JPH1126564A

JPH1126564A - 静電チャック

Info

Publication number: JPH1126564A
Application number: JP18281497A
Authority: JP
Inventors: Shinya Nishimoto; 伸也西本
Original assignee: Sumitomo Metal Industries Ltd
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1997-07-08
Filing date: 1997-07-08
Publication date: 1999-01-29

Abstract

(57)【要約】【課題】冷却効率が低下せずに試料台に温度勾配が生
じない静電チャック。【解決手段】静電チャック１０は導電体からなる試料
台１１とその下側の冷却体と試料台１の表面を覆う絶縁
膜とで構成されている。冷媒は、静電チャック底部の導
入口から導入され、冷却体を構成する流路形成層内を順
に上方向に通流して流入孔１３ａ，１３ａ…から冷却室
１２ａ内へ流れ込む。試料台１１に接触した冷媒は最も
近い流出孔から冷却室外へ流出し、冷却室内に長く留ま
らないので、試料台１１の冷却効率が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板に処理
を施す半導体製造装置内で試料を固定する治具として用
いられる静電チャックに関する。

【０００２】

【従来の技術】ドライエッチング工程，薄膜形成工程等
の半導体製造過程において、半導体基板等の試料を固定
する治具として静電チャックが用いられる。静電チャッ
クは、導電体と導電体の表面に被覆した絶縁膜とで構成
されており、載置された試料と導電体との間に直流電圧
を印加し、試料を静電チャック上に吸着保持するもので
ある。

【０００３】溶射タイプの静電チャックは、アルミニウ
ムのような導電体を所定形状に成形した後、アルミナ
（Ａｌ₂Ｏ₃）を原料とするセラミック粉末を導電体の
表面に溶射し、絶縁膜を導電体の表面に被覆して製造さ
れる。導電体は、内部に冷媒が通流するための溝状の流
路が削成された冷却体と、その上部にある試料を載置す
るための冷却板（試料台）と、その底部にある冷媒の導
入口及び排出口を有する蓋板とを備えて構成されてい
る。冷媒を導入口から冷却体内に導入し、冷却体の内部
に冷媒を通流せしめて冷却板（試料台）を冷却すること
により試料の温度を制御するようになっている。

【０００４】このような構造の静電チャック上に固定さ
れた試料の温度制御については従来から重要視されてお
り、試料の温度分布の均一性，冷却効率等の課題を解決
すべく、種々の提案がなされている。図６は、従来の静
電チャックの蓋板の構造を示す斜視図である。図に示す
ように、蓋板３１は円板形状を有しており、冷媒を導
入，排出するための導入口３１ａ及び排出口３１ｂが所
定長離隔して形成されている。導入口３１ａから導入さ
れた冷媒は、矢符に示す如く、冷却体内に形成された流
路（図示せず）を排出口３１ｂ側へ流れ、排出口３１ｂ
から排出される。このとき冷却板が冷却されるが、冷却
板の導入口３１ａに近い側と排出口３１ｂに近い側とで
温度勾配が生じる。これにより試料の温度分布が不均一
となり、その結果、半導体基板にレジスト焼けが生じた
り、エッチング形状が不均一であったり、エッチングレ
ートが不均一になるという問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】これを解決するため
に、冷却体内での冷媒の一方通流化をなくすような溝状
の流路を形成した静電チャックが提案されている（特開
平３−108737号公報，特開平７−263528号公報）。図７
は、このタイプの静電チャックの蓋板の構造を示す斜視
図であり、図８はその冷却体内の構造を示す断面図であ
る。図７の矢符に示す如く、冷媒が導入口４１ａ側から
排出口４１ｂ側へ、またその逆方向へ連続して通流する
ような流路４２が形成されている。これにより、冷却板
４３の温度勾配を低減することができる。

【０００６】しかしながら、図７及び図８に示す如き構
造の静電チャックは、冷却板４３の温度分布は均一にな
るが、流路が入り組んでいるために、温度差を有する冷
媒の流路間での熱交換が行なわれ、冷却効率が悪いとい
う問題があった。また、流路が複雑なために冷媒のよど
みが生じた場合には、冷却効率がさらに悪化する。

【０００７】冷却効率の悪化を防止できる静電チャック
として、冷媒の熱交換率を小さくし、冷却板を局所的に
冷却可能な構造が特開平１−152639号公報にて提案され
ている。この静電チャックは、冷却体への導入口を複数
備えており、夫々の導入口から導入される冷媒の温度，
流量等を調整することにより、冷却板を局所的に温度制
御することができる。この構造により、高い冷却効率で
冷却板の温度を制御できる。しかしながら、冷却体内に
導入された冷媒は、冷却体の外周側にある排出口から排
出されるようになっているので、冷媒は冷却板に接触し
つつ排出口まで流れる。これにより、冷却板に温度勾配
が生じて試料の温度分布の均一化を図ることができない
という問題があった。

【０００８】また、近年半導体基板の大型化が進んでお
り、図７及び図８に示すような流路を形成した静電チャ
ックであっても、本来は流路方向に温度分布が存在する
ため、大型の試料に対しては温度分布の均一化が図りき
れないという問題があった。

【０００９】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、試料台に対向する位置に複数の流入孔及び流
出孔を有した、試料台に臨む冷却室を備えることによ
り、冷却効率を低下させずに、試料台に温度勾配を生ぜ
しめない静電チャックを提供することを目的とする。ま
た、冷却室の流入孔及び流出孔に連なる流路を、試料台
に交わる方向に設けることにより、流路間の熱交換率の
増大を防止し、大型の試料の温度分布の均一化を図り得
る静電チャックを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】第１発明に係る静電チャ
ックは、試料を吸着保持する試料台を冷却すべく、該試
料台に連設された冷却体内に導入された冷媒が、前記冷
却体内に形成された流路を通流した後、前記冷却体外に
排出される静電チャックにおいて、前記冷却体は前記試
料台の一面に臨む冷却室を備え、該冷却室の前記試料台
に対向する面に、前記流路に連なる複数の流入孔と少な
くとも１つの流出孔とを形成してあることを特徴とす
る。

【００１１】第１発明にあっては、冷媒は試料台に対向
する複数の流入孔から冷却室内に流入して試料台を冷却
した後、試料台の対向面に形成された流出孔から流出さ
れるので、冷却室内で冷媒が長く留まることがなく、冷
却効率を向上させる。また、冷媒が試料台の冷却面に均
一に接触するように複数の流入孔の形成位置を決定する
ことにより、試料台に温度勾配が生じず、試料の温度分
布の均一化が図られる。

【００１２】第２発明に係る静電チャックは、試料を吸
着保持する試料台を冷却すべく、該試料台に連設された
冷却体内に導入口から導入された冷媒が、前記冷却体内
に形成された流路を通流した後、排出口を経て排出され
る静電チャックにおいて、前記冷却体は、前記試料台の
一面に臨み、前記流路に連なる流入孔及び流出孔を前記
試料台の対向面に有する冷却室を備え、前記流路は、前
記導入口から前記流入孔への冷媒の通流と、前記流出孔
から前記排出口への冷媒の通流とを、前記試料台の前記
一面に交わる方向になすべく形成してあることを特徴と
する。

【００１３】第２発明にあっては、冷媒は試料台に対向
する流入孔から冷却室内に流入して試料台を冷却した
後、試料台の対向面に形成された流出孔から流出される
ので、冷却室内で冷媒が長く留まることがなく、冷却効
率を向上させる。また、導入口から冷却室内まで及び冷
却室から排出口までを、試料台の面に交わる方向に冷媒
が流れるので流路間の熱交換率が小さい。

【００１４】第３発明に係る静電チャックは、第２発明
において、前記流入孔は、その複数を同一面上に形成し
てあることを特徴とする。

【００１５】第３発明にあっては、冷却室内で冷媒が長
く留まることがなく、冷却効率を向上させ、また複数の
流入孔の形成位置により試料台に温度勾配が生じず、試
料の温度分布の均一化が図られる。さらに、導入口から
冷却室内まで及び冷却室から排出口までを冷媒が試料台
の面に交わる方向に流れるので、流路間の熱交換率が小
さい。

【００１６】第４発明に係る静電チャックは、第１発明
乃至第３発明のいずれかにおいて、前記試料台の対向面
は、略中央から放射状に位置する複数の前記流出孔と、
該流出孔よりも小さい寸法を有し、隣合う前記流出孔の
間に位置する複数の前記流入孔とを形成してあることを
特徴とする。

【００１７】第４発明にあっては、隣合う流出孔の間に
流入孔が夫々形成されている、即ち、冷媒の冷却室への
入口と出口とが近い位置にあるので、冷却室内で冷媒が
長く留まることがなく、冷却効率が向上する。また、複
数の流入孔及び流出孔が放射状に形成されているので、
試料台を均一に冷却でき、試料の温度分布が均一化され
る。

【００１８】第５発明に係る静電チャックは、第１発明
乃至第４発明のいずれかにおいて、前記冷却体は、冷媒
の流路を形成する孔を有する流路形成層の複数を積層し
て構成してあることを特徴とする。

【００１９】第５発明にあっては、冷却体を構成する流
路形成層の夫々は、媒体の流路のための孔を容易に形成
することができるので、これらの層を積層することによ
り、試料台の面に交わる方向の流路を容易に作成でき
る。また流路形成層は、例えば、冷却室を構成する層、
流入孔からの冷媒の流量を調整するための層、流入側及
び流出側の流路を仕切るための層、及び冷媒の導入口及
び排出口を形成する層等により構成されており、所望の
流路を形成することができる。

【００２０】第６発明に係る静電チャックは、第１発明
乃至第５発明のいずれかにおいて、前記冷却体は、前記
試料台よりも低い熱伝導性を有することを特徴とする。

【００２１】第６発明にあっては、冷却体の熱伝導性が
試料台よりも低いことにより、冷媒が導入口から冷却室
までの流路及び冷却室から排出口までの流路を通流する
間で、流路間の熱交換率を小さくできる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態を
示す図面に基づき具体的に説明する。図１は、本発明の
静電チャックを備えるプラズマ装置の構成を示す断面図
である。図中１は反応容器であり、試料を載置して反応
処理する反応室２ａと、その上方でプラズマを生成する
プラズマ生成室２ｂとを形成している。プラズマ生成室
２ｂは中空の円筒形に形成されており、上部壁中央には
導波管４の一端がマイクロ波導入窓３を介して接続さ
れ、導波管４の他端には図示しないマイクロ波発振器が
接続されている。プラズマ生成室２ｂの周囲には、プラ
ズマ生成室２ｂ及び導波管４の一端部にわたってこれら
を囲む態様で、プラズマ生成室２ｂと同心状に励磁コイ
ル５が配設されている。プラズマ生成室２ｂには第１の
ガス供給系６が設けられ、反応室２ａには第２のガス供
給系７が設けられている。また、反応室２ａの下部壁に
は図示しない排気装置を接続した排気口８が開口されて
いる。

【００２３】反応室２ａの底部には、本発明に係る静電
チャック１０がマイクロ波導入窓３に対向する位置に配
設されている。静電チャック１０は導電体からなる試料
台１１とその下側に着設された冷却体と、試料台１の表
面を覆う絶縁膜とで構成されており、試料台１１上に例
えばウエハのような試料Ｗが載置される。静電チャック
１０には直流電源９が接続されており、プラズマを発生
させながら静電チャック１０に直流電圧を印加すること
により、試料Ｗは静電チャック１０上に吸着保持される
ようになっている。なお、試料台１１を覆う絶縁膜、試
料Ｗを試料台１１上に載置する際に使用されるリフター
ピン及び冷却体に接続された冷媒の冷却装置は、図では
省略している。また、試料台１１を覆う絶縁膜は試料台
１１と冷却体とを覆うように形成してあっても良い。

【００２４】このような構成のプラズマ処理装置にあっ
ては、プラズマ生成室２ｂ及び反応室２ａ内を所定の圧
力に設定した後、励磁コイル５にて磁界を形成しつつマ
イクロ波導入窓３を通じてプラズマ生成室２ｂ内にマイ
クロ波を供給し、プラズマを発生させる。生成したプラ
ズマは反応室２ａ内に導入され、試料台１１上に投射さ
れて試料Ｗにプラズマ処理が施される。このとき、試料
Ｗの温度が上昇するのを防ぐために静電チャック１０の
試料台１１が冷却され、試料Ｗの温度制御がなされる。

【００２５】図２は、この静電チャック１０の試料台１
１及び冷却体の構成を示す分解斜視図である。図中、冷
媒の通流経路を矢符で示している。試料台１１は熱伝導
性が比較的高いアルミニウム製であり、円板形状を有し
ている。図に示すように、試料台１１の下側に形成され
た冷却体は複数の流路形成層を積層して構成されてい
る。各流路形成層は所定の厚みを有する同径寸法の円板
形状で、アルミニウムとＳｉＣとの複合材料を用いて形
成されており、各層に所定のパターン、即ち冷媒の通流
のための貫通孔が形成されている。以下に各流路形成層
について説明する。

【００２６】試料台１１の下層には第１のスペーサ１２
が、その下側には第１の流路形成層（冷却層）１３が積
層される。スペーサ１２は円環形状を有しており、試料
台１１及び冷却層１３と共に冷却室１２ａを形成してい
る。冷却室１２ａはスペーサ１２の厚み分の高さを有す
る。冷却層１３には、冷媒が冷却室１２ａへ流入出する
ための複数の流入孔１３ａ，１３ａ…と複数の流出孔１
３ｂ，１３ｂ…とが、スペーサ１２の当接により孔が閉
塞されない領域に形成されている。

【００２７】流入孔１３ａは平面視で略円形状を有し、
冷却層１３には中央に位置する１つの流入孔１３ａと、
中央から放射状に位置する８列の流入孔列１３Ａとが形
成されている。流入孔列１３Ａは、冷却層１３の径方向
に並ぶ複数（５つ）の流入孔１３ａを有している。流入
孔列１３Ａの中央側の流入孔１３ａは、冷却層１３の中
央に設けた流入孔１３ａよりも小さな径寸法を有し、流
入孔列１３Ａの外周側ほど大きな径寸法を有している。
このような流入孔１３ａの配置により、冷媒が試料台１
１に均一に接触する。また、８つの流出孔１３ｂ，１３
ｂ…が、隣合う流入孔列１３Ａ，１３Ａ…の間に夫々形
成されている。流出孔１３ｂは、外周側が中央側よりも
大きな径寸法を有する長円形状であり、流入孔１３ａよ
りも大きな寸法を有している。流出孔１３ｂが流入孔１
３ａよりも大きく、流入孔１３ａの近傍に形成してある
ことにより、冷却室１２ａからの冷媒の流出が短時間で
スムーズに行なわれ、冷却効率が高まる。

【００２８】冷却層１３の下層には第２の流路形成層
（流量調整層）１４が積層される。流量調整層１４に
は、冷媒が全ての流入孔１３ａ，１３ａ…へ到達するた
めの形抜き孔１４ａと、流出孔１３ｂ，１３ｂ…と夫々
連通する流出孔１４ｂ，１４ｂ…とが形成されている。
形抜き孔１４ａは、冷却層１３の流入孔１３ａ，１３ａ
…の全てを連続させたような形状、即ち８本手のアステ
リスク形状を有し、冷却層１３と流量調整層１４とを重
ね合わせたときに形抜き孔１４ａが流入孔１３ａ，１３
ａ…の全てに連通するように形成されている。この形抜
き孔１４ａにより、冷却層１３の流入孔１３ａ，１３ａ
…夫々に流れ込む冷媒の流量が一定となる。また、流出
孔１４ｂ，１４…は、冷却層１３の流出孔１３ｂ，１３
ｂ…と同形状及び同寸法を有し、冷却層１３と流量調整
層１４とを重ね合わせたときに、夫々が重なる位置に形
成されている。

【００２９】流量調整層１４の下層には第３の流路形成
層（仕切り層）１５が積層される。仕切り層１５には、
冷媒を冷却室１２ａへ流入するための流路と、冷媒を冷
却体から排出するための流路とを各別に仕切るための１
つの流入口１５ａと複数の流出孔１５ｂ，１５ｂ…とが
形成されている。導入口１５ａは仕切り層１５の中央に
所定の径寸法で形成されており、流出孔１５ｂ，１５ｂ
…は流量調整層１４の流出孔１４ｂ，１４ｂ…と同形状
及び同寸法を有している。流量調整層１４と仕切り層１
５とを重ね合わせたときに、導入口１５ａは流量調整層
１４の形抜き孔１４ａの中央部分と連通し、流出孔１５
ｂ，１５ｂ…は流量調整層１４の流出孔１４ｂ，１４ｂ
…と重なる位置に形成されている。

【００３０】仕切り層１５の下層には第２のスペーサ１
６が、その下側には第４の流路形成層（導入排出層）１
７が積層される。スペーサ１６は円環形状を有してお
り、仕切り層１５と導入排出層１７と共に排出溜め室１
６ａを形成している。導入排出層１７には、冷媒を冷却
体へ導入するための導入口１７ａが中央に、排出溜め室
１６ａ内の冷媒を冷却体から排出する２つの排出口１７
ｂ，１７ｂが導入口１７ａの両側に形成されている。導
入口１７ａは導入排出層１７の中央に所定の径寸法で形
成されており、導入口１７ａの周囲には第２のスペーサ
１６の厚みと同寸法の高さを有する管壁が突設されてい
る。これにより、仕切り層１５、第２のスペーサ１６及
び導入排出層１７を重ね合わせたときに、導入口１７ａ
から導入された冷媒は排出溜め室１６ａに混入すること
なく、直接、仕切り層１５の流入口１５ａに通流され
る。また排出溜め室１６ａ内の冷媒は、排出口１７ｂ，
１７ｂから排出される。

【００３１】なお、実際の第１及び第２のスペーサ１
２，１６は、冷却体の変形を防止し、その剛性を高める
ために梁を設けた形状を有しているが、ここでは省略し
て説明している。

【００３２】以上の如き構成の試料台１１及び流路形成
層を用いた静電チャック１０を製造する際には、流路形
成層のパターンの位置合わせを行ない、各層の両面をろ
う付けにより貼り合わせる。その後、試料台１１の表
面、又は試料台１１及び冷却体の表面にセラミック粉末
を溶射して絶縁膜を被覆する。

【００３３】このように製造された静電チャック１０の
冷却体内での冷媒の通流状態を以下に説明する。図３は
静電チャック１０の平面図であり、冷却層１３の流入孔
１３ａ及び流出孔１３ｂを破線で示し、冷却室１２ａ内
での冷媒の流れ状態を矢符で示している。図４は図３の
IV−IV線から見た静電チャックの縦断面図であり、冷媒
の導入口１７ａから冷却室１２ａまでの通流経路を矢符
で示している。また、図５は図３のＶ−Ｖ線から見た静
電チャックの縦断面図であり、冷媒の冷却室１２ａから
排出口１７ｂまでの通流経路を矢符で示している。

【００３４】図２及び図４に示すように、静電チャック
底部の導入口１７ａから導入された冷媒は、上方向に通
流して流量調整層１４の形抜き孔１４ａに到達する。こ
こで、冷媒は形抜き孔１４ａの形状に沿って面内を中央
から外周側に向かって流れつつ、上層の冷却層１３の複
数の流入孔１３ａ，１３ａ…から冷却室１２ａ内へ流れ
込む。このとき、冷媒は試料台１１の裏面に略垂直に接
触する。図３に示すように、試料台１１に接触した冷媒
は最も近い流出孔１３ｂから流れ出る。このように、試
料台１１に対向する冷却層１３に複数の流入孔１３ａと
流出孔１３ｂとが形成されているので、冷却室１２ａ内
での流れ距離が短い。

【００３５】このように、試料台１１に接触して温度が
上昇した冷媒は直ちに冷却室１２ａから流出されるの
で、試料台１１の冷却効率が向上する。また、試料台１
１の面のいずれの領域にも冷却室１２ａに流入された直
後の冷媒が接触するので、試料台１１に温度勾配が生じ
ない。

【００３６】そして、流出孔１３ｂから流れ出た冷媒
は、図２及び図５に示すように、流出孔１３ｂ，１４
ｂ，１５ｂを下方向に通流して排出溜め室１６ａに溜ま
り、排出口１７ｂから排出される。このように、冷却体
内の冷媒の通流経路は上下方向、即ち試料台１１の面内
方向に垂直な方向であるので、流路間の熱交換率が小さ
い。

【００３７】また、上述した実施の形態の静電チャック
では、試料台１１よりも流路形成層の方が熱伝導率が小
さいので、冷却室１２ａに流入されるまでの冷媒と流路
形成層との熱交換が小さく、冷媒の熱交換は主に試料台
１１との間で行なわれる。即ち、冷却体を多層構造とし
ても試料台１１を効率良く冷却できる。

【００３８】以上のように本実施の形態の静電チャック
は、冷却効率を低下させることなく、試料台を均一に冷
却し、試料Ｗの温度分布を均一に制御できる構造を有し
ている。また、冷却効率が良いので、冷媒の温度を必要
以上に低くしなくても良く、使用可能な冷媒の種類が多
くなると共に、従来よりも冷媒の流量を低くでき、冷却
装置（チラー）等の低コスト化を実現できる。さらに、
冷却体を積層構造にしてあるので、複雑な流路の形成を
容易に行なえる。

【００３９】なお、上述した実施の形態では、試料台に
アルミニウム、冷却体にアルミニウムとＳｉＣとの複合
材料を用いた場合を説明しているが、これに限るもので
はない。

【００４０】また、上述した実施の形態では、冷却体を
構成する流路形成層に夫々のパターンを形成した例を説
明しているが、上述した形状に限るものではない。

【００４１】

【発明の効果】以上の如く、本発明においては、冷却室
内での冷媒の流れ距離が短いので冷却効率が向上し、ま
た試料台の裏面のどの領域にも均一に冷媒が接触するの
で、大型の試料台であっても温度勾配が生じることがな
い。さらに、冷却室の流入孔及び流出孔に連なる流路を
試料台の裏面に交わる方向に形成し、また冷却体を熱伝
導率の比較的小さい材質で構成しているので、流路間の
熱交換率が小さくなる。従って、冷却効率が低下するこ
となく試料の温度分布の均一化が図られ、これにより試
料のレジスト焼けをなくし、エッチング形状及びエッチ
ングレートが均一になる等、本発明優れた効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の静電チャックを備えるプラズマ装置の
構成を示す断面図である。

【図２】図１の静電チャックの試料台及び冷却体の構成
を示す分解斜視図である。

【図３】図１の静電チャックの平面図である。

【図４】図３のIV−IV線から見た静電チャックの縦断面
図である。

【図５】図３のＶ−Ｖ線から見た静電チャックの縦断面
図である。

【図６】従来の静電チャックの蓋板の構造を示す斜視図
である。

【図７】従来の他の静電チャックの蓋板の構造を示す斜
視図である。

【図８】図７の静電チャックの冷却体内の構造を示す断
面図である。

【符号の説明】

１０静電チャック１１試料台１２ａ冷却室１３第１の流路形成層１３ａ流入孔１３ｂ，１４ｂ，１５ｂ流出孔１４第２の流路形成層１４ａ形抜き孔１５ａ，１７ａ導入口１５第３の流路形成層１７第４の流路形成層１７ｂ排出口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料を吸着保持する試料台を冷却すべ
く、該試料台に連設された冷却体内に導入された冷媒
が、前記冷却体内に形成された流路を通流した後、排出
される静電チャックにおいて、前記冷却体は前記試料台の一面に臨む冷却室を備え、該
冷却室の前記試料台に対向する面に、前記流路に連なる
複数の流入孔と少なくとも１つの流出孔とを形成してあ
ることを特徴とする静電チャック。
【請求項２】試料を吸着保持する試料台を冷却すべ
く、該試料台に連設された冷却体内に導入口から導入さ
れた冷媒が、前記冷却体内に形成された流路を通流した
後、排出口を経て排出される静電チャックにおいて、前記冷却体は、前記試料台の一面に臨み、前記流路に連
なる流入孔及び流出孔を前記試料台の対向面に有する冷
却室を備え、前記流路は、前記導入口から前記流入孔へ
の冷媒の通流と、前記流出孔から前記排出口への冷媒の
通流とを、前記試料台の前記一面に交わる方向になすべ
く形成してあることを特徴とする静電チャック。
【請求項３】前記流入孔は、その複数を前記対向面に
形成してある請求項２記載の静電チャック。
【請求項４】前記試料台の対向面は、略中央から放射
状に位置する複数の前記流出孔と、該流出孔よりも小さ
い寸法を有し、隣合う前記流出孔の間に位置する複数の
前記流入孔とを形成してある請求項１乃至３のいずれか
に記載の静電チャック。
【請求項５】前記冷却体は、前記流路を形成する孔を
有する流路形成層の複数を積層して構成してある請求項
１乃至４のいずれかに記載の静電チャック。
【請求項６】前記冷却体は、前記試料台よりも低い熱
伝導性を有する請求項１乃至５のいずれかに記載の静電
チャック。