JPH0618000A - ガス供給装置 - Google Patents
ガス供給装置Info
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- JPH0618000A JPH0618000A JP20023992A JP20023992A JPH0618000A JP H0618000 A JPH0618000 A JP H0618000A JP 20023992 A JP20023992 A JP 20023992A JP 20023992 A JP20023992 A JP 20023992A JP H0618000 A JPH0618000 A JP H0618000A
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- liquefied
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- liquefied material
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 容器の材質やガスの種類等にかかわらず、液
化ガスの残量を高精度で検知することができるガス供給
装置を提供する。 【構成】 変色式テープ１８は、収納容器１２の外側面
に底面から上部に鉛直に貼られ、収納容器１２の外表面
の温度分布を検出する。液化材料が存在している部分で
は収納容器１２の外表面の温度が気化熱により低下する
ので、変色式テープ１８は二色に明確に分かれる。変色
式テープ１８の変色部の境界を目視で観測することによ
って、液化材料の残量を正確に検知できる。
化ガスの残量を高精度で検知することができるガス供給
装置を提供する。 【構成】 変色式テープ１８は、収納容器１２の外側面
に底面から上部に鉛直に貼られ、収納容器１２の外表面
の温度分布を検出する。液化材料が存在している部分で
は収納容器１２の外表面の温度が気化熱により低下する
ので、変色式テープ１８は二色に明確に分かれる。変色
式テープ１８の変色部の境界を目視で観測することによ
って、液化材料の残量を正確に検知できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に半導体製造工程に
おいて、液化ガスを気化して所定の設備に供給するガス
供給装置に関するものである。
おいて、液化ガスを気化して所定の設備に供給するガス
供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程では、材料ガスは製品の
材料又は加工用としてさまざまな設備で使用される。材
料ガスを供給するガス供給装置は、材料ガスを液化した
状態で大量に貯蔵すると共に、液化材料を気化させて所
定の設備に供給するものである。このガス供給装置で
は、液化材料の残量を検知するのに、液化材料を収納す
る容器内の液面を目視で確認する方法や、容器を重量計
に載置し、その重量を測定して液化材料の残量を調べる
方法を用いている。液化材料がすべて消費され、設備に
材料ガスが供給されなくなると、その設備は稼動できな
くなり、生産が途中で中止されることになるので、液化
材料の残量を検知する技術は、生産性の向上を図る点で
重要なものである。
材料又は加工用としてさまざまな設備で使用される。材
料ガスを供給するガス供給装置は、材料ガスを液化した
状態で大量に貯蔵すると共に、液化材料を気化させて所
定の設備に供給するものである。このガス供給装置で
は、液化材料の残量を検知するのに、液化材料を収納す
る容器内の液面を目視で確認する方法や、容器を重量計
に載置し、その重量を測定して液化材料の残量を調べる
方法を用いている。液化材料がすべて消費され、設備に
材料ガスが供給されなくなると、その設備は稼動できな
くなり、生産が途中で中止されることになるので、液化
材料の残量を検知する技術は、生産性の向上を図る点で
重要なものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液面を目視
で確認して液化材料の残量を検知する方法では、容器と
して透明又は半透明のものを用いる必要があり、また飽
和蒸気圧が大気圧以上となる液化材料を使用する場合、
容器は高い強度を有することが要求される。しかし、透
明又は半透明で、高強度であるような適当な材料がない
ため、目視により液化材料の残量を検知する方法は、特
定の液化材料を使用する場合にしか適用できないという
問題がある。また、容器の重量と液化材料の重量との比
が大きい特殊材料ガスを使用すると、液化材料を補給す
る時点では、液化材料の重量は、容器の重量に対して１
／１０から１／１００に減ってしまう。この場合、容器
を重量計で測定して液化材料の残量を検知すると、重量
計の精度があまり高くないため、液化材料の残量を正確
に検知できないという問題があった。
で確認して液化材料の残量を検知する方法では、容器と
して透明又は半透明のものを用いる必要があり、また飽
和蒸気圧が大気圧以上となる液化材料を使用する場合、
容器は高い強度を有することが要求される。しかし、透
明又は半透明で、高強度であるような適当な材料がない
ため、目視により液化材料の残量を検知する方法は、特
定の液化材料を使用する場合にしか適用できないという
問題がある。また、容器の重量と液化材料の重量との比
が大きい特殊材料ガスを使用すると、液化材料を補給す
る時点では、液化材料の重量は、容器の重量に対して１
／１０から１／１００に減ってしまう。この場合、容器
を重量計で測定して液化材料の残量を検知すると、重量
計の精度があまり高くないため、液化材料の残量を正確
に検知できないという問題があった。
【０００４】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、容器の材質やガスの種類等にかかわらず、液化
ガスの残量を高精度で検知することができるガス供給装
置を提供することを目的とするものである。
であり、容器の材質やガスの種類等にかかわらず、液化
ガスの残量を高精度で検知することができるガス供給装
置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明は、容器内に収納された液化ガスを気化し、
該気化したガスを外部に供給するガス供給装置におい
て、前記容器の外表面の鉛直方向における温度分布を測
定する測定手段を設けたことを特徴とするものである。
めの本発明は、容器内に収納された液化ガスを気化し、
該気化したガスを外部に供給するガス供給装置におい
て、前記容器の外表面の鉛直方向における温度分布を測
定する測定手段を設けたことを特徴とするものである。
【０００６】また、前記測定手段は、温度により変色す
る材料を用いたものであってもよい。
る材料を用いたものであってもよい。
【０００７】また、前記測定手段は、温度を電気信号に
変換するものであってもよい。
変換するものであってもよい。
【０００８】更に、前記測定手段からの電気信号を受
け、該電気信号が段差状に変化する位置を検知する制御
手段を設けることが望ましい。
け、該電気信号が段差状に変化する位置を検知する制御
手段を設けることが望ましい。
【０００９】また、前記容器にＭｎ鋼、ステンレス鋼又
はアルミニウム合金を用いることが望ましい。
はアルミニウム合金を用いることが望ましい。
【００１０】
【作用】本発明は前記の構成によって、液化ガスが存在
している部分では容器の外表面の温度が気化熱によって
低下することを利用し、測定手段を設けて、容器の外表
面の温度分布を測定し、温度が段差状となる位置を、例
えば目視で観察することにより、液化ガスの液面を検知
する。このため、たとえば不透明な容器や特殊材料ガス
を用いた場合でも、液化ガスの残量を容易に検知でき
る。しかも、測定手段としては温度分布の測定精度が高
いものを使用することができるので、液化材料の残量を
高精度で検知することができる。
している部分では容器の外表面の温度が気化熱によって
低下することを利用し、測定手段を設けて、容器の外表
面の温度分布を測定し、温度が段差状となる位置を、例
えば目視で観察することにより、液化ガスの液面を検知
する。このため、たとえば不透明な容器や特殊材料ガス
を用いた場合でも、液化ガスの残量を容易に検知でき
る。しかも、測定手段としては温度分布の測定精度が高
いものを使用することができるので、液化材料の残量を
高精度で検知することができる。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の第一実施例について図面を参
照して説明する。図１は本発明の第一実施例である材料
ガス供給装置の概略構成図である。
照して説明する。図１は本発明の第一実施例である材料
ガス供給装置の概略構成図である。
【００１２】図１に示す材料ガス供給装置は、液化材料
を収納する収納容器１２と、液化材料を収納容器１２に
封入する容器元弁１４と、材料ガスを設備２２に供給す
る配管１６と、温度センサーとしての変色式テープ１８
とを備えるものである。尚、第一実施例では、材料ガス
として、収納容器１２の重量と液化材料の重量との比が
大きい特殊材料ガスを使用している。
を収納する収納容器１２と、液化材料を収納容器１２に
封入する容器元弁１４と、材料ガスを設備２２に供給す
る配管１６と、温度センサーとしての変色式テープ１８
とを備えるものである。尚、第一実施例では、材料ガス
として、収納容器１２の重量と液化材料の重量との比が
大きい特殊材料ガスを使用している。
【００１３】収納容器１２には、高い強度を確保するた
め、Ｍｎ鋼、ステンレス鋼又はアルミニウム合金を用い
ている。また、変色式テープ１８は、温度により変色す
る材料を用い、変化した色により温度を測定するもので
ある。ここでは、一般に市販されている変色式テープを
使用している。変色式テープ１８は収納容器１２の外側
面に底面から上部に鉛直に貼られている。
め、Ｍｎ鋼、ステンレス鋼又はアルミニウム合金を用い
ている。また、変色式テープ１８は、温度により変色す
る材料を用い、変化した色により温度を測定するもので
ある。ここでは、一般に市販されている変色式テープを
使用している。変色式テープ１８は収納容器１２の外側
面に底面から上部に鉛直に貼られている。
【００１４】容器元弁１４を開けて液化材料を収納容器
１２内に封入すると、液化材料はその液面から収納容器
１２内の空間に蒸発し、その空間が飽和蒸気圧に達する
まで蒸発が続く。そして、この気化した材料ガスを配管
１６を通して設備２２に供給すると、収納容器１２内の
空間は飽和蒸気圧以下に下がり、液化材料はその液面か
ら再び蒸発する。このように液体が気体になる場合に、
その物質が周辺から熱（気化熱）を奪うことは熱力学的
によく知られている。この熱が奪われた結果は、収納容
器１２の外表面の温度変化となって現れる。本発明者等
は、液化材料の残量を検知するのに、この現象を利用す
ることができることを見出した。すなわち、液化材料が
存在している部分では、収納容器１２の外表面の温度が
気化熱により低下する。このため、液化材料が存在して
いる部分と液化材料が存在していない部分とでは、収納
容器１２の外表面に温度差が生じ、この温度差は液体材
料の蒸発が続いている限り常に存在する。したがって、
収納容器１２の外表面の温度分布を測定し、その温度が
段差状となる位置を検出することにより、液化材料の液
面を検知することができる。
１２内に封入すると、液化材料はその液面から収納容器
１２内の空間に蒸発し、その空間が飽和蒸気圧に達する
まで蒸発が続く。そして、この気化した材料ガスを配管
１６を通して設備２２に供給すると、収納容器１２内の
空間は飽和蒸気圧以下に下がり、液化材料はその液面か
ら再び蒸発する。このように液体が気体になる場合に、
その物質が周辺から熱（気化熱）を奪うことは熱力学的
によく知られている。この熱が奪われた結果は、収納容
器１２の外表面の温度変化となって現れる。本発明者等
は、液化材料の残量を検知するのに、この現象を利用す
ることができることを見出した。すなわち、液化材料が
存在している部分では、収納容器１２の外表面の温度が
気化熱により低下する。このため、液化材料が存在して
いる部分と液化材料が存在していない部分とでは、収納
容器１２の外表面に温度差が生じ、この温度差は液体材
料の蒸発が続いている限り常に存在する。したがって、
収納容器１２の外表面の温度分布を測定し、その温度が
段差状となる位置を検出することにより、液化材料の液
面を検知することができる。
【００１５】第一実施例では、変色式テープ１８により
収納容器１２の外表面の温度分布を検出している。変色
式テープ１８は、液化材料の気化熱によって生じる収納
容器１２の外表面の温度差により、二色に明確に分かれ
る。したがって、変色式テープ１８の変色部の境界１８
ａが液化材料の液面を示すことになる。液化材料が消費
されるにしたがい、変色式テープ１８の変色部の境界は
収納容器１２の底面方向に移動するため、この変色部の
境界１８ａを目視で観測することにより、液化材料の残
量を正確に検知することができる。
収納容器１２の外表面の温度分布を検出している。変色
式テープ１８は、液化材料の気化熱によって生じる収納
容器１２の外表面の温度差により、二色に明確に分かれ
る。したがって、変色式テープ１８の変色部の境界１８
ａが液化材料の液面を示すことになる。液化材料が消費
されるにしたがい、変色式テープ１８の変色部の境界は
収納容器１２の底面方向に移動するため、この変色部の
境界１８ａを目視で観測することにより、液化材料の残
量を正確に検知することができる。
【００１６】本発明者等が、変色式テープによる液化材
料の残量検知精度を調べたところ、変色式テープ１８の
変色部の境界と実際の液化材料の液面との差は±３ｍｍ
以内であり、これを重量に換算すると±約３０ｇであっ
た。重量計を用いて液化材料の残量を検知する従来の方
法の場合には、通常、重量計の精度が±１ｋｇ重程度で
あるため、液化材料の残量が１ｋｇ重以下になると、も
はや液化材料の残量を検知することができなかった。こ
のように、第一実施例では液化材料の残量検知精度は非
常に高く、液化材料を残量３０ｇまで検知することがで
きる。
料の残量検知精度を調べたところ、変色式テープ１８の
変色部の境界と実際の液化材料の液面との差は±３ｍｍ
以内であり、これを重量に換算すると±約３０ｇであっ
た。重量計を用いて液化材料の残量を検知する従来の方
法の場合には、通常、重量計の精度が±１ｋｇ重程度で
あるため、液化材料の残量が１ｋｇ重以下になると、も
はや液化材料の残量を検知することができなかった。こ
のように、第一実施例では液化材料の残量検知精度は非
常に高く、液化材料を残量３０ｇまで検知することがで
きる。
【００１７】第一実施例のガス供給装置では、変色式テ
ープを用いて収納容器の外表面の温度分布を検出し、変
色式テープの変色部の境界を観測することにより、液化
材料の液面を検知する。このため、収納容器の材質や重
量等にかかわらず、たとえば収納容器として不透明なも
のを用いる場合でも、液化材料の残量を容易に検知でき
る。しかも、変色式テープによる液化材料の残量検知精
度は、従来の液化材料の残量検知に用いられた重量計の
精度に比べて約３０倍も高いので、特殊材料ガスを使用
する場合であっても液化材料の残量を正確に検知でき
る。したがって、液化材料の残量を考慮しつつ、収納容
器を作業効率の一番良い時期に交換することが可能にな
り、生産性の向上を図ることができる。
ープを用いて収納容器の外表面の温度分布を検出し、変
色式テープの変色部の境界を観測することにより、液化
材料の液面を検知する。このため、収納容器の材質や重
量等にかかわらず、たとえば収納容器として不透明なも
のを用いる場合でも、液化材料の残量を容易に検知でき
る。しかも、変色式テープによる液化材料の残量検知精
度は、従来の液化材料の残量検知に用いられた重量計の
精度に比べて約３０倍も高いので、特殊材料ガスを使用
する場合であっても液化材料の残量を正確に検知でき
る。したがって、液化材料の残量を考慮しつつ、収納容
器を作業効率の一番良い時期に交換することが可能にな
り、生産性の向上を図ることができる。
【００１８】次に、本発明の第二実施例について図面を
参照して説明する。図２は本発明の第二実施例であるガ
ス供給装置の概略構成図である。尚、第二実施例のガス
供給装置において、第一実施例と同一の機能を有するも
のには同一の符号を付すことにより、その詳細な説明を
省略する。
参照して説明する。図２は本発明の第二実施例であるガ
ス供給装置の概略構成図である。尚、第二実施例のガス
供給装置において、第一実施例と同一の機能を有するも
のには同一の符号を付すことにより、その詳細な説明を
省略する。
【００１９】第二実施例のガス供給装置が、第一実施例
のものと異なる点は、温度センサーとして多数の熱電対
１８０を用いた点である。各熱電対１８０の端子は収納
容器１２の外側面の鉛直方向に取り付けられる。熱電対
１８０により収納容器１２の外表面の温度分布を電気信
号として検出し、この電気信号の値が段差状となる位置
から、液化材料の液面を検知することができる。尚、熱
電対１８０の端子を収納容器１２の外側面に密に取り付
けることにより、液化材料の残量検知精度をさらに向上
させることができる。
のものと異なる点は、温度センサーとして多数の熱電対
１８０を用いた点である。各熱電対１８０の端子は収納
容器１２の外側面の鉛直方向に取り付けられる。熱電対
１８０により収納容器１２の外表面の温度分布を電気信
号として検出し、この電気信号の値が段差状となる位置
から、液化材料の液面を検知することができる。尚、熱
電対１８０の端子を収納容器１２の外側面に密に取り付
けることにより、液化材料の残量検知精度をさらに向上
させることができる。
【００２０】第二実施例では、温度センサーとして熱電
対を用いたことにより、温度情報を電気信号に変換でき
るので、その電気信号が段差状に変化する位置を検知す
る制御手段を設けることにより、液化材料の残量を自動
検知することが可能となり、生産性をより一層向上させ
ることができる。尚、その他の作用・効果は第一実施例
のガス供給装置と同様である。
対を用いたことにより、温度情報を電気信号に変換でき
るので、その電気信号が段差状に変化する位置を検知す
る制御手段を設けることにより、液化材料の残量を自動
検知することが可能となり、生産性をより一層向上させ
ることができる。尚、その他の作用・効果は第一実施例
のガス供給装置と同様である。
【００２１】尚、本発明は、上記の各実施例に限定され
るものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形
が可能である。たとえば、上記の各実施例では、温度セ
ンサーとして変色式テープ又は熱電対を用いた場合につ
いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、温度センサーは、収納容器の外表面の温度分布を視
覚的に表すものや電気信号等に変化させるものであれば
よい。
るものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形
が可能である。たとえば、上記の各実施例では、温度セ
ンサーとして変色式テープ又は熱電対を用いた場合につ
いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、温度センサーは、収納容器の外表面の温度分布を視
覚的に表すものや電気信号等に変化させるものであれば
よい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、容
器の外表面の温度分布を測定する測定手段を設け、温度
が段差状となる位置を検知することにより液化ガスの残
量を検知するので、容器の材質・重量やガスの種類等に
かかわらず、液化ガスの残量検知精度を高めることがで
き、したがって容器を作業効率の一番良い時期に交換す
ることが可能になり、生産性の向上を図ることができる
ガス供給装置を提供することができる。
器の外表面の温度分布を測定する測定手段を設け、温度
が段差状となる位置を検知することにより液化ガスの残
量を検知するので、容器の材質・重量やガスの種類等に
かかわらず、液化ガスの残量検知精度を高めることがで
き、したがって容器を作業効率の一番良い時期に交換す
ることが可能になり、生産性の向上を図ることができる
ガス供給装置を提供することができる。
【図１】本発明の第一実施例である材料ガス供給装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】本発明の第二実施例である材料ガス供給装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
１２ 収納容器 １４ 容器元弁 １６ 配管 １８ 変色式テープ ２２ 設備 １８０ 熱電対
Claims (5)
- 【請求項１】 容器内に収納された液化ガスを気化し、
該気化したガスを外部に供給するガス供給装置におい
て、前記容器の外表面の鉛直方向における温度分布を測
定する測定手段を設けたことを特徴とするガス供給装
置。 - 【請求項２】 前記測定手段は、温度により変色する材
料を用いたものである請求項１記載のガス供給装置。 - 【請求項３】 前記測定手段は、温度を電気信号に変換
するものである請求項１記載のガス供給装置。 - 【請求項４】 前記測定手段からの電気信号を受け、該
電気信号が段差状に変化する位置を検知する制御手段を
設けたことを特徴する請求項３記載のガス供給装置。 - 【請求項５】 前記容器にＭｎ鋼、ステンレス鋼又はア
ルミニウム合金を用いた請求項１、２，３又は４記載の
ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20023992A JPH0618000A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20023992A JPH0618000A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ガス供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618000A true JPH0618000A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=16421121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20023992A Withdrawn JPH0618000A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0618000A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100919088B1 (ko) * | 2002-02-01 | 2009-09-28 | 다이요 닛산 가부시키가이샤 | 가스 공급 장치 및 방법 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP20023992A patent/JPH0618000A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100919088B1 (ko) * | 2002-02-01 | 2009-09-28 | 다이요 닛산 가부시키가이샤 | 가스 공급 장치 및 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |