TWI252896B - Gas supply device and supply method - Google Patents

Description

1252896 案號™2 五、發明說明（1) 發明所屬之技術領域 本發明是有關於一種氣體供應裝置及方法，且特別是 有關於一種使填充在氣體容器中之液化氣體能夠在氣體容 器中氣化，並在安定狀態下有效率的供給之氣體供應裝置 及方法。 先前技術 在半導體製造領域中所使用之WF6、C1F3、BC13、 S i H2 C 12等之氣體，在常溫中是以液體狀態（液化氣體狀態） 填充儲存在氣體容器中，在使用這樣的氣體時，必須視其 需要從外部加熱氣體容器，而促進氣體容器内之液化氣體 之氣化。 而且，在此種氣體供應中，從氣體容器導出之供給氣 體的壓力必須要維持在設定壓力之附近，習知之方法係測 定氣體容器内之壓力或連通氣體容器之氣體供應管路之壓 力，然後根據此壓力變化調節氣體容器之加熱量。然而， 此種只利用壓力迴授（F e e d b a c k)之控制，由於應答性低， 在氣體供應量有大變動之情況下，想要安定的控制變得很 困難，特別是在氣體容器内之壓力低的氣體供應初期，就 會產生所謂需要很長的時間才能使壓力穩定下來之問題。 此外，來自氣體容器之氣體供應中，必需要檢測氣體容器 内之氣體剩餘量，才能夠確實的把握氣體容器的更換時 期。 發明内容 有鑑於此，本發明的目的就是在提供一種氣體供應裝 置及方法，可以從外部有效率的進行氣體容器之加熱或冷

10604pi f1.ptc 第7頁 1252896 銳 91讓32 五、發明說明（2) 卻，同時可以使供給氣體之壓力保持在略一定值，並能夠 確實的檢測出氣體容器内之氣體殘留量。 解決問題之手段 為了達成上述目的，本發明之氣體供應裝置係為一種 使載置於設置台上之氣體容器中所填充之液化氣體在氣體 容器内氣化並供給之氣體供應裝置，其特徵在於使朝向上 述氣體容器底面喷出熱媒體之喷嘴插入設置於上述設置台 中央部之貫通孔，並且設置有從氣體容器底面與設置台上 面之間的空間排出上述熱媒體之熱媒體排出路徑。 而且，本發明之氣體供應裝置之特徵為上述熱媒體排 出路徑是由設置在上述設置中之通孔或設置在設置台上之 凹凸所形成。此外，本發明之氣體供應裝置之特徵為設置 有包覆上述氣體容器周圍之筒狀體，並且上述熱媒體排出 路徑是形成使從氣體容器底面部分排出之熱媒體從氣體容 器與上述筒狀體之間流出的樣子。另外，本發明之氣體供 應裝置之特徵為上述設置台是由能夠測定上述氣體容器之 重量變化的重量測定裝置所支撐，上述喷嘴係對應設置台 而設置成非接觸狀態。 而且，為了'控制氣體容器之加熱量，本發明之氣體供 應裝置之特徵在於具備有可測定從上述氣體容器供給之氣 體壓力的壓力測定裝置與測定該氣體之流量的流量測定裝 置，以及根據壓力測定裝置與流量測定裝置之測定值調節 上述熱媒體之溫度的溫度調節裝置。 本發明之氣體供應方法係為一種利用溫度經調節之熱 媒體加溫或冷卻填充有液化氣體之氣體容器以一邊調節氣

10604pi fl.ptc 第8頁 1252896 « 9Π36632 五、發明說明（3) 體容器内之液化氣體的蒸發量一邊供給氣化氣體之方法， 其特徵在於測定從上述氣體容器供給之氣體的壓力與流 量，當測定之流量與預先設定之基準流量相比超過預先設 定之容許流量變動範圍時，根據測定之流量與上述基準流 量之差調節上述熱媒體之溫度，當測定之流量與預先設定 之基準流量相比處於預先設定之容許流量變動範圍時，根 據測定之壓力與預先設定之基準壓力之差調節上述熱媒體 之溫度。 而且，本發明之氣體供應方法係為一種利用溫度經調 節之熱媒體加溫或冷卻填充有液化氣體之氣體容器以一邊 調節氣體容器内之液化氣體的蒸發量一邊供給氣化氣體之 方法，其特徵在於測定從上述氣體容器供給之氣體的壓力 與流量，當測定之壓力與預先設定之基準壓力相比低於預 先設定之下限壓力時，根據測定之流量與預先設定之基準 流量之差調節上述熱媒體之溫度，當測定之壓力超過上述 下限壓力時，根據測定之壓力與預先設定之基準壓力之差 調節上述熱媒體之溫度。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明 顯易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳 細說明如下： 實施方式： 第1圖與第2圖所繪示為本發明第一實施例之氣體供應 裝置示意圖，第1圖為剖面正面圖，第2圖為平面圖。此氣 體供應裝置具備有載置氣體容器1 0之設置台11、朝向氣體 容器1 0之底面喷出熱媒體之熱體喷出喷嘴1 2、供給經溫度

10604pi fl.ptc 第9頁 1252896 q" , ___案號 9Π36632_年 f 〇 月 曰_ 五、發明說明（4) 調節之熱媒體至熱媒體喷出喷嘴1 2之熱媒體供給管路1 3、 包圍氣體谷姦10且設置在設置台11上由分成兩半之筒狀體 所組成的谷器遵套1 4。而且，上述設置台1 1通常是由所謂 圓柱狀櫥櫃箱體之底板部分所構成，於是氣體容器丨〇以夠 放入取出之狀態收納於圓柱狀櫥櫃中。 上述設置台13是由支撐氣體容器1〇底部之氣體容器載 置部1 5、設置成支撐氣體容器載置部1 5之外週部分以作為 重量測定裝置之測力傳感計16(Load cel 1)與設置於位於 測力傳感為1 6下部份之床面等之台座部1 7所構成。上述敎 媒體管路13以水平方向插通台座部17，在台座部17之中央 部向上彎曲而上升至測力傳感計丨6之間，並插入設置於氣 體容器載置部15中央部之貫通孔18，在其前端設置有上述 熱媒體喷出喷嘴1 2。此所形成之貫通孔1 8内徑較形成熱媒 體供給管路1 3之導管外徑或熱媒體喷出喷嘴j 2之外徑大厂 使得測力傳感計1 6所支撐之氣體容器載置部丨5會因為氣體 容器1 0之重量變化而可以上下移動。 — 氣體容器載置部1 5具備有由上板1 9 V ，卞人L υ 、門周扳 21與外周板22所包圍的空洞部23，上述上板19是使用具有 多數個通孔1 9a、1 9b之多孔板。於是，氣體容器底面盥哎 置台上面之間的空間24經由上板19内周側之通孔i9a而虚< 上述空洞部23形成連通狀態，空洞部23經由上板19外周側 之通孔1 9b而和氣體容器丨〇外周與容器護套丨4内 空間2 5形成連通狀態。 、 ，即，如第1圖箭號A所示，從上述熱媒體噴出噴嘴以 朝向氣體容器底面高速喷出之熱媒體，加熱或冷卻氣體容

!252896 五、發明說明（5) 為1 0之底面後 上面之間的空 部2 3，然後通 1 4内周之上述 空間2 4經過空 之上述空間2 5 上述熱媒 也可以視實際 圖示之溫度調 裝置調節成適 給管路13。 91136632 修正 ’如前號B所示，從氣體容器底面與設置台 間2 4通過上板1 9内周侧之通孔1 9 a流至空洞 $上板1 9外周側之通孔1 9b排出至容器護套 二間2 5 ’於是成為從氣體容器1 0底面部分之 洞部2 3使上述熱媒體排出至容器護套1 4内周 的熱，，排出路徑（箭號B)被形成之狀態。 體通常是使用例如空氣或氮氣等氣體，當然 需要而使用水等液體。此熱媒體可以利用未 節裝置調節成適當之溫纟，並利用流量調節 當之流量後，以送風機或泵供給至熱媒體供 /JZL度5周節裝置可以使用習知的加熱裝置或冷卻裝置， 牛例來說，加熱可以利用溫水進行熱交換或電熱器，冷卻 可=利用冷水或低溫氣體進行熱交換，此外，也可以利用 皮蒂爾（Pe 11 i er )元件進行加熱與冷卻。而且，溫度調節 之控制，舉例來說在使用加熱器之情況下，可以使用單純 的ON .OFF、數階段之ON .OFF控制、連續的溫調控制之豆 中之一。 ’ 上述測力傳感計1 6係為透過氣體容器載置部1 $以監視 氣體容器1 0重量變化之裝置，只要不會影響熱媒體供給管 路1 3之設置，其可以使用任意形狀之裝置，舉例來說;^以 形成環狀’當然也可以於氣體容器載置部丨5的適當位置設 置複數個具有適當形狀之裝置。此外，在第1圖中棼二 表示測力傳感計16之信號線。 #ul6a 上述容器護套14在高度方向可以形成包圍整個氣

10604pi fl.ptc 第11頁 1252896 -i號 91136632_巧4年 月 X a_ 五、發明說明（6) 器1 0 ’也可以設置從氣體容器丨〇下方包圍丨/ 5程度高度之 容器護套1 4，由於從氣體容器底面部分排出之熱媒體可以 沿著氣體容器侧壁上升，因此與未設置有容器覆蓋物丨4之 情況相比可以提升熱傳導率。 具有如此結構之氣體供應裝置，由於在氣體容器底部 藉由熱媒體加熱或冷卻’因此可以有效率的進行氣體容器 内之液化氣體的溫度調節。特別是，由於設置有熱媒體喷 出喷嘴可以高速的喷射出熱媒體，因此可以提升容器底部 之加熱效率或冷卻效率。而且，藉由設置容器護套丨4可以 從氣體谷側壁進行加熱或冷卻，而可以更進一步提升電 熱效率。此外，藉由使容器護套丨4分割成兩半而形成固定 的後部側1 4a與能夠裝拆及開關之前部側丨4a，而可以容易 的進行氣體容器之更換作業。 第3圖與第4圖所繪示為本發明第二實施例之氣體供應 裝置的示意圖’第3圖為剖面正面圖，第4圖為剖面平面 圖。而且，在下述說明+，本實施例與上述第一實施例所 記載之氣體供應裝置之構成要素為同一構成要素者，給予 相同之符號，並省略其詳細說明。 …在t實施例中，，於上述氣體容器載置部15之上板19中 形成有複數個放射狀的長條切口 1 作為熱媒體排出路徑。亦即，如第些長！切口19c係 述熱媒體喷出喷嘴1 2朝向氣體容哭底曰不的前#uA ’從上 或冷卻氣體容器i 0後，如箭號B V干底面喷出之熱媒體加熱 抓晋A P而々p，的* MM、a 從氣體容器底面與 5又置台上面之間的空間2 4通過長鉻 至空洞部23，然後通過長條狀切〇、刀口 1 9e内周側而流 -;---;--—之外周側排出至容

第12頁 10604pifl.ptc 1252896

案號.Q11邪年（C> M 五、發明說明（7) 器護套1 4内周之空間2 5 第5圖為繪示本發明第3實施例之氣體供應裝置剖面正 面圖。在本實施例中，上述氣體容器載置部丨5中之容器護 套14之内周部分是由厚板形成，在厚板之上面形成有與第 二實施例之長條狀切口相同配置成放射狀之複數個凹槽 1 9 d，這些凹槽1 9 d係作為熱媒體排出路徑。亦即，如第5 圖所示的箭號A，從上述熱媒體噴出噴嘴1 2朝向氣體容p 底面喷出之熱媒體加熱或冷卻氣體容器丨〇後，如箭號B ^ 示’從氣體容器底面與設置台上面之間的空間24通過凹槽 1 9d内周側，並穿過凹槽1 9d之槽内而流至外周側，然後^ 出至容器護套1 4内周之空間2 5。 而且，在本實施例中，作為熱媒體排出路徑之凹槽 \9d是形成於厚板上面，當然也可以在上板19上面使用連 ’开^成凹凸之波浪狀薄板’此外’凹槽的方向並不限於放 射狀’只要能夠使熱媒體從空間24排出之狀態就可以。' 第6圖所緣示為本發明第四實施例之氣體供應裝置之 剖面正面圖。在本實施例中，使氣體容器載置部丨5之中央 部所設置之貫通孔18的直徑變大’在此貫通孔18内周與設 置熱媒體喷出喷嘴1 2之熱媒體供給管路丨3外周之間形成有 將來自氣體容器底面與設置台上面之間的空間2 4之熱媒體 排出的熱媒體排出路徑2 6。亦即，如第6圖所示的箭號a， 從上述熱媒體噴出喷嘴1 2朝向氣體容器底面喷出之熱媒體 加熱或冷卻氣體谷器1 0後’如前號B所示，從氣體容器底 面與設置台上面之間的空間2 4通過上述熱媒體排出路徑， 在測力傳感計1 6係以適當間隔而設置複數個之情況下，通

if 1〇6〇4Pifl.ptc 第13頁 1252896 α / _案號91136632_巧φ年/ Ο月4曰 修正_ 五、發明說明（8) 過測力傳感計1 6彼此之間，然後通過台座部1 7上所設置之 排出通路2 7而排出至外部。而且，在本實施例中，上板1 9 是使用一般的板材。 而且，就氣體容器1 0而言，可以使用一般流通的習知 氣體容器，並不是只限於底面往内侧凹陷之金屬製氣體容 器，也可以使用底面為半球狀之凸面周圍配置有底座之氣 體容器，即使容器高度與容器直徑不同，也能夠利用熱媒 體確實的進行溫度調節。 第7圖與第8圖所繪示為本發明之氣體供應方法之一實 例。第7圖為概略方塊圖，第8圖為本發明之方法與習知之 方法的氣體容器内之壓力變化狀況示意圖。而且，第7圖 中之氣體供應裝置係使用上述第一實施例所揭露之氣體供 應裝置。 從氣體容器1 0供給氣體至氣體使用設備之氣體供應管 路5 1上設置有為了測定所供給氣體的壓力之壓力計5 2 (壓 力感測器）與為了測定流量之流量計5 3 (質量流量計），利 用上述裝置測出之壓力信號Ρ與流量信號F以及利用上述測 力傳感計1 6所測定出之重量信號W輸入壓力溫度控制裝置 5 4中之控制部5 5。此控制部5 5控制熱媒體溫度調節裝置5 6 以進行上述熱媒體之溫度調節或供給量調節，並且根據來 自測力傳感計1 6之重量信號W監視氣體容器1 0内之氣體殘 留量。 在使用氣體之前氣體消費量不會產生大變動之情況 下，利用壓力計測量氣體之壓力作為預先設定之基準壓力 以控制上述熱媒體之溫度，藉由對應需要而調節熱媒體之

10604pifl.ptc 第14頁 1252896 案號 91136632 修正 五、發明說明（9) 流量或壓力以進行熱量控制，而可以進行充分安定的控 制。而且，基準壓力通常是對應氣體之種類、氣體供應管 路之狀況、氣體使用前之狀況等條件，而設定成一定之壓 力。 另一方面，在使用氣體前氣體消費量產生變動之情況 下，伴隨著來自氣體供應管路5 1之氣體的供給量，亦即從 氣體容器10之氣體取出量，氣體容器内之壓力也會依序改 變。舉例來說，氣體供應量增加，由於與氣體容器内之液 化氣體蒸發量相比，來自氣體容器之氣體取出量較多，因 此氣體容器内之氣體量減少而使得壓力容易依序降低。 此時，對應流量計5 3可以正確的檢測出流量產生變動 之時點，壓力計5 2卻因為伴隨著流量變動而測定出漸漸改 變的壓力，所以會造成準確的控制很困難之情況。舉例來 說，流量以每分鐘一公升增加至每分鐘兩公升，壓力計5 2 之測定值會因為此流量之增加而反映出壓力之減少，所以 流量產生變動會造成相當之時間差。而且，熱媒體溫度調 節裝置5 6使熱媒體之溫度上升，此溫度上升之熱媒體會加 熱氣體容器内部之液化氣體直到能夠得到必要蒸發量之溫 度，因此流量產生變動而會造成相當之時間差（控制遲 緩）。 於是，在使氣體消費量急速增加之情況下，並無法確 實的進行液化氣體之加熱，恐怕會造成供給氣體壓力之低 落。另一方面，在使氣體流量急速的減少之情況下，必須 要使熱媒體之溫度下降已冷卻液化氣體，在此情況下也因 為與上述同樣之控制延遲，恐怕會使氣體壓力異常的上

10604pi fl.ptc 第15頁 1252896 案號™2 五、發明說明（10) 升，而產生必須提高設定氣體供應管路5 1之設計壓力等不 適當問題。此時，如果利用壓力變動進行熱媒體之溫度控 制以縮小壓力幅度，就可以進行較迅速的溫度控制，在此 情況下，僅僅藉由壓力變動或壓力計之測定誤差等而不得 不頻繁的切換熱媒體之加熱與冷卻，就會妨礙其安定性。 另一方面，在本發明之方法係進行根據壓力之控制 (壓力控制）加上根據流量之控制（流量控制）。亦即，使氣 體之流量增加時，為了破保對應氣體流量份之液化氣體蒸 發量，先根據壓力進行控制，然後對應流量變化調高熱媒 體之加熱溫度以進行控制。 舉例來說，在流量從每分鐘1 0 0 c. C.增加至每分鐘 2 0 0 c. c .之情況下，在檢測出上述狀態之時點控制熱媒體 溫度調節裝置5 6，熱媒體之溫度例如是比現在之溫度上升 2 °C。於是，其與從檢測出壓力降低而使熱媒體之溫度上 升時相比較，由於可以迅速的進行液化氣體之加熱，因此 可以對應流量增加而增加氣體容器内之液化氣體蒸發量， 藉由抑制壓力降低而可以縮小壓力變動。此時，藉由氣體 容器1 0内之液化氣體量或氣體體積、大氣溫度等之條件， 在壓力到達預先設定之上限壓力的情況下，藉由來自壓力 計5 2之信號而中斷熱媒體之加熱。 而且，在使流量從每分鐘2 0 0 c. c.減少至每分鐘 1 0 0 c. c .之情況下，在檢測出上述狀態之時點控制熱媒體 溫度調節裝置5 6，熱媒體之溫度例如是較現在之温度降低 2 °C。於是，其與從檢測出壓力上升而使熱媒體之溫度降 低時相比較，由於可以迅速的降低液化氣體之溫度，因此

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五、發明說明（12) 然而，在此種情況下，比較對照上述基本的基準流量（第 一基準流量）加入設定作為第三之基準流量（第三^流 量）之最初測定流量變動時之流量、經過丨小時的$ = 或前一曰之平均流量等適當之流量，比較上述各基準2量 與測定流量，並根據兩者之差以進行控制。而且，:以 根據流量之變化量或流量變動狀況而適當的組合比 ，：微分控带卜積分控制以進行之，t然也可以僅對：流 量變動而設定進行溫度控制。 … /此：’在任一種情況下，氣體之壓力對應基準壓力而 低於預先設定壓力之下限壓六护 、六曰，曰 I力呀，流量測量值i關而上井 熱媒體之溫度以增加液化氣辦I …、而上开 ^ ^ 礼瑕療發夏，使壓力維持在基準 壓力。而且，熱媒體之加執、;择行隹丞+ 喟銘驻W R β夕、西存 —# 〃现度並不疋只限於熱媒體溫度 置56之溫度，在错由在熱媒體排

排出時之熱媒體溫度，而能夠 甲、】疋牷f J .太而，.巧雜—夠，進仃較正確的溫度控制。 52所測定之氣體壓力較上述；給初期’以壓力計 控制根據壓力進行控制，告其I ^氏的情況下，上述之 大之狀態τ，熱媒體溫度；；= 力與!1定壓力之差為較 熱媒體，在此情況下，測定^ ^ 6 ^取大加熱能力加熱 止熱媒體之加#，液化氣體上f:達基準壓力時不僅僅中 捭病笟菸旦、β #1|妝A 二之溫度下降至最適當之溫度且 量變動，特別是流量之減少升。而且，流 根據上述流量進行控制，屋，t /又有之狀恶下，因為無法 時間。 反力要回到基準壓力附近需要長 在此種狀態下，本發

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以壓力計5 2測定出 第18頁

1252896 « 91136632 年，0月曰 修正 五、發明說明（13) 氣體壓力較上述下限壓力低時，根據流量進行控制。亦 即，就基準流量而言，可以設定上述之第1基準流量或第3 基準流量或氣體容器交換前之流量作為控制用之基準流 量，控制熱媒體溫度調節裝置5 6，使以流量計5 3測定之氣 體供應量靠近基準流量附近之流量。在此情況下，若在途 中流量產生變動，則進行與上述根據流量變動之控制相同 控制。 於是，當測定壓力超過下限壓力之後，中斷此種根據 流量之控制，停止熱媒體之加熱，控制熱媒體溫度調節裝 置5 6使熱媒體溫度達到預先設定之熱媒體溫度。之後，組 合上述流量控制與壓力控制以進行熱媒體溫度調節裝置5 6 之控制。 如此，在供給初期進行流量控制，超過下限壓力後藉 由組合上述流量控制與壓力控制以進行熱媒體溫度調節裝 置5 6之控制，如第8圖所示，本發明之方法與習知只利用 壓力控制之方法相比較（習知方法），可以對應氣體種類、 氣體容器之容量等各種條件，而可以短時間的在預先設定 之壓力附近安定化，並能夠迅速的開始安定之氣體供應。 而且，如上述一般，藉由設置測力傳感計1 6測定氣體 容器之重量，由於可以確實的監視氣體容器内之液化氣體 殘留量，因此在液化氣體量低於規定值以下時，藉由終止 熱媒體之加熱可以防止壓力異常上升，並且藉由以適當的 裝置顯示此資訊，可以明白的知道氣體容器之更換時期， 而可以提升氣體容器中所填充之液化氣體的使用效率。 在上述說明中，本發明可以有效率的蒸發氣化、供給

10604pi fl.ptc 第19頁 1252896 案號 91136632 修正 五、發明說明（14) 氣體容器内所填充之液化氣體，由於可以使供給壓力安定 化，因此可以在安定狀態下進行氣體供應。 雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其並非用 以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精 神和範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保 護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10604pi f1.ptc 第20頁 1252896 案號 91136632 年月X曰 修正 圖式簡單說明 第1圖為繪示本發明第一實施例之氣體供應裝置剖面 正面圖。 第2圖為繪示本發明第一實施例之氣體供應裝置剖面 平面圖。 第3圖為繪示本發明第二實施例之氣體供應裝置剖面 正面圖。 第4圖為繪示本發明第二實施例之氣體供應裝置剖面 平面圖。 第5圖為繪示本發明第三實施例之氣體供應裝置剖面 正面圖。 第6圖為繪示本發明第四實施例之氣體供應裝置剖面 正面圖。 第7圖為繪示本發明氣體供應方法之概略方塊圖。 第8圖為繪示本發明之方法與習知方法在氣體容器内 之壓力變化狀況示意圖。 圖式標記說明： 10 氣 體 容 器 11 設 置 台 12 熱 媒 體 喷 出 喷 嘴 13 熱 媒 體 供 給 管 路 14 容 器 護 套 15 氣 體 容 器 載 置 部 16 測 力 傳 感 計 17 台 座 部

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Claims (1)

1. !252896 -^ __案號 &、申請專利範圍 91136632 1 . 一種氣 < 一氣體容器 供給之氣體供 噴出熱媒體之 孔’並且設置 空間排出該熱 由能夠測定該 撐。 2. 如申請 徵為該熱媒體 3. 如申請 «為該熱媒體 4. 如申請 徵為設置有包 體排出路徑是 #該氣體容器 5. 如申請 徵為該喷嘴係 6. 如申請 徵為具備有可 壓力測定裝置 及根據該壓力 媒體之溫度的 專利範圍 排出路徑 專利範圍 排出路徑 專利範圍 覆於該氣 形成使從 與該筒狀 專利範圍 對應該設 專利範圍 測定從該 與測定該 測定裝置 體供應裝置，係為一種使載置於一設置台上 中所填充之液化氣體在該氣體容器内，化並 應裝置，其特徵在於使朝向該氣體容為=面 一喷嘴插入設置於該設置台中央部之一貫通 有從該氣體容器底面與該設置台上面之，， 媒體之一熱媒體排出路徑，以及該設置台是 氣體容器之重量變化的一重量測定裝置所支 第1項所述之氣體供應裝置，其特 為設置在該設置台中之通孔。士 第1項所述之氣體供應裝置’其斗寸 為設置在該設置台上之凹凸。 第1項所述之氣體供應裝置’其特 體容器周圍之筒狀體，並且"亥熱j 該氣體容器底面部分排出之熱媒一 體之間流出。 + 第1項所述之氣體供應裝置，其知* 置台而設置成非接觸狀悲。 士 第1項所述之氣體供應裝置，其特 氣體容器供給的一氣體之壓力的一 氣體之流量的該流量測定裝置’以 與該流量測定裝置之測定值調節熱 溫度調節裝置

   1〇6〇4Pifl.ptc 種氣體供應方

   1252896 y _案號91136632 彳於年/0月^/日__ 六、申請專利範圍 熱媒體加溫或冷卻填充有液化氣體之一氣體容器以一邊調 節該氣體容器内之液化氣體的蒸發量一邊供給氣化氣體之 方法，其特徵在於測定從該氣體容器供給之一氣體的壓力 與流量，當一測定之流量與預先設定之一基準流量相比超 過預先設定之一容許流量變動範圍時，根據該測定之流量 與該基準流量之差調節該熱媒體之溫度，當該測定之流量 與預先設定之該基準流量相比處於預先設定之該容許流量 變動範圍時，根據測定之壓力與預先設定之基準壓力之差 調節該熱媒體之溫度。 8. —種氣體供應方法，係為一種利用溫度經調節之一 熱媒體加溫或冷卻填充有液化氣體之一氣體容器以一邊調 節該氣體容器内之液化氣體的蒸發量一邊供給氣化氣體之 方法，其特徵在於測定從該氣體容器供給之氣體的壓力與 流量，當一測定之壓力與預先設定之一基準壓力相比低於 預先設定之一下限壓力時，根據一測定之流量與預先設定 之一基準流量之差調節該熱媒體之溫度，當該測定之壓力 超過該下限壓力時，根據該測定之壓力與預先設定之該基 準壓力之差調節該熱媒體之溫度。

   10604pifl.ptc 第24頁 1252896 案號 91136632 作年（ΰ月>6曰 修正 六、指定代表圖 (一） 、本案代表圖為：第____1____圖 (二） 、本案代表圖之元件代表符號簡單說明： 1 0 :氣體容器 1 1 :設置台 1 2 :熱媒體喷出喷嘴 1 3 :熱媒體供給管路 14 :容器護套 1 5 :氣體容器載置部 16 :測力傳感計 17 :台座部 18 :貫通孔 19 :上板 1 9 a、1 9 b :通孔 20 :下 板 21 ••内 周 板 22 :外 周 板 23 •m 空 洞 部 24 ^ 25 ·· 空間部

   10604pi fl.ptc 第5頁