KR20230112499A

KR20230112499A - 회전형 캐소드 및 이를 구비한 스퍼터 장치

Info

Publication number: KR20230112499A
Application number: KR1020220008818A
Authority: KR
Inventors: 정경훈
Original assignee: 주식회사 케이씨엠씨
Priority date: 2022-01-20
Filing date: 2022-01-20
Publication date: 2023-07-27

Abstract

회전형 캐소드가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 회전형 캐소드는, 증착 대상을 향하여 증착 물질을 제공하는 타겟; 챔버의 일측에 마련되는 결합공에 결합되되, 챔버의 외부로부터 챔버의 내부를 향해 결합공에 끼워지는 끼움동작에 의해 결합 가능하게 마련되어, 타겟의 일단부를 회전가능하게 지지하고 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 타겟으로 전달하는 모듈형 엔드블록; 및 챔버의 내부에 마련되어 타겟의 타단부를 회전가능하게 지지하는 타겟회전 서포터를 포함한다.

Description

회전형 캐소드 및 이를 구비한 스퍼터 장치{Rotary cathode and sputter apparatus having the same}

본 발명은, 회전형 캐소드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 간단하고 효율적인 구조를 가진 모듈형 엔드블록을 마련함으로써, 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 회전하는 타겟까지 보다 효율적으로 전달할 수 있으면서도, 회전형 캐소드를 설치함에 있어서 보다 용이하게 모듈형 엔드블록을 챔버에 결합하거나 챔버로부터 분리할 수 있는 회전형 캐소드에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평면 디스플레이나 반도체는 박막 증착(Deposition), 식각(Etching) 등의 다양한 공정을 거쳐 제품으로 출시된다.

다양한 공정 중에서 특히 박막 증착 공정은, 증착의 중요한 원칙에 따라 크게 두 가지로 나뉜다.

하나는 화학적 기상 증착(Chemical Vapor deposition, CVD)이고, 다른 하나는 물리적 기상 증착(Physical Vapor Deposition, PVD)이며, 이들은 현재 공정의 특성에 맞게 널리 사용되고 있다.

화학적 기상 증착은, 외부의 고주파 전원에 의해 플라즈마(Plasma)화 되어 높은 에너지를 갖는 실리콘계 화합물 이온(ion)이 전극을 통해 샤워헤드로부터 분출되어 기판 상에 증착되도록 하는 방식이다.

이에 반해, 스퍼터 장치로 대변될 수 있는 물리적 기상 증착은, 플라즈마 내의 이온에 충분한 에너지를 걸어주어 타겟에 충돌되도록 한 후에 타겟으로부터 튀어나오는, 즉 스퍼터되는 타겟 원자가 기판 상에 증착되도록 하는 방식이다.

물론, 물리적 기상 증착에는 전술한 스퍼터(Sputter) 방식 외에도 이-빔(E-Beam), 이베퍼레이션(Evaporation), 서멀 이베퍼레이션(Thermal Evaporation) 등의 방식이 있기는 하지만, 이하에서는 스퍼터 방식의 스퍼터 장치를 물리적 기상 증착이라 하기로 한다.

종래의 스퍼터 장치는, 스퍼터 방식의 공정이 진행되는 챔버와, 챔버 내에서 증착 위치에 놓인 기판을 향하여 증착 물질을 제공하는 타겟을 구비한 캐소드를 포함한다.

또한, 종래 스퍼터 장치의 캐소드는 평면 형태의 캐소드가 주를 이루었으나, 최근에 들어서는 캐소드가 회전축을 기준으로 360°회전 가능한 회전형 캐소드가 개발되어 회전형 캐소드의 사용이 점차 증가하고 있다.

회전형 캐소드는 타겟 표면에 유도되는 플라즈마의 밀도를 높이기 위하여 마그넷을 구비하고 있어, 평면형태의 캐소드보다 30~50% 이상의 효율이 높은 것으로 잘 알려져 있다.

한편, 회전형 캐소드는 기판을 향하여 증착물질을 제공하는 타겟과, 타겟의 일단부에 연결되어 타겟을 회전시키는 타겟회전유닛과 타겟회전유닛의 일부가 수용되며 타겟회전유닛을 지지하는 엔드블록을 포함한다.

그런데, 종래의 회전형 캐소드는, 회전형 캐소드의 엔드블록을 챔버에 결합시키는 과정에 있어서, 먼저 챔버의 내부와 외부가 연결되도록 형성되는 결합공에 대하여 챔버의 내부 쪽에서 엔드블록의 일부분이 결합되고, 다음으로 챔버의 외부 쪽에서 엔드블록의 나머지 일부분이 결합되며, 이후에 양 쪽의 장치들을 연결시키는 과정을 포함하는 복잡한 방식에 의해 결합되는 것이 일반적이다.

따라서, 회전형 캐소드를 설치하기 위하여 챔버에 엔드블록을 설치할 때, 그리고 회전형 캐소드를 설치하여 운용하다가 장비의 유지관리를 위해 챔버로부터 엔드블록을 분리하고 다시 결합시킬 때에 이러한 복잡한 작업을 위해 많은 시간이 소모되는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허 제10-2006-0111896호, (2006.10.30.공개)

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 간단하고 효율적인 구조를 가진 모듈형 엔드블록을 마련함으로써, 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 회전하는 타겟까지 보다 효율적으로 전달할 수 있으면서도, 회전형 캐소드를 설치함에 있어서 보다 용이하게 모듈형 엔드블록을 챔버에 결합하거나 챔버로부터 분리할 수 있는 회전형 캐소드를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 증착 대상을 향하여 증착 물질을 제공하는 타겟; 챔버의 일측에 마련되는 결합공에 결합되되, 상기 챔버의 외부로부터 상기 챔버의 내부를 향해 상기 결합공에 끼워지는 끼움동작에 의해 결합 가능하게 마련되어, 상기 타겟의 일단부를 회전가능하게 지지하고 상기 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 상기 타겟으로 전달하는 모듈형 엔드블록; 및 챔버의 내부에 마련되어 상기 타겟의 타단부를 회전가능하게 지지하는 타겟회전 서포터를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드가 제공될 수 있다.

상기 모듈형 엔드블록은, 상기 챔버와 결합된 상태에서 상기 챔버의 내부에 배치되며, 내부에 회전 가능하게 배치되는 회전조립체를 구비하고 상기 타겟과 연결되어 상기 타겟의 회전 동작을 구동하는 챔버내부 블록; 및 상기 챔버와 결합된 상태에서 상기 챔버의 상기 결합공에 관통 배치되어 상기 챔버내부 블록을 지지하되, 상기 챔버의 외부로부터 상기 챔버내부 블록으로 상기 회전조립체를 위한 회전구동력 및 상기 타겟을 위한 전원을 전달시키는 챔버관통 블록을 포함할 수 있다.

상기 모듈형 엔드블록은, 상기 챔버내부 블록과 상기 챔버관통 블록 사이에 배치되어 상기 챔버관통 블록으로부터 상기 챔버내부 블록으로 미리 연결된 전원전달경로 이외의 경로로 상기 전원이 흐르는 것을 방지하는 절연 블록을 더 포함할 수 있다.

상기 타겟은, 상기 증착 물질을 포함하고 상기 타겟의 외형을 형성하는 실린더 형상으로 마련되며, 상기 증착 물질의 감소에 따라 교체 가능하게 마련되는 증착물질 실린더모듈; 및 상기 증착물질 실린더모듈의 상기 타겟회전 서포터 측 단부에 결합되는 결합플랜지와, 상기 결합플랜지의 중앙역역에 마련되어 상기 타겟회전 서포터의 일측에 상대 회전 가능하도록 끼움결합되는 회전돌출부를 구비하는 서포터 결합모듈을 포함할 수 있다.

상기 타겟은, 상기 증착물질 실린더모듈의 단부에 형성되는 실린더모듈 돌출부와 상기 서포터 결합모듈의 상기 결합플랜지의 단부에 형성되는 결합플랜지 돌출부를 함께 고정결합시킴으로써, 상기 증착물질 실린더모듈과 상기 서포터 결합모듈을 고정시키는 고정클램프모듈; 및 상기 실린더모듈 돌출부와 상기 결합플랜지 돌출부 사이에 배치되는 실링모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 타겟회전 서포터는, 상기 챔버의 타측에 결합되어 마련되는 서포터 지지모듈; 및 상기 서포터 지지모듈의 일측에 결합되어 상기 타겟의 상기 서포터 결합모듈의 회전을 지지하되, 상기 서포터 결합모듈의 회전을 가이드하여 상기 타겟의 회전축을 정렬시키는 타겟회전축 정렬모듈을 포함할 수 있다.

상기 타겟회전축 정렬모듈은, 구 형상을 가지고, 중앙 영역에 상기 서포터 결합모듈의 상기 회전돌출부가 끼움결합되는 회전돌출부 관통결합공을 구비하는 구형 회전축정렬부; 및 상기 서포터 지지모듈에 결합되어 상기 구형 회전축정렬부의 외측면의 적어도 일부분을 접촉 지지하는 접촉 지지면을 제공하되, 상기 회전돌출부 관통결합공의 관통축 방향이 조절 가능하도록 상기 구형 회전축정렬부의 외측면이 상기 접촉 지지면에 대하여 미끄럼 회전 가능하게 마련되는 회전지지부를 포함할 수 있다.

상기 챔버내부 블록은, 상기 회전조립체의 일단부가 상기 챔버내부 블록의 외부로 돌출되어 상기 타겟에 연결되고, 상기 회전조립체의 회전에 의해 상기 타겟을 회전시키는 타겟회전유닛; 및 적어도 일부가 상기 회전조립체의 내부에 관통 배치되며, 상기 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 상기 타겟으로 전달하는 전원전달경로를 제공하여 상기 타겟으로 전원을 전달하는 전원전달유닛을 포함할 수 있다.

상기 전원전달유닛은, 적어도 일부가 상기 회전조립체와 함께 회전하되, 상기 타겟에 직접 전기적으로 연결될 수 있다.

상기 타겟회전유닛은, 상기 회전조립체의 타겟측 단부에 결합되어 상기 타겟을 고정시키는 타겟 홀더를 더 포함하며, 상기 전원전달유닛은, 상기 챔버내부 블록의 일측에 배치되어 상기 챔버의 외부로부터 전원을 공급받되, 상기 타겟의 내부에 배치되는 마그넷을 고정시키는 전극 겸용 마그넷 홀더모듈; 및 일측은 상기 회전조립체의 타겟측 단부에 결합되어 상기 타겟 홀더와 전기적으로 직접 연결되며, 타측은 상기 회전조립체의 전극측 단부에 배치되어 상기 회전조립체와 함께 회전하면서 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈과 접촉된 상태를 유지하는 회전전극모듈을 포함할 수 있다.

상기 회전전극모듈은, 상기 회전조립체의 타겟측 단부에 결합되어 상기 타겟 홀더와 연결되는 링 형태의 제1 링형 전극; 상기 회전조립체의 전극측 단부에 배치되어 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈과 접촉되는 링 형태의 제2 링형 전극; 및 상기 회전조립체의 내부에 관통 배치되어 양단부가 상기 제1 링형 전극과 상기 제2 링형 전극에 각각 결합되며, 상기 제2 링형 전극을 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈 측으로 탄성 바이어스시키는 적어도 하나의 전극봉부를 포함할 수 있다.

상기 적어도 하나의 전극봉부는 다수의 전극봉부이며, 상기 다수의 전극봉부 각각은, 상기 제1 링형 전극과 결합되는 제1 전극봉 부재; 일측은 상기 제1 전극봉 부재와 길이방향을 따라 상대이동 가능하게 결합되며, 타측은 상기 제2 링형 전극과 결합되는 제2 전극봉 부재; 및 상기 제1 전극봉 부재와 상기 제2 전극봉 부재 사이에 배치되며, 상기 제2 전극봉 부재를 탄성력에 의해 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈 측으로 탄성 바이어스시키는 탄성부재를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 증착 대상에 대한 증착 공간을 형성하는 챔버; 및 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 증착 대상에 증착 물질을 제공하는 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 회전형 캐소드를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터 장치가 제공될 수 있다.

본 발명의 실시 예에 따른 회전형 캐소드는, 간단하고 효율적인 구조를 가진 모듈형 엔드블록을 마련함으로써, 회전형 캐소드를 설치함에 있어서 보다 용이하게 모듈형 엔드블록을 챔버에 결합하거나 챔버로부터 분리할 수 있다.

또한, 전원전달유닛의 적어도 일부가 타겟회전유닛의 내부에 관통 배치되어 함께 회전하면서, 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 직접 타겟으로 전달하는 전원전달경로를 제공함으로써, 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 회전하는 타겟까지 보다 효율적으로 전달할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스퍼터 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 회전형 캐소드의 분리 사시도로서, 회전형 캐소드가 챔버에 결합되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 모듈형 엔드블록과 타겟이 결합되는 연결부분의 분리 사시도이다.
도 4는 도 2의 모듈형 엔드블록과 타겟회전 서포터가 결합되는 연결부분의 분리 사시도이다.
도 5는 도 4의 모듈형 엔드블록과 타겟회전 서포터가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 측면 단면도이다.
도 6은 도 2의 모듈형 엔드블록의 챔버내부 블록의 일부분을 분해하여 도시한 분해 사시도이다.
도 7은 도 6의 회전조립체와 회전전극모듈 부분을 분해하여 도시한 분해 사시도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스퍼터 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 회전형 캐소드의 분리 사시도로서, 회전형 캐소드가 챔버에 결합되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 3은 도 2의 모듈형 엔드블록과 타겟이 결합되는 연결부분의 분리 사시도이고, 도 4는 도 2의 모듈형 엔드블록과 타겟회전 서포터가 결합되는 연결부분의 분리 사시도이며, 도 5는 도 4의 모듈형 엔드블록과 타겟회전 서포터가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 측면 단면도이고, 도 6은 도 2의 모듈형 엔드블록의 챔버내부 블록의 일부분을 분해하여 도시한 분해 사시도이며, 도 7은 도 6의 회전조립체와 회전전극모듈 부분을 분해하여 도시한 분해 사시도이다.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스퍼터 장치(1)는 증착 대상(30)에 대한 증착 공간을 형성하는 챔버(20)와, 챔버(20)의 내부에 배치되어 증착 대상(30)에 증착 물질을 제공하는 회전형 캐소드(10)를 포함한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(20)는 증착 대상(30)에 대한 증착 공간을 형성하는 부분으로서, 증착 공정 시에 그 내부는 밀폐되고 진공 상태를 유지한다.

이를 위해, 챔버(20)의 하부 영역에는 게이트 밸브(21)가 마련되고 게이트 밸브(21) 영역에는 진공 펌프(22)가 마련되며, 게이트 밸브(21)가 개방된 상태에서 진공 펌프(22)로부터 진공압이 발생되면 챔버(20)의 내부는 고진공 상태를 유지할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 회전형 캐소드(10)는, 타겟(100)과, 모듈형 엔드블록(300)과, 타겟회전 서포터(500)를 포함한다.

타겟(100)은 증착 대상(30)을 향하여 증착 물질을 제공하는 역할을 하는데, 회전형 캐소드(10)에서는 타겟(100)을 회전시키면서 증착 대상(30)을 향해 제공되는 증착물질의 방향을 조절함으로써, 평면을 가지는 증착 대상 뿐만 아니라 단턱진 형상을 지닌 증착 대상에도 증착 물질을 일정하게 증착시킬 수 있게 된다.

이러한 타겟(100)은 증착 물질을 제공하기 위하여 전원을 공급받아 음극으로 형성되어야 하며, 일반적으로 챔버(20)의 외부의 전원 공급부(40)로부터 전원을 공급받아 모듈형 엔드블록(300)의 내부를 거쳐 타겟(100)으로 전달하게 된다.

타겟(100)은, 도 2 내지 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 증착물질 실린더모듈(110)과, 서포터 결합모듈(130)과, 고정클램프모듈(150)과, 실링모듈(170)을 포함한다.

증착물질 실린더모듈(110)은 증착 물질을 포함하고 타겟(100)의 외형을 형성하는 실린더 형상으로 마련되며, 증착 물질의 감소에 따라 교체 가능하게 마련된다.

예를 들어, 증착 물질이 포함되는 혼합물질을 사용하여 하나의 층을 가진 실린더 형상으로 성형하여 마련될 수도 있지만, 이와 달리 실린더 형상의 베이스를 형성한 후에 베이스의 표면에 증착 물질로만 이루어진 하나의 층을 추가로 형성하는 등 다양한 방식으로 마련될 수 있을 것이다.

서포터 결합모듈(130)은 증착물질 실린더모듈(110)을 타겟회전 서포터(500)에 고정 지지할 수 있는 장소를 제공하는 역할을 한다.

이러한 증착물질 실린더모듈(110)의 타겟회전 서포터(500) 측 단부에 결합되는 결합플랜지(131)와, 결합플랜지(131)의 중앙역역에 마련되어 타겟회전 서포터(500)의 일측에 상대 회전 가능하도록 끼움결합되는 회전돌출부(135)를 포함한다.

즉, 도 2 및 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 결합플랜지(131)가 증착물질 실린더모듈(110)의 일단부의 구멍을 막아주는 역할을 하며, 결합플랜지(131)로부터 외부를 향해 돌출되게 마련되는 원형의 단면을 가지는 회전돌출부(135)가 타겟회전 서포터(500)의 회전돌출부 관통결합공(532)에 끼움결합된 상태로 타겟(100)의 회전축(A, 도 5 참조)을 중심으로 회전하게 된다.

고정클램프모듈(150)은 증착물질 실린더모듈(110)의 단부에 형성되는 실린더모듈 돌출부(112)와 서포터 결합모듈(130)의 결합플랜지(131)의 단부에 형성되는 결합플랜지 돌출부(132)를 함께 고정결합시킴으로써, 증착물질 실린더모듈(110)과 서포터 결합모듈(130)을 고정시키는 역할을 한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 도 4에 도시된 바와 같이, 고정클램프모듈(150)은 반원형으로 형성된 두 개의 반원형 클램프를 맞붙이고 반원형 클램프의 양단부를 볼트 등의 고정부재를 사용하여 결합시키는 방식으로 마련되었으나, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태로 마련될 수 있을 것이다.

고정클램프모듈(150)의 결합과정에 대하여 설명하면, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 증착물질 실린더모듈(110)의 단부에는 실린더모듈 돌출부(112)가 형성되어 있고, 결합플랜지(131)의 단부에는 결합플랜지 돌출부(132)가 형성되어 있으며, 실린더모듈 돌출부(112)와 결합플랜지 돌출부(132) 사이에는 실링모듈(170)이 배치되어 있다.

이렇게 증착물질 실린더모듈(110)과 서포터 결합모듈(130)을 접촉시킨 상태에서 고정클램프모듈(150)의 반원형 클램프를 맞붙이게 되면, 고정클램프모듈(150)의 내측에 형성된 홈에 의해 실린더모듈 돌출부(112)와 결합플랜지 돌출부(132)를 동시에 감싸게 되며, 반원형 클램프의 양단부를 볼트 등의 고정부재를 사용하여 결합시킴으로써 증착물질 실린더모듈(110)과 서포터 결합모듈(130)을 결합시키게 된다.

마찬가지로, 도 3에 도시된 바와 같이, 모듈형 엔드블록(300)의 타겟 홀더(330)의 단부에는 결합플랜지 돌출부(132)와 동일한 형태의 돌출부(332)가 마련되며, 증착물질 실린더모듈(110)의 실린더모듈 돌출부(112')와 사이에 실링모듈(170')이 배치된 상태에서 동일한 방식으로 고정클램프모듈(150')에 의해 증착물질 실린더모듈(110)을 간단하게 결합시킬 수 있다.

이렇게, 고정클램프모듈(150, 150')에 의해 증착물질 실린더모듈(110)의 양단부를 간단하게 결합할 수 있는 구조를 가짐으로써, 증착 물질의 감소에 따라 주기적으로 교체가 필요한 증착물질 실린더모듈(110)을 보다 간단하게 교환할 수 있게 된다.

실링모듈(170)은 실린더모듈 돌출부(112)와 결합플랜지 돌출부(132) 사이에 배치되며, 증착물질 실린더모듈(110)의 내부와 외부 사이를 차단시키는 역할을 해주는데, 예를 들어 증착물질 실린더모듈(110)의 내부로 냉각수가 공급되는 경우에 증착물질 실린더모듈(110)의 외부로 냉각수가 누출되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 모듈형 엔드블록(300)은 챔버(20)의 일측에 마련되는 결합공(26)에 결합되되, 챔버(20)의 외부로부터 챔버(20)의 내부를 향해 결합공(26)에 끼워지는 끼움동작에 의해 결합 가능하게 마련되어, 타겟(100)의 일단부를 회전가능하게 지지하고 챔버(20)의 외부로부터 공급되는 전원을 타겟(100)으로 전달하는 역할을 한다.

본 발명에 따르면, 모듈형 엔드블록(300)은 챔버내부 블록(300A)과, 챔버관통 블록(300B)과, 절연 블록(300C)을 포함하며, 챔버내부 블록(300A)과 챔버관통 블록(300B)과 절연 블록(300C)이 일체형으로 결합된 상태로 마련됨으로써, 하나의 모듈 형태를 이루게 된다.

챔버내부 블록(300A)은 챔버(20)와 결합된 상태에서 챔버(20)의 내부에 배치되며, 내부에 회전 가능하게 배치되는 회전조립체(320)를 구비하고 타겟(100)과 연결되어 타겟(100)의 회전 동작을 구동하는 역할을 하며, 타겟회전유닛(310)과, 전원전달유닛(350)을 포함한다.

챔버관통 블록(300B)은 챔버(20)와 결합된 상태에서 챔버(20)의 결합공(26)에 관통 배치되어 챔버내부 블록(300A)을 지지하되, 챔버(20)의 외부로부터 챔버내부 블록(300A)으로 회전조립체(320)를 위한 회전구동력 및 타겟(100)을 위한 전원을 전달시키는 역할을 한다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버관통 블록(300B)의 상단부에는 챔버의 외측 면에 걸림지지되는 지지플레이트(301)가 마련되어 모듈형 엔드블록(300)을 챔버의 외측 면에 밀착 지지시킬 수 있으며, 지지플레이트(301)의 일측에 볼트 등의 결합부재에 의해 챔버와 결합되도록 마련될 수 있을 것이다.

그리고, 챔버관통 블록(300B)의 외측에는 구동모터(302)를 마련하여 챔버관통 블록(300B)의 내부를 통해 후술할 회전조립체(320)와 연결하여 회전조립체(320)의 회전을 구동할 수 있으며, 챔버관통 블록(300B)의 내부를 통해 전원을 전달하는 전원공급장치와 연결할 수도 있을 것이다.

절연 블록(300C)은 챔버내부 블록(300A)과 챔버관통 블록(300B) 사이에 배치되어 챔버관통 블록(300B)으로부터 챔버내부 블록(300A)으로 미리 연결된 전원전달경로 이외의 경로로 전원이 흐르는 것을 방지하는 역할을 한다.

즉, 절연 블록(300C)의 내부에 미리 결정된 형태의 관통공을 형성하고, 전원을 전달하는 전극을 배치하여, 배치한 전극을 감싸면서 외부와의 접촉을 방지하여 전극으로 형성되는 전원전달 경로로만 전원이 전달되도록 해주며, 이러한 절연 블록(300C)은 울템 등의 소재를 이용한 엔지니어링 플라스틱으로 제작될 수 있을 것이다.

이렇게 세 개의 블록이 결합되어 하나의 완전한 형태의 모듈형 엔드블록(300)을 마련함으로써, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 모듈형 엔드블록(300)의 챔버내부 블록(300A)과 챔버관통 블록(300B)의 외부 표면이 동일한 연장선에 배치되는 일체형으로 마련되므로, 챔버(20)의 외부로부터 챔버(20)의 내부를 향해 결합공(26)에 끼워지는 끼움동작에 의해, 챔버내부 블록(300A)이 먼저 결합공(26)을 통과하여 챔버의 내부에 배치되고 다음으로 챔버관통 블록(300B)이 결합공(26)을 관통하는 상태로 배치되면서 챔버에 간단하고 용이하게 결합될 수 있게 된다.

나아가, 모듈형 엔드블록(300)의 챔버내부 블록(300A)이 타겟회전유닛(310)과 전원전달유닛(350)을 포함하는 가장 큰 부피를 차지하는 구조를 가지게 함으로써, 회전형 캐소드의 대부분의 부피를 차지하는 부분을 챔버의 내부에 배치시키고 챔버관통 블록(300B)과 챔버 외부에 배치되는 부분을 최소한의 부피로 마련할 수 있으므로, 스퍼터 장치의 전체 부피에 대비하여 챔버의 크기를 최대한 크게 마련할 수 있는 장점이 있다.

한편, 타겟회전유닛(310)은 회전조립체(320)를 구비하며, 회전조립체(320)의 일단부가 챔버내부 블록(300A)의 외부로 돌출되어 타겟(100)에 연결되고, 회전조립체(320)의 회전에 의해 타겟(100)을 회전시키는 역할을 한다.

이러한 역할을 하는 타겟회전유닛(310)은, 회전조립체(320)와, 타겟 홀더(330)와, 회전구동부(340)를 포함한다.

회전조립체(320)는 본체를 형성하는 회전바디를 구비하며, 도 6 및 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 회전바디의 중앙영역에 후술할 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)의 실린더 형상의 마그넷 홀딩 실린더(362)가 배치되는 마그넷 홀딩 실린더 배치홀(321)이 관통 형성되고, 전원전달유닛(350)의 다수의 전극봉부(375)가 관통 배치가능한 다수의 전극봉부 배치 관통홀(323)이 마그넷 홀딩 실린더 배치홀(321) 주위에 미리 결정된 각도로 상호 이격 배치되어 형성된다.

이렇게 다수의 전극봉부 배치 관통홀(323)을 마련함으로써, 후술할 전원전달유닛(350)의 다수의 전극봉부(375)가 회전조립체(320)와 함께 회전하면서도 타겟(100)까지 직접 전기적으로 연결될 수 있으므로, 회전조립체(320)가 회전하는 상태에서도 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 회전하는 타겟(100)까지 보다 효율적으로 전달할 수 있게 된다.

타겟 홀더(330)는 회전조립체(320)의 타겟측 단부에 결합되어 타겟(100)을 고정시키는 역할을 하며, 전술한 바와 같이, 타겟 홀더(330)의 단부에는 결합플랜지 돌출부(132)와 동일한 형태의 돌출부(332)가 마련되며, 증착물질 실린더모듈(110)의 실린더모듈 돌출부(112')와 사이에 실링모듈(170')이 배치된 상태에서 고정클램프모듈(150')에 의해 증착물질 실린더모듈(110)을 간단하게 결합시킬 수 있다.

회전구동부(340)는 회전조립체(320)에 결합되어 회전조립체(320)를 회전시키는 역할을 하며, 회전구동부(340)는 회전조립체(320)의 측면부 외벽에 결합되어 기어구동방식으로 회전조립체를 회전시키는 기어타입회전구동부 및 회전조립체의 측면부 외벽에 결합되어 벨트구동방식으로 회전조립체를 회전시키는 벨트타입회전구동부 중에서 선택된 어느 하나로 마련될 수 있다.

본 발명의 실시 예에서는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 회전구동부(340)가 기어타입회전구동부로 예시적으로 제시되었으므로 기어(341)의 양측에 한 쌍의 베어링(342)이 각각 배치되는 구조로 마련되었으나, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 회전조립체(320)가 회전 가능하게 마련될 수 있을 것이다.

기어(341)는 회전조립체(320)의 길이방향의 중앙영역 측면부 외벽을 둘러싸면서 결합 배치되며, 챔버관통 블록(300B)의 내부에 배치되는 다른 기어와 함께 기어 연결에 의해 챔버 외부의 구동모터(302)와 연결되어 구동모터(302)의 회전을 회전조립체(320)로 전달할 수 있을 것이다.

그리고, 한 쌍의 베어링(342)은 회전조립체(320)의 측면부 외벽을 둘러싸면서 결합되어 챔버내부 블록(300A)의 하우징과 회전조립체(320) 사이의 구름접촉을 제공하는 역할을 한다.

이러한 구조를 가진 기어타입회전구동부를 마련함으로써, 벨트타입회전구동부에 비해 파티클이 적게 발생하는 장점이 있으며, 벨트의 늘어남 등에 의해 발생할 수 있는 회전축의 얼라인 틀어짐 또는 소음 발생의 문제를 예방할 수 있는 장점이 있다.

다만, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며, 스퍼터 장치의 작업 환경이나 스퍼터 장치를 설치하는데 드는 비용 등을 고려하여 벨트타입회전구동부가 마련될 수도 있을 것이다.

한편, 전원전달유닛(350)은 적어도 일부가 회전조립체(320)의 내부에 관통 배치되며, 챔버(20)의 외부로부터 공급되는 전원을 타겟(100)으로 전달하는 전원전달경로를 제공하여 타겟(100)으로 전원을 전달하는 역할을 한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 전원전달유닛(350)은 적어도 일부가 회전조립체(320)와 함께 회전하되, 타겟(100)에 직접 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.

즉, 전원전달유닛(350)의 다수의 전극봉부(375)가 회전조립체(320) 다수의 전극봉부 배치 관통홀(323)에 배치됨으로써, 회전조립체(320)와 함께 회전하면서도 타겟(100)까지 직접 전기적으로 연결될 수 있으므로, 회전조립체(320)가 회전하는 상태에서도 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 회전하는 타겟(100)까지 보다 효율적으로 전달할 수 있게 된다.

이러한 전원전달유닛(350)은, 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)과, 회전전극모듈(370)을 포함한다.

먼저, 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)은 모듈형 엔드블록(300)의 일측에 배치되어 챔버의 외부로부터 전원을 공급받되, 타겟(100)의 내부에 배치되는 마그넷(미도시)을 고정시키는 역할을 한다.

즉, 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)은 챔버의 외부로부터 모듈형 엔드블록(300)의 내부로 관통 배치되어, 챔버(20)의 외부에서 전원 공급부(40)와 연결되어 전원을 공급받게 되며, 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 후술할 제2 링형 전극(372)이 접촉되는 접촉면을 제공하는 접촉면 제공 전극플랜지(361)와, 접촉면 제공 전극플랜지(361)로부터 돌출 형성되어 마그넷(미도시)을 고정시키는 마그넷 홀딩 실린더(362)를 구비한다.

이러한 구조를 가진 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)을 마련함으로써, 접촉면 제공 전극플랜지(361)를 통해 후술할 회전전극모듈(370)을 통해 타겟(100)까지 직접 전기적으로 연결될 수 있을 뿐만 아니라, 마그넷 홀딩 실린더(362)를 통해서도 종래의 방식과 유사하게 간접적으로 타겟(100)까지 연결될 수 있으므로, 종래의 방식에 비하여 보다 효율적으로 전원을 회전하는 타겟까지 전달할 수 있다.

다음으로, 회전전극모듈(370)은 일측이 회전조립체(320)의 타겟측 단부에 결합되어 타겟 홀더(330)와 전기적으로 직접 연결되며, 타측이 회전조립체(320)의 전극측 단부에 배치되어 회전조립체(320)와 함께 회전하면서 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)과 접촉된 상태를 유지하게 된다.

이러한 회전전극모듈(370)은, 제1 링형 전극(371)과, 제2 링형 전극(372)과, 전극봉부(375)를 포함한다.

도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 링형 전극(371)은 회전조립체(320)의 타겟측 단부에 결합되어 타겟 홀더(330)와 연결되는 링 형태의 전극이며, 제2 링형 전극(372)은 회전조립체(320)의 전극측 단부에 배치되어 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)의 접촉면 제공 전극플랜지(361)와 접촉되는 링 형태의 전극이다.

전극봉부(375)는 회전조립체(320)의 내부에 관통 배치되어 양단부가 제1 링형 전극(371)과 제2 링형 전극(372)에 각각 결합되며, 제2 링형 전극(372)을 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)의 접촉면 제공 전극플랜지(361) 측으로 탄성 바이어스시키는 역할을 한다.

본 실시 예에서는, 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 여섯 개의 전극봉부(375)가 마련되었으나, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며, 회전형 캐소드(10)의 크기 및 회전조립체(320)의 크기 등에 따라 다양한 갯수의 전극봉부(375)가 적절하게 마련될 수 있을 것이다.

이러한 전극봉부(375) 각각은, 제1 전극봉 부재(376)와, 제2 전극봉 부재(377)와, 탄성부재(378)를 포함하며, 제1 전극봉 부재(376)는 제1 링형 전극(371)과 결합되는 부재이고, 제2 전극봉 부재(377)는 일측이 제1 전극봉 부재(376)와 길이방향을 따라 상대이동 가능하게 결합되며, 타측이 제2 링형 전극(372)과 결합되는 부재이다.

탄성부재(378)는 제1 전극봉 부재(376)와 제2 전극봉 부재(377) 사이에 배치되며, 제2 전극봉 부재(377)를 탄성력에 의해 전극 겸용 마그넷 홀더모듈(360)의 접촉면 제공 전극플랜지(361) 측으로 탄성 바이어스시키는 역할을 한다.

한편, 타겟회전 서포터(500)는 챔버(20)의 내부에 마련되어 타겟(100)의 타단부를 회전가능하게 지지하는 역할을 하며, 서포터 지지모듈(510)과, 타겟회전축 정렬모듈(530)을 포함한다.

서포터 지지모듈(510)은 챔버(20)의 타측에 결합되어 마련되어 타겟회전축 정렬모듈(530)을 지지하는 역할을 한다.

타겟회전축 정렬모듈(530)은 서포터 지지모듈(510)의 일측에 결합되어 타겟(100)의 서포터 결합모듈(130)의 회전을 지지하되, 서포터 결합모듈(130)의 회전을 가이드하여 타겟(100)의 회전축(A, 도 5 참조)을 정렬시키는 역할을 한다.

이러한 타겟회전축 정렬모듈(530)은 구형 회전축정렬부(531)와, 회전지지부(535)를 포함한다.

구형 회전축정렬부(531)는 구 형상을 가지고, 중앙 영역에 서포터 결합모듈(130)의 회전돌출부(135)가 끼움결합되는 회전돌출부 관통결합공(532)을 구비하며, 회전돌출부 관통결합공(532)을 형성하는 실린더부(533)와, 실린더부(533)의 외측에 결합되어 구 형상의 외측면을 형성하되 외부 접촉부를 최소화하기 위하여 격자형태로 배치되는 구형 돌출부(534)를 포함한다.

회전지지부(535)는 서포터 지지모듈(510)에 결합되어 구형 회전축정렬부(531)의 외측면의 적어도 일부분을 접촉 지지하는 접촉 지지면을 제공하되, 회전돌출부 관통결합공(532)의 관통축 방향이 조절 가능하도록 구형 회전축정렬부(531)의 외측면이 접촉 지지면에 대하여 미끄럼 회전 가능하게 마련된다.

이러한 구조를 가진 타겟회전축 정렬모듈(530)의 작동에 대하여 설명하면, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 회전지지부(535)의 접촉 지지면에 구형 회전축정렬부(531)의 구형 돌출부(534)가 형성하는 외측면이 접촉된 상태이므로, 구형 회전축정렬부(531)는 회전지지부(535)에 대하여 미끄럼 회전 가능하다.

최초에 타겟(100)의 회전돌출부(135)가 회전돌출부 관통결합공(532)에 결합될 때, 타겟(100)의 회전축과 회전돌출부 관통결합공(532)의 관통축이 일치하지 않았더라도, 타겟(100)이 회전을 시작하게 되면 구형 회전축정렬부(531)가 회전지지부(535)에 대하여 미끄럼 회전하게 되면서, 타겟(100)의 회전축과 회전돌출부 관통결합공(532)의 관통축이 이점쇄선 A 로 겹쳐지게 되므로, 타겟이 회전할 때 자동으로 타겟(100)의 회전축을 정렬시킬 수 있게 된다.

이와 같이, 본 실시 예에 따르면, 간단하고 효율적인 구조를 가진 모듈형 엔드블록(300)을 마련함으로써, 회전형 캐소드를 설치함에 있어서, 챔버(20)의 외부로부터 챔버(20)의 내부를 향해 결합공(26)에 끼워지는 끼움동작에 의해, 모듈형 엔드블록(300)을 보다 용이하게 챔버에 결합하거나 챔버로부터 분리할 수 있게 된다.

또한, 전원전달유닛의 적어도 일부가 타겟회전유닛의 내부에 관통 배치되어 함께 회전하면서, 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 직접 타겟으로 전달하는 전원전달경로를 제공함으로써, 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 회전하는 타겟까지 보다 효율적으로 전달할 수 있게 된다.

나아가, 타겟회전축 정렬모듈(530)을 구비한 타겟회전 서포터(500)를 마련함으로써, 타겟이 회전할 때 자동으로 타겟의 회전축을 정렬시킬 수 있게 된다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

1 : 스퍼터 장치 10 : 회전형 캐소드
20 : 챔버 30 : 증착 대상
40 : 전원 공급부 100 : 타겟
110 : 증착물질 실린더모듈 130 : 서포터 결합모듈
135 : 회전돌출부 150 : 고정클램프모듈
170 : 실링모듈 300 : 모듈형 엔드블록
300A : 챔버내부 블록 300B : 챔버관통 블록
300C : 절연 블록 310 : 타겟회전유닛
320 : 회전조립체 330 : 타겟 홀더
340 : 회전구동부 350 : 전원전달유닛
360 : 전극 겸용 마그넷 홀더모듈 370 : 회전전극모듈
371 : 제1 링형 전극 372 : 제2 링형 전극
375 : 전극봉부 376 : 제1 전극봉 부재
377 : 제2 전극봉 부재 378 : 탄성부재
500 : 타겟회전 서포터 510 : 서포터 지지모듈
530 : 타겟회전축 정렬모듈 531 : 구형 회전축정렬부
535 : 회전지지부

Claims

증착 대상을 향하여 증착 물질을 제공하는 타겟;
챔버의 일측에 마련되는 결합공에 결합되되, 상기 챔버의 외부로부터 상기 챔버의 내부를 향해 상기 결합공에 끼워지는 끼움동작에 의해 결합 가능하게 마련되어, 상기 타겟의 일단부를 회전가능하게 지지하고 상기 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 상기 타겟으로 전달하는 모듈형 엔드블록; 및
챔버의 내부에 마련되어 상기 타겟의 타단부를 회전가능하게 지지하는 타겟회전 서포터를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제1항에 있어서,
상기 모듈형 엔드블록은,
상기 챔버와 결합된 상태에서 상기 챔버의 내부에 배치되며, 내부에 회전 가능하게 배치되는 회전조립체를 구비하고 상기 타겟과 연결되어 상기 타겟의 회전 동작을 구동하는 챔버내부 블록; 및
상기 챔버와 결합된 상태에서 상기 챔버의 상기 결합공에 관통 배치되어 상기 챔버내부 블록을 지지하되, 상기 챔버의 외부로부터 상기 챔버내부 블록으로 상기 회전조립체를 위한 회전구동력 및 상기 타겟을 위한 전원을 전달시키는 챔버관통 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제2항에 있어서,
상기 모듈형 엔드블록은,
상기 챔버내부 블록과 상기 챔버관통 블록 사이에 배치되어 상기 챔버관통 블록으로부터 상기 챔버내부 블록으로 미리 연결된 전원전달경로 이외의 경로로 상기 전원이 흐르는 것을 방지하는 절연 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제1항에 있어서,
상기 타겟은,
상기 증착 물질을 포함하고 상기 타겟의 외형을 형성하는 실린더 형상으로 마련되며, 상기 증착 물질의 감소에 따라 교체 가능하게 마련되는 증착물질 실린더모듈; 및
상기 증착물질 실린더모듈의 상기 타겟회전 서포터 측 단부에 결합되는 결합플랜지와, 상기 결합플랜지의 중앙역역에 마련되어 상기 타겟회전 서포터의 일측에 상대 회전 가능하도록 끼움결합되는 회전돌출부를 구비하는 서포터 결합모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제4항에 있어서,
상기 타겟은,
상기 증착물질 실린더모듈의 단부에 형성되는 실린더모듈 돌출부와 상기 서포터 결합모듈의 상기 결합플랜지의 단부에 형성되는 결합플랜지 돌출부를 함께 고정결합시킴으로써, 상기 증착물질 실린더모듈과 상기 서포터 결합모듈을 고정시키는 고정클램프모듈; 및
상기 실린더모듈 돌출부와 상기 결합플랜지 돌출부 사이에 배치되는 실링모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제4항에 있어서,
상기 타겟회전 서포터는,
상기 챔버의 타측에 결합되어 마련되는 서포터 지지모듈; 및
상기 서포터 지지모듈의 일측에 결합되어 상기 타겟의 상기 서포터 결합모듈의 회전을 지지하되, 상기 서포터 결합모듈의 회전을 가이드하여 상기 타겟의 회전축을 정렬시키는 타겟회전축 정렬모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제6항에 있어서,
상기 타겟회전축 정렬모듈은,
구 형상을 가지고, 중앙 영역에 상기 서포터 결합모듈의 상기 회전돌출부가 끼움결합되는 회전돌출부 관통결합공을 구비하는 구형 회전축정렬부; 및
상기 서포터 지지모듈에 결합되어 상기 구형 회전축정렬부의 외측면의 적어도 일부분을 접촉 지지하는 접촉 지지면을 제공하되, 상기 회전돌출부 관통결합공의 관통축 방향이 조절 가능하도록 상기 구형 회전축정렬부의 외측면이 상기 접촉 지지면에 대하여 미끄럼 회전 가능하게 마련되는 회전지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제2항에 있어서,
상기 챔버내부 블록은,
상기 회전조립체의 일단부가 상기 챔버내부 블록의 외부로 돌출되어 상기 타겟에 연결되고, 상기 회전조립체의 회전에 의해 상기 타겟을 회전시키는 타겟회전유닛; 및
적어도 일부가 상기 회전조립체의 내부에 관통 배치되며, 상기 챔버의 외부로부터 공급되는 전원을 상기 타겟으로 전달하는 전원전달경로를 제공하여 상기 타겟으로 전원을 전달하는 전원전달유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제8항에 있어서,
상기 전원전달유닛은,
적어도 일부가 상기 회전조립체와 함께 회전하되, 상기 타겟에 직접 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제9항에 있어서,
상기 타겟회전유닛은,
상기 회전조립체의 타겟측 단부에 결합되어 상기 타겟을 고정시키는 타겟 홀더를 더 포함하며,
상기 전원전달유닛은,
상기 챔버내부 블록의 일측에 배치되어 상기 챔버의 외부로부터 전원을 공급받되, 상기 타겟의 내부에 배치되는 마그넷을 고정시키는 전극 겸용 마그넷 홀더모듈; 및
일측은 상기 회전조립체의 타겟측 단부에 결합되어 상기 타겟 홀더와 전기적으로 직접 연결되며, 타측은 상기 회전조립체의 전극측 단부에 배치되어 상기 회전조립체와 함께 회전하면서 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈과 접촉된 상태를 유지하는 회전전극모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제10항에 있어서,
상기 회전전극모듈은,
상기 회전조립체의 타겟측 단부에 결합되어 상기 타겟 홀더와 연결되는 링 형태의 제1 링형 전극;
상기 회전조립체의 전극측 단부에 배치되어 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈과 접촉되는 링 형태의 제2 링형 전극; 및
상기 회전조립체의 내부에 관통 배치되어 양단부가 상기 제1 링형 전극과 상기 제2 링형 전극에 각각 결합되며, 상기 제2 링형 전극을 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈 측으로 탄성 바이어스시키는 적어도 하나의 전극봉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
제11항에 있어서,
상기 적어도 하나의 전극봉부는 다수의 전극봉부이며,
상기 다수의 전극봉부 각각은,
상기 제1 링형 전극과 결합되는 제1 전극봉 부재;
일측은 상기 제1 전극봉 부재와 길이방향을 따라 상대이동 가능하게 결합되며, 타측은 상기 제2 링형 전극과 결합되는 제2 전극봉 부재; 및
상기 제1 전극봉 부재와 상기 제2 전극봉 부재 사이에 배치되며, 상기 제2 전극봉 부재를 탄성력에 의해 상기 전극 겸용 마그넷 홀더모듈 측으로 탄성 바이어스시키는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 캐소드.
증착 대상에 대한 증착 공간을 형성하는 챔버; 및
상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 증착 대상에 증착 물질을 제공하는 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 회전형 캐소드를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터 장치.