JPH0525099U - ガス供給装置 - Google Patents

ガス供給装置

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Abstract

(57)【要約】 【目的】日常管理を簡単にし、施工コストを安価にす
る。 【構成】大気圧以下の蒸気圧の液化ガスを貯えるボンベ
１と長い配管７との間にマスフローコントローラ４ａを
接続し、バルブ及びマスフローコントローラ４ａを含
み、接続する配管を加熱するヒータ１３ａを設け、圧力
の低い温度の高いガスを長い配管７を介して真空容器９
に供給し、配管７内でのガスの液化を防止している。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、ガス供給装置に関し、特に真空排気された真空容器に大気圧より蒸 気圧の低いガスを供給するガス供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は従来の一例におけるガス供給装置を説明するための配管系統図である。 従来のガス供給装置は、図３に示すように、ガスが充填されるボンベ１と、ガス の供給・遮断を行う元バルブ２と、真空装置９と接続する配管７と、配管７及び 元バルブ７を加熱するヒータ１３とを有していた。そして、このガス供給装置６ は、真空装置９における所定の圧力，例えば、０．０５気圧に減圧された真空容 器１０にマスフローコントローラ４を介してガスを供給している。
【０００３】 また、この真空装置９をガス供給装置とは通常塵埃グレートの部屋で隔離され ているので、大気圧よりも蒸気圧の低い液化ガスをその蒸気圧で真空装置９まで 供給する配管７は長くなっている。このため、配管７の温度変化及び温度分布に 注意する必要がある。すなわち、マスフローコントローラ４までの配管７の圧力 は比較的高いことと、ボンベ１内温度より配管７の内の温度が低いので、ガスが 液化し、配管７内が液体で満たされ、ガス供給が困難になるからである。これを 防止するためにボンベ１の出口から真空装置本体９内にあるマスフローコントロ ーラ４部までヒータ１３を巻きボンベ１内温度より配管７内温度を高くし一定に するか、又はガスボンベ１を含めて周囲温度より高くかつ一定にする必要があっ た。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】
この従来のガス供給装置では、ガス配管施工時及びメンテナンスに下記の問題 を生じていた。
【０００５】 （１）ガス供給装置から真空装置本体までのガス配管全てにヒータ線を巻きつ ける必要があり、施工コスト，保守コストが高くなる。
【０００６】 （２）長い配管を常に一定温度に温調する必要があり、温度異常監視システム を取り付けたり、日常管理が煩雑になる。
【０００７】 本考案の目的は、かかる問題を解消すべく日常管理をより簡単で、安価な施工 コストで済むガス供給装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本考案のガス供給装置は、所定の真空度に真空排気される真空容器に大気圧よ りも小さい蒸気圧の液化ガスを長い配管を介して供給するガス供給装置において 、前記液化ガスを貯えるボンベと接続されるとともに気化される前記ガスの流量 を調節するマスフローコントローラと、ガスの供給及び遮断を行うバルブと、前 記マスフローコントローラ及びバルブを含み、これらを接続する配管を加熱する 手段とを備え、前記長い配管に低い圧力で気化される前記ガスを送ることを特徴 としている。
【０００９】
【実施例】
次に本考案について図を参照して説明する。
【００１０】 図１は本考案の一実施例におけるガス供給装置を説明するための配管系統図で ある。このガス供給装置６ａは、図１に示すように、元バルブ２以降にバルブ３ 及びバルブ５と、供給するガス流量を自動調節するマスフローコントローラ４ａ と、バルブ３，元バルブ２及びマスフローコントローラ４ａを含み、接続する配 管を加熱するヒータ１３ａとを設けたことである。
【００１１】 図２は大気圧より低い液化ガスの蒸気圧曲線を示すグラフである。次に、この ガス供給装置の動作及び作用について説明する。いま、ボンベ内に図２に示す蒸 気圧曲線の性質をもつ液化ガスが充填され、ガスが真空ポンプ１２で排気されて いる真空容器に流れている状態であるとする。そして周囲温度及びボンベ１内温 度が２５℃とすると、図２に示すように、この時のボンベ１からマスフローコン トローラ４ａまでのガスの圧力は、Ａ→Ｂ→Ｃとなり、０．２気圧である。この 状態でヒータ１３ａで３０℃に温調しているとすると、元バルブ２からマスフロ ーコントローラ４までのガス状態は、ほぼＢ１点に移動するため気液同伴状態か ら完全気体状態に移行する。次に、ガスが流れている状態では、マスフローコン トローラ４ａの出口側圧力は入口側圧力より低くなっている。従って、真空装置 ９側の圧力が０．０５気圧であったとすると、この状態でガスが液化し始める温 度を見ると、図２に示すように、Ｄ→Ｅ→Ｆとなり、１０℃以下にならないと液 化しないことになる。すなわち、マスフローコントローラ４ａ以降、真空容器１ ０までの配管は完全気体状態となり、特に加熱する必要がなくなる。このことは 配管の施工に際しては、一般の高圧ガス配管と同様の配管施工及び管理ですむこ とになる。
【００１２】 また、図面には示さないが、ボンベ１からマスフローコントローラ４ａまでの 配管を下から上へ上がる配管に施工すれば、ヒータ１３を除くことも考えられる 。この場合、万が一液化しても液体はガスボンベ１に自重で流れていき、配管を ふさぐ可能性は極端に低くなる。
【００１３】 このように、流量調節するマスフローコントローラ４ａをガス供給装置側に設 け、これらバルブ及びマスフローコントローラ４ａより供給するガスの温度を常 温にすれば、マスフローコントローラ４ａ以降の真空容器１６と接続する配管７ 内の圧力は真空容器１０の圧力に近い低い圧力であり、配管内の温度が下っても ガスは液化することはない。なお、この実施例では、加熱手段としてヒータを巻 きつけているが、このガス供給装置の周囲温度を常温に維持するために、ガス供 給装置を収容する室に空調設備を設けてもよい。
【００１４】
【考案の効果】 以上説明したように本考案は、ガス供給用のボンベ側に流量調節するマスフロ ーコントローラを接続し、長い配管にガスを低い圧力で送ることが出来るので、 配管内の温度が下ってもガスは液化しない。従って、長い配管にヒータを巻き付 ける必要はなく、日常管理が簡単で、施工費が安いガス供給装置が得られるとい う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の一実施例におけるガス供給装置を説明
するための配管系統図である。
【図２】大気圧より低い液化ガスの蒸気圧曲線を示すグ
ラフである。
【図３】従来の一例におけるガス供給装置を説明するた
めの配管系統図である。
【符号の説明】
１ ボンベ ２ 元バルブ ３，５ バルブ ４，４ａ マスフローコントローラ ６，６ａ ガス供給装置 ７ 配管 ９ 真空装置 １０ 真空容器 １３，１３ａ ヒータ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定の真空度に真空排気される真空容器
    に大気圧よりも小さい蒸気圧の液化ガスを長い配管を介
    して供給するガス供給装置において、前記液化ガスを貯
    えるボンベと接続されるとともに気化される前記ガスの
    流量を調節するマスフローコントローラと、ガスの供給
    及び遮断を行うバルブと、前記マスフローコントローラ
    及びバルブを含み、これらを接続する配管を加熱する手
    段とを備え、前記長い配管に低い圧力で気化される前記
    ガスを送ることを特徴とするガス供給装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10277380A (ja) * 1996-11-25 1998-10-20 L'air Liquide 液化ガスの制御配給システム及び方法

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5832177A (en) * 1990-10-05 1998-11-03 Fujitsu Limited Method for controlling apparatus for supplying steam for ashing process
JP3174856B2 (ja) * 1993-05-07 2001-06-11 日本エア・リキード株式会社 混合ガス供給装置
FR2759146A1 (fr) * 1997-02-05 1998-08-07 Air Liquide Installation de fourniture de gaz de travail
EP0962260B1 (en) * 1998-05-28 2005-01-05 Ulvac, Inc. Material evaporation system
US6275649B1 (en) 1998-06-01 2001-08-14 Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha Evaporation apparatus
US6473564B1 (en) 2000-01-07 2002-10-29 Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha Method of manufacturing thin organic film
US20080073559A1 (en) * 2003-12-12 2008-03-27 Horsky Thomas N Controlling the flow of vapors sublimated from solids
US20080223409A1 (en) * 2003-12-12 2008-09-18 Horsky Thomas N Method and apparatus for extending equipment uptime in ion implantation
KR100883148B1 (ko) * 2003-12-12 2009-02-10 세미이큅, 인코포레이티드 이온 주입시 설비의 가동 시간을 늘리기 위한 방법과 장치
US8784336B2 (en) 2005-08-24 2014-07-22 C. R. Bard, Inc. Stylet apparatuses and methods of manufacture
US8388546B2 (en) 2006-10-23 2013-03-05 Bard Access Systems, Inc. Method of locating the tip of a central venous catheter
US7794407B2 (en) 2006-10-23 2010-09-14 Bard Access Systems, Inc. Method of locating the tip of a central venous catheter
WO2009039382A1 (en) * 2007-09-21 2009-03-26 Semequip. Inc. Method for extending equipment uptime in ion implantation
US9649048B2 (en) 2007-11-26 2017-05-16 C. R. Bard, Inc. Systems and methods for breaching a sterile field for intravascular placement of a catheter
US9521961B2 (en) 2007-11-26 2016-12-20 C. R. Bard, Inc. Systems and methods for guiding a medical instrument
US10449330B2 (en) 2007-11-26 2019-10-22 C. R. Bard, Inc. Magnetic element-equipped needle assemblies
ES2651898T3 (es) 2007-11-26 2018-01-30 C.R. Bard Inc. Sistema integrado para la colocación intravascular de un catéter
US8781555B2 (en) 2007-11-26 2014-07-15 C. R. Bard, Inc. System for placement of a catheter including a signal-generating stylet
US8849382B2 (en) 2007-11-26 2014-09-30 C. R. Bard, Inc. Apparatus and display methods relating to intravascular placement of a catheter
US10751509B2 (en) 2007-11-26 2020-08-25 C. R. Bard, Inc. Iconic representations for guidance of an indwelling medical device
US10524691B2 (en) 2007-11-26 2020-01-07 C. R. Bard, Inc. Needle assembly including an aligned magnetic element
US9636031B2 (en) 2007-11-26 2017-05-02 C.R. Bard, Inc. Stylets for use with apparatus for intravascular placement of a catheter
US8478382B2 (en) 2008-02-11 2013-07-02 C. R. Bard, Inc. Systems and methods for positioning a catheter
EP2313143B1 (en) 2008-08-22 2014-09-24 C.R. Bard, Inc. Catheter assembly including ecg sensor and magnetic assemblies
US8437833B2 (en) 2008-10-07 2013-05-07 Bard Access Systems, Inc. Percutaneous magnetic gastrostomy
US9157578B2 (en) * 2009-03-04 2015-10-13 Horiba Stec, Co., Ltd. Gas supply device
EP3542713A1 (en) 2009-06-12 2019-09-25 Bard Access Systems, Inc. Adapter for a catheter tip positioning device
US9532724B2 (en) 2009-06-12 2017-01-03 Bard Access Systems, Inc. Apparatus and method for catheter navigation using endovascular energy mapping
WO2011019760A2 (en) 2009-08-10 2011-02-17 Romedex International Srl Devices and methods for endovascular electrography
US11103213B2 (en) 2009-10-08 2021-08-31 C. R. Bard, Inc. Spacers for use with an ultrasound probe
BR112012019354B1 (pt) 2010-02-02 2021-09-08 C.R.Bard, Inc Método para localização de um dispositivo médico implantável
JP5980201B2 (ja) 2010-05-28 2016-08-31 シー・アール・バード・インコーポレーテッドＣ Ｒ Ｂａｒｄ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 針および医療用コンポーネントのための挿入誘導システム
EP2912999B1 (en) 2010-05-28 2022-06-29 C. R. Bard, Inc. Apparatus for use with needle insertion guidance system
CN103228219B (zh) 2010-08-09 2016-04-27 C·R·巴德股份有限公司 用于超声探测器头的支撑和覆盖结构
MX338127B (es) 2010-08-20 2016-04-04 Bard Inc C R Reconfirmacion de colocacion de una punta de cateter asistida por ecg.
WO2012058461A1 (en) 2010-10-29 2012-05-03 C.R.Bard, Inc. Bioimpedance-assisted placement of a medical device
RU2609203C2 (ru) 2011-07-06 2017-01-30 Си.Ар. Бард, Инк. Определение и калибровка длины иглы для системы наведения иглы
USD724745S1 (en) 2011-08-09 2015-03-17 C. R. Bard, Inc. Cap for an ultrasound probe
USD699359S1 (en) 2011-08-09 2014-02-11 C. R. Bard, Inc. Ultrasound probe head
WO2013070775A1 (en) 2011-11-07 2013-05-16 C.R. Bard, Inc Ruggedized ultrasound hydrogel insert
EP2861153A4 (en) 2012-06-15 2016-10-19 Bard Inc C R APPARATUS AND METHODS FOR DETECTION OF A REMOVABLE CAP ON AN ULTRASONIC PROBE
EP3073910B1 (en) 2014-02-06 2020-07-15 C.R. Bard, Inc. Systems for guidance and placement of an intravascular device
CN105714271B (zh) * 2014-12-22 2020-07-31 株式会社堀场Stec 汽化系统
US10973584B2 (en) 2015-01-19 2021-04-13 Bard Access Systems, Inc. Device and method for vascular access
WO2016210325A1 (en) 2015-06-26 2016-12-29 C.R. Bard, Inc. Connector interface for ecg-based catheter positioning system
US11000207B2 (en) 2016-01-29 2021-05-11 C. R. Bard, Inc. Multiple coil system for tracking a medical device
WO2020081373A1 (en) 2018-10-16 2020-04-23 Bard Access Systems, Inc. Safety-equipped connection systems and methods thereof for establishing electrical connections

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6240599A (ja) * 1985-08-19 1987-02-21 アイホン株式会社 集合住宅用インタ−ホンシステム

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU3963078A (en) * 1977-09-25 1980-03-13 Kurio Medikaru Kk Apparatus for refrigeration treatment

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6240599A (ja) * 1985-08-19 1987-02-21 アイホン株式会社 集合住宅用インタ−ホンシステム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10277380A (ja) * 1996-11-25 1998-10-20 L'air Liquide 液化ガスの制御配給システム及び方法
JP4531873B2 (ja) * 1996-11-25 2010-08-25 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 液化ガスの制御配給システム及び方法

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Publication number Publication date
JP2567099Y2 (ja) 1998-03-30
US5279129A (en) 1994-01-18

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