JPH11166697A - ガス容器用の加熱装置 - Google Patents
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- JPH11166697A JPH11166697A JP9332221A JP33222197A JPH11166697A JP H11166697 A JPH11166697 A JP H11166697A JP 9332221 A JP9332221 A JP 9332221A JP 33222197 A JP33222197 A JP 33222197A JP H11166697 A JPH11166697 A JP H11166697A
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Abstract
熱するための加熱装置を提供すること。 【解決手段】 本発明による加熱装置10は、第1及び
第2の空間34,36が内部に形成されている載置台1
4と、載置台の第1の空間に、加熱空気を供給するエア
ファンヒータ18とを備えている。載置台には、載置エ
リア内に、第1の空間に連通する第1の貫通孔42と、
第2の空間に連通する第2の貫通孔46とを形成し、且
つ、載置エリアの外側に、第2の空間に連通する第3の
貫通孔48を成したことを特徴とする。この構成におい
ては、載置台にガス容器12が載置されている場合、加
熱空気は第1の空間から第1の貫通孔を経てガス容器の
底面に吹き付けられ、熱はガス容器の底面から液化ガス
に効率よく伝えられる。
Description
れたガス容器を加熱するための加熱装置に関するもので
ある。
3、SiH2Cl2、BCl3、WF6等のガスが材料ガス
として使用される。これらのガスは、通常、ガスシリン
ダないしはガスボンベと称される可搬式のガス容器内に
液化ガスとして貯蔵され、それをガス容器内で蒸発させ
ながら気化ガスとしてガス消費先にパイピング供給す
る。このようなガス容器内の液化ガスを蒸発させながら
気化ガスとして供給する設備にあっては、液化ガスが気
化する際に奪われる気化熱に見合った熱をガス容器の外
部から供給されない限り、ガスを使用するに従って液化
ガス温度が時間と共に降下する。液化ガス温度が降下す
れば、温度の降下と共にその飽和蒸気圧も低下するた
め、最終的には供給圧力不足によってガス供給ができな
くなります。
当たりから供給できるガス流量を制限して使用するか、
その制限流量を越えて供給したいときには加熱装置をガ
ス容器に取り付けることによって液化ガスへ強制的に熱
の補給を行う方式を採っている。従来一般の加熱装置
は、ガス容器の側壁を囲む筒状のウォータジャケット
と、このウォータジャケット内に熱源である温水を流す
温水サーキュレータとから構成されている。
加熱装置は、熱をガス容器の側壁を介して内部に伝える
ものである。この方法では、液化ガスのみならず、その
上側に存在するガス(気相部分)にも熱が無駄に伝えら
れてしまう。また、側方からの熱では、液化ガスに生ず
る対流も局所的なものとなり、熱的な効率が悪いという
問題点がある。
水のサーキュレータは大型であり、取扱いや保守、管理
も手間がかかるという問題がある。
問題点を解決することのできるガス容器用の加熱装置を
提供することにある。
に、本発明による加熱装置は、ガス容器が載置されるべ
き載置エリアを有し、且つ、互いに独立した第1及び第
2の空間が内部に形成されている載置台と、載置台の第
1の空間に、加熱された空気(加熱空気)を供給する加
熱空気供給手段とを備え、載置台には、載置エリア内
に、第1の空間に連通する第1の貫通孔と、第2の空間
に連通する第2の貫通孔とを形成し、且つ、載置エリア
の外側に、第2の空間に連通する第3の貫通孔を形成し
たことを特徴としている。
アにガス容器が載置されている場合、加熱空気供給手段
から送られてきた加熱空気は、第1の空間から第1の貫
通孔を経てガス容器の底面に吹き付けられる。ガス容器
は圧力容器であり、底面は半球状となっているため、加
熱空気を積極的に吹き付けることで、加熱空気の熱はガ
ス容器の底面から液化ガスに効率よく伝えられる。この
加熱空気は、その後、ガス容器の底面と載置台の上面と
で囲まれる空間から第2の貫通孔を経て、第2の空間に
送られ、再度、第3の貫通孔から載置台の外部に導出さ
れる。
には、ガス容器の側壁外面に沿って流し、熱をガス容器
の側壁から液化ガスに伝えることが、より効果的であ
る。このために、載置エリアに載置されたガス容器の側
壁外面を間隙をもって取り囲む包囲体を設け、この間隙
に第3の貫通孔から導出された加熱空気を供給すること
が好適である。
実施形態について詳細に説明するが、図中、同一又は相
当部分には同一符号を付することとする。
視図である。図示の加熱装置10は、基本的には、ガス
容器12が載置される載置台14と、この載置台14に
取り付けられ、ガス容器12を取り囲む包囲体16と、
加熱空気を載置台14内に供給するエアファンヒータ
(加熱空気供給手段)18とから構成されている。
に、円形の凹部20が形成された下板22と、この下板
22の凹部20に配置された中間部材24と、下板22
の上面であって前記凹部20を覆うように配置され固定
された円形の上板26とを備えている。図示しないが、
これらの構成要素は、ボルト・ナット、リベット或は接
着剤等の適当な締結手段により互いに組み付けられてい
る。
れる円板部分28と、この円板部分28の外周面から外
方に、互いに平行に延びる1対の平板部分30,30と
から成り、円板部分28には中心まで延びる切欠き32
が形成されている。切欠き32は平板部分30,30間
の間隙と一直線に整列されている。中間部材24は、載
置台の組立完成状態では、図4に示すように、その上面
と下面がそれぞれ上板26の下面及び下板22の凹部2
0の底面に接し、また、平板部分30,30の端面は凹
部20の内周面に接する。この結果、凹部20には、中
間部材24の内側に位置する第1の空間34と、外側に
位置する第2の空間36とが形成されることになる。
に延びて第1の空間34に連通する貫通孔38が形成さ
れている。この貫通孔38には、エアファンヒータ18
からの配管40が接続されるようになっている。
円形部分28と同心に配置される。上板26の中心には
貫通孔(第1の貫通孔)42が形成されており、従っ
て、この貫通孔42は中間部材24の円形部分28内に
形成された第1の空間34に連通するようになってい
る。
12を載置すべき載置エリア44となっており、図3に
その境界線を二点鎖線で示す。この載置エリア44の直
径は、適用されるガス容器12の最大外径に相当するも
のである。この載置エリア44内において、上板26に
は複数の貫通孔(第2の貫通孔)46が形成されてい
る。これらの貫通孔46は中心の貫通孔42から等距離
で配置されており、その距離は、中間部材24の円形部
分28の半径よりも若干長い距離とされている。従っ
て、これらの貫通孔46は載置台14内の第2空間36
と連通することとなる。更に、上板26には、載置エリ
ア44よりも外側の部分に、第2の空間36と連通する
複数の貫通孔(第3の貫通孔)48が形成されている。
これらの貫通孔48も貫通孔42から等距離で配置され
ており、好ましくは周方向において互いに等間隔に配置
されている。
持するための補強部材を第2の空間36内に配置するこ
とが好適である。
体である。図示の包囲体16はその内径が載置台14の
上板26の外径とほぼ等しく、従って、外板26の外周
面に倣って位置決めすることが可能となっている。この
包囲体16は、周方向に4分割されており、第1部分5
0と第2部分52、第2部分52と第3部分54、第3
部分54と第4部分56が、それぞれ、互いにヒンジ結
合されている。また、第2部分52の下端部は、その内
面を載置台14の上板26の外周面に当接させた状態
で、下板22の上面に固定されている。かかる構成にお
いては、包囲体16の第2部分52の両側のヒンジ58
を中心として第1部分50、第3部分54及び第4部分
56を開閉することができ、側方からガス容器12を載
置台14上に載置することができる。ガス容器12の載
置後は、包囲体16を円筒状にし、第1部分50と第4
部分56とを適当なロック手段60で固定すればよい。
のエアファン62と、エアファン62からの空気を加熱
するための電気抵抗式のヒータ64とから成る周知構造
である。
装置10の作用について次に説明する。
リア44に正しく載せ、包囲体16を閉じたならば、エ
アファンヒータ18を作動させて、高温の加熱空気を配
管40を経て載置台14内の第1の空間34に導入す
る。ガス容器12の底面は、図4の二点鎖線で概略的に
示すように、半球状の凹面となっているため、載置台1
4の上板26との間で空間66が形成される。従って、
第1の空間34に導入された加熱空気は貫通孔42を通
って空間66内に入る。空間66内に導入された加熱空
気の熱は、ガス容器12の底面全面から、ガス容器12
内の液化ガスに伝えられる。このように下側から熱が加
えられた場合には、液化ガスに大きな対流が生じ、熱が
液化ガス全体に効率よく伝えられることになる。
は、空間66から貫通孔46を通って載置台14内の第
2の空間36に送られる。そして、この加熱空気は外周
部の貫通孔48を経て、包囲体16とガス容器12との
間に形成される環状の間隙68に導入される。加熱空気
の流量或はエアファンヒータ18により与えられる初期
温度を適宜調整することで、ガス容器12の底面に熱を
与えた後の加熱空気の温度を、雰囲気の温度よりも高く
することができる。従って、加熱空気が包囲体16の内
側を流通すると、加熱空気に残存している熱エネルギが
ガス容器12の側壁から内部の液化ガスに伝えられ、熱
を有効に利用することが可能となる。包囲体16の内側
を流通した空気は、その後、包囲体16の上部から大気
中に放散される。
細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない
ことはいうまでもない。例えば、載置台14の内部構造
や貫通孔42,46,48の数量等は適宜変更可能であ
る。また、加熱空気を供給する手段も図示のエアファン
ヒータ18に限られない。
底面に吹き付ける構成となっているため、図5に示すよ
うな、底面が半球状の凸面であり、縦置きするためのス
カート70を有する形態、その他の形態のものにも適用
可能である。
ス容器内に封入された液化ガスを効率よく加熱すること
ができる。従って、使用につれてガス供給圧力が著しく
低下するような問題がなくなる。
空気を用いているが、空気の取扱いは容易であり、従っ
て、装置のコストや保守、管理の手間の低減を図ること
が可能となる。
図である。
図である。
装置の下部を示す図である。
器を示す断面図である。
…包囲体、18…エアファンタ(加熱空気供給手段)、
34…第1の空間、36…第2の空間、42…第1の貫
通孔、44…載置エリア、46…第2の貫通孔、48…
第3の貫通孔、68…間隙。
Claims (2)
- 【請求項1】 ガス容器内に貯蔵された液化ガスを加熱
するための加熱装置であって、 ガス容器が載置されるべき載置エリアを有し、且つ、互
いに独立した第1及び第2の空間が内部に形成されてい
る載置台と、 前記載置台の前記第1の空間に加熱空気を供給する加熱
空気供給手段と、を備え、 前記載置台には、前記載置エリア内に、前記第1の空間
に連通する第1の貫通孔と、前記第2の空間に連通する
第2の貫通孔とが形成され、且つ、前記載置エリアの外
側に、前記第2の空間に連通する第3の貫通孔が形成さ
れており、 前記載置台の前記載置エリアにガス容器が載置されてい
る場合に、前記加熱空気が、前記第1の空間から前記第
1の貫通孔を経て前記ガス容器の底面に吹き付けられた
後、前記第2の貫通孔を経て前記第2の空間に導入さ
れ、再度、前記第3の貫通孔から前記載置台の外部に導
出されるようになっていることを特徴とするガス容器用
の加熱装置。 - 【請求項2】 前記載置エリアに載置されたガス容器の
側壁外面を間隙をもって取り囲み、前記間隙に前記第3
の貫通孔から導出された前記加熱空気が供給されるよう
構成された包囲体を更に備えることを特徴とする請求項
1に記載のガス容器用の加熱装置。
Priority Applications (2)
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JP33222197A JP3892958B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ガス容器用の加熱装置 |
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JPH11166697A true JPH11166697A (ja) | 1999-06-22 |
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ID=18252535
Family Applications (1)
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JP33222197A Expired - Fee Related JP3892958B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ガス容器用の加熱装置 |
Country Status (2)
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JP (1) | JP3892958B2 (ja) |
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