TWI249079B

TWI249079B - Radiation sensitive resin composition, cathode separator and el display device

Info

Publication number: TWI249079B
Application number: TW090122267A
Authority: TW
Inventors: Isao Nishimura; Masayoshi Suzuki; Hirofumi Sasaki; Kazuaki Niwa
Original assignee: Jsr Corp
Priority date: 2000-09-08
Filing date: 2001-09-07
Publication date: 2006-02-11
Also published as: JP2002083687A; KR100799052B1; KR20020020253A; EP1193557A1; US20020055059A1; US6994944B2; JP4042142B2; US20050260526A1

Description

1249079 A7 ， __ ΒΊ 五、發明説明（1 ) 發明領域本發明係關於一種用以形成E L顯示裝置的陰極分隔物之照射敏感性樹脂組成物，陰極分隔物及E L顯示裝置。更明確地地，彼係關於一種照射敏感性樹脂組成物而此組成物係適於作爲用以形成E L顯示裝置的陰極分隔物之材料，關於用彼形成之陰極分隔物及E L顯示裝置。先前技藝之描述一般而言，難以進行陰極或有機E L裝置的有機E L 層之微圖案化，此係由於使用在電子轉移層及發射層之中的有機E L材料之低耐熱性（一般在1 〇〇 °C或更低）、溶劑抗性及濕氣抗性。例如，當將薄膜圖案化所用之光刻技術用於有機E L裝置，有機E L裝置之特性將劣化，此係經由內含在光阻之中的溶劑滲透入有機E L裝置中、於光阻烘烤中高溫氣體的滲透、光阻顯影劑或蝕刻劑滲透入有機E L裝置中、及當乾燥蝕刻中經由電漿導致的損害。雖然可使用沈積光罩執行圖案化，細微圖案不能經由含入沈積產物而形成，此沈積產物係經由於蒸汽沈積期間介於光罩與基材之間不良的黏著所導致，介於陰極與由氧化銦錫（以下縮寫爲I T 0 )製作的陽極之間的短路係經由有機E L層之損害所導致，而此短路係當基材與沈積光罩相互強迫緊密地黏附經由有機E L層與光罩接觸，且此光罩將由於強度不充分而撓曲，當條狀的陰極圖案帶有小的遮蓋部分與大的開口。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _^一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1249079 A7 B7 五、發明説明（2) 爲解決上述問題，揭不於j p - A 2 — 6 6 8 7 3 (術語 J P - A ’’如在此使用者意指”未審查而公開的曰本專利申請案”）之技藝係用以圖案化光阻，其中包含溶劑彼不溶解在有機E L裝置上的有機E L材料，且使用稀硫酸而蝕刻陰極。然而，有機E L材料係當蝕刻中經由稀硫酸而受損。揭示於 JP— A5 — 275172、JP — A5 — 2 5 8 8 5 9及J P— A 5 — 2 5 8 8 6 0之技藝係用以形成陰極分隔物彼具有錐形橫切面且高度在數至數十微米，且於I T〇圖案化之後在基材上安排使相互地平行，且沈積有機E L材料與陰極材料在垂直於陰極分隔物的方向，且彼在作圖案化的基材上方向對角於基材之表面。即 ’形成第一電極線與有機E L材料薄膜之方法，此係經由在一傾斜方向之中真空沈積，而此傾斜方向之選擇係經由以形成的高陰極分隔物在基材邊界上射出預先決定氣體液流，以預防於沈積期間介於陰極分隔物之間的空間被污染。然而，在此傾斜沈積方法中，有機E L材料未沈積的部分在介於陰極分隔物之間存在一開口，且顯示裝置之亮度變得令人不滿意的。JP-A 8 — 315981使用陰極分隔物彼具有懸垂橫切面（梯形而其底側短於頂側）使能夠自上方作真空沈積，且排除上述傾斜沈積之缺陷。然而，一般存在的光阻材料由於在硬化期間的軟化，彼具有低耐熱性且不能保持反錐形形狀。當自陰極分隔物材料的揮發性成分源內含在E L層之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作fi印製 1249079 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 _B7五、發明説明（3) 中作爲雜質’彼可能引起的問題如降低E L光發射裝置的光發射區域或發光失效。將由本發明解決的問題因此基於上述條件，已完成本發明目的之一，彼提供一種用以形成E L顯示裝置的陰極分隔物之照射敏感性樹脂組成物，此組成物彼帶有所須要的耐熱性及黏著及反錐形形狀。本發明另一目的在提供一種陰極分隔物，似係形成自上述照射敏感性樹脂組成物，及其中包含此陰極分隔物的 E L顯示裝置。由以下描述，其它本發明之目標及優點將變得明顯的〇首先，依據本發明，上述本發明之目標及優點可經由一照射敏感性樹脂組成物而獲得，彼包含： (A ) —種鹼可溶解的樹脂； (B )至少一種化合物，彼係選自一類群而此類群係由下式（I )代表的化合物所組成： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線 roch2 ch2or \N/

/ ch2or 、ch2or (I) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 1249079 A7 B7

roch2

ch2or 、N/、N roch2" 、h2〇r 五、發明説明（其中六個R可相同或不同且各自爲氫原子或帶有1至個碳原子的烷基基團，一化合物彼係由下式（II)代表：

(ID 其中各R同如上定義，一化合物彼係由下式（I I I )代表 (III) 其中各R同如上定義，及一化合物彼係由下式（I V )代表： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) roch2、 :N—CH-

0=C \N——CH-

ROCIV .CH2〇R 、C=0 〆、ch2or (IV) 其中各R同如上定義；及 (C)由下式（V)代表的三鹵素甲基三嗪

CXi (V) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -7- 1249079 Α7 Β7 五、發明説明（5) 其中X爲鹵素原子且A爲CX3或由下式代表的基團：

(B)m (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) B、D及E係各自獨立爲氫原子、烷基基團、芳基基團、烷氧基基團、芳氧基基團、硫烷基基團或彼帶有1至 1 0個碳原子的硫芳基基團、鹵素原子、氰基基團、硝基基團、二級氨基而彼帶有烷基基團及1至1 〇個碳原子、羧基基團、羥基基團、酮烷基基團或彼帶有1至1 0個碳原子的酮芳基基團，或烷氧基羰基基團或烷基羰基氧基基團而彼帶有1至2 0個碳原子，且m爲1至5之整數，或一由下式（V I )代表的鑰鹽而彼係作爲光學酸產生劑： (Α)ηΖ + γ· (VI) 其中Α爲如以上定義者，Ζ爲硫或碘，Υ爲B F4、 PFs、SbF6、AsF6、對一甲苯磺酸鹽、三氟甲烷磺酸鹽或三氟醋酸鹽，且η爲2或3，且彼係用以形成本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）

、1T 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1249079 A7 B7 五、發明説明（6) E L顯示裝置的陰極分隔物。其次’上述本發明之目標及優點可經由E L顯示裝置的陰極分隔物而獲得，而彼係形成自上述照射敏感性樹脂組成物者。第二’上述本發明之目標及優點可經由其中包含上述陰極分隔物的E L顯示裝置而獲得。本發明的E L顯示裝置包括有機E L顯示裝置與無機 E L顯示裝置。在此類之中，有機E l顯示裝置爲較佳的〇本發明組成物照射敏感性樹脂之各成分將詳細介紹如下。 (A )鹼可溶解的樹脂本發明使用之鹼可溶解的樹脂未特別地限制，若彼爲鹼可溶解的。酚醛淸漆樹脂，具有酚系羥基基團或羧基基團的自由基可聚合的單體之均聚物，及此可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物，可較佳地作爲鹼可溶解的樹脂。此酚醛淸漆樹脂係鹼可溶解的且得自聚縮合一酚，較佳者爲內含間-甲酚的酚，與醛。作爲使用於生產此酚醛淸漆樹脂的除了間-甲酚之外的酚（以下簡稱爲”酚系單體”）可有利地使用：酚、對—甲酚、鄰一甲酚、2 ，3 —二甲苯酚、2 ，5 —二甲苯酚、3 ，5 —二甲苯酚、2 ，3 ，5 -三甲基酚、兒茶酚、間苯二酚、氫醌、甲基氫本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐] ^ " " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟邹智慧时產¾員工消費合阼fi印製 1249079 A7 B7 五、發明説明（7) 醌、焦掊酚及間苯三酚。此類酚系單體可單獨使用或合倂二或更多者而使用，較佳者合倂以間-甲酚。間一甲酚對此酚系單體之莫耳比宜在2 0/8 0至 1 00/0，更佳者在3 0/70至1 00/0。當間一甲酚用量小於2 0 m ο 1 %，得到的組成物之解析度將傾向於劣化。此酚係與醛如甲醛或乙醛聚縮合，在酸催化劑如草酸存在下，以得到重要的酚醛淸漆樹脂。水一般用作爲在聚縮合反應中的反應介質。當使用於聚縮合反應中之酚不溶於醛之水溶液，且自反應開始時形成異質的系統，一親水性的有機溶劑可用作爲反應介質。在此使用的案例中溶劑之實施例包括醇類如甲醇、乙醇及丁醇、及環醚類如四氫呋喃及二iif烷。反應介質用量宜在 2 0至4 0 0重量份，基於1 〇〇重量份的反應生料之總量° 可適當地調整聚縮合反應溫度，依據反應生料之反應性，但彼宜在1 0至2 0 0 °C。於聚縮合反應結束之後，酚醛淸漆樹脂之回收可經由升高溫度至1 3 0至2 3 0 °C 以去除未反應的生料、存在於系統中酸催化劑及反應介質，且於減壓之下蒸餾除去揮發成分。本發明中使用的酚醛淸漆樹脂具有重量平均分子量就標準聚苯乙烯而言（以下稱爲” Mw” ）宜在2 ，0◦〇至3〇’〇〇0，特別地宜在3 ，500至20 ，000 。當M w大於3 0，0 〇〇，本發明組成物的顯影性可能本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21GX297公釐）一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-10- 1249079 A7 ' B7 ’ 五、發明説明（8) 劣化，且當M w少於2，〇〇〇，膜成形性質可能變差。在本發明照射敏感性樹脂組成物中，上述酚醛淸漆樹脂可單獨使用或合倂二或更多者而使用。用以合成含有酣系趨基基團.或竣基基團之自由基可聚合的單體之均聚物及此可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物的含有酚系羥基基團或羧基基團之自由基可聚合的單體較佳的實施例包括鄰一羥基苯乙烯、間-經基苯乙儲、對-羥基苯乙燦及院基、院氧基、鹵素 ’鹵院基、硝基、氰基、酸胺、酯類及其殘基取代產物；聚羥基乙烯基酚如乙烯基氫醌、5 -乙烯基焦掊酚、6 -乙烯基焦掊酚及1 -乙烯基間苯三酚；鄰-乙烯基苯甲酸、間一乙烯基苯甲酸、對-乙烯基苯甲酸、及烷基、烷氧基、鹵素，硝基、氰基、醯胺及其酯類取代產物；甲基丙烯酸、丙烯酸、及α-位置鹵烷基、烷氧基、鹵素、硝基及其氰基取代產物；二價不飽和羧酸如順式丁烯二酸、順丁烯二酸酐、反丁烯二酸、反丁烯二酸酐、蒸餾檸檬酸、甲基反丁烯二酸、分解烏頭酸、1 ，4 一環己烯二羧酸、及甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、·第二-丁基、第三-丁基、苯基、鄰-、間-及對-甲苯甲醯基半酯類及其半醯胺。在此類之中，鄰-羥基苯乙烯、間-羥基苯乙烯、對 -羥基苯乙烯、及烷基及烷氧基經取代產物彼爲較佳的，基於圖案化之敏感性、解析度、於顯影後之膜保持、熱變形抗性、溶劑抗性、對基材之黏著及溶液保持穩定性。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線經齊邹智慧时產^8工消費合阼fi印沒 1249079 A7 ___ B7 _ 五、發明説明（9) 彼可單獨使用或合倂二或更多者而使用。另一自由基可聚合的單體之實施例包括苯乙烯、α -位置、鄰-位置、間-位置及對-位置烷基、烷氧基、鹵素，鹵烷基、硝基、氰基、醯胺及苯乙烯的酯取代產物；二烯烴類如丁二烯、異戊間二烯及氯丁二烯；甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二-丁基、第三-丁基、戊基、新戊基、異戊基己基、環己基、金剛烷基、烯丙基、2 -丙炔基、苯基、萘基、蒽基、蒽醌基、向日萎基、柳基、環己基、节基、苯乙基、甲苯酸基、甘油基、1 ， 1 ， 1 -三氟乙基、全氟乙基、全氟-正丙基、全氟一異丙基、三苯甲基、三環〔5 · 2 · 1 · 02.6〕癸—8 —基（在此技藝領域中通常稱爲”二環戊基”）、茴香基、3 -(Ν，Ν —二甲氨基）丙基、3— (Ν，Ν —二甲氨基）乙基、呋喃基及甲基丙烯酸與丙烯酸之呋喃甲基酯化的產物；苯胺、醯胺、Ν，Ν —二甲基、Ν，Ν —二乙基、Ν ，Ν -二丙基、Ν，Ν -二異丙基、蒽基醯胺、丙烯腈、丙烯醛，甲基丙烯基腈、氯乙烯、亞乙烯基氯化物、乙烯基氟化物、亞乙烯基氟化物、Ν -乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、乙酸乙烯酯、Ν -苯基順丁烯二醯亞胺、Ν -（ 4 -羥基苯基）順丁烯二醯亞胺、Ν -甲基丙烯醯基酞醯亞胺及甲基丙烯酸與丙烯酸之Ν -丙烯醯基酞醯亞胺。彼可單獨使用或合倂二或更多者而使用。在此類之中，苯乙烯、及α -位置、鄰一位置、間一位置及對-位置烷基、烷氧基、鹵素及苯乙烯之鹵烷基取本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 線經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 -12- 1249079 A 7 B7 五、發明説明（1C) 代產物；丁二烯及異戊間二烯；及甲基、乙基、正丙基、 N -丁基、甘油基及甲基丙烯酸與丙烯酸之二環戊基酯化的產物係特別較佳的，基於圖案化之敏感性、解析度、於顯影後之膜保持、熱變形抗性、溶劑抗性、對基材之黏著及溶液.保持穩定性。當帶有酚系羥基基團的可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物用作爲鹼可溶解的樹脂，另一自由基可聚合的單體之用量宜在3 〇w t %或更低，特別地宜在5至2 Owt%，基於帶有酚系羥基基團的自由基可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之總重。當帶有羧基基團之可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物用作爲鹼可溶解的樹脂，另一自由基可聚合的單體之用量宜在9 〇w t %或更低，特別地宜在1 0至8 0w t%，基於帶有羧基基團的自由基可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之總重。當另一自由基可聚合的單體對含有酚系羥基基團或羧基基團之自由基可聚合的單體之比例在上述範圍之外，鹼顯影可能變得困難的。可用作爲使用於生產含有酚系羥基基團或羧基基團之自由基可聚合的單體之均聚物或此可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物的聚合起始劑，一般已知的自由基聚合起始劑可舉例如偶氮基化合物如2 ，2 ’ —偶氮基雙異丁腈、2，2，一偶氮基二—（2，4 —二甲基戊腈）及2 ，2’ —偶氮基二—（4 一甲氧基一 2 ，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13- A7 1249079 ______B7___ 五、發明説明（j 4 -二甲基戊腈；有機過氧化物如苯甲基過氧化物、月桂醯基過氧化物、第三-丁基過氧叔戊酸酯及丨，丨’-雙 -（第三-丁基過氧）環己烷；及過氧化氫。當以過氧化物用作爲自由基聚合起始劑，使用過氧化物時可合倂以還原劑作爲氧化還原起始劑。使用於生產含有酚系羥基基團或羧基基團之自由基可聚合的單體之均聚物或此可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物之溶劑的實施例包括醇類如甲醇及乙醇；醚類如四氫呋喃；二醇醚類如乙二醇單甲基醚及乙二醇單乙醚；乙二醇烷基醚乙酸酯如甲基乙酸賽璐蘇酯及乙酸乙基賽璐蘇酯；二伸乙基乙二醇類如二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙醚、二甘醇乙醚、二甘醇乙醚及二甘醇乙基甲基醚；丙二醇單烷基醚類如丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙基醚及丙二醇單丁基醚；丙二醇烷基醚乙酸酯如丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯及丙二醇丁基醚乙酸酯；丙二醇烷基醚丙酸酯如丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯及丙二醇丁基醚丙酸酯；·芳香族烴類如甲苯及二甲苯；酮如甲基乙基酮、環己酮及4 一羥基一 4 一甲基一 2 —戊酮；及酯類如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2 -羥基丙酸乙酯、2 -羥基一 2 -甲基丙酸甲酯，2 —羥基- 2 -甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3 -羥基丙酸甲酯、3 -羥基丙酸本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 -14- 1249079 A7 ____B7 五、發明説明（^ 乙酯、3 -羥基丙酸丙酯、3 -羥基丙酸丁酯、2 -羥基一 3 —甲基丁酸甲酯，甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2 —甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2 -甲氧基丙酸丙酯、2 -甲氧基丙酸丁酯、2 —乙氧基丙酸甲酯、2 -乙氧基丙酸乙酯、2 — 乙氧基丙酸丙酯、2 -乙氧基丙酸丁酯、2 -丁氧基丙酸甲酯、2 -丁氧基丙酸乙酯、2 -丁氧基丙酸丙酯、丁基 2 -丁氧基丙酸酯、3 -甲氧基丙酸甲酯、3 -甲氧基丙酸乙酯、3 -甲氧基丙酸丙酯、3 -甲氧基丙酸了酯、3 -乙氧基丙酸甲酯、3 -乙氧基丙酸乙酯、3 -乙氧基丙酸丙酯、3 —乙氧基丙酸丁酯、3 -丙氧基丙酸甲酯、3 -丙氧基丙酸乙酯、3 -丙氧基丙酸丙酯、3 -丙氧基丙酸丁酯、3 — 丁氧基丙酸甲酯、3 -丁氧基丙酸乙酯、3 -丁氧基丙酸丙酯及3 - 丁氧基丙酸丁酯。· 溶劑用量宜在20至1，000重量份，基於100 重量份的反應生料之總量。就聚苯乙烯而言，含有酚系羥基基團或羧基基團之自由基可聚合的單體之均聚物或此可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物之重量平均分子量，宜在 2 ’ 00〇至100，〇〇〇，更佳者在3，000至本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線經濟部智慧財產QST8工消費合作社印製 1249079 A7 B7 五、發明説明（d 50 ，000 ，特別地宜在5 ，000至3〇，0〇0。當平均分子量小於2 ，0 0 0，圖案形狀、解析度、可顯影性及耐熱性將傾向於劣化，且當平均分子量大於 1 0 0，0 0 0，可顯影性，特別地爲敏感性經常傾向降解。上述含有酚系羥基基團或羧基基團之自由基可聚合的單體之均聚物及上述此可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物可單獨使用或合倂二或更多者而使在之前聚合，可將保護基引入羧基基團或酚系羥基基團中且於聚合之後移除，以提供鹼溶解度以合成鹼可溶解的樹脂。此外，可見光透明度及軟化點可能經由氫化而改〇如上所述，將酚醛淸漆樹脂，含有酚系羥基基團或羧基基團之自由基可聚合的單體之均聚物及此可聚合的單體與另一自由基可聚合的單體之自由基共聚物，宜用作爲使用於本發明中的鹼可溶解的樹脂（A )。部分的鹼可溶解的樹脂（A )可經取代以另一酚系化合物。· 使用本發明中的另一酚系化合物爲酚系化合物彼具有分子量在1 ，0 0 0或更低。當酚系化合物之分子量大於 1 ，000，解析度將降低。低分子量酚系化合物之實施例包括具有以下結構的化合物。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 -16- 1249079 A7 B7 五、發明説明（j (HO) (CH3)

(HO)c (CH3)m (〇H)< (pH)b

(CH3)r

(CH3)m ‘ _ < ，(〇H)c (CHa), fcl·--*-------I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、可

R" (CH3)ra 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製在上述式中，各R2可相同或不同且各自爲氫原子或甲基基團，且a、b、c、d、k、1、m及η係各自爲〇至3之整數，其限制條件爲a + b + c + d$2。當部分的鹼可溶解的樹脂（A )係經取代以另一酚系化合物，另一酚系化合物之用量宜在8 〇w t %或更低，更佳者在5 〇w t%或更低，基於鹼可溶解的樹脂（A) 與另一酚系化合物之總重。當另一酚系化合物之用量大於 8 0 w t %，將不能形成塗覆膜。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17 1249079 Α7 Β7 經濟邹智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（d (B )由式（I )至（I V )代表的化合物由上述式（I )至（I V )代表的化合物之實施例包含六甲氧基羥甲基三聚氰胺、六丁氧基羥甲基三聚氰胺、四甲氧基羥甲基苯并胍胺、四甲氧基羥甲基胍胺、四甲氧基羥甲基甘脲。此類化合物可單獨使用或混合使用。且此類化合物可以純化合物使用，或以彼與寡聚物之混合物使用而該化合物彼重量平均分子量在1，5 0 0或更低。在此類之中化合物，商購之Cyme 1 300、 301、303、370、325、327、7〇1、 266、267'238、1141、272、202、 1156、1158、1123、1170、1174、 UFR65 及 300 (產自 Mitsui Cyanamid公司）， Nikalack Mx-750、—〇32、— 706、— 708、 —4 0 及—3 1、Nikalack Ms-11、及 Nikalack Mw-30(產自 Sanwa Chemical公司）爲較佳的。此化合物用量宜在1至1 0 0重量份，更佳者在5至 5 0重量份，基於1 0 0重量份的鹼可溶解的樹脂（A ) 。當用量小於1重量份，於顯影後之膜保持可能較低的且耐熱性及溶劑抗性可能劣化。 (C)由式（V)代表的三鹵素甲基三嗪或由式（ VI)代表的作爲光學酸產生劑的鑰鹽之實施例上述式（V)代表的三鹵素甲基三嗪包含2 ，4，6 —三（三氯甲基）一 s —二嗪、2 -苯基—4 ，6 —雙（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝訂線本紙張尺度適用中國國家卿NS )娜（- 18 _ 1249079 A7 A7 B7 五、發明説明（y 三氯甲基）—S -三嗪、2 — (4 —氯苯基）一 4，6 — 雙（三氯甲基）一 s —三嗪、2 -（3 —氯苯基）一 4， 6 -雙（三氯甲基）一 s -三嗪、2 — (2 -氯苯基）一 4 ，6 —雙（三氯甲基）—s —三嗪、2 — (4 —甲氧基苯基）—4 ，6 —雙（三氯甲基）—s -三嗪、2 -（3 一甲氧基苯基）—4，6 -雙（三氯甲基）—s -三嗪、 2 — (2 —甲氧基苯基）—4 ，6 -雙（二氯甲基）一 s -三嗪、2 -（4 一甲基噻吩基）—4，6 —雙（三氯甲基）一 s -三嗪、2 — (3 —甲基噻吩基）一4，6 —雙 (三氯甲基）—s —三嗪、2 — (2 -甲基噻吩基）—4 ，6 —雙（三氯甲基）一 s —三嗪、2 -（4 一甲氧基萘基）—4，6 —雙（三氯甲基）—s -三嗪、2 — (3 — 甲氧基萘基）一4 ，6 —雙（三氯甲基）一 s —三嗪、2 一（2 -甲氧基萘基）一 4，6 —雙（三氯甲基）一s — 三嗪、2 — (4 —甲氧基一/3 —苯乙烯基）一4 ，6 —雙 (三氯甲基）一s —三嗪、2 — （3 —甲氧基一冷一苯乙烯基）一 4，6 —雙（三氯甲基）—s -三嗪、2 — (2 —甲氧基— /3 —苯乙烯基）一4 ，6 —雙·（三氯甲基）一 s —三嗪、2 — (3 ，4，5 —三甲氧基—Θ —苯乙烯基 )—4 ，6 —雙（三氯甲基）一s —三嗪、2 — (4 —甲基硫—/3 —苯乙烯基）—4，6 -雙（三氯甲基）一 s — 三嗪、2 — (3 —甲基硫一 /3 —苯乙烯基）一4 ，6 —雙 (三氯甲基）一 s —三嗪及 2 — (2 —甲基硫—苯乙烯基）一4 ，6 —雙（本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-19- 1249079 A7 A7 B7 五、發明説明（d 三氯甲基）—S —三嗪。由上述式（V I )代表的鑰鹽之實施例包括二芳基碘鑰鹽類如聯苯基碘鑰四氟硼酸鹽、聯苯基碘鏺六氟膦酸鹽、聯苯基碘鑰六氟砷酸鹽、聯苯基碘鏺三氟甲烷磺酸鹽、聯苯基碘鑰三氟醋酸鹽、聯苯基碘鑰-對甲苯磺酸鹽、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰四氟硼酸鹽、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰六氟膦酸鹽、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰六氟砷酸鹽、 4 -甲氧基苯基苯基碘鑰三氟甲烷磺酸鹽、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰三氟醋酸鹽、4 -甲氧基苯基苯基碘鏺-對甲苯磺酸鹽、雙（4 -第三-丁基苯基）碘鑰四氟硼酸鹽、雙（4 一第三一丁基苯基）碘鑰六氟膦酸鹽、雙（4 一第三-丁基苯基）碘鑰六氟砷酸鹽、雙（4 -第三- 丁基苯基）碘鑰三氟甲烷磺酸鹽、雙（4 -第三-丁基苯基）碘鑰三氟醋酸鹽及雙（4 -第三-丁基苯基）碘鏺-對甲苯磺酸鹽；及三芳基銃鹽類如苯基锍四氟硼酸鹽、苯基銃六氟膦酸鹽、苯基銃六氟砷酸鹽、苯基銃三氟甲烷磺酸鹽磺酸鹽、苯基銃三氟醋酸鹽、苯基銃一對甲苯磺酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃四氟硼酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃六氟膦酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃六氟砷酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃三氟甲烷磺酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃三氟醋酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃-對甲苯磺酸鹽、4 -苯基噻吩基聯苯基四氟硼酸鹽、4 -苯基噻吩基聯苯基六氟膦酸鹽、4 -苯基噻吩基聯苯基六氟砷酸鹽、4 -苯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —---------士 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 1249079 A7 B7 五、發明説明（d 基噻吩基聯苯基三氟甲烷磺酸鹽、4 -苯基噻吩基聯苯基三氟醋酸鹽及4 -苯基噻吩基聯苯基-對甲苯磺酸鹽。在此類之中化合物、一（3 —氯苯基）一 4，6 -雙 (三氯甲基）—s —三嗪、2 — (4 —甲氧基苯基）一 4 ，6 —雙（三氯甲基）—s —三嗪、2 —（4 —甲基噻吩基）—4 ，6 —雙（三氯甲基）—s -三嗪、2 — (4 — 甲氧基一/3 —苯乙烯基）一4 ，6 —雙（三氯甲基）一 s —三嗪、2 — (4 —甲氧基萘基）一4 ，6 —雙（三氯甲基）- s -三嗪、聯苯基碘鏺三氟醋酸鹽、聯苯基碘鑰三氟甲烷磺酸鹽、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰三氟甲烷磺酸鹽、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰三氟醋酸鹽、苯基銃三氟甲烷磺酸鹽、苯基銃三氟醋酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃三氟甲烷磺酸鹽磺酸鹽、4 -甲氧基苯基聯苯基銃三氟醋酸鹽、4 -苯基噻吩基聯苯基三氟甲烷磺酸鹽及4 -苯基噻吩基聯苯基三氟醋酸鹽爲較佳的。由上述式（V)或（V I )代表的化合物其用量宜在 0 · 001至10重量份，更佳者爲0 . 01至5重量份，基於1 0 0重量份的鹼可溶解的樹脂（· A )。當用量小於0 · 0 0 1重量份，陰極分隔物的耐熱性及溶劑抗性可能較低。當用量大於1 0重量份，於顯影之後圖案形狀之控制可能變得困難的。由式（V )或（V I )代表的化合物可與適合的敏化劑合倂使用。敏化劑之實施例包括香豆素而彼在3 -位置與7 -位置的至少一種位置上具有取代基者、黃酮，二亞本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線 -21- 1249079 A7 B7 五、發明説明（d 苄基丙酮，二亞苄基環己烷，查耳酮、二苯并哌喃，硫二苯并哌喃及紫質及吖啶。此紫外線吸收化合物之用量宜在 2 0重量份或更低，更佳者在1 〇重量份或更低，基於 10 0重量份的鹼可溶解的樹脂（A)。當用量大於2〇重量份’敏化劑傾向提供一種濾膜效應，從而使輻射線難以到達基材。如須要，除了上述成分之外的成分，可內含在本發明組成物之中，其限制在不致有害於本發明之目的。其它成分包含紫外線吸收劑、在分子中內含二或更多環氧基基團的化合物、界面活性劑、黏著助劑、保持安定劑及消泡劑。上述紫外線吸收劑之加入主要係用以得到良好的反錐形形狀。使用本發明中的紫外線吸收化合物吸收波長短於 4 0 0 n m之光，特別地短於3 6 5 n m，很少吸收可見光，且可溶解在如下記述的溶劑中。此紫外線吸收劑之實施例包括苯并三唑、水楊酸鹽、苯甲酮、經取代的丙烯腈、二苯并哌喃、香丑素、黃酮及查耳酮。更明確地地，提那比（Tinubin) 2 34 (2 — (2^-'經基—3，5 —雙（ α ’ α -二甲爷基）苯基）一 2H—苯并三唑）、提那比 5 7 1 (經基苯基苯并三唾衍生物）、提那比1 13 0 ( 下列之縮合物：間一甲基—3 -（ 3 —第三—丁基一5 — (2Η —苯并三唑基—2 -基）一 4〜羥基苯基）丙酸酯及聚乙一醇（为子里在3 00 ))(產自Chiba Specialty

Chemicals公司）、1 ，7 —雙（4〜羥基一 3 —甲氧基苯本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 訂 -22- 1249079 A7 A7 B7 五、發明説明（2() (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 基）—1 ，6 —庚二烯一 3 ，5 -二酮及二亞苄基丙酮爲商購上可獲得者。紫外線吸收劑之用量宜在2 0重量份或更低，更佳者在1 0重量份或更低，基於1 〇〇重量份的鹼可溶解的樹脂（A )。當紫外線吸收劑之用量在大於 2 0重量份，敏感性易於降低。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製在分子中內含二或更多環氧基基團的化合物可作摻合而主要用以改良耐熱性及黏著。在分子中內含二或更多環氧基基團的化合物之實施例包括雙酚A環氧樹脂如Epicoat 1001、1 002、1 003、1 004、1007、1009、1010 及 828(產自 Yuka Shell Epoxy公司）；雙酣F環氧樹脂如Epicoat 807(產自 Yuka Shell Epoxy公司）；酸酣酵淸漆環氧樹脂如Epicoat 152及 154(產自 Yuka Shell Epoxy 公司）及 EPPN201 及 202(產自 Nippon Kayaku公司）；甲酚酚醛淸漆類型環氧樹脂如EOCN-102、1035 、104S、1 020、1 025 及 1027(產自 Nippon Kayaku 公司）及 Epicoat 1 80575(產自Yuka Shell Epoxy公司）；環脂肪族的環氧樹脂如 CY-175、177 及 179(產自 CIBA-GEIGY A.G.)，ERL，4234 、4299、4221 及 4206(產自 U.C.C·公司），S how dyne 509(產自 ShowaDenkoK.K.)，Araldyte CY-182、192 及 184(產自 CIBA-GEIGY A.G..)，Epichlon 200 及 400(產自 Dainippon Ink & Chemicals 公司），Epicoat 871 及 872(產自 Yuka Shell Epoxy 公司 )，及ED- 566 1及5662(產自Celaneas Coating公司）；及脂肪族的聚甘油基醚類如Epolite 10OMF(產自Kyoeisha Kagaku公司）及 Εριο 1 TMP(產自N〇F Corporation)。在此類之中，雙酚A環氧樹脂、雙酚F環氧樹脂、酚酚醛淸漆環氧樹脂、甲酚酚醛淸本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） -23- 1249079 A7 _B7_ 五、發明説明（21) 漆環氧樹脂及脂肪族的聚甘油基醚類爲較佳的。亦可適當地使用一化合物如雙酚A或雙酚F的甘油基醚。分子中內含二或更多環氧基基團的化合物之用量宜在 1至1 0 0重量份，更佳者在5至5 0重量份，基於 1 0 0重量份的鹼可溶解的樹脂（A )。當一共聚物具有結構單位係源自內含環氧基基團的單體如甘油基（甲基）丙烯酸酯而用作爲鹼可溶解的樹脂（ A )，可稱成分（A)爲”在分子中內含二或更多環氧基基團的化合物”，但不同於一須具有鹼溶解度的化合物，且爲相對地高分子量聚合物。上述界面活性劑可作摻合以改良條紋及輻射線曝光部分的可顯影性，於形成乾燥塗覆膜之後。該界面活性劑之實施例包括非離子性界面活性劑如聚氧伸乙基烷基醚類彼包含聚氧伸乙基月桂基醚、聚氧伸乙基硬脂基醚及聚氧伸乙基油醯醚、聚氧伸乙基芳基醚類彼包含聚氧伸乙基辛基苯基醚及聚氧伸乙基壬基苯基醚，及聚乙二醇二烷基酯類彼包含聚乙二醇二月桂酸鹽及聚乙二醇二硬脂酸鹽；氟爲主的界面活性劑如F Top EF301、303及3 52(產自Shin Akita Kasei公司）、Megafac F171、172及 173(產自 Dainippon Ink & Chemicals公司）、Florade FC430及 431(產自 Sumitomo 3M 公司）、Asahi Guard AG710、Surflon S-3 82、SC-101、102、103 、104、105及106(產自Asahi Glass公司）；有機矽氧烷聚合物 KP34 1(產自Shin-Etsu Chemical公司）、及丙烯酸爲主的或甲基丙烯酸爲主的（共）Polyflow No. 57及95(產自Kyoeisha 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線 S象f .¥/:9.曰吋 I n573rL肖穸、，乍土 P 曼 -24- 1249079 A7 A7 __B7_ 五、發明説明（

Kagaku公司）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 界面活性劑之用量宜在2重量份或更低，更佳者在1 重量份或更低，基於1 〇〇重量份的總固含量在組成物。製備照射敏感性樹脂組成物本發明照射敏感性樹脂組成物之製備可經由均勻地將下列混合在一起：（A ) —種鹼可溶解的樹脂，（B )由上述式（I )至（I V)代表的化合物及（C )由上述式 (V )或（V I )代表的化合物，且視需要地使用其它添加劑。本發明照射敏感性樹脂組成物可有利地以溶液使用，而此溶液之製備可經由溶解上述成分在適合的溶劑之中。例如，呈溶液狀態的照射敏感性樹脂組成物彼製備可經由將下列混合在一起：（A ) —種鹼可溶解的樹脂，（B )由上述式（I )至（I V)代表的化合物及（C )由上述式（V )或（V I )代表的化合物，且視需要地以預先決定的比例加入其它配料成分。 L pi 用以製備本發明照射敏感性樹脂組成物的溶劑可均勻地溶解（A ) —種鹼可溶解的樹脂，（B )由上述式（I )至（I V)代表的化合物及（C )由上述式（V)或（ V I )代表的化合物，且視需要地加入其它添加劑且不與此類成分反應。溶劑之實施例包括醇類如甲醇及乙醇；醚類如四氫呋喃；二醇醚類如乙二醇單甲基醚及乙二醇單乙醚；乙二醇烷基醚乙酸酯如甲基乙酸賽璐蘇酯及乙酸乙基賽璐蘇酯；本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25 - 1249079 A7 B7 五、發明説明（23> 二伸乙基乙二醇類如二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙醚及二甘醇乙醚；丙二醇單烷基醚類如丙二醇甲基醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙基醚及丙二醇丁基醚；丙二醇烷基醚乙酸酯如丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯 '丙二醇丙基醚乙酸酯及丙二醇丁基醚乙酸酯；丙二醇烷基醚丙酸酯如丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇-丙基醚丙酸酯及丙二醇丁基醚丙酸酯；芳香族烴類如甲苯及二甲苯；酮如甲基乙基酮、環己酮及4 —羥基-4 —甲基― 2 —戊酮；及酯類如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2 -羥基丙酸乙酯、2 -羥基—2 —甲基丙酸甲酯、2 -羥基- 2 -甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3 -羥基丙酸甲酯、3 -羥基丙酸乙酯、 3 —羥基丙酸丙酯、3 -丁氧基丙酸甲酯、3 -丁氧基丙酸乙酯、3 - 丁氧基丙酸丙酯及3 - 丁氧基丙酸丁酯。在此類溶劑之中，二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇烷基醚乙酸酯，酯類及二伸乙基乙二醇類爲較佳的，基於溶解度，與上述成分之反應性及形成塗覆膜之容易度〇一高沸點溶劑可與上述溶劑共同使用。此高沸點溶劑之實施例包括N -甲基甲醯胺、N，N -二甲基甲醯胺、 N —甲基甲醯替苯胺、N —甲基乙醯胺、N，N —二甲基乙醯胺、N -甲基吡咯烷酮、二甲基亞碾、苄基乙醚、二己基醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮，己酸、辛酸、1〜辛醇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本瓦)

、1T -26· A7 1249079 B7 五、發明説明（、1—壬醇、苯甲醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、順丁烯二酸二乙酯、r - 丁內酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯及乙酸苯基賽璐蘇酯。本發明照射敏感性樹脂組成物可經使用上述溶劑而製備，且可依據彼使用目的而用適合的固含量製備。此固含量可在例如1 0至5 〇w t %，較佳者在2〇至 4 0 w t % 〇如上述製備之組成物溶液，彼在使用之前可用孔徑在〇.5 /z m的微孔濾膜作過濾。形成陰極分隔物之方法自本發明照射敏感性樹脂組成物形成本發明陰極分隔物之方法將詳細介紹如下。係經由將本發明照射敏感性樹脂組成物之溶液施用在一基材之表面且加熱去除溶劑，而形成一塗覆膜。可用噴灑塗覆、滾動塗覆及旋轉塗覆，將照射敏感性樹脂組成物之溶液施用在基材之表面。然後預烘烤此塗覆膜。經由加熱使溶劑揮發以得到不帶有流動性之塗覆膜。依據各成分的類型及用量，加熱條件有所不同，宜選自6 0至1 2 的寬廣溫度範圍及1 0至6 0 0秒的寬廣時間範圍。經由具有預先決定圖案形狀的光罩，將所得到在表面上的照射敏感性樹脂組成物之塗覆膜曝光至輻射線。輻射本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -27- A7 1249079 _____ B7 五、發明説明（^ 線之能量，即，輻射線類型，係適當地決定，依據所欲求之解析度及此感射線化合物具敏感性的波長。例如，可使用紫外線照射如g -線（波長在4 3 6 n m ) 、h —線（ 4〇5 n m )及i 一線（3 6 5 n m )，深紫外線射線如激發器（K r F、A r F )雷射光、X —射線如同步輻射線、及帶電微粒子束如電子束，其中以g -線與i —線爲較佳的。於曝光於輻射線之後，在鹼顯影之前執行P E B (曝光後烘烤）。PEB溫度宜在200t或更低且PEB時間宜在0 1至1 〇分鐘。於P E B之後，以顯影劑將塗層膜作顯影而去除不須要的部分。作爲顯影劑，可使用鹼之水溶液，如無機鹼舉例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、砂酸鈉、偏砂酸鈉及氨水；一級胺舉例如乙胺及正丙胺；二級胺舉例如二乙胺及二一正丙胺；第三一胺舉例如三乙胺、甲基二乙胺及N -甲基吡咯烷酮；醇胺舉例如二甲基乙醇胺及三乙醇胺；四級銨鹽舉例如四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨及膽鹼；或環胺舉例如吡咯，六氫吡啶、1 ，8 —二吖雙環〔5 · 4 . 0〕— 7 —十一烷烯及1 ，5 —二吖雙環〔4 · 3 · 0〕 —5 -壬院。亦可使用一水溶液而彼製備可經由在上述鹼水溶液加入合適量的水溶性有機溶劑如甲醇或乙醇、或界面活性劑 0 顯影時間爲，例如3 0至1 8 0秒，且可使用槳式顯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' ^ ~ -28 - (請先閱讀背希之法意事項存填寫本買)

A7 1249079 __ B7 五、發明説明（2Q) 影及浸塗顯影。於顯影之後，將顯影塗覆膜用流動的水淸洗3 0至9 0秒，且用壓縮空氣或壓縮氮乾燥以去除在基材上的水，以形成塗層膜圖案。其後，經由加熱單位如熱板或烤箱，在預先決定溫度例如1 5 0至2 5 0 t，將塗層膜加熱預先決定的時間，例如在熱板上5至3 0分鐘或在烤箱中3 0至9 0分鐘，以得到交聯的膜圖案。本發明陰極分隔物較佳者在照射方向上具有梯形橫切面，使頂面長於底面（反錐形形狀），更佳者使介於連接圖案上緣與圖案下緣的直線與頂面之間形成的角度在i 5 至7 5° 。因爲陰極分隔物的橫切面呈反錐形，自上方沈積有機E L材料且不呈傾斜方向成爲可能。即，有機e L 材料自上方沈積而使彼均勻地黏附至介於相鄰的陰極分隔物之間的開口，從而使彼有可能確保顯示裝置充分的亮度。當陰極材料自上方沈積，彼可預防黏附至此反錐形形狀的下方部分，從而使彼有可能確保介於陰極之間的絕緣。經由加熱至2 5至2 0 0 °C而產自本發明陰極分隔物的揮發成分之量，宜在1 〇w t %或更低，·更佳者在 5 w t %或更低，大幅更佳者在2 w t %或更低，特別地宜在lwt%或更低。經由將揮發成分之量降低至上述範圍，可預防雜質侵入E L層，從而使彼有可能排除發生e L顯示裝置之發光失效與發射亮度之降低。揮發成分之量其評估可經由TDS (熱去吸附光譜分本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

-29- 垔JkF's?-ίοπτ 寸 t f!*7昌rL^CT 參节土 1249079 A7 A7 _ B7 五、發明説明（27) 析）測量或其類似者。生產有機E L顯示裝置本發明的有機E L顯示裝置包含如上述形成之陰極分隔物。例如，本發明的有機E L顯示裝置製作如下。經由濺射將透明的電極如I T〇形成在玻璃基材上，且將正型光阻施用於此透明的電極上且作預烘烤。經由光罩將此光阻曝光且顯影以形.成光阻圖案，經由鹽酸爲主的蝕刻劑如氯化鐵將此I T 0膜鈾刻，且將光阻膜移除以得到透明的電極圖案，例如條紋狀圖案。之後，將本發明照射敏感性樹脂組成物施用於彼具有透明的電極圖案的基材之表面，以形成如上述之反錐形陰極分隔物。其後，經由蒸汽沈積連續地形成孔轉移層、有機E L層及陰極層。此孔轉移層產自鄰苯二甲醯青藍爲主的材料如C u P c或 Η 2 P c，或芳香族胺。有機E L材料之製備可經由用喹吖陡酮或香豆素攙添基材如A 1 Q3或B e B Q3。此陰極材料例如爲Mg— A1 、A1— Li 、A1 — Li2〇或 A1 -L i F 〇然後製作有機E L顯示裝置，此係由使用密封材料如環氧樹脂密封一中空結構不銹鋼罐與上述基材，且將彼組合爲模組。實施例以下合成實施例、實施例與比較例係提供以進一步的本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 30- 1249079 A7 B7 五、發明説明（28) 說明本發明，但並非作爲限制。合成實施例1 (合成樹脂A - 1 ) 將1 76g (0 · lmo 1 )的第三—丁氧基苯乙烯及5 . 8g (0 · 04mo 1 )的偶氮基雙丁腈置於裝有冷卻管、攪拌器及溫度計的燒瓶中，且將2 5 0毫升的丙二醇單甲基醚加入及溶解以在7 5 °C進行聚合4小時。將 5 0 g的5 w t %水溶性硫酸溶液混合所得到的聚第三-丁氧基苯乙烯溶液以在1 0 0 °C進行水解反應3小時。然後用1 ，0 0 0毫升的去離子水淸洗此反應產物三次，且將5 0 0毫升的丙二醇單甲基醚乙酸酯加入以進行溶劑取代，以得到一溶液而其中內含鹼可溶解的樹脂（A - 1 ) (聚羥基苯乙烯）彼Mw在24，000。合成實施例2(合成樹脂A - 2) 將5 7 g ( 0 · 6 m ο 1 )的間位—甲酚、3 8 g ( 0.4mol)的對一甲酚、75.5g( 0 . 9 3 m ο 1的甲醛）的3 7 w t %甲醛水溶液、 0.63g(0·005mo1)的草二酸酐及264g 的甲基異丁基酮，注入裝有冷卻管、攪拌器及溫度計的燒瓶，且將此燒瓶浸入油浴中，當反應溶液回流且於振盪之下進行聚縮合4小時。於油浴之溫度上升至1 5 0 °C之後 3小時，將燒瓶內部壓力降至3 0至5 0 m. m H g係去除揮發成分，且經由冷卻至室溫而回收熔融的樹脂A。將此本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -31 - 1249079 A7 B7 五、發明説明（2g) 樹脂溶於乙酸乙酯使樹脂含量在3 0 %，且加入甲醇及水彼用量分別地爲溶液重量之1 · 3倍與0 · 9倍，攪拌且靜置。然後，自二分離的層中取出下層，濃縮且乾燥以得到鹼可溶解的樹脂（A - 2 )(酚醛淸漆樹脂）彼M w在 8，0 0 〇。合成實施例3 將5重量份的2，2 ’ 一偶氮基雙（2，4—二甲基戊腈）及2 0 0重量份的二甘醇乙基甲基醚注入裝有冷卻管與攪拌器的燒瓶。其後，將2 5重量份的苯乙烯、4 0 重量份的甲基丙烯酸及30重量份的三環〔5.2.1. 02’ 6〕癸一 8 -基甲基丙烯酸酯加入，將將燒瓶之內部經取代以氮，且將5重量份的1，3 — 丁二烯加入並溫和攪拌。將生成的溶液之溫度上升至7 0 t，且維持於該溫度4小時以得到聚合物溶液其中內含鹼可溶解的樹脂（a 一 3 )彼Mw在1 2，0 0 0。在得到聚合物溶液中之固含量爲3 3 . 5 %。合成實施例4 將7重量份的2，2’ —偶氮基雙（2 ，4 —二甲基戊腈）及2 0 0重量份的二甘醇乙基甲基醚注入裝有冷卻管與攪拌器的燒瓶中。其後，將1 〇重量份的苯乙烯、 2 0重量份的甲基丙烯酸、4 5重量份的甘油基甲基丙烯酸酯及25重量份的三環〔5 · 2 · 1 · 02·6〕癸一 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -32- 1249079 A7 B7 五、發明説明（30) 〜基甲基丙烯酸酯加入，將燒瓶之內部經取代以氮，且將生成的溶液溫和攪拌。將所生成的溶液之溫度上升至 7 0 °C且於該溫度維持5小時以得到聚合物溶液其中內含鹼可溶解的樹脂（A - 4 )彼M w在1 〇，〇〇〇。在得到聚合物溶液中之固含量爲3 3 . 5%。實施例1 製備照射敏感性樹脂組成物將樹脂（A— 1 ))溶液（對應於1 〇〇重量份（固含量）而其中內含得自合成實施例1的鹼可溶解的樹脂（ A—l)) 、20 重量份的 Cymel 300 (產自 Mitsui

Cy ana mid公司）作爲成分（B) 、〇 . 2重量份的2 —( 4 —甲氧基一/3-苯乙烯基）—4 ，6 —雙（三氯甲基）一3—三嗪作爲成分（〇)、1〇重量份的£?化(^15 2作爲在分子中內含二或更多環氧基基團的化合物（產自Yuka Shell Epoxy公司）及〇 _ 〇 4重量份的Megafac F172(產自 Dainippon Ink & Chemicals公司）作爲界面活性劑，混合在一起且溶於3 —乙氧基丙酸乙酯使固含量在3 5 w t %，且將生成的溶液通過微孔濾膜彼具有孔徑在〇 . 5 // m者，以製備照射敏感性樹脂組成物溶液（S - 1 )。 (I )形成陰極分隔物經由旋轉器將上述組成物溶液（S - 1 )施用於玻璃基材之表面，且在熱板上於1 1 0 t預烘烤分鐘以形成5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -33 - A7 1249079 __B7 五、發明説明（31) p m厚的塗覆膜。經由具有1 〇 /z m X 1 〇 # m開口的圖案光罩，將上述得到塗覆膜曝光於3 6 5 n m的紫外線照射1 〇秒而彼強度在1 OmW/cm2。此曝光係在氧氣（在空氣中）之中執行。之後，使用2·38wt%之水溶液四甲基氫氧化銨於2 5 t將此曝光塗覆膜顯影9 0秒，且使用流動的純水淸洗1分鐘。在烤箱中在2 2 0 °C將此形成陰極分隔物加熱6 0分鐘作硬化以得到4 . 5 # m厚的陰極分隔物 (I I )陰極分隔物形狀之評估在以上（I )中得到的陰極分隔物斷面的形狀之上錐形角度（在梯形橫切面上，經由將連接上圖案上緣與圖案下緣之直線，與頂面所形成的角度）展示於表1。當此角度爲2 0至8 0 ° ，彼可謂此陰極分隔物係令人滿意的。當陰極分隔物具有一般錐形橫切面而角度大於80° ，或長方形而角度在9 0°或更多，此陰極分隔物不是可接受的。 (III)耐熱性之評估將在以上（I )中形成的陰極分隔物在烤箱中於 2 5 0 °C加熱6 0分鐘。膜厚度之尺寸改變速率展示於表 1。當在加熱之前與在加熱之後的尺寸改變速率在土5 % 之中，彼可謂耐熱性尺寸穩定性係令人滿意的° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34- 1249079 A7 ¾齊.^一自逄吋—苟：一目〔31肖穸^乍^.^-廷 B7五、發明説明（32) (I V )揮發成分之評估經由 T D S 測量（EMD-WA 1 000S of Denshi Kagaku公司 )評估，觀察在以上（I )中得到的陰極分隔物之揮發成分。測量之執行係在2 5 °C至2 0 0 °C，而之溫度上升速率在1 °C / s。其結果展示於表1。針對評估結果，產生的揮發成分之量係由w t %表示，經由變化陰極分隔物材料使基材尺寸在1 Ommx 1 0mmx4 · 5 //m。實施例2 採用如在實施例1中相同方法，製備且評估組成物溶液（S — 2 )，除了以1 0 0重量份的鹼可溶解的樹脂（ A - 2)用作爲成分（A)。其結果展示於表1。實施例3 採用如在實施例1中相同方法，製備且評估組成物溶液（S — 3)，除了將其中內含鹼可溶解的樹脂（A — 3 .)(對應於1 0 0重量份（固含量）的樹脂（A - 3 )之 )之溶液用作爲成分（A )。其結果展示於表1。實施例4 採用如在實施例1中相同方法，製備且評估組成物溶液（S — 4 )，除了將其中內含鹼可溶解的樹脂（A — 4 )(對應於100重量份（固含量）的樹脂（八一4)) 本紙張尺度逍用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .¾¾.

、1T 線 -35- 1249079 A7 B7 _ 五、發明説明（33) 之溶液用作爲成分（A )。其結果展示於表1。實施例5 採用如在實施例1中相同方法製備且評估組成物溶液 (S - 5 )，除了將其中內含鹼可溶解的樹脂（A - 1 ) (對應於8 0重量份（固含量）的樹脂（A - 1 ))與 2 0重量份的雙酚A之溶液混合物用作爲成分（A )。其結果展示於表1。實施例6 採用如在實施例1中相同方法製備且評估組成物溶液 (S - 6 )，除了將8 0重量份的鹼可溶解的樹脂（A -2)與20重量份的雙酚A之混合物用作爲成分（A)。其結果展示於表1。實施例7 採用如在實施例1中相同方法製備且評估組成物溶液 (S — 7 )，除了將2重量份的1 ，7 —雙（4 一羥基— 3 -甲氧基苯基）一 1 ，6 —庚二烯一 3，5 —二酮加入作爲紫外線吸收劑。其結果展示於表1。實施例8 採用如在實施例2中柑同方法製備且評估組成物溶液 (S — 8)，除了將2重量份的1 ，7 —雙（4 —羥基— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線 -36- 1249079 A7 B7 五、發明説明（j 3 -甲氧基苯基）—1 ，6 —庚二烯一 3 ，5 —二酮加入作爲紫外線吸收劑。其結果展示於表1。實施例9 採用如在實施例1中相同方法製備且評估組成物溶液 (S — 9 ) ’ 除了將 2 0 重量份的 Cymel 1174(產自 Mitsui

Cyanamid公司）用作爲成分（B)而取代2 0重量份的 Cymel 3 00。其結果展示於表1。表1 錐形角度耐熱性揮發成分 (%) (%) Ex. 1 55 -4 1.3 Ex. 2 50 -5 1.6 Ex.3 50 -3 0.9 Ex.4 50 -4 0.8 Ex. 5 45 -4 1.3 Ex. 6 45 -5 1.6 Ex.7 35 -4 1.3 Ex. 8 35 -5 1.6 Ex.9 50 -5 2.0 E X ·:實施例如上所述，依據本發明，提供一種照射敏感性樹脂組成物彼能容易地形成陰極分隔物而彼具有卓越的性能如反本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 37 1249079 A7 _B7___ 五、發明説明（35) 錐形形狀、耐熱性及低揮發性。自上述照射敏感性樹脂組成物得到高可靠的陰極分隔物 —41» HI: ΙΛΊ - - I —I. ί I - - I - I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：297公釐） -38-

Claims

JZ4S0Z9. } 年/°月12日| C8 D8 六、申請專利範圍第90 1 22267號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國94年1〇月12日修正 1 · 一種照射敏感性樹脂組成物，彼包含： (A ) —種鹼可溶解的樹脂； (B )至少一種化合物，彼係選自一類群而此類群係由如下各式（I )代表的化合物所組成 roch2 ch2〇r \N/

(I) ιϋ9 —ϋ —ϋ 0 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

N /CH2OR 、ch2or 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中六個R可相同或不同且各自爲氫原子或帶有1至個碳原子的烷基基團，由下式（I I )代表的化合物： (II) 其中各R同如上定義，由下式（I I I )代表的化合物彼：本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1249079 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 R〇CH2、 R〇CH2〆 N

，CH2〇R (III) sCH2〇R 其中各R同如上定義，及由下式（I V )代表的化合物 R〇CH2\ /CH2OR —CH—nC〇=c I C-0 (iv) 、N—CH—N ^ roch2/ 、^ch2or 其中各R同如上定義；(c)由下式（V)代表的三鹵素甲基三嗪： CX3

NN (V)，\Χ3 其中x爲鹵素原子且A爲C χ3或由下式代表的基團 ,/D 一 c、、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 (B)m

(B)m C /D

(B)i (B ) TO

(BU 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇X：297公釐） ABCD 1249079 六、申請專利範圍 B、D及E係各自獨立爲氫原子、烷基基團、芳基基團、烷氧基基團、芳氧基基團、硫烷基基團或彼帶有1至 1 0個碳原子的硫芳基基團、鹵素原子、氰基基團、硝基基團、二級氨基而彼帶有具1至1 0個碳原子的烷基基團、羧基基團、羥基基團、酮烷基基團或彼帶有1至1 0個碳原子的酮芳基基團、或烷氧基羰基基團或帶有1至2 0 個碳原子的烷基羰基氧基基團，且m爲1至5之整數，或一由下式（V I )代表的鑰鹽而彼係作爲光學酸產生劑： (A)nZ + Y* (VI) 其中Α爲如以上定義者，Ζ爲硫或碘，Υ爲B F4、 PF6、SbF6、AsF6、對—甲苯磺酸鹽、三氟甲烷磺酸鹽或三氟醋酸鹽，且η爲2或3 ;及 (D ) —種紫外線吸收劑，選自苯并三唑、水楊酸鹽、苯甲酮、經取代的丙烯腈、二苯并哌喃、香豆素、黃酮及查耳酮中；且彼係用以形成E L顯示裝置的陰極分隔物。 2 · —種E L顯示裝置的陰極分隔物，彼係形成自如申請專利範圍第1項之照射敏感性樹脂組成物。 3 .如申請專利範圍第2項之E L顯示裝置的陰極分隔物，彼帶有梯形橫切面其中頂面長於底面·，且經由連接圖案上緣與圖案下緣之直線與頂面形成之角度在15至 7 5、本紙張尺度適用中國國家禚準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1249079 ABCD 六、申請專利範圍 4 ·如申請專利範圍第2項之E L顯示裝置的陰極分隔物，其中經由加熱至.2 5至2 〇〇 °C而產生的揮發成分之量，佔陰極分隔物之重量的1 〇 %或更低。 5 · —種包含如申請專利範圍第2項的陰極分隔物之 E L顯示裝置。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) βϋ (ϋ —ϋ 0 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製尺一張 -紙本準標家國國公 7 9 2