KR101997214B1 - 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스실린더 하부에 열풍을 집중하여 효율을 증대하고 균일하게 가스실린더를 가열하고, 안전한 운영을 증대하여 과열에 의한 폭발사고를 사전에 방지하고 고비용구조의 전기히팅 방식을 배제함으로서 비용절감 및 안전사고 발생 및 제조물의 품질의 결함을 방지하는 효과가 있다.

Description

열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템{The hot air supply system comprising heating jacket for heating gas cylinder using hot air}
본 발명은 전기를 사용하지 않고 이를 대체하여 열풍을 히팅자켓에 공급하면서 가스실린더를 가열하면서, 히팅자켓이 장착된 가스실린더의 내부 액화가스의 온도를 가열 및 보온유지하도록 하는 열풍공급시스템에 관한 것이다.
반도체나 디스플레이 등의 전자 분야에서 사용되는 액화가스(암모니아 가스등)를 주요공정 장비에 공급하기 위해서는 기화된 가스로 공급하여야 한다.
보다 자세하게 설명하면, 반도체 등의 공정들 중 대부분은 그 공정을 진행하기 위해 다양한 종류의 가스들이 사용된다. 이러한 가스들은 가스실린더에 보관된다. 가스실린더에 충전된 가스는 반도체 소자를 제조하는 공정에서 설정된 온도와 압력을 유지한 상태로 반도체 제조 장치에 공급된다.
이를 위하여 상술한 가스실런더에는 가스의 온도가 설정된 온도로 유지될 수 있도록 온도유지장치로서 일종의 히터자켓이 가스실린더에 감싸여져 배치된다.
부연하면, 가스실린더에 내부는 액화가스가 채워져있고, 액화가스를 기화하여 가스로 공급하기 위해서는 전기히팅 방식이 적용되는 히팅자켓을 가스실린더에 부착하고, 히팅자켓을 통해 가스실린더 온도를 상승시켜 액화가스를 기화가스로 변환시켜 가스공급장치를 통하여 반도체등의 주공정장비에 공급하고 있다.
그러나 이러한 가스실린더의 액화가스를 기화시키는 열원으로서 전기를 공급하는 종래의 방식에서는 전기를 가연성 액화가스(암모니아 가스 등)에 점화원을 제공하여 폭발을 일으킬수 있다는 위험성을 갖고 있으며, 이에 이를 예비하고자 방폭구조를 포함하여 구성되면서 많은 전력을 사용하게 되어 비용이 과다하고, 그럼에도 불구하고 역시 가연성가스의 폭발에 대한 위험성은 내포되고 있다.
또한, 전기히팅 방식의 경우 히팅자켓과 연결되는 전열선이 자꾸 단선이 되어 공정에 많은 지장을 초래하게 되는 문제점도 있다.
특허문헌 1: 국내특허공개공보 제10-2016-0010304호(공개일: 2016.01.27) 특허문헌 2: 국내특허공개공보 제10-2010-0003641호(공개일: 2010.01.11) 특허문헌 3: 국내특허공개공보 제10-2017-0026804호(공개일: 2017.03.09)
본 발명은 반도체 공정과정에 기화된 가스를 공급하기 위한 시스템에 있어서, 위험가스를 사용하는 방폭 위험지역에서 종래의 전기히팅방식을 사용하지 않고 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 전기로 인한 감전이나 점화원 제공으로 인한 가스폭발 등을 원천적으로 방지할 수 있으며, 방폭방지 장치가 필요없어 안정적이고 비용을 절감시킬수 있는 열풍공급시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 가스실린더 내부의 액화가스를 기화가스로 변환시켜 가스공급장치를 통하여 반도체 등의 주공정장비에 공급하기 위하여, 가스실린더에 장착되어 온도를 상승시키는 히팅자켓에 있어서, 연결고리(120)를 통해 연결된 두개의 히팅바디(110); 가스실린더(200)를 감싼 상태에서 상기 두개의 히팅바디(110)가 서로 체결되도록 구성된 잠금고리(130);가 구성되며, 상기 히팅바디(110)에는 열풍노즐부(140, 150)가 구성되어 열풍배관(300)에서 보내오는 열풍을 공급받게 되면, 상기 열풍노즐부(140, 150)를 통해 분사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 제시한다.
상기 히팅자켓의 외곽에는 가스실린더(200)에 장착시에 외부공기의 흡입을 방지하고, 내부에 인입된 열풍의 누출을 방지하기 위한 내열성 주름막(160)이 형성된 다.
상기 열풍노즐부(140, 150)는, 외부에서 열풍을 공급받는 열풍인입부(140a)와 상기 열풍인입부(140a)와 연결되어 열풍을 분사하는 분사노즐(140b)이 다수로 구성되며, 가스실린더(200)의 하부에 열풍을 공급하는 1차 열풍노즐부(140)와,
상기 1차 열풍노즐부(140)와 연결튜브(145)를 통해 연결되어, 상기 연결튜브(145)를 통해 상기 1차 열풍노즐부(140)로부터 열풍을 공급받아, 가스실린더(200)의 중상부에 열풍을 공급하는 2차 열풍노즐부(150)가 구성된다.
상기 1차 열풍노즐부(140)에 배치된 분사노즐(140b)의 개수는 2차 열풍노즐부(150)에 배치된 분사노즐(150b)의 수보다 다수로 구성된다.
상기 히팅바디(110)에는 상기 열풍배관(300)에서 공급되는 열풍이 유입되어 상기 분사노즐(140b, 150b)을 통해 상기 가스실린더(200)로 분사가 된 후에 사용된 공기가 배출되는 공기배출구(180)가 구성된다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 가스실린더 내부의 액화가스를 기화가스로 변환시켜 가스공급장치를 통하여 반도체 등의 주공정장비에 공급하기 위하여, 가스실린더의 온도를 상승시키는 히팅자켓에 있어서, 히팅자켓에는 상기 히팅자켓과 연결되는 열풍배관(300)으로 열풍을 공급하는 개별열풍장치(700)가 부착되며, 상기 개별열풍장치(700)에는 상기 열풍배관(300)으로 열풍을 공급하는 열풍보조배관(780)이 부착되어 구성되고, 전체적인 제어 및 관리를 위한 컨트롤패널(710)과, 상기 개별열풍장치에 외부공기를 흡입하기 위한 송풍관(750)과, 송풍관(750)을 통해 외부공기가 유입되는 외부공기 흡입구(720)와 유입된 공기를 열매체를 이용하여 열풍을 생성하는 열풍동작부(740); 및 생성된 열풍을 배출하는 열풍보조배관(780)으로 배출하는 열풍배출구(730);가 포함되어 개별열풍장치(700)가 부착된 개별 가스실린더(200)를 가열하도록 구성된다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 가스실린더 내부의 액화가스를 기화가스로 변환시켜 가스공급장치를 통하여 반도체 등의 주공정장비에 공급하기 위하여, 가스실린더에 장착되어 온도를 상승시키는 히팅자켓을 가열하는 시스템에 있어서, 열풍을 생성하는 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B; 상기 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B에서 각각 발생되는 열풍을 개별 각각의 열풍배관(300)을 통해 공급받는 크로스 오버박스(500); 상기 크로스 오버박스(500)에서 배출되는 열풍을 개별 열풍배관(300)을 통해 공급받는 복수의 매니폴드박스(400); 상기 각각의 매니폴드박스(400)와 개별 열풍배관(300)으로 연결되어 상기 매니폴드박스(400)를 통해 분사되어 공급되는 열풍을 각각 공급받는 다수의 히팅자켓(100); 및 상기 다수의 히팅자켓(100)에 각각 장착된 가스실린더(200);를 포함하여 동시에 상기 가스실린더를 가열하도록 구성된 것을 특징으로 하는 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템을 제시한다.
상기 크로스 오버박스(500)에는, 상기 열풍을 생성하는 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B와 각각 연결되는 두개의 열풍배관(300)을 각각 개폐제어하는 MV1 수동밸브(510)와 MV2 수동밸브(530)와, 상기 열풍공급장치 A, B의 각각의 열풍배관(300)을 연결하는 배관으로서 상기 열풍공급장치 A, B 모두가 정상상태에서는 잠궈진 상태로 구성된 MV3 수동밸브(540);가 구성되며, 상기 열풍공급장치 A가 고장시에 상기 MV1 수동밸브(510)를 잠그고 상기 MV3 수동밸브(540)를 오픈하여, 상기 열풍공급장치 B로부터 열풍을 공급받아 상기 열풍공급장치A의 열풍배관(300)에 열풍을 공급하도록 구성되며, 상기 열풍공급장치 B가 고장시에 상기 MV2 수동밸브(530)를 잠그고 상기 MV3 수동밸브(540)를 오픈하여, 상기 열풍공급장치 A로부터 열풍을 공급받아 상기 열풍공급장치 B의 열풍배관(300)에 열풍을 공급하도록 구성된다.
상기 열풍공급장치 A, B에서 각각 크로스 오버박스(500)로 연결되는 열풍배관(300)에는 열풍의 온도가 손실이 되는 경우에 대비하여 실리콘 라인 히터(320)가 보완 설치된다.
상기 열풍배관(300)은 이중배관의 구조로 구성되며, 열풍배관(300)의 내부배관(300b)은 열풍을 공급하는 배관으로서 열손실이 가능한 적고 내열이 되도록 내열 플라스틱, 비철금속 등으로 구성되며, 열풍배관(300)의 외부배관(300a)은 충격이나 깨짐에 대하여 대비하도록 강도가 높은 엔지니어링 플라스틱이나 비철금속, 스테인레스 또는 탄소강으로 구성되며, 열풍배관(300)의 외부배관(300a)와 내부배관(300b)의 사이의 중간재(300c)는 단열재로서 발포재로 구성된다.
상기 열풍공급장치A, B 각각에는, 가스특성과 공급유량에 근거하여 가스실린더(200)와 히팅자켓(100)의 온도를 설정하고, 상기 가스 실린더 온도 센서(210) 및 히팅자켓 온도센서(190)를 통해 온도를 확인하는 온도설정부(610); 상기 온도설정부(610)에서 설정된 온도를 검출하고 설정값 이하시 히팅부(630)를 가동시키는 제어부(620); 크로스 오버박스의 온도센서(510)와 매니폴드박스의 온도센서(410, 430)와 압력센서(420, 440)의 정보를 계속적으로 체크하면서 열풍을 생성하는 히팅부(630); 및 상기 히팅부(630)의 조작에 따라 공급되는 열풍의 강도를 조절하도록 구성된열풍조절부(640);를 포함하여 구성된다.
상기 매니폴드박스(400)에는, 상기 크로스 오버박스(500)에서 배출되는 열풍을 열풍배관(300)을 통해 공급받는 열풍버퍼탱크(450)가 구성되며, 상기 열풍버퍼탱크(450)의 온도를 측정하기 위한 온도센서(430) 및 압력을 측정하기 위한 압력센서(440)가 구성되며, 상기 열풍버퍼탱크(450)에는 상기 열풍버퍼탱크(450)의 압력이 설정압력 이상시 압력을 배출하기 위한 안전밸브(460)가 더 구성된다.
본 발명에 따라 달성할 수 있는 효과로는 다음과 같다.
첫번째로, 본 발명의 열풍방식의 히팅자켓은 액화가스를 내장한 복수의 가스실린더에 부착되어 열풍에 의한 균일한 실린더 가열이 가능한 효과가 있다.
두번째로, 본 발명의 히팅자켓은 1차노즐부와 2차노즐부가 분리되어 가스사용량에 따른 공학적인 가열이 가능하고, 위험지역에서 가연성 가스의 누출시 전기와 같은 점화원을 사용하지 않아 폭발 위험을 현저하게 줄일 수 있는 효과가 있다.
세번째로, 본 발명의 매니폴드 탱크와 크로스 오버 박스의 조절기능에 의하여 하나의 열풍 시스템에 의하여 다수의 히팅자켓을 운영하여 비용을 대폭 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 히팅자켓과 히팅자켓이 가스실린더에 장착된 상태를 보인 도면이다.
도 2는 본 발명에 의한 히팅바디의 내부 단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 1차 열풍노즐부와 2차 열풍노즐부의 결합상태를 나타낸 구성도이다.
도 4는 본 발명에 의한 가스실린더에 장착된 히팅자켓의 일단면도이다.
도 5는 본 발명에 의한 히팅바디의 공기배출구를 나타낸 상태도이다.
도 6은 본 발명에 의한 개별열풍장치가 부착된 히팅자켓을 가스실린더에 장착한 상태를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명에 의한 히팅자켓이 장착되는 열풍공급시스템의 구성도이다.
도 8은 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 매니폴드 박스의 구성도이다.
도 9는 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 크로스 오버 박스의 구성도이다.
도 10은 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 열풍배관의 구성도이다.
도 11은 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 온도/압력센서를 통한 열풍공급장치의 동작상태도이다.
도 12는 본 발명에 의한 열풍공급시스템의 작동 플로우 차트를 도시한 도면이다.
이하 본 발명인 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓 및 이를 포함하는 온풍시스템에 대해 첨부된 도면을 참조하여 자세하게 설명한다.
본 발명에 도시되는 가스실린더는 일반적인 타입의 가스실린더를 도시했지만, 본 발명은 반도체나 디스플레이 등의 공정에 사용되는 Y-타입의 가스실린더나 Ton-타입의 가스실린더에도 같은 방식으로 적용이 가능하다.
도 1은 본 발명에 의한 히팅자켓과 히팅자켓이 가스실린더에 장착된 상태를 보인 도면이다.
도시된 바는 일반타입 가스실린더를 도시한 도면으로서, 가스실린더(200)에 히팅자켓(100)이 장착되는 모습을 도시하고 있다.
상기 가스실린더(200)에는 가스실린더 온도센서(210)가 장착이 되어 가스실린더의 온도를 체크하게 된다.
히팅자켓(100)은 두개의 히팅바디(110)와 이를 연결하는 연결고리(120)가 구성된다. 상기 연결고리(120)는 두개의 히팅바디(110)에 각각 결합되고, 서로간에 브라켓이나 힌지방식 등으로 다양하게 체결되도록 구성될 수 있다.
또한, 히팅자켓(100)에는 두개의 히팅바디(110)에 각각 결합되는 잠금고리(130)가 구성되면서, 두개의 히팅바디(110)가 가스실린더(200)를 감싼 상태에서 서로 체결되도록 구성된다.
마찬가지로, 상기 잠금고리(130)의 체결방식도 연결고리(120)와 마찬가지로 브라켓이나 힌지방식 등으로 다양하게 구성될 수 있다.
상기 히팅바디(110)에는 열풍노즐부(140, 150)가 구성되어 외부에서 보내오는 열풍을 공급받게 되면, 상기 열풍노즐부(140, 150)를 통해 분사하도록 구성된다.
또한 히팅자켓(100)의 외곽에는 가스실린더(200)에 장착시에 외부공기의 흡입을 방지하고, 내부에 인입된 열풍의 누출을 방지하기 위한 주름막(160)이 형성된다.
상기 주름막(160)은 실리콘 등의 재질로 밀착기능을 보유하면서 주름형태를 갖는다.
또한, 히팅자켓(100)에는 가스실린더(200)에 장착시에 가스실린더의 외면과 접촉하면서 히팅자켓(100)을 지지하는 지지브라켓(170)이 구성된다.
또한, 히팅자켓(100)에는 분사한 열풍을 외부로 배출하기 위한 공기배출구(180)가 구성되며, 히팅자켓(100) 내부의 온도를 측정하는 히팅자켓 온도센서(190)와 안전장치로서 최대온도치가 설정되어있는 바이메탈(195)이 구성된다.
도 2는 본 발명에 의한 히팅바디의 내부 단면도이며, 도 3은 본 발명에 의한 1차 열풍노즐부와 2차 열풍노즐부의 결합상태를 나타낸 구성도이다.
도시된 바처럼, 1차 열풍노즐부(140)에는 열풍을 공급받는 열풍인입부40a)와 열풍인입부(140a)와 연결되어 열풍을 분사하는 분사노즐(140b)가 다수로 구성된다.
즉, 상기 열풍인입부(140a)는 열풍배관(300)에서 공급되는 열풍이 유입되어 분사노즐(140b, 150b)로 연결되는 통로를 의미하며, 열풍인입부(140a)의 개수나 위치는 적절하게 배치할 수 있다.
도 3을 참조하면, 열풍노즐부는 1차 열풍노즐부(140)와 연결튜브(145)를 통해 구성되는 2차 열풍노즐부(150)가 구성되며, 열풍은 1차 열풍노즐부(140)를 통해 2차 노즐부(150)로 공급되도록 구성된다.
또한, 1차 열풍노즐부(140)에 배치된 분사노즐의 개수는 2차 열풍노즐부(150)에 배치된 분사노즐(150b)의 수보다 다수로 구성된다.
1차 열풍노즐부(140)과 2차 열풍노즐부(150)의 분사노즐의 개수를 달리하는 이유는 다음과 같습니다.
액상가스는 보통 가스실린더에 60%이상 충전하게되고 액상가스 사용에 따른 교체는 액상가스의 잔량이 10% 있을때 교체하게 되는데, 이는 액상가스의 고유 불순물이나 생성 불순물이 액상가스의 잔량이 10% 있을때가 가장 이상적인 교체라 보고 있기 때문이다.
도시된 1차 열풍노즐부(140)는 위치상 가스실린더(200)의 하부에 설치되어 있어서, 액상가스의 사용시에 마지막 잔량이 보유된 위치라서 액상가스를 히팅하는데 열원이 충분해야하기 때문에 많은 열풍이 필요하다.
그러나, 2차 열풍노즐부(150)는 설치 위치상 가스실린더(200)의 중상부 위치이기 때문에 가스실린더(200)에 액상가스가 많이 사용된 경우에는 분사노즐이 액상부분이 아닌 기상부분을 가열하는 경우가 많다.
이경우, 열풍의 목적은 히팅보다는 액상가스사용에 따른 온도저하를 막는 보온효과를 위한 열풍공급이 주목적이 될 수 있다.
따라서, 2차 열풍노즐부(150)의 분사노즐의 개수는 가스실린더(200)의 하부 부분을 히팅하는 1차 열풍노즐부(140)의 분사노즐 개수보다 많을 필요가 없으며, 2차 열풍노즐부(150)가 분사노즐이 많을 경우, 히팅 열원이 많아져 기상상태의 가스 압력이 많이 올라갈수 있기 때문에 1차 열풍노즐부(140)의 분사노즐 개수보다 적게 하는 것이 공학적으로 유리하다.
다만, 1차 열풍노즐부(140)와 2차 열풍노즐부(150)의 분사노즐의 개수가 동수라도 온도, 압력센서가 설정치 이하로 관리한는 것이 지속적으로 보장된다면 상관없을것이며, 가스실린더(200)내부에 보유된 액상가스의 유량이 많은 경우라면 2차 열풍노즐부(150)의 분사노즐의 개수도 1차 열풍노즐부(140)의 분사노즐의 개수와 동일하게 구성해도 무방할 것이다.
바람직하게는, 1차 열풍노즐부(140)의 분사노즐의 수는 4~8개, 2차 열풍노즐부(150)의 분사노즐의 수는 2~4개로 구성될 수 있다.
도 4는 본 발명에 의한 가스실린더에 히팅자켓이 장착된 상태도이다.
도시된 바를 참조하면, 가스실린더(200)에 히팅자켓(100)이 장착이 되는 경우에, 히팅자켓(200)에 구성된 주름막(160)이 가스실린더(200)의 외부에 밀착되도록 구성된다.
즉, 가스실린더(200)에 히팅자켓(100)을 장착시에 내열성의 주름막(160)은 히팅자켓(100)을 가스실린더(200)에 밀착시키는 역할을 하게 되고, 이를 통해 열풍배관(300)을 통해서 공급되는 열풍은 히팅자켓(100)의 분사노즐(140b, 150b)을 통해 가스실린더(200)에 분사된다.
상기 주름막(160)은 실리콘 등의 재질로 밀착기능을 보유하면서 주름형태로 구성되며, 외부공기의 흡입을 방지하고, 열풍배관(300)을 통해서 내부에 인입된 열풍의 누출을 방지하게 된다.
도 5는 본 발명에 의한 히팅바디의 공기배출구를 나타낸 상태도이다.
도시된 바를 참조하면, 히팅자켓(200)에는 공기배출구(180)가 구성된다. 상기 1차 열풍노즐부(140)의 열풍인입부(140a)는 열풍배관(300)에서 공급되는 열풍이 유입되어 분사노즐(140b, 150b)로 열풍이 가스 실린더(200)로 분사가 된 후에 사용된 열풍의 공기는 공기배출구(180)를 통해 배출된다.
공기배출구(180)는 히팅자켓(200) 내부공기를 외부로 배출하기 위한 배출관으로 구성된다.
도 6은 본 발명에 의한 개별열풍장치가 부착된 히팅자켓을 가스실린더에 장착한 상태를 도시한 도면이다.
이러한, 개별열풍장치(700)의 열풍을 이용한 가스실린더의 히팅 시스템은 사용자가 필요시 설치가능토록 한것이다
도시된 바를 참조하면, 개별열풍장치(700)가 히팅자켓(200)에 별도로 부착되어 구성되며, 열풍배관(300)으로 열풍보조배관(780)을 통해 열풍을 공급하게 된다.
상기 개별열풍장치(700)의 구성을 보면, 전체적인 제어 및 관리를 위한 컨트롤패널(710)이 구성되며, 개별열풍장치에 외부공기를 흡입하기 위한 송풍관(750)이 구성되어 외부공기를 외부공기 흡입구(720)을 통해 유입하게 된다.
또한, 개별열풍장치(700)내부의 온도와 압력를 측정하기 위한 온도센서(770)와 압력계(760)가 각각 구성된다.
유입된 공기는 열매체를 이용한 열풍동작부(740)를 통해 열풍을 생성하여, 열풍배출구(730)을 통해 열풍보조배관(780)으로 공급된다.
열풍보조배관(780)으로 배출되는 열풍은 열풍배관(300)을 통해 히팅자켓(100)에 공급되고, 이를 통하여 개별열풍장치(700)가 부착되는 개별 가스실린더(200)가 가열되도록 구성된다.
도 7은 본 발명에 의한 히팅자켓이 장착되는 열풍공급시스템의 구성도이다.
도시된 바를 참조하면, 본 발명의 열풍공급시스템은 히팅자켓(100)이 각각 장착된 복수의 가스실린더(200)의 내부 가스를 동시에 가열하는 시스템이다.
열풍공급장치(600)는 A와 B 두개를 도시하였지만, 그 개수에 어떠한 한정을 두지는 않으며 당업자 입장에서 치환 변경이 가능할 것이다.
열풍공급장치A(600)와 열풍공급장치B(600)를 통해 발생된 열풍은 열풍배관(300)을 이동하게 되는데, 열풍은 크로스 오버박스(500)의 경유하여 매니폴드박스(400)로 나누어져 흘러가고, 매니폴드박스(400)에서 열풍이 분사되어 매니폴드박스(400)에 연결된 각각의 히팅자켓(100)으로 열풍이 공급되게 된다.
도시된 경계라인의 위험지역은 가연성 또는 독성가스가 포함된 지역으로서 전기 등의 점화원에 의해 폭발위험이 있는 지역을 의미하며, 일반적으로 비위험지역은 비활성가스 등만 있는 영역으로 폭발위험이 없는 지역을 의미하고 당업자의 필요에 따라 매니폴드 박스를 비위험지역에 설치 할수 있다.
매니폴드박스(400)의 경우 두개로 도시되어 있지만, 마찬가지로 개수에 어떠한 한정을 두지 않고 다양하게 변경가능하며, 매니폴드박스(400)에 열풍배관(300)을 통해 연결되는 히팅자켓(100)의 개수도 얼마든지 변경이 가능할 것이다.
이에, 히팅자켓(100)에 부착되어 있는 가스실린더(200)는 히팅자켓(100)에서 분사되는 열풍에 의해 가열되어 반도체 공정 등에 기화된 가스를 공급하게 된다.
도 8은 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 매니폴드 박스의 구성도이다.
도시된 바를 참조하면, 매니폴드박스(400)에서 다수의 열풍배관(300)을 통해 연결된 다수의 히팅자켓(100)으로 각각 열풍을 공급하게 되며, 열풍배관(300)에는 각각의 히팅자켓(100)으로 연결되는 열풍배관(300)별로 온도센서(410, TC1, TC2, TC3, TC4, TC5, TC6 등) 또는 온도게이지가 구성된다.
또한, 매니폴드박스(400)에서 각각의 히팅자켓(100)으로 연결된 열풍배관(300)별로 압력센서(420, PG1,PG2, PG3, PG4, PG5, PG6 등) 또는 압력게이지가 구성된다.
또한, 매니폴드박스(400)에는 열풍버퍼탱크(450)가 구성되며, 여기에도 열풍버퍼탱크(450)의 온도를 측정하기 위한 온도센서(430, Tc) 또는 온도게이지가 구성된다.
또한, 매니폴드박스(400)에는 열풍버퍼탱크(450)의 압력을 측정하기 위한 압력센서(440, PG) 또는 압력게이지가 구성된다.
매니폴드박스(400)에는 열풍버퍼탱크(450)의 압력이 설정압력 이상시 압력을 배출하기 위한 안전밸브(460)가 더 구성된다.
참고로, 열풍공급장치(600)에서 열풍을 매니폴드박스(400)으로 전달하는 열풍배관(300)에는 이를 자동 또는 수동으로 개폐할 수 있는 개폐조절밸브(310)가 구성된다.
도 9는 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 크로스 오버 박스의 구성도이다.
도시된 바를 참조하면, 크로스 오버박스(500)에는 두개의 열풍배관(300)을 각각 개폐제어하는 MV1 수동밸브(510)와 MV2 수동밸브(530)가 구성된다.
도시된 각각의 열풍배관(300)의 MV1 수동밸브(510)와 MV2 수동밸브(530)는 얼마든지 자동밸브타입으로 바꿀수 있으며, 각각의 열풍배관(300)라인에는 각각의 열풍배관(300)의 온도를 측정하는 온도센서(510, T1, T2) 또는 게이지가 구성된다.
또한, 평시의 열풍공급장치(600) A, B가 모두 정상상태에서는 잠궈진 중앙밸브로서, MV3 수동밸브(540)가 구성된다.
그리고, 크로스 오버박스(500)는 위험가스가 없는 비위험지역에 설치되는 것이 권장되며, 열풍의 온도가 손실이 되는 경우에 대비하여 열풍배관(300)에 실리콘 라인 히터(320)가 보완 설치될 수 있다.
열풍공급장치(600) A가 고장이나 열풍의 공급불가 사유가 발생시에 MV1 수동밸브(510)를 잠그고, MV3 수동밸브(540)를 오픈하여 열풍공급장치(600) B로부터 열풍공급장치(600) A에 열풍을 공급하여, 열풍공급장치(600) A가 공급하고자 하는 히팅자켓(100)의 열풍배관(300) 라인에 열풍을 공급하여 공정중단없이 운영할 수 있도록 구성된다.
반대 경우로, 열풍공급장치(600) B가 고장이나 열풍공급불가 사유가 발생시에 MV2 수동밸브(530)를 잠그고 MV3 수동밸브(540)를 오픈하여 열풍공급장치(600) A 로부터 열풍을 공급받아 열풍공급장치(600) B가 공급하고자 하는 히팅자켓(100)의 열풍배관(300) 라인에 열풍을 공급하여 공정의 중단없이 운영할 수 있도록 구성된다.
도 10은 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 열풍배관의 구성도이다.
도시된 바를 참조하면, 열풍배관(300)의 구성은 가능한 이중배관의 구조로 구성된다.
이중배관타입의 열풍배관(300)의 내부배관(300b)은 열풍을 공급하는 배관으로서 열손실이 가능한 적고 내열이 되도록 내열 플라스틱, 비철금속 등으로 구성되도록 한다.
또한, 열풍배관(300)의 외부배관(300a)은 충격이나 깨짐에 대하여 대비하도록 강도가 높은 엔지니어링 플라스틱이나 비철금속(알루미늄 등), 스테인레스 또는 탄소강으로 구성될 수 있다.
열풍배관(300)의 외부배관(300a)와 내부배관(300b)의 사이의 중간재(300c)는 단열재로서 발포재나 단열효과가 좋은 재료로 구성된다.
도 11은 본 발명에 의한 시스템에 포함되는 온도/압력센서를 통한 열풍공급장치의 동작상태도이다.
도시된 바처럼, 열풍공급장치(600)에는 열풍을 생성하기 위한 히팅부(630)가 구성된다.
먼저, 열풍공급장치(600)의 온도설정부(610)는 당업자가 가스특성과 공급유량에 근거하여 가스실린더(200)와 히팅자켓(100)의 온도를 설정하고, 가스 실린더 온도 센서(210) 및 히팅자켓 온도센서(190)를 통해 온도설정부(610)는 온도를 확인하게 된다.
온도설정부(610)에서 확인된 온도를 제어부(620)에서 검출하게 되면서 제어부(620)는 설정값 이하시 히팅부(630)를 가동시키게 된다.
제어부(620)에는 내부에 조작회로나 조작장치가 내장되어 있는 자동연산처리시스템이 포함되도록 구성된다.
히팅부(630)는 크로스 오버박스의 온도센서(510)와 매니폴드박스의 온도센서(410, 430)와 압력센서(420, 440)의 정보를 계속적으로 체크하면서 열풍을 생성하고, 열풍조절부(640)는 히팅부의 조작에 따라 공급되는 열풍의 강도를 조절하도록 구성된다.
도 12는 본 발명에 의한 열풍공급시스템의 작동 플로우 차트를 도시한 도면이다.
도시된 바는, 앞서 도7과 도9에서 기술된 시스템의 동작을 플로우 차트로 설명한 것이다.
앞서 기술한 바와 같이, 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B에서 공급되는 열풍은 크로스 오버박스(500)를 통해 상호보완적인 기능으로 제어되며, 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B중에서 어느 하나의 열풍공급장치가 고장 등이 발생하더라도 매니폴드박스(400)에 공급되는 열풍은 중단없이 공급되면서 복수의 가스실린더(200)에 장착된 각각의 히팅자켓(100) 모두에게 열풍공급이 원활하게 이루어지도록 구성되고 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 히팅자켓 110: 히팅바디
120: 연결고리 130: 잠금고리
140: 1차 열풍노즐부 150: 2차 열풍노즐부
140a: 열풍인입부 140b, 150b: 분사노즐
145: 연결튜브
160: 주름막 170: 지지브라켓
180: 공기배출구 190: 히팅자켓 온도센서
195: 바이메탈
200: 가스 실린더 210: 가스실린더 온도센서
300: 열풍배관 300a: 외부배관
300c: 중간재 300b: 내부배관
310: 개폐조절밸브
320: 실리콘라인히터
400: 매니폴드박스 450: 열풍버퍼탱크
500: 크로스 오버박스
600: 열풍공급장치 A, 열풍공급장치 B
700: 개별열풍장치

Claims (12)

  1. 가스실린더 내부의 액화가스를 기화가스로 변환시켜 가스공급장치를 통하여 반도체 등의 주공정장비에 공급하기 위하여, 가스실린더에 장착되어 온도를 상승시키는 히팅자켓을 가열하는 시스템에 있어서,
    열풍을 생성하는 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B;
    상기 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B에서 각각 발생되는 열풍을 개별 각각의 열풍배관(300)을 통해 공급받는 크로스 오버박스(500);
    상기 크로스 오버박스(500)에서 배출되는 열풍을 개별 열풍배관(300)을 통해 공급받는 복수의 매니폴드박스(400);
    상기 각각의 매니폴드박스(400)와 개별 열풍배관(300)으로 연결되어 상기 매니폴드박스(400)를 통해 분사되어 공급되는 열풍을 각각 공급받는 다수의 히팅자켓(100); 및
    상기 다수의 히팅자켓(100)에 각각 장착된 가스실린더(200);를 포함하여 동시에 상기 가스실린더를 가열하도록 구성되며,
    상기 크로스 오버박스(500)에는,
    상기 열풍을 생성하는 열풍공급장치 A와 열풍공급장치 B와 각각 연결되는 두개의 열풍배관(300)을 각각 개폐제어하는 MV1 수동밸브(510)와 MV2 수동밸브(530)와,
    상기 열풍공급장치 A, B의 각각의 열풍배관(300)을 연결하는 배관으로서 상기 열풍공급장치 A, B 모두가 정상상태에서는 잠궈진 상태로 구성된 MV3 수동밸브(540);가 구성되며,
    상기 열풍공급장치 A가 고장시에 상기 MV1 수동밸브(510)를 잠그고 상기 MV3 수동밸브(540)를 오픈하여, 상기 열풍공급장치 B로부터 열풍을 공급받아 상기 열풍공급장치A의 열풍배관(300)에 열풍을 공급하도록 구성되며,
    상기 열풍공급장치 B가 고장시에 상기 MV2 수동밸브(530)를 잠그고 상기 MV3 수동밸브(540)를 오픈하여, 상기 열풍공급장치 A로부터 열풍을 공급받아 상기 열풍공급장치 B의 열풍배관(300)에 열풍을 공급하도록 구성된 것을 특징으로 하는 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 열풍공급장치 A, B에서 각각 크로스 오버박스(500)로 연결되는 열풍배관(300)에는 열풍의 온도가 손실이 되는 경우에 대비하여 실리콘 라인 히터(320)가 보완 설치된 것을 특징으로 하는 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 열풍배관(300)은 이중배관의 구조로 구성되며,
    열풍배관(300)의 내부배관(300b)은 열풍을 공급하는 배관으로서 열손실이 가능한 적고 내열이 되도록 내열 플라스틱, 비철금속 등으로 구성되며,
    열풍배관(300)의 외부배관(300a)은 충격이나 깨짐에 대하여 대비하도록 엔지니어링 플라스틱이나 비철금속, 스테인레스 또는 탄소강으로 구성되며,
    열풍배관(300)의 외부배관(300a)와 내부배관(300b)의 사이의 중간재(300c)는 단열재로서 발포재로 구성된 것을 특징으로 하는 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 열풍공급장치A, B 각각에는,
    가스특성과 공급유량에 근거하여 가스실린더(200)와 히팅자켓(100)의 온도를 설정하고, 상기 가스 실린더 온도 센서(210) 및 히팅자켓 온도센서(190)를 통해 온도를 확인하는 온도설정부(610);
    상기 온도설정부(610)에서 설정된 온도를 검출하고 설정값 이하시 히팅부(630)를 가동시키는 제어부(620);
    크로스 오버박스의 온도센서(510)와 매니폴드박스의 온도센서(410, 430)와 압력센서(420, 440)의 정보를 계속적으로 체크하면서 열풍을 생성하는 히팅부(630); 및
    상기 히팅부(630)의 조작에 따라 공급되는 열풍의 강도를 조절하도록 구성된열풍조절부(640);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 매니폴드박스(400)에는,
    상기 크로스 오버박스(500)에서 배출되는 열풍을 열풍배관(300)을 통해 공급받는 열풍버퍼탱크(450)가 구성되며,
    상기 열풍버퍼탱크(450)의 온도를 측정하기 위한 온도센서(430) 및 압력을 측정하기 위한 압력센서(440)가 구성되며,
    상기 열풍버퍼탱크(450)에는 상기 열풍버퍼탱크(450)의 압력이 설정압력 이상시 압력을 배출하기 위한 안전밸브(460)가 더 구성된 것을 특징으로 하는 열풍을 이용하여 가스실린더를 가열하는 히팅자켓을 포함하는 열풍공급시스템.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102334567B1 (ko) * 2020-06-30 2021-12-06 (주)아이티원 가스 실린더 가열 장치

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11166697A (ja) * 1997-12-02 1999-06-22 Nippon Air Liquide Kk ガス容器用の加熱装置
KR20010073407A (ko) * 2000-01-14 2001-08-01 김재욱 반도체 제조용 가스 공급라인
KR20030066402A (ko) * 2002-02-01 2003-08-09 닛폰산소 가부시키가이샤 가스 공급 장치 및 방법
KR20100003641A (ko) 2008-07-01 2010-01-11 강홍구 가스탱크 온도유지장치
KR20160010304A (ko) 2014-07-18 2016-01-27 강홍구 히팅 유닛
KR20170026804A (ko) 2015-08-28 2017-03-09 박미언 반도체 공정의 기화용 가열장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11166697A (ja) * 1997-12-02 1999-06-22 Nippon Air Liquide Kk ガス容器用の加熱装置
KR20010073407A (ko) * 2000-01-14 2001-08-01 김재욱 반도체 제조용 가스 공급라인
KR20030066402A (ko) * 2002-02-01 2003-08-09 닛폰산소 가부시키가이샤 가스 공급 장치 및 방법
KR20100003641A (ko) 2008-07-01 2010-01-11 강홍구 가스탱크 온도유지장치
KR20160010304A (ko) 2014-07-18 2016-01-27 강홍구 히팅 유닛
KR20170026804A (ko) 2015-08-28 2017-03-09 박미언 반도체 공정의 기화용 가열장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102334567B1 (ko) * 2020-06-30 2021-12-06 (주)아이티원 가스 실린더 가열 장치

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