 第二蓋部，連接至該電極主體之第二端部並隨著該電極主體之旋轉而旋轉；以及 一磁鐵支持架，安裝在該電極主體中並且在該電極主體的縱向方向上延伸； 其中該磁鐵支持架之第一端部連接至該第一蓋部的中央部位，使得該磁鐵支持架可旋轉並同時受該第一蓋部所支持；該磁鐵支持架之第二端部連接至該第二蓋部的中央部位，使得該磁鐵支持架可旋轉並同時受該第二蓋部所支持；且該磁鐵支持架之第一端部及第二端部未從該第一蓋部及該第二蓋部的表面突出。
  6. 如申請專利範圍第5項之電漿沉積設備，其中該第一蓋部包括: 第一內側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，該磁鐵支持架之第一端部通過該中央孔洞，該第一內側蓋部插入該電極主體的第一端部中； 第一外側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，該第一外側蓋部連接至該電極主體的第一端部； 其中該第一外側蓋部的內側表面與該第一內側蓋部的外側表面接觸；以及 第一卡環，在該第一內側蓋部插入該電極主體中之後插入該電極主體中並固定在預設位置上，該第一卡環避免該第一內側蓋部從該電極主體脫落。
  7. 如申請專利範圍第6項之電漿沉積設備，其中該第二蓋部包括: 第二內側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，該磁鐵支持架之第二端部通過該中央孔洞，該第二內側蓋部插入該電極主體的第二端部中； 第二外側蓋部，具有帶一中央孔洞的環狀，並且連接至該電極主體的第二端部，其中該第二外側蓋部的內側表面與該第二內側蓋部的外側表面接觸；以及 第二卡環，在該第二內側蓋部插入該電極主體中之後插入該電極主體中並固定在預設位置上，該第二卡環避免該第二內側蓋部從該電極主體脫落。
  8. 如申請專利範圍第7項之電漿沉積設備，其中該第一內側蓋部設置有一冷卻水引入孔洞，該電極主體的內部空間通過該冷卻水引入孔洞與該第一外側蓋部的中央孔洞連通，且供應至該第一外側蓋部的中央孔洞的冷卻水通過該冷卻水引入孔洞而供應至該電極主體的內部空間中；且其中該第二內側蓋部設置有一冷卻水排出孔洞，該電極主體的內部空間通過該冷卻水排出孔洞與該第二外側蓋部的中央孔洞連通，使得引入該電極主體中的冷卻水通過該第二外側蓋部的中央孔洞而排出。
  9. 如申請專利範圍第8項之電漿沉積設備，其中該磁鐵支持架經建構成不與該第一蓋部及第二蓋部分開且可沿著該電極主體的一中央軸移動一預設距離。
  10. 如申請專利範圍第9項之電漿沉積設備，其中該電極主體的個別端部之內側表面設置有止動器，當該第一內側蓋部及該第二內側蓋部朝該電極主體的中央部位插入時，該止動器限制該第一內側蓋部及該第二內側蓋部的移動距離。
  11. 如申請專利範圍第10項之電漿沉積設備，其中該電極主體驅動元件包括: 一外殼，與該真空腔室之第一側的外側表面結合並且設置有位在預設位置上的一馬達驅動軸插入孔洞； 一驅動力傳送齒輪，可旋轉地安裝在該外殼中並且連接至一馬達驅動軸，該馬達驅動軸插入該馬達驅動軸插入孔洞中且可旋轉地安裝；以及 一電極主體旋轉軸，具有:第一端部，連接至該驅動力傳送齒輪；及第二端部，通過該真空腔室的外側腔壁並連接至該電極主體；該電極主體旋轉軸將該驅動力傳送齒輪的旋轉力傳送至該電極主體，藉此僅旋轉該電極主體而未旋轉該磁鐵。
  12. 如申請專利範圍第11項之電漿沉積設備，其中該電極主體旋轉軸具有帶一中空部的圓柱狀，且該電極主體旋轉軸之中空部通過該冷卻水引入孔洞與該電極主體的內部空間連通。
  13. 如申請專利範圍第12項之電漿沉積設備，更包含一冷卻水供應管，該冷卻水供應管的一端部通過該外殼並且插入該電極主體旋轉軸之中空部，藉此通過該電極主體旋轉軸供應冷卻水至該電極主體的內部空間。
  14. 如申請專利範圍第13項之電漿沉積設備，其中該電極主體驅動元件更設置有一油封，插設在該冷卻水供應管的外側表面與該電極主體旋轉軸的內側表面之間，藉此避免被引入該電極主體旋轉軸中的冷卻水滲漏至該冷卻水供應管之外。
  15. 如申請專利範圍第11項之電漿沉積設備，其中該電極主體驅動元件的第一端部插入該電極主體旋轉軸之中空部中，該電極主體驅動元件的第二端部設置有一彈簧，朝該電極主體的內部空間向外突出，且該彈簧施加彈性壓力以箝制磁鐵，使之不在該電極主體的軸向方向上位移。
  16. 如申請專利範圍第11項之電漿沉積設備，其中該電極主體驅動元件在該外殼中與該電極主體旋轉軸的外側表面接觸，且其中該電極主體驅動元件更包括一供電板，其將外部供應的電力經由該電極主體旋轉軸而傳送至該電極主體。
  17. 如申請專利範圍第10項之電漿沉積設備，其中該磁鐵驅動元件包括: 一外殼，與該真空腔室之第二側的外側表面結合並且設置有位在其預設位置上的一馬達驅動軸插入孔洞； 一驅動力傳送齒輪，可旋轉地安裝在該外殼中並且連接至一馬達驅動軸，該馬達驅動軸插入該馬達驅動軸插入孔洞中； 一磁鐵旋轉軸，具有:第一端部，連接至該驅動力傳送齒輪；及第二端部，通過該真空腔室的外側腔壁並連接至該磁鐵，藉此將該驅動力傳送齒輪的旋轉力傳送至該磁鐵，藉此僅旋轉該磁鐵而未旋轉該電極主體；以及 一電極主體連接軸，具有:帶一中空部的圓柱體；第一端部，插入而置於該磁鐵旋轉軸之上；及第二端部，連接至該電極主體，藉此隨著該電極主體的旋轉而旋轉；該電極主體連接軸獨立於該外殼及該磁鐵旋轉軸而旋轉。
  18. 如申請專利範圍第17項之電漿沉積設備，其中該電極主體連接軸具有帶一中空部的圓柱體，且其中該電極主體連接軸之中空部通過該冷卻水排出孔洞而與該電極主體的內部空間連通。
  19. 如申請專利範圍第18項之電漿沉積設備，其中一冷卻水排出管設置在該磁鐵旋轉軸中，其中該磁鐵旋轉軸設置有一連通孔洞，該電極主體連接軸之中空部通過該連通孔洞與該冷卻水排出管連通，且其中該電極主體中的冷卻水依序通過以下各者而排出:該冷卻水排出孔洞、該電極主體連接軸之中空部、該磁鐵旋轉軸的連通孔洞、及該冷卻水排出管。
  20. 如申請專利範圍第19項之電漿沉積設備，其中該磁鐵驅動元件更包括一油封，插設在該磁鐵旋轉軸的外側表面與該電極主體連接軸的內側表面之間，該油封避免被引入該電極主體連接軸之中空部中的冷卻水沿該磁鐵旋轉軸的外側表面而滲漏。
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