JPH05345229A - 三次元放電加工装置 - Google Patents
三次元放電加工装置Info
- Publication number
- JPH05345229A JPH05345229A JP19890192A JP19890192A JPH05345229A JP H05345229 A JPH05345229 A JP H05345229A JP 19890192 A JP19890192 A JP 19890192A JP 19890192 A JP19890192 A JP 19890192A JP H05345229 A JPH05345229 A JP H05345229A
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- Japan
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- machining
- feed
- electrode
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 単純電極を用いた三次元加工を電極消耗にも
関わらず安定に高速度に高能率に精度高く行う。 【構成】 加工テーブル４に、モータ７、８をＮＣ制御
装置６で駆動制御することによりＸ、Ｙ平面の加工送り
を与える。加工ヘッド２をＺ軸にサーボ送りするモータ
９は、加工間隙の電圧を信号とする制御回路１０によっ
てサーボ制御する。Ｘ、Ｙ平面加工位置における所要加
工形状にしたがったＺ軸加工深さ信号が供給され、その
信号を加工電源５の設定エネルギーに対応するパルス数
の信号に変換する信号変換回路１１と、パルス放電を検
出して検出放電数を累算する計数回路１２と、該両回路
１１、１２からの信号を比較して一致したとき、一致制
御信号をサーボ制御回路１０に加えてサーボ送りを停止
させる一致制御回路１３とから成る制御装置を設ける。
関わらず安定に高速度に高能率に精度高く行う。 【構成】 加工テーブル４に、モータ７、８をＮＣ制御
装置６で駆動制御することによりＸ、Ｙ平面の加工送り
を与える。加工ヘッド２をＺ軸にサーボ送りするモータ
９は、加工間隙の電圧を信号とする制御回路１０によっ
てサーボ制御する。Ｘ、Ｙ平面加工位置における所要加
工形状にしたがったＺ軸加工深さ信号が供給され、その
信号を加工電源５の設定エネルギーに対応するパルス数
の信号に変換する信号変換回路１１と、パルス放電を検
出して検出放電数を累算する計数回路１２と、該両回路
１１、１２からの信号を比較して一致したとき、一致制
御信号をサーボ制御回路１０に加えてサーボ送りを停止
させる一致制御回路１３とから成る制御装置を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は三次元放電加工装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、単純電極をＮＣ制御装置によって
Ｘ、Ｙ、Ｚの三次元制御を行って所要の形状加工を行う
ようにした放電加工装置が知られている。これによれ
ば、複雑な総型形状電極の製作をしなくてもよいし、
又、総型電極よりも加工屑の排除が容易であり、従って
安定加工ができる特徴がある。
Ｘ、Ｙ、Ｚの三次元制御を行って所要の形状加工を行う
ようにした放電加工装置が知られている。これによれ
ば、複雑な総型形状電極の製作をしなくてもよいし、
又、総型電極よりも加工屑の排除が容易であり、従って
安定加工ができる特徴がある。
【０００３】しかしながら、放電加工の欠点は電極消耗
のあることである。単純電極を三次元制御の加工形状送
りして加工する場合、電極消耗があるため加工送りした
形状通りに加工することができない。特に電極が対向す
るＺ軸方向には、電極消耗があるから消耗によって加工
間隙が広がり放電が発生しなくなるとか、加工中にその
消耗を補正する送りを与えるとか、途中で加工を中断し
て消耗補正する電極長さ設定をしなければならず、消耗
長さの検出、その検出に基づく長さ補正を行うために加
工装置が複雑になると共に、スパークアウトになり、加
工中断等のために加工速度が低下し、加工能率が悪くな
る欠点があった。
のあることである。単純電極を三次元制御の加工形状送
りして加工する場合、電極消耗があるため加工送りした
形状通りに加工することができない。特に電極が対向す
るＺ軸方向には、電極消耗があるから消耗によって加工
間隙が広がり放電が発生しなくなるとか、加工中にその
消耗を補正する送りを与えるとか、途中で加工を中断し
て消耗補正する電極長さ設定をしなければならず、消耗
長さの検出、その検出に基づく長さ補正を行うために加
工装置が複雑になると共に、スパークアウトになり、加
工中断等のために加工速度が低下し、加工能率が悪くな
る欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来の欠点に
鑑み、電極消耗にも関わらず所要の形状加工を安定に能
率良く加工でき、加工精度の高い三次元放電加工ができ
る装置を提案するものである。
鑑み、電極消耗にも関わらず所要の形状加工を安定に能
率良く加工でき、加工精度の高い三次元放電加工ができ
る装置を提案するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】線、棒、パイプ等の単純
電極を設け、該電極を被加工体に対向した間隙に三次元
形状の加工送りを与えながらパルス放電を繰返して加工
する放電加工装置に於て、前記電極と被加工体の対向深
さ方向と直角な平面に加工形状にしたがったＮＣ制御も
しくはモデル形状測定信号の加工送りを与える送り制御
装置と、前記電極と被加工体の対向深さ方向に放電状態
に応じたサーボ送りを与えるサーボ送り装置と、前記送
り制御装置により制御された平面加工位置における加工
形状にしたがった加工深さに対応するパルス放電の数も
しくは放電時間を計数して、前記サーボ送り装置による
送り長さを制御する制御装置とを設けて成ることを特徴
とする。
電極を設け、該電極を被加工体に対向した間隙に三次元
形状の加工送りを与えながらパルス放電を繰返して加工
する放電加工装置に於て、前記電極と被加工体の対向深
さ方向と直角な平面に加工形状にしたがったＮＣ制御も
しくはモデル形状測定信号の加工送りを与える送り制御
装置と、前記電極と被加工体の対向深さ方向に放電状態
に応じたサーボ送りを与えるサーボ送り装置と、前記送
り制御装置により制御された平面加工位置における加工
形状にしたがった加工深さに対応するパルス放電の数も
しくは放電時間を計数して、前記サーボ送り装置による
送り長さを制御する制御装置とを設けて成ることを特徴
とする。
【０００６】
【作用】本発明は、前記のように電極と被加工体の対向
深さ方向の送りに、サーボ装置によって放電状態に応じ
たサーボ送りを与えるようにしたものであるから、加工
間隙は電極消耗にも関わらず常に一定の微小間隙を維持
して安定した高速度の放電加工が行われる。又、電極と
被加工体の対向深さ方向と直角な平面には、加工形状に
したがったＮＣ制御もしくはモデル形状測定信号の加工
送りが与えられ、又、対向深さ方向には、前記加工送り
により制御される平面加工位置における加工形状にした
がった加工深さに対応するパルス放電の数もしくは放電
時間を計数して前記サーボ送り装置による送り深さを制
御する制御装置によって制御したから、深さ方向にも常
に加工形状にしたがう所要の加工送りが与えられ、従っ
て電極消耗に関わらず、極めて精度の高い形状加工がで
きるものである。
深さ方向の送りに、サーボ装置によって放電状態に応じ
たサーボ送りを与えるようにしたものであるから、加工
間隙は電極消耗にも関わらず常に一定の微小間隙を維持
して安定した高速度の放電加工が行われる。又、電極と
被加工体の対向深さ方向と直角な平面には、加工形状に
したがったＮＣ制御もしくはモデル形状測定信号の加工
送りが与えられ、又、対向深さ方向には、前記加工送り
により制御される平面加工位置における加工形状にした
がった加工深さに対応するパルス放電の数もしくは放電
時間を計数して前記サーボ送り装置による送り深さを制
御する制御装置によって制御したから、深さ方向にも常
に加工形状にしたがう所要の加工送りが与えられ、従っ
て電極消耗に関わらず、極めて精度の高い形状加工がで
きるものである。
【０００７】
【実施例】以下、図面の一実施例により本発明を説明す
る。図１に於て、１はパイプ電極で、Ｚ軸サーボヘッド
２の先端に固定支持される。３は型加工される被加工体
で、加工テーブル４に固定支持され、この電極１と被加
工体３の対向間隙に於てパルス放電を繰返すことにより
放電加工が行われる。５は電極１、被加工体３間に接続
された加工パルスを供給する加工電源、６は加工テーブ
ル４を駆動するＸ軸モータ及びＹ軸モータ８に制御信号
を供給するＮＣ制御装置、９はヘッド２をＺ軸にサーボ
送りするサーボモータで、加工間隙の電圧を信号とする
制御回路１０によって制御される。１１は信号変換回路
で、ＮＣ制御装置６によって制御されるＸ、Ｙ平面加工
位置における所要の加工形状にしたがった加工深さ信号
が供給され、その信号を加工電源５の設定エネルギーに
対応してパルス数の信号に変換する。１２は加工電源５
が接続された放電回路からパルス放電を検出して検出放
電数を累算する計数回路、１３は前記両回路１１，１２
からの信号を比較して一致したとき、一致信号をサーボ
制御回路１０に加えてサーボ送りを停止する一致制御回
路、１４は加工液供給ポンプで、タンク１５内の処理清
浄液をパイプ電極１を通して加工間隙に噴流供給する。
る。図１に於て、１はパイプ電極で、Ｚ軸サーボヘッド
２の先端に固定支持される。３は型加工される被加工体
で、加工テーブル４に固定支持され、この電極１と被加
工体３の対向間隙に於てパルス放電を繰返すことにより
放電加工が行われる。５は電極１、被加工体３間に接続
された加工パルスを供給する加工電源、６は加工テーブ
ル４を駆動するＸ軸モータ及びＹ軸モータ８に制御信号
を供給するＮＣ制御装置、９はヘッド２をＺ軸にサーボ
送りするサーボモータで、加工間隙の電圧を信号とする
制御回路１０によって制御される。１１は信号変換回路
で、ＮＣ制御装置６によって制御されるＸ、Ｙ平面加工
位置における所要の加工形状にしたがった加工深さ信号
が供給され、その信号を加工電源５の設定エネルギーに
対応してパルス数の信号に変換する。１２は加工電源５
が接続された放電回路からパルス放電を検出して検出放
電数を累算する計数回路、１３は前記両回路１１，１２
からの信号を比較して一致したとき、一致信号をサーボ
制御回路１０に加えてサーボ送りを停止する一致制御回
路、１４は加工液供給ポンプで、タンク１５内の処理清
浄液をパイプ電極１を通して加工間隙に噴流供給する。
【０００８】以上に於て、ＮＣ制御装置６は所要の三次
元加工形状がプログラムしてあり、それを再生しながら
Ｘ軸モータ７及びＹ軸モータ８に分配パルスを加え、加
工テーブル４をＸ、Ｙ平面の加工送りをし、又、加工ヘ
ッド２には加工間隙の電圧を信号として制御回路１０に
よりサーボモータ９を駆動してＺ軸にサーボ送りを与
え、これにより制御された間隙に加工電源５から加工パ
ルスを加え、パルス放電を行って放電加工する。加工間
隙はサーボモータ９によってサーボ送りが行われ、常に
追従制御されるから電極１と被加工体３の対向位置が変
化し、又、電極１の消耗があっても常に一定の微小間隙
を維持して安定したパルス放電が繰返され、安定した高
速度の加工が行える。
元加工形状がプログラムしてあり、それを再生しながら
Ｘ軸モータ７及びＹ軸モータ８に分配パルスを加え、加
工テーブル４をＸ、Ｙ平面の加工送りをし、又、加工ヘ
ッド２には加工間隙の電圧を信号として制御回路１０に
よりサーボモータ９を駆動してＺ軸にサーボ送りを与
え、これにより制御された間隙に加工電源５から加工パ
ルスを加え、パルス放電を行って放電加工する。加工間
隙はサーボモータ９によってサーボ送りが行われ、常に
追従制御されるから電極１と被加工体３の対向位置が変
化し、又、電極１の消耗があっても常に一定の微小間隙
を維持して安定したパルス放電が繰返され、安定した高
速度の加工が行える。
【０００９】Ｘ、Ｙ平面の加工制御は、加工形状にした
がってＮＣ制御装置６により直接Ｘ軸モータ及びＹ軸モ
ータ８を駆動して所要の加工送りが与えられるが、Ｚ軸
の加工深さ方向の加工送りは、ＮＣ制御装置６からＸ、
Ｙ平面上の各加工位置における所要加工形状にしたがっ
た加工深さの信号が変換回路１１に加えられ、変換回路
１１は加工深さ信号を加工電源５の設定エネルギーに対
応してパルス数の信号に変換する。即ち、加工電源５か
ら加工間隙に供給するパルスエネルギーは任意にマニア
ル設定され、設定された１発の加工パルスによる放電加
工量は一定に定まるから、従って加工深さは加工電源５
から供給される加工パルスの数に換算することができ
る。ＮＣ制御装置６から供給される加工深さ信号を比例
した加工パルス数の信号に変換することができ、変換パ
ルス数の放電が行われたときは、丁度ＮＣ制御装置６か
らの信号に対応した加工深さに加工が行われることにな
る。しかして、一致制御回路１３に変換回路１１から前
記変換信号が加えられると共に、計数回路１２からパル
ス放電の累算信号が供給され、両信号が一致すると一致
制御信号をサーボ制御回路１０に加えてモータ９による
サーボ送りを停止する。即ち、この制御によってＺ軸加
工深さの送りが加工形状にしたがって与えられることに
なる。
がってＮＣ制御装置６により直接Ｘ軸モータ及びＹ軸モ
ータ８を駆動して所要の加工送りが与えられるが、Ｚ軸
の加工深さ方向の加工送りは、ＮＣ制御装置６からＸ、
Ｙ平面上の各加工位置における所要加工形状にしたがっ
た加工深さの信号が変換回路１１に加えられ、変換回路
１１は加工深さ信号を加工電源５の設定エネルギーに対
応してパルス数の信号に変換する。即ち、加工電源５か
ら加工間隙に供給するパルスエネルギーは任意にマニア
ル設定され、設定された１発の加工パルスによる放電加
工量は一定に定まるから、従って加工深さは加工電源５
から供給される加工パルスの数に換算することができ
る。ＮＣ制御装置６から供給される加工深さ信号を比例
した加工パルス数の信号に変換することができ、変換パ
ルス数の放電が行われたときは、丁度ＮＣ制御装置６か
らの信号に対応した加工深さに加工が行われることにな
る。しかして、一致制御回路１３に変換回路１１から前
記変換信号が加えられると共に、計数回路１２からパル
ス放電の累算信号が供給され、両信号が一致すると一致
制御信号をサーボ制御回路１０に加えてモータ９による
サーボ送りを停止する。即ち、この制御によってＺ軸加
工深さの送りが加工形状にしたがって与えられることに
なる。
【００１０】以上のようにして、Ｘ、Ｙ、Ｚの三次元の
加工形状送りが与えられ、所要の三次元形状加工が行わ
れるが、Ｚ軸方向の送りはサーボ送りによって与えられ
るので、電極消耗があってもその消耗量を検出しながら
消耗補正をすることなく、常にプログラムした形状にし
たがって正確な三次元形状の加工を行うことができる。
加工形状送りが与えられ、所要の三次元形状加工が行わ
れるが、Ｚ軸方向の送りはサーボ送りによって与えられ
るので、電極消耗があってもその消耗量を検出しながら
消耗補正をすることなく、常にプログラムした形状にし
たがって正確な三次元形状の加工を行うことができる。
【００１１】尚、加工中の加工屑の排除等はポンプ１４
によって加工液をパイプ電極１から噴出すると共に、パ
イプ電極１の周りの広い間隙から容易に排除することが
でき、常に安定したパルス放電を繰返すことができる。
従って、放電のパルス数を計数することによって加工量
を予測することができ、それによってＺ軸方向のサーボ
制御による送り深さを正確に制御することができる。
によって加工液をパイプ電極１から噴出すると共に、パ
イプ電極１の周りの広い間隙から容易に排除することが
でき、常に安定したパルス放電を繰返すことができる。
従って、放電のパルス数を計数することによって加工量
を予測することができ、それによってＺ軸方向のサーボ
制御による送り深さを正確に制御することができる。
【００１２】しかしながら、深さ方向の送り量を更に正
確に制御するためには、前記実施例に於て計数回路１２
のパルス放電の計数を、検出信号がアーク、短絡等の異
常パルスと判別されたとき、計数値から除外するように
することによって正確に加工量を制御することができ、
正確に送り量の制御をすることができる。
確に制御するためには、前記実施例に於て計数回路１２
のパルス放電の計数を、検出信号がアーク、短絡等の異
常パルスと判別されたとき、計数値から除外するように
することによって正確に加工量を制御することができ、
正確に送り量の制御をすることができる。
【００１３】又、前記には送り深さの制御をパルス放電
の数を計数してその累算値によって制御する実施例につ
いて説明したが、加工電源５から加工間隙に供給する加
工パルスが所定の周波数で繰り返されるクロックパルス
であれば、放電加工時間を計測してサーボ送り深さの制
御を行なうように構成することができる。制御装置の構
成は前記実施例のものに限るものではない。
の数を計数してその累算値によって制御する実施例につ
いて説明したが、加工電源５から加工間隙に供給する加
工パルスが所定の周波数で繰り返されるクロックパルス
であれば、放電加工時間を計測してサーボ送り深さの制
御を行なうように構成することができる。制御装置の構
成は前記実施例のものに限るものではない。
【００１４】又、前記実施例ではＮＣ制御によってＸ、
Ｙ軸平面に加工形状したがった加工送りを与え、ＮＣ制
御装置から加工形状にしたがったＺ軸深さ信号を出力し
てサーボ送り深さの制御を行なうようにしたが、これは
モデルを倣うことによってＸ、Ｙ軸平面の加工送りを与
え、Ｚ軸深さ信号を出力してサーボ送り深さの制御を行
うことができ、又、そのモデルの計測をレーザ等の光を
用いた非接触測定によって三次元形状測定をし、測定値
をテープ等にメモリした信号を利用することができる。
Ｙ軸平面に加工形状したがった加工送りを与え、ＮＣ制
御装置から加工形状にしたがったＺ軸深さ信号を出力し
てサーボ送り深さの制御を行なうようにしたが、これは
モデルを倣うことによってＸ、Ｙ軸平面の加工送りを与
え、Ｚ軸深さ信号を出力してサーボ送り深さの制御を行
うことができ、又、そのモデルの計測をレーザ等の光を
用いた非接触測定によって三次元形状測定をし、測定値
をテープ等にメモリした信号を利用することができる。
【００１５】又、加工用電極は、中実線、棒状の単純電
極を用いることができ、或いはガイドにワイヤ電極をＵ
字状にガイドして、ガイドしたワイヤの腹部分を放電面
として利用することもできる。又、電極は回転装置によ
り回転しながら加工することによって電極先端の消耗を
均一にすることができ、従って加工精度を高めることが
できる。
極を用いることができ、或いはガイドにワイヤ電極をＵ
字状にガイドして、ガイドしたワイヤの腹部分を放電面
として利用することもできる。又、電極は回転装置によ
り回転しながら加工することによって電極先端の消耗を
均一にすることができ、従って加工精度を高めることが
できる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明は、単純電極を用い
た三次元加工に於て、電極と被加工体の対向深さ方向の
送りにサーボ装置によって放電状態に応じたサーボ送り
を与えるようにしたものであるから、加工間隙は電極消
耗にも関わらず常に一定の微小間隙を維持して安定した
高速度の放電加工が行われる。又、電極と被加工体の対
向深さ方向と直角な平面には、加工形状にしたがったＮ
Ｃ制御もしくはモデル形状測定信号の加工送りが与えら
れ、又、対向深さ方向には、前記加工送りにより制御さ
れる平面加工位置における加工形状にしたがった加工深
さに対応するパルス放電の数もしくは放電時間を計数し
て前記サーボ送り装置による送り深さを制御する制御装
置によって制御したから、深さ方向にも常に加工形状に
したがう所要の加工送りが与えられ、従って電極消耗に
関わらず、極めて精度の高い形状加工ができるものであ
る。
た三次元加工に於て、電極と被加工体の対向深さ方向の
送りにサーボ装置によって放電状態に応じたサーボ送り
を与えるようにしたものであるから、加工間隙は電極消
耗にも関わらず常に一定の微小間隙を維持して安定した
高速度の放電加工が行われる。又、電極と被加工体の対
向深さ方向と直角な平面には、加工形状にしたがったＮ
Ｃ制御もしくはモデル形状測定信号の加工送りが与えら
れ、又、対向深さ方向には、前記加工送りにより制御さ
れる平面加工位置における加工形状にしたがった加工深
さに対応するパルス放電の数もしくは放電時間を計数し
て前記サーボ送り装置による送り深さを制御する制御装
置によって制御したから、深さ方向にも常に加工形状に
したがう所要の加工送りが与えられ、従って電極消耗に
関わらず、極めて精度の高い形状加工ができるものであ
る。
【図１】本発明の一実施例回路図である。
１ パイプ電極 ２ サーボヘッド ３ 被加工体 ４ テーブル ５ 加工電源 ６ ＮＣ制御装置 ７、８ Ｘ軸、Ｙ軸駆動モータ ９ Ｚ軸サーボモータ １０ 制御回路 １１ 信号変換回路 １２ 放電パルス計数回路 １３ 一致制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 線、棒、パイプ等の単純電極を設け、該
電極を被加工体に対向した間隙に三次元形状の加工送り
を与えながらパルス放電を繰返して加工する放電加工装
置に於て、前記電極と被加工体の対向深さ方向と直角な
平面に加工形状にしたがったＮＣ制御もしくはモデル形
状測定信号の加工送りを与える送り制御装置と、前記電
極と被加工体の対向深さ方向に放電状態に応じたサーボ
送りを与えるサーボ送り装置と、前記送り制御装置によ
り制御された平面加工位置における加工形状にしたがっ
た加工深さに対応するパルス放電の数もしくは放電時間
を計数して、前記サーボ送り装置による送り深さを制御
する制御装置とを設けて成ることを特徴とする三次元放
電加工装置。 - 【請求項２】 請求項１に於て、前記電極を回転する回
転装置を設けたことを特徴とする三次元放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19890192A JPH05345229A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 三次元放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19890192A JPH05345229A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 三次元放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05345229A true JPH05345229A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=16398829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19890192A Pending JPH05345229A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 三次元放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05345229A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005082565A1 (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 放電加工装置 |
| US7113884B1 (en) * | 1998-05-08 | 2006-09-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Positioning apparatus for an electrical discharge machine and a method therefor |
| KR100725299B1 (ko) * | 2005-10-28 | 2007-06-07 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 방전 가공 장치 |
-
1992
- 1992-06-16 JP JP19890192A patent/JPH05345229A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7113884B1 (en) * | 1998-05-08 | 2006-09-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Positioning apparatus for an electrical discharge machine and a method therefor |
| WO2005082565A1 (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 放電加工装置 |
| US7202438B2 (en) | 2004-03-01 | 2007-04-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electrical discharge machining apparatus |
| DE112004000445B4 (de) * | 2004-03-01 | 2009-07-23 | Mitsubishi Denki K.K. | Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks durch elektrische Entladung |
| KR100725299B1 (ko) * | 2005-10-28 | 2007-06-07 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 방전 가공 장치 |
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