1244954 玫、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種藉由脈衝放電對被加工物一 之放電加工裝£。 订加工 【先前技術】 所謂的脈衝放電加工，乃是在為了對被加工 丁田+ # a w $订加 ^ 電加工裝置之電極與被加工物之間施加加工電 壓，稭由在此時所產生之脈衝放電能量執行被加工物之加 放電加工裝置所產生之被加工物之加工，會因電極之 狀態等而使其加工精密度與被加工物之去除量會產生變 動。因此’為了進行正確之加工，必須要正確地檢測電極 之狀態之後再進行加工。 為了進行正確之加工， 脈衝所產生之放電加工量為 之加工量，並根據所計算出 術。 存在有一種在一次之有效放電 一定之前提下計算出被加工物 之加工量進行加工控制之技 曰本特開平5-345229號公報中所記載之三次元放電 加工#置係具備有檢測出加工時之脈衝放電而累計檢出 放電數之計數電路、以及根據在χγ平面加工位置上之加 ^狀而將加卫深度信號變換成對應於加卫電源之設定能 里之脈衝數之ϋ之信號變換電路。㈣’當計數電路所 產生之檢出放電翁命於咕^ 数一 ^ #U變換電路所產生之脈衝數一致 時，固定有電極管之伺服頭U服運送會停止。 315633 6 !244954 別料 了有效地對被加工物進行加工，存在有-種辨 u有效地貢獻之放電脈衝與非有效地貢獻之放電脈 根據對加工有效之放電脈衝數進行加工控制之技術。 日本特開平5-293714號公報中所記載之放電加工裝 ’係僅對加工間隙之電流/電壓/抗阻中至少—個之交流 :::者是高頻率成分進行整流，藉由將所整流之成分加 平β化之方式檢測出放電狀態。 旦但是，一次之有效放電脈衝所產生之被加工物之去除 係根據對被加卫物進行加卫之電極之加卫表面狀態、 蛋與被加工物之對象面積之變化、以及放電脈衝之狀況 a而有所不同。因&，如前述習知技術所述般，若是在一 次之有效放電脈衝所產生之放電加工量為一定之前提下檢 放電加工里的话，無法檢測出正確的放電加工量。如此， 在則述之習知技術中’由於將一次之有效放電脈衝所產生 之被加工物之去除量設為一定而進行加工處理之控制，所 以存在有被加工物之去除量上會產生誤差之問題。 本發明係有鑑於前述之問題’以提供一種根據電極之 狀態修正為了進行放電加工所設定之被加工物之去除量， 並根據修正後之去除量進行加工處理之控制之放電力=裝 置為目的。 4 【發明内容】 、本發明所述之放電加工裝置，乃是藉由在加工電極與 被加工物之間所產生之放電對上述被加工物進行加工之放 電加工裝置，其特徵為具備有：根據前述加工電極之使用 315633 7 1244954 °己錄，修正為了對被加工物進行加工而輸入之輸入加工量 之修正部；以及根據修正後之前述輸入加工量而控制前述 被加工物之加工處理之控制部。 【實施方法】 土〜以下，將根據本發明之放電加工裝置之實施形態詳細 地。兒明。又，本發明並未限制於該實施形態。 第1實施形態 根據第1圖至第5圖說明本發明之第丨實施形態。第 1 音圖係本發明之第^施形態之放電加工裝置之構成之示 〜圖。放電加工裳置100係由加工控制部ιι〇與電極⑶ 電極1 20係對被加工物i3〇進行放電加工之物件，例 :由韌煉銅等所構成。藉由對在充滿加工液之加工槽内之 12〇與被加工物13〇施加預定之電壓之方式使得在 ::120與被加工⑯13〇之間隙產生脈衝放電，以對被加 工物1 3 0進行加工。被加物 (SKH51)所構成。皮力㈣0例如係由鎳合金或是鐵 :工控制冑110乃是根據藉由電極120所產生之到目 :;之加工量之總計值(以下稱為累積加工量_電 力Γ控制部11G係由脈衝振動產生部3〇、振動產 瞀^:(控制部）4〇、放電脈衝檢測部5()、加工脈衝數計 /加工量計算部（修正部）70所構成。 r力：：振動產生部3〇係在電極12〇與被加工物13。之間 …M，使得在電極12〇與被加工物13〇之間產生預定 315633 1244954 之脈衝放電。振動產生控制部40係根據由加工脈衝數計算 部60所產生之指示資訊，控制脈衝振動產生部3〇。 放電脈衝檢測部50係檢測出發生在電極12〇與被加工 物130之間隙處之有效放電脈衝。放電脈衝檢測部5〇係藉 由將在加工間隙處所產生之電壓波形之高頻率成分加以 ： 流之後施以積分之方式，將高頻率成分之大小作為電塵二 準加以：測出。然後’冑高頻率成分分布在積分輸出較大 之一方時（安定加卫時）之放電脈衝欺為有效放電脈衝。 :電脈衝檢測部50在檢測出有效放電脈衝時，會將脈衝之 檢出信號送到加工脈衝數計算部6〇。 加工量計算部70係根據由電極12〇所產生之加工處理 之累積加工量S算出被加工物13〇之加工所需之加工量， 由所計算之加工量計算出被加工物13〇之加工所需之放電 脈衝數，然後送到加工脈衝數計算部60。 加工脈衝數計算部6〇會計算由放電脈衝部檢出部 之有效放電脈衝之檢出信號，當有效放電脈衝之脈 1衝Γ由加卫量計算部7G所送出之放電脈衝數時，會將 =:0振動產生部3°停止之指示資訊傳送到振動產生控 區換R 2圖係說明帛1實施形態之加工量計算部之功能之 二第2圖所示之加工量計算部7〇,係由資訊儲存部 、累積加工計算部72、修正值計算部73、演算處理部 u及輪入部75所構成。 輪入部75乃是在進行被加工物13〇之放電加工之際， 315633 9 1244954 =為:广工量A之對於被加工物13。之所需之加工 里、^存部（儲存部）71乃是儲存輸人到輸人部Μ之被 加工物130之指令加工量A。 累積加工里计算部72係在被加工々勿"〇之加工处 後，根據資訊收容部71所送出之指令加工量A而計。算(更 Z )出工電：12。之累積加工量s並加以儲存。電極I〕。之累 重置。里s會在電# 12〇與新品之電極進行交換之際受刻 :正值計算部73係根據由累積加工量計算部Μ所送 出之累積加工量s對儲存於資訊收容部71之指令加工量a 進订預定之修正，並料修正加μ 部W演算處理部74會將由修正值計算部送处 MMW，變換成加卫所需之有效放電脈衝數（以下， 稱為‘令有效放電脈衝數）N1。 =3圖係說明第i實施形態之放電加工裝置之動作順 二之：程圖。放電加工裝置100之使用者會將對被加工物 广丁加工所需之加工量作為指令加工量A並輪入到輸 入。”5(步驟Sl〇〇)。輸入到輸入部75之指令工作量a合 被傳送到修正值計算部m累積加μ 72中預先儲曰 存之累積加工量S亦會僂详$ μ 丁 # 里5力a 1寻迗至修正值計算部73。 在此，針對加工計算部70中之加工量之修正處理加以 :明。第4圖職明電極之累積加卫量與—次脈衝之加工 里之關係之關係圖。在第4圖中’縱轴為單位一次有效放 電脈衝之加工量（以下，稱為單位—次脈衝之加工幻為— 315633 10 1244954 定時加以計算時之加工量（計算值）與實際之加工量（實際 測量值）之誤差。在此之計算值，乃是根據電極12〇經過某 種程度使用老舊後呈現安定狀態之電極120的單位_次耽 衝之加工量Ml所計算之加工量。又，橫軸代表累積加工 里S累積加工ϊ S意指以電極1 2 0對被加工量1 3 〇進/一 加工之總加工重量。 如第4圖所示，由新品狀態（累積加工量s = 〇)之電極 120進行被加工物130之加工時，由於隨著累積加工量s ::增加的同時單位一次放電脈衝之加工量亦增加之故，隨 者累積加工量S的增加的同時實際之加工量亦增加。然思 後’貫際之加工量會逐漸收斂而與計算值幾乎一致。 、例如，累積加工量為5〇〇mg時，會顯示出與計算值之 '、值约為_丨〇，貫際之加工量會比預估之加工曾 減少10%而進行加工。 〜值) ，根據電極120由新品狀態所進行之放電加工肩 :’單位-次脈衝之加工量會產生變化。因:
實施形態中，合4日A ^ J θ根據笔極120所進行之加工處理之累積办 工里s修正指令加工 工處理。 亚根據修正加工量Β1控制加 進行指令加值計算部73會根據累積加工量S 累積加工量s實:正。：本弟1實施形態中，無關於 八，根據第4H、： 3〇僅被加工指令加工量 正加工量則。"驗結果修正指令加卫量A，計算出修 3】5633 11 1244954 Βι=(〇·75 + 0·20χ S/500)x A…（1) 又，例如500mg$ S< lOOOmg時，在此根據方程式⑺ 计异出修正加工量B 1。 Βι==(〇·95 + 〇·〇5χ S/500)x A…（2) 又，例如S - lOOOmg時，在此根據方程式（3)計算出修 正加工量B 1。 B1-A·.. (3) 在此由於累積加工ϊ為0 m g時之指令加工量與計算 值之誤差平均約為25%，所以在方程式（1)中使用〇·75之 數值。又，由於累積加工量為5〇〇mg時之指令加工量與計 异值之誤差平均約為5%，所以在方程式（2)中使用0·95之 數值。又，由於累積加工量為1000mg時之指令加工量與 計算值之誤差幾乎不存在，所以在方程式（3)中不進行指令 加工量之修正。 修正值計算部73會確認是否滿足累積加工量S < 5〇〇mg之條件（步驟su〇)。然後，在累積加工量s滿足$ < 500mg之場合時，會根據方程式（1)計算出修正加工量 B1(步驟 S120)。 在累積加工量並非S < 500mg時，會確認是否滿足累 積加工量50〇mggS<1〇〇〇mg之條件（步驟sl3〇)。然後， 在累積加工量s滿足50〇1^$8<1〇〇〇1^時，會根據方程 式（2)計异出修正加工量B1(步驟S140)。 在累積加工量並非S < 500mg，亦非50〇mg$ S < lOOOmg時，判斷是否累積加工量1〇〇〇mg，並根據方程 315633 12 1244954 式（3)計算出修正加1量m(步驟S160)。 $正值叶算部73所算出之修正加工量m，會被傳、、， :异：理部74。演算處理部74會將由修正值計算部戶〉 :^修正加工量B1變換成指令有效放電脈衝數N1。# :有效放電脈衝數N1係藉由將修正加工量扪除以 放脈衝之加工量M1之方式所獲得（步驟⑺）。 被傳理部74所獲得之指令有效放電脈衝數^，會 〇工脈衝數計算部60,藉由放電加工裝置1〇〇之 % 130之放電加工處理會開始。放電脈衝檢出部 曰心測出發生在電極120與被加工物130之間隙處之 =放電脈衝，將脈衝檢出信號傳送到加工脈衝數計算部 加工脈衝數計算部6()會計算由放電脈衝檢㈣$ 輸出之脈衝檢出作赛 膝^ #笞 虎㈣计异之有效放電脈衝數與由演 开处。74所輸出之指令有效放電脈衝數νι作即時性比 後，#所計算之有效放電脈衝數與由演算處理部74 輸出之指令有效放電脈衝數N1 一致時，加工脈 曾 部6〇會對振動產生控制部40傳送出振動產生結束之二 =振動產生控制部40接受到由加工脈衝計算部6〇曰： 產動產生結束之指令資訊之後，會控制脈衝振動 俾使脈衝放電停止，而結束放電加工處理。 放電加工處理結束之後，將儲存於資訊儲存部71之被 =工物U0之指令加工量人傳送至累積加巧計算部& 累積加工量計算部72係藉由對所儲存之累積加工量S加 315633 13 1244954
上指令加工量A之太^JL ^ 〇A ^ L 之方式，计异出被加工物13〇之加工結 後之新的累積加工量S並加以儲存(步驟S180)。 第5圖係、5兄明在藉由加工量計算部修正指令加工量 曰可，電極之累積加工量盘一次脈 h 里兴人脈衡之加工量之關係之關係 圖。：第5圖+，縱軸係單位一次脈衝之加工量為一定時 之計算上之加工量（計算值）與實際之加工量（實測值）之誤 差。橫軸係累計加工量s。纟第4圖與第5圖之比較可得 田累積加工里在1 〇〇〇mg以下時，與藉由加工量計算 P 70而仏正扣令加工量A時之計算值之誤差率會減少。 又，在本第1實施形態中，雖然是使用方程式（1)至（3) 進行彳B々加工里之修正，但是並未限制於方程式（1 )至（3 ) 所產生之修正，亦可藉由其他修正方程式等進行指令加工 量之修正。 又’在本第1實施形態中，雖然是藉由加工重量而計 算出累積加工量之構成，亦可以是藉由被加工物13()之總 加工次數、總加工時間、以及總加工脈衝數而計算出累積 加工量S之構成。 又’在本第1實施形態中，乃是在將指令加工量A修 正為修正加工量B 1之後計算出指令有效放電脈衝數Ni， 亦可根據累積加工量S修正單位一次脈衝之加工量μ 1， 並根據修正為指令加工量Α之加工量Ml計算出指令有效 放電脈衝數N1。 由本第1實施形態來看，由於係根據電極1 20之累積 放電加工量進行指令加工量A之修正，所以能夠正確地檢 14 315633 1244954 測出藉由電極120進行之實際加工量，可精確度良好地進 行放電加工控制。 第2實施形態 接著，利用第1圖、第6圖至第12圖針對本發明之第 2實施形態加以說明。在本第2實施形態中，係根據電極 120與被加工物130之對向面積T之變化進行指令加工量 Α之修正。 第6圖係說明第2實施形態之加工量計算部之功能之 區塊圖。第6圖之各構成元件中對於具有與第2圖所示之 第1實施形態之加工量計算部相同功能之構成元件附加上 相同符號，並省略重複之說明。 如第6圖所示’加工量計算部7〇係由係由演算處理部 74、輸入部75、加工量判斷部76、加工深度計算部刃所 構成。加工量判斷部76會根據輸入到輸入部 物，之指令加工量A，決定用以修正單位一次=: ^ ΐ之修正方程式，將有關於修正方程式之資訊傳送到演 算處理部74。 加工深度計算部77係針對每一加工條件，根據指令加 工量Α而計算出加工深度Η。加工深度是指由加工電 極12〇之底面到被加工物130之上面為止之距離。 演算處理部74會根據在加工深度計算部77所計算出 之加工深度Η以及由加工量判斷部76所送出之有關於修 正方程式之資訊，計算出單位一次脈衝之加工量Μ2，並 將指令加工量Α變換成指令有效放電脈衝數Νι。 315633 15 1244954 序之：：圖係說明第2實施形態之放電加工裝置之動作順 序之流程圖。姑蕾； 独 、 130 0衣置1〇0之使用者會將對被加工物 130進仃加工所需之加工量作為指令加工量 ::=二2°°)。輸入到輸入部75之指命加工量八係二 、σ工里判斷部76與加工深度計算部77。 及單對電極12°與被加工物130之對向面積Τ以 :早位一:人脈衝之加工量之關係加以說明。 電極形狀之示意圖，第9 間D兄明 α弟9圖係況明加工處理時電極與被加 面之剖視圖，第1G圖係說明電極與被加工物之對 象面積次脈衝之加工量之關係之關係圖。 々第9圖所不，電極12〇對於被加工物合以 :加？:广之内部僅為加工深度Η之狀態進行:σ工處 之面1::在與被加工物130之上面相同面内之電極120 之面積係為對向面積τ。 在第10圖中，橫軸乃是代表電極120與被加工物⑽ 之：向面積Τ，縱軸乃是代表單位-次脈衝之加工量Μ2。 10圖所示’單位一次脈衝之加工量⑽係 面積τ而描緣出2次曲線般之曲線。 ^ 如此，由於在電極120與被加工物13〇之對向面 τ(電極120之形狀或是加工深冑Η)產生變化時，單位 脈衝之加工量Μ2會產生變化，所以實際加工量與放㈣ 衝數之關係並非線性關係。因此，為進行高精密度之加工， 必須根據被加工物13〇之加工量、電極12〇與被加工物⑼ 之對向面積T計算出單位一次脈衝之加工量M2，然後進 315633 16 1244954 行放電加工處理。 例如，钟 砘對向面積τ與單位一 針對第11圖所干夕+ 4 人脈衝之加工量M2， ，主/ 所不之電極120之指令加工量a、隹/ 情形加以說明。筮 里A進行修正之 以月月第11圖係說明電極與被加工物之對& 以及早位-次脈衝之加物之對向面積 里之關係之關係圖。 此，針對電極120之形狀在電極12〇 〇mm時之對向面積… 口工深度為 向面積τ為49mm2、加 衣度為4咖時之對 之情开…”、 時之對向面積丁為 开v加以况明。單位時間在電極 :間所流動之電流密度，例如設定為18 8二 回到弟7圖，加工深度計算部77會根據電極12〇之开; =异出對應於指令加工量A之加工深度h(步驟2〇”, 曰令加工量八在被加卫物13()之比重為8 Q(g/em3)時 程式（4)般加以表示。 S (5+H/2)2dH=A/8 …（4) 加工深度Η可藉由將方程式（4)加以整理後之方程式 (5)獲得。 Η3 + 30Η2 + 300Η=1·5Α“·（5) 加工深度Η之數值，可藉由將方程式（5)之三次方程式 加以解開之後之方程式（6)獲得。 H=(1000+1.5A)1/3_10··· (6) 因此，當僅有加工量A与ll62.7mg受到加工時，加工 深度Η會到達4mm。 315633 17 1244954 加工量判斷部76會根據由指 工深度H，決定用以修正單位一次:力：Η所算出之加 程式。藉由第η圖之關係，單位 之4正方 g)係根據加工深度H例如可藉由下 （“ 加以修正。 )万桎式（8) 當加工深度H< 4mm時， ρ==15·8 + (21·3-15.8)χ Η…（7) 當加工深度4mm$ H< l〇mm時， Ρ = 21·3 + (22_4-21·3)χ (H-4)…（8) 由指令加工* A，加工深度H係藉由方程式（6)加以求 取。除此之外，由此加工深度Η，指令有效脈衝數ni能 夠以方程式（9)、（1〇)加以求出。 葛指令加工量A<1162.7mg時， N1 (比重X對向面積x殊度/卓位一次脈衝之加工 量）= 8SH/P = 2000χ (H3 + 40H2 + 400H)/(5.5H+15.8)··· (9) 當UMJmgg指令加工量A< 4666.7mg時，同樣地， N1=8SH/P = 2000x (Η3 + 40Η2 + 400Η)/(1 · 1H+16.9)…（1〇) 當指令加工量A^4666.7mg時，由於加工深度Η會在 10mm以上，所以不會透過電極120進行加工處理。 例如，以藉由方程式（7)、（8)修正單位一次脈衝之加工 量之方式加以設定時，加工量判斷部76會判斷用以決定修 正方权式之指令加工量A是否滿足指令加工量A< 1162.7mg(步驟 210)。 18 315633 1244954 當加工量判斷部76判斷出指令加工量a< 1162.7mg(步‘驟21〇,是）時，會將指令加工量A「A< 1162.7mg」之資訊通知演算處理部74。 當加工量判斷部76判斷出並非指令加工量a< 1162.7㈣步驟210,是）時，會將指令加工量A「1162.7mg ^ A」之貢訊通知演算處理部74。 λ、#處理部74會根據在加工深度計算部所算出之 加工深度Η、由加工量判斷部76所獲得之通知，在 11 62.7mg之f月況下，藉由方程式⑷與方程式⑺計算出指 令有效放電加卫脈衝數N1(步驟22())。又，演算處理部Μ 會在㈣A < 4666.7mg時，藉由方程式⑷與方程式 (10)計算出指令放電有效加卫脈衝數N1(步驟23〇)。 藉由演算處理部74所計算出之指令有效放電加工脈 衝m會被傳送到加工脈衝數算出部6〇。然後，振動產生 控制部40係根據以放電脈衝檢出部5〇所檢測出之有效放 電脈衝數以及由演算處理部74所產生之指令有效放電脈 衝數N1 ’控制脈衝振動產生部3 〇。 如此，由於係根據指令加工量A計算出指令有效放電 脈衝數N1，所以即使在被加工物13〇之上面高度因每一加 工處理而有所不同時、或是因被加工物13〇之水平度之變 化而造成放電開始位置之變化日夺，電# 12〇 ,亦能夠精密= 佳地進行加工處理。 又 又，由於能夠由指令加工量A求出加工深度h，當被 加工物1 30之上面高度或是放電開始位置等之變化少時， 3】5633 19 1244954 可根據加工深度Η來控制加工處理。 由前述第2實施形態來看，由於係根據指令加工量A 計算出加工深度Η，根據加工深度η計算出指令有效放電 脈衝數Ν1，能夠根據對向面積τ進行正確之加工量之控 制。因此，即使在必須具有藉由放電加工將被加工物1 3 〇 之一部分去除般之正確之加工精密度之加工處理中，亦可 精密度良好地進行加工處理。 第3實施形態 利用第12圖至第14圖說明本發明之第3實施形態。 在本第3實施形態中，放電脈衝檢出部5〇檢測出有效放電 脈衝的同時，亦會檢測出後述之準電弧放電脈衝以及電弧 放電脈衝。然後，根據所有的放電脈衝之單位一次脈衝之 加工量計算出加工中之被加工物13〇之加工量，以進行被 加工物1 3 0之加工控制。 第1 2圖係本發明之第3實施形態之放電加工裝置之構 成之示思圖，第1 3圖係說明第3實施形態之加工量計算部 之功能之區塊圖。第12圖與第13圖之各構成元件中對於 第1圖所示之放電加工裝置及具有與第2圖所示之加工量 。十π邛相同功能之構成元件附加上相同符號，並省略重複 之說明。 如第12圖所示，放電加工裝置1〇1之加工控制部 1 (控制。卩）中，加工置計算部70係連接於振動產生控制 部40以及放電脈衝檢出部5〇。又，放電脈衝檢出部5〇會 檢測出有效放電脈衝、準電弧放電脈衝以及電弧放電脈 315633 20 1244954 衝。 1乐u圖所示，加工量計算部170係由輸入部75、 加工里判斷部78、有效放電脈衝數儲存部8丨、準 脈衝數儲存部82、電弧放電脈衝數儲存部83以及：工旦 換算部（計算部）79所構成。 1 有放放電脈衝數儲存部8卜會對於以放電脈衝檢 5〇所檢測出之有效放電脈衝由放電脈衝檢出部50所傳孚 出之檢出信號進行計數，並將有效放電脈衝之計數作二 效放電脈衝數X加以儲存。 ^作為有 準電弧放電脈衝數儲存部82，會對於以放電脈衝檢出 :'〇所檢測出之準電弧放電脈衝由放電脈衝檢出部5〇所 作2 欢幻5 5虎進行計數’並將準電弧放電脈衝之計數 作為準％弧放電脈衝數y加以儲存。 50所St電脈衝數儲存部83，會對於以放電脈衝檢出部 所檢測出之電弧放電脈衝由放電脈衝檢出部50所傳送 出之铋出k號進行計數，並將電弧放電脈 弧放電脈衝數2加以儲存。 T数作為電 先算二At根據對3 #類之每—放電脈衝預 早立—人脈衝之加工量，計算出加工中之被加工 物130之加工量（後述之加工量Q)。 加工量判斷部7 8，合IX 土^ ^匕較由加工量換算部79所送出之加
T與由輸入部75所送出之指令加工量A，在加工量加Q 值大於指令加工量A以上時，對振動產生控制部傳 振動產生結束之指令資訊。 、 315633 21 1244954 第1 4圖係說明第3實施形態之放電加工裝置之動作順 序之流程圖。放電加工裝置之100之使用者會將對被加工 物130進行加工所需之加工量作為指令加工量A輸入到輸 入部75(步驟S300)。輸入到輸入部μ之指令工作量A會 被傳送到加工量判斷部78。加工量判斷部78會維持指令 加工量A。當被加工物13〇之加工處理開始時，放電脈衝 檢$部50會判斷是否為有效放電脈衝、準電弧放電脈衝以 及電弧放電脈衝之其中一種（步驟S310)。 接者，針對放 , 勺从从％脈 電弧放電脈衝以及電弧放電脈衝之檢出方法加以說明。放 電脈衝檢出部50會將高頻率成分分布在積分輸出大之一 方時（安定加工時）之放電脈衝判斷為有效放電脈衝。又， =將高頻率成分分布在積分輸出小之—方時（電弧時）之放 ^脈衝判斷為電弧放電脈衝。又，會將高頻率成分分布在 ^文放電脈衝與電弧放電脈衝之間之積分輸出時（不安定 電脈衝判斷為準電弧放電脈衝。例如，將高頻率成 :Γ::積分輸出為。至°.5V之場合時判斷為電弧放電 斷為準=頻/成分大多分布於積分輸出為G.U3V_ ==^放3電脈衝’將高頻率成分大多分布於積分輸出 ’、、、 、之场合時判斷為有效放電脈衝般加以設定。 放電：二:？ '放電脈衝檢出部5°，會在檢測出有效 效放電脈衝數儲存部81送出檢出信號。有 檢出；=儲存…當由放電脈衝檢出部5。接收到 出“虎之後，會將所儲存之有效放電_^ 315633 22 1244954 -個進行增量（步驟S32G)，並儲存增量 電脈衝數儲存邱s〗在收士 t 1 值有效放 ㈣存》M1係將有效放電脈衝數χ數值進行择 後’ S將有效放雷版徐杳 日里之 79。 双冤脈衝數X之數值傳送到加工量換算部 文電脈衝檢㈣50,會在檢測出準電弧放電 弧放電脈衝數儲存部82送出檢出信號。準電 數儲存部82係當由放電脈衝檢出部5〇接 、衝 後旦會將所儲存之準電弧放電脈衝數以數值之 曰里（步驟S3M) ’並儲存增量後之數值。準電弧放電脈 文儲存部82係將準電弧放電脈衝數y之數值進行辦量之 會將準電弧放電脈衝數^數值傳送到加卫量曰換算部 放電脈衝檢出部50,會在檢測出電弧放電脈衝 弧放電脈衝數儲存部83送出檢出信號。電弧電脈衝數儲存 部83係當由放電脈衝檢出部5〇接收到檢出信號之後，會 將所儲存之電弧放電脈衝數z之數值之一個進行增量（步田 驟S，，並儲存增量後之數值。電孤放電脈衝數曰儲存： 83係將電弧放電脈衝數z之數值進行增量之後，會將電弧 放電脈衝數z之數值傳送到加工量換算部79。 加工量換算部79，當由有效放電脈衝數儲存部8卜準 電弧放電脈衝數儲存部82、電弧電脈衝數儲存部Μ之其 中一個接收到放電脈衝數之數值時，會根據單位一次有^ 脈衝之加工量α、單位一次準電弧放電脈衝之加工量冷、 單位一次電弧電脈衝之加工量r而由方程式（11)計算出加 315633 23 1244954 工量Q，然後傳送到加工量判斷部78(步驟S35〇)。 Q-ΙΟΟΟχ (α · χ+β · y+γ · ζ)···(ιι) 在此，針對單位一次有效脈衝之加工量^、單位一次 準電弧放電脈衝之加工量点、單位一次電弧電脈衝之加工 里r之异出方法加以說明。分別將加工試驗第η次0為自 然數）之脈衝數設定為有效脈衝之加工量Χη、準電弧放電 脈衝之加工量Υη、電弧電脈衝之加工量以（11為自然數）， 將加工試驗第η次之所有加工量設定為總加工量Wn，單 位一 ^有效，衝之加工量α、單位一次準電弧放電脈衝之 i /5單位—人電弧放電脈衝之加工量7、有效脈衝 數Χη、準電弧放電脈衝數γη、電弧放電脈衝數zn以及總 加工量Wn之關係可由方程式（12)加以表示。 "XI η ζΓ X2 72 Z2 a ~w\ • . · β W2 Χη γη Zn 一 JV3 …（12) 因此，藉由進行複數次預先加工試驗，解開方程式（12) 之方式，能夠獲得單位一次有效脈衝之加工量“、單位一 次準電弧放電脈衝之加工量石、單位一次電弧放電脈衝之 力工里r所獲知之單位一次有效脈衝之加工量α、單位 次準電弧放電脈衡^ -hrt -Γ n 力工ϊ /?、早位一次電弧放電脈衝 之加工$ 7係事先設定於加工量換算部79内。 加工量換算部79，會根據單位一次有效脈衝之加工量 α二單位一次準電弧放電脈衝之加工量y?、單位一次電弧 放電脈衝之加工量r、有效放電脈衝數X、準電弧放電脈 315633 24 1244954 衝數Υ、電弧放電脈衝Z計算出加工量Q。 加工量判斷部7 8會將由輸入部7 5所送出之指令加工 量A與加工量q進行比較（步驟s36〇)。加工量判斷部78 會在加工量q在指令加工量A以上時，對振動產生控制部 40傳送加工處理結束之振動產生結束之指令資訊。然後， 藉由振動產生控制部40之控制，脈衝振動產生部3〇會結 束放電加工處理。 由别述第3貫施形態來看，即使在放電脈衝之輸出不 安定之情況下，由於可對每一種脈衝進行計數而計算出加 工量Q ’所以能夠進行精密度良好之加工處理。 第4實施形態 接著，利用第1圖、第15圖與第16圖說明本發明之 第4實施形態。在本第4實施形態中，在進行複數次之加 工處理之際，會根據前一次（第N&)之加工處理之加工量 對下一次（（N+1)次）之加工處理之加工量所給予之影燮進 行指令加工量A之修正。又，—次之加卫處理係、使用曰複數 個電性條件。在此，針對變更前之電性條件為粗糖加工、 k更後之電性條件為修飾加工之情形加以說明。 第B圖係說明第4實施形態之加工量計算部之功 ，塊圖。第15圖之各構成元件中對於具有與第2圖所 弟1 :施形悲之加工量計算部相同功能之構成元件附加 相同符號，並省略重複之說明。 第15圖所示之加工量計算部7〇係由 輸入部75所構 315633 25 1244954 成。資Λ儲存部7 i传紗+ , , . 、：存有指令加工量A、本次之前&進 订之加工處理時之指令加工量c。 不人之則所進 修正值計算部85合 令加工量C修正本次^㈣由資訊儲存部71所送出之指 量A獲得修正加工量二力:工量A。然後’由指令加工 計算部85所送出之修=處理部74會根據由修正值 用之加工量D，將/正力$ B2與預先設定之修部加工 «ν.Ν3〇；；；^ 放電脈衝數，指令有^^衝數Ν3乃是修飾加工用之 放電脈衝數。效放電脈衝數⑽乃是粗链加工用之 第1 6圖係說明第4每綠…t 序之产程Η Μ 電加工裝置之動作順 Γ 。電加工裝置之1〇0之使用者會將指令加工 量Α經由輸入部7 5輪入钊终λ μ r入邱75之々八輸入到輸入部75(步驟叫輸入到 : 旦作量A會被傳送到資訊儲存部”，並 將扣7工作里A儲存於資訊儲存部71。 在此^十對進行複數次加工處理之際，其—次加工處 :里之加工置對於本次加工處理之加工量之影響加以說明。 第17圖係說明粗輪加工用之電氣條件與修饰加工用之電 氣條件之示意圖。第18圖係說明前-次之粗糙加卫之加工 重與：一次(本次)之粗糙加工之加工量之關係之關係圖。 知飾加工之有效放電脈衝數’例如可設定為421〇6次 般之-定之次數。如第18圖所示，當前一次之㈣造加工之 加工量（有效放電脈衝數）多時，本次之之加工量（有效放電 脈衝數）具有變多之傾向。也就是說，修飾加工之有效放= 315633 26 !244954 脈衝數為一定叙 〜, 數，所以在刚一次加工處理中對於 之有效放電脈衝數斗_ 、> Φ加工 加日士，“數之純加工之有效放電脈衝數之比率增 :_人之修飾加工之加工量會增加。因此，如果不杧 :可-次粗輪加工之加工量修正本次之粗糙加工之= 電脈衝數的話’無法進行精密度佳之加工處理。 放 在此，針對修正值計算部85在第18 之粗链加工之加工量與本次之修飾加工之加工量=二 令加工量八之情形加以說明。因此，修飾加 口工里D係預先設定為既定值。 回到第2圖，修正值計算部85係根據由資訊儲存部 所迗出之刖-次指令加工量C修正本次之指令加工量 、進而獲彳寸修正加工量Β2。修正加工量Β2例如可由方 私式（13)加以算出（步驟S410)。 Β2 = (1-〇·〇2χ c)x 八…⑴） 演算處理部74會根據由修正值計算部85所送出之修 正加工里B2與預先設定之修飾加工用之加工量d，計算 出修飾加工用之有效放電脈衝數N2以及粗糙加工用之= 令有效放電脈衝數N3。藉由方程式（14)計算出有效放電^ 衝數N2 #由方程式計算出有效放電脈衝數N3(步驟 S420)。在此，M3為粗糙加工用之單位一次有效放電脈衝 之力i M4為修飾加工用 < 單位一次有效放電脈衝之 加工量。 N2 = (B-D)/M3 ··· (14) Ν3==〇/Μ4··· (15) 315633 27 1244954 N3，會姑禮=里^ 74所獲仔之指令有效放電脈衝N2、 30會因師^]加卫脈衝數計算部6G。脈衝振動產生部 理。放電：二之條件而開始被加工物130之放電加工處 13〇之間隙^欢出^ 5〇會檢測出在電極120與被加工物 傳送到加工：所產生之有效放電脈衝，將脈衝之檢出信號 j加工脈衝數計算部60。 加工脈衝數計算部6〇會計數由 送出之脈衝檢出㈣， 衝檢出部5〇所 處理部74所、关中“V將所汁數之有效放電脈衝與由演算 較。然 ^之&令有效放電脈衝數N2作即時性比 、，由放電脈衝檢出部5 0戶斤送屮夕古^ ^ + 由演算處理部74所、、，山t 、 有效放電脈衝與 時， 迗之指令有效放電脈衝數N2 —致 動結束之：”异部60會對振動產生控制部4〇傳送振 曰々^號，令粗糙加工用之脈衝放電停止。 生部3°會因修“工之條件而開始 出 “加工處理。放電脈衝檢出部50會檢測 ^電極12G與被加工物—間隙處所產生之有效放電 -將脈衝之檢出信號傳送到加工脈衝數計算部6〇。 加工脈衝數計算部6()會計數由放電脈衝檢出部^所 之脈衝h出戒’將所計數之有效放電脈衝與由演算 =理部7 4所送出之指令有效放電脈衝數N 3作即時性比 :二然:後’由放電脈衝檢出部5〇所送出之有效放電脈衝與 士演算處理部74所送出之指令有效放電脈衝數N3 一致、 4 ’加工脈衝數計算部6〇會對振動產生控制部傳送振 動、、。束之指令仏號’令粗糙加工用之脈衝放電停止，而結 315633 28 1244954 束放電加工處理。 被加工物130之放電加工處理結束之後，儲存於資訊 收容部71之被加工物130之指令加工量A會傳送到資訊 儲存部85。資訊儲存部85會將所儲存之前一次之指令加 工量C變更為指令加工量a之數值並加以儲存（步驟 S430) 〇 又，在本第4實施形態中，雖然係將修飾加工用之加 工量D設為一定，根據前一次粗糙加工用之加工量修正指 令加工量A之構成，亦可以是根據粗糙加工用之加工量與 修飾加工用之加工量之比率修正指令加工量A之構成里〃 由前述之第4實施形態來看，為降低前—次粗链加工 之加工量對本次粗链加工之加卫量所給予之影響而修正指 令加工量A，因此即使在為了進行被加卫物⑽之正綠之 加工處理而以複數個電性條件進行加工時，亦能夠精密度 良好地進行加工處理。 …又’放電加工裝置亦可以是具備有在第i到 施 之放電加工裝置之所有構成元件之構成。、在 =力:量換算部79會根據單位-次有效放電 別相當於準電弧放電脈衝數以及電弧放電 二之右干次，將有效放電脈衝數儲存部“、準電弧放 ==部82、電弧電脈衝數储存部83所檢 =之放 “ &衝、异成有效放電脈衝數。然 、 S、對向面積Τ、Α 一 Α北人 根據累積加工量 在加工量換管：,j 一 — 人《：工量C修正指令加工量A， 、异。”9所換算之有效放電脈衝數到達所修正 315633 29 1244954 之指令加工量A之時間點時結束加工處理。 如以上所說明般’由本發明來看，由於係根據電極 之使用記錄修正指令加工量A，根據修正加工量m進行 被加工物2之處理，所以具有達到無關於因電#⑶之使 用記錄而變化之资P汉‘ τ曰 _ ,..,. 貝IV、加工1，而能夠精密度良好地對被加 工物2進行加工處理之效果。 產業上利用之可能性 如以上所述，本發明所述之放電加工裳置係適用於能 夠僅以設定之加工量而正確地加工之放電加工裝置。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明之第1實施形態之放電加工裝置之構 成之示意圖。 之加工量計算部之功能之 第2圖係說明第1實施形態 區塊圖。 之動作順 第3圖係說明第1實施形態之放電加工裝置 序之流程圖。 ~ 加工量 第4圖係說明電極之累積加工量與一次脈衝之 之關係之關係圖。 第5圖係說明在藉由加工量計算部修正指令加工量 時，電極之累積加卫量與—次脈衝之加卫量之關係之 圖。 之加工量計算部之功能之 弟6圖係說明第2實施形態 區塊圖。 工裝置之動作順 第7圖係說明第2實施形態之放電加 315633 30 1244954 序之流程圖。 第8圖係說明電極形狀之示意圖。 剖視Γ圖係說明加工處理時之電極與被加工物之刹面之 脈衝：力圖係°兄明電極與被加工物之對向面積以及-次 脈衝，加工量之關係之關係圖。 脈衝=圖係說明電極與被加工物之對向面積以及一次 脈衝：加工量之關係之關係圖。 工裝置之構 弟12圖係本發明之第3實施形態之放電加 成之示意圖。 部之功能之 第13圖係說明第3實施形態之加工量計算 區塊圖。 :14圖係說明第3實施形態之放電加工 序之流程圖。 區塊圖 第1 5圖係說明第4實施形態之加工量計算部 之功能之 動作順 第16圖係說明第4實施形態之放電 序之流程圖。 工衷置其 I圖係忒明粗糙加工用之電氣條件與修飾加工用 之電軋條件之示意圖。 第18圖係說明前一次之粗糙加工之加工量與下一次 (本次）之粗經加^加工量之關係之關_。” [元件符號說明] 30 脈衝振動產生 部 2、13 0被加工物 315633 31 1244954 40 振動產生控制部 50 放電脈衝檢測部 60 加工脈衝數計算部 70 加工量計算部 71 資訊儲存部 72 累積加工計算部 73 修正值計算部 74 演算處理部 75 輸入部 78 加工量判斷部 79 加工量換算部 81 有效放電脈衝數記憶部 82 準電弧放電脈衝數記憶部 83 電弧放電脈衝數記憶部 85 修正值算出部 100、 1 0 1放電加工裝置 111 加工控制部 120 電極 32 315633